KR20090105614A - Mask Assembly for Thin Film Deposition - Google Patents

Abstract

Translated fromKorean

본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체는, 개구부를 구비한 프레임, 패턴 개구부를 가지며 양단이 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크 및 복수의 단위 마스크 사이에 위치하여 단위 마스크 사이의 공간을 차폐하는 복수의 지지대를 포함한다.The thin film deposition mask assembly according to the exemplary embodiment of the present invention includes a frame having an opening, a plurality of unit masks having pattern openings and both ends fixed to the frame, and positioned between the plurality of unit masks to form a space between the unit masks. And a plurality of supports for shielding.

Description

Translated fromKorean

박막 증착용 마스크 조립체{MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM VAPOR DEPOSITION}Mask assembly for thin film deposition {MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM VAPOR DEPOSITION}

본 발명은 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 단위 마스크들을 구비한 마스크 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a mask assembly for thin film deposition, and more particularly to a mask assembly having a plurality of unit masks.

최근 들어 음극선관의 단점을 극복하여 경량화 및 소형화가 가능한 평판 표시 장치가 각광을 받고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치 및 플라즈마 디스플레이 패널 등이 있다.Recently, a flat panel display device capable of reducing weight and size by overcoming a disadvantage of a cathode ray tube has been in the spotlight. Representative examples of such a flat panel display include an organic light emitting display, a liquid crystal display, and a plasma display panel.

이 평판 표시 장치에 있어, 특히 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로서 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.In this flat panel display device, in particular, in order to manufacture an organic light emitting display device, an electrode having a specific pattern, a light emitting layer, or the like must be formed, and a deposition method using a mask assembly may be applied as a method of forming the flat panel display device.

공지의 마스크 조립체는 개구부를 구비하는 프레임과, 길이 방향을 따라 인장력이 가해진 상태로 프레임에 나란히 고정되는 띠 모양의 단위 마스크들로 이루어진다. 단위 마스크는 용접에 의해 프레임에 고정되고, 단위 마스크가 고정되는 프레임의 윗면은 평평한 면으로 이루어진다.The known mask assembly consists of a frame having an opening and band-shaped unit masks fixed side by side to the frame with a tensile force applied along the longitudinal direction. The unit mask is fixed to the frame by welding, and the upper surface of the frame to which the unit mask is fixed consists of a flat surface.

단위 마스크는 하나의 기판에 복수의 유기 발광 표시 장치를 제작할 수 있도록 복수의 패턴 개구부를 구비할 수 있다. 각 패턴 개구부는 하나의 표시 장치에 대응하며, 표시 장치에 형성할 전극 또는 발광층과 같은 모양으로 형성된다.The unit mask may include a plurality of pattern openings so that a plurality of organic light emitting display devices can be manufactured on one substrate. Each pattern opening corresponds to one display device, and is formed in the same shape as an electrode or a light emitting layer to be formed in the display device.

이러한 단위 마스크를 프레임 위에 정렬하고 일정 시간 동안 증착 공정을 실시하다 보면, 단위 마스크의 정렬 오차로 인해 인접한 단위 마스크들 사이에는 간극이 발생할 수 있고, 이 간극을 통해 의도하지 않은 증착이 이루어져 모기판의 부위에 불필요한 전극 또는 발광층 등이 형성될 수 있다.When the unit mask is aligned on the frame and the deposition process is performed for a predetermined time, gaps may occur between adjacent unit masks due to misalignment of the unit masks, and undesired deposition occurs through the gaps. Unnecessary electrodes or light emitting layers may be formed on the sites.

본 발명은 단위 마스크들 사이의 간극을 통해 증착 물질이 불필요하게 증착되는 것을 억제할 수 있는 박막 증착용 마스크 조립체를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a mask assembly for thin film deposition, which can suppress deposition of a deposition material unnecessarily through gaps between unit masks.

