본 발명은 테스트 핸들러에 대한 발명이다.The present invention relates to a test handler.
핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체 소자 등의 전자부품이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 전자부품을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기이다.A handler is a device that supports electronic components such as semiconductor devices manufactured through a specific manufacturing process to be tested by a tester, and classifies the electronic components by grade based on the test results and loads them onto customer trays.
이러한 핸들러에는 이송경로를 따라 전자부품을 이송시킬 수 있다. 또한, 핸들러는 전자부품을 테스트트레이에 적재하여 이동시킬 수 있으며, 여러 장의 테스트트레이를 순환시킬 수 있다. 이러한 테스트트레이의 이송경로는 로딩장치, 테스트 챔버, 및 언로딩 장치를 경유할 수 있다. 핸들러는 테스트 되지 않은 전자부품들을 고객트레이로부터 테스트트레이에 장착한 후, 전자부품들이 적재된 테스트트레이를 일정 경로를 따라서 순환시킴으로써 테스트트레이에 적재된 전자부품들의 테스트를 지원한다. 또한, 테스트트레이에 적재된 전자부품들의 테스트가 완료되면 테스트 완료된 전자부품들을 다시 고객트레이로 이송하도록 구성된다.These handlers can transport electronic components along a transport path. Furthermore, the handlers can load and move electronic components onto test trays and circulate multiple test trays. The transport path of the test trays can pass through a loading device, a test chamber, and an unloading device. The handlers load untested electronic components from a customer tray onto a test tray, and then circulate the test trays loaded with electronic components along a predetermined path, thereby supporting testing of the electronic components loaded onto the test trays. Furthermore, once testing of the electronic components loaded onto the test trays is completed, the handlers are configured to transport the tested electronic components back to the customer tray.
이와 같은, 핸들러에 구비되는 테스트트레이는 일반적으로 사각프레임에 다수의 인서트가 행렬 형태로 배열되어 있는 구조를 가지며, 각각의 인서트에는 전자부품이 적재된다.A test tray equipped with a handler like this generally has a structure in which a number of inserts are arranged in a matrix form in a square frame, and electronic components are loaded into each insert.
핸들러는 전자부품을 고객트레이와 테스트트레이 사이에서 이송시키게 되고, 이러한 핸들러의 픽커는 이러한 고객트레이, 테스트트레이 등에 놓인 전자부품을 들어올리게 된다. 또한, 픽커가 전자부품을 안정적으로 파지하기 위해 픽커가 들어올리는 전자부품의 종류가 바뀔 때마다 픽커의 전자부품에 접촉하는 부분에 해당하는 픽커의 팁은 전자부품의 종류에 맞게 교체된다. 종래에는 핸들러의 구동을 정지시킨 후 작업자가 직접 손으로 픽커의 팁을 교체하였다.The handler transports electronic components between the customer tray and the test tray, and the picker of this handler lifts the electronic components placed on the customer tray, test tray, etc. In addition, in order for the picker to stably hold the electronic components, the tip of the picker, which is the part of the picker that comes into contact with the electronic component, is replaced according to the type of electronic component whenever the type of electronic component being lifted by the picker changes. In the past, the handler was stopped and the picker tip was replaced by hand by the operator.
그런데, 최근 들어서는 단위시간당 처리되어야 할 전자부품의 수가 계속 증가하는 추세이고, 이에 따라 픽커가 들어올리게 되는 전자부품의 수도 증가하게 되었다. 또한, 최근에는 전자부품의 종류가 다양해짐에 따라 핸들러가 구동하는 도중에 전자부품의 종류가 교체되는 빈도수가 증가되고 있다. 따라서, 많은 수의 픽커의 팁을 빠른 시간 내에 교체할 것이 요구되고 있다.However, the number of electronic components to be processed per unit of time has been steadily increasing in recent years, leading to a corresponding increase in the number of electronic components lifted by pickers. Furthermore, the diversification of electronic components has led to an increase in the frequency with which they are replaced while the handler is operating. Consequently, the need to rapidly replace a large number of picker tips is becoming increasingly important.
게다가, 최근에는 전자부품가 점차 소형화됨에 따라 픽커와 픽커 간의 간격이 좁아지게 되었다. 따라서, 작업자가 종래와 같이 픽커 사이의 좁은 공간에서 손을 넣어 픽커의 팁을 교체하는 것에 어려움이 있었다.Moreover, as electronic components have become increasingly miniaturized, the gap between pickers has narrowed. Consequently, it has become difficult for workers to replace picker tips by reaching into the narrow space between the pickers, as was the case previously.
본 발명의 실시예들은 상기와 같은 종래의 문제점에 착안하여 발명된 것으로서, 픽커의 팁을 용이하게 교체할 수 있는 테스트 핸들러를 제공하고자 한다.Embodiments of the present invention have been invented in consideration of the above-described conventional problems, and are intended to provide a test handler capable of easily replacing the tip of a picker.
본 발명의 일 측면에 따르면, 픽커 팁 교환 장치; 및 하나 이상의 전자부품을 소정 위치로 운반할 수 있는 운반 장치를 포함하는, 테스트 핸들러가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, a test handler may be provided, comprising: a picker tip exchange device; and a transport device capable of transporting one or more electronic components to a predetermined location.
또한, 상기 운반 장치는, 상기 전자부품을 픽업하기 위한 픽커; 상기 픽커를 지지하는 헤드; 상기 헤드를 종방향으로 이송시키기 위한 종방향 이송기; 및 상기 헤드를 횡방향으로 이송시키기 위한 횡방향 이송기를 포함하는, 테스트 핸들러가 제공될 수 있다.In addition, the transport device may be provided with a test handler including a picker for picking up the electronic component; a head for supporting the picker; a longitudinal transporter for transporting the head in a longitudinal direction; and a transverse transporter for transporting the head in a transverse direction.
또한, 상기 픽커는, 상기 헤드에 지지되는 픽커 몸체; 및 상기 전자부품에 따라 교체될 수 있도록 상기 픽커 몸체에 탈착 가능하게 연결되는 픽커 팁을 포함하는, 테스트 핸들러가 제공될 수 있다.In addition, the picker may be provided with a test handler including a picker body supported by the head; and a picker tip detachably connected to the picker body so as to be replaceable according to the electronic component.
또한, 상기 픽커 팁 교환 장치는, 상기 픽커 팁이 안착될 수 있는 안착홀을 구비하고, 상기 픽커 몸체로부터 분리되거나 상기 픽커 몸체에 연결될 복수 개의 픽커 팁을 상기 안착홀에 수용할 수 있도록 구성되는 홀더 모듈; 복수 개의 상기 홀더 모듈을 적재할 수 있도록 구성되는 홀더 스택커; 상기 픽커 팁을 상기 픽커 몸체로부터 분리시키거나 상기 픽커 몸체에 연결시킴으로써 상기 픽커 팁을 교환하는 픽커 팁 교환부; 및 상기 홀더 스택커와 상기 픽커 팁 교환부 사이에서 상기 홀더 모듈을 이송하기 위한 홀더 이송기를 포함하는, 테스트 핸들러가 제공될 수 있다.In addition, the picker tip exchange device may include a test handler including a holder module having a seating hole in which the picker tip can be seated and configured to accommodate a plurality of picker tips to be separated from or connected to the picker body in the seating hole; a holder stacker configured to load a plurality of the holder modules; a picker tip exchange unit for exchanging the picker tip by separating the picker tip from or connecting the picker tip to the picker body; and a holder transporter for transporting the holder module between the holder stacker and the picker tip exchange unit.
본 발명의 실시예들에 따르면, 픽커의 팁을 빠른 속도로 교체할 수 있고, 핸들러의 가동률을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.According to embodiments of the present invention, there is an effect that the tip of the picker can be replaced at a high speed and the operating rate of the handler can be improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽커 팁 교환 장치와 이송 설비를 포함하는 핸들러의 개념도이다.
도 2는 도 1의 이송 설비에 구비되는 운반 장치를 나타내는 개념도이다.
도 3은 도 1의 이송설비에 구비되는 픽커 팁 교환 장치의 사시도이다.
도 4는 도 3의 픽커 팁 교환 장치에 포함되는 홀더 모듈과 홀더 개방기를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4의 홀더 모듈을 나타내는 저면 사시도이다.
도 6은 도 4의 홀더 개방기의 분해 사시도이다.
도 7 및 도 8은 홀더 개방기가 홀더 모듈을 개방하는 과정을 나타내는 평면도이다.
도 9는 운반 장치의 픽커 몸체에 홀더 모듈의 픽커 팁이 체결되는 과정을 모식적으로 나타낸 사시도이다.FIG. 1 is a conceptual diagram of a handler including a picker tip exchange device and a transport facility according to one embodiment of the present invention.
