明清時期的厅幾乎都設在新开发地区或者具有特殊地位的地区，又分为直隶厅、散厅、分防厅。直隶厅和府、直隶州等级相同，相當於中華人民共和國的廳局級和地級，直隶于省、道，多数不领县；散厅隶属于府，与散州、县等级相同。[1]最早設置的廳是明朝天啟年間設置的四川叙永廳。
清代內地政區的層級關係為：
| 布政使司 （省、行省） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 道 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 直隸州 | 府 | 直隸廳 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 縣 | 散州 | 縣 | 散廳、分防廳 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
清代的內地（不含東三省、新疆建省）當時，設有直隸廳（直屬於省、道）的，先後概有以下：
清朝統治長達兩百多年，內地各地方各省的行政區劃，常有更動，以上直隸廳資料，不一定完全齊全。但若是未見於上開名單的廳，則很可能是屬於府、直隸州所管轄的散廳。
例如：
都是屬於散廳一級。
分防廳、散廳兩者長官皆為知府底下之員，但分防廳專職徵稅、捕盜、糧運、郵遞、蕃夷、海防等務，未如散廳擁有知縣一般之行政區。
例如：
| 日語寫法 | |
|---|---|
| 日語原文 | 庁 |
| 假名 | ちょう |
| 平文式罗马字 | Chō |
| 日語舊字體 | 廳 |
日本曾於北海道設置北海道廳（日语：北海道庁 (1886-1947)）（內務省直轄機關，與今日具有自治地位的北海道廳（日语：北海道庁）有別），庫頁島設置樺太廳，國際聯盟託管地設置南洋廳，以及在台灣亦曾設有廳制，二戰後的美國統治琉球時期亦於琉球群島設置地方廳。現今日本已無使用「廳」為單位的行政區劃，但有支廳。
廳現在於日本做為政府之行政機關名稱（地方政府為主），類似於中華民國和中華人民共和國的「政府」，例如「縣廳」等同中文所說的「縣政府」。
