WO2009040109A1 - Method for producing wafers from ingots - Google Patents

Abstract

A description is given of a method for producing wafers from ingots comprising adhesively bonding the ingot (4) to a first surface of an ingot carrier (3), dividing up the ingot into wafer slices and releasing the adhesive bond to free the wafer slices formed in this way. The method is distinguished by the fact that the first surface of the ingot carrier has an x layer rich in silanol groups (SiO).

Description

Verfahren zur Herstellung von Wafern aus lngots Process for the production of wafers from Ingots

Beschreibungdescription

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Wafern durch Zerteilen eines auf einem Träger befestigten Materialblocks.The invention relates to a method for the production of wafers by dividing a material block mounted on a carrier.

Als Wafer werden dünne Scheiben oder Trägerplatten bezeichnet, auf denen elektronische, fotoelektrische oder mikromechanische Vorrichtungen angeordnet werden. Solche Wafer bestehen meistens aus poly- oder einkristallinem Material, wie beispielsweise Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid oder z. B. auch Saphir bzw. Korund in der LED-Technik. Darüber hinaus werden auch Wafer aus Glas oder Kunststoff, wie beispielsweise in Mikrolabortechniken verwendet. Zur Herstellung solcher Waferscheiben werden üblicherweise größere Blöcke aus einem Rohmaterial (ein- oder auch polykristallin oder auch a- morph) in einzelne Scheiben zerteilt, insbesonders zersägt. Derartige Materialblöcke werden auch als Ingots oder als Bricks bezeichnet. Die Zerteilung selbst erfolgt meist mit Drahtsägen. Bevorzugt sind Mehrfachdrahtsägen, welche einen Block gleichzeitig in viele Wafer zerteilen. Zum Zersägen werden üblicherweise die Ingots auf einer Trägerplatte angeordnet und dann in der Zerteilungs- oder Sägevorrichtung befestigt. Beim Zersägen des Ingotblocks müssen diese vollständig, d. h. über ihren gesamten Querschnitt hinweg durchtrennt werden, was zu einem Ansägen der üblicherweise metallenen Sägegut- bzw. Maschi- nenträgerplatte in der Sägevorrichtung führen würde, wodurch der Sägedraht reißen würde. Es ist daher üblich, zwischen dem Maschinen- bzw. Sägegutträger der Sägevorrichtung und dem zu zersägenden Ingot eine weitere Trägerplatte (Ingotträger) aus einem meist billigeren spröden Material anzuordnen, die nach Gebrauch verworfen werden kann. Ein hierfür übliches Material ist eine Glasplatte. Auf diese Weise kann beim Sägen der Wafer vollständig durch die Rohmaterialblöcke bis in diesen Ingotträger hineingesägt werden, ohne einen Drahthss zu bewirken. Auf diese Weise ist es möglich, die Wafer vollständig aus dem Rohblock herauszusägen, ohne den Maschinenträger zu verletzen, wobei die gesägten Wafer weiterhin mit dem gläsernen Ingotträger über eine Kante fest verbunden bzw. fest verklebt bleiben. D. h. nach dem Zersägen hängen die Wafer an dem angesägten Ingotträger. Nach dem Ende des Sägevorgangs werden die Wafer üblicherweise mittels einem so genannten Entkittungs- verfahren von dem gläsernen Ingotträger abgelöst. Dabei wird die Klebverbindung, mit der die verbleibende Kante der Wafer an den Ingotträger gebunden ist, gelöst. Danach erfolgt eine Entkittung des gläsernen Ingot- bzw. Waferträ- gers von dem meist metallenen Träger der Sägevorrichtung. Dieser Sägegutträger, auch als Maschinenträger bezeichnet, muss nach dem Stand der Technik vor dem Wiedereinsatz stets aufwändig per Hand gereinigt werden, wobei die Glasplatte verworfen wird. Üblicherweise werden der metallene Maschinenbzw. Sägegutträger und der gläserne Ingotträger unter anderen Bedingungen voneinander entkittet als die Wafer- vom Ingotträger.Wafers are thin disks or carrier plates on which electronic, photoelectric or micromechanical devices are arranged. Such wafers usually consist of polycrystalline or monocrystalline material, such as silicon, gallium arsenide, indium phosphide or z. B. also sapphire or corundum in the LED technology. In addition, glass or plastic wafers are also used, such as in microlaboratory techniques. For the production of such wafer slices usually larger blocks of a raw material (one or polycrystalline or even a-morph) are cut into individual slices, in particular sawn. Such material blocks are also referred to as ingots or as bricks. The division itself is usually done with wire saws. Preference is given to multi-wire saws which divide a block into many wafers at the same time. For sawing usually the ingots are arranged on a support plate and then fixed in the dicing or sawing device. When sawing the Ingotblocks they must be completely, ie cut across its entire cross section away, which would lead to a sawing of the usually metal Sägegut- or Maschinenenträger or carrier plate in the sawing device, whereby the saw wire would break. It is therefore customary to arrange a further carrier plate (ingot carrier) of a mostly cheaper brittle material between the machine or Sägegutträger the sawing device and the ingot to be sawn, which can be discarded after use. A common material for this purpose is a glass plate. In this way, when sawing, the wafers can be completely sawn through the raw material blocks into this ingot carrier without causing a wire. In this way it is possible to complete the wafers Saw out of the ingot without injuring the machine support, the sawn wafers remain firmly connected to the glass Ingotträger over an edge or stuck firmly. Ie. after sawing, the wafers hang on the sawed ingot carrier. After the end of the sawing process, the wafers are usually detached from the glass ingot carrier by means of a so-called uncapping process. In this case, the adhesive bond with which the remaining edge of the wafer is bonded to the Ingotträger solved. After that, the glassy ingot or wafer carrier is removed from the most metal carrier of the sawing device. This Sägegutträger, also referred to as a machine carrier, must always be laboriously cleaned by hand before reuse according to the prior art, the glass plate is discarded. Usually, the metal Maschinenbzw. Saw material carrier and the glass ingot carrier are cemented from one another under different conditions than the wafer carrier from the ingot carrier.

Die Verklebung von Ingot bzw. den späteren Wafern mit dem gläsernen Ingotträger als auch die Verklebung von Ingotträger mit dem metallenen Trägerteil der Sägevorrichtung erfolgt üblicherweise mittels Klebstoffen bzw. Adhäsiven, die ein vollständig aushärtendes Epoxidharz, insbesonders ein mindestens zwei Komponenten enthaltendes Epoxidharz umfassen. Dabei hat es sich gezeigt, dass nach dem Entkitten häufig ein Teil des Klebstoffs an der Waferkante bzw. am metallenen Maschinenträger fest haftet, was dazu führt, dass sowohl, wie bereits beschrieben, der Sägegut- bzw. Maschinenträger aufwändig per Hand gereinigt werden muss als auch die Wafer zum Teil aufwändig händisch nachgereinigt werden müssen. Durch eine solche Nachreinigung der Wafer wird eine zusätzliche Bruchgefahr erzeugt, welche die Gesamtausbeute verringert. Es ist daher erstrebenswert, einen derartigen Effekt zu vermeiden. An den Wafern anhaftende Klebstoffreste verhindern eine automatische Waferseparierung (auch als Vereinzelung der Wafer bezeichnet), so dass dies in den bisherigen Verfahren nicht ohne weiteres möglich war.The bonding of ingot or the subsequent wafers with the glass ingot carrier as well as the bonding of Ingotträger with the metal carrier part of the sawing device is usually carried out by means of adhesives or adhesives comprising a fully hardening epoxy resin, in particular an epoxy resin containing at least two components. It has been shown that after the Entkitten often a part of the adhesive adheres to the wafer edge or the metal machine carrier firmly, which means that both, as already described, the Sägegut- or machine support must be laboriously cleaned by hand also the wafers have to be cleaned by hand. Such a post-cleaning of the wafers creates an additional risk of breakage, which reduces the overall yield. It is therefore desirable to avoid such an effect. Adhesive residues adhering to the wafers prevent automatic wafer separation (also referred to as singulation of the wafers), so that this was not readily possible in the previous methods.

