RU2275972C1 - Device for double-sided cleaning of plates - Google Patents

Abstract

FIELD: electronics.

SUBSTANCE: device has discharging and charging cassettes mounted on the base, two mechanism for step moving of the cassettes, mechanism for vertical movement of plates from the discharging cassette, mechanism for horizontal movement of the plates provided with a grip, and unit for cleaning the plates. The grip of the mechanism of the horizontal movement is made of a holder provided with two rollers having round grooves with V-shaped entrance. The distance between the outer diameters of the rollers is greater than the width of the carriers. The stop is mounted below the line that passes through the axes of the rollers of the holder so that its axis of symmetry is in coincidence with the axis of symmetry of the vertical groove on the plate carriers, and the axes of symmetry of the roller grooves and the stop are in the same plane.

EFFECT: improved quality of cleaning.

15 dwg

Description

Translated fromRussian

Изобретение относится к производству изделий электронной техники и может быть использовано, например, на операциях двухсторонней очистки пластин с помощью щеток и мегазвука.The invention relates to the manufacture of electronic products and can be used, for example, in operations of two-sided cleaning of plates using brushes and megasound.

Широко известны различные устройства для обработки пластин [1-3], содержащие блок обработки пластин, загрузочные и разрузочные устройства, транспортирующий механизм. Однако известные устройства позволяют транспортировать пластины на позицию обработки в горизонтальной плоскости и не могут быть использованы для двухсторонней отмывки пластин. Причем в качестве транспортирующих средств используют пассики, вакуумные захваты, что приводит к загрязнению пластин после их обработки.Various devices for processing plates [1-3] are widely known, comprising a plate processing unit, loading and unloading devices, and a transporting mechanism. However, the known devices can transport the plate to the processing position in the horizontal plane and cannot be used for two-sided washing of the plates. Moreover, passives and vacuum grippers are used as transporting agents, which leads to fouling of the plates after their processing.

Из известных аналогов наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для двухсторонней обработки подложек [5], содержащее устройство для транспортировки их. Транспортирующее устройство включает в себя разгрузочную и загрузочную (пустую) кассеты, установленные на основаниях двух механизмов шагового перемещения их. Механизмы вертикального перемещения снабжены приспособлением для транспортировки пластин в кассету и из кассеты, выполненным в виде держателя с пазом. Механизм горизонтального перемещения с помощью вакуумного захвата переносит пластину на рабочую позицию блока очистки, а затем на позицию загрузки обработанной пластины в кассету.Of the known analogues, the closest in technical essence and the achieved result is a device for two-sided processing of substrates [5], containing a device for transporting them. The transporting device includes an unloading and loading (empty) cassette mounted on the bases of two mechanisms for moving them stepwise. The vertical movement mechanisms are equipped with a device for transporting plates to and from the cartridge, made in the form of a holder with a groove. The horizontal movement mechanism using a vacuum grip transfers the plate to the working position of the cleaning unit, and then to the loading position of the processed plate in the cassette.

Недостаток известного устройства заключается в том, что оно, как и все известные, не обеспечивает качественную очистку из-за вносимых загрязнений вакуумным захватом. При изготовлении же структур с очень малыми размерами (порядка 0,3 мкм) предъявляются высокие требования к качеству очистки.A disadvantage of the known device is that it, like all known devices, does not provide high-quality cleaning due to the impurities introduced by vacuum capture. In the manufacture of structures with very small sizes (of the order of 0.3 microns), high demands are placed on the quality of cleaning.

Целью предложенного изобретения является повышение качества очистки пластин.The aim of the invention is to improve the quality of cleaning plates.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для двухсторонней очистки пластин, содержащее установленные на основании разгрузочную и загрузочную кассеты, два механизма шагового перемещения их, механизм вертикального перемещения пластин из разгрузочной кассеты, механизм вертикального перемещения пластин в загрузочную кассету, механизм горизонтального перемещения пластин, снабженный захватом, блок очистки пластин, дополнительно снабжено (п-1) блоками очистки, где n - число технологических ванн блоков очистки, определяемое технологическим процессом, вторым механизмом горизонтального перемещения, снабженным захватом, при этом каждый механизм вертикального перемещения пластин снабжен носителем пластин, выполненным в виде сектора тонкого кольца, имеющего на внутреннем круговом торце сектора круговую канавку с V-образной заходной частью и содержащего вертикальный паз, смещенный по горизонтали от оси симметрии сектора, а захват каждого механизма горизонтального перемещения выполнен в виде держателя, снабженного двумя роликами, имеющими круговые канавки с V-образной заходной частью, расстояние между наружными диаметрами которых больше ширины носителей, а также упором, имеющим канавку такого же профиля с V-образной заходной частью и расположенным ниже линии, проведенной через оси роликов и держателя таким образом, что его ось симметрии совпадает с осью симметрии вертикального паза на носителях пластин, при этом оси симметрии канавок роликов и упора лежат в одной плоскости, кроме того, каждый из n-блоков очистки снабжен механизмом загрузки-выгрузки пластин, выполненным в виде подвижной штанги с жестко закрепленным на ней носителем пластин, взаимодействующим с профилированными роликами, установленными в технологических ваннах, выполненным аналогично носителю каждого механизма вертикального перемещения пластин и дополнительно снабженным сквозным отверстием по оси симметрии носителя.This goal is achieved in that a device for two-sided cleaning of plates containing the unloading and loading cassettes mounted on the base, two mechanisms for their step-by-step movement, a mechanism for vertical movement of the plates from the unloading cassette, a mechanism for vertical movement of the plates in the loading cassette, a mechanism for horizontal movement of the plates equipped with a grip , the plate cleaning unit, is additionally equipped with (n-1) cleaning units, where n is the number of technological baths of the cleaning units, determined by the technology a second process of horizontal movement equipped with a gripper, each vertical movement of the plates is provided with a plate carrier made in the form of a sector of a thin ring having a circular groove with a V-shaped inlet on the inner circular end of the sector and containing a vertical groove offset horizontally from the axis of symmetry of the sector, and the capture of each mechanism of horizontal movement is made in the form of a holder equipped with two rollers having circular grooves with a V-shape th lead part, the distance between the outer diameters of which is greater than the width of the carriers, as well as a stop having a groove of the same profile with a V-shaped lead part and located below the line drawn through the axes of the rollers and the holder so that its axis of symmetry coincides with the axis of symmetry vertical groove on the carrier plates, while the axis of symmetry of the grooves of the rollers and the stop lie in the same plane, in addition, each of the n-cleaning units is equipped with a mechanism for loading and unloading plates, made in the form of a movable rod with a rigid a plate carrier mounted on it, interacting with profiled rollers installed in the process baths, made similarly to the carrier of each mechanism for vertical movement of the plates and further provided with a through hole along the axis of symmetry of the carrier.