본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체는, 개구부를 구비한 프레임, 패턴 개구부를 가지며 양단이 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크 및 복수의 단위 마스크 사이에 위치하여 단위 마스크 사이의 공간을 차폐하는 복수의 지지대를 포함한다.The thin film deposition mask assembly according to the exemplary embodiment of the present invention includes a frame having an opening, a plurality of unit masks having pattern openings and both ends fixed to the frame, and positioned between the plurality of unit masks to form a space between the unit masks. And a plurality of supports for shielding.

상기 복수의 지지대는 단위 마스크의 하부에서 단위 마스크의 배열 방향을 따라 서로 이격되어 위치할 수 있다.The plurality of supports may be spaced apart from each other along the arrangement direction of the unit mask under the unit mask.

상기 프레임은 개구부를 사이에 두고 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부와 한 쌍의 제2 지지부를 포함하고, 지지대의 양단이 한 쌍의 제1 지지부에 고정될 수 있다.The frame may include a pair of first supports and a pair of second supports facing each other with an opening therebetween, and both ends of the support may be fixed to the pair of first supports.

상기 제1 지지부는 복수의 홈을 포함하고, 지지대가 홈에 수용될 수 있다.The first support portion may include a plurality of grooves, and the support may be accommodated in the grooves.

상기 지지대의 두께가 홈의 깊이와 같을 수 있다.The thickness of the support may be equal to the depth of the groove.

상기 지지대의 최상면과 제1 지지부의 최상면이 동일면 상에 위치할 수있다.The top surface of the support and the top surface of the first support may be located on the same surface.

상기 단위 마스크의 일면이 프레임 및 지지대와 접촉될 수 있다.One surface of the unit mask may be in contact with the frame and the support.

본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체에서는 단위 마스크 사이의 간극이 차폐됨에 따라, 상기 간극을 통한 불필요한 증착을 억제할 수 있다. 또한, 기판이 자중에 의한 처지거나 이 기판의 처짐에 의한 단위 마스크들의 변형을 억제할 수 있다.In the mask assembly for thin film deposition according to the embodiment of the present invention, as the gap between the unit masks is shielded, unnecessary deposition through the gap may be suppressed. In addition, it is possible to suppress the deformation of the unit masks due to the sagging of the substrate or the sagging of the substrate.

따라서 박막에 대한 정밀한 증착을 가능하게 하여 박막의 품질을 향상시킬 수 있다.Therefore, it is possible to improve the quality of the thin film by enabling precise deposition on the thin film.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily practice the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체를 나타내는 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 박막 증착용 마스크 조립체가 결합된 상태의 평면도이다.1 is an exploded perspective view illustrating a thin film deposition mask assembly according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the thin film deposition mask assembly of FIG. 1 coupled thereto.

도 1 및도 2를 참조하면, 마스크 조립체(100)는 개구부(201)를 구비하는 프레임(20)과 프레임(20) 위에 나란한 상태로 배열되어 고정되는 단위 마스크들(40) 과, 단위 마스크들(40) 사이에 위치하는 지지대(60)를 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2, themask assembly 100 includesunit masks 40 arranged in parallel with and fixed to theframe 20 having theopenings 201 and theframe 20, and the unit masks. And support 60 positioned between 40.

프레임(20)은 개구부(201)를 갖는 사각틀 형상으로 형성되며, 단위 마스크(40)는 그 양단이 프레임(20)에 고정된다. 이 때, 단위 마스크(40)는 그 길이 방향(도 1의 y축 방향)으로 인장되어 프레임(20)에 고정되므로, 프레임(20)은 이러한 단위 마스크(40)의 결합에 따른 압력에 의해 변형을 일으키지 않도록 강성이 큰 재료로 형성된다.Theframe 20 is formed in a rectangular frame shape having anopening 201, and both ends of theunit mask 40 are fixed to theframe 20. At this time, since theunit mask 40 is tensioned in its longitudinal direction (y-axis direction in FIG. 1) and fixed to theframe 20, theframe 20 is deformed by the pressure due to the coupling of theunit mask 40. It is formed of a material with high rigidity so as not to cause the

프레임(20)은 도 1의 x축 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(22)와, 도 1의 y축 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(24)를 포함하며, 이 한 쌍의 제1 지지부(22)와 제2 지지부(24)는 서로의 연결을 통해 개구부(201)를 형성한다.Theframe 20 includes a pair offirst supports 22 facing each other along the x-axis direction of FIG. 1, and a pair ofsecond supports 24 facing each other along the y-axis direction of FIG. 1. In addition, the pair offirst support portions 22 and thesecond support portions 24 form anopening 201 through connection with each other.

