KR102701416B1 - Simulation method using text extraction - Google Patents

Abstract

Translated fromKorean

본 발명은, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고, 추출된 문자 정보 중 적어도 일부를 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여, 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.The present invention provides a plasma simulation method and system for extracting character information related to a plasma process from a document in an electronic file format, selecting at least a portion of the extracted character information as simulation factor data, and performing a plasma simulation.

Description

Translated fromKorean

텍스트 추출을 이용한 시뮬레이션 방법{SIMULATION METHOD USING TEXT EXTRACTION}{SIMULATION METHOD USING TEXT EXTRACTION}

본 발명은 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma simulation method and system.

반도체 제조 공정은 마이크로프로세서, 메모리 칩 또는 다른 집적 회로와 같은 반도체 디바이스를 만들기 위해 다양한 제조 단계에서 플라즈마 처리를 사용하고 있다. 이러한 플라즈마 공정은 플라즈마 장비에 의하여 수행되며, 예를 들어 웨이퍼 상에 물질막을 증착하거나 웨이퍼 상에 형성된 물질막을 식각하는 장비 등이 이용되고 있다.Semiconductor manufacturing processes use plasma treatment at various stages of manufacturing to create semiconductor devices such as microprocessors, memory chips, or other integrated circuits. These plasma processes are performed by plasma equipment, such as equipment that deposits a film of material on a wafer or etches a film of material formed on a wafer.

플라즈마 장비나 공정의 특성을 분석하기 위해 플라즈마 시뮬레이터를 이용하여 플라즈마 장비 내부 상태를 계산하고 공정의 물리적 현상을 설명하는 것은 시간과 비용을 절감하는데 있어서 매우 중요한 작업이다.Using a plasma simulator to calculate the internal state of plasma equipment and explain the physical phenomena of the process in order to analyze the characteristics of plasma equipment or processes is a very important task in saving time and cost.

따라서, 플라즈마 시뮬레이터의 수치해석을 위한 많은 연구개발이 활발히 진행되며, 그 결과가 논문, 보고서, 특허 문서 등의 연구 자료를 통하여 공개되고 있다. 일반적으로 연구자들이나 개발자들은, 이러한 연구 자료를 활용하여 새로운 화학식이나 계산 조건 등을 파악하고, 이를 플라즈마 시뮬레이션에 수동으로 입력하는 방식으로 시뮬레이터를 개발하고 있다.Accordingly, many research and developments are actively being conducted for numerical analysis of plasma simulators, and the results are being disclosed through research materials such as papers, reports, and patent documents. In general, researchers and developers use these research materials to identify new chemical formulas or calculation conditions, and manually input them into plasma simulations to develop simulators.

하지만, 이러한 수동 입력의 경우에는 입력 오류로 인해 플라즈마 시뮬레이션의 정확도가 낮아지고, 또한, 많은 시간이 소요되는 등의 문제점이 있다.However, in the case of such manual input, there are problems such as low accuracy of plasma simulation due to input errors and also it takes a lot of time.

본 발명은, 수동 입력에 따른 플라즈마 시뮬레이션의 입력 오류를 방지하여 플라즈마 시뮬레이션의 정확도를 개선하는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.The present invention provides a plasma simulation method and system that improves the accuracy of plasma simulation by preventing input errors in plasma simulation due to manual input.

또한, 본 발명은, 연구 자료에서 플라즈마 공정과 관련된 정보를 파악하는 노력과 비용을 감소시켜, 플라즈마 시뮬레이터의 개발을 보다 효율적으로 수행하는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.In addition, the present invention provides a plasma simulation method and system that reduces the effort and cost of obtaining information related to plasma processes from research data, thereby performing the development of a plasma simulator more efficiently.

위에서 살펴본 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 텍스트를 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은, 문서 인식 기법을 통하여 연구 자료에서 자동으로 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 이용하여 플라즈마 공정에 대한 시뮬레이션을 수행한다.In order to solve the above-mentioned problem, the plasma simulation method and system using text extraction according to the present invention performs a simulation of a plasma process using text information related to a plasma process automatically extracted from research data through a document recognition technique.

보다 구체적으로, 본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 방법은, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계와 문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계, 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 포함한다.More specifically, the plasma simulation method of the present invention includes the steps of receiving a document in an electronic file format including information related to a plasma process through an electronic device related to plasma simulation, the step of extracting at least some of the information related to the plasma process included in the document in the electronic file format as character information using a character recognition technique, the step of selecting at least one simulation factor data affecting the result of the plasma simulation using the extracted character information, and the step of performing the plasma simulation using the factor data of the generated simulation.

상기 문자 정보로 추출하는 단계는, 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 텍스트 데이터를 제1 단위로 토큰화하여 정형된 데이터를 생성하는 단계; 및, 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보를 상기 제1 단위와 다른 제2 단위로 토큰화하여 정형화된 데이터를 생성하는 단계를 포함한다. 상기 제1 단위는 단어 단위 및 문장 단위 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 제2 단위는 화학식 단위 및 화학반응식 단위 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The step of extracting the text information includes a step of tokenizing text data included in the document in the electronic file format into a first unit to generate structured data; and a step of tokenizing information related to the plasma process into a second unit different from the first unit to generate structured data. The first unit may include at least one of a word unit and a sentence unit, and the second unit may include at least one of a chemical formula unit and a chemical reaction formula unit.

상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계는, 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술(NLP)을 이용하여, 상기 추출된 문자 정보 중 적어도 하나 이상을 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정한다. 화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터 중 적어도 하나가 상기 전자 문서로부터 추출되어, 상기 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정될 수 있다.The step of selecting the above simulation factor data uses a deep learning-based natural language processing (NLP) technology to select at least one of the extracted text information as the simulation factor data. At least one of a chemical reaction formula, gas species included in the chemical reaction formula, reaction coefficient of the chemical reaction formula, and density data of the species may be extracted from the electronic document and selected as the simulation factor data.

상기 추출된 화학반응식은 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 반응 계수와 관련된 정보와 서로 매칭되어 데이터베이스로서 저장될 수 있다. 상기 추출된 화학반응식이 전자가 포함된 반응인 경우, 상기 전자의 손실에너지를 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출할 수 있다. 상기 전자의 손실에너지가 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출되지 않는 경우에, 상기 전자의 손실에너지를 사용자로부터 수신하여 저장할 수 있다.The extracted chemical reaction formula can be matched with the information related to the reaction coefficient included in the document in the electronic file format and stored as a database. If the extracted chemical reaction formula is a reaction including electrons, the loss energy of the electrons can be extracted from the document in the electronic file format. If the loss energy of the electrons is not extracted from the document in the electronic file format, the loss energy of the electrons can be received from the user and stored.

본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 방법은, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 전자 문서에 포함된 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 전자 문서에서 특정 범위의 블록을 지정하면, 상기 지정된 블록 내에서 상기 화학반응식의 오류 여부를 점검할 수 있다.The plasma simulation method of the present invention may include a step of checking whether there is an error in the chemical reaction formula included in the electronic document using the extracted character information. If a specific range of blocks is designated in the electronic document, the chemical reaction formula can be checked for an error within the designated block.

상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계는, 상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련 전자기기 중 적어도 하나에 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 제공하고, 상기 제공된 시뮬레이션의 인자 데이터 중 적어도 하나 이상을 선택하는 입력 신호를 수신하는 단계를 포함할 수 있다.The step of performing the above plasma simulation may include the step of providing factor data of the generated simulation to at least one of the electronic devices related to the plasma simulation, and receiving an input signal for selecting at least one of the factor data of the provided simulation.

나아가, 본 발명에 따른 시뮬레이션 시스템은, 저장부와, 통신부와, 제어부를 포함하고, 상기 통신부는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기 또는 외부서버 중 적어도 하나에 연결되고, 상기 제어부는 상기 통신부를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하고, 문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하고, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하며, 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행한다.Furthermore, a simulation system according to the present invention includes a storage unit, a communication unit, and a control unit, wherein the communication unit is connected to at least one of an electronic device related to plasma simulation or an external server, and the control unit receives a document in an electronic file format including information related to a plasma process through the communication unit, extracts at least some of the information related to the plasma process included in the document in the electronic file format as character information using a character recognition technique, selects at least one simulation factor data affecting the result of the plasma simulation using the extracted character information, and performs the plasma simulation using the factor data of the generated simulation.