Введение дополнительных n-1 блоков очистки расширяет технологические возможности устройства, так как позволяет осуществлять несколько технологических процессов, например очистку пластин щетками, а также как более эффективную мегазвуковую очистку с последующей сушкой. А выполнение автономными для каждой технологической ванны механизмов загрузки-выгрузки пластин и конструктивно одинаковыми носителей позволяет обеспечить модульность изготовления блоков очистки и унифицировать процесс изготовления их.The introduction of additional n-1 cleaning units expands the technological capabilities of the device, as it allows several technological processes to be carried out, for example, brush cleaning of plates, as well as more effective megasonic cleaning with subsequent drying. And the implementation of autonomous for each technological bath mechanisms of loading and unloading plates and structurally the same media allows you to ensure the modularity of the manufacture of cleaning units and unify the process of manufacturing them.

Конструкция носителя, выполненного в виде сектора тонкого кольца с круговой канавкой и V-образной заходной частью и взаимодействующего с захватом и упором, имеющим канавку такого же профиля и V-образную заходную часть, обеспечивает надежный захват пластины, исключая колебания ее, и минимальный контакт пластины и транспортирующего устройства. Это сказывается на качестве обработки пластин.The design of the carrier, made in the form of a sector of a thin ring with a circular groove and a V-shaped lead-in and interacting with a grip and a stop having a groove of the same profile and a V-shaped lead, provides reliable grip of the plate, eliminating its vibrations, and minimal contact of the plate and transporting device. This affects the quality of the processing plates.

Кроме того, использование дополнительного механизма горизонтального перемещения с захватом (держателем) исключает загрязнение чистой пластины в процессе ее дальнейшей транспортировки.In addition, the use of an additional mechanism of horizontal movement with a gripper (holder) eliminates contamination of a clean plate during its further transportation.

Таким образом, предложенная совокупность признаков является новой, обеспечивает положительный эффект, указанный в цели изобретения, и не вытекает очевидным образом из известного уровня техники.Thus, the proposed combination of features is new, provides a positive effect specified in the purpose of the invention, and does not follow in an obvious manner from the prior art.

Следовательно, она соответствует критерию "изобретательский уровень" и "новизна".Therefore, it meets the criteria of "inventive step" and "novelty."

Сущность изобретения поясняется чертежами, где изображены:The invention is illustrated by drawings, which depict:

на фиг.1 - общий вид устройства;figure 1 - General view of the device;

на фиг.2 - вид сверху;figure 2 is a top view;

на фиг.3-4 - механизм вертикального перемещения, взаимодействие его с кассетой и с механизмом горизонтального перемещения;figure 3-4 - the mechanism of vertical movement, its interaction with the cartridge and with the mechanism of horizontal movement;

на фиг.5 - держатель механизма горизонтального перемещения;figure 5 - holder of the horizontal movement mechanism;

на фиг.6-7 - блок обработки пластин с помощью щеток и взаимодействие носителя блока обработки с держателем механизма горизонтального перемещения;Fig.6-7 - plate processing unit with brushes and the interaction of the carrier of the processing unit with the holder of the horizontal movement mechanism;

на фиг.8 - блок обработки с помощью мегазвука;on Fig - processing unit using megasound;

на фиг.9-10 - носитель второго блока обработки и его взаимодействие с держателем механизма горизонтального перемещения;Fig.9-10 - the carrier of the second processing unit and its interaction with the holder of the horizontal movement mechanism;

на фиг.11 - сечение ролика держателя;figure 11 is a cross section of the roller holder;

на фиг.12 - сечение упора держателя;on Fig - cross section of the holder;

на фиг.13-14 - носитель механизма вертикального перемещения;on Fig.13-14 - the carrier of the vertical movement mechanism;

на фиг.15 - ориентирующий механизм.on Fig - orienting mechanism.