Figure 2 is a conceptual diagram showing a transport device equipped in the transport facility of Figure 1.
Fig. 3 is a perspective view of a picker tip exchange device provided in the transport equipment of Fig. 1.
Fig. 4 is a perspective view showing a holder module and holder opener included in the picker tip exchange device of Fig. 3.
Figure 5 is a bottom perspective view showing the holder module of Figure 4.
Fig. 6 is an exploded perspective view of the holder opener of Fig. 4.
Figures 7 and 8 are plan views showing the process of the holder opener opening the holder module.
Figure 9 is a perspective view schematically showing the process of attaching the picker tip of the holder module to the picker body of the transport device.
이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, specific embodiments for implementing the idea of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, when explaining the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description is omitted.
또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '전달', '접촉'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 전달, 접촉될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.Additionally, when it is said that a component is 'connected', 'transmitted' or 'in contact with' another component, it should be understood that it may be directly connected, transmitted or in contact with that other component, but there may also be other components present in between.
본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is intended solely to describe specific embodiments and is not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.
또한, 본 명세서에서 상측, 하측, 측면 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다.Additionally, please note that the terms "upper side," "lower side," and "side" in this specification are based on the illustrations in the drawings and may be expressed differently if the orientation of the subject changes. For the same reason, some components in the attached drawings are exaggerated, omitted, or schematically depicted, and the sizes of each component do not fully reflect the actual size.
또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Additionally, terms that include ordinal numbers, such as "first," "second," etc., may be used to describe various components, but these components are not limited by such terms. These terms are used solely to distinguish one component from another.
명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The term "comprising" as used in the specification means specifying a particular characteristic, region, integer, step, operation, element and/or component, but does not exclude the presence or addition of other particular characteristics, regions, integers, steps, operations, elements, components and/or groups.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.Hereinafter, a specific configuration of a test handler according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
먼저, 도 1을 참조하면, 테스트 핸들러(1)는 전자부품을 픽업하기 위한 픽커를 구비하는 이송헤드를 포함하는 이송 설비(2) 및 픽커에 포함된 픽커 팁을 교체하기 위한 픽커 팁 교환 장치(3)를 포함할 수 있다.First, referring to FIG. 1, a test handler (1) may include a transfer device (2) including a transfer head having a picker for picking up electronic components, and a picker tip exchange device (3) for replacing a picker tip included in the picker.
테스트 핸들러(1)의 이송 설비(2)는 로딩 장치(10), 온도 조절부(20), 테스트 장치(30), 언로딩 장치(40) 및 적어도 하나의 운반 장치(50)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 운반 장치(50)가 두 개 구비되는 경우를 예로 들어 도시하였으나, 이는 예시적인 설명을 위한 것이고, 본 발명의 사상이 운반 장치(50)의 총 개수에 있어서 제한되지는 않는다.The transport equipment (2) of the test handler (1) may include a loading device (10), a temperature control unit (20), a test device (30), an unloading device (40), and at least one transport device (50). In this embodiment, an example in which two transport devices (50) are provided is illustrated, but this is for illustrative purposes, and the spirit of the present invention is not limited in the total number of transport devices (50).
로딩 장치(10)는 테스트 받을 전자부품을 온도 조절부(20)에 로딩하기 위해 준비시킬 수 있다. 로딩 장치(10)는 복수 개의 고객트레이(미도시)를 구비할 수 있으며, 고객트레이를 이송하는 모듈을 포함할 수 있다.The loading device (10) can be prepared to load the electronic component to be tested into the temperature control unit (20). The loading device (10) can be equipped with a plurality of customer trays (not shown) and can include a module for transporting the customer trays.
온도 조절부(20)는 전자부품의 온도를 조절할 수 있으며, 이를 위한 챔버를 포함할 수 있다. 또한, 이러한 온도 조절부(20)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 전자부품 테스트 과정에서 소크 챔버(soak chamber) 및 디소크 챔버(desoak chamber)의 역할을 수행할 수 있다.The temperature control unit (20) can control the temperature of electronic components and may include a chamber for this purpose. In addition, a plurality of temperature control units (20) may be provided and may function as a soak chamber and a desoak chamber during an electronic component testing process.
테스트 장치(30)는 테스트 포켓을 구비하며, 전자부품을 테스트 포켓으로 이송시킬 수 있다. 이러한 전자부품은 테스트트레이(T)에 적재된 상태에서 이송될 수 있다. 테스트 장치(30)는 테스트 핸들러(1)와는 별도로 구비되는 테스터(Tester)에 결합되기 위한 공간을 제공할 수 있다.The test device (30) is equipped with a test pocket and can transport electronic components into the test pocket. These electronic components can be transported while loaded onto a test tray (T). The test device (30) can provide a space for coupling to a tester (Tester) provided separately from the test handler (1).
언로딩 장치(40)는 테스트 완료된 전자부품을 전달받을 수 있다. 언로딩 장치(40)는 테스트 완료된 전자부품이 안착될 공간을 제공할 수 있다. 또한, 언로딩 장치(40)는 복수 개의 고객트레이를 구비할 수 있으며, 고객트레이를 이송하는 모듈을 포함할 수 있다.The unloading device (40) can receive tested electronic components. The unloading device (40) can provide a space for the tested electronic components to be installed. In addition, the unloading device (40) can be equipped with a plurality of customer trays and can include a module for transporting the customer trays.
운반 장치(50)는 로딩 장치(10), 온도 조절부(20), 테스트 장치(30) 및 언로딩 장치(40)들 사이에서, 또는 각 장치의 내부에서 대상물체를 픽업하거나 내려놓을 수 있으며, 수평 또는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이하에서는 도 2를 참조하여 운반 장치(50)의 구성을 설명한다.The transport device (50) can pick up or put down a target object between the loading device (10), the temperature control unit (20), the test device (30), and the unloading device (40), or within each device, and can be configured to move in a horizontal or vertical direction. Hereinafter, the configuration of the transport device (50) will be described with reference to FIG. 2.
도 2를 참조하면, 운반 장치(50)는 헤드(51), 종방향 이송기(52), 횡방향 이송기(53) 및 픽커(54)를 포함할 수 있다. 또한, 헤드(51)는 복수 개의 픽커(54)를 지지할 수 있다. 헤드(51)는 픽커(54)에 전자부품이 지지된 상태에서 이동함으로써 전자부품을 이송할 수 있다. 종방향 이송기(52) 및 횡방향 이송기(53)는 헤드(51)에 직접적, 간접적으로 연결되어 헤드(51)를 이동시킬 수 있다. 종방향 이송기(52)는 헤드(51)를 상하 방향(도 3 내지 도 9의 Z1, Z2 방향)으로 이동시킬 수 있고, 횡방향 이송기(53)는 헤드(51)를 횡방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2, Y1, Y2 방향)으로 이송시킬 수 있다. 픽커(54)는 픽커 몸체(55)와 픽커 팁(56)을 포함할 수 있고, 픽커 팁(56)은 픽커 몸체(55)에 대해 분리 가능하게 구성되어 교체될 수 있다. 픽커 팁(56)은 안착홀(1210)에 맞물릴 수 있도록 구성될 수 있으며, 다양한 형상을 가질 수 있다. 한편, 픽커 팁(56)은 픽커 팁 교환 장치(3)에 의해 픽커 몸체(55)에 결합되거나 분리될 수 있으므로, 이하에서는 픽커 팁 교환 장치(3)에 대하여 서술한다.Referring to FIG. 2, the transport device (50) may include a head (51), a longitudinal transporter (52), a transverse transporter (53), and a picker (54). In addition, the head (51) may support a plurality of pickers (54). The head (51) may transport electronic components by moving while the electronic components are supported on the picker (54). The longitudinal transporter (52) and the transverse transporter (53) may be directly or indirectly connected to the head (51) to move the head (51). The longitudinal transporter (52) may move the head (51) in an up-and-down direction (Z1, Z2 directions of FIGS. 3 to 9), and the transverse transporter (53) may transport the head (51) in a transverse direction (X1, X2, Y1, Y2 directions of FIGS. 3 to 9). The picker (54) may include a picker body (55) and a picker tip (56), and the picker tip (56) may be configured to be detachable from the picker body (55) and thus replaceable. The picker tip (56) may be configured to be engaged with the mounting hole (1210) and may have various shapes. Meanwhile, since the picker tip (56) may be coupled to or detached from the picker body (55) by the picker tip exchange device (3), the picker tip exchange device (3) will be described below.
도 3을 참조하면, 픽커 팁 교환장치(10)는 홀더 모듈(100), 홀더 개방기(200), 홀더 스택커(300) 및 홀더 이송기(400)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the picker tip exchange device (10) may include a holder module (100), a holder opener (200), a holder stacker (300), and a holder transporter (400).
