ASML Holding N.V.
Корпоративное здание ASML в Велдховене
Тип	Публичная компания
Листинг на бирже	Euronext:ASML NASDAQ:ASML
Основание	1984
Основатели	ASM International[вд] и Philips
Расположение	Нидерланды:Велдховен
Ключевые фигуры	Нилс Андерсен(председатель наблюдательного совета) Петер Веннинк(CEO)[1]
Отрасль	Полупроводниковая промышленность
Продукция	фотолитографические системы
Собственный капитал	▼€8,811 млрд(2022)[2]
Оборот	▲ €21,17 млрд(2022)[1]
Затраты наНИОКР	▲ €3,254 млрд(2022)[2]
Операционная прибыль	▼ €6,501 млрд(2022)[2]
Чистая прибыль	▼ €6,396 млрд(2022)[1]
Активы	▲ €36,30 млрд(2022)[2]
Капитализация	€377 млрд(05.06.2024)[3]
Число сотрудников	37 643(2022)[2]
Сайт	asml.com (англ.)
Медиафайлы на Викискладе

ASML —нидерландская компания, крупнейший производительлитографического оборудования длямикроэлектронной промышленности, необходимого в том числе для изготовленияСБИС, микросхем памяти, флеш-памяти, микропроцессоров.

Центральный офис — вВелдховене (европейский технологический регион Brainport Eindhoven), там же находятся исследовательские и производственные отделы, в местах установки оборудования действует более 60 центров обслуживания в 16 странах.

Компания, изначально называвшаясяASM Lithography^[4], была основана в 1984 году каксовместное предприятие компанийAdvanced Semiconductor Materials International (ASMI)^[англ.] иPhilips. Впоследствии у Philips осталась только небольшая часть акций ASML^[5]. Компания входит в верхнюю часть индексаNasdaq-100^[6] и по состоянию на 2024 год имеетрыночную капитализацию в €377 млрд^[3].

КомпанияAdvanced Semiconductor Materials («Прогрессивные полупроводниковые материалы»,ASM) была основана в Нидерландах в1968 году; сначала она торговала оборудованием для производстваполупроводниковых приборов, а в 1970-х года начала собственное производство такого оборудования.

Для разработки и производства оборудования, осуществляющего отдельный вид обработки полупроводников,фотолитографию, — в 1984 году было созданосовместное предприятие сPhilips, названноеASM Lithography; в 1985 году был открыт завод вВелдховене, рядом с лабораториями Philips.В 1986 году началось партнёрство ASM Lithography с немецким производителем оптикиCarl Zeiss.В 1988 году был открыт филиална Тайване.

Финансовые трудности вынудили ASM в 1988 году продать свою долю в ASML; в 1993 года Philips также начала продавать свою долю в ASML.В 1995 году акции ASML были размещены наАмстердамской фондовой бирже и на биржеNASDAQ.В феврале 1999 года с одним из конкурентов, компаниейApplied Materials, был начат совместный проект SCALPEL по разработкелитографии электронным лучом.В следующем месяце ASML начала участие в проектеМинистерства энергетики США по разработке технологиилитографии в экстремальном ультрафиолете (EUV); параллельно с этим участвовала и в аналогичной европейской программеEuclides^[англ.]. В 2001 году ASML вышла из проекта SCALPEL как менее перспективного, чем EUV.

В июне 1999 года у американской компанииMicroUnity^[англ.] было куплено подразделение по производствуфотошаблонов для фотолитографии^[7][8].В 2000 году полупроводниковая отрасль начала переход на 300-миллиметровыепластины, для обработки таких пластин ASML разработала новую серию оборудования Twinscan, позволявшую одновременно на двух пластинах выполнять две разные операции.В декабре 2000 года ASML вышла на рынок Японии, несмотря на то, что там доминировали два основных её конкурента,Canon иNikon.В 2001 году за 1,6 млрд долларов был куплен американский производитель литографических систем Silicon Valley Group (SVG), примерно равный по размеру ASML, основным её клиентом былаIntel. Из-за спада в электронной отрасли ASML закончила 2001 год с убытком более 400 млн евро и резким падением выручки с 3,1 млрд евро до 1,8 млрд евро; к концу года было уволено 2000 сотрудников, или почти четверть персонала^[7].Несмотря на это, в 2002 году ASML стала ведущим поставщиком устройств для фотолитографии^[9].По состоянию на 2007 год ASML имела долю 65 % на мировом рынке фотолитографического оборудования^[10].