Darüber hinaus werden auf Grund der durch steigende Nachfrage gestiegenen Materialengpässe immer dünnere Wafer hergestellt, um die Nachfrage an den zuvor beschriebenen Bauelementen zu befriedigen. So werden z. B. für die Photovoltaik derzeit Wafer erzeugt, welche lediglich eine Dicke von bis hinab zu 200 μm aufweisen. Bereits jetzt werden für eine Massenproduktion jedoch schon Solarwafer mit einer Dicke von nur 150 μm geplant, wobei sogar extrem dünne Dünnschichtwafer von ca. 80 μm angestrebt werden. Derart dünne Wafer erfordern jedoch ein ganz besonders großes Haftvermögen des für die Verklebung von Ingoträger/Ingot verwendeten Klebstoffes. Eine erhöhte Anforderung an die Festigkeit der Verklebung von Ingotträger und Ingot rührt auch daher, dass die Seitenflächen der Ingots eine geringe Oberflächenrauhigkeit von Rz kleiner 5 μm, besser Rz kleiner 3 μm und besonders bevorzugt Rz kleiner 1 μm aufweisen müssen, um die Bruchgefahr der dünnen Wafer in den folgenden Prozessschritten nicht zu erhöhen. Die demzufolge nicht mehr sägerauen sondern glatten Oberflächen erschweren es dem Klebstoff eine gute Festigkeit der Verklebung herzustellen. Es besteht daher die Notwendigkeit, neue Klebstoffe einzusetzen, die eine höhere Klebefestigkeit aufweisen oder bei Weiterverwendung etablierter Klebstoff die Festigkeit der Verklebung durch andere Maßnahmen zu erhöhen. Es sind daher bereits vielfältige Versuche unternommen worden, diese Aufgabenstellungen zu lösen. So sind beispielsweise kommerziell Zweikomponenten-Epoxidharze erhältlich, die aus miteinander reagierenden Harzkomponenten und einem Härter bestehen, und die später wieder mit besonderen Entkittungsmitteln, z. B. aus alkalischen Lösungsmitteln, welche außerdem Detergenzien enthalten, wieder entfernt werden. Um die Haftung der Klebeverbindung zu erhöhen, wird in allen gängigen Verfahren zum Sägen von Waferscheiben die mit dem Ingot zu verklebende Oberfläche des Ingotträgers und auch die mit dem Maschinenträger zu verklebende Oberfläche des Ingotträgers aufgeraut. Darüber hinaus ist es üblich, zur Verbesserung des Klebeverhaltens die jeweils miteinander zu verbindenden Oberflächen zu entfetten und mit einem Haftvermittler zu beschichten. Dabei werden die Haftvermittler üblicherweise in verdünnter Form in einem verdampfbaren organischen Lösungsmittel, wie beispielsweise n-Propanol aufgetragen. Als derartige Haftvermittler werden beispielsweise bei Epoxidharzklebstoffen der Fa. DELO der Haftvermittler DELO-SACO® SIL E derselben Firma bzw. bei Araldit-Klebstof- fen der Fa. Huntsman der Haftvermittler BETAWIPE TM VP 04604 der Fa. Dw Automotive AG verwendet.In addition, thinner wafers are being produced to meet the demand for high - performance materials due to rising demand due to increasing demand to satisfy previously described components. So z. B. for the photovoltaic currently produces wafers, which only have a thickness of down to 200 microns. However, solar wafers with a thickness of only 150 μm are already being planned for mass production, with even extremely thin thin-film wafers of about 80 μm being aimed for. However, such thin wafers require a very high adhesion of the adhesive used for the bonding of Ingoträger / ingot. An increased requirement for the strength of the bonding of Ingotträger and ingot is also due to the fact that the side surfaces of the ingots have a low surface roughness of Rz less than 5 microns, better Rz less than 3 microns and more preferably Rz must have less than 1 micron, the risk of breakage of the thin Do not increase wafers in the following process steps. The consequently no longer rough but smooth surfaces make it difficult for the adhesive to produce a good strength of the bond. There is therefore a need to use new adhesives which have a higher adhesive strength or to increase the strength of the bond by other measures in the case of further use of established adhesive. Therefore, many attempts have already been made to solve these problems. Thus, for example, commercially available two-component epoxy resins which consist of reacting resin components and a hardener, and later with special Entetizers, z. B. from alkaline solvents, which also contain detergents, are removed again. In order to increase the adhesion of the adhesive bond, the surface of the ingot carrier to be bonded to the ingot and also the surface of the ingot carrier to be glued to the machine carrier are roughened in all current methods for sawing wafer slices. In addition, it is customary to improve the adhesive behavior to degrease each of the surfaces to be joined together and coat with a primer. The adhesion promoters are usually applied in dilute form in a vaporizable organic solvent such as n-propanol. As such adhesion promoters, for example, in the case of epoxy resin adhesives of the company DELO, the bonding agent DELO-SACO® SIL E of the same company or, in the case of araldite adhesives, Huntsman the adhesive BETAWIPE TM VP 04604 from Dw Automotive AG used.

Es hat sich jedoch gezeigt, dass die Ausbildung derartiger in einem Lösungsmittel gelösten Haftvermittler nicht ohne weiteres zu einer gleichmäßigen, effizienten Oberflächenbeschichtung und damit zu einer nicht homogenen, ungleichmäßigen Verteilung des darauf aufgetragenen Klebstoffs führt. Des weiteren erfordert der Einsatz dieser Haftvermittler die Erfüllung von Sicherheitsanforderungen des Explosionsschutzes, die bei Entscheidung für den Einsatz eines Haftvermittlers einen großen Aufwand erfordern. Trotz dieses Aufwandes ist das Fließverhalten (Benetzungsverhalten) des danach aufgebrachten Klebstoffes unzureichend, wodurch die Klebwirkung insbesondere bei Verklebung von 6"-lngots sowie beim Sägen dieser Ingots in dünne Wafer mit glykolbasierten Slurries oft nicht ausreicht.However, it has been found that the formation of such adhesives dissolved in a solvent does not readily lead to a uniform, efficient surface coating and thus to a non-homogeneous, non-uniform distribution of the adhesive applied thereto. Furthermore, the use of these primer requires the fulfillment of safety requirements of explosion protection, which require a great deal of effort when deciding on the use of a primer. Despite this expense, the flow behavior (wetting behavior) of the subsequently applied adhesive is insufficient, as a result of which the adhesive action is often insufficient, especially when gluing 6 "ingots and when sawing these ingots into thin wafers with glycol-based slurries.

Darüber hinaus muss nach dem Stand der Technik auf die jeweils entfettete und ggf. mit Haftvermittler behandelte Oberfläche möglichst umgehend, d. h. innerhalb weniger Minuten der Klebstoff aufgetragen und mit dem zu verklebenden Gegenstück verbunden werden. Aus diesem Grund ist eine Herstellung von klebefertigen Ingots nicht ohne weiteres möglich und die Produktion muss zeitlich genau aufeinander abgestimmt sein.In addition, according to the state of the art, the surface which has been degreased and, if appropriate, treated with adhesion promoter must be as promptly as possible, d. H. The adhesive can be applied within a few minutes and connected to the counterpart to be bonded. For this reason, a production of ready-to-paste ingots is not readily possible and the production must be coordinated with one another in terms of time.

Aus der DE 3403894 C1 ist ein Verfahren zur Beschichtung von metallischen Dentalprothesen bekannt, bei denen in einem Flammhydrolyse-Brenner eine oxidierbare Siliziumverbindung zusammen mit einem brennbaren Gas verbrannt wird, worauf sich auf einem damit beflammten Metall eine Schicht aus polyme- rem (SiO)χ-Netzwerk abscheidet. Eine derartige Schicht kann dann wie z. B. in der DE 4012086 A1 beschrieben ist, mit einem Silan als Haftvermittler für später aufzutragende Beschichtungen überzogen werden.From DE 3403894 C1 a method for coating metallic dental prostheses is known, in which in a flame hydrolysis burner an oxidizable silicon compound is burned together with a combustible gas, whereupon a layer of polymerized (SiO) χ Network separates. Such a layer can then be such. As described in DE 4012086 A1, coated with a silane as a primer for later applied coatings.

Darüber hinaus ist es aus der US-A 4364731 bekannt, mittels einer Magnetronsputter-Vorrichtung Siliziumoxid von hochreinem Quarzglas dem Vakuum auf eine Dentalprothese abzuscheiden. Die Erfindung hat daher zum Ziel, ein Verfahren zur Herstellung von Silizium- wafern bereitzustellen, welches nicht nur die feste Verklebung von auch extrem dünnen Waferscheiben nach dem Sägen mit ihrer Trägerplatte sicherstellt, sondern diese Verklebung auch wieder leicht lösen lässt, wobei sichergestellt ist, dass das Klebstoffmaterial im wesentlichen, insbesonders vollständig, auf dem Ingot- bzw. Waferträger verbleibt.Moreover, it is known from US Pat. No. 4,364,731 to deposit silicon oxide of high-purity quartz glass on a dental prosthesis by means of a magnetron sputtering device. The invention therefore has the aim of providing a method for producing silicon wafers, which not only ensures the firm bonding of even extremely thin wafer slices after sawing with their carrier plate, but also allows this bond to be loosened again easily, it being ensured that the adhesive material essentially, in particular completely, remains on the ingot or wafer carrier.

Außerdem soll beim Entkitten von Ingotträger und Sägemaschinenträger vorzugsweise das gesamte Klebematerial ebenfalls am Ingotträger oder vorzugsweise an keiner der verklebten Oberflächen haften, so dass der Maschinenträger nicht aufwändig von daran haftenden Klebstoffresten gereinigt werden muss.In addition, when Entkitten of Ingotträger and Sägemaschinenträger preferably the entire adhesive material also adhere to Ingotträger or preferably on any of the glued surfaces, so that the machine frame does not have to be laboriously cleaned from adhering adhesive residues.

Darüber hinaus soll im gesamten Verfahren auf zusätzliche Verfahrensschritte wie z. B. aufwändiges Aufrauen von Trägeroberflächen insbesonders des In- gotträgers verzichtet werden.In addition, throughout the process to additional process steps such. B. elaborate roughening of support surfaces are dispensed in particular of the Intitute wearer.

Schließlich soll auch ein Verfahren bereitgestellt werden, welches die Herstellung von zu verklebenden Teilen auf Vorrat ermöglicht, so dass kurzzeitig vor dem Verkleben zumindest eine Produktion von klebefertigen Teilen auf Vorrat möglich ist.Finally, a method is to be provided which allows the production of parts to be bonded in stock, so that at least a production of ready-to-glue parts is available for a short time before bonding.

Dieses Ziel wird durch das in den Ansprüchen definierte Verfahren erreicht.This object is achieved by the method defined in the claims.