도 3 내지 도 5를 더 참조하면, 홀더 모듈(100)은 홀더 프레임(1100), 안착부(1200), 지지부재(1300) 및 탄성부재(1400)를 포함할 수 있다. 이러한 홀더 모듈(100)은 복수 개로 제공될 수 있고, 복수 개의 홀더 모듈(100) 중 적어도 일부는 다른 홀더 모듈(100)과 구별하기 위한 바코드 등의 고유 식별표시를 가질 수 있다.Referring further to FIGS. 3 to 5, the holder module (100) may include a holder frame (1100), a mounting portion (1200), a support member (1300), and an elastic member (1400). A plurality of such holder modules (100) may be provided, and at least some of the plurality of holder modules (100) may have a unique identification mark, such as a barcode, to distinguish them from other holder modules (100).
홀더 프레임(1100)은 지지부재(1300)를 일방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)을 따라 이동 가능하도록 지지할 수 있다. 또한, 홀더 프레임(1100)에는 상하 방향으로 연통하는 것을 허용하도록 상하 방향으로 관통된 프레임 홀(1110)을 가질 수 있다. 또한, 홀더 프레임(1100)에는 홀더 개방기(200)에 맞물리기 위한 개방기 계합부(1120), 및 홀더 이송기(400)에 맞물리기 위한 파지용 홀(1130)이 형성될 수 있다.The holder frame (1100) can support the support member (1300) so that it can move in one direction (X1, X2 direction of FIGS. 3 to 9). In addition, the holder frame (1100) can have a frame hole (1110) that penetrates in the vertical direction to allow vertical communication. In addition, the holder frame (1100) can be formed with an opener engaging portion (1120) for engaging with a holder opener (200), and a gripping hole (1130) for engaging with a holder conveyor (400).
개방기 계합부(1120)는 측방향을 따라 연장 형성된 홀 또는 돌기일 수 있다. 일 예로, 개방기 계합부(1120)는 일방향의 일측(도 3 내지 도 9의 X1 측)을 향해 개구되어 상기의 일방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)을 따라 연장 형성된 홀일 수 있다. 또한, 개방기 계합부(1120)는 홀더 프레임(1100)의 가장자리 부위, 또는 프레임 홀(1110)의 안쪽에 형성될 수 있다. 홀더 모듈(100)은 안착부(1200)에 맞물린 픽커 팁(56), 및 이러한 픽커 팁(56)에 연결된 운반 장치(50) 등으로부터 외력을 받을 수 있다. 개방기 계합부(1120)는 후술할 홀더 고정부(2112)와 맞물림으로써 홀더 모듈(100)이 홀더 개방기(200)에 안착되었을 때에 홀더 모듈(100)이 외력에 의해 홀더 개방기(200)로부터 이탈하는 것이 방지될 수 있다.The opener engagement portion (1120) may be a hole or a projection formed to extend laterally. For example, the opener engagement portion (1120) may be a hole that opens toward one side (X1 side of FIGS. 3 to 9) in one direction and extends along the one direction (X1, X2 directions of FIGS. 3 to 9). In addition, the opener engagement portion (1120) may be formed at an edge portion of the holder frame (1100) or inside a frame hole (1110). The holder module (100) may receive an external force from a picker tip (56) engaged with the mounting portion (1200), and a transport device (50) connected to the picker tip (56). The opener engagement part (1120) is interlocked with the holder fixing part (2112) to be described later, so that when the holder module (100) is secured to the holder opener (200), the holder module (100) can be prevented from being separated from the holder opener (200) by an external force.
파지용 홀(1130)은 홀더 프레임(1100)의 사이드부에 형성된 홀 또는 돌기 일 수 있다. 파지용 홀(1130)이 후술할 홀더 이송기(400)의 홀더 암(410)의 돌기 또는 홀에 맞물림으로써 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 안정적으로 파지될 수 있다.The holder hole (1130) may be a hole or projection formed on the side of the holder frame (1100). By engaging the holder hole (1130) with the projection or hole of the holder arm (410) of the holder transporter (400) to be described later, the holder module (100) can be stably held by the holder transporter (400).
홀더 프레임(1100)은 지지부재(1300)를 슬라이드 이동 가능하게 지지하고, 지지부재(1300)의 이동을 안내하기 위해 지지부재 가이드(1140)를 포함할 수 있다. 지지부재 가이드(1140)는 일방향으로 연장 형성될 수 있으며, 봉 형상을 가질 수 있다. 이러한 지지부재 가이드(1140)는 홀더 프레임(1100)의 타방향으로의 양측(도 3 내지 도 9의 Y1 측 및 Y2 측)에 구비될 수 있다.The holder frame (1100) may support the support member (1300) so as to be able to slide, and may include a support member guide (1140) to guide the movement of the support member (1300). The support member guide (1140) may extend in one direction and may have a rod shape. Such support member guide (1140) may be provided on both sides of the holder frame (1100) in the other direction (Y1 side and Y2 side in FIGS. 3 to 9).
안착부(1200)는 픽커 팁(56)이 수용되기 위한 안착홀(1210)을 가질 수 있다. 안착홀(1210)은 안착부(1200)의 일방향을 따라 요입 형성될 수 있으며, 안착부(1200)의 일측을 향해 개구될 수 있다. 이러한 안착홀(1210)은 복수 개로 형성될 수 있다. 또한, 복수 개의 안착홀(1210)은 타방향(도 3 내지 도 9의 Y1, Y2 방향)으로의 열을 따라 나란하게 배열될 수 있다. 본 명세서에서 '타방향'은 일방향과 어긋나는 방향을 의미한다. 예를 들어 일방향이 전후방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)인 경우 타방향은 좌우방향이라 할 수 있다. 또한, 안착홀(1210)은 복수 개의 열로 배열될 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서 안착부(1200)는 홀더 프레임(1100)과 별도의 부재인 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 홀더 프레임(1100)과 단일의 부재를 구성하는 것도 가능하다.The mounting portion (1200) may have a mounting hole (1210) for receiving the picker tip (56). The mounting hole (1210) may be formed by recessing along one direction of the mounting portion (1200) and may be opened toward one side of the mounting portion (1200). A plurality of such mounting holes (1210) may be formed. In addition, the plurality of mounting holes (1210) may be arranged in parallel along a row in the other direction (the Y1 and Y2 directions of FIGS. 3 to 9). In the present specification, the 'other direction' means a direction that is different from the one direction. For example, when the one direction is the front-back direction (the X1 and X2 directions of FIGS. 3 to 9), the other direction may be the left-right direction. In addition, the mounting holes (1210) may be arranged in a plurality of rows. Meanwhile, in the drawing according to the present embodiment, the fixing portion (1200) is shown as a separate member from the holder frame (1100), but the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto, and it is also possible to form a single member with the holder frame (1100).
지지부재(1300)는 일방향으로 이동 가능하도록 홀더 프레임(1100)에 지지될 수 있다. 또한, 지지부재(1300)는 픽커 팁(56)이 안착홀(1210) 내에 맞물리거나 이탈하는 것이 가능하도록 안착홀(1210)을 개방하거나, 안착홀(1210)에 안착된 픽커 팁(56)의 이탈을 방지하도록 안착홀(1210)을 폐쇄할 수 있다. 본 명세서에서 '폐쇄'는 지지부재(1300)가 안착홀(1210)의 개구에 완전히 밀착하는 것에만 국한되는 것이 아니고, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)의 개구를 통해 안착홀(1210)에 삽입 또는 이탈하는 것을 방지하는 것을 의미한다. 따라서, 지지부재(1300)가 안착홀(1210)의 개구로부터 소정간격 이격되어 있더라도, 지지부재(1300)와 안착홀(1210)의 개구 사이의 간격이 픽커 팁(56)이 이동할 수 없을 정도로 좁다면 지지부재(1300)가 개구를 폐쇄한 것으로 간주된다.The support member (1300) may be supported on the holder frame (1100) so as to be movable in one direction. In addition, the support member (1300) may open the mounting hole (1210) so that the picker tip (56) can be engaged with or removed from the mounting hole (1210), or may close the mounting hole (1210) so as to prevent the picker tip (56) mounted in the mounting hole (1210) from being removed. In the present specification, 'closing' is not limited to the support member (1300) being completely in contact with the opening of the mounting hole (1210), but also means preventing the picker tip (56) from being inserted into or removed from the mounting hole (1210) through the opening of the mounting hole (1210). Accordingly, even if the support member (1300) is spaced a predetermined distance from the opening of the mounting hole (1210), if the gap between the support member (1300) and the opening of the mounting hole (1210) is narrow enough that the picker tip (56) cannot move, it is considered that the support member (1300) closes the opening.
이러한 지지부재(1300)는 개폐부(1310), 지지부재 슬라이딩부(1320), 및 푸셔 대응부(1330)를 포함할 수 있다.This support member (1300) may include an opening/closing portion (1310), a support member sliding portion (1320), and a pusher corresponding portion (1330).