Предлагаемое устройство содержит две кассеты 1 с пластинами 2, установленные на основаниях 3 механизмов шагового перемещения 4, механизм вертикального перемещения 5 с носителем 6 для выгрузки пластин 2 из кассеты и передачи пластины на держатель 7 механизма горизонтального перемещения 8 (фиг.1, 2). Носитель 6 (фиг.3) выполнен в виде сектора тонкого кольца с параллельными сторонами и круговой канавкой с V-образной заходной частью.The proposed device contains two cassettes 1 withplates 2 mounted on thebases 3 of the mechanisms of step movement 4, avertical movement mechanism 5 with acarrier 6 for unloading theplates 2 from the cartridge and transferring the plate to theholder 7 of the horizontal movement mechanism 8 (FIGS. 1, 2). The carrier 6 (figure 3) is made in the form of a sector of a thin ring with parallel sides and a circular groove with a V-shaped lead-in.

На фиг.3 изображены три положения носителя 6: I - носитель в исходном положении (внизу); II - носитель захватил пластину при движении вверх; III - носитель поднял пластину 2 из кассеты 1 и под пластину подошел держатель 7 с роликами 9 и упором 10. Ролики 9 держателя 7 изображены на фиг.11, а упор 10 - на фиг.12. Ролики имеют круговую канавку с таким же профилем, как и носитель 6. Такой же профиль канавки имеет и упор 10. Причем центры симметрии канавок роликов и упора находятся на расстоянии L от торца держателя (фиг.5, 11, 12). Расстояние Д между наружными диаметрами роликов 9 больше, чем ширина носителя Д′ (фиг.3). Центр симметрии упора 10 смещен относительно оси симметрии расположения роликов 9 держателя 7 на расстояние d (фиг.3, 5). Кроме того, упор расположен ниже линии, проведенной через оси роликов, что позволяет пластине войти в канавку упора и не касаться основания канавки упора. Между торцом пластины и основанием канавки упора выбрано расстояние δ (фиг.10) и таким образом пластина, опираясь только на ролики 9, удерживается упором 10, выполняющим роль удерживающей вилки. При этом оси симметрии канавок роликов и упора расположены на одной вертикальной плоскости.Figure 3 shows the three positions of the carrier 6: I - the carrier in its original position (bottom); II - the carrier captured the plate when moving up; III - the carrier lifted theplate 2 from the cartridge 1 and theholder 7 with therollers 9 and thestop 10 came under the plate. Therollers 9 of theholder 7 are shown in Fig. 11, and the stop 10 - in Fig. 12. The rollers have a circular groove with the same profile as thecarrier 6. Thestop 10 has the same groove profile. Moreover, the centers of symmetry of the grooves of the rollers and the stop are at a distance L from the end face of the holder (Figs. 5, 11, 12). The distance D between the outer diameters of therollers 9 is greater than the width of the carrier D ′ (FIG. 3). The center of symmetry of thestop 10 is offset relative to the axis of symmetry of the location of therollers 9 of theholder 7 by a distance d (Fig.3, 5). In addition, the stop is located below the line drawn through the axis of the rollers, which allows the plate to enter the stop groove and not touch the base of the stop groove. Between the end face of the plate and the base of the stop groove, a distance δ has been selected (Fig. 10), and thus the plate, resting only on therollers 9, is held by thestop 10, which acts as a holding fork. In this case, the axis of symmetry of the grooves of the rollers and the stop are located on the same vertical plane.

Механизм загрузки-выгрузки 11 пластин служит для перемещения штанги 12 и носителя 13 в блоке обработки пластин 2 щетками 14. Щетки 14 имеют возможность вращаться от привода 15 и разводиться в стороны с помощью механизма (привода) 16. Обработка щетками ведется в ванне 17, снабженной роликами 18 (фиг.6, 13), которые приводятся во вращение приводом 19 (фиг.2). Носитель 13, как и носитель 6, выполнен в виде сектора тонкого кольца с круговой канавкой с V-образной заходной частью на внутреннем круговом торце. Носители 6, 13 снабжены вертикальным пазом 20, смещенным по горизонтали от центра симметрии сектора на расстоянии d (фиг.3, 6). В отличие от носителя 6 носитель 13, закрепленный на подвижной штанге 12, направленной вверх, снабжен сквозным отверстием 21 для удаления остатков раствора из носителя после обработки. Второй механизм загрузки-выгрузки 22 (фиг.1) пластин служит для перемещения штанги 23 и носителя 24 в блоке мегазвуковой обработки. Обработка ведется мегазвуковой головкой (форсункой) 25, которая совершает в процессе обработки, при вращении пластины 2, возвратно-поступательное перемещение от привода 26 (фиг.2).The mechanism of loading and unloading 11 of the plates serves to move therod 12 and thecarrier 13 in theplate processing unit 2 bybrushes 14. Thebrushes 14 are able to rotate from thedrive 15 and be pulled apart by a mechanism (drive) 16. The brushes are processed in abath 17 provided with rollers 18 (Fig.6, 13), which are driven into rotation by the drive 19 (Fig.2). Thecarrier 13, as thecarrier 6, is made in the form of a sector of a thin ring with a circular groove with a V-shaped lead-in at the inner circular end. Themedia 6, 13 are equipped with avertical groove 20, offset horizontally from the center of symmetry of the sector at a distance d (Fig.3, 6). In contrast to thecarrier 6, thecarrier 13, mounted on amovable rod 12 directed upward, is provided with athrough hole 21 for removing residual solution from the carrier after processing. The second mechanism of loading and unloading 22 (Fig. 1) of the plates serves to move therod 23 and thecarrier 24 in the megasonic processing unit. Processing is carried out by a megasonic head (nozzle) 25, which performs during the processing, when theplate 2 is rotated, reciprocating movement from the drive 26 (Fig. 2).