나아가, 본 발명에 따른 프로그램은, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계와, 문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계와, 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계, 및 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 수행하는 명령어들을 포함한다.Furthermore, a program according to the present invention includes commands for performing the steps of: receiving a document in an electronic file format including information related to a plasma process through an electronic device related to plasma simulation; extracting at least some of the information related to the plasma process included in the document in the electronic file format as character information using a character recognition technique; selecting at least one simulation factor data affecting a result of the plasma simulation using the extracted character information; and performing the plasma simulation using the factor data of the generated simulation.

이상에서 살펴본 것과 같이, 본 발명은, 문서 인식 기법을 통하여 전자 파일 형식의 문서로부터 시뮬레이션에 필요한 정보를 자동으로 추출함으로써, 보다 용이한 시뮬레이터의 업데이트가 가능하게 된다.As described above, the present invention enables easier updating of a simulator by automatically extracting information necessary for simulation from an electronic file format document through a document recognition technique.

특히, 전자 파일 형식의 문서로부터 추출한 플라즈마 시뮬레이션 관련 정보를 플라즈마 시뮬레이션에 사용하여, 수동 입력의 오류로 인한 플라즈마 시뮬레이션의 정확성을 개선하는 효과가 발생될 수 있다.In particular, by using plasma simulation-related information extracted from a document in an electronic file format for plasma simulation, the accuracy of plasma simulation caused by errors in manual input can be improved.

나아가, 본 발명은, 문자 인식 기법을 통해 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고, 이를 사용자에게 제공함으로써, 사용자가 시뮬레이션의 여러 조건들을 보다 빠르고 정확하게 선택할 수 있게 한다.Furthermore, the present invention extracts character information related to a plasma process from an electronic file format document through a character recognition technique and provides the extracted character information to a user, thereby enabling the user to select various conditions of a simulation more quickly and accurately.

또한, 본 발명은, 문자 인식 기법을 통해 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 자동으로 추출하기 때문에, 많은 플라즈마 시뮬레이터와 관련된 연구 자료를 보다 용이하게 플라즈마 시뮬레이션에 적용할 수 있다.In addition, since the present invention automatically extracts character information related to a plasma process included in a document in an electronic file format through a character recognition technique, research materials related to many plasma simulators can be applied to plasma simulation more easily.

따라서, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은 가장 최신의 연구 자료를 적시에 플라즈마 시뮬레이션 계산에 활용할 수 있게 된다. 이를 통해, 본 발명은, 플라즈마 시뮬레이션 계산의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.Therefore, the plasma simulation method and system according to the present invention can utilize the most up-to-date research data in a timely manner for plasma simulation calculations. Through this, the present invention can have the effect of improving the efficiency of plasma simulation calculations.

도 1은 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 시스템을 설명하기 위한 블록 다이어그램이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이다.
도 3a 내지 도 3b, 도 4, 도 5은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 설명하기 위한 개념도들이다.
도 6은 본 발명에서 제공되는 시뮬레이션 인자 데이터를 설명하기 위한 개념도이다.
도 7는 본 발명에 따른 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이터의 GUI(graphical user interface)를 설명하기 위한 개념도이다.
도 8, 도 9a 내지 도 9b, 도 10a 내지 도 10b, 도 11은 본 발명에 따른 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.Figure 1 is a block diagram illustrating a plasma simulation system using text extraction.
Figure 2 is a flow chart of a plasma simulation method using text extraction performed in the plasma simulation system of Figure 1.
FIGS. 3A to 3B, FIGS. 4 and 5 are conceptual diagrams for explaining character information related to the plasma process provided in the present invention.
Figure 6 is a conceptual diagram for explaining simulation factor data provided in the present invention.
FIG. 7 is a conceptual diagram for explaining a GUI (graphical user interface) of a plasma simulator using text extraction according to the present invention.
FIG. 8, FIG. 9a to FIG. 9b, FIG. 10a to FIG. 10b, and FIG. 11 are conceptual diagrams for explaining a method for selecting simulation factor data according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, embodiments disclosed in this specification will be described in detail with reference to the attached drawings. Regardless of the drawing symbols, identical or similar components will be given the same reference numerals and redundant descriptions thereof will be omitted. The suffixes "module" and "part" used for components in the following description are assigned or used interchangeably only for the convenience of writing the specification, and do not have distinct meanings or roles in themselves. In addition, when describing embodiments disclosed in this specification, if it is determined that a specific description of a related known technology may obscure the gist of the embodiments disclosed in this specification, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the attached drawings are only intended to facilitate easy understanding of the embodiments disclosed in this specification, and the technical ideas disclosed in this specification are not limited by the attached drawings, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms that include ordinal numbers, such as first, second, etc., may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms. The terms are used only to distinguish one component from another.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When it is said that a component is "connected" or "connected" to another component, it should be understood that it may be directly connected or connected to that other component, but that there may be other components in between. On the other hand, when it is said that a component is "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there are no other components in between.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this application, it should be understood that terms such as “comprises” or “has” are intended to specify the presence of a feature, number, step, operation, component, part or combination thereof described in the specification, but do not exclude in advance the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.

본 발명은, 텍스트 추출을 이용한 시뮬레이션 방법 및 시스템에 관한 것으로, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하여, 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보에 활용할 수 있는 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템을 제공하기 위한 것이다.The present invention relates to a simulation method and system using text extraction, and provides a plasma simulation method and system capable of extracting text information related to a plasma process from a document in an electronic file format and utilizing the extracted text information for information required for plasma simulation.

여기서, 플라즈마는, 제4의 물질 상태라고 알려져 있는 물질의 형태로서, 강력한 전기장 혹은 열원으로 가열되어 기체상태를 뛰어넘어 전자, 중성입자, 이온 등 입자들로 나누어진 상태를 의미할 수 있다. 또한, 상기 플라즈마에서는, 전하 분리도가 상당히 높으면서도 전체적으로 음과 양의 전하수가 같아서 중성을 띠게 되는 상태가 될 수 있다. 또한, 상기 플라즈마는, 스마트 폰 등의 첨단 디지털기기의 핵심 부품인 반도체 디바이스의 제조공정, 예를 들어 식각 및 증착 기술에 이용되며, 플라즈마 전류가 수 암페어 미만인 저온 플라즈마를 의미할 수 있다.Here, plasma can mean a state in which a substance known as the fourth state of matter is divided into particles such as electrons, neutral particles, and ions by being heated by a strong electric field or heat source and surpassing a gaseous state. In addition, in the plasma, the charge separation can be considerably high and the overall number of negative and positive charges can be equal, so that it is neutral. In addition, the plasma can mean a low-temperature plasma used in the manufacturing process of semiconductor devices, which are core components of advanced digital devices such as smart phones, for example, etching and deposition technology, and has a plasma current of less than several amperes.

상기 플라즈마는 시뮬레이션(simulation)에 의하여 물리적 거동이나 화학적 현상이 해석될 수 있다. 여기서, 시뮬레이션은 실제로 실행하기 어려운 실험을 간단히 행하는 모의실험을 의미할 수 있으며, 특히 컴퓨터와 수학적 모델을 이용하여 수치적으로 해석하는 컴퓨터 시뮬레이션이 될 수 있다. 상기 수학적 모델은, 예를 들어 플라즈마를 유동하는 유체처럼 해석하는 유체모델, 입자로 취급하는 입자모델 등이 될 수 있다.The above plasma can be analyzed for physical behavior or chemical phenomena by simulation. Here, simulation can mean a mock experiment that simply performs an experiment that is difficult to actually perform, and in particular, it can be a computer simulation that numerically analyzes using a computer and a mathematical model. The mathematical model can be, for example, a fluid model that analyzes the plasma as a flowing fluid, a particle model that treats it as a particle, etc.

