TW311934B - - Google Patents

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311934 A7 B7 五、發明説明（ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 發明頰域 本發明《釀於在,電子工業用來清盼養艚電路基板之不含 過氟化氬清潔Λ，更鮮麯言之，，清涂晶_及貢孔之金屬 污染物盞緣持轟_表兩乎順·埘用本發《之方法，清潔瘌 不含過氧化ItJH可清潔此類轟_表面《瓣其無錶鋼不足且 秦續遂一步如HF之试«以去繚驀_表面氡化物V 發明背景 積镢電路（1C)基教之清酿，州如矽*钃，以不含金屬之 鲦性濬液去繚有機舆金屬污染物最廣爲實用•一禮臂用之 此赛錶性寒液稱爲SC-1成RCA-1以及钇含氫氡化鐘、過 氧化氳，及水（1:1:5之30%H2〇2，28%NH4OH及水） 之熟水往羈合物用以清繚矗JR表驀之有機雜f典鋼污染 物•不同之清瞭瓣象均可爾SC-15&成，其中有，矽* 於製造後即行清潔、此類轟_在明輕氧化物成長之曹即行 清潔、1C |1粒後續之氡化物籙籌殲«物之去聆，以及擇瓤 及抗麵銅粒之去.· 矗腾表#以SC-1成RCA-1濬液處璞後，一舰繼以轔爲 SC-2成RCA-2之A酿牲浓液去除以SC-1成RCA-1未觸 及之金屬·此热酸性麻液SC-2包#遢氧化氬、雇酸及水 (1:1:5 之 30%H2〇2，37%HC1 及 H2〇> · 兩藿濬液，SC-1及SC-2均含過氧化氳•暹氧化氳霣於 連績形成保護氡化物漕以保謹矽金屬見摹於黢成鲦之中而 坊篯爾成逶免咿表#粒縫化· 漱 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 五、發明説明（2). Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 秦論如付，轟画表兩續無氡化物方遍於遘一爹不續氧化 物表兩之製輕•通常，還必須1»去清潔瘳液中jiL氧化I形 成之保讓氧化物層•以常m於去繚此類裱«氣化物看之材 料爲，可讒途及HF · »方中遘氣化物之存在爲此等拿液裱增β然属社之不安 定性· Λ類寒液在70*C呈现之丰生梟一般氦於1小時* SC-1濬液中過氧化氳在#窆金屬存在岭，尤鏞鵝及鐵， Μ變成不親定:蘆以连迷放*费式分解導致潜在之龙機•暹 氡化氬冓金属污染物有低蛘受度•此外，分解之過氡化氬 降氰了暹氧化氬濃度導致生產轟_遭_篯激之可魏樣《無 法爲ICIL造接受•因A，續樣充分解之遇氡化氣《且這樣 會改變瘳液銥成目而改變》液之清潔牲質*死外，暹氧化 氬寒液之6然屬性高pH镰直現不符標毕之安全性與環境鷗 切之网题· 由從？丨硒8〇1成110人-1濬液後，業有羹議使爾驗性材 料系弊氣氡化錶以清表由•供如，氳氡化季被化合 物，獅如有氣氡化W甲基錶（TMAH)成氬氣化三甲基-2-裊6基鑪（柯琳 > 岣有板導，#|如β本專利公告第3-9322 9 及 63_114132號；美·專利第 4,239,661，4,964,919 及5,2$9，SSS號及歐洲專利公香第496605親*必須聲明 的是美第4,964,919號連及矗國粒縫雈舞高密度贛體電路 裝造兩言秦法接受•再者，美鼸專利第5,207,«66聽途及 一《中燊遢氡化氣之季磬f用於異A餉相矽轟國之1〇〇 面· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) --^訂 A ! -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐〉 311934 A7 B7 明 説 明 發X- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 秦暹氧化氳存在畸，上遠鲦性表氣氧化季鏤爲基質清潔 烟中沒有任一種可產主本♦礪速成高密度输鐘電路製邊所 «之可换受粗縫极次· 本發明之β的儀提A—種清潔寒液以清繚基板之金属污 