KR20070031475A - Initial focus optimization of optical scanner - Google Patents

Abstract

Translated fromKorean

특별한 타입의 고밀도 광 기록 시스템에서, 고체침지렌즈(SIL)는 광 기록매체(82)의 정보층 상에 방사빔(62)을 포커싱하는 대물렌즈계에서 사용된다. SIL(122)의 출사면과 기록매체(120)의 입사면간의 간격의 폭을 나타낸 적절한 간격 신호를 사용하여, 상기 시스템의 작동시에 상기 간격의 폭을 제어한다. 광 기록 시스템의 광학계의 광학부재와 광학 기계 부재의 허용오차는, 대물렌즈계의 초점의 위치에서의 오프셋이 생길 수 있다. 이 오프셋은, 일반적으로 사용된 상기 기록 시스템에 대한 간격 폭보다 클 수 있다. 이것에 의해, SIL과 기록매체 사이에서 직접 접촉하게 되어, 그들 중 한쪽 또는 양쪽을 손상시키게 될 수도 있다. 본 발명에는, 간격 폭 제어를 위해 신뢰 가능하고 강건한 간격신호를 얻을 수 있도록 광 기록매체를 판독 또는 기록하는데 사용된 광학계의 포커스 오프셋을 정정하는 포커스 초기화 방법 및 구현을 개시한다.In a particular type of high density optical recording system, a solid immersion lens (SIL) is used in an objective lens system that focuses the radiation beam 62 on the information layer of the optical record carrier 82. An appropriate interval signal representing the width of the gap between the exit face of the SIL 122 and the incident face of the recording medium 120 is used to control the width of the gap during operation of the system. Tolerances between the optical member and the optical mechanical member of the optical system of the optical recording system may cause an offset in the position of the focal point of the objective lens system. This offset may be larger than the gap width for the recording system generally used. This may cause direct contact between the SIL and the recording medium, which may damage one or both of them. The present invention discloses a focus initialization method and implementation for correcting a focus offset of an optical system used to read or write an optical record carrier to obtain a reliable and robust interval signal for gap width control.

초기 포커스 최적화, 오프셋, SIL, 간격 신호Initial Focus Optimization, Offset, SIL, Interval Signal

Description

Translated fromKorean

광학주사장치의 초기 포커스 최적화{INITIAL FOCUS OPTIMIZATION FOR AN OPTICAL SCANNING DEVICE}INITIAL FOCUS OPTIMIZATION FOR AN OPTICAL SCANNING DEVICE}

본 발명은 기록매체를 주사하는, 특히 방사선의 감쇄(evanescent) 결합을 사용하여 기록매체를 주사하는, 광학주사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an optical scanning device for scanning a recording medium, in particular for scanning the recording medium using an evanescent coupling of radiation.

특별한 타입의 고밀도 광학주사장치에서는, 고체침지렌즈(SIL)를 사용하여 방사빔을 기록매체의 정보층의 주사 스폿에 포커싱한다. SIL의 출사면과 기록매체의 입사면간의 간격의 특정 크기, 예를 들면 25nm는, 상기 SIL로부터 기록매체로 방사빔의 감쇄 결합을 가능하게 하는 것이 바람직하다. 한편, 감쇄 결합은, 부분 내부 전반사(FTIR)이라고도 한다. 또한, 감쇄결합을 사용한 기록 시스템은, 근시야계로서 공지되고, 그들의 이름은 종종 근시야라고 하는 SIL의 출사면에서의 감쇄파에 의해 형성된 필드로부터 얻어진다. 예시적 광학주사장치는, 파장이 약 405nm인 방사빔을 방출하는 블루레이저인 방사원을 사용하여도 된다.In a special type of high density optical scanning device, a solid immersion lens (SIL) is used to focus the radiation beam on the scanning spot of the information layer of the recording medium. A particular size of the distance between the exit surface of the SIL and the entrance surface of the recording medium, for example 25 nm, preferably enables attenuation coupling of the radiation beam from the SIL to the recording medium. Attenuation coupling is also referred to as partial internal total reflection (FTIR). In addition, a recording system using attenuation coupling is known as a near field system, and their name is obtained from a field formed by an attenuation wave at the emission surface of the SIL, often called a near field. An exemplary optical scanning device may use a radiation source that is a blue laser that emits a radiation beam having a wavelength of about 405 nm.

기록매체의 주사시에, SIL의 출사면과 기록매체의 외부면간의 감쇄 결합을 유지하여야 한다. 이것은, SIL과 기록매체 사이에서 작동시에 원하는 매우 작은 값 으로 간격의 크기를 유지하는 것을 포함한다. 일반적으로, 이러한 감쇄 결합의 효율은, 출사면과 입사면 사이의 간격의 크기 변경에 따라 변화한다. 그 간격 크기가 원하는 간격 크기보다 커지는 경우, 상기 결합 효율이 감소하게 되고, 그 주사 스폿의 품질도 감소하게 된다. 상기 주사과정이 기록매체로부터 데이터를 판독하는 것을 포함하는 경우, 예를 들면, 상기와 같은 효율의 감소에 의해, 오류가 데이터 신호에 포함될 가능성을 갖는 판독되는 데이터의 품질이 감소될 것이다. 간격 크기가 아주 작으면 SIL과 기록매체의 충돌이 생길 수도 있다.At the time of scanning of the record carrier, attenuation coupling between the exit face of the SIL and the outer face of the record carrier should be maintained. This involves maintaining the size of the gap at a very small value desired in operation between the SIL and the record carrier. In general, the efficiency of such attenuation coupling varies with the change in the size of the gap between the exit plane and the entrance plane. If the gap size is larger than the desired gap size, the coupling efficiency is reduced, and the quality of the scanning spot is also reduced. If the scanning process involves reading data from the recording medium, for example, by such an efficiency reduction, the quality of the read data with the possibility that an error is included in the data signal will be reduced. If the gap size is too small, a collision between the SIL and the recording medium may occur.

기계 액추에이터를 사용하여 상기 작은 거리로 간격의 폭을 제어할 수 있도록, 간격 서보 시스템의 입력으로서 적절한 제어신호를 필요로 한다. 그 간격 신호는, 대물렌즈계의 출사면과 광 기록매체의 입사면간의 간격의 폭에 대한 측정값인 신호이다. T.Ishimoto et al.[1] 및 Zijp et al.[2]에 의한 문서에 개시된 것처럼, 간격신호로서 적당한 신호는, 기록매체에 포커싱된 포워드 방사빔의 편광 상태에 수직한 편광 상태를 갖는 반사광으로부터 얻어질 수 있다. 광의 중요한 부분은, SIL-공기-기록매체 경계에서 반사 후 타원형으로 편광되고: 이러한 현상은 교차 편광자를 통해 그 반사광이 관측되는 경우 공지된 말테세(Maltese) 교차를 생성한다. 이러한 말테세 교차의 모든 광을 편광 광학부품과 단일 광검출기인 방사선 검출기를 사용하여 통합하는 것은, 간격신호를 발생한다. 간격신호의 값은, 간격 폭이 제로일 경우 제로이고 상기 간격 폭이 그 파장의 약 10분의 1일 경우 최대값에서의 간격 폭과 레벨이 증가함에 따라 증가한다. 원하는 간격 폭은, 간격 신호의 특정 값, 셋 포인트에 해당한다. 그 간격 신호와 상기 셋 포인트인 고정된 전압은, 비교 기, 예를 들면 감산기에 입력되고, 이 감산기는 그 출력에서 간격 오차신호를 형성한다. 그 간격 오차신호를 사용하여 간격 서보 시스템을 제어한다.In order to be able to control the width of the gap by the small distance using a mechanical actuator, an appropriate control signal is required as an input to the interval servo system. The interval signal is a signal that is a measure of the width of the interval between the emission surface of the objective lens system and the incident surface of the optical recording medium. T.Ishimoto et al. [1] And as disclosed in the document by Zijp et al. [2], a signal suitable as an interval signal can be obtained from reflected light having a polarization state perpendicular to the polarization state of the forward radiation beam focused on the recording medium. An important part of the light is an elliptical polarization after reflection at the SIL-air-recorder boundary: this phenomenon produces a known Maltese crossover when the reflected light is observed through the cross polarizer. Integrating all the light of these Maltese crosses using a polarizing optical component and a radiation detector which is a single photodetector generates a spacing signal. The value of the spacing signal is increased as the spacing width and level at the maximum value is zero when the spacing width is zero and the spacing width is about one tenth of the wavelength. The desired interval width corresponds to a specific value, set point of the interval signal. The interval signal and the fixed voltage, which is the set point, are input to a comparator, for example a subtractor, which forms an interval error signal at its output. The interval error signal is used to control the interval servo system.

대물렌즈의 렌즈 부재와 조립체의 제조 허용오차(이를테면, 광학부재의 두께, 상호거리 및 반경)로 인해, 원하는 위치에 초점을 갖는 근시야 렌즈를 제조하는 것이 아주 어렵다. 그 간격 폭의 범위가 바람직하게는 25nm이므로, 상기 시스템의 포커스 위치에 관한 요구사항은, 동일한 범위에 있다. 초점심도는, (포커싱된 스폿이 회절제한되면) 약 λ/2NA_eff²이고, 그 결과의 파장은 405nm이고 1.8의 NA_eff는 약 63nm이다.Due to the manufacturing tolerances of the lens member and assembly of the objective lens (such as the thickness, mutual distance and radius of the optical member), it is very difficult to manufacture a near field lens having a focus at a desired position. Since the range of the gap width is preferably 25 nm, the requirement regarding the focus position of the system is in the same range. The depth of focus is about λ / 2NA_eff² (if the focused spot is diffracted limited), the resulting wavelength is 405 nm and NA_eff of 1.8 is about 63 nm.