본 발명의 플라즈마 시뮬레이션은, 예를 들어 플라즈마 장비 내부에서 발생하는 종들(species)의 온도 등을 계산을 통하여 가상으로 측정하는 것으로, 계산해서 나온 결과물을 보고 플라즈마 장비의 내부상황이나 플라즈마 공정의 진행상황 등을 해석하는 것을 포함하는 개념이 될 수 있다. 나아가, 이러한 시뮬레이션을 할 수 있는 소프트웨어 또는 프로그램은 시뮬레이터라 정의될 수 있다. 상기 시뮬레이터를 통해, 본 발명에서는 플라즈마 공정이나 장비에 대한 가상의 실험을 수행하고, 그 결과를 여러가지 시각적 데이터로 사용자에게 제공할 수 있다.The plasma simulation of the present invention can be a concept that includes virtually measuring, for example, the temperature of species generated inside a plasma device through calculation, and interpreting the internal situation of the plasma device or the progress of the plasma process by looking at the calculated results. Furthermore, software or programs capable of performing such simulations can be defined as a simulator. Through the simulator, the present invention can perform virtual experiments on plasma processes or devices, and provide the results to the user in the form of various visual data.

여기에서, “시뮬레이터”는 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에 의해 제공되는 제어 프로세스의 일 부분으로 포함되는 용어로 이해될 수 있다. 상기 플라즈마 시뮬레이션 시스템은 시뮬레이터를 이용하여 계산 결과를 사용자에 제공하는 것은 물론, 시뮬레이터의 계산 결과를 이용하여 플라즈마 장비를 제어하거나, 제어하는 데 필요한 다양한 정보를 제공하는 것까지 포함할 수 있다.Here, “simulator” may be understood as a term included as part of a control process provided by a plasma simulation system (100) according to the present invention. The plasma simulation system may include not only providing a calculation result to a user using a simulator, but also controlling plasma equipment using the calculation result of the simulator or providing various information necessary for control.

이하 첨부된 도면과 함께 본 발명에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명에 따른 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 시스템을 설명하기 위한 블록 다이어그램이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. Figure 1 is a block diagram for explaining a plasma simulation system using text extraction according to the present invention.

도 1에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은, 통신부(110), 저장부(120) 및 제어부(130) 중 적어도 하나를 포함한다. 이때 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은 상술한 구성 요소로 제한되는 것은 아니며, 본 명세서의 설명에 따른 기능과 동일 또는 유사한 역할을 수행하는 구성요소를 더 포함할 수 있다.As illustrated in FIG. 1, the plasma simulation system (100) according to the present invention includes at least one of a communication unit (110), a storage unit (120), and a control unit (130). At this time, the plasma simulation system (100) according to the present invention is not limited to the above-described components, and may further include components that perform the same or similar roles as the functions described in this specification.

한편, 통신부(110)는 적어도 하나의 전자기기 또는 외부서버(140)와 통신하도록 이루어지며, 통신하는 대상의 통신 규격에 따라 다양한 통신 방식을 지원할 수 있다.Meanwhile, the communication unit (110) is configured to communicate with at least one electronic device or external server (140), and can support various communication methods depending on the communication standards of the target of communication.

예를 들어 통신부는, WLAN(Wireless LAN), Wi-Fi(WirelessFidelity), Wi-Fi(Wireless Fidelity) Direct, DLNA(Digital Living Network Alliance), WiBro(Wireless Broadband), WiMAX(World Interoperability for Microwave Access), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access), HSUPA(High Speed Uplink Packet Access), LTE(Long Term Evolution), LTE-A(Long Term Evolution Advanced), 5G(5th Generation Mobile Telecommunication), 블루투스(Bluetooth™), RFID(Radio Frequency Identification), 적외선 통신(Infrared Data Association; IrDA), UWB(Ultra-Wideband), ZigBee, NFC(Near Field Communication), Wi-Fi Direct, Wireless USB(Wireless Universal Serial Bus) 기술 중 적어도 하나를 이용하여, 전자기기 또는 외부 서버(140)과 통신하도록 이루어질 수 있다.For example, the communication unit may be configured to communicate with an electronic device or an external server (140) using at least one of the following technologies: WLAN (Wireless LAN), Wi-Fi (WirelessFidelity), Wi-Fi (Wireless Fidelity) Direct, DLNA (Digital Living Network Alliance), WiBro (Wireless Broadband), WiMAX (World Interoperability for Microwave Access), HSDPA (High Speed Downlink Packet Access), HSUPA (High Speed Uplink Packet Access), LTE (Long Term Evolution), LTE-A (Long Term Evolution Advanced), 5G (5th Generation Mobile Telecommunication), Bluetooth™, RFID (Radio Frequency Identification), Infrared Data Association (IrDA), UWB (Ultra-Wideband), ZigBee, NFC (Near Field Communication), Wi-Fi Direct, and Wireless USB (Wireless Universal Serial Bus).

다음으로 저장부(120)는, 본 발명과 관련된 다양한 정보를 저장하도록 이루어질 수 있다. 저장부(120)는 플라즈마 공정과 관련된 정보(또는 데이터)를 저장하도록 이루어질 수 있다. 플라즈마 공정과 관련된 정보는 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 파라미터, 계산 조건, 가스종, 화학식, 화학반응식 및 방정식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Next, the storage unit (120) may be configured to store various information related to the present invention. The storage unit (120) may be configured to store information (or data) related to the plasma process. The information related to the plasma process may include at least one of the initial values, parameters, calculation conditions, gas types, chemical formulas, chemical reaction formulas, and equations of plasma simulation.

본 발명에서 저장부(120)는 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100) 자체에 구비될 수 있다. 이와 다르게, 저장부(120)의 적어도 일부는 외부 서버(140, 예를 들어 클라우드 서버(또는 클라우드 저장소) 및 데이터베이스(database: DB) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 즉, 저장부(120)는 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보가 저장되는 공간이면 충분하며, 물리적인 공간에 대한 제약은 없는 것으로 이해될 수 있다. 이에, 이하에서는 저장부(120), 클라우드 서버 및 데이터 베이스를 별도로 구분하지 않고, 모두 저장부(120)라고 표현하도록 한다.In the present invention, the storage unit (120) may be provided in the plasma simulation system (100) itself. Alternatively, at least a part of the storage unit (120) may mean at least one of an external server (140, for example, a cloud server (or cloud storage) and a database (DB). That is, the storage unit (120) may be a space in which information required for the plasma simulation according to the present invention is stored, and it may be understood that there are no restrictions on the physical space. Accordingly, in the following, the storage unit (120), the cloud server, and the database will not be separately distinguished, and will all be referred to as the storage unit (120).

다음으로 제어부(130)는 본 발명과 관련된 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 전반적인 동작을 제어하도록 이루어질 수 있다. 제어부(130)는 위에 살펴본 구성 요소들을 통해 입력 또는 출력되는 신호, 데이터, 정보, 기능 등을 제공 또는 처리할 수 있다.Next, the control unit (130) can be configured to control the overall operation of the plasma simulation system (100) related to the present invention. The control unit (130) can provide or process signals, data, information, functions, etc. input or output through the components discussed above.

본 발명에서 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 수신한 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하여, 플라즈마 시뮬레이션에 필요한 정보를 선정할 수 있다.In the present invention, the control unit (130) can extract character information related to a plasma process from a document in an electronic file format received from an electronic device related to plasma simulation, and select information necessary for plasma simulation.

여기에서 전자 파일 형식은, 이미지 파일 형식 또는 PDF(portable document format) 파일 형식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 본 발명에 따른 전자 파일 형식은 상술한 전자 파일 형식에 제한되는 것은 아니며, 다른 형식의 전자 파일도 가능하다.Here, the electronic file format may include at least one of an image file format or a PDF (portable document format) file format. However, the electronic file format according to the present invention is not limited to the above-described electronic file format, and electronic files of other formats are also possible.