染物兩不増加表雨微縫度，其清潔Μ觚咸不必要求使用遇 氡化氳來提供裱儀氟化輪層•本之另一目的係提供一 清潔獬瓤成以清繚嘉國基板之金屬污染物而不增釦表面微 縫度蘆《下秦軋化輪矗_表面，使表爾遗於無纗氡化物表 爾之連一貴製飆*本發_之再一目的#清繚此類*表藥 之金屬污染輪而無領酿處灃爹霍成材料擇用，州如HF， 霣用於去降氧化物表面•本之另一m躁保提a—種方 法以清盼此種矗_表面之金屬污染輪而不會造成種用單一 清潔濬液务增釦矗_表夤微輪度*本發明之再再一目的係 提由一種方法及觚成以清赚此種*表爾之金羼污染物而 不增加使用驗性水寒液之表面微鐮度，更样麯官之，係使 用不含過氧化氬成其他氧化_之氮氣死豕#水瘳液•本發 、~~’—— ,, 一· · — '- — —-------一. | 一_. 一 明之甚至再再目的保提ft此種方法及觚成以清瀹處璞矗_ 内孔之抗餞瘌及鉉相殘蕾物，尤其是金屬污染物•本發明 «之再再目的《毅ft此種方法及驗性清潔瓤成以清潔*_ 及生產粒縫度抵於約25嶢，ICZ方命平均稾離介於轟國峰 高及峰谷之衊· 發明核要 一獯用來清潔微電子矗_表《以士涂金屜污染輾而不會 增加表夤微縫度之方法，使用不含過氧化氳清潔缘液，& • 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -—'訂 I ί . Λ I. Α7 Β7 經濟部中央梯準局貝工消費合作社印製 含水性、秦驗金屬綠子基f以及兩性表《法牲Μ，包振以 某籯度清潔濬液諉觸*表•一段時蹋方足以清潔矗_表 面*清潔觚成视情沉色含金屬#合瘌及/Α有蝙濬解•業發 现此韁無暹氣化氬水樣鐮清潔瓠成冓金屬污染物產生有故 轟_潸潔功效布五不會造成不符癀求之矗_粗縫度•以下 實釣之资料*實，清潔則瓤成種含單籌之鎗牲基寶董無法 產爽有故清潔功用兩且不會產生遇度之轟鼸表夤粒縫度， 哼，Z-範钃粒鐮度爲25螓氧较抵· 發明#遠 本發明方法t所用之水性、鎗性清潔««瓤成一觳括驗 牲成份，爲量α重量計JL多約25 %，α重量計一舰由約 0.05至约10%，以及兩牲表#活牲期，爲量以重量計董多 约10%，以重量計一般洳約0.001蓋约10%，《以癮清潔 觚成重董計較裱約0.01堇约董约5%·清潔Μ之其錶觚成 由水鱗成，較裱爲高地度去麟子水•依情沉而言，本發《 中使用之鐮樣清潔纽成可癱含有以重量計至多的2%之全 屬籍合辮及/成以重量計1多約5%之有義濬« · 任餌遑合之鲦性成粉可硒於本♦明之清潔鰣纽成*此等 清潔期之繚性成份较隹爲氣氧化李鏤，Μ如氳氟化《9统基 豢（fc极臬基-及统氣基·，一般_含之统基者在统基成统 氡基中有1至4俩破原子》·此等繚性材料最钱爲氳氡化W 甲基錢及氳氧化三甲基·2·Λ6基鏃（柯尊，clioliac) ·其 他有《之氬氣化季鍰實括有：氳氣化三甲基-3-泉《 基鉸、氬氣化三甲基·3-梟丁基薷、氳氧化三乙基·2·羶6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210Χ297公釐} (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --、1 Τ 第84102446號專利申請案 中文説明書修正頁(86年1月） A7 B7 五、發明説明（5 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 基銨、氩氧化三丙基-2-羥乙基銨、氫氧化三丁基_2·幾 乙基銨、氩氧化二甲基乙基-2-羥己基銨、.氩氧化二曱^ 二（2-羥乙基）銨、氫氧化單甲基三（2_羥乙基）銨氫氧 化四乙基銨、氫氧化四丙基銨、氫氧化四丁基銨、氫氧化 單甲基-三乙基銨、氫氧化單甲基三丙基銨、氫氧化單甲 基三丁基銨、氫氧化單乙基三甲基銨、氫氧化單乙基三甲 基兹、氫氧化二甲基二乙基按、氫氧化二甲基二丁基兹、 等等以及其混合物。 其他驗性成份亦可運用的包括：例如，氫氧化銨、有機 胺’尤其是鏈燒醇胺，例如乙氨基乙醇、'1._氨基_2_丙 醇、1-氨基-3 -丙醇、2-(2-氨乙氧基）乙醇、2(2_氨乙 基氨基）乙醇' 2-(2 -参乙基氨基）乙基胺等，以及其他強 有機鹼如胍》鹼性溶液包含金屬離子如鈉或鉀也可行。