제1 지지부(22)와 제2 지지부(24)는 같은 길이로 형성되거나 다른 길이로 형성될 수 있다. 도 1과 도 2에서는 일례로 제1 지지부(22)가 제2 지지부(24)보다 큰길이를 가지로 형성되어 제 1지지부(22)가 프레임(20)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(24)가 프레임(20)의 단변을 구성하는 경우를 도시하였다.Thefirst support part 22 and thesecond support part 24 may have the same length or different lengths. 1 and 2, for example, thefirst support part 22 is formed to have a length greater than that of thesecond support part 24 so that thefirst support part 22 constitutes a long side of theframe 20, and the second support part ( The case where 24) comprises the short side of theframe 20 is shown.

한편, 제1 지지부(22)에는 x축 방향을 따라 서로 이격되어 배열된 홈(221)이 형성된다.On the other hand, thefirst support portion 22 is formed withgrooves 221 spaced apart from each other along the x-axis direction.

단위 마스크들(40)은 길이 방향을 따라 인장력이 가해진 상태로 프레임(20)위에 고정된다. 단위 마스크(40)는 띠 모양을 가지고 일 방향, 일례로 도1의 x축 방향을 따라 나란하게 배열된다. 단위 마스크(40)는 프레임(20)의 제1 지지부(22) 위에 그 양단이 위치하도록 한 상태에서 용접 등의 방법을 통해 고정될 수 있다.Theunit masks 40 are fixed on theframe 20 with a tensile force applied along the length direction. Theunit mask 40 has a band shape and is arranged side by side in one direction, for example, the x-axis direction of FIG. 1. Theunit mask 40 may be fixed by welding or the like in a state where both ends thereof are positioned on thefirst support part 22 of theframe 20.

이와 같이 마스크를 분할된 단위 마스크(40)를 이용하여 박막 증착용 마스크조립체를 구성하는 경우, 패턴 정밀도가 우수한 단위 마스크(40)를 선별하여 사용할 수있으므로, 패턴 개구부(401)의 형상 오차를 줄일 수 있다. 그리고개별적으로 단위 마스크(40)의 길이 방향을 따라 균일한 인장력이 가해지므로 단위 마스크(40)의 특정 부위에 변형량이 집중하는 것을 최소화할 수 있다.As described above, when the mask assembly using the dividedunit mask 40 is used to form the mask assembly for thin film deposition, theunit mask 40 having excellent pattern accuracy can be selected and used, thereby reducing the shape error of thepattern opening 401. Can be. In addition, since a uniform tensile force is applied along the length direction of theunit mask 40 individually, it is possible to minimize concentration of the deformation amount in a specific portion of theunit mask 40.

단위 마스크(40)에 구비된 패턴 개구부(401)는 표시 장치에 형성될 전극 또는 발광층과 같은 모양으로 형성될 수 있다.Thepattern opening 401 provided in theunit mask 40 may be formed in the shape of an electrode or a light emitting layer to be formed in the display device.

한편, 분할된 복수의 단위 마스크(40)를 프레임(20) 위에 정렬하는 과정에서 인접한 단위 마스크(40) 사이에는 간극이 발생할 있는데, 이 간극이 그대로 단위 마스크(20) 사이에 존재하면 증착 물질이 통과될 수 있다. 통과한 유기물 등의 증착 물질은 증착 공정시 이 간극을 통해 의도하지 않은 증착 결과를 초래하여 표시 장치의 불량을 야기시킬 수 있다. 일례로, 불필요하게 증착된 증착 물질은 최종 제품을 구성하는 기판 상에 형성된 전극들을 단락시키거나 최종 제품을 구성하는 기판과 봉지 기판의 접합을 방해할 수 있다.Meanwhile, in the process of aligning the plurality of dividedunit masks 40 on theframe 20, a gap may occur betweenadjacent unit masks 40. If the gap is present between theunit masks 20, the deposition material may be formed. Can be passed. Deposition materials, such as organic matter, that have passed, may cause undesired deposition results through this gap in the deposition process, which may cause a defect of the display device. In one example, unnecessarily deposited deposition material may short the electrodes formed on the substrate constituting the final product or prevent the bonding of the encapsulation substrate with the substrate constituting the final product.