한편, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기는 노트북, 데스크탑, 스마트폰(smart phone), 휴대폰, 태블릿 PC, 키오스크(KOISK), 디지털방송용 단말, PDA(Personal Digital Assistants) 및 PMP(Portable Multimedia Player) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Meanwhile, electronic devices related to plasma simulation may include at least one of a laptop, a desktop, a smart phone, a mobile phone, a tablet PC, a kiosk (KOISK), a digital broadcasting terminal, a PDA (Personal Digital Assistants), and a PMP (Portable Multimedia Player).

이 경우, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)은, 웹 브라우저(web browser)기반의 서비스로 제공되거나, 애플리케이션 또는 소프트웨어로 구현될 수 있다. 이때, 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에 따른 애플리케이션 또는 소프트웨어는, 전자기기에 설치될 수 있다.In this case, the plasma simulation system (100) according to the present invention may be provided as a web browser-based service or implemented as an application or software. At this time, the application or software according to the plasma simulation system (100) may be installed in an electronic device.

예를 들어, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110), 저장부(120) 및 제어부(130)는, 전자기기의 하드웨어 구성을 활용하여, 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다.For example, the communication unit (110), storage unit (120), and control unit (130) of the plasma simulation system (100) according to the present invention can perform plasma simulation by utilizing the hardware configuration of an electronic device.

이때, 통신부(110)는 전자기기의 통신부에 구비된 통신 모듈(예를 들어, 이동통신 모듈, 근거리 통신 모듈, 무선 인터넷 모듈, 위치 정보 모듈, 방송 수신 모듈 등)의 구성을 이용하여, 적어도 하나의 외부 서버(140)와 통신할 수 있다.At this time, the communication unit (110) can communicate with at least one external server (140) by using the configuration of a communication module (e.g., a mobile communication module, a short-range communication module, a wireless Internet module, a location information module, a broadcast reception module, etc.) equipped in the communication unit of the electronic device.

이때, 통신부(110)는 외부 서버(140)에 저장된 적어도 하나의 문서에 대한 정보를 수신할 수 있다.At this time, the communication unit (110) can receive information about at least one document stored in an external server (140).

나아가 저장부(120)는 전자기기에 구비된(또는 삽입된) 메모리 또는 외부 서버(140)를 이용하여, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 정보를 저장하도록 이루어질 수 있다.Furthermore, the storage unit (120) may be configured to store information related to the plasma simulation according to the present invention by using a memory equipped (or inserted) in the electronic device or an external server (140).

제어부(130)는, 전자기기에 구비된 CPU 및 클라우드 서버 중 적어도 하나를 활용하여, 각 구성에 대한 제어 및 본 발명과 관련된 전반적인 제어를 수행할 수 있다. 나아가 제어부(130)는 본 발명을 수행하기 위하여, 전자기기의 구성 중 적어도 하나에 대한 제어 권한을 가질 수 있다. 나아가 제어부(130)는 전자기기의 디스플레이부를 제어하여, 본 발명에서 제공되는 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 디스플레이부 상에 제공할 수 있다. 이때, 제어부(130)는 디스플레이부에 대한 직접 제어 또는 디스플레이부를 제어하는 전자기기의 제어부에 제어 명령을 전달함으로써 디스플레이부에 대한 제어를 간접적으로 수행할 수 있다.The control unit (130) can perform control for each configuration and overall control related to the present invention by utilizing at least one of the CPU and cloud server provided in the electronic device. Furthermore, the control unit (130) can have control authority for at least one of the configurations of the electronic device in order to perform the present invention. Furthermore, the control unit (130) can control the display unit of the electronic device and provide character information related to the plasma process extracted from the document provided in the present invention on the display unit. At this time, the control unit (130) can directly control the display unit or indirectly control the display unit by transmitting a control command to the control unit of the electronic device that controls the display unit.

이하에서는, 첨부된 도면과 함께, 텍스트 추출을 이용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 방법에 대하여 보다 구체적으로 살펴본다.Below, we will look more specifically at a method for performing plasma simulation using text extraction, along with the attached drawings.

도 2는 도 1의 플라즈마 시뮬레이션 시스템에서 수행하는 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이션 방법의 흐름도이고, 도 3a, 도 3b, 도 4, 도 5은 본 발명에서 제공되는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 설명하기 위한 개념도들이며, 도 6은 본 발명에서 제공되는 시뮬레이션 인자 데이터를 설명하기 위한 개념도이다. 나아가, 도 7는 본 발명에 따른 텍스트 추출을 이용한 플라즈마 시뮬레이터의 GUI(graphical user interface)를 설명하기 위한 개념도이고, 도 8, 도 9a내지 도 9b, 도 10a 내지 도 10b, 도 11은 본 발명에 따른 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 방법을 설명하기 위한 개념도들이다.FIG. 2 is a flowchart of a plasma simulation method using text extraction performed in the plasma simulation system of FIG. 1, and FIGS. 3a, 3b, 4, and 5 are conceptual diagrams for explaining character information related to a plasma process provided in the present invention, and FIG. 6 is a conceptual diagram for explaining simulation factor data provided in the present invention. Furthermore, FIG. 7 is a conceptual diagram for explaining a GUI (graphical user interface) of a plasma simulator using text extraction according to the present invention, and FIGS. 8, 9a to 9b, 10a to 10b, and 11 are conceptual diagrams for explaining a method for selecting simulation factor data according to the present invention.

먼저, 도 2에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법에 의하면, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 과정이 진행될 수 있다(S210).First, as illustrated in FIG. 2, according to the plasma simulation method according to the present invention, a process of receiving a document in an electronic file format including information related to a plasma process through an electronic device related to plasma simulation can be performed (S210).

여기에서, 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 것은, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에서 전자 파일 형식의 문서를 전송하면, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)에서 이를 수신하는 것이 될 수 있다.Here, receiving a document in an electronic file format may mean transmitting a document in an electronic file format from an electronic device related to plasma simulation, and receiving it in the plasma simulation system (100) according to the present invention.

예를 들어, 도 7의 (a)에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 전자 파일 형식의 문서를 수신하기 위한 기능 아이콘(710)이 선택되어, 전자 파일 형식의 문서가 전송되면, 제어부(130)는 통신부(110)을 통해 전자 파일 형식의 문서를 수신할 수 있다.For example, as shown in (a) of FIG. 7, when a function icon (710) for receiving a document in an electronic file format from an electronic device related to plasma simulation is selected and a document in an electronic file format is transmitted, the control unit (130) can receive the document in an electronic file format through the communication unit (110).

다른 예로서, 상기 전자기기는 스캐너를 구비하고, 상기 스캐너에서 인쇄본 연구 자료를 전자 파일 형식의 문서로 스캔하고, 상기 스캔된 전자 파일을 플라즈마 시뮬레이터에서 수신할 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 플라즈마 시뮬레이터에 전자 파일의 업로드 기능이 구비되어, 상기 전자 파일 형식의 문서가 상기 시뮬레이터에 직접 업로드되는 것도 가능하다.As another example, the electronic device may be equipped with a scanner, and the scanner may scan printed research materials into documents in electronic file format, and the scanned electronic files may be received by the plasma simulator. As another example, the plasma simulator may be equipped with an electronic file upload function, so that documents in electronic file format may be directly uploaded to the simulator.

이때, 전자 파일 형식은 PDF 파일 형식, 이미지 파일 형식 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 본 발명에 따른 전자 파일 형식은 일 예시일 뿐 다양하게 변경 가능하다.At this time, the electronic file format may include at least one of a PDF file format and an image file format. However, the electronic file format according to the present invention is only an example and may be changed in various ways.

또한, 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보는 플라즈마 시뮬레이션 계산에 사용되는 화학식을 포함할 수 있다.Additionally, information related to the plasma process contained in a document in electronic file format may include chemical formulas used in plasma simulation calculations.

나아가, 본 발명에 따른 플라즈마 공정과 관련된 정보는, 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 플라즈마 시뮬레이션 계산에 사용되는 화학 반응식, 반응 계수, 플라즈마 시뮬레이션의 조건 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Furthermore, information related to the plasma process according to the present invention may include at least one of an initial value of plasma simulation, a chemical reaction formula used for calculating plasma simulation, a reaction coefficient, and a condition of plasma simulation.