此 等額外之鹼性成份之混合物，尤其是氫氧化銨，與前述氫 氧化四甲烷基銨亦有效而且一般而言較佳。 本發明之水性檢性清潔劑組成包含任一種合適之兩性 表面活性劑β在本發明清潔劑組成之不同兩性表面活性 劑當中’可能述及有，例如，三曱胺乙内酯及磺基三甲 胺乙内醋如烷基三甲胺乙内酯、酰胺基烷基三甲胺乙内 醋、燒基磺基三曱胺乙内酯以及酰胺基烷基磺基三甲胺 乙内醋；氨基幾酸衍生物如兩性氧基乙酸踵'兩性丙酸 鹽、兩性二氨基乙酸鹽，以及兩性二丙酸鹽；亞胺二 酸如垸氧基烷基亞胺二酸；胺氧化物如烷基胺氧化物 本紙張尺度適财Hu家縣（CNS) A4規格（21Qx 297公釐） -----I I I--— - - - I - T — _ _ I__良 I 豸 -i . i-^、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇11934 A7 B7 五、發明説明（6) 以及燒基醵族基统基滕氧化物；氟统基磺酿鹽及氟化虓基 兩牲Λ，及其》舍輪· 以本發明清潔41纽成中有效之兩性表西活性獬爲#|，可 艇述及着，«如： 三f膝乙内_及磺墓三甲胺6内麵之通式，其中R爲 fh R-N-Rr-zr ? 燒基成，ζ·爲coo·氧so3-，Rl爲统基 成氣统基，Ι12Λ蓋多约20鴒破摩子之统基，较羲約12至 約15偭複原子，以JLR3爲统基；兩性氨基&酸鹽及兩性 丙酸鹽之通式爲 rJ-1

«6-Υ-Η Rt-X (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •Λ .j訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝

，其中R4爲至多約20俩破摩子之虼基，较隹爲約6至約15 麵破摩子，以及R5，R6, AR7备鳥單獨统基，Y爲Ο成 COO^XJ^COOH 成O.R*-COOH，其中 R* 爲统基；盎 接二酸之遒式爲 lll-COOH

r12—C»OH 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 五、發明説明（7) A7 B7 ，其中R9爲董多約20俩破>*子之统基，較隹約10至約15 養破摩子，而丨10，！^1及R 12备爲翠獨蟋基；磨氧化物 遞式爲 R16 \n

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 其中rB爲统基成Μθ-ϊίΗ-Κ15，其中Rl4爲置多约20 鵪破屬子之就基，较隹爲約12羹15餐破摩子，而R15， 17备爲單猜就基；氟统基磺酿雇及氟化统基兩牲 埘·上途兩牲化合輪统基，若無其他走義肩一舰较羲爲含 1至4餐破摩子之较瓠級统基* «本發明清潔射教成中有故之此種兩性表面活性财爲 妁，可嬝迷及，獅如，轉子基醃襞基拜基三甲腧&内饞、 麵子基醃磨基焉基二T基三T皺乙内_、麵子基騰鲁基拜 基臬基》ult»inc、二两酿辛嚀兩枝鼸、二约酸轉子基醃磨 _、二呙酿轉子基兩杜睡 '痄酿蝽子基兩牲臬乙_、二两 酿異二環氣纛约基董氬_、二希酿桂基聂氨瞻、娜子基 it族基约基磬氧化輪以及轉子嬷氧化物玖及氟化统基兩性 則，#1如3M#味化學之条潘碥得（Flmor»d>FC-100 · 本發_清潔瘳液可用以成釦入賴外成费如任舞合遍之金 屬鲁合瘌來增加形化龜力兩裱窗隹麻液中之金羼•此目的 鲁舍Λ之典蹙實州有以下有譏酸及其鹽類：乙二腧四黯酸 (EDTA> '丁二磨爾_酸、琢己就-1,2-二无鏤《9-瓣酿、 二2*三族·戍醱酿、乙二磨四两酿、（臬6基）乙二酿三醣 -10· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） n I i— n n I n π—Ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，1Τ MV ! 