본 실시예에서는 단위 마스크들(40) 사이의 간극을 차폐할 수 있도록 인접한단위 마스크(40) 사이에 지지대(60)를 배치한다.In this embodiment, thesupport 60 is disposed between theadjacent unit masks 40 so as to shield the gap between theunit masks 40.

지지대(60)는 복수개로 구비되며, 단위 마스크(40)의 배열 방향, 즉 도 1의 x축 방향을 따라 서로 이격되어 단위 마스크(40) 하부에 배열된다. 이에 의해, 지지대(60)는 복수의 단위 마스크(40)의 하부에서 개구부(201)를 가로질러 위치하면서 개구부(201) 위에 떠 있는 단위 마스크들(40)을 지지한다.Thesupport 60 may be provided in plural and spaced apart from each other along the arrangement direction of theunit mask 40, that is, the x-axis direction of FIG. 1. As a result, thesupport 60 supports theunit masks 40 floating on theopening 201 while being positioned across theopening 201 under the plurality ofunit masks 40.

또한, 지지대(60)는 단위 마스크(40) 사이에 위치하되, 지지대(60)의 폭이 인접한 단위 마크스(40)의 패턴 개구부(401) 사이의 간격보다 좁게 형성되어 증착 과정에서 패턴 개구부(401)를 가리지 않도록 한다. 이를 위해 지지대(60)의 양단은 제1 지지부(22)에 형성된 복수의 홈(221) 내에 수용되어 고정될 수 있다.In addition, thesupport 60 is located between theunit masks 40, the width of thesupport 60 is formed narrower than the interval between thepattern openings 401 of theadjacent unit mark 40, thepattern openings 401 in the deposition process Do not cover). To this end, both ends of thesupport 60 may be received and fixed in the plurality ofgrooves 221 formed in thefirst support 22.

한편, 지지대(60)는 강성이 큰재료, 일례로 프레임(20)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 프레임(20)과 지지대(60)가 같은 재료로 형성되면 같은 열팽창 특성을 보이기 때문에 열팽창 차이에 의한 변형을 방지할 수 있다.On the other hand, thesupport 60 may be formed of a material of high rigidity, for example, the same metal as theframe 20. When theframe 20 and thesupport 60 are formed of the same material, since the same thermal expansion characteristics are exhibited, deformation due to the difference in thermal expansion can be prevented.

도 1에서는 일례로 사각 단면 형상을 가지는 8개의 지지대(60)가 구비되는 경우를 도시하였으나, 지지대(60)의 단면 형상과 개수는 도시한 예에 한정되지 않는다.In FIG. 1, for example, eightsupport 60 having a rectangular cross-sectional shape is provided, but the cross-sectional shape and the number of thesupport 60 are not limited to the illustrated example.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 자른 단면을 나타낸다.3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2.

도 3을 참조하면, 마스크 조립체(100)는 프레임(20)의 홈들(201) 내에 지지대들(60)이 수용되고, 이 프레임(20) 및 지지대들(60) 위에 단위 마스크들(40)이 위치한다.Referring to FIG. 3, themask assembly 100 may include thesupports 60 in thegrooves 201 of theframe 20, and theunit masks 40 may be disposed on theframes 20 and thesupports 60. Located.