15mλ rms(밀리파 루트-평균-제곱 광 경로차(RMS OPD)) 미만의 파면수차에 대한 렌즈-SIL 거리의 허용오차는, 0.25um일뿐이고(F.Zijp et al.[2] 참조), 이는 실제로 수행하기가 어렵다. 대물렌즈 사용시의 방사빔 폭주에 대한 설계값으로부터 방사빔의 폭주의 편차도, 상기 시스템에서의 포커스의 결과적인 위치에 영향을 줄 수도 있다. 이러한 디포커스에다가, 구면수차 등의 다른 수차는, 상기 시스템의 포커스의 위치에 영향을 줄 수 있다.The tolerance of the lens-SIL distance for wavefront aberrations below 15 mλ rms (millimeter wave root-mean-square optical path difference (RMS OPD)) is only 0.25 um (see F.Zijp et al. [2]), This is difficult to do in practice. The deviation of the radiation beam runaway from the design value for the radiation beam runaway when using the objective lens may also affect the resulting position of focus in the system. In addition to this defocus, other aberrations such as spherical aberration can affect the position of the focus of the system.

이러한 모든 오차에 의해 오류 간격 신호가 생기기도 한다. SIL의 출사면부터 기록매체까지의 거리가 전형적으로 방사선의 파장의 1/10보다 작으므로, 간격 신호가 정확하지 않을 경우 대물렌즈에 의해 광 기록매체를 손상시킬 위험이 있다.All of these errors can lead to error gap signals. Since the distance from the exit surface of the SIL to the recording medium is typically less than 1/10 of the wavelength of the radiation, there is a risk of damaging the optical recording medium by the objective lens if the interval signal is not accurate.

현재 광 기록 시스템의 포커스 초기화를 위한 실행은, 방사빔, 바람직하게는 대물렌즈를 향하는 평행한 방사빔의 폭주에 관한 매우 엄격한 허용오차에 의거한 다. 그리고, 그 대물렌즈는 광 경로에 실장된다. 그 대물렌즈는, 포커스 및 트랙킹 서보 제어가 비활성(개방 루프)인 동안 비회전 기록매체(예를 들면, ROM 디스크)와 접촉한다. 통상, 비회전 기록매체가 예를 들면, 셋업의 진동으로 인해 작은 측방운동을 하고 있으므로, 상기 시스템의 트랙킹 또는 RF 검출 채널의 신호들에 있어서 변조가 있다. 그리고, 상기 시스템의 포커스 오프셋은, 대물렌즈를 향하는 방사빔의 폭주 변경에 의해(예를 들면, 망원경 또는 시준기 위치 조정에 의해) 조정되어, 그 간격 신호는, 충분히 변조한 (예를 들면, 푸시풀 또는 데이터 등의) 판독신호를 얻는 경우 실질적으로 제로이다. 이제, 포커스 오프셋에 대해 정정된 간격 신호는 사용 가능하고, 간격 제어 및 트랙킹 제어에 의해 회전 디스크를 갖는 상기 시스템의 기동이 행해질 수 있다([2] 참조).The practice for focus initialization of the current optical recording system is based on very tight tolerances regarding the congestion of the radiation beam, preferably parallel radiation beams towards the objective lens. The objective lens is mounted on the optical path. The objective lens contacts the non-rotating recording medium (e.g., ROM disk) while the focus and tracking servo control is inactive (open loop). Typically, since the non-rotating record carrier is making small lateral movements, for example due to oscillations of the setup, there is modulation in the tracking or signals of the RF detection channel of the system. The focus offset of the system is then adjusted by changing the congestion of the radiation beam towards the objective lens (e.g. by adjusting the telescope or collimator position) so that the interval signal is sufficiently modulated (e.g. push It is substantially zero when a read signal (such as full or data) is obtained. Now, the interval signal corrected for the focus offset is available, and the startup of the system with the rotating disk can be done by the interval control and tracking control (see [2]).

이러한 오프셋 조정은, 입사하는 레이저 빔이 평행한 것에서 약간 수속 또는 발산되게 변경하여, 예를 들면 시준렌즈 위치 또는 망원경 구성에서의 렌즈의 위치를 조정하여서 이루어질 수 있다. 예를 들면, 20um까지의 렌즈-SIL 거리 오차로 인한 디포커스 수차는, 그 방식으로 상기 사용 가능한 광 기록 시스템에서 보상되기도 가능하였다.This offset adjustment can be made by changing the incident laser beam so that it is slightly convergent or divergent in parallel, for example by adjusting the collimation lens position or the position of the lens in the telescope configuration. For example, defocus aberrations due to lens-SIL distance errors of up to 20 um could have been compensated in the usable optical recording system in that way.

오차가 보다 큰 것은 동일한 방식으로 정정하는 것도 가능하다; 그렇지만, 그 결과 상기 포커싱된 방사빔에서의 (주로 구면수차로 인한) 결과적인 수차 레벨은 증가된다.Larger errors can be corrected in the same way; However, as a result, the resulting aberration level (mainly due to spherical aberration) in the focused radiation beam is increased.

이것이 의미하는 것은, 그것이 제조된 대물렌즈마다 시준렌즈 또는 망원렌즈의 위치를 최적화하는데 필요할 수도 있다는 것이다. 다른 가능한 대안은, 그 대물 렌즈로 향하는 방사빔이 고도로 한정된 평행 방사빔이고, 렌즈-SIL 거리가 추가의 액추에이터에 의해 조정되어 디포커스를 최소화하도록, 그 시준기 또는 망원경 위치를 고정되게 유지한다. 그러나, 이러한 접근법은, 렌즈계의 복잡도, 비용 및 운동 질량을 증가시킬 수도 있어, 대역폭과 그에 따라 얻을 수 있는 데이터 전송속도를 감소시킬 것이다. 특히, 근시야 광 기록 시스템이 상품화되고 비용이 저렴한 경우, 콤팩트하고 대량 생산 가능한 광 픽업장치(OPU)를 사용하게 될 것이다.This means that it may be necessary to optimize the position of the collimator or telephoto lens for each objective lens manufactured. Another possible alternative is that the radiation beam directed to the objective lens is a highly defined parallel radiation beam, and the collimator or telescope position is kept fixed so that the lens-SIL distance is adjusted by an additional actuator to minimize defocus. However, this approach may increase the complexity, cost and kinetic mass of the lens system, thereby reducing the bandwidth and thus the data rate that can be obtained. In particular, when near-field optical recording systems are commercialized and inexpensive, they will use compact and mass-produced optical pickup devices (OPUs).

또 다른 가능한 대안은, 상기 OPU에 간섭 측정의 측정법을 포함한다. 그러나, 이것은, 시간 소비 측정법이고, NA가 1보다 큰 렌즈가 콤팩트 빌드(build) OPU 내측의 반사도 설정에 있어서 분석될 필요가 있기 때문에 수행하는 것이 어렵다고도 예상된다.Another possible alternative includes measuring the interference measurement on the OPU. However, this is also a time consuming measurement, and it is also expected to be difficult to perform because lenses having a NA greater than 1 need to be analyzed in setting the reflectivity inside the compact build OPU.

예를 들면, 기록매체의 판독시에 중심 개구 또는 RF(데이터) 신호를 최대화하는 것을 기초로 한 초기 포커스 최적화 방법은, 초기 포커스 설정과 디스크 각도 조정을 그래도 필요로 하므로 초기 스텝으로서 사용 가능하지 않을 수도 있다. 비최적화 포커스 위치에 의해, 스폿의 수차가 커지게 되어, 간격 제어 및/또는 트랙킹은 쉽게 실패하기도 한다. 심지어, 이것에 의해, 기록매체를 판독하는 경우 기록매체와 대물렌즈간에 충돌이 생기기도 하여, 기록매체 또는 대물렌즈에 손상을 입히거나 사용 불가능해질 수도 있다.For example, an initial focus optimization method based on maximizing the center aperture or RF (data) signal when reading a recording medium may not be available as an initial step because it still requires initial focus setting and disc angle adjustment. It may be. Due to the non-optimized focus position, the aberration of the spot becomes large, and the interval control and / or tracking may easily fail. This may even cause a collision between the recording medium and the objective lens when reading the recording medium, which may damage or render the recording medium or the objective lens unusable.

따라서, 본 포커스 초기화 방법은, 강건하고 시간소비형이 아니라고 생각한다.Therefore, this focus initialization method is considered to be robust and not time-consuming.

본 발명의 주목적은, 신뢰성 있는 간격신호를 얻을 수 있도록 근시야 또는 감쇄결합에 있어서 광 기록 시스템의 포커스 위치의 강건한 초기화 구현 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a robust initialization method of focusing positions of an optical recording system in near-field or attenuation coupling so as to obtain a reliable interval signal.