311934 Α7 Β7 五、發明説明（《) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 酸（HEDTA)、甲基盎扈二醋酿' 鏵二賡19*酿、磺醉三 醋酸（NT A>、#霉酸' 瀵石酸、葡藹糖酿酿*酸、甘汝 酸、革酿、酼酿、為來酿、苯乙酵敲、场％酿、乳酿、水 揚酸、苯磷二醣、*-泉基鮝妹、Ν，Ν，Ν·,Ν··&二磨·《» (▼律磷>黢，等等· 又，拜二等酸有穩蝽Μ螓釦，尤# Α二醇酸單统基酼如 n· 丁氧基矜醇，亦有鵰於龜化洗淨性舆增釦清潔_銥成之 金屬樣取纛力•较隹遊式筹忽含為二等酼翠统基靆有基》 埘以及金屬鲁合Μ兩者，較佚爲6二磬《9醋酸以及ft-了氡 基兩醇· 本發《方法中採用之清潔_觚成中，鳋性成价以纽成f 量計一般存量董多约25%，《重量計一般爲量★约0.05氩 约10%，而JL以重量計較佳爲量Α约0.1蓋约5%·兩性表 面浓樣«以f量計一般#在量篁多約丨0%，以重董計一舰 爲量AO. 001至约10%，兩且以重量計较隹爲量由约 0.01 至约5%玖及更裱爲量由约0.1至约1% * 若清潔獬鷇成色麵了金屬鲁合化舍輪，扇食屬鰲合Μ可 嫵存量蓋多约5%，以重量钟一舰爲量由约〇.〇5至的5%以 及較後爲量由約0.5%置約2%· Β樣地，若在本發《«之清 潔_觚成中如入两二螓醮有機瘳瘌，相可能存量至多约 5%，Λ重量計一般爲量_約0.05至5%且较裱爲量命约 0.5至約2% ·清潔_之其#量由木糗成，较隹爲高鯰度去 離子水· -11· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） I—!-------{《-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 -^ίβ ....... - I _ A7 ____B7五、發明説明（9 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 以本發明较值清潔纽成爲獅，可氤遂及者，獅如，一種 水»液，fc含《重量計爲0·0»%之氫氧化W甲基鲮 (TMAH>、《貪量計爲0.2%之氦氡化鑪、以重董計爲 0.01%之鏵璩辦祀學会4之玲酸麵子基鑄牲羶&鳙表面洽 性獬（0.2%置屋誇立克人1^1^?-40>，及以|量計1.9% 之β· 丁氟基•痄酵典重量計爲0.1%之&#二滕，睡酸 (EDTA) · 本♦«解説，者，#種於以下實《 *此等實《中，分率 均爲重量計，盼#特JH，定者·這鲁實Λ説明了本♦明令 人媸嗔舆攀《贏信的戆果，峥於清洗矗表夤峙蠢颏如遇 氡化氳之氡化頦，可避免微縫度以及不續黢處蠼责霉身可 遠《I氪金屬級次· 以下實獅中，ΛΤ有清窜獬瓤♦均於聚C*縴或聚《氟乙蟑 客》中軀置成•麵式3·雙面撇光磅轟腾·（!》«掺雜， <100〉轟*)均*於該說窆溪度之清*秦家液中爲時10分 鐘•在清潔濬液10分鐘後，私出矗國，以去麟子水泠洗蘆 分析之•處*遘後，每一清潔_觚成之-RZ瓤缝度•（定義' 爲介於峰高及峰谷衊沿Z方Λ之平岣藥_>均_量之•金屬 鈒次JH使两鑄合氣相沈積/感應式鶫合黨槳/寶譜儀_皮 之·瓤縫度《I量《 41子力«微鏡成蒙潷計《I量，釣如天科 爾 ΡΤ «I 我責 It StlOO(TcBC〇r Alpk· Step 100) · 實《t，兩性表爾活性Λ之濃度爲下表灼示胄用表面活 iMH之貪量分率· -12- 本紙張尺度適用中國國家椟準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 乂 -- 、νβ B7 五、發明説明（10) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 以下實侧振用之兩牲表夤活植钃如下： 胄標名 化學jMHI« 製邊冑 安条#禽1»*2 二缚酸辛IMHMI 麽 安Κ·2 二两酸•子基繞Μ 麽μ有摩公4 要 痄綾轉子基兩牲龜乙_ &爾洛先斯C _子基跣》基辟基族氧化物 巴爾洛先斯12 窿鴆有m公礴 麽菜《〇〇 蝽子基聽胺基拜基三甲磨&内《 睫rM有》会礴 氟洛虞得FCMOO 兩牲 ftMr 骑珠化· 安条特里克SC ，森化學公鑤 IHML* 勒ΜΝΝΜ ，森化學公礴 里屋詩立先AMCASW5 •子基《1腠基希基臬基《Mw 萍硪辦化學公缚 置屋詩立先AM LP 二拜酸男桂基1Μ 等邃辦化學公礴 JLA.