개폐부(1310)는 안착홀(1210)을 개방시키거나 폐쇄시킬 수 있다[도 4]. 이러한 계패부(1310)는 타방향(도 3 내지 도 9의 Y1, Y2 방향)으로 연장되는 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 안착홀(1210)이 복수 개의 열로 배열되는 경우, 개폐부(1310)도 안착홀(1210)의 열의 개수에 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 도면에서와 같이 안착홀(1210)이 2개의 열로 배열될 경우 개폐부(1310)도 2개로 제공될 수 있다. 하나의 개폐부(1310)는 하나의 열에 놓인 복수 개의 안착홀(1210)을 동시에 개폐할 수 있다.The opening/closing part (1310) can open or close the settling hole (1210) [Fig. 4]. This opening/closing part (1310) can have a bar shape extending in another direction (Y1, Y2 direction of Figs. 3 to 9). When the settling holes (1210) are arranged in multiple rows, the number of opening/closing parts (1310) can also be provided corresponding to the number of rows of the settling holes (1210). For example, when the settling holes (1210) are arranged in two rows as shown in the drawing, the number of opening/closing parts (1310) can also be provided in two. One opening/closing part (1310) can simultaneously open/close multiple settling holes (1210) arranged in one row.
지지부재 슬라이딩부(1320)는 지지부재 가이드(1140)를 따라 일방향으로 슬라이드 이동 가능하게 지지부재 가이드(1140)에 맞물릴 수 있다. 지지부재 슬라이딩부(1320)는 개폐부(1310)의 양측에 구비될 수 있다. 지지부재 슬라이딩부(1320)는 예를 들어, 지지부재 가이드(1140)에 삽입되도록 일방향으로 연장 형성되는 관통홀일 수 있다. 또한, 지지부재 슬라이딩부(1320)는 지지부재 가이드(1140)와 동일한 개수로 제공될 수 있다.The support member sliding portion (1320) can be engaged with the support member guide (1140) so as to be able to slide in one direction along the support member guide (1140). The support member sliding portion (1320) can be provided on both sides of the opening/closing portion (1310). The support member sliding portion (1320) can be, for example, a through hole that extends in one direction so as to be inserted into the support member guide (1140). In addition, the support member sliding portion (1320) can be provided in the same number as the support member guide (1140).
푸셔 대응부(1330)는 후술할 푸셔(2300)의 홀더 작용부(2320)로부터 힘을 받는 부분일 수 있다[도 5]. 예를 들어, 푸셔 대응부(1330)는 안착부(1200)의 하측에 배치되어 측방향으로 연장되는 돌출부일 수 있다. 푸셔 대응부(1330) 중 푸셔(2300)에 대향하는 부분에는 푸셔(2300)와의 접촉에 따른 충격을 완화하기 위하여 고무, 실리콘 등의 완충부재가 제공될 수도 있다.The pusher response portion (1330) may be a portion that receives force from the holder action portion (2320) of the pusher (2300) to be described later [Fig. 5]. For example, the pusher response portion (1330) may be a protrusion that is positioned on the lower side of the mounting portion (1200) and extends laterally. A cushioning material such as rubber or silicone may be provided on the portion of the pusher response portion (1330) facing the pusher (2300) to alleviate shock caused by contact with the pusher (2300).
탄성부재(1400)는 개폐부(1310)가 안착홀(1210)에 가까워지는 방향으로 지지부재(1300)에 탄성력을 가해줄 수 있다. 다시 말해, 탄성부재(1400)는 일방향 타측(도 3 내지 도 9의 X2 측)으로 지지부재(1300)를 밀 수 있고, 개폐부(1310)는 푸셔(2300) 등으로부터 힘을 받지 않는 상태에서는 탄성부재(1400)에 밀림으로써 안착홀(1210)을 폐쇄하는 상태를 유지할 수 있다. 따라서 홀더 모듈(100)이 이송되는 동안에도 홀더 모듈(100)의 안착홀(1210)이 임의로 개방되는 것이 방지될 수 있고, 안착홀(1210)에 수용된 픽커 팁(56)이 이탈하는 것도 방지될 수 있다.The elastic member (1400) can apply elastic force to the support member (1300) in a direction in which the opening/closing portion (1310) approaches the settling hole (1210). In other words, the elastic member (1400) can push the support member (1300) in one direction (X2 side of FIGS. 3 to 9), and the opening/closing portion (1310) can be pushed by the elastic member (1400) to keep the settling hole (1210) closed when it is not subject to force from a pusher (2300) or the like. Accordingly, the settling hole (1210) of the holder module (100) can be prevented from being opened arbitrarily even while the holder module (100) is being transported, and the picker tip (56) accommodated in the settling hole (1210) can also be prevented from being detached.
한편, 본 실시예에서는 홀더 모듈(100)이 안착홀(1210)을 능동적으로 개폐하는 모듈을 포함하는 것을 완전히 배제하는 것은 아니다.Meanwhile, in this embodiment, it is not completely excluded that the holder module (100) includes a module that actively opens and closes the settling hole (1210).
도 3, 도 4 및 도 6을 참조하면, 홀더 개방기(200)는 홀더 모듈(100)을 지지할 수 있고, 지지부재(1300)를 이동시킴으로써 안착홀(1210)을 개방시킬 수 있이다. 이러한 홀더 개방기(200)는 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)로부터 분리시키거나 픽커 몸체(55)에 연결시킴으로써 픽커 팁(56)을 교환하는 픽커 팁 교환부에 제공될 수 있다. 홀더 개방기(200)는 개방기 프레임부(2100), 푸셔(2300) 및 구동기(2400)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3, 4, and 6, the holder opener (200) can support the holder module (100) and open the mounting hole (1210) by moving the support member (1300). The holder opener (200) can be provided in a picker tip exchange unit that exchanges the picker tip (56) by separating the picker tip (56) from the picker body (55) or connecting the picker tip (56) to the picker body (55). The holder opener (200) can include an opener frame portion (2100), a pusher (2300), and a driver (2400).
개방기 프레임부(2100)는 푸셔(2300)와 구동기(2400)를 지지할 수 있는 프레임일 수 있다. 이러한 개방기 프레임부(2100)는 제1 개방기 프레임(2110) 및 제2 개방기 프레임(2120)을 포함할 수 있다. 홀더 모듈(100)은 제2 개방기 프레임(2120)에 탑재될 수 있다.The opener frame (2100) may be a frame capable of supporting a pusher (2300) and a driver (2400). The opener frame (2100) may include a first opener frame (2110) and a second opener frame (2120). The holder module (100) may be mounted on the second opener frame (2120).
제1 개방기 프레임(2110)은 구동기(2400)를 지지하기 위한 제1 프레임 바디(2111), 개방기 계합부(1120)와 맞물리는 홀더 고정부(2112), 및 프레임 가이드(2114)를 포함할 수 있다. 제1 프레임 바디(2111), 홀더 고정부(2112) 및 프레임 가이드(2114)는 서로 간의 상대적인 위치가 변하지 않도록 고정될 수 있다.The first opener frame (2110) may include a first frame body (2111) for supporting the actuator (2400), a holder fixing portion (2112) that engages with the opener engaging portion (1120), and a frame guide (2114). The first frame body (2111), the holder fixing portion (2112), and the frame guide (2114) may be fixed so that their relative positions do not change.
홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)와 맞물리도록 구성될 수 있다. 예를 들어 홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)가 돌출 또는 인입되는 방향과 동일한 방향으로 연장되는 돌기 또는 홈일 수 있다. 따라서, 개방기 계합부(1120)가 일방향으로 인입 형성된 홀일 경우, 홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)에 삽입되도록 일방향으로 돌출되는 돌기일 수 있다.The holder fixing portion (2112) may be configured to engage with the opener engaging portion (1120). For example, the holder fixing portion (2112) may be a protrusion or groove extending in the same direction as the direction in which the opener engaging portion (1120) protrudes or is drawn in. Accordingly, when the opener engaging portion (1120) is a hole formed to be drawn in one direction, the holder fixing portion (2112) may be a protrusion protruding in one direction so as to be inserted into the opener engaging portion (1120).
