KR20230042775A - Semiconductor raw material supply real-time sever monitorring system - Google Patents

Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor which minimizes the cause of defects occurring when supplying raw materials while having each server in each raw material supply device at the time of supplying the raw materials to allow a server to share data with a main server in real time. An object of the present invention is to minimize a defect rate by monitoring in real time in order to fundamentally eliminate supply problems such as environmental factors and capacity of each supply device based on the optimal data of the main server. According to the present invention, real-time monitoring is performed so that the problems of the supply of raw materials for a product which occur in the future can be identified, datafication thereof can be performed, and testing in the future can be minimized, thereby reducing processing steps and producing a product having the best value. The main server can use the personal computer to check instructions to the operator and to stop or control the supply of raw materials.

Description

Translated fromKorean

반도체 원료공급 실시간 서버 감시 시스템{Semiconductor raw material supply real-time sever monitorring system}Semiconductor raw material supply real-time server monitoring system}

본 발명은 반도체 생산 공정 형성방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 공급장치에 원료공급의 전기적반응을 하는 서버를 두고 공급시 서버에서 전기적신호가 메인서버로 공유되고 메인서버의 불량률 데이터에 적용되면 생산을 즉시 멈추거나 수정할 수 있는 반도체원료공급 실시간 서버 감시 시스템 형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for forming a semiconductor production process, and more particularly, when a semiconductor supply device has a server that electrically responds to raw material supply, and an electrical signal is shared from the server to the main server during supply and applied to the defect rate data of the main server It relates to a method for forming a real-time server monitoring system for semiconductor raw material supply that can immediately stop or modify production.

본고안은 가스공급시 실시간 가스공급 모니터링을 하는데 일반적으로 반도체 소자를 제조할때에도 일련의 공정에는 여러 가지 종류의 가스가 사용된다 이러한 공정에서 청정이 유지되는지 아닌지 오퍼레이터에게 알려주어야 하는데 이러한 요구에 의한 가스공급 시스템은 모니터링 장치가 장착되어 있다The present invention monitors gas supply in real time when supplying gas. In general, various types of gas are used in a series of processes even when manufacturing semiconductor devices. The supply system is equipped with a monitoring device

반도체 생산시에도 각 동급장치가 있고 원료들이 혼합되어 합리적인 전기적 값을 내어 목적의 제품을 생산한다 추후 이런 전기적 값을 테스트하여 불량을 감지 하게 되는데 Even in semiconductor production, there are devices of the same class, and raw materials are mixed to produce a target product with reasonable electrical values. Later, these electrical values are tested to detect defects.

본 고안은 불량시 체크된 데이터가 원료 공급시 발생한 오류를 데이터하여 메인서버에In the present invention, the data checked in case of defects is data of errors that occurred when supplying raw materials to the main server.

기록하여 제어하게 한다 각 공급장치에 서버를 두고 실시간으로 반도체 원료의 양과 질적인부분과 환경적요인을 설정하여놓고 메인서버에 실시간으로 신호를 보내며 메인서버의 지휘를 받게된다.A server is placed in each supply device, and the quantity and quality of semiconductor raw materials and environmental factors are set in real time, and signals are sent to the main server in real time and the main server is under the command of the main server.

본 발명은 반도체 제품의 초기불량을 검사하기 위해 생산 설비 장비에서 각 재료가 공급되는 양과 그에 관한 전기적 반응을 감시 하기 위한 것으로써 더욱 상세하게는 반도체 제조공정에서 재료 공급될 ? 반도체 집적회로 소자에 입력된 전기적 신호를 체크하기 위한 실시간 감시 시스템에 관한 것이다.The present invention is to monitor the amount of each material supplied from production facilities and equipment and the electrical reaction thereto in order to inspect the initial defects of semiconductor products, and more specifically, the materials supplied in the semiconductor manufacturing process? It relates to a real-time monitoring system for checking an electrical signal input to a semiconductor integrated circuit device.