立先 AM2CSF 二為酿揷子基兩性麵 蟀壤*Mt學公|| 罝屋轉立先AMKSIMO 二两酿轉子基兩往羶&_ 醇碡辦化學公用 實州1 氳氟化《I甲基鮝含及来含兩棟表#清裱鑕求聿液_製 穩·矗_置入5 0'C之此等濬液中爲IHO分鐘，取，以 去離子水泠洗•乾嫌後，*|量_RZ輟糙度•輪果，囊整 於表1，清建地《實了兩棟表面活樣Μ錡随費爆露在•性 濬液中之磅表夤有眯止成龜度化瓤縫度之«力•攻下邦示 所有清潔*液pH值均大於12 · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -13- 本紙張尺度適用中國國家棣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 一 一 A7 B7 五、發明説明（11 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 表1 在90*C時兩牲表A活性《舞TMAH^潔《之影· 不衫性表*液性供技較 性TMAHJT液 TMAHIt式含有兩性表牲IN 4γ#%τμαη 表藥》性麵 畫*% RstmJtA 0.1 100 安条轉吉 KJ-2 0.004 <25 1.0 350 安条特食 KJ-2 0.04 <25 10 1,500 安•轉吉 KJ-2 0.04 100 10 1,300 安♦轉古 KJ-2 0.4 30 10 1，SOO 安#轉吉 KI-2 4 40 10 1，S00 安#特當 KJ-2 10 200 0.S 275 安•轉古 KJ-2 0.1 <25 0.5 275 安•轉吉 KJ-2 0.1 <25 0.5 275 安#犄吉 K 0.1 <25 0.5 275 麽菜愚CO 0.1 <25 0.5 275 氟洛瓏穋 FC-100 0.1 <25 0.5 275 安氟特里先 SC 0.1 <25 0.5 275 酴牲表雨活牲 MNM 0.1 <25 0.5 275 里屋轉立克 AMCAS-1S 0.1 <25 0.S 275 置屋轉立克 AMLP 0.1 <25 0.5 275 罝屋轉立先 AM2CS^ 0.1 <25 -14- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0'〆297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 311934 A7 B7 五、發明説明（W ) 實妁2 本實之處*«實條件，臉了清縑諷度政爲7〇 •C之外•蛣果，彙整於表2,请兼地鍰實T兩牲表西面Λ 姆龜醱摹露在•樣瘳液中之梦表面有聆止成遑度化輒縫度 之親力•以下对示所有濬液Ι»Η值均大於12 · 表2 ▲70X：lNHMt*jHMN 脅ΊΜΑΙβ»錮之影· 不含兩牲表面》往«之相较棟 ΤΜΑΗ» 液 ΊΜΑΜ式含有兩牲表•潘性爾 fbTMAH 表•话性_ 重*% 0.1 《000 安条#吉 KJ-2 0.004 <25 1.0 t,500 安##食 KJ-2 0.04 <25 3.0 t»200 安秦特古 KJ-2 0.4 50 5.0 3,000 安#持會 KJ-2 0.4 90 0.5 1,000 安条轉會 Κ·2 0.1 <35 0.S 1,000 巴爾洛先斯C 0.1 <25 0.S 1,000 &«1洛先斯12 0.1 <25 0.5 1,000 里屋特立先 AMCAS-I5 0.1 <25 0.S 1,000 JL&轉立it AMKSF-40 0.1 <25 實州3 本實《轟鼸之處礞《資州1條件，豪了潸除澱度敗爲90 •C之外•鑄果，彙整於表3,清兼地*實了兩牲表面活牲 -15- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 重 *%ΤΜΑΗ Rzmmjtk 0.5 2t.OOO 0,5 28»000 重鱟Η /f2«L|MtA 0.1 <25 αι <25 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（13 ) 期姆瘫黯雖露在鳋性»液中之矽表雨有酴止成遙度化粗糙 度之氰力·以下角示财有瘳浪pH值均大於12 · _ 表3 _在 90X：·» 兩穢表•jWMHTlMAHiiHMKI»· 7含祕表•清牲《(之41轆牲| TMAH遂式含有兩杜表 ΙΜΑΗ» 液

實《4 本實《*_處*«實鍀件，徒用之多種鲦樣清潔成 玢& # :氬氧化爾f基蠢（ΤΜΑΗ>、氳氧化两乙基磬、軒 琳（2-氬氣化羶乙基三甲基錶 >，以及氬氟化薷 (ΝΗ4〇Η> ·錄果，彙整於表4中，鹺性成.及表面涪樣_ 渡度各爲0.5輿0.1重量分率，處蠓條件爲50*C爲岭10 鐘•若不計兩性表#活性瘌安条#*KJ-2，t|W獯餘性# 科均鈾相矽•不過，當兩牲表爾涪枝割專在時，任何處璞 岣秦籲钃集息由现· 表4 iHMUHKS% 表面活性«0.1 RfMJtA TMAH 無 275 TMAH 安褥# #ΚΙ>2 <25 TMAH 秦 75 TMAH 安##古KJ>2 <35 *r淋 秦 600 柯· 安条持*KW <25 NHLiCW 無 300 ΝΗ«ΟΗ 安##會KM <25 -16 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 i、發明説明（Η ) f «5 由本實角諸乘《實，相较於f用SC-1，fc含1份30%之 遢氧化氳、1扮2«%之氳氧化鋏，及5餘本，全舞爲黴積計 兩言，本♦之清潔瓣遭式具举鏽之金屬去豪饞力•本發 _之清搴削纽成（蠓式A>由以下成徐舨成·· ！>7.4重量％ 水、0.0S重量％氬氡化《9甲基嬷、1.9重量％B•丁氧基痄 酵、0.1重量％乙鎿二磬爾||黢、0.2重量％氬氣化錶玖及 0.1重量％之里屋轉立先AM KSF-40兩性表面涪性割· 矗國在70'C清瞭10分鑪•表5嫌實本處驪舞轟_上殘曹 金屬污染糠之效應，其#以氟化氬氣相沈積测责鱺《!(感應 式鵜舍鴦轚質譜儀_定•表S内本含有兩次貧驗资科，其 中清潔_有羼的地具高承染觚次之Fe(100十德分之 一）' Al( 1,000十德分之一）及C糠（1,000十德分之 一）·表内资科清建地《實通式A優鑲之金屬樣象龌力，， 使是高金屬污染量· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丄 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 表5 *鼸處竈 X 1010摩子/公分2 錨 m 鐵 蠢(如》受者） 2,300 <* 159 W«sc-i I.K7 <* m 通式A <20 60 污染之SC4 15,300 2,100 iteoo 污染之邋式A 5,000 <* 200 -! -17- _本紙張;{$用中國國家標準(CNS ) A4規格（210X：297公釐） A7 B7五、發明説明（I5 ) tine 以實《5之清潔_龃成，通式A於70*C瀹豪三片来使用 矽矗_(<100>晶西，雙#瓤光，P3I#攀）爲_10分鐮· 在清酿爹驟會後以摩子力纘《鏡在轟蹰上行糕縫度IH量· 表6錄果嫌實了通式A城少撇光後轟_微縫度之鈦力•出示 兩《不W粒縫廋*1量麥數與先翁定毳定之RZ做一比較，再 定義•平均粒糠度"（RO爲棚瓣中心平夤之表面平均值，蘆 以下式計算之：如=]^7 广 fl/o^ooNy (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 此處i(*，y>爲相青乎爾之表面，兩Lx及LyJWil二拳 表西之尺寸· 表6 矗國 _ 平均粗糙度 ㈣（細> 