Es wurde gefunden, dass sich durch die Ausbildung einer dünnen reaktiven Silikatschicht, die reich an Silanolgruppen ist, eine Aktivierung der zu verklebenden Oberfläche erreicht werden kann. Eine solche Schicht wird auch als polymeres (SiO)_x-Netzwerk bezeichnet. Prinzipiell ist eine solche Schicht auch durch Eintrag von Wasserstoff, z. B. als Oberflächenbehandlung bei der Herstellung des Glases, oder auch durch Behandlung mit einem Wasserstoffplasma möglich. Eine weitere Möglichkeit ist eine Sandstrahlbehandlung mit Silan. Es hat sich gezeigt, dass auf diese Weise die Oberflächenenergie der zu verklebenden Oberfläche von weniger als ca. 35 mN/m auf 55 mN/m bzw. sogar noch weiter erhöht werden kann. Der zwischen Klebstoff und zu verklebender Oberfläche gebildete Kontaktwinkel α beträgt also annähernd 0°, d. h. beträgt maximal 2° bzw. maximal 3°, insbesonders maximal 5° und ist damit viel geringer, als er durch bloße Reinigung, Entfettung und Einsatz von flüssigen Haftvermittlern erreichbar ist.It has been found that by forming a thin reactive silicate layer rich in silanol groups, activation of the surface to be bonded can be achieved. Such a layer is also referred to as a polymeric (SiO)_x network. In principle, such a layer is also by entry of hydrogen, z. Example, as a surface treatment in the manufacture of the glass, or by treatment with a hydrogen plasma possible. Another option is sandblasting with silane. It has been shown that in this way the surface energy of the surface to be bonded can be increased from less than about 35 mN / m to 55 mN / m or even further. The contact angle α formed between the adhesive and the surface to be bonded is therefore approximately 0 °, ie a maximum of 2 ° or a maximum of 3 °, in particular a maximum of 5 °, and is thus much lower than it can be achieved merely by cleaning, degreasing and using liquid adhesion promoters is.

Damit wird das Fließverhalten des Klebstoffes signifikant verbessert, wodurch eine homogene Verteilung und vollflächige Benetzung gewährleistet wird.Thus, the flow behavior of the adhesive is significantly improved, whereby a homogeneous distribution and full-surface wetting is ensured.

Die erfindungsgemäße Beschichtung der zu verklebenden Oberfläche mit einer reaktiven Silikatschicht kann sowohl mittels einer Plasmaabscheidung als auch einfachheitshalber mittels einer thermisch aktivierten Umsetzung (Flammenhydrolyse) einer Si-haltigen organischen oder anorganischen Verbindung in der Flamme eines brennbaren Gases erfolgen, was üblicherweise als Beflammen, exakter als Flammensilikatisierung, bezeichnet wird.The coating according to the invention of the surface to be bonded with a reactive silicate layer can take place both by means of a plasma deposition and for the sake of simplicity by means of a thermally activated reaction (flame hydrolysis) of an Si-containing organic or inorganic compound in the flame of a combustible gas, which is usually more accurate than flaming Flammensilikatisierung, is called.

Als Si-haltige Verbindungen eignen sich anorganische Silane, siliziumorganische Verbindungen wie solche der StrukturSuitable Si-containing compounds are inorganic silanes, organosilicon compounds such as those of the structure

(R¹)₃SiNHSi(R¹)₃ (1a)(R¹ )₃ SiNHSi (R¹ )₃ (1a)

,in der R¹ bzw. R² gleiche oder unterschiedliche Alkylgruppen sind. Weiterhin sind siliziumorganische Verbindungen der Formelin which R¹ or R^{2 are} identical or different alkyl groups. Furthermore, organosilicon compounds of the formula

(R¹)_nSi(OR²)_4-n (1 b)(R¹ )_n Si (OR² )₄ n (1 b)

geeignet, bei denen R¹ und R² gleiche oder unterschiedliche monovalente aliphatische Kohlenwasserstoffgruppen sind und n integer von 0 bis 3 ist. Weiterhin geeignete siliziumorganische Verbindungen sind solche der Struktursuitable in which R¹ and R^{2 are the} same or different monovalent aliphatic hydrocarbon groups and n integer from 0 to 3. Further suitable organosilicon compounds are those of the structure

wobei R³ Wasserstoff oder eine monovalente aliphatische Kohlenwasserstoffgruppe ist, m integer von wenigstens 1 ist, insbesonders 1 oder 2 und p integer von 3 bis 5 ist.

wherein R^{3 is} hydrogen or a monovalent aliphatic hydrocarbon group m integer of at least 1, in particular 1 or 2 and p integer of 3 to 5.

Beispiele der monovalenten aliphatischen Kohlenwasserstoffgruppen sind Methyl-, Propyl-, n-Butyl-, tertiäre Butyl-, zyklische Alkylgruppen AVinyl- und Al- lylgrupen.Examples of the monovalent aliphatic hydrocarbon groups are methyl, propyl, n-butyl, tertiary butyl, cyclic alkyl groups, AVinyl and allyl groups.

Beispiele der durch die Formeln repräsentierten Verbindungen sind Si(OCH3)4, Si(OCH2CH3)4, CH3Si(OCH3)3, Hexamethyldisiloxan(HDMS), Hexamethyl- zyklotrisiloxan, Oktamethylzyklotetrasiloxan und Dekamethylzyklopentasiloxan. Es ist auch möglich, der Flamme weitere Additive zuzusetzen, die die Reaktivität der reaktiven Silikatschicht erhöhen.Examples of the compounds represented by the formulas are Si (OCH3) 4, Si (OCH2CH3) 4, CH3Si (OCH3) 3, hexamethyldisiloxane (HDMS), hexamethylcyclotrisiloxane, octamethylcyclotetrasiloxane and decamethylcyclopentasiloxane. It is also possible to add further additives to the flame which increase the reactivity of the reactive silicate layer.

Dabei wird die zu beschichtende bzw. zu beflammende Oberfläche in einem definierten Abstand an der Flamme vorbeigeführt, wobei sich die reaktive Silikatschicht auf der vorgewärmten zu beschichtende Oberfläche abscheidet. Die Oberfläche muss dabei keinesfalls auf die im Stand der Technik beschriebene Temperatur von größer 110⁰C angewärmt werden. Es reicht eine Temperatur von max. 60 °C, insbesonders max. 50 °C, und vorzugsweise von 45⁰C +/- 2⁰C völlig aus. Diese Temperatur ist leicht durch einen Infrarotstrahler oder die Flamme zu gewährleisten. Mit der Flamme ist das Anwärmen besonders einfach, da der Brenner die zu beflammende Oberfläche nur einmal zu überstreichen braucht, ohne dass der Flamme die Si-haltige Verbindung zugemischt wurde.In this case, the surface to be coated or flamed is guided past the flame at a defined distance, with the reactive silicate layer depositing on the preheated surface to be coated. The surface must not thereby be heated in the manner described in the prior art temperature of more than 110⁰ C. It is sufficient a temperature of max. 60 ° C, especially max. 50 ° C, and preferably from 45⁰ C +/- 2⁰ C completely off. This temperature is easily reached by an infrared heater or the To ensure flame. With the flame, the warm-up is particularly easy, because the burner needs to sweep the surface to be burned only once, without the flame was added to the Si-containing compound.

Der zu wählende Abstand von Brennervorderseite zu der beflammenden Oberfläche ist abhängig von der Betriebsart des Brenners. Die Brenngase können bereits im Inneren des Brenners gemischt werden, optional sogar mit der Si- haltigen Verbindung oder alle Komponenten können erst außerhalb des Brenners gemischt werden. In letzterem Fall ist der zu wählende Abstand natürlich größer als im ersteren. Vorzugsweise wird das Brennerdesign und die Betriebsart so gewählt, dass der Abstand mindestens 10 mm und kleiner 150 mm gewählt wird. Dieser Abstand ist minimal größer als die Länge des inneren Flammenkegels. Abstände im Bereich von 25 - 50 mm sind bevorzugt, wenn für die Anwendung Flächen der Größe ca. (400-800) mm x ca. 130 mm bzw. (400-800) mm x ca. 160 mm beschichtet werden sollen. Ein optimaler Abstand lässt sich mittels wenigen Versuchen leicht ermitteln und ist abhängig von der gewählten Flammkegellänge und der jeweiligen Konzentration der oxidierbaren Siliziumverbindung. Es sind aber auch Abstände noch möglich, wie sie beispielsweise in der DE 3403894 C beschrieben sind.The distance to be selected from the burner front to the flaming surface depends on the operating mode of the burner. The fuel gases can already be mixed inside the burner, optionally even with the Si-containing compound or all components can only be mixed outside the burner. In the latter case, of course, the distance to be chosen is greater than in the former. Preferably, the burner design and the operating mode is selected so that the distance is selected at least 10 mm and less than 150 mm. This distance is minimally greater than the length of the inner flame cone. Distances in the range of 25-50 mm are preferred if surfaces of the size approx. (400-800) mm x approx. 130 mm or (400-800) mm x approx. 160 mm are to be coated for the application. An optimal distance can be easily determined by a few experiments and depends on the selected flame cone length and the respective concentration of the oxidizable silicon compound. But there are also distances still possible, as described for example in DE 3403894 C.

Entsprechend der vorliegenden Erfindung kann ein Brenner mit runder Brennervorderseite verwendet werden, der von Hand über die zu beflammende Oberfläche geführt wird. Für die o. g. zu beflammenden Flächen bietet es sich jedoch an, einen schmalen Brenner der Breite von etwa der Breite der zu beflammenden Oberfläche zu verwenden. Dieser kann langsam und automatisch zum Anwärmen und Beflammen über die zu beflammende Oberfläche geführt werden. Dabei werden vorzugsweise Bewegungsgeschwindigkeiten von 100 bis 500 mm/s gewählt, wobei sich 150 bis 300mm/s bzw. 180 - 250 mm/s und speziell 200 +/- 10 mm/s bevorzugt sind.According to the present invention, a burner with a round burner front side can be used, which is guided by hand over the surface to be flamed. For the o. G. However, to flare surfaces, it is advisable to use a narrow burner of width about the width of the surface to be flamed. This can be slowly and automatically led to warm up and flaming over the surface to be flamed. Moving speeds of 100 to 500 mm / s are preferably selected, with 150 to 300 mm / s or 180 to 250 mm / s and especially 200 +/- 10 mm / s being preferred.