단, 본 명세서에 따른 플라즈마 공정과 관련된 정보는 상술한 내용에 제한되는 것은 아니다.However, information related to the plasma process according to this specification is not limited to the contents described above.

다음으로, 제어부(130)는 문자 인식 기법을 사용하여 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 과정을 수행할 수 있다(S220).Next, the control unit (130) can perform a process of extracting at least some of the information related to the plasma process included in a document in electronic file format as character information using a character recognition technique (S220).

여기서, 문자 인식 기법은, OCR(Optical character recognition; 광학 문자 인식) 기술을 포함할 수 있다. OCR 기술이란, 사람이 쓰거나 기계로 인쇄한 문자의 영상을 이미지 스캐너로 획득하여 기계가 읽을 수 있는 문자로 변환하는 것이다.Here, the character recognition technique may include OCR (Optical character recognition) technology. OCR technology is a technology that acquires an image of a character written by a person or printed by a machine using an image scanner and converts it into a machine-readable character.

한편, 본 발명에 따른 문자 인식 기법을 사용하는 것은, PDF Parser를 사용하는 것을 포함할 수 있다. 여기서, PDF Parser는, PDF 문서를 구문 분석하는 명령줄 프로그램으로, 압축된 이미지와 같은 PDF 문서에서 원시 데이터를 추출하는 기능을 제공한다.Meanwhile, using the character recognition technique according to the present invention may include using a PDF Parser. Here, the PDF Parser is a command-line program that parses a PDF document and provides a function to extract raw data from a PDF document, such as a compressed image.

다만, 본 발명에 따른 문자 인식 기법의 종류는 일 예시일 뿐, 동일한 기능을 수행하는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다.However, the type of character recognition technique according to the present invention is only an example and can be changed in various ways within the scope of performing the same function.

도 3a 및 도 3b는, 본 발명에 따라 제어부(130)가 문자 인식 기법을 사용하여 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 추출하는 과정의 일 예시를 도시화한 것이다.FIGS. 3A and 3B illustrate an example of a process in which a control unit (130) extracts some of the information related to a plasma process included in an electronic file format document using a character recognition technique according to the present invention.

제어부(130)는, 도 3a 및 도 3b에 도시된 것과 같이, 문자 인식 기법을 사용하여 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마와 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출할 수 있다.The control unit (130) can extract some of the plasma-related information included in a document in electronic file format as character information using a character recognition technique, as illustrated in FIGS. 3a and 3b.

이때, 제어부(130)는, 저장부(120) 또는 외부 서버(140)에 저장된 플라즈마 공정과 관련된 정보를 활용하여, 문자 인식 기법으로 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출할 수 있다.At this time, the control unit (130) can extract some of the information related to the plasma process from an electronic file format document as character information using a character recognition technique by utilizing information related to the plasma process stored in the storage unit (120) or an external server (140).

나아가, 제어부(130)는, 문자 인식 기법을 사용하여, 전자 파일 형식의 문서에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 화학식 단위 또는 화학반응식 단위의 문자 정보로 추출할 수 있다.Furthermore, the control unit (130) can extract some of the information related to the plasma process included in the document in electronic file format as character information in the form of chemical formula units or chemical reaction formula units using a character recognition technique.

보다 구체적으로, 상기 문자 정보로 추출하는 단계(S220)는, 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 텍스트 데이터를 제1 단위로 토큰화하여 정형된 데이터를 생성하는 단계를 포함할 수 있다. 또한, 상기 문자 정보로 추출하는 단계(S220)는 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보를 상기 제1 단위와 다른 제2 단위로 토큰화하여 정형화된 데이터를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.More specifically, the step of extracting into character information (S220) may include a step of tokenizing text data included in the document in the electronic file format into a first unit to generate structured data. In addition, the step of extracting into character information (S220) may include a step of tokenizing information related to the plasma process into a second unit different from the first unit to generate structured data.

이 경우에, 상기 제1 단위는 단어 단위 및 문장 단위 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 제2 단위는 화학식 단위 및 화학반응식 단위 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.In this case, the first unit may include at least one of a word unit and a sentence unit, and the second unit may include at least one of a chemical formula unit and a chemical reaction formula unit.

이러한 예로서, 도 3a을 참조하면, SF6, C2F6 등의 화학식이 화학식 단위로 토큰화되고, 이온, 활성종, 중성종 등의 단어가 단어 단위로 토큰화될 수 있다. 또한, 도 3b와 같이, 문서에는 다양한 화학반응식이 기재될 수 있으며, 이 경우에 기재된 화학반응식이 토큰화될 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 아래 표 1를 참조하면,

등의 화학 반응식이 화학반응식 단위로 토큰화될 수 있다.As an example, referring to Fig. 3a, chemical formulas such as SF6 and C2F6 can be tokenized into chemical formula units, and words such as ion, active species, and neutral species can be tokenized into word units. In addition, as shown in Fig. 3b, various chemical reaction formulas can be described in a document, and in this case, the described chemical reaction formulas can be tokenized. As a more specific example, referring to Table 1 below,

Chemical reactions such as these can be tokenized into chemical reaction units.

또한, 이 경우에 reactants와 products 가 별도로 추출되어 저장될 수 있다. Reactants는 화학반응식을 기준으로 왼쪽에 있으며, products는 오른쪽에 있는 화학식으로 정의될 수 있다. 또한, 상기 화학반응식은 관여한 화학식(종)과 개수를 구분하여 저장될 수 있다.In addition, in this case, reactants and products can be extracted and stored separately. Reactants can be defined as the chemical formula on the left side of the chemical reaction formula, and products can be defined as the chemical formula on the right side. In addition, the chemical reaction formula can be stored by distinguishing the chemical formulas (species) and number involved.

한편, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 정형화된 데이터로 생성하여 저장부(120)에 저장할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) can create character information extracted from a document in electronic file format as standardized data and store it in the storage unit (120).

예를 들어, 제어부(130)는, 도 4에 도시된 것과 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 저장부(120)에 문서를 기준으로 여러가지 항목을 선택적으로 반영하여 저장할 수 있다.For example, the control unit (130) can selectively reflect and store various items based on the document in the storage unit (120) by extracting character information from a document in an electronic file format, as illustrated in FIG. 4.

도 4는 제어부(130)가 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 저장부(120)에 저장하는 방법의 일 예시를 도시화한 것이다.FIG. 4 illustrates an example of a method in which a control unit (130) stores character information extracted from a document in an electronic file format in a storage unit (120).

제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 플라즈마 공정과 관련된 화학식, 화학 반응식, 플라즈마 시뮬레이션의 초기값, 플라즈마 시뮬레이션의 조건 단위의 문자 정보로 분류하여 저장할 수 있다. 다만, 도 4와 함께 설명하는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보의 분류는 일 예시일 뿐, 다양하게 변경 가능하다.The control unit (130) can classify and store character information extracted from a document in an electronic file format into character information of chemical formulas, chemical reaction formulas, initial values of plasma simulation, and condition units of plasma simulation related to the plasma process. However, the classification of character information related to the plasma process described with Fig. 4 is only an example and can be changed in various ways.

예를 들어, 도 4에 도시된 (a)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 화학식이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.For example, as shown in (a) of FIG. 4, if the character information extracted from the document in electronic file format is a chemical formula, the control unit (130) can match the character information extracted from the document in electronic file format with the file name and plasma process information of the document in electronic file format received by the control unit (130) and store it in the storage unit (120).

또한, 도 4에 도시된 (b)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 화학 반응식이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.In addition, as shown in (b) of FIG. 4, if the character information extracted from the document in electronic file format is a chemical reaction formula, the control unit (130) can match the character information extracted from the document in electronic file format with the file name and plasma process information of the document in electronic file format received by the control unit (130) and store it in the storage unit (120).