프레임 가이드(2114)는 제2 개방기 프레임(2120)을 이동 가능하게 지지할 수 있으며, 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112)가 서로 맞물릴 수 있도록 제2 개방기 프레임(2120)의 이동을 안내할 수 있다. 다시 말해, 프레임 가이드(2114)는 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112)가 돌출, 인입되는 방향을 따라 제2 개방기 프레임(2120)이 이동하도록 제2 개방기 프레임(2120)을 안내할 수 있다. 예를 들어, 개방기 계합부(1120)가 일방향으로 인입 형성된 홀인 경우 프레임 가이드(2114)는 일방향으로 연장되는 슬라이딩 레일일 수 있다. 이러한 슬라이딩 레일은 돌출부 또는 오목부를 포함할 수 있다. 또한, 프레임 가이드(2114)는 제1 프레임 바디(2111)의 타방향으로의 양측(도 3 내지 도 9의 Y1 측 및 Y2 측)에 구비될 수 있다.The frame guide (2114) can movably support the second opener frame (2120) and guide the movement of the second opener frame (2120) so that the opener engaging portion (1120) and the holder fixing portion (2112) can be engaged with each other. In other words, the frame guide (2114) can guide the second opener frame (2120) so that the second opener frame (2120) moves along the direction in which the opener engaging portion (1120) and the holder fixing portion (2112) protrude and retract. For example, when the opener engaging portion (1120) is a hole formed to be retracted in one direction, the frame guide (2114) can be a sliding rail extending in one direction. Such a sliding rail can include a protrusion or a concave portion. Additionally, frame guides (2114) may be provided on both sides (Y1 side and Y2 side of FIGS. 3 to 9) of the first frame body (2111) in the other direction.
제2 개방기 프레임(2120)은 제2 프레임 바디(2121), 프레임 슬라이딩부(2122) 및 푸셔 가이드(2123)를 포함할 수 있다. 또한, 제2 개방기 프레임(2120)은 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동 가능하게 구성될 수 있다.The second opener frame (2120) may include a second frame body (2121), a frame sliding part (2122), and a pusher guide (2123). In addition, the second opener frame (2120) may be configured to be movable with respect to the first opener frame (2110).
제2 프레임 바디(2121)는 홀더 모듈(100)이 안착될 수 있는 홀더 지지부(2121a)가 제공될 수 있다. 또한, 제2 개방기 프레임(2120)은 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해 홀더 지지부(2121a)의 가장자리에 구비되는 걸림쇠(2121b)를 포함할 수 있다. 이러한 걸림쇠(2121b)는 돌기 또는 홈의 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2 프레임 바디(2121)는 프레임 슬라이딩부(2122)와 푸셔 가이드(2123)를 지지할 수 있으며, 복수 개의 부재를 포함할 수 있다.The second frame body (2121) may be provided with a holder support portion (2121a) on which the holder module (100) may be mounted. In addition, the second opener frame (2120) may include a catch (2121b) provided at an edge of the holder support portion (2121a) to prevent the holder module (100) from being separated from the holder support portion (2121a). This catch (2121b) may have a shape of a protrusion or a groove. In addition, the second frame body (2121) may support a frame sliding portion (2122) and a pusher guide (2123), and may include a plurality of members.
프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114)를 따라 슬라이드 이동 가능하게 프레임 가이드(2114)에 맞물릴 수 있다. 예를 들어, 프레임 가이드(2114)가 일방향으로 연장되는 경우, 프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114) 상에서 일방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 프레임 슬라이딩부(2122)는 제2 프레임 바디(2121)의 타방향으로의 양측에 구비될 수 있다. 또한, 프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114)와 동일한 개수로 제공될 수 있다.The frame sliding portion (2122) can be engaged with the frame guide (2114) so as to be able to slide along the frame guide (2114). For example, if the frame guide (2114) extends in one direction, the frame sliding portion (2122) can be configured to be able to move in one direction on the frame guide (2114). The frame sliding portion (2122) can be provided on both sides of the second frame body (2121) in the other direction. In addition, the frame sliding portion (2122) can be provided in the same number as the frame guide (2114).
푸셔 가이드(2123)는 푸셔(2300)의 이동을 안내하도록 연장 형성될 수 있다. 또한, 푸셔 가이드(2123)가 연장되는 방향은 지지부재(1300)가 이동하는 방향과 나란한 방향일 수 있다. 푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)에 맞물려서 푸셔 가이드(2123)를 따라 이동함으로써 지지부재(1300)가 안착홀(1210)로부터 멀어지는 방향으로 지지부재(1300)를 밀어줄 수 있다. 이러한 푸셔 가이드(2123)는 제2 프레임 바디(2121)의 타방향으로의 양측에 형성될 수 있다. 푸셔 가이드(2123)가 제2 개방기 프레임(2120)에 구비되고, 푸셔(2300)가 푸셔 가이드(2123)에 의해 지지되므로, 제2 개방기 프레임(2120)이 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동할 경우, 푸셔 가이드(2123)에 지지되는 푸셔(2300)도 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동하게 된다.The pusher guide (2123) may be formed to extend to guide the movement of the pusher (2300). In addition, the direction in which the pusher guide (2123) extends may be parallel to the direction in which the support member (1300) moves. The pusher (2300) may be engaged with the pusher guide (2123) and move along the pusher guide (2123), thereby pushing the support member (1300) away from the fixing hole (1210). Such a pusher guide (2123) may be formed on both sides of the second frame body (2121) in the other direction. Since the pusher guide (2123) is provided on the second opener frame (2120) and the pusher (2300) is supported by the pusher guide (2123), when the second opener frame (2120) moves with respect to the first opener frame (2110), the pusher (2300) supported by the pusher guide (2123) also moves with respect to the first opener frame (2110).
푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)에 맞물려서 푸셔 가이드(2123) 상에서 일방향을 따라 왕복 운동 가능하게 구성된다. 푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)를 통해 제2 개방기 프레임(2120)에 지지될 수 있다. 푸셔(2300)는 일방향의 일측으로 이동함으로써 지지부재(1300)를 일방향의 일측으로 밀어줄 수 있다.The pusher (2300) is configured to be interlocked with the pusher guide (2123) and to be capable of reciprocating in one direction on the pusher guide (2123). The pusher (2300) can be supported on the second opener frame (2120) via the pusher guide (2123). The pusher (2300) can push the support member (1300) to one side in one direction by moving to one side in one direction.
푸셔(2300)는 푸셔 몸체(2310), 홀더 작용부(2320) 및 푸셔 슬라이딩부(2330)를 포함할 수 있다.The pusher (2300) may include a pusher body (2310), a holder operating part (2320), and a pusher sliding part (2330).
푸셔 몸체(2310)는 홀더 작용부(2320) 및 푸셔 슬라이딩부(2330)에 연결된 프레임일 수 있다. 이러한 푸셔 몸체(2310)는 타방향으로 연장하는 부분과, 그 양측에서 일방향으로 연장하는 부분을 포함할 수 있다. 예를 들어, 푸셔 몸체(2310)는 상측에서 보았을 때 ㄷ자 형상 또는 I형상을 가질 수 있다.The pusher body (2310) may be a frame connected to the holder operating portion (2320) and the pusher sliding portion (2330). The pusher body (2310) may include a portion extending in one direction and a portion extending in one direction on both sides thereof. For example, the pusher body (2310) may have a T-shape or an I-shape when viewed from above.
홀더 작용부(2320)는 홀더 모듈(100)의 지지부재(1300)에 맞닿는 부분이다. 이러한 홀더 작용부(2320)는 푸셔 몸체(2310)로부터 상측으로 돌출된 돌출부재일 수 있다. 또한, 홀더 작용부(2320) 중 홀더 모듈(100)에 대향하는 부분에는 홀더 모듈(100)과의 접촉에 따른 충격을 완화하기 위하여 고무, 실리콘 등의 완충부재가 제공될 수도 있다.The holder action part (2320) is a portion that comes into contact with the support member (1300) of the holder module (100). This holder action part (2320) may be a protruding member that protrudes upward from the pusher body (2310). In addition, a buffering member such as rubber or silicone may be provided on a portion of the holder action part (2320) that faces the holder module (100) to alleviate impact due to contact with the holder module (100).
푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)를 따라 슬라이드 이동 가능하게 푸셔 가이드(2123)에 맞물릴 수 있다. 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)상에서 일방향을 따라 움직일 수 있다. 이러한 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 몸체(2310)의 양측에 구비될 수 있다. 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)와 동일한 개수로 제공될 수 있다.The pusher sliding portion (2330) can be engaged with the pusher guide (2123) so as to be able to slide along the pusher guide (2123). The pusher sliding portion (2330) can move in one direction on the pusher guide (2123). The pusher sliding portion (2330) can be provided on both sides of the pusher body (2310). The pusher sliding portion (2330) can be provided in the same number as the pusher guide (2123).
구동기(2400)는 제2 개방기 프레임(2120) 및 푸셔(2300)가 움직이기 위한 구동력을 제공할 수 있다. 이러한 구동기(2400)는 프레임 구동기(2410) 및 푸셔 구동기(2420)를 포함할 수 있다.The actuator (2400) can provide a driving force for the second open frame (2120) and the pusher (2300) to move. The actuator (2400) can include a frame actuator (2410) and a pusher actuator (2420).
