KR102789354B1 - Unit for supporting object and vehicle having the same - Google Patents
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Abstract
Translated fromKoreanDescription
Translated fromKorean본 발명은 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클에 파지된 대상물의 진동을 방지하기 위한 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to an object fixing unit and a vehicle having the same, and more particularly, to an object fixing unit for preventing vibration of an object fixed to a vehicle and a vehicle having the same.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 대상물에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 대상물을 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.In general, semiconductor process equipment for manufacturing semiconductor devices is arranged in series to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor process equipment in a state in which the object is contained, or may be recovered from each semiconductor process equipment using the object.
상기 대상물은 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 대상물을 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 상기 대상물에는 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등과 같은 물품이 적재될 수 있다.The above object is transported by an OHT (Overhead Hoist Transport). The OHT includes a running rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line where semiconductor process devices are continuously arranged, and a vehicle that holds the object and runs along the running rail. The object can be loaded with items such as wafers, printed circuit boards, and reticles.
상기 비히클이 주행함에 따라 상기 대상물에 진동이 발생할 수 있다. 상기 진동에 의해 상기 대상물에 적재된 상기 물품이 손상되거나 상기 비히클로부터 상기 대상물이 낙하할 수 있다.As the vehicle moves, vibrations may occur in the object. The vibrations may cause damage to the goods loaded on the object or may cause the object to fall from the vehicle.
본 발명은 비히클에 파지된 대상물의 진동을 방지할 수 있는 대상물 고정 유닛을 제공한다.The present invention provides an object fixing unit capable of preventing vibration of an object fixed to a vehicle.
또한, 본 발명은 상기 대상물 고정 유닛을 갖는 비히클을 제공한다.In addition, the present invention provides a vehicle having the object fixing unit.
본 발명에 따른 대상물 고정 유닛은, 대상물을 파지하여 주행 레일을 주행하는 비히클의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 비히클의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지한다. 상기 각 대상물 고정 유닛은, 제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재와, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재 및 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.The object fixing unit according to the present invention is provided on both sides in the forward and backward direction inside a vehicle that grips an object and runs on a running rail, and fixes the object at the front and rear of the vehicle to prevent vibration of the object. Each of the object fixing units may include a first fixing member that is provided on one side in the forward and backward direction of the vehicle at a first height and fixes one side in the forward and backward direction of the object, a second fixing member that is provided on one side in the forward and backward direction of the vehicle at a second height lower than the first height and fixes one side in the forward and backward direction of the object, and a driving unit that is provided on one side in the forward and backward direction of the vehicle and reciprocates the first fixing member and the second fixing member along the forward and backward direction of the vehicle.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트와, 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠과, 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트 및 상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고, 상기 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 제2 슬라이드 캠을 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시킬 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the object fixing unit includes a base plate provided on one side of the front-rear direction of the vehicle and on which the driving unit is mounted; a first moving plate provided on an upper surface of the base plate so as to be movable along the front-rear direction and having a first cam follower for fixing the first fixing member; a first slide cam disposed above the base plate and having a first guide groove for guiding the movement of the first cam follower; a second moving plate provided on a lower surface of the base plate so as to be movable along the front-rear direction and having a second cam follower for fixing the second fixing member; and a second slide cam disposed below the base plate and having a second guide groove for guiding the movement of the second cam follower, wherein the driving unit can move the first slide cam and the second slide cam in a left-right direction perpendicular to the front-rear direction to reciprocally move the first fixing member and the second fixing member.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이보다 길 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the forward-backward length of the first guide groove may be longer than the forward-backward length of the second guide groove so that the moving distance of the first fixing member is longer than the moving distance of the second fixing member.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들을 관통하여 상기 제1 및 제2 고정 부재들에 각각 고정되는 고정 핀들 및 상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 대상물과 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the object fixing unit may further include fixing pins that penetrate the first and second moving plates and are respectively fixed to the first and second fixing members, and coil springs that are provided to surround the fixing pins between the first and second moving plates and the first and second fixing members to reduce shock generated when the first and second fixing members come into contact with the object.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 베이스 플레이트에 구비되며, 상기 제1 및 제2 고정 부재들의 위치를 확인하기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트의 위치를 감지하기 위한 다수의 위치 센서들을 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the object fixing unit may further include a plurality of position sensors provided on the base plate for detecting positions of the first and second moving plates to confirm positions of the first and second fixing members.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 고정 부재들과 상기 대상물 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지하기 위해 상기 제1 및 제2 고정 부재들은 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.According to one embodiment of the present invention, in order to prevent particle generation due to frictional force between the first and second fixing members and the object, the first and second fixing members may be made of a material having a low friction coefficient.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 고정 유닛은, 상기 제2 고정 부재의 하부면에 고정되고, 상기 대상물의 하부에 배치되어 상기 대상물이 낙하시 상기 대상물의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the object fixing unit may further include a fall prevention member that is fixed to the lower surface of the second fixing member and is positioned at the lower surface of the object to support the lower surface of the object when the object falls.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 높이는 상기 비히클이 파지하는 상기 대상물 중 가장 작은 크기의 대상물의 하단보다 높고, 상기 제2 높이는 상기 비히클이 파지하는 상기 대상물 중 가장 큰 크기의 대상물의 하단보다 높을 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the first height may be higher than a lower end of a smallest object among the objects gripped by the vehicle, and the second height may be higher than a lower end of a largest object among the objects gripped by the vehicle.