Пластина 2 при обработке в ванне 27 (фиг.8) устанавливается на роликах 28, имеющих круговые канавки с V-образной заходной частью. Ролики 28 установлены на роторе 29, имеющем привод вращения 30 через ременную передачу.Plate 2 during processing in the bath 27 (Fig. 8) is mounted onrollers 28 having circular grooves with a V-shaped lead-in. Therollers 28 are mounted on arotor 29 having a rotation drive 30 through a belt drive.

Механизм 22 имеет привод горизонтального перемещения 31 с целью возможности вывода штанги и носителя 24 из ванны 27 после установки пластины 2 на ролики 28 ротора 29. Вывод осуществляется для предохранения носителя 24 от загрязнений в процессе обработки пластины 2. Подача моющей жидкости осуществляется с обеих сторон пластины форсункой 25 и форсункой 32. Носитель 24 блока мегазвуковой обработки выполнен аналогичный носителю 13 блока обработки щетками.The mechanism 22 has a horizontal displacement drive 31 so that the rod andcarrier 24 can be withdrawn from thebath 27 after theplate 2 is mounted on therollers 28 of therotor 29. The output is used to protect thecarrier 24 from contamination during the processing of theplate 2. The washing liquid is supplied from both sides of theplate nozzle 25 andnozzle 32. Thecarrier 24 of the megasonic processing unit is made similar to thecarrier 13 of the brush processing unit.

Загрузка пластин 2 на ротор 29 центрифуги блока мегазвуковой обработки осуществляется только в то время, когда ротор 29 сориентирован с помощью привода 33, ролика 34, диска 35 (фиг.15).The loading of theplates 2 onto therotor 29 of the centrifuge of the megasonic processing unit is carried out only at the time when therotor 29 is oriented using thedrive 33, theroller 34, the disk 35 (Fig. 15).

Пластина 2 на роторе 29 закрепляется от выпадения во время вращения фиксатором 36, который перемещается с помощью приводов 37 и 38 (фиг.1). Заслонка 39 закрывает окно 40 ванны 27 во время обработки пластины.Theplate 2 on therotor 29 is fixed from falling out during rotation by alatch 36, which is moved by means ofactuators 37 and 38 (Fig. 1). The damper 39 closes thewindow 40 of thebath 27 during processing of the plate.

Механизм 41 с держателем 42 служит для перемещения пластин 2 от блока мегазвуковой обработки до приемной кассеты 1. Пустая приемная кассета аналогично разгрузочной установлена на основании 3 и перемещается на шаг с помощью механизма 4. Второй механизм вертикального перемещения 5 пластин в кассету после выполнения технологических операций также снабжен носителем 5, выполненным аналогично носителю механизма вертикального перемещения пластин из кассеты, который укладывает обработанные пластины в кассету.Themechanism 41 with theholder 42 serves to move theplates 2 from the megasonic processing unit to the receiving cassette 1. An empty receiving cassette, similarly to the unloading cassette, is installed on thebase 3 and is moved one step by the mechanism 4. The second mechanism for the vertical movement of 5 plates into the cassette after performing technological operations is also equipped with acarrier 5, made similarly to the carrier of the mechanism for the vertical movement of the plates from the cartridge, which puts the processed plate in the cartridge.

Работа устройства происходит следующим образом.The operation of the device is as follows.