프레임 구동기(2410)는 제2 개방기 프레임(2120)을 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 프레임 구동기 몸체(2411), 및 프레임 구동기 몸체(2411)에 연결되어 움직이는 프레임 구동기 작용부(2412)를 포함할 수 있다. 프레임 구동기 몸체(2411)는 제1 프레임 바디(2111)에 지지될 수 있으며, 프레임 구동기 작용부(2412)는 제2 프레임 바디(2121)에 연결될 수 있다. 프레임 구동기(2410)는 제1 개방기 프레임(2110)에 지지된 상태에서 제2 개방기 프레임(2120)에 힘을 가하여, 제1 개방기 프레임(2110)에 대해 제2 개방기 프레임(2120)을 이동시킬 수 있다. 이러한 프레임 구동기(2410)는 예를 들어 실린더, 모터 등일 수 있다.The frame actuator (2410) may include a frame actuator body (2411) that generates a driving force for moving the second opener frame (2120), and a frame actuator action part (2412) that is connected to the frame actuator body (2411) and moves. The frame actuator body (2411) may be supported on the first frame body (2111), and the frame actuator action part (2412) may be connected to the second frame body (2121). The frame actuator (2410) may apply force to the second opener frame (2120) while being supported by the first opener frame (2110), thereby moving the second opener frame (2120) relative to the first opener frame (2110). The frame actuator (2410) may be, for example, a cylinder, a motor, or the like.
푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 푸셔 구동기 몸체(2421), 및 푸셔 구동기 몸체(2421)에 연결되어 움직이는 푸셔 구동기 작용부(2422)를 포함할 수 있다. 푸셔 구동기 몸체(2421)는 제2 프레임 바디(2121)에 지지될 수 있으며, 푸셔 구동기 작용부(2422)는 푸셔(2300)에 연결될 수 있다. 푸셔 구동기(2420)는 제2 개방기 프레임(2220)에 지지된 상태에서 푸셔(2300)를 이동시킬 수 있다. 푸셔 구동기(2420)와 푸셔(2300)가 제2 개방기 프레임(2120)에 지지되어 있으므로, 제2 개방기 프레임(2120)가 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동하더라도 푸셔 구동기(2420)와 푸셔(2300) 간의 상대 위치가 유지될 수 있다. 이러한 프레임 구동기(2410)는 예를 들어 실린더, 모터 등일 수 있다.The pusher actuator (2420) may include a pusher actuator body (2421) that generates a driving force for moving the pusher (2300), and a pusher actuator action part (2422) that is connected to the pusher actuator body (2421) and moves. The pusher actuator body (2421) may be supported on a second frame body (2121), and the pusher actuator action part (2422) may be connected to the pusher (2300). The pusher actuator (2420) may move the pusher (2300) while being supported on the second opening frame (2220). Since the pusher actuator (2420) and the pusher (2300) are supported on the second open frame (2120), even if the second open frame (2120) moves with respect to the first open frame (2110), the relative position between the pusher actuator (2420) and the pusher (2300) can be maintained. This frame actuator (2410) can be, for example, a cylinder, a motor, or the like.
이하에서는 도 2를 다시 참조하여, 홀더 스택커(300), 홀더 이송기(400) 및 제어부(미도시)를 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 2 again, the holder stacker (300), holder transporter (400), and control unit (not shown) will be described.
홀더 스택커(300)는 복수 개의 홀더 모듈(100)을 수용할 수 있다. 홀더 스택커(300)는 수용부(310), 이송부(320) 및 고정부(330)를 포함할 수 있다. 수용부(310)는 복수 개의 홀더 모듈(100)이 적층되기 위한 공간을 제공할 수 있으며, 층상 구조를 가질 수 있다. 또한, 이송부(320)는 수용부(310)를 이송하기 위한 구동력을 제공하는 액추에이터 및 가이드 레일을 포함할 수 있다. 수용부(310)는 이송부(320)에 의해 홀더 개방기(200) 측으로 가까워지거나 멀어지도록 이송될 수 있다. 수용부(310)가 홀더 개방기(200)로부터 멀어진 상태에서 수용부(310)에 수용된 홀더 모듈(100)이 한꺼번에 교체될 수 있다. 고정부(330)는 수용부(310)가 이송부(320)상에서 움직이지 않도록 수용부(310)를 고정시킬 수 있다. 또한 고정부(330)는 수용부(310)가 소정의 위치에 도달하였는지를 파악하기 위한 센서를 포함할 수 있다.The holder stacker (300) can accommodate a plurality of holder modules (100). The holder stacker (300) can include a receiving portion (310), a transport portion (320), and a fixing portion (330). The receiving portion (310) can provide a space for stacking a plurality of holder modules (100) and can have a layered structure. In addition, the transport portion (320) can include an actuator and a guide rail that provide a driving force for transporting the receiving portion (310). The receiving portion (310) can be transported toward or away from the holder opener (200) by the transport portion (320). When the receiving portion (310) is moved away from the holder opener (200), the holder modules (100) accommodated in the receiving portion (310) can be replaced all at once. The fixing member (330) can fix the receiving member (310) so that the receiving member (310) does not move on the transport member (320). In addition, the fixing member (330) can include a sensor for determining whether the receiving member (310) has reached a predetermined position.
홀더 모듈(100)을 파지하여 이송할 수 있다. 홀더 이송기(400)는 이를 위해 적어도 2개의 홀더 암(410)을 포함할 수 있다. 또한, 이러한 홀더 암(410)에는 홀더 프레임(1100)의 파지용 홀(1130)에 맞물리기 위한 돌기가 제공될 수 있다. 홀더 이송기(400)는 홀더 암(410)을 이송하기 위한 암 무버(420)를 더 포함할 수 있다. 홀더 암(410)은 암 무버(420)에 의해 홀더 모듈(100)을 파지한 상태에서 홀더 암(410)을 수직 방향으로 이송하거나 수평 방향으로 이송할 수 있다. 이러한 암 무버(420)는 종방향 액츄에이터 및/또는 횡방향 액츄에이터를 포함할 수 있으며, 상기 액츄에이터에 의한 이동을 안내하는 가이드 레일 등을 더 포함할 수 있다.The holder module (100) can be gripped and transported. The holder transporter (400) may include at least two holder arms (410) for this purpose. In addition, the holder arms (410) may be provided with protrusions for engaging with the gripping holes (1130) of the holder frame (1100). The holder transporter (400) may further include an arm mover (420) for transporting the holder arms (410). The holder arms (410) may transport the holder arms (410) in a vertical direction or a horizontal direction while gripping the holder module (100) by the arm mover (420). The arm mover (420) may include a longitudinal actuator and/or a lateral actuator, and may further include a guide rail or the like for guiding the movement by the actuator.
제어부(미도시)는 홀더 개방기(200), 홀더 스택커(300) 및 홀더 이송기(400)의 구동을 제어할 수 있다. 또한, 제어부는 운반 장치(50)의 구동도 제어할 수 있다. 이러한 제어부는 마이크로프로세서를 포함하는 연산 장치에 의해 구현될 수 있으며, 그 구현 방식은 당업자에게 자명한 사항이므로 더 이상의 자세한 설명을 생략한다.A control unit (not shown) can control the operation of the holder opener (200), the holder stacker (300), and the holder conveyor (400). In addition, the control unit can also control the operation of the transport device (50). This control unit can be implemented by a computing device including a microprocessor, and the implementation method thereof is obvious to those skilled in the art, so further detailed description is omitted.
이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여 상술한 바와 같은 구성을 갖는 픽커 팁 교환장치(20)의 작용 및 효과에 대하여 설명한다. 참고로, 도 7은 홀더 개방기(200)가 홀더 모듈(100)을 개방하는 과정을 나타내는 평면도이고, 도 8은 홀더 개방기(200)가 홀더 모듈(100)을 개방하는 과정을 나타내되, 홀더 모듈(100)의 도시를 생략(홀더 모듈(100)의 지지부재(1300)만 점선으로 표현)한 평면도이다.Hereinafter, the operation and effect of the picker tip exchange device (20) having the configuration described above will be described with reference to FIGS. 7 and 8. For reference, FIG. 7 is a plan view showing the process of the holder opener (200) opening the holder module (100), and FIG. 8 is a plan view showing the process of the holder opener (200) opening the holder module (100), but omitting the illustration of the holder module (100) (only the support member (1300) of the holder module (100) is expressed in a dotted line).
먼저, 이송 설비(2) 및 픽커 팁 교환 장치(3)가 픽커 팁(56)이 체결되어 있지 않은 픽커 몸체(55)에 픽커 팁(56)을 체결시키는 과정을 설명한다.First, the process of attaching a picker tip (56) to a picker body (55) to which a picker tip (56) is not attached is described using a transport device (2) and a picker tip exchange device (3).