(발명의 요약)(Summary of invention)

본 발명의 제 1 국면에서는, 입사면(120)과 적어도 하나의 정보층을 갖는 광 기록매체(82)를 주사 위치에서 주사하는 광학주사장치를 제공하되, 이 광학주사장치는, 전방향 방사빔(62)을 발생하는 방사원(60)과, 이 방사빔을 상기 적어도 하나의 정보층 상에 포커싱하고, 출사면(122)이 상기 방사원과 상기 주사위치 사이의 전방향 방사빔의 경로에 배치되며, 광 기록매체가 그 주사위치에 위치되는 경우 상기 출사면과 입사면간의 간격을 가로지르는 상기 방사선과 광 기록매체와의 감쇄결합을 제공하는 대물렌즈계와, 이 대물렌즈계로부터 출력되는 반사된 방사빔을 검출하여 그 간격의 폭을 나타낸 간격 신호를 공급하는 방사선 검출기(108)를 구비하는 것으로서, 상기 광학주사장치는, 그 간격 신호에 따라 본 장치에서의 포커스 오프셋을 정정하기 위해 상기 전방향 방사빔의 폭주를 조정하는 수단(72)을 구비한 것을 특징으로 한다.In a first aspect of the present invention, there is provided an optical scanning device for scanning anoptical recording medium 82 having anincident surface 120 and at least one information layer at a scanning position, wherein the optical scanning device is an omnidirectional radiation beam. Aradiation source 60 generating 62 and focusing the radiation beam onto the at least one information layer, anexit surface 122 being disposed in the path of the omnidirectional radiation beam between the radiation source and the dice An objective lens system providing an attenuation coupling between the radiation and the optical recording medium across the gap between the exit surface and the incident surface when the optical record carrier is positioned on the dice, and the reflected radiation beam output from the objective lens system. And aradiation detector 108 for detecting and supplying an interval signal indicative of the width of the interval, wherein the optical scanning device is configured to correct the focus offset in the device in accordance with the interval signal. In that it includes ameans 72 for adjusting the convergence of the forward radiation beam characterized.

따라서, 본 발명의 출원에서는, 대물렌즈계와 기록매체와의 충돌 가능성을 종래 기술의 사용 가능한 광학부재를 이용하여 피하도록 상기 시스템의 포커스 오프셋을 초기화하는 가능성을 제공한다. 광 기록 시스템에서의 포커스 오프셋을 제거함으로써, 신뢰성 있는 간격 신호를 얻을 수 있다.Accordingly, the present application provides the possibility of initializing the focus offset of the system to avoid the possibility of collision between the objective lens system and the recording medium using the available optical members of the prior art. By removing the focus offset in the optical recording system, a reliable interval signal can be obtained.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 상기 조정수단은 광학계가 콤팩트하게 되도 록 대물렌즈계에 설치되어도 된다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 상기 전방향 빔의 폭주를 조정하는 수단은, 축방향 가동형 광학부재 또는 이와는 달리 전기적으로 조정 가능한 가변 포커스 길이를 갖는 광학부재로 이루어진다.In a preferred embodiment of the present invention, the adjusting means may be provided in the objective lens system so that the optical system is compact. In a preferred embodiment of the invention, the means for adjusting the runaway of the omnidirectional beam consists of an axially movable optical member or an optical member having an electrically adjustable variable focus length.

본 발명의 제 2 국면에서는, 광학주사장치에서의 포커스 오프셋 정정방법을 제공하되, 이 방법은, 광 기록매체의 입사면과 대물렌즈계의 출사면간의 간격 폭을, 그 간격 폭이 상기 파장의 상기 1/10보다 작은 경우 그 전방향 방사선의 파장의 적어도 1/10까지 증가시키는 단계와, 전방향 방사빔을 대물렌즈계의 출사면에 포커싱하는 단계와, 대물렌즈계의 출사면으로 향하는 방사빔의 폭주를 그 간격 신호에 따라 조정하는 단계를 적어도 포함한다.In a second aspect of the present invention, there is provided a method for correcting a focus offset in an optical scanning device, the method comprising: an interval width between an entrance face of an optical record carrier and an exit face of an objective lens system; If less than 1/10, increasing the wavelength of the omnidirectional radiation to at least 1/10; focusing the omnidirectional radiation beam on the exit face of the objective system; and congestion of the radiation beam towards the exit face of the objective lens system. At least according to the interval signal.

본 발명의 제 3 국면에서는, 상술한 광학주사장치에서의 포커스 오프셋 정정방법을 제공하고, 이 방법은, 광 기록매체의 입사면과 그 입사면에 가장 근접한 정보층 사이의 재료의 두께에 대한 대물렌즈계의 출사면으로 향하는 방사빔의 폭주를 정정하는 단계를 포함한다.In a third aspect of the present invention, there is provided a method for correcting a focus offset in an optical scanning device as described above, which method provides an objective for the thickness of a material between an incident surface of an optical record carrier and an information layer closest to the incident surface. Correcting the congestion of the radiation beam directed to the exit face of the lens system.

도 1a는 종래 기술에 따른 공기중에서의 광빔을 포커싱하는 렌즈를 나타내고,1a shows a lens for focusing a light beam in air according to the prior art,

도 1b는 종래 기술에 따른 반구형 고체 침지렌즈에서의 광빔을 포커싱하는 렌즈를 나타내고,1b shows a lens for focusing a light beam in a hemispherical solid immersion lens according to the prior art,

도 1c는 종래 기술에 따른 어플라나틱(aplanatic) 수퍼 반구형 고체침지렌즈 에서의 광빔을 포커싱하는 렌즈를 나타내고,Figure 1c shows a lens for focusing a light beam in an aplanatic super hemispherical solid immersion lens according to the prior art,

도 2는 종래 기술에 따른 근시야 광학주사장치를 개략적으로 나타내고,2 schematically shows a near-field optical scanning device according to the prior art,

도 3은 종래 기술에서 사용된 것과 같은 렌즈의 일부의 광학 기계 파라미터를 나타내고,3 shows optical mechanical parameters of a portion of a lens as used in the prior art,

도 4는 본 발명에 따른 포커스 초기화 신호의 일례를 개략적으로 나타낸 것이다.4 schematically illustrates an example of a focus initialization signal according to the present invention.

(발명의 구성)Composition of the Invention

광 기록 시스템에서의 광 기록매체에 기록될 수 있는 최대 정보밀도는, 정보층의 주사위치에 포커싱된 레이저 스폿의 크기와 반비례한다. 그 스폿 크기는, 2개의 광학 파라미터 즉, 스폿을 형성하는 방사빔의 파장 λ과, 그 방사빔을 포커싱하는 대물렌즈의 개구수(NA)의 비율에 의해 결정된다. 대물렌즈의 NA는, NA=n sin(θ)로 정의되고, 이때 n은 빛이 포커싱되는 매체의 굴절률이고, θ는 그 매체에서의 광의 포커싱된 콘의 절반의 각도이다. 분명한 것은, 공기중 또는 (평탄한 디스크와 같은) 평면의 평행한 판에서의 공기를 거쳐서 포커싱하는 대물렌즈의 NA에 대한 상한치가 일반적으로 1이라는 것이다.The maximum information density that can be recorded on the optical record carrier in the optical recording system is inversely proportional to the size of the laser spot focused on the dice of the information layer. The spot size is determined by the ratio of two optical parameters, namely, the wavelength? Of the radiation beam forming the spot and the numerical aperture NA of the objective lens focusing the radiation beam. The NA of the objective lens is defined as NA = n sin (θ), where n is the refractive index of the medium on which light is focused and θ is the angle of half of the focused cone of light on that medium. Obviously, the upper limit for the NA of an objective lens that focuses in air or through air in a plane parallel plane (such as a flat disk) is generally one.

도 1a는 공기중에서 광빔(4)을 포커싱하는 렌즈(2)의 일례를 나타낸 것으로, 여기서 광의 포커싱된 콘의 절반의 각도는 항목 8로서 나타낸 θ이고, 광축은 일점쇄선(6)으로서 도시되어 있다. 렌즈의 NA는, 광이 예를 들면 반구형 SIL의 중심에 포커싱하여서, 공기-매체 경계에서 굴절 없이 높은 지수 매체에 포커싱되는 경우 1 을 초과할 수 있다. 도 1b는 화살표 18로 나타낸 반경 R의 반구형 SIL(16)을 통해 광빔(14)을 포커싱하는 렌즈(12)의 일례를 나타낸다. 이러한 경우에, 유효 NA는 NA_eff=nNA₀이고 n은 반구형 렌즈의 굴절률이고, NA₀는 포커싱 렌즈의 공기중의 NA이다.1A shows an example of alens 2 that focuses alight beam 4 in air, where the angle of half of the focused cone of light is θ asitem 8 and the optical axis is shown as a dashedline 6. . The NA of the lens may exceed 1 if the light is focused on a high exponential medium without refraction at the air-medium boundary, for example by focusing at the center of the hemispherical SIL. 1B shows an example of alens 12 that focuses alight beam 14 through ahemispherical SIL 16 of radius R, indicated byarrow 18. In this case, the effective NA is NA_eff = nNA₀ , n is the refractive index of the hemispherical lens, and NA₀ is the NA in air of the focusing lens.

상기 NA를 더욱 증가시키는 가능성은, 어플라나틱 수퍼 반구형 SIL를 이용한다. 도 1c는 화살표 28로 나타낸 반경 R의 상기 어플라나틱 수퍼 반구형 SIL(26)을 통해 광빔(24)을 포커싱하는 렌즈(22)의 일례를 나타내고, 여기서, 상기 수퍼 반구형 SIL(26)은 그 빔(30)을 광축(36)을 향해 굴절시켜 상기 수퍼 반구면의 중심 아래에 포커싱한다. 이러한 경우에, 유효 NA_eff=n²NA₀이다. 화살표 32로 나타낸 광축을 따라서 높이 R(1+1/n)인 어플라나틱 수퍼 반구형 SIL에 대해, 상기 빔은, SIL이 없는 도 1a의 경우보다 렌즈(2)에 보다 가까운, 화살표 34로 나타낸 거리 nR에 포커싱될 수 있다.The possibility of further increasing the NA utilizes an applantic super hemispherical SIL. FIG. 1C shows an example of alens 22 focusing alight beam 24 through the applantic superhemispherical SIL 26 of radius R indicated byarrow 28, where the superhemispherical SIL 26 is the beam.Refract 30 toward theoptical axis 36 to focus below the center of the super hemisphere. In this case, the effective NA_eff = n² NA₀ . For an appanatic super hemispherical SIL having a height R (1 + 1 / n) along the optical axis indicated byarrow 32, the beam is indicated byarrow 34, which is closer to thelens 2 than in the case of FIG. 1A without SIL. Can be focused at a distance nR.