Кассета 1 с пластинами 2 устанавливается на подвижное основание 3 в виде прямоугольной рамы. Основание 3 имеет возможность пошагового перемещения с помощью механизма 4 (фиг.1, 2). Приемная кассета 1 без пластин устанавливается на второе основание 3, которое имеет возможность пошагового перемещения с помощью второго механизма 4. Первая пластина в кассете 1 останавливается над носителем 6 механизма вертикального перемещения 5. А первая ячейка пустой приемной кассеты останавливается над носителем 5 механизма вертикального перемещения 5 пластин в кассету (фиг.1). Механизм вертикального перемещения 5 пластин из кассеты перемещает носитель 6 вверх и носитель 6 захватывает первую пластину кассеты, поднимает ее вверх. На фиг.3 показано три положения носителя 5: I положение - исходное положение (внизу), II положение - момент захвата пластины в кассете, III положение - верхнее положение носителя 5 с пластиной.The cassette 1 with theplates 2 is mounted on amovable base 3 in the form of a rectangular frame. Thebase 3 has the ability to move with the help of the mechanism 4 (figure 1, 2). The receiving cassette 1 without plates is mounted on thesecond base 3, which has the ability to move stepwise using the second mechanism 4. The first plate in the cassette 1 stops above thecarrier 6 of thevertical movement mechanism 5. And the first cell of the empty receiving cartridge stops above thecarrier 5 of thevertical movement mechanism 5 plates in the cartridge (figure 1). The mechanism of vertical movement of 5 plates from the cartridge moves thecarrier 6 up and thecarrier 6 captures the first plate of the cartridge, raises it up. Figure 3 shows three positions of the carrier 5: I position - the initial position (bottom), II position - the moment of capture of the plate in the cassette, III position - the upper position of thecarrier 5 with the plate.

Первый механизм горизонтального перемещения пластин 8 перемещает свой держатель 7 в сторону нахождения носителя 5 с пластиной. При этом держатель 7 своими роликами 9 и упором 10 заходит под пластину 2 таким образом, что ось 11 (фиг.3) расположения канавок на роликах 9 держателя и канавки на упоре 10 совпала с осью симметрии 13 канавки носителя 5, в которой помещается пластина 3 (фиг.3). При этом упор 10 держателя 8 заходит в вертикальный паз носителя 6. Затем механизм 5 опускает носитель 6 вниз на исходное положение I (фиг.3), а пластина 2 остается на роликах 9, удерживаясь от колебаний канавкой на упоре 10. Таким образом во время транспортировки контакт транспортирующего устройства с пластиной минимальный.The first mechanism for horizontal movement of theplates 8 moves itsholder 7 in the direction of thecarrier 5 with the plate. In this case, theholder 7 with itsrollers 9 and thestop 10 goes under theplate 2 in such a way that the axis 11 (Fig. 3) of the grooves on therollers 9 of the holder and the grooves on thestop 10 coincides with the axis ofsymmetry 13 of thecarrier groove 5, in which theplate 3 is placed (figure 3). In this case, thestop 10 of theholder 8 enters the vertical groove of thecarrier 6. Then, themechanism 5 lowers thecarrier 6 down to the initial position I (Fig. 3), and theplate 2 remains on therollers 9, preventing vibration from the groove on thestop 10. Thus, during the transport contact of the transporting device with the plate is minimal.

Механизм 8 переносит держатель 7 с пластиной 2 вправо и останавливается над первым блоком 2-сторонней очистки пластины щетками. Механизм загрузки-выгрузки 11 пластин первого блока обработки в исходном положении (фиг.1) находится внизу, при этом его штанга 12, на которой закреплен носитель 13 (фиг.6, 7), находится в ванне 17. Щетки 14 разведены в сторону с помощью механизма 16.Themechanism 8 transfers theholder 7 with theplate 2 to the right and stops above the first block of 2-sided cleaning of the plate with brushes. The loading andunloading mechanism 11 of the plates of the first processing unit in the initial position (Fig. 1) is located below, while itsrod 12, on which thecarrier 13 is mounted (Fig. 6, 7), is located in thebath 17. Thebrushes 14 are moved apart with using themechanism 16.

После остановки механизма 8 с держателем 7 и пластиной 2 над блоком 2-сторонней очистки пластины щетками механизм 11 поднимает штангу 12 с носителем 13 из ванны 17, носитель 13 доходит до пластины 2, расположенной на роликах 9 и упоре 10 держателя 7, пластина 2 попадает в канавку носителя и он поднимает пластину 2 над роликами 9 и упором 10. При этом упор 10 держателя 7 проходит в вертикальном пазу 20 носителя 13. Механизм 8 отводит держатель 7 с роликами 9 и упором 10 вправо. А пластина 2 остается на носителе 13.After stopping themechanism 8 with theholder 7 and theplate 2 above the block for 2-sided cleaning of the plate with brushes, themechanism 11 lifts therod 12 with thecarrier 13 from thebath 17, thecarrier 13 reaches theplate 2 located on therollers 9 and thestop 10 of theholder 7, theplate 2 gets into the carrier groove and it lifts theplate 2 above therollers 9 and thestop 10. In this case, thestop 10 of theholder 7 extends in thevertical groove 20 of thecarrier 13. Themechanism 8 retracts theholder 7 with therollers 9 and thestop 10 to the right. And theplate 2 remains on thecarrier 13.