먼저, 픽커 팁 교환 장치(3)의 홀더 이송기(400)가 홀더 스택커(300)에 수용된 홀더 모듈(100)을 파지하고, 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로부터 반출하여 홀더 개방기(200) 측으로 이송시킨다. 이러한 홀더 모듈(100)의 안착홀(1210)에는 픽커 팁(56)이 수용되어 있을 수 있다. 한편, 이송 설비(2)도 운반 장치(50)의 헤드(51)가 홀더 개방기(200) 측으로 이동하도록 구동된다.First, the holder transporter (400) of the picker tip exchange device (3) grips the holder module (100) accommodated in the holder stacker (300), removes the holder module (100) from the holder stacker (300), and transports it toward the holder opener (200). A picker tip (56) may be accommodated in the mounting hole (1210) of the holder module (100). Meanwhile, the transport equipment (2) is also driven so that the head (51) of the transport device (50) moves toward the holder opener (200).
도 7(a) 및 도 8(a)를 참조하면, 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 의해 홀더 개방기(200)를 향해 하강하고, 홀더 개방기(200)의 제2 개방기 프레임(2120)의 홀더 지지부(2121a)에 안착된다. 또한, 홀더 모듈(100)의 가장자리가 걸림쇠(2121b)에 걸림으로써 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다. 홀더 이송기(400)는 홀더 모듈(100)을 홀더 개방기(200)의 제2 개방기 프레임(2120)에 내려놓은 후 홀더 개방기(200)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.Referring to FIG. 7(a) and FIG. 8(a), the holder module (100) is lowered toward the holder opener (200) by the holder transporter (400) and is seated on the holder supporter (2121a) of the second opener frame (2120) of the holder opener (200). In addition, the edge of the holder module (100) is caught by the catch (2121b), thereby preventing the holder module (100) from being separated from the holder supporter (2121a). The holder transporter (400) can move away from the holder opener (200) after lowering the holder module (100) onto the second opener frame (2120) of the holder opener (200).
도 7(b) 및 도 8(b)를 참조하면, 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)에 안착된 후, 프레임 구동기(2410)는 개방기 계합부(1120)가 홀더 고정부(2112)과 맞물리도록 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 일측으로 이동시킬 수 있다[도 4 및 도 5의 개방기 계합부(1120) 참조]. 제1 개방기 프레임(2110)에 지지되는 제2 개방기 프레임(2120) 및 이러한 제2 개방기 프레임(2120)에 안착된 홀더 모듈(100)은, 제1 개방기 프레임(2110)의 이동에 의해 일방향의 일측으로 이동될 수 있다. 홀더 모듈(100)의 개방기 계합부(1120)은 일방향의 일측으로 이동하여 홀더 고정부(2112)에 맞물린다. 이러한 홀더 고정부(2112)는 홀더 모듈(100)의 일방향의 일측에서 홀더 모듈(100)을 지지할 수 있다.Referring to FIG. 7(b) and FIG. 8(b), after the holder module (100) is seated on the holder support member (2121a), the frame driver (2410) can move the second open frame (2120) to one side in one direction with respect to the first open frame (2110) so that the opener engagement member (1120) engages with the holder fixing member (2112) [see the opener engagement member (1120) of FIGS. 4 and 5]. The second open frame (2120) supported by the first open frame (2110) and the holder module (100) seated on the second open frame (2120) can be moved to one side in one direction by the movement of the first open frame (2110). The opener engagement part (1120) of the holder module (100) moves to one side in one direction and engages with the holder fixing part (2112). This holder fixing part (2112) can support the holder module (100) on one side in one direction of the holder module (100).
도 7(c) 및 도 8(c)를 참조하면, 홀더 모듈(100)이 홀더 고정부(2112)에 의해 고정되면, 푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)가 지지부재(1300)를 이동시키도록 제2 개방기 프레임(2120)에 대하여 푸셔(2300)를 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)를 일방향의 일측으로 이동시키고, 푸셔(2300)에 의해 지지부재(1300)도 일방향의 일측으로 이동하게 된다. 지지부재(1300)가 이동됨으로써 개폐부(1310)가 안착홀(1210)을 개방시킨다[도 4 및 도 5의 안착홀(1210) 참조].Referring to FIG. 7(c) and FIG. 8(c), when the holder module (100) is fixed by the holder fixing member (2112), the pusher driver (2420) can move the pusher (2300) with respect to the second opening frame (2120) so that the pusher (2300) moves the support member (1300). In other words, the pusher driver (2420) moves the pusher (2300) to one side in one direction, and the support member (1300) is also moved to one side in one direction by the pusher (2300). As the support member (1300) is moved, the opening/closing member (1310) opens the mounting hole (1210) [see the mounting hole (1210) of FIGS. 4 and 5].
한편, 홀더 모듈(100)이 홀더 고정부(2112)에 고정되면, 도 9에서와 같이 헤드(51)가 홀더 프레임(1100)의 안착홀(1210)에 수용된 픽커 팁(56)에 접근할 수 있다. 또한, 픽커 몸체(55)는 헤드(51)의 하강에 의해 픽커 팁(56)에 체결될 수 있다. 픽커 몸체(55)는 안착홀(1210)의 개방 전에 픽커 팁(56)에 결합되는 것도 가능하지만, 안착홀(1210)의 개방 후에 픽커 팁(56)에 결합되는 것도 가능하다. 픽커 팁(56)이 픽커 몸체(55)에 체결되면, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)로부터 이탈할 수 있도록, 안착홀(1210)이 개방된 방향으로 헤드(51)가 이동하게 된다. 따라서, 안착홀(1210)이 일방향의 일측을 향해 개방된 경우, 픽커 팁(56)은 도 9의 화살표와 같이 안착홀(1210)에서 이탈하도록 헤드(51)가 일방향의 일측을 향해 이동할 수 있다. 또한, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에서 이탈하면 헤드(51)는 승강함으로써 홀더 모듈(100)로부터 멀어지도록 이동할 수 있다.Meanwhile, when the holder module (100) is fixed to the holder fixing part (2112), the head (51) can approach the picker tip (56) accommodated in the mounting hole (1210) of the holder frame (1100) as shown in FIG. 9. In addition, the picker body (55) can be fastened to the picker tip (56) by lowering the head (51). The picker body (55) can be fastened to the picker tip (56) before the mounting hole (1210) is opened, but it is also possible to fasten the picker tip (56) after the mounting hole (1210) is opened. When the picker tip (56) is fastened to the picker body (55), the head (51) moves in the direction in which the mounting hole (1210) is opened so that the picker tip (56) can be removed from the mounting hole (1210). Accordingly, when the mounting hole (1210) is opened toward one side in one direction, the head (51) can move toward one side in one direction so that the picker tip (56) is detached from the mounting hole (1210) as indicated by the arrow in Fig. 9. In addition, when the picker tip (56) is detached from the mounting hole (1210), the head (51) can move away from the holder module (100) by being raised and lowered.
도 7(d) 및 도 8(d)를 다시 참조하면, 픽커 팁(56)이 홀더 모듈(100)로부터 빠져나간 후, 푸셔 구동기(2420)는 일방향의 타측을 향해 이동하고, 지지부재(1300)는 홀더 모듈(100)의 탄성부재(1400)에 의해 이동되고 안착홀(1210)을 폐쇄할 수 있다. 한편, 푸셔(2300)는 푸셔 구동기(2420)로부터 힘을 받아 일방향의 타측으로 이동할 수 있고, 탄성부재(1400)의 탄성력에 의해 밀리는 지지부재(1300)로부터 힘을 받아 일방향의 타측으로 이동할 수도 있다.Referring again to FIG. 7(d) and FIG. 8(d), after the picker tip (56) is removed from the holder module (100), the pusher driver (2420) moves toward the other side in one direction, and the support member (1300) is moved by the elastic member (1400) of the holder module (100) and can close the settling hole (1210). Meanwhile, the pusher (2300) can move toward the other side in one direction by receiving force from the pusher driver (2420), and can also move toward the other side in one direction by receiving force from the support member (1300) that is pushed by the elastic force of the elastic member (1400).
또한, 푸셔 구동기(2420)에 의해 푸셔(2300)가 일방향의 타측으로 이동하면, 프레임 구동기(2410)가 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112) 간의 맞물림이 해제되도록 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 타측으로 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 프레임 구동기(2410)는 제1 개방기 프레임(2110)을 일방향의 타측으로 이동시키고, 제1 개방기 프레임(2110)에 지지되는 제2 개방기 프레임(2120) 및 이러한 제2 개방기 프레임(2120)에 안착된 홀더 모듈(100)은 제1 개방기 프레임(2110)의 이동에 의해 일방향의 타측으로 이동될 수 있다. 이후, 홀더 이송기(400)가 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로 이송시킬 수 있다.In addition, when the pusher (2300) is moved to the other side in one direction by the pusher driver (2420), the frame driver (2410) can move the second opener frame (2120) to the other side in one direction so that the engagement between the opener engaging part (1120) and the holder fixing part (2112) is released. In other words, the frame driver (2410) moves the first opener frame (2110) to the other side in one direction, and the second opener frame (2120) supported by the first opener frame (2110) and the holder module (100) mounted on the second opener frame (2120) can be moved to the other side in one direction by the movement of the first opener frame (2110). Thereafter, the holder transporter (400) can transport the holder module (100) to the holder stacker (300).