Es hat sich weiterhin gezeigt, dass das Beflammen für zu verklebende Glasoberflächen Vorteile bringt. Insbesonders treten diese Vorteile dann auf, wenn das Glas wie bei der Verklebung Ingotträger / Ingot bzw. Ingotträger / Maschinenträger der Fall, mit Epoxydharzen verklebt wird. Es wurde nämlich erfindungsgemäß eine verbesserte Haftung zwischen Klebstoff und Glasplatte gefunden. Dabei hat sich gezeigt, dass sich zwischen reaktiver Silikatschicht und Epoxydharz chemische Bindungen ausbilden, wodurch die Haftfestigkeit verbessert wird, insbesondere sich die Belastbarkeit auf Zug und Scherung verbessert.It has also been shown that flaming brings advantages for glued glass surfaces. In particular, these advantages occur when the glass is stuck together with epoxy resins as is the case with the bonding of ingot carrier / ingot or ingot carrier / machine carrier. Namely, an improved adhesion between adhesive and glass plate was found according to the invention. It has been found that form chemical bonds between reactive silicate layer and epoxy resin, whereby the adhesion is improved, in particular improves the resilience to train and shear.

Vorzugsweise beträgt die Dicke der dünnen (SiO)χ-Schicht mindestens 2 nm, insbesonders mindestens 3 bzw 4 nm, wobei mindestens 5 bzw. 6 nm bevorzugt sind. Die maximale Dicke beträgt vorzugsweise höchstens max. 20 nm bzw. 18 nm, wobei max. 15 nm bzw. 13 nm bevorzugt sind. Typische max. Dicken betragen 12 bzw. 10 nm.The thickness of the thin (SiO) χ layer is preferably at least 2 nm, in particular at least 3 or 4 nm, with at least 5 or 6 nm being preferred. The maximum thickness is preferably at most max. 20 nm or 18 nm, with max. 15 nm and 13 nm are preferred. Typical max. Thicknesses are 12 and 10 nm, respectively.

Typische zum Beflammen geeignete Brenngase sind insbesonders Kohlenwasserstoffgase, wobei C1-C5-Gase, insbesonders C1-C4-Gase bevorzugt sind. Ein ganz besonders bevorzugtes Brenngas ist Propan. Der zur Verbrennung benötigte Brennsauerstoff kann als reines Gas oder Luft zugeführt werden. Darüber hinaus ist es möglich, durch die Wahl der Brennbedingungen, d. h. durch die gezielte Zufuhr von Sauerstoff bzw. von höherkettigen Kohlenwasserstoffen, die ggf. reaktive Funktionen aufweisen, eine Siliziumoxidschicht abzuscheiden, welche organische Reste kovalent enthält.Typical fuel gases suitable for flaming are, in particular, hydrocarbon gases, C1-C5 gases, in particular C1-C4 gases, being preferred. A most preferred fuel gas is propane. The combustion oxygen needed for combustion can be supplied as pure gas or air. In addition, it is possible by choosing the firing conditions, d. H. by the targeted supply of oxygen or of higher-chain hydrocarbons, which optionally have reactive functions, to deposit a silicon oxide layer which contains organic radicals covalently.

Im erfindungsgemäßen Verfahren wird vorzugsweise zusätzlich zur Trägerseite, welche mit dem Rohmaterialblock bzw. dem Ingot verklebt wird, auch die davon abgewandte zweite Oberfläche mit einem polymeren (SiO)χ-Netzwerk beschichtet, also diejenige Seite, welche mit dem Maschinenträger der Trennbzw. Sägevorrichtung verbunden wird. Dadurch wird die Druckscherfestigkeit dieser Klebeverbindung erhöht und die Verwendbarkeit von Klebstoffen gesichert, die unter 100⁰C, vorzugsweise unterhalb 95⁰C entkitten. Weiterhin wird durch das Beflammen der mit dem Maschinenträger zu verklebenden Oberfläche des Ingotträgers gesichert, dass Klebstoffe für diese Klebeverbindung Verwendung finden können, die bei Temperaturen von unter 150⁰C bzw. 130⁰C erweichen, unter Zuhilfenahme mechanischer Hilfsmittel (z. B. Spachtel) leicht gelöst werden können und die nach dem Lösen der Klebeverbindung vollständig an der Ingotträgerplatte verbleiben. Bei letzterem wird erreicht, dass bei einer Entkittung von Ingotträger und Maschinenträger der Klebstoff ebenfalls auf dem ohnehin nur einmal zu verwendenden und Ingotträger verbleibt.In the method according to the invention is preferably in addition to the support side, which is glued to the raw material block or ingot, and the second surface facing away from it coated with a polymeric (SiO) χ network, ie that side which with the machine support Trennbzw. Sawing device is connected. Thereby, the compression shear strength of the adhesive bond is increased, and the usability secured by adhesives entkitten below 100⁰ C, preferably below 95^0C. Furthermore, it is ensured by the flaming of the machine carrier to be bonded to the surface of the ingot carrier that adhesives can be used for this adhesive bond, which at temperatures below 150⁰ C and 130⁰ C. soften, with the help of mechanical aids (eg spatula) can be easily solved and remain after loosening the adhesive bond completely on the Ingotträgerplatte. In the latter, it is achieved that, in the case of a decoction of ingot carrier and machine carrier, the adhesive likewise likewise remains on the ingot carrier, which is to be used anyway only once.

Ein Vorteil des erfindungsgemäßen Vorgehens besteht auch darin, dass zwischen dem Beflammen und dem darauffolgenden Verkleben längere Zeit, d. h. ohne weiteres mehrere Tage, insbesonders bis zu 2 Tagen und prinzipiell bis zu 24 Stunden, vergehen darf. Nach dem Stand der Technik, wonach entweder nur entfettet oder entfettet und ein Haftvermittler aufgebracht wird, beträgt die maximal zulässige Zeit bis zum Verkleben 1 h. Auch dies zeigt die besonderen Vorzüge des erfindungsgemäßen Verfahrens.An advantage of the procedure according to the invention is also that a longer time between flaming and the subsequent gluing, d. H. without further notice several days, in particular up to 2 days and in principle up to 24 hours, may pass. According to the prior art, according to which either only degreased or degreased and an adhesion promoter is applied, the maximum time allowed for bonding is 1 h. This also shows the particular advantages of the method according to the invention.

Bei einer im erfindungsgemäßen Verfahren besonders geeigneten Ausführungsform wird dem Epoxyharz Klebstoff, das ein mindestens 2-Komponenten- Harz ist, eine aminosubstituierte Kieselsäure, insbesonders der allgemeinen Formel H₂N-Ri-Si(OH)₃ oder H₂N-R₁-Si(OR₂)S als Haftvermittler beigemischt, worin Ri eine Alkyl- oder Alkoxygruppe aus 1-20, vorzugsweise 1-10, insbesonders 1-5 C-Atomen ist und R₂ ein organischer Rest ist, der eine Methyl-, Äthyl-, Propyl- oder Isopropylgruppe sein kann. Besonders bevorzugt enthält Ri ein, zwei oder drei C-Atome. Wird ein derartiger Haftvermittler dem Epoxyharz oder einem entsprechenden Aminoharz zugesetzt, dann reagiert die jeweilige Aminogruppe mit der Epoxygruppe bereits im Klebstoff. Wird dann das entsprechende Harz auf die flammsilikatisierte Oberfläche aufgetragen, reagieren die Silan-Alkoxygruppen mit den SiOH-Gruppen an der flammsilikatisierten Oberfläche zu einer kovalenten Bindung, ausgebildet zwischen Klebstoff und Oberfläche, um. Dann kann die haftvermittelnde Wirkung durch einen durchgehenden chemischen Verbund, ausgehend vom SiO₂ im Glas über die reaktive (-O- Si-)_X-OH-Schicht gewährleistet werden. Prinzipiell ist auch möglich, die aminosubstituierte Kieselsäure zuerst auf die silanolgruppenreiche Silikatschicht der Oberfläche aufzutragen und erst dann das haftvermittlerfreie Harz. Im erfindungsgemäßen Verfahren sind handelsübliche Klebstoffe des Standes der Technik verwendbar, wobei Klebstoffe aus Epoxidharzen, insbesonders zwei Komponenten aufweisende Epoxidharze bevorzugt sind.In an embodiment which is particularly suitable in the process according to the invention, the epoxy resin which is an at least 2-component resin is an amino-substituted silicic acid, in particular the general formula H₂ N-Ri-Si (OH)₃ or H₂ NR₁ -Si ( OR₂ ) S is admixed as an adhesion promoter, wherein Ri is an alkyl or alkoxy group of 1-20, preferably 1-10, in particular 1-5 C atoms and R_{2 is} an organic radical which is a methyl, ethyl, propyl - or isopropyl group can be. Most preferably, Ri contains one, two or three C atoms. If such a coupling agent is added to the epoxy resin or a corresponding amino resin, then the respective amino group reacts with the epoxy group already in the adhesive. When the appropriate resin is then applied to the flame-silicated surface, the silane-alkoxy groups react with the SiOH groups on the flame-silicate surface to form a covalent bond formed between the adhesive and the surface. Then the adhesion-promoting effect can be ensured by a continuous chemical bond, starting from the SiO₂ in the glass over the reactive (-O-Si)_X -OH layer. In principle, it is also possible to apply the amino-substituted silicic acid first to the silanol-rich silicate layer of the surface and only then to the adhesion promoter-free resin. Commercially available adhesives of the prior art can be used in the process according to the invention, adhesives composed of epoxy resins, in particular two-component epoxy resins, being preferred.