본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛과 연결되고, 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 이송 유닛의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지하는 대상물 고정 유닛을 포함하고, 상기 각 대상물 고정 유닛은, 제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재와, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재 및 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.A vehicle according to the present invention includes a driving unit that runs on a driving rail of a ceiling, a transfer unit that is connected to the driving unit and holds and transfers an object inside, and object fixing units that are respectively provided on both sides in the forward and backward direction inside the transfer unit and fix the object at the front and rear of the transfer unit to prevent vibration of the object, and each of the object fixing units may include a first fixing member that is provided on one side in the forward and backward direction of the vehicle at a first height and fixes one side in the forward and backward direction of the object, a second fixing member that is provided on one side in the forward and backward direction of the vehicle at a second height lower than the first height and fixes one side in the forward and backward direction of the object, and a driving unit that is provided on one side in the forward and backward direction of the vehicle and reciprocates the first fixing member and the second fixing member along the forward and backward direction of the vehicle.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송 유닛은 상기 주행 유닛과 연결되는 하우징을 포함하고, 상기 대상물 고정 유닛은 상기 하우징의 내부에 상기 전후 방향 양측에 각각 구비될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transport unit includes a housing connected to the driving unit, and the object fixing unit can be provided on each of the front and rear sides inside the housing.
본 발명에 따른 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재로 상기 대상물을 고정하므로, 상기 대상물이 진동하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 대상물에 적재된 물품이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The object fixing unit according to the present invention and the vehicle having the same fix the object with the first fixing member and the second fixing member, so that the object can be prevented from vibrating. Accordingly, the goods loaded on the object can be prevented from being damaged.
상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재가 서로 다른 높이에 위치하고, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재의 이동 거리도 서로 다르다. 상기 비히클에 다양한 크기의 상기 대상물이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재가 상기 대상물을 안정적으로 고정할 수 있다.The first fixing member and the second fixing member are positioned at different heights, and the moving distances of the first fixing member and the second fixing member are also different. Even if the object of various sizes is gripped by the vehicle, the first fixing member and the second fixing member can stably fix the object.
상기 제2 고정 부재의 하부면에 상기 낙하 방지 부재를 구비하므로, 상기 대상물이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.Since the fall prevention member is provided on the lower surface of the second fixed member, the object can be prevented from falling.
그리고, 상기 센서들이 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재의 위치를 정확하게 감지할 수 있으므로, 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재가 상기 대상물을 안정적으로 지지할 수 있다.And, since the sensors can accurately detect the positions of the first fixing member and the second fixing member, the first fixing member and the second fixing member can stably support the object.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.FIG. 1 is a side view illustrating a vehicle according to one embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side view for explaining the object fixing unit illustrated in Figure 1.
Figure 3 is a plan view for explaining the object fixing unit illustrated in Figure 2.
Figure 4 is a rear view for explaining the object fixing unit illustrated in Figure 2.
Figure 5 is an enlarged view for explaining the connecting member shown in Figure 2.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. The present invention can be modified in various ways and can have various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosed form, but should be understood to include all modifications, equivalents, or substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the attached drawings, the dimensions of structures are illustrated larger than actual dimensions in order to ensure clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is only used to describe specific embodiments and is not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprises" or "has" and the like are intended to specify the presence of a feature, number, step, operation, component, part or combination thereof described in the specification, but should be understood to not exclude in advance the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms defined in commonly used dictionaries, such as those defined in common dictionaries, should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning they have in the context of the relevant art, and will not be interpreted in an idealized or overly formal sense unless expressly defined in this application.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 정면도이다.FIG. 1 is a front view illustrating a vehicle according to one embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 비히클(400)은 주행 유닛(100), 이송 유닛(200) 및 대상물 고정 유닛(300)을 갖는다.Referring to FIG. 1, the vehicle (400) has a driving unit (100), a transport unit (200), and an object fixing unit (300).
상기 주행 유닛(100)은 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 상기 주행 레일(10)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다.The above driving unit (100) runs along a driving rail (10). The above driving rail (10) may be provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line.
상기 주행 유닛(100)은 한 쌍의 주행부(110)들을 포함할 수 있다. 상기 주행부(110)들은 상기 비히클(400)이 주행하는 주행 방향, 예를 들면 전후 방향을 따라 서로 이격될 수 있다.The above driving unit (100) may include a pair of driving parts (110). The driving parts (110) may be spaced apart from each other along the driving direction in which the vehicle (400) is driven, for example, the forward/backward direction.
상기 주행부(110)는 대략 육면체 형상을 가지며, 상기 수평 방향과 수직하는 수평 방향의 양측에 주행 휠(112)들을 갖는다. 상기 주행 휠(112)들은 상기 주행 레일(10)과 접촉할 수 있다.The above driving part (110) has a roughly hexahedral shape and has driving wheels (112) on both sides of the horizontal direction perpendicular to the horizontal direction. The driving wheels (112) can come into contact with the driving rail (10).
상기 주행부(110)의 상부면에는 조향 휠(120)이 구비된다. 상기 조향 휠(120)은 상기 수평 방향, 예를 들면 좌우 방향을 따라 이동 가능할 수 있다.A steering wheel (120) is provided on the upper surface of the driving part (110). The steering wheel (120) can move in the horizontal direction, for example, in the left and right direction.
상기 조향 휠(120)은 가이드 레일(미도시)과 접촉할 수 있다. 상기 가이드 레일(20)은 상기 주행 레일(10)의 분기 영역에서 직진 레일과 분기 레일을 따라 분기되도록 구비되며, 상기 비히클(400)의 주행 경로를 조절하는데 이용된다.The above steering wheel (120) can come into contact with a guide rail (not shown). The guide rail (20) is provided to branch along the straight rail and the branch rail in the branching area of the driving rail (10), and is used to control the driving path of the vehicle (400).
상기 가이드 레일은 직진 가이드 레일과 분기 가이드 레일을 포함한다.The above guide rail includes a straight guide rail and a branch guide rail.
성기 직진 가이드 레일은 상기 직진 레일을 따라 연장하면서 직진 주행을 안내하고, 상기 분기 가이드 레일은 상기 분기 레일을 따라 연장하면서 분기 주행을 안내한다.The straight guide rail guides straight driving while extending along the straight rail, and the branch guide rail guides branch driving while extending along the branch rail.