도 4에 도시된 (c)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 초기값이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 저장부(120)에 저장할 수 있다.As shown in (c) of FIG. 4, if the character information extracted from the document in electronic file format is the initial value, the control unit (130) can store the character information extracted from the document in electronic file format together with the file name of the document in electronic file format received by the control unit (130), plasma process information, and storage unit (120).

한편, 도 4에 도시된 (d)와 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보가 플라즈마 시뮬레이션의 조건이라면, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 제어부(130)에서 수신한 전자 파일 형식의 문서의 파일 명, 플라즈마 공정 정보와 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.Meanwhile, as shown in (d) of FIG. 4, if the character information extracted from the document in electronic file format is a condition of plasma simulation, the control unit (130) can match the character information extracted from the document in electronic file format with the file name and plasma process information of the document in electronic file format received by the control unit (130) and store it in the storage unit (120).

다만, 도 4와 함께 설명하는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 저장하는 방법은 일 예시일 뿐, 다양하게 변경 가능하다.However, the method of storing character information related to the plasma process described with Fig. 4 is only an example and can be changed in various ways.

예를 들어, 제어부(130)는, 도 5에 도시될 것과 같이, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들을 서로 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.For example, the control unit (130) can match character information extracted from a document in an electronic file format and store it in the storage unit (120), as shown in FIG. 5.

보다 구체적으로, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 적어도 하나가 화학반응식과 관련된 문자 정보일 경우, 제어부(130)는, 화학반응식과 관련된 문자 정보에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 반응 계수와 관련된 문자 정보를 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.More specifically, if at least one of the character information extracted from the document in the electronic file format is character information related to a chemical reaction formula, the control unit (130) can match character information related to a reaction coefficient among the character information extracted from the document in the electronic file format to the character information related to the chemical reaction formula and store the matched character information in the storage unit (120).

예를 들어, 도 3b와 같이 문서에는 화학반응식과 관련된 반응 계수 A, B, C가 존재할 수 있다. 상기 반응계수는 Arrhenius form을 따르며, 이 경우에는 A, B, 그리고 C의 값이 제시된다. 제어부는 상기 반응계수의 A, B, 그리고 C의 값을 문서로부터 추출할 수 있다. 이 때에, 상기 화학 반응식과 반응 계수는 서로 매칭되어 표 2와 같이 데이터베이스화될 수 있다.For example, as in Fig. 3b, a document may have reaction coefficients A, B, and C related to a chemical reaction formula. The reaction coefficients follow the Arrhenius form, and in this case, the values of A, B, and C are provided. The control unit can extract the values of A, B, and C of the reaction coefficients from the document. At this time, the chemical reaction formula and the reaction coefficients can be matched with each other and stored in a database as in Table 2.

예를 들어, 표 2를 참고하면, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 적어도 하나가 화학반응식과 관련된 문자 정보(예를 들어,

)일 경우, 제어부(130)는, 상기 화학반응식과 관련된 문자 정보에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 반응 계수 A와 관련된 문자 정보(예를 들어, 3.06e-02) 또는 반응 계수 B와 관련된 문자 정보(예를 들어, -1.3) 또는 반응 계수 C와 관련된 문자 정보(예를 들어, 184820.0) 중 적어도 하나를 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다.For example, referring to Table 2, at least one of the character information extracted from the document in electronic file format is character information related to a chemical reaction formula (e.g.,

), the control unit (130) can match at least one of the character information related to the reaction coefficient A (e.g., 3.06e-02), the character information related to the reaction coefficient B (e.g., -1.3), or the character information related to the reaction coefficient C (e.g., 184820.0) among the character information extracted from the document in the electronic file format to the character information related to the chemical reaction formula and store the result in the storage unit (120).

또한, 도 3b에 도시된 바와 같이, 문서에는 반응 계수가 전자 온도에 대한 함수 형태로 제공될 수 있으며, 이 경우에 제어부는 함수를 추출하여 반응 계수를 산출할 수 있다. 즉, 반응계수가 임의의 전자 온도로 표현된 경우, 제어부(130)는 상기 저장부(120)에 전자 온도에 대한 방정식 전체를 추출하여 저장할 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 3b, the document may provide the reaction coefficient in the form of a function for the electron temperature, in which case the control unit may extract the function to calculate the reaction coefficient. That is, if the reaction coefficient is expressed in terms of an arbitrary electron temperature, the control unit (130) may extract and store the entire equation for the electron temperature in the storage unit (120).

상기 제어부(130)는 반응계수의 수치를 추출하여 저장한 경우와, 방정식 전체를 추출하여 저장한 경우를 서로 구분하여, 사용자에게 저장의 기준에 대하여 알려줄 수 있다.The above control unit (130) can distinguish between cases where the numerical value of the reaction coefficient is extracted and stored and cases where the entire equation is extracted and stored, and can inform the user of the storage criteria.

다른 예로서, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 적어도 하나가 전자(예를 들어, e 또는 E)가 포함된 반응과 관련된 문자 정보일 경우, 제어부(130)는, 상기 전자가 포함된 반응과 관련된 문자 정보에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 상기 전자의 손실에너지와 관련된 문자 정보를 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다. 이를 위하여, 상기 손실에너지와 관련된 정보가 문서로부터 추출될 수 있다. 이때, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 전자 손실에너지와 관련된 문자 정보가 없는 경우, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 수신할 수 있도록 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)을 제어할 수 있다.As another example, if at least one of the character information extracted from the document in the electronic file format is character information related to a reaction including electrons (e.g., e or E), the control unit (130) can match the character information related to the loss energy of the electrons among the character information extracted from the document in the electronic file format with the character information related to the reaction including the electrons and store the matched character information in the storage unit (120). To this end, the information related to the loss energy can be extracted from the document. At this time, if there is no character information related to electron loss energy among the character information extracted from the document in the electronic file format, the control unit (130) can control the plasma simulation system (100) so that it can receive from an electronic device related to plasma simulation.

즉, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 간의 연관성을 파악하고, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 연관된 문자 정보를 서로 매칭시켜 저장부(120)에 저장할 수 있다. 이 때에, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 서로 매칭시킬 문자 정보가 없는 경우, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 수신할 수 있도록 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)을 제어할 수 있다. 이를 위하여, 문자 정보를 없는 경우에, 입력이 필요하다는 정보를 디스플레이 등을 이용하여 출력하고, 사용자로부터 상기 문자 정보에 해당하는 입력을 유도할 수 있다.That is, the control unit (130) can determine the correlation between character information extracted from a document in an electronic file format, and store related character information among the character information extracted from the document in an electronic file format in the storage unit (120) by matching them with each other. At this time, if there is no character information to be matched with each other among the character information extracted from the document in an electronic file format, the plasma simulation system (100) can be controlled so that it can be received from an electronic device related to plasma simulation. To this end, if there is no character information, information indicating that input is required can be output using a display or the like, and an input corresponding to the character information can be induced from the user.

상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 문서에서 화학반응식 등의 정보를 추출해서 시뮬레이터에서 읽을 수 있는 정보를 데이터베이스로 구축할 수 있다. 이 때에, 상기 추출한 정보들은 시뮬레이터에 입력되는 파일로 작성될 수 있다. 상기 파일에는 추출한 정보뿐만 아니라, 상기 문서에서 참고를 한 문헌에서 정보를 추출하여 추가로 작성될 수 있으며, 기타 정보들도 저장될 수 있다.As described above, in the present invention, information such as chemical reaction formulas can be extracted from a document and information that can be read by a simulator can be constructed as a database. At this time, the extracted information can be written as a file that is input to the simulator. In addition to the extracted information, information can be additionally written by extracting information from literature referenced in the document, and other information can also be stored in the file.

상기 시뮬레이터에 입력되는 파일은, 화학반응식을 추출하여 작성하며, 이는 시뮬레이션 계산에서 반드시 필요하지는 않아도 반응식의 구분을 위해 필요하다. 실제 계산에서는 reactants와 products에 표기된 정보로 계산이 이루어지지만, 이러한 reactants와 products만 표기해 놓으면 어떤 반응이 고려되었는지 직관적으로 구분하는 것이 용이하지 않으며, 화학반응식을 함께 추출하여 파일로 작성하여 이러한 문제를 해결할 수 있다.The file input to the above simulator is written by extracting chemical reaction formulas, which are not necessarily required for simulation calculations, but are necessary for distinguishing reaction formulas. In actual calculations, calculations are made with the information indicated in reactants and products, but if only these reactants and products are indicated, it is not easy to intuitively distinguish which reactions are considered, and this problem can be solved by extracting chemical reaction formulas together and writing them as a file.