Механизм 11 (фиг.1, 6) опускает штангу 12, носитель 13 с пластиной 2 в ванну 17 через окно ванны 43, устанавливая пластину 2 на ролики 18. Щетки 14 с помощью механизма 16 прижимаются к пластине 2 и начинают вращаться от привода 15. Одновременно начинают вращаться ролики 18 от привода 19, заставляя вращаться пластину 2. Во время вращения щеток 14 и пластины 2 подаются соответствующие растворы на обе стороны пластины 2. Таким образом осуществляется отмывка одновременно двух сторон пластины 2 с помощью щеток. Во время отмывки щетками носитель 13 находится в ванне 17, располагаясь ниже уровня пластины и не мешая ей вращаться (фиг.6).The mechanism 11 (Figs. 1, 6) lowers therod 12, thecarrier 13 with theplate 2 into thebath 17 through the window of the bath 43, placing theplate 2 on therollers 18. Using themechanism 16, thebrushes 14 are pressed against theplate 2 and begin to rotate from thedrive 15. At the same time, therollers 18 from thedrive 19 begin to rotate, causing theplate 2 to rotate. During the rotation of thebrushes 14 and theplate 2, the corresponding solutions are supplied to both sides of theplate 2. Thus, two sides of theplate 2 are washed simultaneously with brushes. During washing with brushes, thecarrier 13 is in thebath 17, located below the level of the plate and not preventing it from rotating (Fig.6).

После окончания процесса отмывки пластины щетками щетки 14 останавливаются и разводятся в сторону с помощью механизма 16. Ролики 18 тоже останавливаются и прекращается подача растворов. Для удаления израсходованных растворов в ванне 17 предусмотрено сливное отверстие 44. Механизм 11 (фиг.1) поднимает штангу 12, носитель вверх, носитель 13 снимает с роликов 18 пластину 2 и, продолжая подъем, доходит до крайнего верхнего положения 5 (фиг.6). Механизм 7 подводит справа под пластину 2 держатель 7 с роликами 9 и упором 10. Носитель 13 опускается, оставляя пластину 2 на роликах 9 и упоре 10 держателя 8 (фиг.10). Во время подъема пластины 2 из ванны 17 остатки моющего раствора с пластины удаляются через отверстие 21 в носителе 13. После передачи пластины с носителя 13 на держатель 7 после отмывки пластины щетками механизм 8 переносит пластину вправо и останавливает ее над следующим по ходу технологического процесса n-блоком обработки, например блоком мегазвуковой обработки.After the process of washing the plate with brushes, thebrushes 14 stop and move apart to the side using themechanism 16. Therollers 18 also stop and the flow of solutions stops. To remove the spent solutions in thebath 17, adrain hole 44 is provided. The mechanism 11 (Fig. 1) raises thebar 12, the carrier up, thecarrier 13 removes theplate 2 from therollers 18 and, continuing to rise, reaches the extreme upper position 5 (Fig. 6) . Themechanism 7 leads to the right under theplate 2, theholder 7 with therollers 9 and theemphasis 10. Thecarrier 13 is lowered, leaving theplate 2 on therollers 9 and theemphasis 10 of the holder 8 (figure 10). During the lifting of theplate 2 from thebath 17, the remnants of the washing solution from the plate are removed through thehole 21 in thecarrier 13. After transferring the plate from thecarrier 13 to theholder 7, after washing the plate with brushes, themechanism 8 transfers the plate to the right and stops it above the next n- a processing unit, for example, a megasonic processing unit.

При этом штанга 23 механизма загрузки-выгрузки 22 пластин следующего блока обработки (фиг.1, 9) находится в нижнем положении в ванне 27 и правом положении за счет механизма 31.In this case, therod 23 of the loading and unloading mechanism 22 of the plates of the next processing unit (FIGS. 1, 9) is in the lower position in thebath 27 and in the right position due to the mechanism 31.

После остановки пластины 2, расположенной на держателе 8 механизма 7 над блоком мегазвуковой обработки, механизм 22 поднимает штангу 23, носитель 24 из ванны 27 вверх. При этом ротор 29 центрифуги с роликами 28 находится в ориентированном положении (фиг.8), а заслонка 39 - в отведенном состоянии. Фиксатор 36 ротора 29 находится в крайнем правом положении 36.After stopping theplate 2, located on theholder 8 of themechanism 7 above the megasonic processing unit, the mechanism 22 raises therod 23, thecarrier 24 from thebath 27 up. In this case, therotor 29 of the centrifuge withrollers 28 is in an oriented position (Fig. 8), and the shutter 39 is in the retracted state. Thelatch 36 of therotor 29 is in the extremeright position 36.

За время подъема штанги 23 носитель 24 снимает пластину 2 с роликов 9 и упора 10 держателя 7, т.е. приподнимает пластину 2 вверх. Держатель 7 уходит вправо из-под пластины 2, оставшейся на носителе 24 (фиг.8).During the lifting of therod 23, thecarrier 24 removes theplate 2 from therollers 9 and thestop 10 of theholder 7, i.e. liftsplate 2 up. Theholder 7 leaves to the right from under theplate 2 remaining on the carrier 24 (Fig. 8).

Штанга 23 с носителем 24 и пластиной 2 опускается в ванну 27 через окно 40. Пластина 2 укладывается на ролики 28 ротора 29. Носитель уходит ниже уровня пластины, затем перемещается влево на определенное расстояние и выводится вверх из ванны. Держатель 8 с роликами 9 и упором 10 перемещается влево для транспортировки последующих пластин.Therod 23 with thecarrier 24 and theplate 2 is lowered into thebath 27 through thewindow 40. Theplate 2 is placed on therollers 28 of therotor 29. The carrier goes below the level of the plate, then moves to the left a certain distance and is led up from the bath. Theholder 8 with therollers 9 and theemphasis 10 moves to the left to transport subsequent plates.