料(如接受者> 13.S2 0.993 #1以遞式Α清瞭後 Z73 0.227 #2 (如接受者） 61Λ1 2.89 «2以遣式入清奢後 4.42 0.511 #3 (如輳受者） 238 0.1SS #3以暹式A清砉後 2.12 0.172 實鋼7 取用大鶬洪统璣之5*7毫米矽轟鷗以石荚製A平蟮養里密 錡保存以兔有義污染•此等*如實《4中清奢之藶以電 -訂 -Μ, I. -1β- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X2.97公釐） 311934 Α7 Β7 五、發明説明（w) 蒙&蟠鵬合質蹯畿（PC/MS)分析有麇汚染物•此枚衡&含 加發任俦參解之有機财科•薷♦之分子則入電位鏵 度内兩黪離分解成碎片《PC/MS之高感度得使该m趔 1013#之基树中佔1翁之有機豺料· •未處殲·*霸在宣曩《去雕子水簡單淖洗10分鑪•其 PC/Msm顧示之兩離子質量峰（293及337質量單位）， 姆筆因於外界遍存之酼酸繼，，實驗說•使用之一般繒盡 獬*驀爵如實州4 t以SC-1清酿，解得_譜有六振瓣而未 定 Λ 學（3 00、335、371、411、436 及 533 質董單位 >， 意《较来處瑗技«有更多有錢污染輪·*«實Μ4中遣 式厶清酿，埘所得_譜顯示三馨離子賨量争（300、335及 374f量單位），，，較SC-ΙΛΤ得有较少之有機圩染輪· 因此，遴式之清豪暹裁城少轟國上殲《之#發牲有鶬學寶 «且較標毕SC-1處蠼爲鼉· AHi試《實使用遘式A有麇成 粉所薷之殘錶物微不是遂蘆保嫌可行連一爹IC|t表《美干 擾· 截本發《之先前論遠，應了解，凡精於讓枚藝者在来羲 麟其猜幹，本之改良岣可秋行•躪此，參》於薅本發 _義疇胬m於特肩丼體實德Λ之説•及論途· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

• 1 訂 _I 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210X297公嫠） ------

Claims (1)

1. ABCD \iist ~^841024¾^專利申請案 I. 本相請_利範圍修正本(86年1月) 1#^, yf I --- 六、申請專利範圍 1 . 一種清除微電子晶圓表面以去除金屬污染物並維持晶 圓平順之方法，包括於足以清除晶圓表面之溫度下， 將晶圓表面接觸鹼性清潔溶液一段時間，該清潔組成 包括一水性、無金屬離子之基質以及選自三甲胺乙内 醋、績基三曱胺乙内醋、氨基幾酸衍生物、亞胺二 酸、胺氧化物、氟烷基磺酸鹽，及氟化烷基兩性劑， 以及其混合物之兩性表面活性劑。 2 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中鹼性清潔溶液 組成包括以重量計由0.0 5 %至1 〇 %之.無.金屬離子之 基質及以重量計由〇 . 〇 0 1 %至1 〇 %之兩性表面活性 劑。 3 .根據申請專利範圍第2項之方法，其中檢性清潔溶液 組成包含以重量計由0 · 1 %至5 %之無金屬離子之基質 及以重量計由0 . 0 1 %至5 %之兩性表面活性劑。 4 .根據申請專利範圍第2項之方法，其中無金屬離予之 基質係選自氫氧化錄，或氫氧化四垸基按，其中坡基 爲未取代之娱•基或以輕基或娱> 氧基自由基取代之燒 基，以及其混合物。 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印裝 5.根據申請專利範圍第4項之方法，其中無金屬離子之 基質係選自氩氧化四甲基按_、氩氧化四乙基銨、氣氧 化三甲基-2 -羥乙基胺、氫氧化銨 '及其混合物。 6 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中無金屬離子之 基質爲鏈烷醇胺。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 一 ___ D8 六、申請專利範圍 7·根據申請專利範圍第1項之方法，其中無金屬離子之 基質爲胍化合物。 