상기 조향 휠(120)은 상기 좌우 방향으로 이동하면서 상기 직진 가이드 레일의 측면 및 상기 분기 가이드 레일의 측면과 선택적으로 접촉할 수 있다.The above steering wheel (120) can selectively come into contact with the side of the straight guide rail and the side of the branch guide rail while moving in the left and right directions.
예를 들면, 상기 비히클(400)이 직진 주행하는 경우, 상기 조향 휠(120)은 상기 좌우 방향으로 이동하여 상기 직진 가이드 레일의 측면과 접촉하고, 상기 비히클(400)이 분기 주행하는 경우, 상기 조향 휠(120)은 상기 좌우 방향으로 이동하여 상기 분기 가이드 레일과 접촉할 수 있다.For example, when the vehicle (400) is driving straight, the steering wheel (120) can move in the left and right directions to come into contact with the side of the straight guide rail, and when the vehicle (400) is driving in a branch, the steering wheel (120) can move in the left and right directions to come into contact with the branch guide rail.
한편, 상기 조향 휠(120)은 구동부(122)에 의해 상기 좌우 방향으로 이동할 수 있다. 상기 구동부(122)는 조향 휠(120)을 직선 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 일 예로는 스텝 모터, 솔레노이드, 리니어 모터 등을 들 수 있다.Meanwhile, the steering wheel (120) can be moved in the left and right directions by a driving unit (122). The driving unit (122) may be any unit that can move the steering wheel (120) in a straight line back and forth. Examples thereof include a step motor, a solenoid, a linear motor, etc.
상기 조향 휠(120)이 상기 좌우 방향으로 이동할 때 가이드 레일(미도시)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 가이드 레일은 상기 주행부(110)의 상부면에 상기 좌우 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 상기 조향 휠(120)이 상기 가이드 레일을 따라 상기 수평 이동하므로, 상기 조향 휠(120)이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐만 아니라 상기 조향 휠(120)의 상기 수평 이동시 발생하는 진동을 줄일 수 있다.The steering wheel (120) may be guided by a guide rail (not shown) when moving in the left-right direction. The guide rail may be provided to extend along the left-right direction on the upper surface of the driving part (110). Since the steering wheel (120) moves horizontally along the guide rail, not only can the steering wheel (120) move stably, but also vibrations generated when the steering wheel (120) moves horizontally can be reduced.
모터(130)는 상기 주행부(110)들에 각각 구비되며, 상기 주행 휠(112)들을 회전시킬 수 있다. 상기 모터(130)의 예로는 서보 모터를 들 수 있다.A motor (130) is provided in each of the driving parts (110) and can rotate the driving wheels (112). An example of the motor (130) may be a servo motor.
상기 이송 유닛(200)은 상기 주행 유닛(100)과 연결될 수 있다. 상기 주행 유닛(100)의 상기 주행부(110)들은 상기 이송 유닛(200)에 대해 회전 가능하도록 연결될 수 있다.The above transport unit (200) can be connected to the above driving unit (100). The driving parts (110) of the above driving unit (100) can be connected to be rotatable with respect to the transport unit (200).
또한, 상기 이송 유닛(200)은 내부에 대상물(20)을 파지하여 이송한다. 상기 대상물(20)의 내부에는 이송하기 위한 물품이 수용될 수 있다. 상기 대상물(20)의 예로는 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드, 캐리어 등을 들 수 있다. 상기 물품의 예로는 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등을 들 수 있다.In addition, the transport unit (200) transports an object (20) by holding it inside. An article to be transported can be accommodated inside the object (20). Examples of the object (20) include a FOUP, a FOSB, a magazine, a reticle pod, a carrier, etc. Examples of the article include a wafer, a printed circuit board, a reticle, etc.
상기 이송 유닛(200)은 하우징(210), 이동부(220), 승강부(230) 및 파지부(240)를 포함한다.The above transport unit (200) includes a housing (210), a moving part (220), an elevating part (230), and a holding part (240).
상기 하우징(210)은 상기 주행 유닛(210)의 하부에 매달리듯 고정된다. 상기 하우징(210)은 상기 대상물(20)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면인 정면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 일측 측면은 상기 좌우 방향일 수 있다.The housing (210) is fixed as if hanging from the lower portion of the driving unit (210). The housing (210) can have a front side and a lower side that are open for the up-and-down movement and horizontal movement of the object (20). At this time, the one side side can be the left-right direction.
상기 이동부(220)는 상기 하우징(210)의 내부 상면에 구비되며, 상기 하우징(210)의 개방된 정면을 통해 상기 좌우 방향을 따라 이동할 수 있다.The above moving part (220) is provided on the inner upper surface of the housing (210) and can move in the left and right directions through the open front surface of the housing (210).
상기 승강부(230)는 상기 이동부(220)의 하부면에 고정된다. 상기 승강부(230)는 벨트(232)를 권취하거나 권출하여 상기 벨트(232)를 승강시킬 수 있다.The above-mentioned lifting member (230) is fixed to the lower surface of the above-mentioned moving member (220). The above-mentioned lifting member (230) can raise and lower the belt (232) by taking up or taking down the belt (232).
상기 파지부(240)는 상기 벨트(232)의 단부에 고정되며, 상기 대상물(20)을 파지한다.The above gripping part (240) is fixed to the end of the belt (232) and grips the object (20).
상기 승강부(230)가 상기 벨트(232)를 승강시킴에 따라 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)이 상기 하우징(210)에 대해 승강할 수 있다.As the above lifting unit (230) raises and lowers the belt (232), the object (20) held by the holding unit (240) can be raised and lowered relative to the housing (210).
또한, 상기 이동부(220)가 상기 좌우 방향을 따라 이동하므로, 상기 대상물가(20)가 상기 하우징(210)에 대해 상기 좌우 방향을 따라 이동할 수 있다.In addition, since the moving part (220) moves along the left-right direction, the target object (20) can move along the left-right direction with respect to the housing (210).
상기 대상물 고정 유닛(300)은 상기 비히클(400)이 주행함에 따라 발생하는 상기 대상물(20)의 진동과 낙하를 방지한다.The above object fixing unit (300) prevents vibration and dropping of the object (20) that occurs as the vehicle (400) runs.