Фиксатор 36 выдвигается с помощью привода 37 и закрывает пластину на роторе 29 центрифуги. Заслонка 39 закрывает окно 40 ванны 27. Ролик 34 ориентирующего привода 33 отводится вверх (в сторону) в положение IV, освобождая диск 35, закрепленный на валу 45 ротора 29. Таким образом ротор 29 с пластиной 2 свободен и начинает вращаться от привода 30 (фиг.1). Одновременно с вращением ротора 29 с пластиной 2 подается деионизованная вода в мегазвуковую форсунку 25 и в форсунку 32 через вал 45 ротора 29 по трубке 46. Форсунка 25 совершает сканирование от центра пластины 2 к периферии от привода 26 во время вращения пластины и подачи деионизованной воды.Thelatch 36 extends through theactuator 37 and closes the plate on therotor 29 of the centrifuge. The flap 39 closes thewindow 40 of thebath 27. Theroller 34 of the orientingactuator 33 is pulled up (to the side) to position IV, releasing thedisk 35 fixed to theshaft 45 of therotor 29. Thus, therotor 29 with theplate 2 is free and starts to rotate from the actuator 30 (FIG. .one). Simultaneously with the rotation of therotor 29 with theplate 2, deionized water is supplied to themegasonic nozzle 25 and to thenozzle 32 through theshaft 45 of therotor 29 through thetube 46. Thenozzle 25 scans from the center of theplate 2 to the periphery from thedrive 26 during rotation of the plate and supply of deionized water.

После очистки мегазвуком пластина промывается с двух сторон деионизованной водой, затем сушится на больших оборотах.After cleaning with megasound, the plate is washed on both sides with deionized water, then it is dried at high speeds.

После сушки пластины ротор 29 ориентируется с помощью привода 33, ролика 34 и диска 35. Фиксатор 34 пластины отодвигается вправо приводом 38. Механизм 22 опускает штангу 23 с носителем 24 вниз (фиг.8) в ванну 27, а механизм 31 перемещает ее вправо и заводит носитель под пластину 2, находящуюся на роторе. Затем носитель 24 поднимается и захватывает пластину 2, снимая ее с ротора 29 и перемещая вверх в положение V.After drying the plate, therotor 29 is oriented using thedrive 33, theroller 34 and thedisk 35. Theplate lock 34 is pushed to the right by the drive 38. The mechanism 22 lowers therod 23 with thecarrier 24 down (Fig. 8) into thebath 27, and the mechanism 31 moves it to the right and brings the carrier under theplate 2 located on the rotor. Then thecarrier 24 rises and captures theplate 2, removing it from therotor 29 and moving up to position V.

Держатель 42 (фиг.8) второго механизма горизонтального перемещения 41 подводится под пластину 2, расположенную на носителе 24. Использование второго механизма горизонтального перемещения 24 исключает загрязнение пластины после мегазвуковой очистки, так как держатель 8 обслуживает блок очистки пластин щетками, то на нем остаются загрязнения. Держатель 42 выполнен аналогично держателю 7 и передача пластин после последней очистки, например, с помощью мегазвука осуществляется таким же образом, как и после отмывки пластин щетками. То есть носитель 24 опускается вниз, оставляя пластину 2 на роликах 9 и упоре 10 держателя 42. Затем механизм 41 перемещает держатель 42 вместе с пластиной до второго механизма вертикального перемещения пластин 5 в кассету, также установленную на основании 3 с возможностью пошагового перемещения от второго привода 4.The holder 42 (Fig. 8) of the secondhorizontal movement mechanism 41 is brought under theplate 2 located on thecarrier 24. The use of the secondhorizontal movement mechanism 24 eliminates the contamination of the plate after megasonic cleaning, since theholder 8 services the plate cleaning unit with brushes, it remains contaminated . Theholder 42 is made similarly to theholder 7 and the transfer of the plates after the last cleaning, for example, using megasound is carried out in the same way as after washing the plates with brushes. That is, thecarrier 24 is lowered down, leaving theplate 2 on therollers 9 and thestop 10 of theholder 42. Then, themechanism 41 moves theholder 42 together with the plate to the second mechanism for the vertical movement of theplates 5 in the cassette, also mounted on thebase 3 with the possibility of stepwise movement from the second drive four.

Держатель 42 останавливает пластину 2 над пустой ячейкой загрузочной кассеты 1. Механизм 7 поднимает носитель 5, который снимает пластину 2 с роликов 9 и упора 10 держателя 42. Держатель 42 перемещается вправо механизмом 41, освобождая место для опускания носителя 5 с пластиной 2 в загрузочную кассету. Носитель 5 опускается вниз, пластина попадает в пустую ячейку кассеты, а носитель, продолжая движение вниз, опускается ниже уровня основания. Второй механизм 4 шагового перемещения загрузочной кассеты перемещает ее на один шаг, подставляя пустую ячейку для следующей пластины.Theholder 42 stops theplate 2 above the empty cell of the loading cassette 1. Themechanism 7 raises thecarrier 5, which removes theplate 2 from therollers 9 and thestop 10 of theholder 42. Theholder 42 moves to the right by themechanism 41, making room for lowering thecarrier 5 with theplate 2 into the loading cassette . Thecarrier 5 falls down, the plate enters an empty cell of the cartridge, and the carrier, continuing to move down, falls below the level of the base. The second mechanism 4 of the step movement of the loading cassette moves it one step, substituting an empty cell for the next plate.