8 ·根據申請專利範圍第4項之方法，其中兩性表面活性 劑係選自包含烷基三甲胺乙内酯、酰胺基烷基三曱胺 乙内醋、烷基磺基三甲胺乙内酯、乙酸兩性氨酯、兩 性丙酸鹽、二丙酸兩性二氨基乙酸鹽、兩性酯、烷氧 基院基亞胺二酸、烷基胺氧化物、烷基酰胺基烷基胺 氧化物以及氟化烷基兩性劑。 9 -根據申請專利範園第4項之方法，其中兩性表面活性 劑係選自椰子基酰胺基丙基三甲胺乙内酯、椰子基酰 胺基丙基二甲基三甲胺乙内酯、椰子基酰胺基丙基羥 基sultaine、二丙辛醇兩性酯、二丙酸椰子基酰胺 醋、二丙酸異二環氧基丙基亞胺酯、二丙酸月桂基亞 胺醋、椰子基藝胺基丙基胺氧化物以及椰子胺氧化物 及氟化烷基兩性劑。 1 0 _根據申請專利範圍第9項之方法，其中兩性表面活性 劑係選自辛醇兩性二丙酸鹽以及椰子基兩性羥乙基丙 酸鹽。 1 1 根據申請專利範圍第！項之方法，其中鹼性清潔溶液 另包含有以重量計爲至多5 %之金屬螯合化合物，以 及以重量計至多5 %之丙二瞇有機溶劑。 1 2 .根據申請專利範圍第4項之方法，其中鹼性清潔溶液 另包含以重量計至多5 %之金屬螯合化合物，以及以 重量計至多5%之丙二醇醚有機溶劑。 I I I I I I I 訂n Ί— j·.Λ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   六、申專利範圍 3 .根據申請專利範圍第9項 万法，其中鹼性清潔溶液 Ζ包含以重量計至多5%之金屬螯合化合物，以及以 重量計至多5 %之丙二醇醚有機溶劑。 4 ·根據申請專利範圍第1 〇項$ · 鹎固弗貝艾万法，其中鹼性清潔溶液 另包含以重量計至多5%之金屬螯合化合物，以及以 重量計至多5 %之丙二醇酸有機溶劑。 根據申請專利範圍第4项之方法，其中無金屬離子之 基質包含氫氧化銨及氫氧化四烷基銨，而兩性表面活 性劑包含椰子基兩性羥乙基丙酸鹽，金屬螯合化合物 包含乙二胺四醋酸以及丙二醇醚有機溶劑包括丁 基丙醇。 16 :種用以清除微電子晶圓表面並保持晶圓平順之無過 經 濟 部 央 標 準 為 k 工 消 費 合 作 社 乳化氩檢性清潔溶液組合物，其包含以重量計由 〇 . 〇 ：> %至2 5 %之水性、無金屬離子之基質，以重量 計由0.00 1 %至10%之選自包含三甲胺乙内酯、磺基 二甲胺乙内酯、氨基羧酸衍生物、亞胺二酸、胺氧化 物、氟燒基磺酸鹽’及氟化烷基兩性劑，以及其混合 物之兩性表面活性劑’以重量計由〇 〇 5 %至5 %之金 屬螯合化合物以及以重量計由〇 〇 5 %至5 %之丙二醇 趟有機表面活性劑。 1 7 ·根據申請專利範圍第i 6項之-清潔溶液組合物，其中無 金屬離子之基質係選自氫氧化銨，或氧氩化四烷基銨 之中，其中烷基爲未取代烷基或以羥基或烷氧基自由 基取代之烷基，及其混合物。 本紙張尺度適财目g $_(c:ns)a4^(2 ]Q x 297公爱) I

   A8 B8 C8 D8 8 ·根棣申請專利範圍第1 7項之清潔溶液組合物，其中無 金屬離子之基質選自氫氧化四甲基銨、’氧氫化四乙基 铃、氫氧化三甲基-2-羥乙基銨、氫氧化銨及其混合 物之中，以及兩性表面活性劑係選自包含椰予基酰胺 基丙基三甲胺乙内酯、椰子基酰胺基丙基二甲基三曱 私' 乙内醋、椰子基醜胺基丙基經基sultaine、二丙酸 辛醇兩性酯、二丙酸椰子基酰胺酯、丙酸椰子基兩性 醋 '丙酸椰子基兩性羥乙酯、異二環氧基丙基亞胺基 —丙酸、二丙酸月桂基亞胺酯、椰子基g先胺基丙胺氧 化物以及椰子胺氧化物與氟化烷基兩性劑。 19·根據申請專利範圍第17項之清潔溶液組合物，其中兩 性表面活性劑選自+冑兩性二丙酸鹽及挪丨基兩性超 乙基丙酸登之中。 20.根據中請專利範圍第17項之清潔溶液組合物，其中 兩 螯 包 金屬離子之基質包含聽㈣及I·氧細跪基錄， 性表面活性劑# & h 2 合化合物包含兩性經乙基丙酸望，金屬 含η- 丁氧基丙醇 以及丙二醇謎有機溶劑 尽纸張尺度適用中S 酉木標準(CNS)A4規^' (210X297公登)