상기 대상물 고정 유닛(300)은 상기 하우징(210)의 내부의 상기 전후 방향 양측에 각각 구비될 수 있다.The above target fixing unit (300) can be provided on each of the front and rear sides inside the housing (210).
이하에서는 상기 하우징(210)의 내부의 상기 전후 방향 일측에 구비되는 하나의 대상물 고정 유닛(300)을 기준으로 설명한다.Below, a description will be given based on one object fixing unit (300) provided on one side of the front-rear direction inside the housing (210).
도 2는 도 1에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 대상물 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.FIG. 2 is a side view for explaining the object fixing unit illustrated in FIG. 1, FIG. 3 is a plan view for explaining the object fixing unit illustrated in FIG. 2, FIG. 4 is a back view for explaining the object fixing unit illustrated in FIG. 2, and FIG. 5 is an enlarged view for explaining the connecting member illustrated in FIG. 2.
도 2 내지 도 5를 추가로 참고하면, 상기 대상물 고정 유닛(300)은 제1 고정 부재(310), 제2 고정 부재(312) 및 상기 구동부(320)를 포함한다.With additional reference to FIGS. 2 to 5, the object fixing unit (300) includes a first fixing member (310), a second fixing member (312), and the driving unit (320).
상기 제1 고정 부재(310)는 상기 비히클(400)의 내부, 구체적으로 상기 하우징(210)의 내부에 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)는 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 대상물(20)의 진동을 방지할 수 있다.The first fixing member (310) is provided inside the vehicle (400), specifically, inside the housing (210). The first fixing member (310) fixes one side in the front-rear direction of the object (20) held by the gripper (240). Accordingly, since the first fixing member (310) fixes the one side of the object (20), vibration of the object (20) can be prevented.
상기 제1 고정 부재(310)는 상기 하우징(210) 내부의 제1 높이에 위치할 수 있다.The above first fixed member (310) can be positioned at a first height inside the housing (210).
상기 비히클(400)에 다양한 종류의 상기 대상물(20)이 파지되는 경우, 상기 제1 높이는 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20) 중 가장 작은 크기의 상기 대상물(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 가장 작은 크기의 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정할 수 있다.When various types of the above objects (20) are gripped by the above vehicle (400), the first height may be higher than the lower end of the smallest size object (20) among the objects (20) gripped by the gripping part (240). Accordingly, the first fixing member (310) may fix one side in the front-rear direction of the smallest size object (20).
상기 제2 고정 부재(312)도 상기 하우징(210)의 내부에 구비된다. 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 대상물(20)의 진동을 방지할 수 있다.The second fixing member (312) is also provided inside the housing (210). The second fixing member (312) fixes one side of the object (20) in the front-back direction, which is held by the gripping part (240). Accordingly, since the first fixing member (310) fixes one side of the object (20), vibration of the object (20) can be prevented.
상기 제2 고정 부재(312)는 상기 하우징(210) 내부의 제2 높이에 위치할 수 있다. 상기 제2 높이는 상기 제1 높이보다 낮을 수 있다.The second fixing member (312) may be positioned at a second height inside the housing (210). The second height may be lower than the first height.
상기 제2 높이는 상기 비히클(400)이 파지하는 상기 대상물(20) 중 가장 큰 크기의 상기 대상물(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 부재(312)가 가장 큰 크기의 상기 대상물(20)의 상기 전후 방향 일측면을 고정할 수 있다.The above second height may be higher than the lower end of the largest object (20) among the objects (20) that the vehicle (400) holds. Accordingly, the second fixing member (312) may fix one side in the front-rear direction of the largest object (20).
상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 서로 다른 높이에 위치하므로, 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 크기에 따라 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 동시에 상기 대상물(20)을 고정하거나, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 대상물(20)을 고정할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(400)에 다양한 크기의 상기 대상물(20)이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)을 안정적으로 고정할 수 있다.Since the first fixing member (310) and the second fixing member (312) are positioned at different heights, depending on the size of the object (20) gripped by the gripping portion (240), the first fixing member (310) and the second fixing member (312) can simultaneously fix the object (20), or either the first fixing member (310) or the second fixing member (312) can fix the object (20). Accordingly, even if objects (20) of various sizes are gripped by the vehicle (400), the first fixing member (310) and the second fixing member (312) can stably fix the object (20).
일 예로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 대상물(20)의 상기 일측면 중앙을 지지할 수 있다.For example, the first fixing member (310) and the second fixing member (312) can support the center of one side of the object (20).
다른 예로, 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 각각 한 쌍이 구비되며, 상기 좌우 방향으로 이격되어 상기 대상물(20)의 상기 일측면 좌우를 각각 지지할 수 있다. 상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 좌우 방향으로 이격되므로, 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이에 공간이 생긴다. 따라서, 상기 대상물(20)이 회전할 때 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이를 지날 수 있다. 따라서, 상기 대상물(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. 즉, 동일한 위치에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)의 일측면 중앙을 지지할 때보다 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)의 일측면 전후를 각각 지지하는 경우, 상기 대상물(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다.As another example, although not illustrated in detail, the first fixing member (310) and the second fixing member (312) are each provided as a pair and are spaced apart in the left-right direction to support the left and right sides of the one side of the object (20), respectively. Since the pair of first fixing members (310) and the pair of second fixing members (312) are spaced apart in the left-right direction, a space is created between the first fixing members (310) and between the second fixing members (312). Accordingly, when the object (20) rotates, it can pass between the first fixing members (310) and the second fixing members (312). Accordingly, the rotation radius of the object (20) can be increased. That is, when the first fixing member (310) and the second fixing member (312) support the front and rear sides of one side of the object (20), respectively, rather than when the first fixing member (310) and the second fixing member (312) support the center of one side of the object (20) at the same location, the rotation radius of the object (20) can be increased.