홈(201)의 깊이(D)는 지지대(60)의 두께(T)와 동일하거나 클 수 있다. 이러한 구조에서 지지대(60)가 홈(201)에 고정되면 지지대(60)의 최상면(601)은 제1 지지부(22)의 최상면(222)에서 돌출되지 않을 수 있다. 일례로, 도 3에 도시한 바와 같이 홈(201)의 깊이(D)와 지지대(60)의 두께(T)가 동일하면, 지지대(60)의 최상면(601)과 제1 지지부(22)의 최상면(222)이 동일면 상에 위치할 수 있다.The depth D of thegroove 201 may be equal to or greater than the thickness T of thesupport 60. In this structure, when thesupport 60 is fixed to thegroove 201, thetop surface 601 of thesupport 60 may not protrude from thetop surface 222 of thefirst support 22. For example, as shown in FIG. 3, when the depth D of thegroove 201 and the thickness T of thesupport 60 are the same, thetop surface 601 of thesupport 60 and thefirst support 22 may be formed.Top surface 222 may be located on the same surface.

지지대(60)가 제1 지지부(22)의 홈(201)에 수용되는 구조에서는 프레임(20) 위로 복수의 단위 마스크(40)가 고정될 때, 지지대(60)가 설치된 부위에서 단위 마스크(40)가 제1 지지부(22)의 최상면(222)으로부터 도 3의 z축 방향으로 들뜨지 않고 위치할 수있다. 그 결과, 단위 마스크(40)는 하면이 제2 지지부(22) 및 지지대(60)와 접촉하면서 배치될 수 있다.In the structure in which thesupport 60 is accommodated in thegroove 201 of thefirst support 22, when the plurality ofunit masks 40 are fixed onto theframe 20, theunit mask 40 is installed at the site where thesupport 60 is installed. ) May be positioned from thetop surface 222 of thefirst support 22 without lifting in the z-axis direction of FIG. 3. As a result, theunit mask 40 may be disposed while the lower surface of theunit mask 40 contacts thesecond support 22 and thesupport 60.

이러한 구조에서 지지대(60)는 단위 마스크(40)를 그 하부에서 지지하면서 인접한 단위 마스크들(40) 사이의 간극(402)을 프레임(20)의 하부의 증착 물질로부터 차폐시킨다.In this structure, thesupport 60 shields thegap 402 between the adjacent unit masks 40 from the deposition material under theframe 20 while supporting theunit mask 40 thereunder.

도 4는 상기 마스크 조립체(100)를 이용한 표시 장치의 증착 과정을 나타낸 개략도이다.4 is a schematic diagram illustrating a deposition process of a display device using themask assembly 100.

도 4를 참조하면, 프레임(20)은 증착 설비 내의 프레임 홀더(12)에 고정되고, 복수의 단위 마스크(40) 위로 증착 대상인 기판(14)(이하, 모기판이라 칭함)이 놓인다. 이 상태에서 증착원(16)으로부터 전극 재료 또는 발광층 재료가 증발하면, 패턴 개구부(401, 도 1에 도시)를 통해 모기판(14)에 패턴 개구부(401)와 동일한 형상의 재료가 증착된다. 이와 같이 마스크 조립체(100)를 이용하여 한장의 모기판(14)에 복수의 표시 장치, 일례로 복수의 유기 발광 표시 장치를 제작할 수 있다.Referring to FIG. 4, theframe 20 is fixed to aframe holder 12 in a deposition apparatus, and a substrate 14 (hereinafter, referred to as a mother substrate) to be deposited is placed on the plurality of unit masks 40. When the electrode material or the light emitting layer material evaporates from thedeposition source 16 in this state, a material having the same shape as the pattern opening 401 is deposited on themother substrate 14 through the pattern opening 401 (shown in FIG. 1). As described above, themask assembly 100 may be used to fabricate a plurality of display devices, for example, a plurality of organic light emitting display devices, on thesingle mother substrate 14.