일반적으로 반도체 집적회로소자는 신뢰성을 확보하기 위하여 여러 가지의 테스트를 받게 된다.In general, semiconductor integrated circuit devices are subjected to various tests to ensure reliability.

그중에는 반도체 집적회로소자의 모든 입출력 단자를 테스트 장치의 신호 발생회로와 상호 연결하여 단락, 개방, 누설 및 동작 상태를 검사하는 전기적 테스트와 반도체 집적회로소자의 수명 및 결함 발생 여부를 검사하는 번인 테스트가 있다.Among them, an electrical test that interconnects all input/output terminals of the semiconductor integrated circuit device with the signal generating circuit of the test device to inspect short circuit, open, leakage, and operating conditions, and a burn-in test that examines the lifetime and occurrence of defects of the semiconductor integrated circuit device. there is

예를 들어, 통상적인 번인 테스트로 결함이 있는 기억회로,기억 셀 및 배선 등을 검사하게 된다.For example, a typical burn-in test checks for defective memory circuits, memory cells, and wiring.

반도체 집적회로소자가 정상 상태에서 사용될 때 발생될 수 있는 어떤 결함들은 게이트 산화막의 절연파괴 등을 미리 발생하게 하여 사전에 검출하는 것이 가능하고, 이런 테스트에 의해 불량 제품을 미리 제거함으로써 신뢰성을 증대시킬 수 있다.이러한 전기적 테스트를 이용하는 것이 설비감시 모니터링 시스템이다Some defects that may occur when a semiconductor integrated circuit device is used in a normal state can be detected in advance by causing insulation breakdown of the gate oxide film in advance, and reliability can be increased by removing defective products in advance through this test. It is a facility monitoring monitoring system that uses these electrical tests.

상기 반도체 집적회로소자에 재료 공급의 의한 전기적 신호를 연결되도록 되어 있는 PCL 와 서버 보드 공급 장치에 탑재시킴으로써 테스트가 이루어진다.The test is performed by mounting the semiconductor integrated circuit device to the PCL and the server board supply device, which are connected to the electrical signal by the material supply.

통상적으로 전기적 테스트는 반도체 집적회로소자가 웨이퍼에서 분리된 각각의 베어칩Typically, electrical tests are performed on each bare chip in which a semiconductor integrated circuit device is separated from a wafer.

상태로는 테스트 장치의 테스트 신호회로와의 전기적 연결이 어렵기 때문에 반도체 집적회로소자가 몰딩컴파운드로 패키징된 반도체 칩 패키지 상태에서 실시된다.In this state, since it is difficult to electrically connect the test device to the test signal circuit, the semiconductor integrated circuit device is performed in a semiconductor chip package state packaged with a molding compound.

이때, 사용되는 반도체 칩 패키지의 외부리드가 삽입되도록 탑재되는 소켓과, 그 소켓이 탑At this time, a socket mounted so that the external lead of the semiconductor chip package used is inserted, and the socket is top

재되고 회로패턴이 형성되어 있는 인쇄회로기판과, 상기 소켓에 삽입된 리드와 테스트 신호 회로발생장치와 전기적인 연결을 위한 커넥터로 이루어 진다.It consists of a printed circuit board on which a circuit pattern is formed and a lead inserted into the socket and a connector for electrical connection with the test signal circuit generator.

상기 방식은 커넥터부분과 신호회로가 전기적으로 연결되도록 번인 테스트 장치에 형성되어 있는홈에 탑재된다. 그리고, 상기 커넥터를 통하여 입력된 테스트 신호가 인쇄회로기판의 회로패턴을 거쳐서 소켓에 삽입된 리드들과 전기적으로 연결되어 테스트가 진행된다 그러나, 통상의 반도체 칩 패키지는 고밀도 실장에 한계가 있어 최근에는 패키징 되지 않은 다수개의 베The method is mounted in a groove formed in the burn-in test device so that the connector portion and the signal circuit are electrically connected. In addition, the test signal input through the connector is electrically connected to the leads inserted into the socket through the circuit pattern of the printed circuit board, and the test is performed. However, the conventional semiconductor chip package has limitations in high-density mounting, Multiple unpackaged bundles

어칩을 절연 세라믹 기판상에 직접 실장하는 멀티 칩 패키지제조 기술이 개발되어 고속. 대용량 및 소형이면서 고집적도를 구현할 수 있는 반도체 조립기술이 개발되어 있다A multi-chip package manufacturing technology that directly mounts a chip on an insulated ceramic substrate has been developed. Semiconductor assembly technology capable of implementing high-density, high-capacity and small-size products has been developed.