상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 대상물(20)의 일측면 전후를 각각 지지하는 경우, 상기 하우징(210)에 보다 큰 사이즈의 상기 대상물(20)을 수용하여 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 간섭없이 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클(400)은 보다 다양한 사이즈의 상기 대상물(20)을 수용하여 이송할 수 있다.When the pair of first fixing members (310) and the pair of second fixing members (312) support the front and rear sides of one side of the object (20), a larger size of the object (20) can be accommodated in the housing (210) and rotated without interference with the first fixing member (310) and the second fixing member (312). Accordingly, the vehicle (400) can accommodate and transport objects (20) of various sizes.
한편, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 테프론, 나일론 등을 들 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 대상물(20) 사이의 마찰력을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 대상물(20) 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지할 수 있다.Meanwhile, the first fixing member (310) and the second fixing member (312) may be made of a material having a low coefficient of friction. Examples of the material include Teflon, nylon, etc. Therefore, the frictional force between the first fixing member (310) and the second fixing member (312) and the object (20) can be minimized. Therefore, particle generation due to the frictional force between the first fixing member (310) and the second fixing member (312) and the object (20) can be prevented.
상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)의 하부면에 고정된다. 상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 대상물(20)의 하부에 배치되어 상기 대상물(20)의 낙하시 상기 대상물(20)의 하부면을 지지한다. 따라서, 상기 대상물(20)이 상기 파지부(240)로부터 분리되더라도 상기 대상물(20)이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.The above-mentioned fall prevention member (314) is fixed to the lower surface of the second fixing member (312). The above-mentioned fall prevention member (314) is arranged at the lower surface of the object (20) and supports the lower surface of the object (20) when the object (20) falls. Therefore, even if the object (20) is separated from the gripping portion (240), the object (20) can be prevented from falling.
상기 낙하 방지 부재(314)도 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 마찬가지로 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.The above-mentioned fall prevention member (314) may also be made of a material having a low friction coefficient, similar to the first fixing member (310) and the second fixing member (312).
상기 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 고정 위치와 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 예를 들면, 상기 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 전후 방향을 따라 이동시킨다.The driving unit (320) moves the first fixing member (310) and the second fixing member (312) reciprocally between the fixed position and the retracted position. For example, the driving unit (320) moves the first fixing member (310) and the second fixing member (312) along the forward and backward direction.
상기 고정 위치는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 대상물(20)의 일측면을 고정하는 위치이다. 상기 후퇴 위치는 상기 대상물(20)이 승강을 통해 상기 하우징(210)에 수용되도록 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 고정 위치로부터 후퇴한 위치이다.The above-mentioned fixed position is a position where the first fixed member (310) and the second fixed member (312) fix one side of the object (20). The above-mentioned retracted position is a position where the first fixed member (310) and the second fixed member (312) retract from the fixed position so that the object (20) can be received in the housing (210) through lifting.
상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)에 고정되므로, 상기 구동부(320)에 의해 상기 제2 고정 부재(312)가 이동할 때 상기 낙하 방지 부재(314)도 같이 이동한다.Since the above-mentioned fall prevention member (314) is fixed to the second fixing member (312), when the second fixing member (312) moves by the driving unit (320), the fall prevention member (314) also moves.
상기 대상물 고정 유닛(300)은 베이스 플레이트(330), 제1 이동 플레이트(340), 제1 슬라이드 캠(350), 제2 이동 플레이트(360), 제2 슬라이드 캠(370) 및 연결 부재(380)를 더 포함할 수 있다.The above object fixing unit (300) may further include a base plate (330), a first moving plate (340), a first slide cam (350), a second moving plate (360), a second slide cam (370), and a connecting member (380).
상기 베이스 플레이트(330)는 상기 비히클(400)의 내부, 구체적으로 상기 하우징(210)의 내부에서 상기 전후 방향 일측 측면에 고정된다.The above base plate (330) is fixed to one side in the front-rear direction inside the vehicle (400), specifically, inside the housing (210).
상기 제1 이동 플레이트(340)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 적층되어 결합된다.The above first moving plate (340) is laminated and joined to the upper surface of the base plate (330) so as to be able to move along the forward and backward direction with respect to the base plate (330).
상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제1 이동 플레이트(340) 사이에는 제1 가이드 부재(342)가 구비될 수 있다. 상기 제1 가이드 부재(342)는 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 전후 방향 이동을 가이드 한다.A first guide member (342) may be provided between the base plate (330) and the first moving plate (340). The first guide member (342) guides the forward and backward movement of the first moving plate (340).
상기 제1 이동 플레이트(340)의 상부면에 제1 캠 팔로워(344)가 구비될 수 있다.A first cam follower (344) may be provided on the upper surface of the first moving plate (340).
상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 베이스 플레이트(330)의 상방에 구비된다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상방에 배치될 수 있다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 제1 가이드 홈(352)이 구비된다. 상기 제1 가이드 홈(352)에 상기 제1 캠 팔로워(344)가 삽입되며, 상기 제1 가이드 홈(352)이 상기 제1 캠 팔로워(344)의 이동을 안내할 수 있다.The first slide cam (350) is provided above the base plate (330). The first slide cam (350) can be arranged above the first moving plate (340). The first slide cam (350) is provided with a first guide groove (352). The first cam follower (344) is inserted into the first guide groove (352), and the first guide groove (352) can guide the movement of the first cam follower (344).
상기 제1 캠 팔로워(344)가 상기 제1 가이드 홈(352)을 따라 이동함에 따라 상기 제1 이동 플레이트(340) 및 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다.As the first cam follower (344) moves along the first guide groove (352), the first moving plate (340) and the first fixed member (310) can move in the forward and backward direction.
상기 제2 이동 플레이트(360)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 적층되어 결합된다.The second moving plate (360) is laminated and joined to the lower surface of the base plate (330) so as to be able to move along the forward and backward direction with respect to the base plate (330).