1보다 큰 유효 NA_eff는 SIL의 출사면으로부터 (근시야라고도 하는) 초단거리 내에 존재하여만 한다는 것이 중요하다. 대물렌즈계의 출사면은, 그 방사선이 기록매체에 충돌하기 전에 대물렌즈계의 최종 굴절면이다. 전형적으로, 상기 단거리는, 상기 방사선의 파장의 1/10보다 작다.It is important that the effective NA_eff greater than 1 only exist within the ultrashort distance (also known as near vision) from the exit surface of the SIL. The emission surface of the objective lens system is the final refractive surface of the objective lens system before the radiation impinges on the recording medium. Typically, the short distance is less than 1/10 of the wavelength of the radiation.

광 기록매체의 입사면이 그 단거리 내에 배치되는 경우, SIL로부터 기록매체로 감쇄결합에 의해 방사선이 전송된다. 이것이 의미하는 것은, 광 기록매체의 기록 또는 판독시에, SIL과 기록매체간의 거리, 또는 간격 폭이, 수십 나노미터, 예 를 들면 블루레이저를 방사원으로서 사용하고 대물렌즈계의 NA가 1.9인 시스템에 대해 약 25nm보다 작아야 한다. 소위 공기 입사 광 기록매체에서, 정보층의 일측면은 기판과 접하여 있고, 다른 측면은 주위에 노출되어 있다. 이러한 기록매체의 입사면은, 정보층과 그 주위 사이의 경계면이다. 이와는 달리, 정보층은, 얇은 투명층으로 그 주위로부터 보호되고, 그 정보층의 외부 표면은 기록매체의 입사면을 형성한다. 후자의 경우에, SIL의 두께는 상기 투명층의 두께를 정정해야 한다.When the incident surface of the optical record carrier is disposed within the short distance, radiation is transmitted by attenuation coupling from the SIL to the record carrier. This means that when recording or reading an optical record carrier, the distance or gap width between the SIL and the record carrier may be several tens of nanometers, for example a blue laser, as the radiation source and the NA of the objective lens system is 1.9. Should be less than about 25 nm. In a so-called air incident optical record carrier, one side of the information layer is in contact with the substrate and the other side is exposed to the surroundings. The incident surface of such a recording medium is an interface between the information layer and its surroundings. In contrast, the information layer is protected from its surroundings by a thin transparent layer, the outer surface of which forms the entrance face of the recording medium. In the latter case, the thickness of the SIL should correct the thickness of the transparent layer.

도 2는 종래 기술에 따른 기록매체를 주사하는 근시야 광학주사장치를 개략적으로 나타낸다. 광학주사장치는, 방사선을 발생하도록 구성된 방사원계를 구비한다. 본 실시예에서, 그 방사원은, 소정의 파장, 예를 들면 약 405nm인 방사빔(62)을 방출하는 레이저(60)이다. 광학주사장치의 기동과정과 기록매체 주사과정 동안, 방사빔(62)은 광학주사장치의 (미도시된) 광축을 따라 지나가고 시준렌즈(64)에서 시준되고, 그것의 단면 강도 분포는 빔 성형기(66)에 의해 성형된다. 그 후, 그 방사빔(62)은, 비편광 빔 스플리터(68)를 통과하고 나서, 편광 빔 스플리터(70)를 통과하여, 제 1 포커스 조정 렌즈(72)와 제 2 포커스 조정 렌즈(76) 사이에 초점이 생긴다.2 schematically shows a near-field optical scanning device for scanning a recording medium according to the prior art. The optical scanning device includes a radiation source system configured to generate radiation. In this embodiment, the radiation source is alaser 60 that emits aradiation beam 62 of a predetermined wavelength, for example about 405 nm. During the startup process of the optical scanning device and the recording medium scanning process, theradiation beam 62 passes along the optical axis (not shown) of the optical scanning device and is collimated in thecollimating lens 64, and its cross-sectional intensity distribution is determined by the beam shaper ( 66). Thereafter, theradiation beam 62 passes through thenon-polarization beam splitter 68 and then passes through thepolarization beam splitter 70, and then the firstfocus adjusting lens 72 and the secondfocus adjusting lens 76. There is focus in between.

기록매체의 방사빔(62)의 포커스 위치를 최적으로 조정하는 것은, 상기 제 1 포커스 조정 렌즈(72)를 포커스 조정 방향(74)으로 이동시켜서 이루어진다. 광학주사장치의 대물렌즈계는, 방사빔(62)에 포커싱 파면을 일으키는 대물렌즈(78)를 구비한다. 이 대물렌즈계는, 고체 침지렌즈(SIL)(80)를 더 구비한다. 본 실시예에서, SIL(80)의 형상은, 도 1c에서처럼, 원뿔의 수퍼 반구형이고, 본 예시에서의 NA는 1.9이다. 그 SIL의 평면측은, 기록매체(82)에 대향하는 출사면을 형성한다.Optimum adjustment of the focus position of theradiation beam 62 of the recording medium is made by moving the firstfocus adjustment lens 72 in thefocus adjustment direction 74. The objective lens system of the optical scanning device includes anobjective lens 78 for causing a focusing wavefront on theradiation beam 62. This objective lens system further includes a solid immersion lens (SIL) 80. In this embodiment, the shape of theSIL 80 is, as in FIG. 1C, the cone's super hemisphere, and the NA in this example is 1.9. The planar side of the SIL forms an exit surface facing therecording medium 82.

(미도시된)지지 프레임은, SIL(80)을 갖는 대물렌즈(78)의 정렬 및 분리 거리가 확실하게 유지되도록 한다. 그 지지 프레임은, 아래에 보다 상세히 설명된 (미도시된) 간격 서보 시스템에 의해 기록매체로부터 정확한 거리에 유지되어 있다. 대물렌즈계에 의한 포커싱 파면의 발생 후, 방사빔은 방사빔 스폿을 기록매체(82)에 형성한다. 기록매체(82)에 비추는 방사빔은, 선형 편광을 갖는다.The support frame (not shown) ensures that the alignment and separation distance of theobjective lens 78 with theSIL 80 is maintained. The support frame is held at the correct distance from the recording medium by a spacing servo system (not shown) described in more detail below. After generation of the focusing wavefront by the objective lens system, the radiation beam forms a radiation beam spot on therecording medium 82. The radiation beam shining on therecording medium 82 has linear polarization.

기록매체(82)의 입사면(120)은, SIL(80) 출사면(122)에 대향한다. 상기 대물렌즈계는 방사원(60)과 기록매체(82) 사이에 배치되고, 상기 출사면(1220과 입사면(12)간의 간격은, 광축을 따라서 출사면(122)과 입사면(120)간의 거리인 간격 크기를 갖는다.Theincident surface 120 of therecording medium 82 faces theexit surface 122 of theSIL 80. The objective lens system is disposed between theradiation source 60 and therecording medium 82, and the distance between the exit surface 1220 and theincident surface 12 is a distance between theexit surface 122 and theincident surface 120 along the optical axis. Have a gap size.

광학주사장치는, 복수의 광학 검출경로를 갖는다. 제 1의 광학 검출경로에는, 편광자(110), 반파장 판(112), 편광 빔 스플리터(104), 폴딩 미러(114), 검출용 방사빔을 제 1 검출기(108)에 포커싱하는 제 1 콘덴서 렌즈(106), 검출용 방사빔을 제 2 검출기(118)에 포커싱하는 제 2 콘덴서 렌즈(116)가 정렬되어 있다.The optical scanning value has a plurality of optical detection paths. The first optical detection path includes a first condenser for focusing thepolarizer 110, the half-wave plate 112, thepolarization beam splitter 104, thefolding mirror 114, and the detection radiation beam on thefirst detector 108. Thelens 106 and thesecond condenser lens 116 that focus the detection radiation beam on thesecond detector 118 are aligned.

편광자(110), 반파장 판(112), 폴딩 미러(114), 제 2 콘덴서 렌즈(116) 및 제 2 검출기(118)는, 실험적 개발 목적을 위한 선택적 부재이다. 제2 검출기의 예로는, CCD형 검출기가 있다. 편광 빔 스플리터(104)를 통과하는 방사선은, 폴딩 미러(114)에서 반사되고 콘덴싱 렌즈(116)에 의해 제 2 검출기(118)에 포커싱된다. 이들 선택적 부재가 사용되지 않는 경우, 편광 빔 스플리터(104)는, 상기 검출용 방사빔의 일부를 제 1 검출기에 안내하도록 폴딩 미러와 대체될 수 있다.Thepolarizer 110, the half-wave plate 112, thefolding mirror 114, thesecond condenser lens 116 and thesecond detector 118 are optional members for experimental development purposes. An example of the second detector is a CCD detector. The radiation passing through thepolarizing beam splitter 104 is reflected at thefolding mirror 114 and focused on thesecond detector 118 by the condensinglens 116. If these optional members are not used, thepolarizing beam splitter 104 may be replaced with a folding mirror to guide a portion of the detection radiation beam to the first detector.