На 2008 год установка ASML высшего класса Twinscan XT:1950 могла использоваться с техпроцессами вплоть до 38 нм^[11] со скоростью до 131 пластины в час. В установке используетсяиммерсионная литография с водяной прослойкой и аргон-фторидный (argon-fluoride, ArF)эксимерный лазер с длиной волны 193 нм. На тот же момент литографическая установка в среднем стоила €22 млн^[11].

В 2009 году ASML разрабатывала установки с лазерами на 13,5 нм (EUVL). 22 апреля 2009 бельгийский исследовательский центрImec представил работоспособные чипыКМОПSRAM выполненные по техпроцессу22 нм на прототипе установки ASML с EUVL^[12].

Для финансирования дальнейших исследований в области технологии EUV в июле 2012 года компания продала 23 % своих акций трём крупнейшим клиентам — Intel,Samsung Electronics иTSMC.В октябре того же года за 1,95 млрд евро была куплена компания Cymer, базирующийся в Сан-Диего, — производитель источников ультрафиолетового излучения для литографических систем^[13].В 2016 году была куплена тайваньская компания Hermes Microvision, стоимость сделки составила 3,1 млрд долларов^[14].В 2020 году был куплен немецкий производитель оптики Berliner Glas^[15].

В 2021 году Комиссия понациональной безопасности США по вопросамискусственного интеллекта рекомендовалаГосдепартаменту США иМинистерству торговли оказать давление на союзников с целью лишения КНР доступа к DUV- и EUV-технологиям, а также сопутствующим инструментам (в 2021 году на Китай приходилось порядка 16 % продаж её систем, на сумму 2,1 млрд евро)^[16]. Запрет на экспорт наиболее передовых систем в КНР был введён ещё в 2019 году, а с сентября 2023 года правительство Нидерландов ввело лицензирование экспорта литографических систем^[17][18].ASML ищет возможности для развития своего бизнеса за пределами своей страны, где местное правительство по просьбе властей США запрещает ей продавать свои литографы в КНР^[19][20].

К концу 2023 года компания разработала литограф, способный работать с техпроцессом2 нм , начав отгрузку этих систем стоимостью в 300 млн долл. за единицу в начале 2024 года^[21][22]. 6 из 10 таких литографов, которые произведёт ASML за год, заказала компания Intel (соответствующие техпроцессы она называет 20A и 18A), прочие купили TSMC, Samsung, SK Hynix и Micron. После 2024 года количество ежегодно выпускаемых ASML литографических сканеров, пригодных для выпуска двухнанометровой продукции, может увеличиться до 20 штук^[23].

Акции компании котируются на амстердамской площадке биржиEuronext (входят в индексAEX) и на биржеNASDAQ (входят в индексNasdaq-100). Крупнейшими акционерами являются инвестиционные компанииCapital Research and Management Company (10,29 %),BlackRock (8,25 %),T. Rowe Price (3,43 %)^[2].

• Нилс Смедегаард Андерсен (Nils Smedegaard Andersen) — председательнаблюдательного совета с 2023 года, также председатель наблюдательного совета компании Scan Global Logistics и член совета директоровUnilever, председательЕвропейского круглого стола промышленников;, ранее возглавлял правление компанийCarlsberg (2001—2007) иMaersk (2007—2016)^[24].
• Петер Веннинк (Peter T.F.M. Wennink, род. в 1957 году) — президент, генеральный директор (CEO) и председатель правления с 2013 года, член правления с 1999 года, до этого работал в аудиторской фирмеDeloitte.
• Мартин ван ден Бринк (Martin A. van den Brink, род. в 1957 году) — президент и главный технологический директор, член правления с 1999 года, в компании с 1984 года.