상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제2 이동 플레이트(360) 사이에는 제2 가이드 부재(362)가 구비될 수 있다. 상기 제2 가이드 부재(362)는 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 전후 방향 이동을 가이드 한다.A second guide member (362) may be provided between the base plate (330) and the second moving plate (360). The second guide member (362) guides the forward and backward movement of the second moving plate (360).
상기 제2 이동 플레이트(360)의 하부면에 제2 캠 팔로워(364)가 구비될 수 있다.A second cam follower (364) may be provided on the lower surface of the second moving plate (360).
상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 베이스 플레이트(330)의 하방에 구비된다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 하방에 배치될 수 있다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 제2 가이드 홈(372)이 구비된다. 상기 제2 가이드 홈(372)에 상기 제2 캠 팔로워(364)가 삽입되며, 상기 제2 가이드 홈(372)이 상기 제2 캠 팔로워(364)의 이동을 안내할 수 있다.The second slide cam (370) is provided below the base plate (330). The second slide cam (370) can be positioned below the second moving plate (360). The second slide cam (370) is provided with a second guide groove (372). The second cam follower (364) is inserted into the second guide groove (372), and the second guide groove (372) can guide the movement of the second cam follower (364).
상기 제2 캠 팔로워(364)가 상기 제2 가이드 홈(372)을 따라 이동함에 따라 상기 제2 이동 플레이트(360), 상기 제2 고정 부재(312) 및 상기 낙하 방지 부재(314)가 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다.As the second cam follower (364) moves along the second guide groove (372), the second moving plate (360), the second fixing member (312), and the fall prevention member (314) can move in the forward and backward direction.
상기 제1 가이드 홈(352)의 상기 전후 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈(372)의 상기 전후 방향 길이보다 길 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 전후 방향의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(314)의 상기 전후 방향의 이동 거리보다 길 수 있다.The front-back direction length of the first guide groove (352) may be longer than the front-back direction length of the second guide groove (372). Accordingly, the front-back direction movement distance of the first fixing member (310) may be longer than the front-back direction movement distance of the second fixing member (314).
상기 제1 고정 부재(310)가 상기 제2 고정 부재(312)보다 높게 위치하므로, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 이동 거리보다 길어야 상기 파지부(240)에 파지된 상기 대상물(20)의 크기가 작더라도 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)의 일측면을 고정할 수 있다.Since the first fixing member (310) is positioned higher than the second fixing member (312), the movement distance of the first fixing member (310) must be longer than the movement distance of the second fixing member (312), so that even if the size of the object (20) gripped by the gripping portion (240) is small, the first fixing member (310) can fix one side of the object (20).
상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 전후 방향의 이동 거리가 서로 다르므로, 상기 파지부(240)에 다양한 크기의 상기 대상물(20)이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 대상물(20)을 안정적으로 고정할 수 있다.Since the forward and backward movement distances of the first fixing member (310) and the second fixing member (312) are different from each other, even if the object (20) of various sizes is gripped by the gripping portion (240), either the first fixing member (310) or the second fixing member (312) can stably fix the object (20).
상기 연결 부재(380)는 상기 제1 이동 플레이트(340)와 상기 제1 고정 부재(310)를 연결한다.The above connecting member (380) connects the first moving plate (340) and the first fixed member (310).
상기 연결 부재(380)는 고정 핀(382) 및 코일 스프링(384)을 포함한다.The above connecting member (380) includes a fixed pin (382) and a coil spring (384).
상기 고정 핀(382)은 상기 제1 이동 플레이트(340)로부터 상방으로 돌출된 제1 돌출부(341)를 관통하여 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된다. 이때 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 돌출부(341)에 대해 이동 가능하도록 구비된다. 단, 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된 단부와 반대되는 단부에 걸림턱이 형성된다. 그러므로, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)로부터 상기 제1 고정 부재(310)가 고정된 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The above fixed pin (382) penetrates the first protrusion (341) protruding upward from the first moving plate (340) and is fixed to the first fixed member (310). At this time, the fixed pin (382) is provided so as to be movable with respect to the first protrusion (341). However, the fixed pin (382) has a catch formed at an end opposite to the end fixed to the first fixed member (310). Therefore, the fixed pin (382) can prevent the first fixed member (310) from being separated from the first protrusion (341) in the direction in which it is fixed.
상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 제1 돌출부(341)와 상기 제1 고정 부재(310) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)과 접촉할 때, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)에 대해 이동하면서 상기 코일 스프링(384)이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 대상물(20)과 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다.The coil spring (384) is provided to surround the fixed pin (382) between the first protrusion (341) of the first moving plate (340) and the first fixed member (310). When the first fixed member (310) comes into contact with the object (20), the coil spring (384) can contract as the fixed pin (382) moves relative to the first protrusion (341). Therefore, the coil spring (384) can reduce the impact generated when the first fixed member (310) comes into contact with the object (20).
또한, 상기 연결 부재(380)는 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 각각 연결한다.Additionally, the connecting member (380) connects the second moving plate (360) and the second fixed member (312), respectively.
상기 고정 핀(382)은 상기 제2 이동 플레이트(360)로부터 상방으로 돌출된 제2 돌출부(361)를 관통하여 상기 제2 고정 부재(312)에 고정된다. 상기 코일 스프링(384)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 제2 돌출부(361)와 상기 제2 고정 부재(312) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다.The above fixed pin (382) is fixed to the second fixed member (312) by penetrating the second protrusion (361) protruding upward from the second moving plate (360). The coil spring (384) is provided to surround the fixed pin (382) between the second protrusion (361) of the second moving plate (360) and the second fixed member (312).
한편, 상기 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)에 구비된다. 예를 들면, 상기 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 장착될 수 있다. 상기 구동부(320)는 연결 부재(322)를 이용하여 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)과 같이 연결될 수 있다.Meanwhile, the driving unit (320) is provided on the base plate (330). For example, the driving unit (320) may be mounted on the lower surface of the base plate (330). The driving unit (320) may be connected to the first slide cam (350) and the second slide cam (370) using a connecting member (322).