상기 제 1 검출 경로와 다른 제 2 검출 경로에는, 반파장 판(84), 편광 빔 스플리터(86), 비편광 빔 스플리터(92), 검출용 방사빔을 제 3 검출기(88)에 포커싱하는 제 3 콘덴서 렌즈(90), 검출용 방사빔을 제 4 검출기(94)에 포커싱하는 제 4 콘덴서 렌즈(96), 폴딩 미러(98), 및 검출용 방사빔을 제 5 검출기(100)에 포커싱하는 제 5 콘덴서 렌즈(102)가 정렬되어 있다.In the second detection path different from the first detection path, ahalf wavelength plate 84, apolarization beam splitter 86, anon-polarization beam splitter 92, and a detection radiation beam are focused on thethird detector 88. Athird condenser lens 90, afourth condenser lens 96 that focuses the detection radiation beam on thefourth detector 94, afolding mirror 98, and a detection radiation beam that focuses on thefifth detector 100. The fifth condenser lens 102 is aligned.

상기 제 1 검출 경로와 마찬가지로, 상기 반파장 판(84), 폴딩 미러(98), 제 5 콘덴서 렌즈(102) 및 제 5 검출기(100)는, 실험적 개발 목적을 위한 선택적 부재이다. 제 5 검출기의 예로는, CCD형 검출기가 있다. 비편광 빔 스플리터(92)를 통과하는 방사선은, 폴딩 미러(98)에서 반사되고 상기 콘덴서 렌즈(102)에 의해 제 5 검출기(100)에 포커싱된다. 이들의 선택적 부재가 사용되지 않는 경우, 비편광 빔 스플리터(92)는, 상기 검출용 방사빔의 일부를 제 4 검출기에 안내하도록 폴딩 미러와 대체될 수 있다.Similar to the first detection path, the half-wave plate 84, foldingmirror 98, fifth condenser lens 102 andfifth detector 100 are optional members for experimental development purposes. An example of the fifth detector is a CCD detector. The radiation passing through theunpolarized beam splitter 92 is reflected at thefolding mirror 98 and focused by the condenser lens 102 on thefifth detector 100. If these optional members are not used, theunpolarized beam splitter 92 may be replaced with a folding mirror to guide a portion of the detection radiation beam to the fourth detector.

각각 항목 108,88 및 94로 도시된 제 1, 제 3 및 제 4 검출기는, 기록매체(82)와 상호 작용 후 방사선에서 검출된 정보를 나타내는 검출신호를 발생하는 방사선 검출기 장치를 구성한다.The first, third and fourth detectors, shown asitems 108, 88 and 94, respectively, constitute a radiation detector device for generating a detection signal indicative of the information detected in radiation after interaction with therecord carrier 82.

제 1 검출 경로는, SIL(80)로부터 반사되고 기록매체에 포커싱된 전방향 방사빔에 수직하게 편광된 방사선 검출에 사용된다. 이 수직 편광된 방사선을, RF⊥pol.신호라고 한다. 간격 신호(152)는, RF⊥pol.신호의 저주파 부분(예를 들면, DC 30kHz)으로부터 얻어진다. 제 2 검출 경로는, 기록매체에 포커싱된 전방향 방사빔에 평행하게 편광되고 상기 정보층으로부터 판독된 정보에 의해 변조된 방사선의 검출에 사용된다. 제 3 검출기에서 검출된 제 2 검출 경로에서의 광의 일부분을 RF//pol.신호라고 하고, 그것의 기능은 나중에 상세히 설명된다. 제 4 검출기에서 검출된 제 2 검출 경로에서의 광 일부분을, 푸시풀 신호라고 하고, 상기 스폿과 뒤따라가게 되는 기록매체(82)의 데이터 트랙의 중심간의 횡방향 거리를 나타낸 신호를 발생하는데 사용된다. 이 신호를 사용하여 데이터 트랙 상의 주사하는 방사 스폿의 반경방향 트랙킹을 유지한다.The first detection path is used for radiation detection that is reflected from theSIL 80 and polarized perpendicular to the omnidirectional radiation beam focused on the record carrier. This vertically polarized radiation is called an RF_pol. Signal. The interval signal 152 is obtained from the low frequency portion (for example,DC 30 kHz) of the RF_pol. Signal. The second detection path is used for the detection of radiation polarized in parallel to the omnidirectional radiation beam focused on the record carrier and modulated by the information read out from the information layer. A portion of the light in the second detection path detected at the third detector is called an RF // pol. Signal and its function is described in detail later. A portion of the light in the second detection path detected by the fourth detector is called a push-pull signal and is used to generate a signal representing the lateral distance between the spot and the center of the data track of therecording medium 82 that follows. . This signal is used to maintain radial tracking of the scanning radiation spot on the data track.

제 1 검출 경로를 따라 지나가는 방사선과, 제 2 검출 경로를 따라 지나가는 방사선은, 서로에 대해 직교 편광된다.The radiation passing along the first detection path and the radiation passing along the second detection path are orthogonally polarized with respect to each other.

상기 방법은, SIL의 출사면에 근접한 기록매체가 없이 SIL의 출사면에서의 반사를 거쳐 얻어진 간격신호 GS의 사용에 의거하였다.The method is based on the use of the interval signal GS obtained through reflection on the exit surface of the SIL without a recording medium proximate to the exit surface of the SIL.

본 발명은, SIL의 출사면에 근접한 광 기록매체가 없는 경우에 간격 신호가 존재하는 관측결과에 의거한다. 감쇄파 결합에 필요한 것보다 큰 간격 폭에 대해(예를 들면, 사용된 파장의 1/10보다 큰 폭에 대해), 임계각 이상의 입사각을 갖는 SIL의 출사면에 입사하는 광선은, 그 출사면에서 전체적으로 내부 반사가 생길 것이다. SIL의 출사면에서의 // 및 ⊥ 편광된 광선의 반사율 차이 때문에, 간격 신호는, 대물렌즈상에 입사하는 방사빔을 SIL의 출사면에 포커싱하는 경우 얻어질 수 있다. 이렇게 SIL의 출사면에서의 반사를 거쳐 얻어진 GS를, 포커스 초기화 신호(FIS)라고 하기도 한다. GS의 발생을 위해 사용된 것과 동일한 광학 및 검출수단을 사용하여 FIS를 얻는다.The present invention is based on an observation result in which an interval signal exists when there is no optical recording medium near the emission surface of the SIL. For an interval width larger than necessary for attenuation wave coupling (eg, for a width greater than 1/10 of the wavelength used), light rays incident on the exit face of the SIL having an angle of incidence above the critical angle are There will be an internal reflection as a whole. Because of the difference in reflectance of // and? Polarized light rays at the exit face of the SIL, the spacing signal can be obtained when focusing the radiation beam incident on the objective lens onto the exit face of the SIL. The GS obtained through the reflection on the emission surface of the SIL in this way is also referred to as a focus initialization signal FIS. FIS is obtained using the same optics and detection means as used for the generation of GS.

여기서 안 것은, 상기 FIS가 얻어지는 대물렌즈에 대한 최적의 포커스 위치 에 대한 최대값을 나타낸다는 것이다. 완벽하게 조립된 대물렌즈일 경우, 평행 빔은, 최적의 스폿 품질을 산출하고, 또한 FIS에서 최대값을 산출한다. 동일한 방식으로, 그 2개의 부품(낮은 NA 렌즈 및 SIL)간의 이상적이지 않은 거리를 갖는 대물렌즈는, 방사빔을 정확한 수속 또는 발산의 양으로 조정하는 경우 최적의 스폿 품질을 산출한다. 동일한 조건 하에서는, FIS도 최대값을 나타낸다.What is known here is that the maximum value for the optimal focus position for the objective lens from which the FIS is obtained is shown. In the case of a perfectly assembled objective, the parallel beam yields the optimum spot quality and also the maximum value in the FIS. In the same way, an objective lens with an ideal distance between its two components (low NA lens and SIL) yields optimum spot quality when adjusting the radiation beam to the correct amount of convergence or divergence. Under the same conditions, the FIS also shows the maximum value.

본 발명의 경우, 도 2의 종래기술의 장치의 셋업에 대한 변경은, 간격 신호에 따라 광학주사장치에서의 포커스 오프셋을 정정하기 위한 전방향 방사빔의 폭주를 조정하는 수단을 첨가한 것이다.In the case of the present invention, a change to the setup of the prior art device of FIG. 2 is the addition of means for adjusting the runaway of the omnidirectional radiation beam to correct the focus offset in the optical scanning device in accordance with the interval signal.

상기 조정수단은, 상기 주사장치에서의 포커스 오프셋을 정정하기 위한 출사면을 향하는 전방향 방사빔의 폭주를 조정하는 축방향 변위 렌즈이어도 되고, 상기 조정수단은, 대물렌즈계의 출사면과 광 기록매체의 입사면 사이에서 방사선의 감쇄 결합에 필요한 것보다 큰 간격 폭을 갖는 간격 신호를 최적화하여 상기 포커스 오프셋을 정정하도록 구성된다.The adjusting means may be an axial displacement lens for adjusting the runaway of the omnidirectional radiation beam toward the emitting surface for correcting the focus offset in the scanning device, and the adjusting means may include an output surface of the objective lens system and an optical recording medium. And correct the focus offset by optimizing a spacing signal having a spacing width greater than that required for the attenuation coupling of radiation between incident surfaces of.