Bei Klebstoffen, die erfindungsgemäß verwendbar sind und unter 100⁰C ent- kitten, vorzugsweise in heißem Wasser, wird sichergestellt, dass der Klebstoff an keiner der beiden ursprünglich verklebten Oberflächen haftet. In diesem Fall kann die Maschinenträgerplatte aus dem heißen Wasserbad sogar automatisiert, beispielsweise durch einen Roboterarm, entnommen werden.In adhesives that are usable in the invention and cement below 100⁰ C corresponds, preferably in hot water, it is ensured that the adhesive adheres to neither of the two initially bonded surfaces. In this case, the machine support plate can even be removed from the hot water bath, for example by a robotic arm.

Ein typischer verwendeter Ingotträger besteht vorzugsweise aus Glas, wobei jedoch auch andere typisch geeignete sprödharte Materialien verwendbar sind. Der Ingotträger wird nur einmalig verwendet. In geeigneten Fällen hat es sich jedoch auch als zweckmäßig erwiesen, gleichzeitig oder anstatt der dem Sägemaschinenträger zugewandten Seite des Ingotträgers auch die zu verklebende Seite des Maschinenträgers erfindungsgemäß zu beflammen. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform werden jedoch sämtliche miteinander zu verbindenden Teile insbesonders vor dem Beflammen einer üblichen Entfettungsbehandlung unterworfen.A typical ingot carrier used is preferably glass, but other typically suitable brittle-hard materials may be used. The ingot carrier is used only once. In suitable cases, however, it has also proven to be expedient, simultaneously or instead of the side of the ingot carrier facing the saw machine carrier, to also fire the side of the machine carrier to be glued according to the invention. In a particularly preferred embodiment, however, all the parts to be joined together are subjected to a conventional degreasing treatment, in particular before flaming.

Der Vorteil, dass sowohl bei der Entkittung der Verklebung Ingotträger/Ingot als auch bei der Entkittung der Verklebung Ingotträger/Maschinenträger, Klebstoffreste stets am Ingotträger haften bleiben, ist mit allen untersuchten Klebstoffen erreicht worden, bei denen die Entkittung der Verklebung Ingotträger/Ingot unterhalb 70 °C und die Entkittung der Verklebung Ingotträger/Maschinenträger unterhalb von 150⁰C, ggf. bereits unter 130⁰C, erfolgt.The advantage that adhe- sive to the ingot carrier / ingot as well as to the decoating of the bond ingot carrier / machine carrier, adhesive residues always adhere to the ingot carrier, has been achieved with all examined adhesives, in which the decoating of the bond ingot carrier / ingot below 70 ° C and the decoating of the bonding Ingotträger / machine carrier below 150⁰ C, possibly already below 130⁰ C, takes place.

Das erfindungsgemäße Beflammen, vorzugsweise das Beflammen der In- gotträgerplatte, ist einsetzbar für ein Sägen mit allen bekannten Sägeslurries. Das heißt, es sind glykolbasierte Sägeslurries, ölbasierte Sägeslurries als auch wasserbasierte Sägeslurries verwendbar. Damit sind sogar Sägeslurries verwendbar, die während des Sägeprozesses den ausgehärteten Klebstoff zum Quellen bringen. Quellen bedeutet in diesem Fall, dass der ausgehärtete Kleb- stoff einen Massenzuwachs durch Aufnahme der Trägerflüssigkeit erfährt. Dabei ist der Einsatz ölbasierter Sägeslurries generell unkritisch, da bei diesen der ausgehärteten Klebstoff keine Massenzunahme erfährt. Aber bei Verwendung von Sägeslurries auf Glykolbasis, welche für die Produktion verfügbare Klebstoffe typischerweise eine Massenaufnahme um 1-4 % während des Sägens erfahren, entfaltet die erfindungsgemäße Lösung ihr besonderes Anwendungspotential. Klebstoffe, welche besonders wünschenswerte Eigenschaften besitzen, aber wegen zu geringer Klebkraft (Druckscherfestigkeit) unter Einsatzbedingungen für glykolbasierte Sägeslurries nicht ohne weiteres eingesetzt werden können, sind bei Anwendung des Beflammens der Ingotträgerplatte aus Glas anwendbar, weil die Druckscherfestigkeit der Klebverbindung dadurch von Werten von unter 3,5 MPa auf werte von größer 3,5 MPa erhöht wird.The flaming according to the invention, preferably the flaming of the intradent carrier plate, can be used for sawing with all known sawing slurries. That is, glycol-based saw slurries, oil-based saw slurries, as well as water-based saw slurries are usable. This even Sägeslurries can be used, which cause the cured adhesive to swell during the sawing process. Sources in this case means that the cured adhesive substance undergoes an increase in mass by absorption of the carrier liquid. The use of oil-based Sägeslurries is generally not critical, since in these the cured adhesive undergoes no mass increase. However, when using glycol based sawing slurries, which are available for production typically have a 1-4% mass intake during sawing, the solution of the present invention has particular application potential. Adhesives which have particularly desirable properties, but can not be readily used due to insufficient adhesive force (shear compressive strength) under glycol glycol saw blade application conditions, are applicable when the glass ingot support plate is flame-treated because the compressive shear strength of the adhesive bond is therefore less than 3 5 MPa is increased to values of greater than 3.5 MPa.

In einer bevorzugten Ausführungsform für die Verklebung von Ingotträgerplatte mit der Maschinenträgerplatte enthält das Epoxidharz ein Füllmaterial, das ggf. teilchenförmig ist, und zwar insbesonders ein Füllmaterial, welches in einer geeigneten Umgebung, insbesonders unter Temperatureinwirkung quillt. Derartige Klebstoffe sind z. B. von der Valtech Corporation/USA bzw. der Fa. DE- LO/Deutschland erhältlich, jedoch entweder noch nicht oder nur beschränkt nach dem Stand der Technik produktionstauglich verwendbar. Derartige Füllmaterialien sind insbesonders feinteilig und können sowohl organische als auch mineralische Füllmaterialien, wie beispielsweise Silikate oder Silikatgemische sein. Organische Materialien sind beispielsweise Cellulose bzw. dessen Derivate oder auch Polyvinylpyrolidon. In einer weiteren geeigneten erfindungsgemäßen Ausführungsform enthält der Klebstoff als Füllstoff ein sich unter Blasenbildung zersetzendes Mittel, wobei die Blasenbildung je nach gewähltem Mittel thermisch und/oder durch ein geeignetes Reagens erfolgen kann. Derartige Mittel sind dem Fachmann z. B. als Alkylenamine bekannt oder lassen sich durch einfache Versuche ermitteln.In a preferred embodiment for the bonding of Ingotträgerplatte with the machine support plate, the epoxy resin contains a filler material, which may be particulate, in particular a filler, which swells in a suitable environment, especially under the action of temperature. Such adhesives are z. B. from Valtech Corporation / USA or DE-LO / Germany available, but either not yet or only limited to the state of the art suitable for production. Such fillers are particularly finely divided and can be both organic and mineral fillers, such as silicates or silicate mixtures. Organic materials include cellulose or its derivatives or polyvinylpyrolidone. In a further suitable embodiment according to the invention, the adhesive contains as filler a blistering agent which can be blistered thermally and / or by a suitable reagent, depending on the agent chosen. Such agents are the expert z. B. known as alkyleneamines or can be determined by simple experiments.

In einer bevorzugten Ausführungsform für die Verklebung von Ingot und In- gotträger hat es sich als zweckmäßig erwiesen, ein Klebematerial, insbesonders ein Epoxidmaterial zu verwenden, welches nicht thermisch sondern im Sauren oder Alkalischen bei niederen Temperaturen, d. h. unterhalb 50⁰C bzw. unterhalb 45⁰C vorzugsweise in einem sauren oder alkalischen Medium entkittet. Dabei sind jedoch Mindesttemperaturen oberhalb der Raumtemperatur, insbesonders oberhalb von 30⁰C, vorzugsweise oberhalb von 35⁰C bevorzugt. Typische pH-Werte betragen im sauren kleiner 4, im alkalischen mindestens 9, vorzugsweise mindestens 10 und besonders mindestens 12.In a preferred embodiment for the bonding of ingot and inert resin, it has proved expedient to use an adhesive material, in particular an epoxy material, which is not thermally but in the Acidic or alkaline at low temperatures, ie below 50⁰ C or below 45⁰ C, preferably in an acidic or alkaline medium entkittet. However, minimum temperatures above room temperature, especially above 30^° C., preferably above 35^° C., are preferred. Typical pH values in acidic are less than 4, in alkaline at least 9, preferably at least 10 and especially at least 12.