이러한 반도체 칩을 이용한 패키징 기술에 있어서 신뢰성 검증이 끝난 반도체 칩의 필요성이 증대됨에 따라서 베어칩 상태에서 전기적 테스트 및 번인 테스트를 마친 무결함의 베어칩인 노운 굿 다이의 필요성이 증대되고 있다.웨이퍼에서 분리된 단일 베어칩은 상기 번인 보드에 적용할 수 없기 때문에 베어칩 상태에서 전기적 테스트 및 번인 테스트를 할 수 있는 새로운 번인 보드가 필요하게 되었다상기와 같이 반도체 집적회로소자의 경우 초기에 불량이 발생할 확률은 높지만, 이러한 초기불량을 재료,원료As the need for semiconductor chips whose reliability has been verified increases in packaging technology using these semiconductor chips, the need for known good dies, which are defect-free bare chips that have completed electrical tests and burn-in tests in a bare chip state, is increasing. Separation from wafers Since a single bare chip that has been tested cannot be applied to the burn-in board, a new burn-in board that can perform electrical tests and burn-in tests in a bare chip state is required. High, but these initial defects in materials, raw materials

가공급되고 각원료와 재료가 가각의 반응을 감지한다면 원료의 이상과 공급장치의 이상감지가 되어 생산초기 단계에서불량품을 사전에 방지할수있다그러므로 반도체 집적회로소자를 제조한 후, 전기적 특성 검사를 하여 소자에 열적, 전기적 스트레스를 가하여 초기 수명 불량을 유도하기 위한 번인 검사(BURN-IN TEST)를 실시하는 것이 아니라 전기적반응이 이루어지기전에 불량률을 막을수있다.상기와 같이 초기불량검사에서 불량품으로 판정된 반도체 집적회로소자를 체크하기 위해서 공급장치의 감시서버가 사용되는데 반도체 집적회로를 검사하기 위해서는 다이내믹 번인 장치에 필요한 전기적 신호가 정확히 인가되는지를 확인하기 위해 장비내의 모든 번인 장치에 대하여 전기적 신호를 검사하여야 한다.If it is processed and each raw material and material detects each reaction, the abnormality of the raw material and the supply device can be detected and defective products can be prevented in advance in the early stage of production. Therefore, the defect rate can be prevented before the electrical reaction takes place, rather than conducting a burn-in test to induce a defect in the initial lifespan by applying thermal and electrical stress to the device. In order to check the semiconductor integrated circuit device, the monitoring server of the supply device is used. shall.

따라서, 본 발명의 목적은 기존의 시스템의 기능을 보완하여 공정 테스트의 공정을 개선Therefore, an object of the present invention is to improve the process of process test by supplementing the function of the existing system.

하고, 라이트(WRIGHT)/리드(READ)를 통하여 서버 보드상의 각 반도체 장치에 인가되는 전기적 신호의 이상 유무를 파악할 수 있으므로 에러를 방지 하는 목적이 있으며,And, through WRIGHT/READ, it is possible to determine the presence or absence of abnormalities in electrical signals applied to each semiconductor device on the server board, so the purpose is to prevent errors.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 각 공급장치의 서버와 상기서버와 연결 설치되어 있는 드라이브 보드와 상기 드라이브 보드와 연결설치 되어 있는 메인 보드를 포함하고 있는 시스템에 있어서, 프로그램을 저장하고, 상호 데이터를 교환할 수 있는 송신수단인 서버와 상기 서버에 의해 송신된 프로그램을 수신하여 데이터를 인가하여 주기 위한 퍼스널 컴퓨터와 상기 각각의 퍼스널 컴퓨터에서 인가된 데이터를 수신하여 비교 검색된 신호를 읽고 쓰기 위한 시스템을 메인장치에 제공한다. The present invention for achieving the above object is a system including a server of each supply device, a drive board connected to and installed with the server, and a main board connected to the drive board to store a program, A server, which is a transmission means capable of exchanging data with each other, and a personal computer for receiving the program transmitted by the server and applying the data, and for receiving the data applied from each personal computer and reading and writing the signal searched for comparison. system to the main unit.