이 때, 본 실시예의 마스크 조립체(100)에서는 지지대(60)가 복수의 단위 마스크(40) 사이의 간극을 증발원(16)으로부터 차폐시키면서 단위 마스크(40)를 지지하므로, 단위 마스크(40)의 패턴 개구부(401)에 대응되는 패턴만이 모기판(14)에 증착될 수 있으며 모기판(14)의 자중에 의한 처짐과 이에 따른 단위 마스크들(40) 의 변형을 억제할 수 있다. 그 결과 증착 정밀도를 높일 수 있다.At this time, in themask assembly 100 of the present embodiment, thesupport 60 supports theunit mask 40 while shielding the gap between the plurality of unit masks 40 from theevaporation source 16. Only the pattern corresponding to the pattern opening 401 may be deposited on themother substrate 14, and the sag caused by the weight of themother substrate 14 and the deformation of the unit masks 40 may be suppressed accordingly. As a result, deposition accuracy can be improved.

상기에서는 마스크 조립체가 유기 발광 표시 장치의 전극과 발광층을 형성하는데 사용되는 것으로 기재하였으나, 본 발명은 여기에 한정되지 않으며 마스크 조립체는 다른 표시 장치의 전극 등을 형성하는데 유효하게 적용될 수 있다.Although the mask assembly has been described as being used to form the electrode and the light emitting layer of the organic light emitting display device, the present invention is not limited thereto and the mask assembly may be effectively applied to form the electrode of another display device.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of a mask assembly for thin film deposition according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체의 평면도이다.2 is a plan view of a thin film deposition mask assembly according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 선을 따라 자른 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2.

도 4는 도 1에 도시한 마스크 조립체를 이용한 박막의 증착 과정을 나타낸 개략도이다.4 is a schematic diagram illustrating a deposition process of a thin film using the mask assembly shown in FIG. 1.

<도면의 주요 부분에 대한 참조 부호의 설명><Description of reference numerals for the main parts of the drawings>

100 마스크 조립체20; 프레임201; 홈100mask assembly 20;Frame 201; home

22; 제1 지지부24; 제2 지지부22;First support 24; Second support

40; 단위 마스크401; 패턴 개구부60; 지지대40;Unit mask 401;Pattern opening 60; support fixture

Claims (7)

Translated fromKorean

개구부를 구비한 프레임Frame with opening패턴 개구부를 가지며 양단이 상기 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크 및A plurality of unit masks having a pattern opening and both ends fixed to the frame;상기 복수의 단위 마스크 사이에 위치하여 상기 단위 마스크 사이의 공간을 차폐하는 복수의 지지대A plurality of supports positioned between the plurality of unit masks to shield a space between the unit masks를 포함하는 박막 증착용 마스크 조립체.Mask assembly for thin film deposition comprising a.제1항에 있어서,The method of claim 1,상기 복수의 지지대는 상기 단위 마스크의 하부에서 상기 단위 마스크의 배열 방향을 따라 서로 이격되어 위치하는 박막 증착용 마스크 조립체.And the plurality of supports are spaced apart from each other in an arrangement direction of the unit mask under the unit mask.제1항에 있어서,The method of claim 1,상기 프레임은 상기 개구부를 사이에 두고 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부와 한쌍의 제2 지지부를 포함하고,The frame includes a pair of first supports and a pair of second supports facing each other with the opening therebetween,상기 지지대의 양단이 상기 한 쌍의 제1 지지부에 고정된 박막 증착용 마스크 조립체.A mask assembly for thin film deposition, wherein both ends of the support are fixed to the pair of first supports.제3항에 있어서,The method of claim 3,상기 제1 지지부는 복수의 홈을 포함하고, 상기 지지대가 상기 홈에 수용되는 박막 증착용 마스크 조립체.And the first support part includes a plurality of grooves, and the support is accommodated in the grooves.제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein상기 지지대의 두께가 상기 홈의 깊이와 같은 박막 증착용 마스크 조립체.Mask assembly for thin film deposition, wherein the thickness of the support is equal to the depth of the groove.제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein상기 지지대의 최상면과 상기 제1 지지부의 최상면이 동일면 상에 위치하는 박막 증착용 마스크 조립체.And a top surface of the support and a top surface of the first support are disposed on the same surface.제1항에 있어서,The method of claim 1,상기 단위 마스크의 일면이 상기 프레임 및 상기 지지대와 접촉된 박막 증착용 마스크 조립체.A mask assembly for thin film deposition, wherein one surface of the unit mask is in contact with the frame and the support.

Images