Nach dem Zersägen des Ingots in Wafer werden entsprechend vorliegender Erfindung folgende Prozessschritte durchgeführt:After sawing the ingot into wafers, the following process steps are carried out according to the present invention:

Als erstes werden die gebildeten Wafer üblicherweise mit einer dem Stand der Technik entsprechenden Waschlösung gewaschen um anhaftende Sägeslurrys zu entfernen. Derartige kommerziell erhältliche Waschlösungen enthalten Wasser, mindestens einen Reiniger und Tenside. Als zweites werden sie in einem sauren oder alkalischen warmen Tauchbad entkittet, wobei unterstützend noch Ultraschall in das Tauchbad eingekoppelt werden kann, um das chemische Lösen der Klebeverbindung mechanisch zu unterstützen. Es hat sich gezeigt, dass infolge des Beflammens des Ingotträgers sich die Klebeverbindung nicht bereits während des Sägeprozesses löst, sondern stets erst während des Ent- kittungsprozesses. Bei diesem Entkittungsprozess ist der erfindungsgemäß erreichte entscheidende neue Vorteil, dass sämtliche Klebstoffreste an der Glasplatte haften bleiben. Dies gelingt besonders gut, wenn der Ingoträger nicht wie nach dem Stand der Technik auf eine Rauhigkeit von Rz > 20 μm aufgeraut wurde, sondern völlig glatt belassen wurde. Lediglich ein Entfetten der Oberfläche ist erforderlich. Dadurch, dass sämtliche Klebstoffreste an der Glasplatte verbleiben, gelangen sie nicht in das bzw. die Reinigungsbäder. Diese nach Stand der Technik meist in Fadenform auftretenden Klebstoffreste treten bei der erfindungsgemäßen Vorgehensweise nicht auf und müssen daher nicht mühsam und manuell entfernt werden. Ein vollautomatisch ablaufender Reinigungs- prozess ohne Notwendigkeit manueller Eingriffe ist daher erfindungsgemäß möglich.First, the formed wafers are usually washed with a prior art washing solution to remove adherent sawing slurries. Such commercially available washing solutions contain water, at least one cleaner and surfactants. Second, they are entkittet in an acidic or alkaline immersion bath, wherein supportive ultrasound can be coupled into the dipping bath to mechanically assist the chemical release of the adhesive bond. It has been shown that, as a result of the flame-proofing of the ingot carrier, the adhesive bond does not dissolve already during the sawing process, but always only during the de-cementing process. In this Entkittungsprozess the inventively achieved decisive new advantage that all adhesive residues adhere to the glass plate. This succeeds particularly well when the ingot support was not roughened to a roughness of Rz> 20 microns as in the prior art, but was left completely smooth. Only a degreasing of the surface is required. The fact that all adhesive residues remain on the glass plate, they do not get into the or the cleaning baths. These adhesive residues, which usually occur in the form of threads according to the prior art, do not occur in the procedure according to the invention and therefore do not have to be laboriously and manually removed. A fully automatic cleaning process without the need for manual intervention is therefore possible according to the invention.

Zum Verkleben von Ingotträger und Maschinenträger werden vorzugsweise Klebstoffe eingesetzt, die infolge erhöhter Temperatur entkitten, aber bei den niedrigeren Entkittungstemperaturen der Verklebung lngot / Ingotträger noch ihre völlige Klebewirkung behalten. Erfindungsgemäß werden für diesen Zweck Klebstoffe verwendet, welche vorzugsweise einen Erweichungspunkt oberhalb 60⁰C, insbesonders oberhalb 70⁰C aufweisen, wobei Klebstoffe mit einem Erweichungspunkt oberhalb 80⁰C besonders bevorzugt sind. Zweckmäßig sind Klebstoffe, die sowohl bei den beim Sägen herrschenden Temperaturen als auch bei den während der Entkittung der Verklebung von Ingotträger und Ingot herrschende Temperaturen ausreichend fest sind und die vorzugsweise bei Temperaturen unterhalb 150⁰C, insbesonders unterhalb 130⁰C erweichen, wobei solche Klebstoffe mit einem Erweichungspunkt von kleiner 100⁰C bevorzugt sind, ganz besonders bevorzugt sind Klebstoffe mit einem Erweichungspunkt von kleiner 97⁰C.For bonding of Ingotträger and machine carrier adhesives are preferably used, which auskitten due to elevated temperature, but in the lower Entkittungstemperaturen the bonding Ingot / Ingotträger still retain their complete adhesive effect. According to the invention adhesives are used for this purpose, which preferably have a softening point above 60⁰ C, especially above 70⁰ C, with adhesives having a softening point above 80⁰ C are particularly preferred. Suitably are adhesives which are sufficiently strong in both the prevailing during sawing temperatures and at the prevailing during the Entkittung the bonding of Ingotträger and Ingot temperatures and soften preferably at temperatures below 150⁰ C, in particular below 130⁰ C, with such adhesives are preferred with a softening point of less than 100⁰ C, very particularly preferred are adhesives having a softening point of less than 97⁰ C.

Diese Klebstoffe entkitten auf eine Art, in der kleinste homogen verteilte Füllstoffpartikel unter Temperatureinwirkung quellen und die innerhalb der Klebstoffschicht herrschenden Bindungen aufbrechen. Nach diesem Mechanismus funktionieren vor allem Klebstoffe die zwischen 150⁰C und 100⁰C entkitten.These adhesives entkitten in a way in the smallest homogeneously distributed filler particles swell under the influence of temperature and break the bonds prevailing within the adhesive layer bonds. According to this mechanism, especially adhesives work between 150⁰ C and 100⁰ C auskitten.

Besonders bevorzugte Füllmaterialien für eine andere Art der bei höherer Temperatur entkittenden Klebstoffe sind solche, die in heißem Wasser aufquellen und dadurch entkitten. Bei diesen Klebstoffen ist im Entkitungstemperaturbe- reich von 100⁰C bis 80⁰C eine Blasenbildung zu beobachten, die das Aufbrechend der Klebeverbindung begleitet. Eine Entkittung in heißem Wasser hat gegenüber der Entkittung in einem Ofen den Vorteil, dass die Maschinenträger- platte automatisiert, z. B. durch einen Roboterarm inkl. Greifer, aus dem heißen Wasserbad entnommen werden kann.Particularly preferred fillers for another type of higher temperature detackifying adhesives are those which swell in hot water and thereby kitted off. With these adhesives is the formation of bubbles in the Entkitungstemperaturbe- range from 100⁰ C to 80⁰ C to observe that accompanies the breaking open of the adhesive bond. Entkittung in hot water has the advantage over the Entkittung in a furnace that the machine support plate automated, z. B. by a robotic arm incl. Gripper, can be removed from the hot water.

Im Falle einer Erweichung des Klebstoffes in einem Ofen und nachfolgendem Lösen der Klebeverbindung mittels mechanischen Hilfsmitteln (z. B. Spachtel) gelingt es durch das Beflammen der Oberfläche des Ingotträgers, dass der Klebstoff vollständig an der Ingotträgerplatte haften bleibt. Besonders gut gelingt dies, wenn die Oberfläche der Ingotträgerplatte aus vorzugsweise Glas nicht aufgeraut sondern glatt belassen, jedoch entfettet und erfindungsgemäß beflammt wurde. Nach der Entkittung von Ingotträger und Maschinenträger haften am Maschinenträger keine Klebstoffreste mehr an. Vor dem Wiedereinsatz der Maschinenträgerplatte wird diese jedoch vorzugsweise gereinigt, um eine uneingeschränkte Wiederverwendung der Maschinenträgerplatte zu gewährleisten und eine reproduzierbar gute Oberflächenqualität vor dem erneuten Beflammen zu sichern. Erst durch das erfindungsgemäße Vorgehen muss diese Reinigung nicht mehr manuell mittels Spachtel u. dgl. und chemisch erfolgen sondern es reicht eine chemische Reinigung aus. Diese chemische Reinigung ist jedoch automatisiert in einer Reinigungsanlage (z. B. Miele Industriereinigungsanlage) möglich.In the case of a softening of the adhesive in an oven and subsequent release of the adhesive bond by means of mechanical aids (eg spatula), flaming the surface of the ingot carrier makes it possible for the adhesive to adhere completely to the ingot carrier plate. This is achieved particularly well if the surface of the ingot carrier plate made preferably of glass does not roughen but remains smooth, but has been degreased and flamed according to the invention. After decoating of ingot carrier and machine carrier Adhere to the machine carrier no more adhesive residues. However, before reuse of the machine base plate, it is preferably cleaned to ensure unrestricted reuse of the machine base plate and to ensure reproducibly good surface quality from reflame. Only by the procedure according to the invention, this cleaning no longer has to be done manually by spatula u. Like. And chemically done but it is sufficient for a dry cleaning. However, this dry cleaning is possible automatically in a cleaning plant (eg Miele industrial cleaning plant).

Maschinenträgerplatten bestehen typischerweise aus Aluminium oder aus Edelstahl.Machine support plates are typically made of aluminum or stainless steel.

Wird das erfindungsgemäße Beflammen bei Verwendung einer Maschinenträgerplatte aus Aluminium angewendet, entstehen an der Oberfläche Alumosili- kate, die einen sehr guten Haftübergang von Aluminium und Epoxydharzklebstoff bilden. Das nach dem Stand der Technik erforderliche mechanische Entfernen eine AI₂O₃-Schicht von der Oberfläche der Aluminiumplatte insbesonders vor der erneuten Verklebung kann durch das erfindungsgemäße Beflammen entfallen.If flaming according to the invention is used when using a machine support plate made of aluminum, aluminum silicates are formed on the surface, which form a very good adhesion transition of aluminum and epoxy resin adhesive. The required according to the prior art mechanical removal of an AI₂ O₃ layer of the surface of the aluminum plate in particular before re-bonding can be omitted by the invention Flammen.

Wird eine Maschinenträgerplatte aus Edelstahl verwendet, wird zweckmäßigerweise ein hochlegierter Stahl verwendet, z. B. mit einem Si-Gehalt von 0,5 bis 3 % (z. B. eines Stahles mit der Standard-Nr. 1.2085, bzw. der DIN-Bezeich- nung X33CrS 16). So haben die Moleküle des polymeren (SiO)x-Netzwerkes die Möglichkeit, Brückenbindungen zum Si des hochlegierten Stahles auszubilden, womit die Klebeeigenschaften verbessert werden.If a machine base plate made of stainless steel, a high-alloy steel is suitably used, for. With a Si content of 0.5 to 3% (eg a steel with the standard No. 1.2085, or the DIN designation X33CrS 16). Thus, the molecules of the polymeric (SiO) x network have the possibility of forming bridge bonds to the Si of the high-alloy steel, thus improving the adhesive properties.