Таким образом, предложенная конструкция обеспечивает минимальный контакт пластины с транспортным устройством, что исключает загрязнение очищенной пластины. Это позволяет значительно повысить качество получаемых изделий после обработки.Thus, the proposed design provides minimal contact of the plate with the transport device, which eliminates contamination of the cleaned plate. This allows you to significantly improve the quality of the products after processing.

Источники информацииInformation sources

1. Пат. США №4534695, кл. B 65 G 25/00, опубл. 1985 г. "Устройство для транспортировки изделий".1. Pat. US No. 4534695, CL B 65G 25/00, publ. 1985 "Device for transporting products."

2. Пат. США №4558984, кл. С 23 С 13/08, опубл. 1985 г. "Устройство для транспортировки полупроводниковых пластин".2. Pat. US No. 4558984, CL C 23C 13/08, publ. 1985 "Device for transporting semiconductor wafers."

3. Пат. Японии №6069061, кл. H 01 L 21/68, опубл. 1987 г. "Устройство для автоматической высокоскоростной транспортировки плоских изделий".3. Pat. Japan No. 6069061, class H 01L 21/68, publ. 1987. "Device for automatic high-speed transportation of flat products."

4. Пат. США №4449885, кл. B 65 G 1/00, опубл. 1984 г. "Устройство для транспортировки подложек" (прототип).4. Pat. US No. 4449885, CL B 65 G 1/00, publ. 1984 "Device for transporting substrates" (prototype).

Claims (1)

Translated fromRussian

Устройство для двухсторонней очистки пластин, содержащее установленные на основании разгрузочную и загрузочную кассеты, два механизма шагового перемещения их, механизм вертикального перемещения пластин из разгрузочной кассеты, механизм вертикального перемещения пластин в загрузочную кассету, механизм горизонтального перемещения пластин, снабженный захватом, блок очистки пластин, отличающееся тем, что оно дополнительно снабжено (n-1) блоками очистки, где n - число технологических ванн блоков очистки, определяемое технологическим процессом, вторым механизмом горизонтального перемещения, снабженным захватом, при этом каждый механизм вертикального перемещения пластин снабжен носителем пластин, выполненным в виде сектора тонкого кольца, имеющего на внутреннем круговом торце сектора круговую канавку с V-образной заходной частью и содержащего вертикальный паз, смещенный по горизонтали от оси симметрии сектора, а захват каждого механизма горизонтального перемещения выполнен в виде держателя, снабженного двумя роликами, имеющими круговые канавки с V-образной заходной частью, расстояние между наружными диаметрами которых больше ширины носителей, а также упором, имеющим канавку такого же профиля с V-образной заходной частью и расположенным ниже линии, проведенной через оси роликов держателя таким образом, что его ось симметрии совпадает с осью симметрии вертикального паза на носителях пластин, при этом оси симметрии канавок роликов и упора лежат в одной плоскости, кроме того, каждый из n блоков очистки снабжен механизмом загрузки-выгрузки пластин, выполненным в виде подвижной штанги с жестко закрепленным на ней носителем пластин, взаимодействующим с профилированными роликами, установленными в технологических ваннах, выполненным аналогично носителю каждого механизма вертикального перемещения пластин и дополнительно снабженным сквозным отверстием по оси симметрии носителя.A device for double-sided cleaning of plates containing the unloading and loading cassettes installed on the base, two mechanisms for their step-by-step movement, a mechanism for vertical movement of the plates from the unloading cassette, a mechanism for vertical movement of the plates in the loading cassette, a mechanism for horizontal movement of the plates provided with a grip, a plate cleaning unit, characterized the fact that it is additionally equipped with (n-1) cleaning units, where n is the number of technological baths of the cleaning units, determined by the technological process ss, a second horizontal movement mechanism provided with a gripper, each vertical plate movement mechanism provided with a plate carrier made in the form of a thin ring sector having a circular groove with a V-shaped lead-in on the inner circular end of the sector and containing a vertical horizontal groove from the axis of symmetry of the sector, and the capture of each horizontal movement mechanism is made in the form of a holder equipped with two rollers having circular grooves with a V-shaped set hour a view with a distance between the outer diameters of which is greater than the width of the carriers, as well as an abutment having a groove of the same profile with a V-shaped lead-in and located below the line drawn through the axis of the holder rollers in such a way that its axis of symmetry coincides with the axis of symmetry of the vertical groove on carrier plates, while the axis of symmetry of the grooves of the rollers and the stop lie in the same plane, in addition, each of the n cleaning units is equipped with a mechanism for loading and unloading plates, made in the form of a movable rod with a rigidly fixed n It carrier plate cooperating with profiled rollers, set in processing baths, each perform similar carrier mechanism for vertical movement of the plates, and further provided with a through-hole along the axis of symmetry of the carrier.

Images