제 1 표면(또는 공기 입사) 광 기록 시스템용 광학장치에서 사용 가능한 (도 3에 도시된 것 등의) 대물렌즈의 경우, 이것은 SIL의 바닥(출사면) 상의 포커스 위치에 해당한다. 커버층 입사 광 기록 시스템용 광학장치에서의 대물렌즈의 경우, 최적의 스폿 품질은, 커버층(전형적으로 두께가 수 미크론) 바로 아래의 포커스 위치에 해당한다.In the case of an objective lens (such as shown in Fig. 3) usable in the optical device for the first surface (or air incident) optical recording system, this corresponds to the focus position on the bottom (emission surface) of the SIL. In the case of the objective lens in the optical device for the cover layer incident optical recording system, the optimum spot quality corresponds to the focus position just under the cover layer (typically several microns in thickness).

제 1 표면 광 기록 시스템을 위해 설계된 NA=1.8의 대물렌즈일 경우, 상기 내용은, 도 2에 도시된 것과 같은 셋업을 사용한 다음의 실험으로 확인된다. FIB([2] 참조)에 의해 SIL의 두께에 대해 조정되었던 렌즈는, 간섭 측정에 있어서 디포커스가 29mλrms이고, 구면수차가 약 11mλrms인 것이 밝혀졌다. 도 4는 방사빔의 수속/발산과 그에 따른 포커싱된 광 스폿의 위치를 변경하는 망원경(도 2 참조)에서의 렌즈들 중 하나의 위치의 기능으로서 FIS를 나타낸다. 도 4의 그래프의 수직축이 "GS(V)"를 말하지만, FIS는 그래프로 도시된다. 이것이 나타내는 것은, 동일한 전자기기가 GS와 FIS를 모두를 얻는데 사용되어도 된다는 것이다.In the case of an objective lens with NA = 1.8 designed for the first surface optical recording system, the above contents are confirmed by the following experiment using the setup as shown in FIG. The lens that was adjusted for the thickness of the SIL by the FIB (see [2]) was found to have a defocus of 29 m lambda rms and spherical aberration of about 11 m lambda rms in the interference measurement. FIG. 4 shows the FIS as a function of the position of one of the lenses in the telescope (see FIG. 2) to change the convergence / divergence of the radiation beam and thus the position of the focused light spot. Although the vertical axis of the graph of FIG. 4 refers to "GS (V)", the FIS is shown graphically. What this indicates is that the same electronic device may be used to obtain both GS and FIS.

FIS의 측정은 디스크가 없을 때 행해진다. 도 4에서 알 수 있듯이, 여기서, FIS에서의 최대값은 망원경에서 렌즈에 대한 약 9.2mm의 위치(여기서, 그 제로 위치는 임의로 선택됨)에서 얻어진다. 이러한 렌즈 위치를 선택하여 새롭게 삽입된 디스크를 판독처리 개시하였다. 예를 들면, 틸트에 대해 상기 셋업에서의 디스크의 적절한 정렬 후에, 디스크를 판독하였다. 개방 루프 제어 간격 제어와 트랙킹 신호는, 사용가능하고 양질이라는 것을 알았다. 간격 서보 및 트랙킹 서보 연산(그래서, 폐쇄 루프 서보)에 의한 판독시에, 확인된 것은, (예를 들면, 최상의 신호품질, 가장 큰 피크 대 피크 진폭 또는 최저 지터에 의거한) 최적의 데이터 신호가 (0.1mm의 정확도 내에서) 9.2mm의 실제로 동일한 망원렌즈 위치에서 얻어졌다는 것이다. 이것에 의해 확인된 것은, FIS를 사용한 상술한 방법을 사용하여 포커스 초기화에 의해, 사용된 렌즈의 초점 위치의 충분한 정정이 되고, 간격 폭 제어를 위해 강건하고 신뢰 가능한 GS가 된다.The measurement of the FIS is made when there is no disk. As can be seen in FIG. 4, here, the maximum value in the FIS is obtained at a position of about 9.2 mm with respect to the lens in the telescope, where the zero position is arbitrarily selected. This lens position was selected to start the read process of the newly inserted disc. For example, after proper alignment of the disc in the setup to tilt, the disc was read. It has been found that open loop control interval control and tracking signals are usable and of good quality. Upon reading by the interval servo and tracking servo operation (so closed loop servo), it was confirmed that the optimal data signal (e.g., based on the best signal quality, the largest peak-to-peak amplitude or the lowest jitter) It was obtained at the actual same telephoto lens position of 9.2mm (within 0.1mm accuracy). It was confirmed by this that focus initialization using the above-described method using the FIS results in sufficient correction of the focal position of the lens used, resulting in a robust and reliable GS for gap width control.

대량의 디포커스(디포커스가 약 170mλ rms이고, 구면수차가 약 46mλrms)를 갖는다고 공지된 제 2 대물렌즈에 대해, 최적의 망원렌즈 위치는, FIS 방법과 최적 의 데이터 신호에 대해 약 10.0mm이라는 것을 알게 되었다. 포커스 오프셋 정정으로 인해, 상기 렌즈는 그래도 광 기록 셋업에서 사용가능하였고, 또한 안전한 간격 신호를 얻는다.For a second objective known to have a large amount of defocus (defocus is about 170 mλ rms and spherical aberration is about 46 mλrms), the optimal telephoto lens position is about 10.0 mm for the FIS method and the optimal data signal. I found out. Due to the focus offset correction, the lens was still usable in the optical recording setup and also obtain a safe interval signal.

상기 예시는, 실제로 제안된 해결책의 이점을 나타낸다. 상기 제안된 포커스 초기화의 방법은, 신뢰 가능한 공극과 트랙킹 제어신호를 얻기 위해서 상기 높은 NA 광 기록 시스템의 기동처리에서 중요한 단계일 수 있다. 또한, 상기 실험으로 밝혀진 것은, 포커스 초기화의 정확도가 판독처리시에 포커싱의 미세 조정 없이 최적의 판독신호에 대해 충분하다는 것이다.The above example actually shows the advantages of the proposed solution. The proposed method of focus initialization can be an important step in the startup process of the high NA optical recording system in order to obtain reliable air gap and tracking control signals. Further, it was found from the above experiment that the accuracy of the focus initialization is sufficient for the optimal read signal without fine adjustment of focusing in the read processing.

포커스 오프셋 정정을 위한 FIS의 최적화는 여러 가지 방식으로 행할 수 있다. 예를 들면, 망원경에서의 렌즈의 몇몇 위치에 대한 FIS(또는 다른 폭주 가변수단에 대한 동일한 파라미터)를 측정하고, 구해진 최대값을 사용하는 것이 가능하다. 또한, 곡선 맞춤 방법을 수행하고, 분석방법을 사용하여 FIS와 폭주 가변수단의 관련 위치(또는 동일한 파라미터)의 최대값을 결정하는 것도 가능하다. 이러한 곡선 맞춤법을 사용하여, 예를 들면, 측정 잡음을 감소시키는 것이 가능하여, 최대값에 대해 보다 정확한 값으로 된다. 또 다른 가능성은, 최적 위치 주변의 렌즈 위치의 워블(또는 또 다른 폭주 가변 수단에 대한 동일한 파라미터)을 적용하고 그 결과의 신호를 사용하여 최적화한다.Optimization of the FIS for focus offset correction can be done in a number of ways. For example, it is possible to measure the FIS (or the same parameters for other congestion varying means) for several positions of the lens in the telescope and use the obtained maximum value. It is also possible to perform the curve fitting method and determine the maximum value of the associated position (or the same parameter) of the FIS and the congestion varying means using the analysis method. Using this curve spelling, for example, it is possible to reduce the measurement noise, resulting in a more accurate value for the maximum value. Another possibility is to apply the wobble of the lens position around the optimum position (or the same parameter for another congestion varying means) and optimize using the resulting signal.

GS(또는 FIS)의 최대값이 보다 좋을수록 상기 시스템에서의 포커스 오프셋의 정정이 보다 좋아질 것이라고 판단된다. 그 GS(또는 FIS)의 최대값의 범위는 +/-5% 내로 결정하는 것이 바람직하다. 이것은 예를 들면 Zijp et al.[2]에 기재된 것과 같은 간격 서보 시스템이 작동될 수 있는 레벨 이하로 디포커스가 있는 경우가 될 수도 있으므로 그GS(또는 FIS)의 최대값의 범위는 +/-1% 내로 결정하는 것이 더욱 바람직하다.It is determined that the better the maximum value of GS (or FIS), the better the correction of the focus offset in the system. It is preferable to determine the range of the maximum value of the GS (or FIS) within +/- 5%. This may be the case, for example, when the defocus is below the level at which the interval servo system as described in Zijp et al. [2] can be operated, so the maximum value of the GS (or FIS) ranges from +/- It is more preferable to determine within 1%.

필요한 경우, 최적의 판독 또는 기록 성능을 위한 포커스 위치의 추가의 최적화는, 예를 들면, 중앙 개구 진폭(피크 투 피크)을 최대화하고, 지터, 비트 또는 블록 오류율을 최소화하여서 또는 일부의 다른 품질 측정에 의해 기록매체의 (초기) 판독시에 행해질 수 있다.If necessary, further optimization of the focus position for optimal read or write performance can be achieved, for example, by maximizing the center aperture amplitude (peak-to-peak), minimizing jitter, bit or block error rate or some other quality measurement. By means of (initial) reading of the recording medium.

포커스 초기화 과정은, 광학 저장 시스템의 각 기동시에 포커스 오프셋 효과를 정정하는데 사용되어도 된다. 이것은, 초기의 간격폭이 감쇄파 결합에 필요한 경우보다 크면(예를 들면, 사용된 파장의 1/10보다 간격 폭이 크면) 광 기록매체로 행해질 수 있다; 이것은, 광 기록매체가 없거나 광 기록매체의 로딩시에 시스템의 경우를 포함한다.The focus initialization procedure may be used to correct the focus offset effect at each startup of the optical storage system. This can be done with the optical record carrier if the initial gap width is larger than necessary for the attenuation wave coupling (e.g., the gap width is greater than 1/10 of the used wavelength); This includes the case of a system in which there is no optical record carrier or upon loading of the optical record carrier.