나아가, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 간의 연관성을 파악하기 위해, 통신부(110)를 통해 외부 서버(140)와 데이터를 송수신할 수 있다.Furthermore, the control unit (130) can transmit and receive data with an external server (140) through the communication unit (110) to determine the correlation between character information extracted from a document in electronic file format.

이때, 외부서버(140)는, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 정보를 학습한 인공지능 모델을 탑재하고, 상기 인공지능 모델을 이용하여 상기 연관성 등의 정보를 도출하는 인공지능 서비스를 제공할 수 있다. 상기 인공지능 모델의 학습을 위하여 상기 제어부(130)는 상기 통신부(110)를 통해 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 상기 외부서버(140)로 전송할 수 있다.At this time, the external server (140) can provide an artificial intelligence service that is equipped with an artificial intelligence model that has learned information related to plasma simulation and derives information such as the correlation using the artificial intelligence model. In order to learn the artificial intelligence model, the control unit (130) can transmit character information extracted from a document in an electronic file format to the external server (140) through the communication unit (110).

예를 들어, 제어부(130)는, 통신부(110)를 통해 위에서 상술한 외부 서버(140)에 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 전송하고, 외부 서버(140)는 전송된 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 학습하여, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 연관된 문자 정보를 매칭시켜 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.For example, the control unit (130) transmits character information extracted from a document in an electronic file format to the external server (140) described above through the communication unit (110), and the external server (140) learns the character information extracted from the transmitted document in an electronic file format, matches related character information among the character information extracted from the document in an electronic file format, and transmits the character information to the control unit (130) through the communication unit (110) of the plasma simulation system (100).

한편, 본 발명에 따른, 상기 문자 정보로 추출하는 단계(S220)를 외부 서버(140)에서 수행할 수 있다.Meanwhile, the step (S220) of extracting the character information according to the present invention can be performed in an external server (140).

보다 구체적으로, 제어부(130)는, 문자 인식 기법으로 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출하기 위해, 통신부(110)를 통해 외부 서버(140)와 데이터를 송수신할 수 있다.More specifically, the control unit (130) can transmit and receive data to and from an external server (140) via the communication unit (110) to extract some of the information related to the plasma process from an electronic file format document as character information using a character recognition technique.

이때, 외부 서버(140)는, 머신 러닝 기반의 문자 인식 기법을 사용하는 인공지능 서비스를 제공할 수 있다.At this time, the external server (140) can provide an artificial intelligence service using a machine learning-based character recognition technique.

예를 들어, 제어부(130)는 통신부(110)를 통해, 위에서 상술한 외부 서버(140)에 전자 파일 형식의 문서를 전송하고, 외부 서버(140)는 전송받은 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 일부를 문자 정보로 추출하여 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.For example, the control unit (130) may transmit a document in an electronic file format to the external server (140) described above through the communication unit (110), and the external server (140) may extract some of the information related to the plasma process from the received electronic file format document as character information and transmit the extracted information to the control unit (130) through the communication unit (110) of the plasma simulation system (100).

나아가, 외부 서버(140)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출된 문자 정보들 간의 연관성을 파악하고, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보들 중 연관된 문자 정보를 서로 매칭시켜 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.Furthermore, the external server (140) can identify the correlation between character information extracted from a document in an electronic file format, match related character information among the character information extracted from the document in an electronic file format, and transmit the matched character information to the control unit (130) through the communication unit (110) of the plasma simulation system (100).

한편, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 과정에 대한 정보를 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 화면에 출력할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) can output information on the process of extracting at least some of the information related to the plasma process from a document in an electronic file format as character information to a screen provided by the plasma simulation system (100) according to the present invention.

예를 들어, 도 7의 (a)에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 상세 페이지 영역(720)에, 안내 문구(예를 들어, “플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고 있습니다”)와 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하는 과정의 진행 정도를 출력할 수 있다.For example, as illustrated in (a) of FIG. 7, the control unit (130) may output, in a detailed page area (720) provided by the plasma simulation system (100) according to the present invention, a guidance text (e.g., “Extracting text information related to the plasma process”) and the progress of the process of extracting text information related to the plasma process from a document in an electronic file format.

위에서 살펴본 것과 같이, 제어부(130)가 전자 파일 형식의 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출한 경우, 본 발명에서는 추출된 문자 정보를 이용하여 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 과정이 진행될 수 있다(S230).As discussed above, when the control unit (130) extracts character information related to a plasma process from a document in an electronic file format, in the present invention, a process of selecting at least one simulation factor data that affects the result of the plasma simulation can be performed using the extracted character information (S230).

여기서, 플라즈마 시뮬레이션 결과에 영향을 주는 시뮬레이션 인자 데이터에는, 플라즈마 공정과 관련된 화학식, 화학반응식, 화학식에 사용되는 종의 기본 질량, 전하량 등이 포함될 수 있다.Here, simulation factor data affecting the plasma simulation results may include chemical formulas related to the plasma process, chemical reaction formulas, elementary masses of species used in the chemical formulas, and charge amounts.

시뮬레이션 인자 데이터는 제어부(130)가 수신한 문서에서 추출한 화학식 단위의 문자 정보를 중 일부를 선정한 것으로, 제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 이용하여 시뮬레이션 인자 데이터를 선정할 수 있다.The simulation factor data is a portion of the character information of chemical formula units extracted from a document received by the control unit (130), and the control unit (130) can select the simulation factor data using the character information related to the plasma process stored in the storage unit (120).

이 때에, 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계(S230)는, 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술(Natural language processing; NLP)을 이용하여, 상기 추출된 문자 정보 중 적어도 하나 이상을 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정할 수 있다.At this time, the step of selecting the simulation factor data (S230) may select at least one of the extracted character information as the simulation factor data using deep learning-based natural language processing (NLP) technology.

이 경우에, 제어부(130)는 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하기 위해, 통신부(110)를 통해 외부 서버(140)와 데이터를 송수신할 수 있다.In this case, the control unit (130) can transmit and receive data with an external server (140) through the communication unit (110) to select simulation factor data.

외부 서버(140)는 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술을 가진 인공지능 서비스를 제공할 수 있다. 여기서 자연어 처리 기술이란, 인간의 언어 현상을 컴퓨터와 같은 기계를 이용해서 묘사할 수 있도록 연구하고 이를 구현하는 인공지능의 주요 분야 중 하나이다.An external server (140) can provide an artificial intelligence service with a deep learning-based natural language processing technology. Here, natural language processing technology is one of the main fields of artificial intelligence that studies and implements human language phenomena using machines such as computers to describe them.

예를 들어, 제어부(130)은 통신부(110)를 통해 위에 상술한 외부 서버(140)에 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 전송하고, 외부 서버(140)는 전송받은 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 적어도 하나를 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하여 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)의 통신부(110)를 통해 제어부(130)로 전송할 수 있다.For example, the control unit (130) may transmit text information related to a plasma process extracted from a document to the external server (140) described above through the communication unit (110), and the external server (140) may select at least one of the transmitted text information related to a plasma process as simulation factor data that affects the result of a plasma simulation and transmit it to the control unit (130) through the communication unit (110) of the plasma simulation system (100).

즉, 제어부(130)는 외부 서버(140)에서 제공하는 딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술을 이용하여 전자 파일 형식의 문서에서 추출된 화학식 단위의 문자 정보 중 적어도 하나를 플라즈마 시뮬레이션 결과에 영향을 주는 시뮬레이션 인자 데이터로 선정할 수 있다.That is, the control unit (130) can select at least one of the character information of chemical formula units extracted from a document in electronic file format as simulation factor data that affects the plasma simulation result by using a deep learning-based natural language processing technology provided by an external server (140).