먼저, 구성을 살펴보면, 데이터 베이스의 기능을 하는 서버가 설치되어 있고, 그 서버에 각각의 퍼스널 컴퓨터가 데이터를 교환할 수 있도록 상호 연결되어 있고, 그 제네레이터는 드라이브 컴패레이터와 상호 연결되어 있으며, 그 드라이브 컴패레이터는 서버보드와 상호 연결되어 있다.First, looking at the configuration, a server that functions as a database is installed, and each personal computer is interconnected to the server so that data can be exchanged, and the generator is interconnected with the drive comparator. The drive comparator is interconnected with the server board.

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상기와 같이 구성된 제 1도 에 따른 작동의 흐름을 좀 더 상세히 살펴보면 다음과 같다.The flow of the operation according to FIG. 1 configured as described above is described in more detail as follows.

먼저, 서버보드는 각원료가 주입될때의 일정시간마다 사이클 값을 인지하고 데이터를 분류한다.First, the server board recognizes the cycle value and classifies the data at each predetermined time when each raw material is injected.

그리고, 환경 파일명, 서버의 흐름을 나타내는 파일명으로 저장한다.Then, the environment file name and the file name representing the flow of the server are saved.

일정시간 마다 사이클의 인가가 완료되면 메인보드로 값을 전달한다.When the application of the cycle is completed at regular intervals, the value is transferred to the main board.

메인보드는 사이클 인가 값을 가지고 있어 원료주입의 정상 값이 입력 값으로 설정되어 정상값이외의 값은 인지하지 못하고 이상신호를 발생하며 작업의 중단을 시킬수 있는 제어 활동을 한다.The main board has a cycle authorization value, so the normal value of raw material injection is set as an input value, and it does not recognize values other than the normal value, generates an abnormal signal, and performs control activities that can stop work.

상세하게는 메인보드는 1이라는 값만 신호를 받을 수 있게 되어 있어 서버 작동시 1이외의 싸이클 값이 입력?을 때에는 작업을 제어하는 신호가 발생된다. In detail, since the main board can receive a signal of only a value of 1, when a cycle value other than 1 is input during server operation, a signal to control the operation is generated.

또는 사이클 값을 범위로 설정 할수 있어 사이클의 위험 경 ,중, 도를 판단하여 분류 할수 있고 오퍼레터에게 이상신호의 데이터를 전달하며 사이클의 작업 패턴을 저장한다.Alternatively, the cycle value can be set as a range, so it can be classified by judging the degree of danger of the cycle, delivering the data of the abnormal signal to the operator and saving the work pattern of the cycle.

이러한 원료주입 반도체 설비는 원료주입의 사이클이 환경, 작업에 따라 다변하기 때문에 자동화공정에서 원료주입이 일정하고 정확히 주입되어야 오류를 줄일수 있다.In these raw material injection semiconductor facilities, since the cycle of raw material injection varies depending on the environment and work, errors can be reduced only when the raw material injection is constant and accurate in the automated process.

따라서, 본 발명에 의하면, 서버, 퍼스널 컴퓨터,드라이브 컴패레이터 및 서버 보드와의 신호 흐름이 각각의 구성 요소들 간의 상호 양방향으로의 피드백이 가능하여지는 장점이 있고, 시스템 내의 모든 서버보드에 실시하게 되는 시그널 체크를 하지 않으므로서 반도체 집적회로소자의 생산성과 반도체 집적회로소자의 품질이 향상되는 효과가 있고, 상기 서버보드의 관리를 효율적으로 실현할 수 있는 효과가 있는 것이다.Therefore, according to the present invention, the signal flow between the server, the personal computer, the drive comparator, and the server board has the advantage of enabling mutual bi-directional feedback between the respective components, and is implemented in all server boards in the system There is an effect of improving the productivity of the semiconductor integrated circuit device and the quality of the semiconductor integrated circuit device by not performing the signal check, and the management of the server board can be efficiently realized.