상기 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 좌우 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 고정 위치와 상기 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다.The above driving unit (320) moves the first slide cam (350) and the second slide cam (370) along the left-right direction to reciprocally move the first fixing member (310) and the second fixing member (312) between the fixing position and the retracted position.
상기 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 좌우 방향을 따라 직선 왕복 운동시킬 수 있는 것이면 어느 것이나 무방하다. 예를 들면, 상기 구동부(320)는 실린더, 볼 스크류 등일 수 있다.The above driving unit (320) may be any unit that can cause the first slide cam (350) and the second slide cam (370) to move linearly back and forth along the left and right directions. For example, the driving unit (320) may be a cylinder, a ball screw, or the like.
상기 베이스 플레이트(330)에 상기 제1 이동 플레이트(340), 상기 제1 슬라이드 캠(350), 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)이 적층된 구조를 가지므로, 상기 하우징(210) 내의 좁은 공간에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 이동시킬 수 있다.Since the first moving plate (340), the first slide cam (350), the second moving plate (360) and the second slide cam (370) are laminated on the base plate (330), the first fixing member (310) and the second fixing member (312) can be moved in a narrow space within the housing (210).
상기 대상물 고정 유닛(300)은 다수의 위치 센서(390)들을 더 포함할 수 있다.The above target fixing unit (300) may further include a plurality of position sensors (390).
상기 위치 센서(390)들은 상기 베이스 플레이트(330)에 구비되며, 제1 센서(392)들 및 제2 센서(394)를 포함할 수 있다.The above position sensors (390) are provided on the base plate (330) and may include first sensors (392) and second sensors (394).
상기 제1 센서(392)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 상기 전후 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 대상물(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제1 고정 부재(310)들의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다.The first sensors (392) may be provided along the forward and backward direction on the upper surface of the base plate (330). When the size of the object (20) changes, the fixing positions of the first fixing members (310) change. Accordingly, the first sensors (392) may be spaced apart by the distance between the plurality of fixing positions and the retreating position.
상기 제1 고정 부재(310)의 이동에 따라 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 베이스 플레이트(330)와 이격되므로, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 고정 부재(310)를 직접 감지하기 어렵다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 이동 플레이트(340)의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수 있다.As the first fixed member (310) moves, the first fixed member (310) moves away from the base plate (330), so it is difficult for the first sensors (392) to directly detect the first fixed member (310). Therefore, the first sensors (392) can detect the position of the first moving plate (340) to confirm the position of the first fixed member (310).
한편, 상기 제1 센서(392)들은 상기 제1 가이드 부재(342)에서 슬라이더의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수도 있다.Meanwhile, the first sensors (392) can detect the position of the slider in the first guide member (342) to confirm the position of the first fixing member (310).
상기 제2 센서(394)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 상기 전후 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 대상물(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제2 센서(394)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다.The second sensors (394) may be provided along the forward and backward direction on the lower surface of the base plate (330). When the size of the object (20) changes, the fixing position of the second fixing member (312) changes. Accordingly, the second sensors (394) may be spaced apart by the distance between the plurality of fixing positions and the retreating position.
상기 제2 고정 부재(312)의 이동 거리가 상기 제1 고정 부재(310)의 이동 거리와 다르므로, 상기 제2 센서(394)들의 위치와 상기 제1 센서(392)들의 위치는 다를 수 있다.Since the movement distance of the second fixed member (312) is different from the movement distance of the first fixed member (310), the positions of the second sensors (394) and the positions of the first sensors (392) may be different.
상기 위치 센서(390)들이 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치들과 후퇴 위치를 정확하게 감지할 수 있으므로, 상기 구동부(320)와 상기 위치 센서(390)들을 이용하여 여러 사이즈의 상기 대상물(20)을 지지할 수 있도록 대상물 고정 유닛(300)의 동작을 정확하게 구현할 수 있다.Since the above position sensors (390) can accurately detect the fixing positions and retreat positions of the first fixing member (310) and the second fixing member (312), the operation of the object fixing unit (300) can be accurately implemented to support objects (20) of various sizes using the driving unit (320) and the position sensors (390).
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 대상물의 진동과 낙하를 방지할 수 있으므로, 상기 대상물의 이송 안정성을 향상시킬 수 있다.As described above, the object fixing unit according to the present invention and the vehicle having the same can prevent vibration and dropping of the object, thereby improving the transport stability of the object.
또한, 상기 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클은 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재의 높이가 다르고, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재의 이동 거리도 서로 다르므로, 상기 비히클에 다양한 크기의 상기 대상물이 파지되더라도 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재가 상기 대상물을 안정적으로 고정할 수 있다. 상기 비히클이 다양한 크기의 대상물을 이송할 수 있으므로, 상기 비히클의 활용도를 높일 수 있다.In addition, since the heights of the first fixing member and the second fixing member of the object fixing unit and the vehicle having the same are different, and the moving distances of the first fixing member and the second fixing member are also different, even if the object of various sizes is gripped by the vehicle, the first fixing member and the second fixing member can stably fix the object. Since the vehicle can transport the object of various sizes, the usability of the vehicle can be increased.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and changes may be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below.