Литографические установки ASML используются впроизводстве интегральных микросхем. В таких установках происходит процесс оптического проецирования специальных частично прозрачных шаблонов (масок) на поверхностьполупроводниковой пластины, покрытую тонкой плёнкой светочувствительного материала (фоторезиста). Для каждой пластины эта процедура повторяется несколько десятков раз. После каждого проецирования происходит обработка пластины с нанесённым фоторезистом, в процессе которой формируются электронные структуры микросхем. Оптический метод, применяемый в установках ASML, стал использоваться для производства практически всех интегральных схем.

Компания производит литографическое оборудование, работающее вглубоком иэкстремальном ультрафиолете. В 2022 году оборот компании составил 21,2 млрд евро, из них 15,4 млрд пришлось на продажу оборудования, 5,7 млрд — на обслуживание и модернизацию оборудования. За год было продано 345 литографическое систем, из них 40 — с экстремальным ультрафиолетовым излучением (длиной волны 13,5 нм)^[2].

Основными рынками сбыта в 2022 году былиТайвань (38 % выручки),Республика Корея (29 %),КНР (14 %),США (9 %),Япония (5 %) иСингапур (2 %)^[25].

Сборка литографических систем осуществляется вВелдховене (Нидерланды), на заводе вСан-Диего (Калифорния) изготавливаются генераторы ультрафиолетового излучения, а вУилтоне^[англ.] (Коннектикут) — оптические элементы и некоторые подсистемы, отдельные модули производятся на Тайване (вТайбэе иТайнане)^[26].

В списке крупнейших публичных компаний мираForbes Global 2000 за 2023 год ASML заняла 240-е место^[27].

Основные серии литографов ASML^[28]:

• 1984: PAS 2000, разрешение до 1 мкм, точность позиционирования до 250 нм
• 1989: PAS 5000, разрешение около 0,5 мкм, точность до 100 нм
• 1990-е: PAS 5500, разрешение 400—90 нм, точность до 100—12 нм
• 2000-е: семейство TWINSCAN (NX, NXT), разрешение 100—38 нм, точность до 20—2 нм
• 2010-е: экспериментальные EUV системы TWINSCAN NXE, разрешение 38—19 нм, точность лучше 3 нм

Помимо фотолитографии у компании есть разработки в областинанопечатной литографии^[29].

В России использованиестепперов (литографов) ASML планировалось (по состоянию на 2008 год) на фабрикеАнгстрем-Т^[30].

Также среди российских пользователей ASML —НИИСИ^[a], который использует установку проекционной пошаговой мультипликации (степпер) ASML PAS 5500/250С^[33][34].

Установки ASML используются на линии по производству микросхем вЗеленограде на заводе «Микрон» (PAS 5500/750F 248 nm/0.7 — 120 пластин в час и PAS/1150C 193 nm/0.75 — 135 пластин в час).

Комментарии

Источники

• asml.com — официальный сайт ASML
• The race is on to build the world’s most complex machine — обзорная статья The Economist, Mar 12th 2025

• Компании, имеющие листинг акций на Euronext
• Компании, имеющие листинг акций на NASDAQ
• Компании по алфавиту
• Компании, основанные в 1984 году
• Компании Нидерландов
• Компании, занимающиеся нанотехнологиями
• Производители полупроводникового оборудования
• Компании, входящие в индекс NASDAQ-100

• Википедия:Статьи с нераспознанным языком (ref)
• Википедия:Cite web (не указан язык)
• Википедия:Статьи с нерабочими ссылками
• Википедия:Предприятия без указанных географических координат