본 고안은 반도체 원료를 주입시 주입 싸이클을 인지할수 있으면 주입양과 주입물체의 특이점을 감지할수 있으면 제품의 대량 오류를 방지 할수 있다. 본 고안은 주입장치에 주입신호를 사이클로 변화하여 인지할수 있는 센서를 주입용기에 장착하고 주입 사이클 신호를 메인보드에 보내 이상 신호 감지시 주입을 제어하는 감시작동을 실시가능로 하는 것이다In the present invention, if the injection cycle can be recognized when the semiconductor raw material is injected, and if the singularity of the injected amount and injected object can be detected, mass errors in the product can be prevented. The present invention enables a monitoring operation to control injection when an abnormal signal is detected by mounting a sensor capable of changing the injection signal into a cycle in the injection device to the injection container and sending the injection cycle signal to the main board.

도1의 30은 주입용기 제네레이터로 주입 사이클을 감지할수있는 센서가 장착되어 있다
도1의 50은 제네레이터의 최종 공급처를 표현한 것이다.30 in FIG. 1 is an injection container generator equipped with a sensor capable of detecting an injection cycle.
50 in FIG. 1 represents the final supplier of the generator.

본 고안은 원료주입의 불균형의 로 인한 제품 이상을 방지하기위한 목적이 있다.The purpose of the present invention is to prevent product abnormalities due to imbalance of raw material injection.

그러기 위하여는 원료를 확인하여 체크할수 있어야 하나, 원료가 가스형태인 이기 때문에 원료상태를 확인할수 없다. 원료는 액체의 형태로 전용 탱크에 보관되며 주입시 기체인 가스형태로 원료가 주입된다 주입시 가스의 압이라든지, 양 등이 일정치 않으면 자동화 공정에서 불균형으로 인한 오류가 발생 된다To do so, it should be possible to check the raw material, but since the raw material is in the form of a gas, the state of the raw material cannot be confirmed. The raw material is stored in a dedicated tank in the form of a liquid, and when injected, the raw material is injected in the form of a gas. If the pressure or amount of the gas is not constant during injection, an error occurs due to imbalance in the automated process.

하여, 원료 전용 탱크인 제네레이터에 가스의 주입 사이클을 감지할수 있는 센서를 장착한다.Therefore, a sensor capable of detecting the gas injection cycle is installed in the generator, which is a tank dedicated to raw materials.

이 센서는 정상주입량을 1신호로 인지하여 메인보드로 신호를 보낸다.This sensor recognizes the normal injection amount as 1 signal and sends the signal to the main board.

메인보드는 정상주입량 1외의 신호는 이상감지로 인식하여 메인보드로 작업 제어 시호를 보낸다The main board recognizes signals other than the normal injection amount as abnormality detection and sends a work control signal to the main board.

10: 퍼스널pc
20: 메인서버
30: 센서
40: 주입관
50: 최종 공급처10: personal pc
20: Main server
30: sensor
40: injection tube
50: final supply

Claims (1)

Translated fromKorean

사이클 값을 저장하고, 입력 값을 이외의 신호를 메인보드에서 작업 신호로 변경하는 시스템;
원료 공급 사이클 값을 실시간 인지하는 서버를 제네레이터에 장착하는 공정;
실시간으로 사이클 값을 메인보내는 시스템;
원료 주입 사이클을 감지하는 센서;
A system that stores cycle values and changes signals other than input values to work signals from the main board;
A process of installing a server that recognizes a raw material supply cycle value in real time to the generator;
A system that sends cycle values to the main in real time;
A sensor for detecting a raw material injection cycle;

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