100 : 주행 유닛110 : 주행부
112 : 주행 휠120 : 조향 휠
122 : 구동부130 : 모터
200 : 이송 유닛210 : 하우징
220 : 이동부230 : 승강부
240 : 파지부300 : 대상물 고정 유닛
310 : 제1 고정 부재312 : 제2 고정 부재
314 : 낙하 방지 부재320 : 구동부
330 : 베이스 플레이트340 : 제1 이동 플레이트
350 : 제1 슬라이드 캠360 : 제2 이동 플레이트
370 : 제2 슬라이드 캠380 : 연결 부재
390 : 위치 센서392 : 제1 센서
392 : 제2 센서10 : 주행 레일
20 : 대상물100 : Driving unit 110 : Driving section
112 : Driving wheel 120 : Steering wheel
122 : Drive unit 130 : Motor
200 : Transfer unit 210 : Housing
220: Moving part 230: Elevating part
240: Phage Unit 300: Object Fixing Unit
310: First fixed member 312: Second fixed member
314: Fall prevention member 320: Driving unit
330: Base plate 340: First moving plate
350: 1st slide cam 360: 2nd moving plate
370 : 2nd slide cam 380 : connecting member
390 : Position sensor 392 : First sensor
392: 2nd sensor 10: Driving rail
20 : Object
Claims (10)
Translated fromKorean상기 대상물 고정 유닛은,
제1 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재;
상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재;
상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 비히클의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부;
상기 비히클의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트;
상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠;
상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트; 및
상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고,
상기 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 상기 제2 슬라이드 캠을 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시키며,
상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.In an object fixing unit, which is provided on both sides in the forward and backward directions inside a vehicle that runs on a rail by holding an object, and which fixes the object at the front and rear of the vehicle to prevent vibration of the object,
The above target fixing unit is,
A first fixing member provided on one side in the front-rear direction of the vehicle at a first height and fixing one side in the front-rear direction of the object;
A second fixing member provided on one side of the vehicle in the forward/reverse direction at a second height lower than the first height and fixing one side of the object in the forward/reverse direction;
A driving unit provided on one side of the front-rear direction of the vehicle and configured to reciprocally move the first fixing member and the second fixing member along the front-rear direction of the vehicle;
A base plate provided on one side of the front and rear directions of the vehicle and on which the driving unit is mounted;
A first moving plate provided on the upper surface of the base plate so as to be movable along the forward-backward direction, the first moving plate fixing the first fixing member and having a first cam follower;
A first slide cam disposed above the base plate and having a first guide groove for guiding movement of the first cam follower;
A second moving plate provided on the lower surface of the base plate so as to be movable along the forward and backward direction, fixing the second fixing member and having a second cam follower; and
A second slide cam is disposed below the base plate and has a second guide groove for guiding movement of the second cam follower.
The above driving unit moves the first slide cam and the second slide cam along the left-right direction perpendicular to the forward-backward direction to reciprocally move the first fixing member and the second fixing member.
An object fixing unit characterized in that the forward-backward length of the first guide groove is longer than the forward-backward length of the second guide groove so that the movement distance of the first fixing member is longer than the movement distance of the second fixing member.
상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 대상물과 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.In the first paragraph, fixed pins that penetrate the first and second moving plates and are fixed to the first and second fixed members, respectively; and
An object fixing unit further characterized by including coil springs arranged to surround the fixing pins between the first and second moving plates and the first and second fixing members to reduce shock generated when the first and second fixing members come into contact with the object.
상기 제2 높이는 상기 비히클이 파지하는 상기 대상물 중 가장 큰 크기의 대상물의 하단보다 높은 것을 특징으로 하는 대상물 고정 유닛.In the first paragraph, the first height is higher than the lower end of the smallest object among the objects gripped by the vehicle,
An object fixing unit characterized in that the second height is higher than the lower end of the largest object among the objects gripped by the vehicle.
상기 주행 유닛과 연결되고, 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛: 및
상기 이송 유닛의 내부에서 전후 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 이송 유닛의 전후에서 상기 대상물을 고정하여 상기 대상물의 진동을 방지하는 대상물 고정 유닛을 포함하고,
상기 대상물 고정 유닛은,
제1 높이에서 상기 이송 유닛의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재;
상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 이송 유닛의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 대상물의 전후 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재;
상기 이송 유닛의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 이송 유닛의 전후 방향을 따라 왕복 이동시키는 구동부;
상기 이송 유닛의 전후 방향 일측에 구비되며, 상기 구동부가 장착되는 베이스 플레이트;
상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트;
상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠;
상기 전후 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트; 및
상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고,
상기 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 상기 제2 슬라이드 캠을 상기 전후 방향과 수직하는 좌우 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시키며,
상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 전후 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 비히클.A driving unit that runs on a running rail on the ceiling:
A transport unit connected to the above driving unit and transporting an object by gripping it inside: and
It includes an object fixing unit which is provided on both sides in the forward and backward directions inside the above-mentioned transport unit and fixes the object at the front and rear of the above-mentioned transport unit to prevent vibration of the object.
The above target fixing unit is,
A first fixing member provided on one side in the forward/backward direction of the transfer unit at a first height and fixing one side in the forward/backward direction of the object;
A second fixing member provided on one side in the forward/backward direction of the transport unit at a second height lower than the first height and fixing one side in the forward/backward direction of the object;
A driving unit provided on one side of the forward/backward direction of the above-mentioned transport unit and configured to reciprocally move the first fixing member and the second fixing member along the forward/backward direction of the above-mentioned transport unit;
A base plate provided on one side of the front-rear direction of the above transport unit and on which the driving unit is mounted;
A first moving plate provided on the upper surface of the base plate so as to be movable along the forward-backward direction, the first moving plate fixing the first fixing member and having a first cam follower;
A first slide cam disposed above the base plate and having a first guide groove for guiding movement of the first cam follower;
A second moving plate provided on the lower surface of the base plate so as to be movable along the forward and backward direction, fixing the second fixing member and having a second cam follower; and
A second slide cam is disposed below the base plate and has a second guide groove for guiding movement of the second cam follower.
The above driving unit moves the first slide cam and the second slide cam along the left-right direction perpendicular to the forward-backward direction to reciprocally move the first fixing member and the second fixing member.
A vehicle characterized in that the forward-backward length of the first guide groove is longer than the forward-backward length of the second guide groove so that the movement distance of the first fixed member is longer than the movement distance of the second fixed member.
상기 대상물 고정 유닛은 상기 하우징의 내부에 상기 전후 방향 양측에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클.In the 9th paragraph, the transport unit includes a housing connected to the driving unit,
A vehicle characterized in that the above target fixing unit is provided on each of the front and rear sides inside the housing.
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