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KR970072227A - 도전성 보올의 탑재장치 및 방법 - Google Patents

도전성 보올의 탑재장치 및 방법Download PDF

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bowl
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Abstract

도전성 보올의 탑재장치는 탑재헤드를 포함하고, 그 탑재헤드는 하면에 다수의 흡착공을 설치한 흡착툴을 갖추고, 도전성 보울을 진공흡착한다. 흡착틀은 스프링재에 의하여 탑재헤드에 탄성형상으로 지지되어 있다. 용기에는 소정의 깊이로 플럭스가 저류된다. 흡착툴에는 흡착된 도전성 보올은 같은 툴의 하면에서 돌출하고, 그 돌출깊이는 플럭스 깊이보다 얼만쯤 크다. 흡착툴을 하강시키면, 도전성 보올은 스프링재의 스프링힘에 의하여 용기의 저면에 탄성형상으로 붙는다. 이어서 흡착툴을 상승시키면, 도전성 보올의 하면에 플러스가 부착한다. 플럭스의 깊이를 적정하게 유지시킴으로써, 모든 도전성 보올에 적량의 플럭스를 일광하여 부착시킬 수가 있다. 그리하여, 다수의 도전성 보올에 적량의 플럭스 또는 접착제를 작업성을 좋게 부착시켜서 범프 부착워커의 생산성을 향상시킬 수가 있다.

Description

도전성 보올의 탑재장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 도전성 보올의 탑재장치의 사시도.

Claims (4)

  1. 워커의 위치결정부와 도전성 보올의 공급부와 플럭스 또는 접착제의 저류부, 탑재헤드와, 이 탑재헤드에 상하운동을 행하게 하는 상하동수단과, 이 탑재헤드를 상기 워커의 위치결정부와 상기 도전성 보올의 공급부의 사이를 이동시키는 이동수단을 갖춘 도전성 보올의 탑재장치에 있어서, 상기 탑재헤드가 하면에 도전성 보올의 흡착공이 형성된 흡착툴을 갖추고, 상기 플럭스 또는 접착제의 저류부가 플럭스 또는 접착제를 저류하는 용기와 이 플럭스 또는 접착제의 깊이를 상기 흡착공에 진공흡착된 도전성 보올의 돌출깊이 보다 얕게 조정하는 조정수단을 갖추고, 상기 흡착공에 진공흡착된 도전성 보울을 상기 용기의 저면에 접촉되어서 도전성 보올의 하면에 플럭스 또는 접착제를 부착시키는 것을 특징으로 하는 도전성 보올의 탑재장치.
  2. 워커의 위치결정부와 도전성 보울의 공급부와 플럭스 또는 접착제의 저류부, 탑재헤드와 이 탑재헤드의 상하운동을 행하게 하는 상하동 수단과, 그 탑재헤드를 상기 워커의 위치결정부와 상기 도전성 보올의 공급부의 사이를 이동시키는 이동수단을 갖춘 도전성 보울의 탑재장치에 있어서, 상기 탑재헤드가 상하동수단에 의하여 승강하는 승강부재와 이 승강부재에 설치되고 그 하면에 도전성 보올의 흡착공이 형성된 흡착툴과, 이 흡착툴을 하방에 압압하는 압압수단을 갖추고, 더욱이 압압력 변경수단이 설치되어서, 상기 압압수단의 압압력의 크기를 상기 흡착툴에 흡착한 도전성 보울을 상기 저류부의 저면에 접촉시켜서 플럭스 또는 접착제를 부착시키는 경우와, 상기 위치결정부에 위치결정된 워커에 도전성 보올을 탑재하는 경우로 변경하는 것을 특징으로 하는 도전성 보올의 탑재장치.
  3. 하면에 흡착공을 형성시키고 이것들의 흡착공에 도전성 보올을 진공흡착한 흡착툴을 플럭스 또는 접착제가 저류된 용기의 상방으로 이동시키는 공정과, 상기 플럭스 또는 접착제의 깊이를 상기 흡착공에 흡착된 도전성 보올의 돌출길이 보다 얕게 조정하는 공정과, 상기 흡착툴을 상하동수단의 구동에 의하여 하강시켜서, 그 흡착툴의 도전성 보올을 상기 용기의 저면에 접촉시키며, 다음에 상기 상하동수단을 역방향으로 구동함으로써 상기 흡착툴을 상승시켜서 도전성 보올의 하면에 플럭스 또는 접착제를 부착시키는 공정과, 상기 흡착툴을 워커의 상방으로 이동시키는 공정과, 상기 흡착툴을 상기 상하동수단의 구동에 의하여 하강시켜서 도전성 보울을 워커의 전극에 접촉시키고, 이어서 상기 흡착툴을 상승시킴으로써 도전성 보올을 워커의 전극상에 탑재하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 보올의 탑재방법.
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