그래서, SIL 출사면과 매체 사이의 간격을 증가시켜 (예를 들면, 간격 폭 액추에이터, 광 기록매체 기준 테이블(이를테면 디스크 모터)을 사용하여) 포커스 초기화를 행하는데 필요할 수도 있고, (카트리지 로딩형 광 기록 시스템 또는 동일한 유효 측정에서 사용된 것과 같은) 광 기록매체를 로딩하는 동안 광학주사장치(또는 OPU)를 구비하는 프레임을 기울게 한다.Thus, it may be necessary to increase the distance between the SIL exit surface and the medium (e.g., using a gap width actuator, an optical record carrier reference table (such as a disk motor)) to perform focus initialization, or (cartridge loading type light). The frame with the optical scanning device (or OPU) is tilted while loading the optical record carrier (such as used in the recording system or the same effective measurement).

간격신호(또는 FIS)를 사용하여 상기 광학주사장치에서의 포커스 오프셋 정정방법은, 적어도,The focus offset correction method in the optical scanning device using the interval signal (or FIS) is at least,

-필요한 경우, 광 기록매체의 입사면과 대물렌즈계의 출사면간의 간격 폭을, 상기 간격 폭이 상기 파장의 상기 1/10보다 작으면 전방향 방사선의 파장의 적어도 1/10까지 증가시키는 단계와,If necessary, increasing the gap width between the entrance face of the optical record carrier and the exit face of the objective lens system to at least one tenth of the wavelength of the forward radiation if the gap width is less than one tenth of the wavelength; ,

-그 대물렌즈계의 출사면에 전방향 방사빔을 포커싱하는 단계와,Focusing the omni-directional radiation beam on the exit face of the objective lens system,

-상기 간격 신호에 따라 대물렌즈계의 출사면을 향하는 방사빔의 폭주를 조정하는 단계를 포함한다.Adjusting the congestion of the radiation beam towards the exit surface of the objective lens system in accordance with the interval signal.

대물렌즈 조립체 내에서 또는 사용된 광학주사장치의 다른 광학부재의 예를 들면 기계적인 변동(이를테면 위치 이동)으로 인해, 초점 위치는, 최적 위치로 전환할 수 있다. 이러한 기계적 변동은, 기록매체의 기록 또는 판독시뿐만 아니라 광 기록장치의 기술적 수명 동안, 온도 변동, 습도 변동 등에 의해 생길 수도 있다. 상기 제안된 방법과 과정을 사용하여 포커스의 위치에 관한 효과를 정정할 수 있다.Due to, for example, mechanical variations (such as positional shifts) of the other optical members of the optical scanning device used or in the objective lens assembly, the focus position can be switched to the optimum position. Such mechanical fluctuations may be caused by temperature fluctuations, humidity fluctuations, etc., not only during recording or reading of the recording medium, but also during the technical life of the optical recording device. The proposed method and procedure can be used to correct the effect of the focus position.

광 기록장치 또는 디바이스에 디스크가 없는 경우나, (사용된 파장의 1/10보다 큰 간격 폭에 대해) 감쇄파 결합을 위한 범위 밖의 거리에 디스크가 있는 경우에 상기 포커스 초기화 과정을 사용할 수 있다. 필요한 경우, 예를 들면 중앙 개구 신호 또는 변조 진폭을 사용한 다른 포커싱 방법은, 판독 또는 기록 품질을 향상시키는데 사용될 수 있다.The focus initialization procedure can be used when there is no disk in the optical recorder or device, or when the disk is at a distance outside the range for attenuation wave coupling (for gap widths greater than 1/10 of the used wavelength). If desired, other focusing methods, for example using a center aperture signal or modulation amplitude, can be used to improve read or write quality.

상기 실험과 예에서 상기 FIS가 망원경에서 렌즈의 위치 이동를 이용하여 발생되었지만(도 2 참조), 다른 광학부재를 사용하여 대물렌즈로 향하는 방사빔의 폭주를 변경할 수 있다. 이러한 부재는, 예를 들면, 액정 광학부재에 의거한 렌즈 또는, 가변 초점 길이를 갖는 다른 광학부재(예를 들면, 2개의 유체(전기습윤 렌즈) 사이의 가변 메니스커스 곡률에 의거한 전기적 조정 가능형 렌즈)일 수 있다. 폭주 변경은, 방사빔의 굴절 또는 회절에 의거한다. 방사원과 시준렌즈 사이의 아나모픽 렌즈형 빔 성형기를 사용하는 경우, 이러한 시준렌즈를 축방향으로 이동시켜 방사빔의 폭주의 필요한 변경을 얻을 수 있다. 필요한 액추에이터에 대해 복잡해질 수도 있지만, 대물렌즈에서의 상호 렌즈-SIL 거리를 조정하는 것도 가능하다.In the above experiments and examples, the FIS was generated by using the positional movement of the lens in the telescope (see FIG. 2), but other optical elements can be used to alter the runaway of the radiation beam directed to the objective lens. Such a member may be, for example, a lens based on a liquid crystal optical member, or an electrical adjustment based on a variable meniscus curvature between two optical members (for example, two fluids (electrowetting lenses)) having a variable focal length. Possible lens). The runaway change is based on the refraction or diffraction of the radiation beam. When using an anamorphic lenticular beam shaper between the radiation source and the collimating lens, the collimating lens can be moved in the axial direction to obtain the necessary change in the bursting of the radiation beam. Although it may be complicated for the required actuator, it is also possible to adjust the mutual lens-SIL distance in the objective lens.

또한, 구면수차에 의해 발생된 시스템에서의 디포커스를 보상하기 위해서 초기의 포커싱 방법으로 구면 수차 보상을 포함하는 것도 가능하다.It is also possible to include spherical aberration compensation as an initial focusing method to compensate for defocus in a system caused by spherical aberration.

커버층(F.Zijp et al.[2] 및 Martinov et al.[3]) 및/또는 다수의 정보 또는 기록층을 갖는 광 기록매체를 사용한 광 기록 시스템에서는 동일한 포커싱 초기화 방법을 적용할 수 있다. 그러나, 최적 포커스 위치는, 대물렌즈의 SIL의 바닥(출사면)에 있지 않다. 커버층의 두께에 대한 포커스 오프셋의 정정은, 상기 간격 신호를 간격 제어신호로서 사용하기 전에 필요한 것이 바람직하다. 또한, 상기 커버층에 의해 생긴 구면수차는 그 정정에서 고려되어도 된다.The same focusing initialization method can be applied to an optical recording system using a cover layer (F. Zijp et al. [2] and Martinov et al. [3]) and / or an optical recording medium having a plurality of information or recording layers. . However, the optimum focus position is not at the bottom (emission surface) of the SIL of the objective lens. Correction of the focus offset with respect to the thickness of the cover layer is preferably necessary before the interval signal is used as the interval control signal. Incidentally, spherical aberration caused by the cover layer may be considered in the correction.

대안으로서, (바람직하게는 정정되는 커버층 두께에 대응하는) 투명한 더미 기판은, FIS가 간격신호의 포커스 오프셋을 보상하는데 사용되기 전에 (SIL과 접하는 것이 바람직한) 대물렌즈의 앞에 놓인다. 그리고, 방사빔은, 상기 더미 기판의 후면에 포커싱될 수 있다. 필요한 포커스 오프셋은, 대물렌즈와 그 대물렌즈로 향하는 폭주를 변경하는 정정용 광학부재의 광학특성을 사용하여 계산될 수 있다.Alternatively, the transparent dummy substrate (preferably corresponding to the corrected cover layer thickness) is placed in front of the objective lens (preferably in contact with SIL) before the FIS is used to compensate for the focus offset of the gap signal. The radiation beam may be focused on the rear surface of the dummy substrate. The required focus offset can be calculated using the optical characteristics of the correcting optical member for changing the objective lens and the congestion toward the objective lens.

커버층을 갖는 광 기록매체를 사용한 시스템에 대한 감쇄파 결합은, 실제의 근시야에 없지만, SIL의 출사면과, 상기 SIL과 광 기록매체의 정보층(또는 층들) 사이에 위치된 커버층으로부터 감쇄파 결합이 있다.Attenuation wave coupling for a system using an optical record carrier with a cover layer is not in the actual near field, but from the cover layer located between the exit surface of the SIL and the information layer (or layers) of the SIL and the optical record carrier. There is attenuation wave coupling.

코팅을 커버층이라고 언급하지 않았지만, 예를 들면, 부식 방지 또는 마모 방지층으로서 사용된 얇은 단일 또는 다수의 층의 두께를 정정하는 것도 가능하다.Although the coating is not referred to as a cover layer, it is also possible to correct the thickness of a thin single or multiple layers used, for example, as a corrosion protection or wear protection layer.