Fig. 1 zeigt einen typischen Aufbau der Verklebungen eines zu sägenden Verbundes aus dem Maschinen- bzw. Sägegutträger 1 , der mittels eines ersten Klebstoffes 2 an die obere Seite des Ingotträgers 3 gebunden ist, an die wiederum der Ingotträger 4 mittels einem zweiten Klebstoff 5 geklebt ist. Fig. 2 zeigt die nach dem Stand der Technik erforderlichen Prozesschritte am Beispiel der Verwendung einer Maschinenträgerplatte aus Aluminium.1 shows a typical structure of the bonds of a composite to be cut from the machine or Sägegutträger 1, which is bound by means of a first adhesive 2 to the upper side of the Ingotträgers 3, to which in turn the Ingotträger 4 glued by means of a second adhesive 5 is. 2 shows the process steps required according to the prior art using the example of the use of a machine support plate made of aluminum.

Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung eines Wafersägeprozesses unter Anwendung der erfindungsgemäßen Vorgehensweise.3 shows a schematic representation of a wafer sawing process using the procedure according to the invention.

Die vorliegende Erfindung soll an den folgenden Beispielen näher erläutert werden.The present invention will be explained in more detail by the following examples.

Beispiel 1 :Example 1 :

In einen glykolbasierten Sägeprozess gemäß dem Stand der Technik bringt das Glykol den zwischen Si-Ingot mit dem Ingotträger vorliegenden ausgehärteten Klebstoff zum Quellen. Die Ursache dafür ist das Vorliegen glykolähnlicher Verbindungen im ausgehärteten Epoxydharz, die durch Glykol gelockert werden.In a prior art glycol-based sawing process, the glycol swells the cured adhesive present between Si ingot and the ingot carrier. The reason for this is the presence of glycol-like compounds in the cured epoxy resin, which are loosened by glycol.

Tabelle 1 zeigt die Veränderung der Druckscherfestigkeit einer Verklebung einer nach Stand der Technik aufgerauten Glasplattenoberfläche mit einer Siliziumoberfläche unter Verwendung des handelsüblichen Klebstoffes Araldit 2101 bzw. LMD 2684 in Abhängigkeit der Einlagerungszeit in Glykol bei 40⁰C. Eine Einlagerung von 4 h bei 40⁰C simuliert dabei die Einsatzbedingungen, denen die Verklebung im realen Prozess ausgesetzt sein würde.Table 1 shows the change in the compressive shear strength of a bonding of a roughened by the prior art glass plate surface with a silicon surface using the commercial adhesive Araldit 2101 or LMD 2684 depending on the storage time in glycol at 40⁰ C. A storage of 4 h at 40⁰ C. simulates the operating conditions to which the bonding would be exposed in the real process.

Es wurde eine entfettete, jedoch nicht aufgeraute Glasplatte, mit einer Silan enthaltenden Propangasflamme kontinuierlich, d. h. die gesamte Oberfläche gleichmäßig beflammt. Bei einer derartigen Beflammung wurde die jeweilige Glasplatte mit einer Geschwindigkeit von 200 mm/s an dem spitzen Kegel der Flamme mit einem Abstand von 35 mm vorbeigeleitet. Anschließend wurden diese Glasplatten sowohl mit einem Siliziumblock als auch mit einem Edelstahl bzw. einer Aluminiumplatte verklebt und die jeweilige Druckscherfestigkeit nach der in der Delo-Prüfnorm 5 (DELO Industrie Klebstoffe, D-86899 Landsberg) beschriebenen Weise bestimmt. Dabei wurde diese erfindungsgemäße Verklebung mit Verklebung gemäß dem Stand der Technik verglichen, bei denen die jeweilige zu verklebende Oberfläche aufgeraut und entfettet wurde. Die Ergebnisse sind in der folgenden Tabelle dargestellt.It was a degreased, but not roughened glass plate, with a silane-containing propane gas flame continuously, that flames the entire surface evenly. With such flame treatment, the respective glass plate was passed at a speed of 200 mm / sec at the sharp cone of the flame at a distance of 35 mm. Subsequently, these glass plates were bonded both to a silicon block and to a stainless steel or aluminum plate and the respective compressive shear strength was determined in accordance with the method described in Delo Test Standard 5 (DELO Industrie Klebstoffe, D-86899 Landsberg). In this case, this bonding according to the invention was compared with bonding according to the prior art, in which the each surface to be bonded was roughened and degreased. The results are shown in the following table.

Tabelle 1 enthält den Vergleich einer Verklebung einer rauhen Glasprobe nach Stand der Technik zu Verklebung einer erfindungsgemäß glatten und beflammten (flammensilikatisierten) Glasprobe mit einer Siliziumprobe.Table 1 shows the comparison of a bonding of a rough glass sample according to the prior art for bonding a glass sample according to the invention smooth and flamed (flame-silicate) with a silicon sample.

Tabelle 1Table 1

Es zeigt sich, dass durch Wegfall des Aufrauens der Glasplatte und stattdessen Durchführung einer Beflammung eine Steigerung der Festigkeit der Verklebung erreicht wird.It turns out that by eliminating the roughening of the glass plate and instead carrying out a flame treatment, an increase in the strength of the bond is achieved.

Dieser Verbesserungseffekt ist nicht nur bei dem im Beispiel 1 verwendeten Klebstoff erreicht. Er tritt insbesonders bei den Klebstoffen besonders deutlich in Erscheinung die einen Haftvermittler enthalten. Dabei ist bereits ein Gehalt von 1 % völlig ausreichend.This improvement effect is achieved not only in the adhesive used in Example 1. In particular, it is particularly evident in the adhesives which contain a bonding agent. Already a content of 1% is completely sufficient.

Die erhöhte Druckscherfestigkeit ist vor allem auf die Festigkeit des Klebstoffes an der Glasplatte zurückzuführen. Deshalb ist zu beobachten, dass bei der Ent- kittung einer nach Experiment 2 durchgeführten Verklebung von Ingot und Glasplatte nach dem erfolgten Wafersägen alle Klebstoffreste an der Glasplatte hängen bleiben. Es gelangten kaum Reste des Klebstoffes in das Entkittungs- bad mit pH-Wert < 4.The increased compressive shear strength is mainly due to the strength of the adhesive on the glass plate. For this reason, it can be observed that, when a gluing of ingot and glass plate, which has been carried out according to Experiment 2, has been removed, all adhesive residues remain hanging on the glass plate after wafer sawing has taken place. Hardly any remnants of the adhesive penetrated into the Entkittungs- bath with pH <4.

Hervorzuheben ist, dass die gesteigerte Druckscherfestigkeit ausreicht, um In- gots mit geschliffener Oberfläche mit einer Oberflächenrauigkeit von Rz kleiner 1 μm so fest mit dem Ingotträger zu verkleben, dass sich während des Sägens weder der Ingot noch einzelne Wafer ungewollt vom Ingotträger lösen und abfallen. Beispiel 2:It should be emphasized that the increased compressive shear strength is sufficient to bond insects with a ground surface with a surface roughness of less than 1 μm to the ingot support so firmly that neither the ingot nor individual wafers unintentionally detach from the ingot support during sawing and fall off. Example 2:

Beispiel 2 betrifft die Verklebung von Ingotträgerplatte mit der Maschinenträger- platte. Tabelle 2 zeigt den Vergleich zwischen Stand der Technik und einer ersten Variante der erfindungsgemäßen Lösung.Example 2 relates to the bonding of ingot carrier plate with the machine carrier plate. Table 2 shows the comparison between the prior art and a first variant of the solution according to the invention.

Die Beflammung der Glasplatte erfolgt wie in Beispiel 1 beschrieben.The flame treatment of the glass plate is carried out as described in Example 1.

Es wird die Verklebung einer glatten bzw. rauen Glasplatte unter Verwendung des handelsüblichen Klebstoffes Valtron 1230 mit einer Metallplatte aus Aluminium betrachtet, wobei der Klebstoff nach Herstellerangaben ausgehärtet wurde und die Belastung durch den Sägeprozess durch Einlagerung über 4 h in Glyol bei 40⁰C simuliert wurden. Die Erweichung des füllstoffhaltigen Klebstoffes erfolgt dabei in einem Ofen bei 110⁰C (30 min.) und durch manueller Entkittung unter Benutzung einer Spachtel.It is considered the bonding of a smooth or rough glass plate using the commercially available adhesive Valtron 1230 with a metal plate made of aluminum, wherein the adhesive was cured according to the manufacturer and the burden of the sawing process by incorporation over 4 h in glycol at 40⁰ C were simulated , The softening of the filler-containing adhesive takes place in an oven at 110⁰ C (30 min.) And by manual Ent Kittung using a spatula.

Tabelle 2Table 2

Die Anwendung der entsprechend erfindungsgemäßem Experiment 4 gewählten Bedingungen im praktischen Produktionsprozess bewirkt, dass nach der Entkittung sämtlicher Klebstoff an der Glasplatte anhaftet. Beispiel 3:The application of the conditions according to the invention according to Experiment 4 in the practical production process has the effect that after the removal of adhesive all the adhesive adheres to the glass plate. Example 3:

Beispiel 3 betrifft die Verklebung von Ingotträgerplatte mit der Maschinenträger- platte. Tabelle 3 zeigt, wie ein nach Stand der Technik verfügbarer, aber bei Verklebung nach dem Stand der Technik nicht in der Produktion einsetztbarer Klebstoff durch die Anwendung einer ersten Variante des erfindungsgemäßen Vorgehens doch eingesetzt werden kann. Die Beflammung der Glasplatte erfolgt wie in Beispiel 1 beschrieben.Example 3 relates to the bonding of ingot carrier plate with the machine carrier plate. Table 3 shows how an adhesive that is available according to the prior art but can not be used in production in the case of bonding according to the prior art can still be used by applying a first variant of the process according to the invention. The flame treatment of the glass plate is carried out as described in Example 1.