이상에서는 이송 설비(2)와 픽커 팁 교환 장치(3)는 픽커 몸체(55)에 픽커 팁(56)을 체결하는 과정을 설명하였다. 한편, 이송 설비(2)와 픽커 팁 교환 장치(3)는 픽커 몸체(55)에 체결된 픽커 팁(56)을 탈거하도록 구동될 수도 있다. 픽커 팁(56)을 탈거하는 과정에서의 픽커 팁 교환 장치(3)의 구동은 앞서 서술한 픽커 팁(56)을 체결하는 과정에서의 구동과 유사하다.In the above, the process of fastening the picker tip (56) to the picker body (55) by the transport equipment (2) and the picker tip exchange device (3) has been described. Meanwhile, the transport equipment (2) and the picker tip exchange device (3) may also be driven to remove the picker tip (56) fastened to the picker body (55). The driving of the picker tip exchange device (3) in the process of removing the picker tip (56) is similar to the driving in the process of fastening the picker tip (56) described above.
다시 말해, 홀더 스택커(300)에는 에는 픽커 팁(56)이 수용되지 않는 비어있는 홀더 모듈(100)이 수용될 수 있다. 픽커 팁 교환 장치(3)의 홀더 이송기(400)는 비어있는 상태로 홀더 스택커(300)에 수용된 홀더 모듈(100)을 파지하고, 이를 홀더 스택커(300)로부터 반출하여 홀더 개방기(200) 측으로 이송시킨다. 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 의해 홀더 개방기(200)에 안착된다.In other words, the holder stacker (300) can accommodate an empty holder module (100) that does not accommodate a picker tip (56). The holder transporter (400) of the picker tip exchange device (3) grips the holder module (100) accommodated in the holder stacker (300) in an empty state, removes it from the holder stacker (300), and transports it toward the holder opener (200). The holder module (100) is placed on the holder opener (200) by the holder transporter (400).
이후, 프레임 구동기(2410)에 의해 홀더 모듈(100)이 홀더 개방기(200)에 고정되고, 푸셔 구동기(2420)에 의해 지지부재(1300)가 안착홀(1210)을 개방시킨다. 안착홀(1210)이 개방되면 헤드(51)의 하강(도 3 내지 도 9의 Z2 방향으로의 이동)에 의해 픽커 팁(56)이 체결된 픽커 몸체(55)는 안착홀(1210)의 일방향의 일측에 위치하도록 하강한다. 이후, 헤드(51)가 일방향의 타측으로 이동함으로써 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 체결된다. 이러한 픽커 몸체(55)의 이동은 도 9의 화살표의 반대 방향으로의 이동일 수 있다.Thereafter, the holder module (100) is fixed to the holder opener (200) by the frame driver (2410), and the support member (1300) opens the mounting hole (1210) by the pusher driver (2420). When the mounting hole (1210) is opened, the picker body (55) to which the picker tip (56) is fastened is lowered to one side of the mounting hole (1210) in one direction by the lowering of the head (51) (movement in the Z2 direction of FIGS. 3 to 9). Thereafter, the picker tip (56) is fastened to the mounting hole (1210) by the movement of the head (51) to the other side in one direction. This movement of the picker body (55) may be a movement in the opposite direction of the arrow in FIG. 9.
한편, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 삽입되면 지지부재(1300)가 안착홀(1210)을 폐쇄하도록 푸셔 구동기(2420)가 구동된다. 또한, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 맞물린 상태에서 헤드(51)가 승강함으로써, 픽커 몸체(55)로부터 픽커 팁(56)이 탈거되게 된다.Meanwhile, when the picker tip (56) is inserted into the mounting hole (1210), the pusher actuator (2420) is driven so that the support member (1300) closes the mounting hole (1210). In addition, when the head (51) is raised and lowered while the picker tip (56) is engaged with the mounting hole (1210), the picker tip (56) is removed from the picker body (55).
픽커 팁(56)이 탈거된 후, 프레임 구동기(2410)가 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112) 간의 맞물림이 해제되도록 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 타측으로 이동시킬 수 있다. 또한, 홀더 이송기(400)가 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로 이송시킬 수 있다.After the picker tip (56) is removed, the frame driver (2410) can move the second opener frame (2120) to the other side in one direction so that the engagement between the opener engagement part (1120) and the holder fixing part (2112) is released. In addition, the holder transporter (400) can transport the holder module (100) to the holder stacker (300).
한편, 제어부는 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)에 장착되게 하거나, 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)로부터 탈거하기 위하여, 이송 설비(2) 및 픽커 팁 교환 장치(3)의 일련의 구동을 제어할 수 있다.Meanwhile, the control unit can control a series of operations of the transport equipment (2) and the picker tip exchange device (3) to mount the picker tip (56) on the picker body (55) or to remove the picker tip (56) from the picker body (55).
이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.Although the embodiments of the present invention have been described as specific embodiments, these are merely examples, and the present invention is not limited thereto, but should be construed to have the broadest scope in accordance with the basic concepts disclosed in this specification. Those skilled in the art may combine/substitute the disclosed embodiments to implement patterns of shapes not specified, but this also does not depart from the scope of the present invention. In addition, those skilled in the art may easily modify or alter the disclosed embodiments based on this specification, and it is clear that such modifications or alterations also fall within the scope of the present invention.
1: 핸들러2: 이송 설비
3: 픽커 팁 교환 장치 10: 로딩 장치
20: 온도 조절부30: 테스트 장치
40: 언로딩 장치50: 운반 장치
51: 헤드 52: 종방향 이송기
53: 횡방향 이송기 54: 픽커
55: 픽커 몸체 56: 픽커 팁
100: 홀더 모듈 200: 홀더 개방기
300: 홀더 스택커310: 수용부
320: 이송부 330: 고정부
400: 홀더 이송기 410: 홀더 암
420: 암 무버 1100: 홀더 프레임
1110: 프레임 홀 1120: 개방기 계합부
1130: 파지용 홀 1140: 지지부재 가이드
1200: 안착부 1210: 안착홀
1300: 지지부재 1310: 개폐부
1320: 지지부재 슬라이딩부 1330: 푸셔 대응부
1400: 탄성부재 2100: 개방기 프레임부
2110: 제1 개방기 프레임 2111: 제1 프레임 바디
2112: 홀더 고정부 2114: 프레임 가이드
2120: 제2 개방기 프레임 2121: 제2 프레임 바디
2121a: 홀더 지지부 2121b: 걸림쇠
2122: 프레임 슬라이딩부 2123: 푸셔 가이드
2300: 푸셔2310: 푸셔 몸체
2320: 홀더 작용부 2330: 푸셔 슬라이딩부
2400: 구동기 2410: 프레임 구동기
2411: 프레임 구동기 몸체 2412: 프레임 구동기 작용부
2420: 푸셔 구동기 2421: 푸셔 구동기 몸체
2422: 푸셔 구동기 작용부1: Handler 2: Transport equipment
3: Picker tip exchange device 10: Loading device
20: Temperature control unit 30: Test device
40: Unloading device 50: Transport device
51: Head 52: Longitudinal feeder
53: Transverse conveyor 54: Picker
55: Picker body 56: Picker tip
100: Holder module 200: Holder opener
300: Holder stacker 310: Receiving unit
320: Transfer section 330: Fixed section
400: Holder transporter 410: Holder arm
420: Arm mover 1100: Holder frame
1110: Frame hole 1120: Opener engagement part
1130: Hole for piercing 1140: Guide for support member
1200: Mounting area 1210: Mounting hole
1300: Support member 1310: Opening part
1320: Support member sliding part 1330: Pusher corresponding part
1400: Elastic member 2100: Open frame part
2110: First open frame 2111: First frame body
2112: Holder fixing part 2114: Frame guide
2120: Second open frame 2121: Second frame body
2121a: Holder support 2121b: Latch
2122: Frame sliding part 2123: Pusher guide
2300: Pusher 2310: Pusher body
2320: Holder operating part 2330: Pusher sliding part
2400: Drive 2410: Frame Drive
2411: Frame actuator body 2412: Frame actuator action part
2420: Pusher actuator 2421: Pusher actuator body
2422: Pusher actuator action part
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