상기 포커스 오프셋 정정을 위해 상술한 것과 같은 동일한 방법은, 커버층 입사 광 기록매체에 관한 다층 광 기록매체에 사용될 수 있다. 그래서, 소개하는 포커스 오프셋은, 광 기록 시스템을 판독 또는 기록하는데 사용된 정보층의 위치의 깊이에 의존한다. 정보층들간의 스페이서 층 거리가 감쇄파 결합을 위해 필요한 간격 폭보다 큰 경우, 입사면과 광 기록매체의 입사면에 가장 가까운 정보층 사이의 재료의 두께에 대해 포커스 오프셋을 추가로 정정하는 것이 바람직하다. 이러한 정정은, 대물렌즈와 방사빔의 폭주를 변경시키는 수단의 광학 설계에 의거한 고정값이어도 된다. 따라서, 상기 방법에서 추가하는 단계는, 입사면과 그 광 기록매체의 입사면에 가장 가까운 정보층 사이의 재료의 두께에 대한 방사빔의 폭주를 정정하는 단계이다.The same method as described above for the focus offset correction can be used for the multilayer optical record carrier for the cover layer incident optical record carrier. Thus, the focus offset introduced depends on the depth of the location of the information layer used to read or record the optical recording system. If the spacer layer distance between the information layers is larger than the gap width required for the attenuation wave coupling, it is desirable to further correct the focus offset for the thickness of the material between the incidence plane and the information layer closest to the incidence plane of the optical record carrier. Do. Such correction may be a fixed value based on the optical design of the means for changing the congestion of the objective lens and the radiation beam. Thus, an additional step in the method is to correct the congestion of the radiation beam relative to the thickness of the material between the incident surface and the information layer closest to the incident surface of the optical record carrier.

광 기록매체 자체로부터 상기 정보를 판독하기 전에 광 기록매체의 정보층의 수가 보통 공지되어 있지 않으므로, (입사면에 가장 가까운) 제 1 정보층의 깊이에 대한 상기 정정은, 대물렌즈와 광 기록매체와의 접촉을 방지하는데 필요하다.Since the number of information layers of the optical recording medium is usually unknown before reading the information from the optical recording medium itself, the correction to the depth of the first information layer (closest to the incident surface) is necessary to obtain the objective lens and the optical recording medium. Required to prevent contact with

임의의 하나의 실시예와 관련지어 설명된 임의의 특징은 하나만 또는 설명된 다른 특징과 조합하여 사용되어도 되고, 또한 임의의 다른 실시예의 하나 이상의 특징과 조합하거나, 임의의 다른 실시예의 임의의 조합과 조합하여 사용될 수도 있다. 더욱이, 동일한 것 및 상술하지 않은 변경은, 첨부하는 청구항에 기재된 본 발 명의 범위를 벗어남이 없이 이용되어도 된다.Any feature described in connection with any one embodiment may be used alone or in combination with other features described, and also in combination with one or more features of any other embodiment, or with any combination of any other embodiments. It may be used in combination. Moreover, the same and other modifications not mentioned above may be used without departing from the scope of the present invention as set forth in the appended claims.

참고:Reference:

[1] T.Ishimoto et al., "Gap Servo System for a Biaxial Device Using an Optical Gap Signal in a Near Field Readout System", Technical Digest ISOM/ODS 2002,pp.287[1] T.Ishimoto et al., "Gap Servo System for a Biaxial Device Using an Optical Gap Signal in a Near Field Readout System", Technical Digest ISOM / ODS 2002, pp. 287

[2] F.Zijp et al., "Near field read-out of a 50GB first-surface disk with NA=1.9 and a proposal for a cover-layer incident, dual-layer near field system", Proceedings of the Optical Data Storage Conference 2004,Monterey(USA).[2] F.Zijp et al., "Near field read-out of a 50GB first-surface disk with NA = 1.9 and a proposal for a cover-layer incident, dual-layer near field system", Proceedings of the Optical Data Storage Conference 2004, Monteey (USA).

[3] Y.V.Martinov et al.,"High-density first-surface magneto-optical recording using a blue laser, high numerical aperture objective and flying slider", ODS 2001, Proceedings of SPIE Vol.4342,pp209-212(2002).[3] YVMartinov et al., "High-density first-surface magneto-optical recording using a blue laser, high numerical aperture objective and flying slider", ODS 2001, Proceedings of SPIE Vol.4342, pp209-212 (2002) .

Claims (12)

Translated fromKorean

입사면(120)과 적어도 하나의 정보층을 갖는 광 기록매체(82)를 주사 위치에서 주사하고,The optical recording medium 82 having the incident surface 120 and at least one information layer is scanned at the scanning position,전방향 방사빔(62)을 발생하는 방사원(60)과,A radiation source 60 generating an omnidirectional radiation beam 62,이 방사빔을 상기 적어도 하나의 정보층 상에 포커싱하고, 출사면(122)이 상기 방사원과 상기 주사위치 사이의 전방향 방사빔의 경로에 배치되며, 광 기록매체가 그 주사위치에 위치되는 경우 상기 출사면과 입사면간의 간격을 가로지르는 상기 방사선과 광 기록매체와의 감쇄결합을 제공하는 대물렌즈계와,Focusing the radiation beam on the at least one information layer, and an exit surface 122 is disposed in the path of the omnidirectional radiation beam between the radiation source and the dice, and the optical record carrier is positioned on the dice An objective lens system for providing attenuation coupling between the radiation and the optical record carrier across the gap between the exit plane and the exit plane;상기 대물렌즈계로부터 출력되는 반사된 방사빔을 검출하여 그 간격의 폭을 나타낸 간격 신호를 공급하는 방사선 검출기(108)를 구비한 광학주사장치에 있어서,An optical scanning device having a radiation detector (108) for detecting a reflected radiation beam output from said objective lens system and supplying an interval signal indicative of the width of said interval,상기 광학주사장치는, 그 간격 신호에 따라 본 장치에서의 포커스 오프셋을 정정하기 위해 상기 전방향 방사빔의 폭주를 조정하는 수단(72)을 구비한 것을 특징으로 하는 광학주사장치.And the optical scanning device comprises means (72) for adjusting the congestion of the omnidirectional radiation beam to correct the focus offset in the apparatus in accordance with the interval signal.제 1 항에 있어서,The method of claim 1,상기 수단은, 대물렌즈계에 위치된 것을 특징으로 하는 광학주사장치.And the means is located in the objective lens system.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 수단은, 축방향 가동형 광학부재를 구비한 것을 특징으로 하는 광학주사장치.And said means comprises an axially movable optical member.제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 수단은, 전기적으로 조정 가능한 가변 포커스 길이를 갖는 광학부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학주사장치.And the means comprises an optical member having an electrically adjustable variable focus length.제 1 항, 제 2 항, 제 3 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1, 2, 3 or 4,일정 두께의 커버층을 갖는 광 기록매체를 주사하고, 상기 포커스 오프셋의 정정은, 상기 커버층의 재료의 두께를 추가로 정정하는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.And scanning the optical recording medium having a cover layer of a predetermined thickness, and correcting the focus offset further corrects the thickness of the material of the cover layer.제 1 항, 제 2 항, 제 3 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1, 2, 3 or 4,다수의 정보층을 갖는 광 기록매체를 주사하고, 상기 포커스 오프셋의 정정은, 광 기록매체의 입사면과 그 입사면에 가장 가까운 정보층 사이의 재료의 두께 를 추가로 정정하는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.Scanning an optical record carrier having a plurality of information layers, and correcting the focus offset further corrects the thickness of the material between the incident face of the optical record carrier and the information layer closest to the incident face Injector.청구항 1 내지 6 중 어느 하나에 따른 광학주사장치를 구비한 것을 특징으로 하는 광 기록장치.An optical recording apparatus comprising the optical scanning device according to any one of claims 1 to 6.광학주사장치에서의 포커스 오프셋 정정방법으로서,As a focus offset correction method in an optical scanning device,광 기록매체의 입사면과 대물렌즈계의 출사면간의 간격 폭을, 그 간격 폭이 상기 파장의 상기 1/10보다 작은 경우 그 전방향 방사선의 파장의 적어도 1/10까지 증가시키는 단계와,Increasing the interval width between the incident surface of the optical record carrier and the exit surface of the objective lens system to at least one tenth of the wavelength of the omnidirectional radiation when the interval width is smaller than the tenth of the wavelength;전방향 방사빔을 대물렌즈계의 출사면에 포커싱하는 단계와,Focusing the omnidirectional radiation beam on the exit surface of the objective lens system;대물렌즈계의 출사면으로 향하는 방사빔의 폭주를 그 간격 신호에 따라 조정하는 단계를 적어도 포함한 것을 특징으로 하는 포커스 오프셋 정정방법.And adjusting the congestion of the radiation beam directed toward the exit surface of the objective lens system in accordance with the interval signal.제 8 항에 있어서,The method of claim 8,광 기록매체의 입사면과 그 입사면에 가장 근접한 정보층 사이의 재료의 두께에 대한 대물렌즈계의 출사면으로 향하는 방사빔의 폭주를 정정하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 포커스 오프셋 정정방법.Correcting the congestion of the radiation beam directed toward the exit plane of the objective lens system with respect to the thickness of the material between the entrance plane of the optical record carrier and the information layer closest to the entrance plane.제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,The method according to claim 8 or 9,상기 방사빔의 폭주는, 그 간격 신호가 최대값에 도달하도록 조정되는 것을 특징으로 하는 포커스 오프셋 정정방법.And the congestion of the radiation beam is adjusted so that the interval signal reaches a maximum value.제 10 항에 있어서,The method of claim 10,상기 간격 신호에 대한 최대값은, 방사빔의 폭주에 관한 워블을 사용하여 결정되는 것을 특징으로 하는 포커스 오프셋 정정방법.The maximum value for the interval signal is determined using a wobble relating to the congestion of the radiation beam.제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,The method according to claim 8 or 9,광학주사장치에 존재하는 구면수차를 보상하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 포커스 오프셋 정정방법.Compensating for spherical aberration present in the optical scanning device.

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