Der dargestellte Stand der Technik in Versuch 6 zeigt, dass die mit dem Klebstoff Valtron 4110 erreichte Druckscherfestigkeit der Verklebung einer Platte aus hochlegiertem Stahl mit DIN-Bezeichnung X33CrS16 mit der rauen Glasplatte unterhalb der geforderten 3,5 MPa bleibt und damit in der Produktion nur eingeschränkt verwendbar ist. Die Aushärtbedingungen des Klebstoffes wurden wie vom Hersteller empfohlen gewählt. Im Experiment 6 nach Stand der Technik wurde der vom Hersteller empfohlenen Haftvermittler angewendet. Die Belastung durch den Sägeprozess durch Einlagerung über 4 h in Glyol bei 40⁰C wurde wiederum simuliert. Die Erweichung des füllstoffhaltigen Klebstoffes erfolgt dabei in einem Ofen bei 110⁰C (30 min.). Die Benutzung einer Spachtel kann den Ablöseprozess unterstützen ist aber nicht zwingend erforderlich. Der Maschinenträger löst sich so leicht und sauber, dass ein automatisiertes Abnehmen der Maschinenträgerplatte möglich ist.The prior art shown in experiment 6 shows that the compressive shear strength of the bonding of a plate made of high-alloy steel with DIN designation X33CrS16 with the rough glass plate achieved with the adhesive Valtron 4110 remains below the required 3.5 MPa and thus only limited in production is usable. The curing conditions of the adhesive were chosen as recommended by the manufacturer. Prior art experiment 6 used the manufacturer's recommended primer. The burden of the sawing process by storage for 4 h in glycol at 40⁰ C was in turn simulated. The softening of the filler-containing adhesive takes place in an oven at 110⁰ C (30 min.). The use of a spatula may assist the peeling process but is not mandatory. The machine carrier comes off so easily and cleanly that an automated removal of the machine carrier plate is possible.

Tabelle 3 Die Anwendung der entsprechend erfindungsgemäßem Experiment 7 gewählten Bedingungen im praktischen Produktionsprozess bewirkt, dass nach der Entkittung sämtlicher Klebstoff an der Glasplatte anhaftet. Eine mechanische Entfernung von Klebstoff von der metallischen Maschinenträgerplatte ist nicht erforderlich.Table 3 The application of the conditions according to the invention according to Experiment 7 in the practical production process has the effect that after the removal of adhesive, all the adhesive adheres to the glass plate. A mechanical removal of adhesive from the metallic machine base plate is not required.

Beispiel 4:Example 4:

Beispiel 4 betrifft die Verklebung von Ingotträgerplatte mit der Maschinenträger- platte. Tabelle 4 zeigt den Vergleich zwischen dem mit nach Stand der Technik erhältlichen Klebstoff und einer zweiten Variante des erfindungsgemäßen Vorgehens.Example 4 relates to the bonding of ingot carrier plate with the machine carrier plate. Table 4 shows the comparison between the adhesive obtainable with the prior art and a second variant of the procedure according to the invention.

Die Beflammung der Glasplatte bzw. zusätzlich der Maschinenträgerplatte in Experiment 7 erfolgt wie in Beispiel 1 beschrieben.The flame treatment of the glass plate or additionally the machine support plate in Experiment 7 is carried out as described in Example 1.

Beide Experimente 6 und 7 sind erfindungsgemäße Experimente. Sie zeigen, wie durch die Beflammung von Ingotträgeroberfläche aus Glas und Maschinen- trägeroberfläche aus hochlegiertem Stahl eine Steigerung der Druckscherfestigkeit erreicht werden kann.Both Experiments 6 and 7 are experiments according to the invention. They show how an increase in compression shear strength can be achieved by flame-treatment of the glass ingot support surface and high-alloy steel machine base surface.

Die Aushärtbedingungen wurden zuvor optimiert und dabei festgestellt, dass diese anders als vom Hersteller des Klebstoffes empfohlen gewählt werden müssen. Die Belastung durch den Sägeprozess durch Einlagerung über 4 h in Glykol bei 40⁰C wurde wiederum simuliert. Die Erweichung des Klebstoffes erfolgte durch Einlagerung in 85⁰C warmen Wasser über 20 min.The curing conditions have been previously optimized and found to be different than recommended by the manufacturer of the adhesive. The burden of the sawing process by storage for 4 h in glycol at 40⁰ C was in turn simulated. The softening of the adhesive was carried out by storage in 85⁰ C warm water for 20 min.

Überraschenderweise zeigte sich, dass auch in Experiment 7 sich der Klebstoff von beiden Seiten der verklebten Flächen löste und nicht wie aus Experiment 4 und 7 zu erwarten wäre, an der Glasplatte haften blieb.Surprisingly, it was found that in Experiment 7 too, the adhesive dissolved from both sides of the bonded surfaces and would not adhere to the glass plate as would be expected from Experiments 4 and 7.

Tabelle 4Table 4

Die Anwendung der entsprechend erfindungsgemäßem Experiment 7 gewählten Bedingungen im praktischen Produktionsprozess ermöglicht es, die Entkit- tung zu automatisieren. Zum Beispiel gestattet das Nichtanhaften des Klebstoffes am Maschinenträger, diesen z. B. mittels eines Roboterarmes aus dem heißen Wasserbad zu heben. Vor dem Wiedereinsatz sollte er ebenfalls automatisch eine automatische Reinigung durchlaufen.The application of the conditions according to the invention according to Experiment 7 in the practical production process makes it possible to automate the decarburization. For example, the non-adherence of the adhesive to the machine frame allows this z. B. by means of a robotic arm to lift from the hot water. He should also automatically go through an automatic cleaning before re-use.

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Claims

Patentansprüche claims

1. Verfahren zur Herstellung von Wafern aus Ingots umfassend Verkleben des Ingots mit einer ersten Oberfläche eines Ingotträgers, Zerteilen des Ingots in Waferscheiben und Lösen der Verklebung unter Freisetzung der so gebildeten Waferscheiben, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Oberfläche des Ingotträgers eine (SiO)_x-Schicht aufweist.Anspruch [en] A process for producing wafers from ingots comprising bonding the ingot to a first surface of an ingot carrier, dividing the ingot into wafer slices and dissolving the bond to release the wafer slices so formed, characterized in that the first surface of the ingot carrier is a (SiO)_x Layer has.

2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die (SiO)_x- Schicht mittels einer reaktiven Si-Verbindung aufgebracht wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the (SiO)_x - layer is applied by means of a reactive Si compound.

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Zerteilen des Ingots mit einer Mehrfachdrahtsägevorrichtung erfolgt, die einen Sägegutträger aufweist.3. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the cutting of the ingot takes place with a Mehrfachdrahtsägevorrichtung having a Sägegutträger.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Ingotträger eine zweite Oberfläche aufweist, die mit einem Sägegutträger fest verbunden ist.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the ingot carrier has a second surface which is fixedly connected to a Sägegutträger.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Ingotträger und Sägegutträger miteinander verklebt sind.5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that Ingotträger and Sägegutträger are glued together.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Oberfläche des Ingotträgers und/oder die erste Oberfläche des Sägegutträgers eine (SiO)_x-Schicht aufgebracht enthalten.6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the second surface of the ingot carrier and / or the first surface of the Sägegutträgers an (SiO)_x layer applied.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die (SiO)_x-Schicht durch Flammensilikatisierung der ersten Oberfläche mit einem Gemisch aus einem brennbaren Gas/Brennsauerstoff und einer oxidierbaren Si-Verbindung erzeugt wird.7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the (SiO)_x layer is produced by flame silicization of the first surface with a mixture of a combustible gas / fuel oxygen and an oxidizable Si compound.

8. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas ein Kohlenwasserstoffgas ist.8. The method according to claim 3, characterized in that the gas is a hydrocarbon gas.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Ingotträger eine Glasplatte ist.9. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the ingot carrier is a glass plate.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verklebung mittels eines erweichbaren Epoxidharzes erfolgt.10. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the bonding takes place by means of a softenable epoxy resin.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass Bestandteile des Epoxidharzes unter Temperatureinwirkung aufquellen.11. The method according to claim 10, characterized in that components of the epoxy resin swell under the influence of temperature.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 - 11 , dadurch gekennzeichnet, dass das Epoxidharz bei einer Temperatur von unter 150⁰C erweichbar ist.12. The method according to any one of claims 10 - 11, characterized in that the epoxy resin softenable at a temperature of below 150⁰ C.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 - 12, dadurch gekennzeichnet, dass Ingot und Ingotträger mittels eines Klebstoffes verbunden werden, der eine andere Erweichungstemperatur aufweist, als das für die Verklebung von Ingot und Sägegutträger verwendete Adhäsiv.13. The method according to any one of claims 6-12, characterized in that ingot and Ingotträger are connected by means of an adhesive having a different softening temperature, as the adhesive used for the bonding of ingot and Sägutgutträger.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 - 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Klebstoff jeweils am Ingotträger besser haftet, als an In- got/Wafer und/oder am Sägegutträger.14. The method according to any one of claims 6 to 13, characterized in that the adhesive adheres better to the ingot carrier, in particular, than to injured / wafer and / or to the sawmill carrier.

15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zum Verbinden von Ingot und Ingotträger verwendete Klebstoff ein höheres Adhäsionsvermögen aufweist, als der zum Verbinden von Sägegutträger und Ingotträger verwendete Klebstoff.15. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the adhesive used for bonding ingot and Ingotträger has a higher adhesiveness than the adhesive used to connect Sägegutträger and Ingotträger.

16. Wafer erhältlich nach den Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 15.16. Wafer obtainable by the method according to one of claims 1-15.

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