한편, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서로부터 추출된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 적어도 일부를 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여 저장부(120)에 저장할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) may select at least some of the character information related to the plasma process extracted from a document in an electronic file format as at least one simulation factor data affecting the result of the plasma simulation and store it in the storage unit (120).

예를 들어, 도 6에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 적어도 일부를 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여 저장부(120)에 저장할 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 6, the control unit (130) may select at least some of the character information related to the plasma process extracted from a document in an electronic file format as at least one simulation factor data affecting the result of the plasma simulation and store it in the storage unit (120).

도 6에 도시된 것을 살펴보면, 제어부(130)는 수신한 문서의 종류, 플라즈마 공정 정보, 화학식, 화학반응식, 초기값, 조건을 매칭시켜 시뮬레이션 인자 데이터로 저장할 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터 중 적어도 하나가 상기 전자 문서로부터 추출되어, 상기 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정될 수 있다. 다만, 도 6과 함께 설명하는 시뮬레이션 인자 데이터의 구성은 일 예시일 뿐, 다양하게 변경될 수 있다.As shown in FIG. 6, the control unit (130) can match the type of the received document, plasma process information, chemical formula, chemical reaction formula, initial value, and condition and store them as simulation factor data. As a more specific example, at least one of the chemical reaction formula, the types of gas included in the chemical reaction formula, the reaction coefficient of the chemical reaction formula, and the density data of the types can be extracted from the electronic document and selected as the factor data of the simulation. However, the configuration of the simulation factor data described with FIG. 6 is only an example and can be changed in various ways.

한편, 제어부(130)는, 추출한 문자 정보를 이용하여 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 과정에 대한 정보를 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 화면에 출력할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) can output information on the process of selecting at least one simulation factor data that affects the result of the plasma simulation using the extracted character information to the screen provided by the plasma simulation system (100) according to the present invention.

예를 들어, 도 7의 (b)에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 시스템(100)이 제공하는 상세 페이지 영역(730)에, 안내 문구(예를 들어, “플라즈마 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하고 있습니다.”)와 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 과정의 진행 정도를 출력할 수 있다.For example, as illustrated in (b) of FIG. 7, the control unit (130) can output a guidance text (e.g., “Plasma simulation factor data is being selected”) and the progress of the process of selecting simulation factor data in the detailed page area (730) provided by the plasma simulation system (100) according to the present invention.

위에서 살펴본 것과 같이, 제어부(130)가 시뮬레이션 인자 데이터를 선정한 경우, 본 발명에서는, 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 과정이 진행될 수 있다(S240).As examined above, when the control unit (130) selects simulation factor data, in the present invention, a process of performing plasma simulation using the selected simulation factor data can be performed (S240).

이 경우에, 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계(S240)는, 상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련 전자기기 중 적어도 하나에 상기 생성된 시뮬레이션의 인자 데이터를 제공하고, 상기 제공된 시뮬레이션의 인자 데이터 중 적어도 하나 이상을 선택하는 입력 신호를 수신하는 단계를 포함할 수 있다.In this case, the step of performing the plasma simulation (S240) may include the step of providing factor data of the generated simulation to at least one of the electronic devices related to the plasma simulation, and receiving an input signal for selecting at least one of the factor data of the provided simulation.

예를 들어, 도 7의 (c)에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 상세 페이지 영역(740)에 제공되는 기능 아이콘들(741, 742, 743) 중 적어도 하나(예를 들어, “바로 적용”, 742)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 본 발명에 따라 선정된 시뮬레이터 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다.For example, as illustrated in (c) of FIG. 7, when at least one of the function icons (741, 742, 743) provided in the detailed page area (740) from an electronic device related to plasma simulation (e.g., “Apply Now”, 742) is selected, the control unit (130) can perform plasma simulation using the simulator factor data selected according to the present invention.

반면, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 상세 페이지(740)상에 제공되는 기능 아이콘들(741, 742, 743) 중 적어도 하나(예를 들어, “취소”, 743)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 과정을 종료할 수 있다.On the other hand, if at least one of the function icons (741, 742, 743) provided on the detailed page (740) from an electronic device related to plasma simulation (e.g., “Cancel”, 743) is selected, the control unit (130) can terminate the process of performing plasma simulation using the selected simulation factor data.

나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 상세 페이지(740)상에 제공되는 기능 아이콘들(741, 742, 743) 중 적어도 하나(예를 들어, “직접 선정”, 741)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 시뮬레이션 인자 데이터를 사용자가 직접 선정할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.Furthermore, when at least one of the function icons (741, 742, 743) provided on the detailed page (740) from an electronic device related to plasma simulation (e.g., “direct selection”, 741) is selected, the control unit (130) may provide a function that allows a user to directly select simulation factor data from a document in an electronic file format.

예를 들어, 제어부(130)는, 도 8에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보에서 사용자가 시뮬레이션 인자 데이터를 직접 선정할 수 있는 기능을 제공하는 선택 페이지 영역(800)를 출력할 수 있다.For example, the control unit (130) may output a selection page area (800) that provides a function for a user to directly select simulation factor data from character information extracted from a document in an electronic file format according to the present invention, as illustrated in FIG. 8.

선택 페이지 영역(800)에는 제1 영역 내지 제4 영역(810, 820, 830, 840)이 일 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.In the selection page area (800), the first to fourth areas (810, 820, 830, 840) can be arranged in a parallel manner along one direction.

예를 들어, 제1 영역(810)은, 제2 영역(820) 상단에 배치되고, 제2 영역(820)은, 제3 영역(830) 상단에 배치되고, 제3 영역(830)은 제4 영역(840) 상단에 배치될 수 있다.For example, the first region (810) may be positioned on top of the second region (820), the second region (820) may be positioned on top of the third region (830), and the third region (830) may be positioned on top of the fourth region (840).

이러한 선택 페이지 영역(800)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.The configuration of this selection page area (800) is only an example and can be changed in various ways.

나아가, 제2 영역(820)에 포함된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 및 제3 영역은 서로 관련(또는 연계)되도록 이루어질 수 있다.Furthermore, the plurality of tabs (821, 822, 823, 824) included in the second area (820) and the third area can be configured to be related (or linked) to each other.

이하에서는, 도 8과 함께, 제1 영역(810) 내지 제4 영역(840)의 연관성을 설명하도록 한다. 다만, 도 8과 함께 설명하는 제1 영역(810) 내지 제4 영역(840)의 구성은 일 예시일 뿐, 동일한 기능을 수행하는 범위 내에서 다양하게 변경 가능하다.Hereinafter, the relationship between the first area (810) to the fourth area (840) will be described together with Fig. 8. However, the configuration of the first area (810) to the fourth area (840) described together with Fig. 8 is only an example, and may be changed in various ways within the scope of performing the same function.

먼저, 도 8에 도시된 것과 같이, 제1 영역(810)에는 선택 페이지 영역(800)에서 제공되는 기능의 안내 문구(예를 들어, “시뮬레이션에 입력할 내용을 선택해 주세요”)가 출력될 수 있다.First, as illustrated in FIG. 8, a guide text for a function provided in a selection page area (800) (e.g., “Please select the content to be entered into the simulation”) may be output in the first area (810).

다음으로, 도 8에 도시된 것과 같이, 제2 영역(820)에는, 선택 페이지 영역(800)에서 제공 가능한 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보의 분류에 따른 복수의 탭(821, 822, 823, 824)이 표시될 수 있다.Next, as illustrated in FIG. 8, in the second area (820), a plurality of tabs (821, 822, 823, 824) may be displayed according to the classification of character information extracted from a document in an electronic file format that can be provided in the selection page area (800).

복수의 탭(821, 822, 823, 824) 각각에는, 도 4에 도시된 것과 같이, 저장부(120)에 저장된 추출된 문자 정보의 분류가 매칭되어 있을 수 있다.Each of the plurality of tabs (821, 822, 823, 824) may have a classification of extracted character information stored in the storage unit (120) matched, as illustrated in FIG. 4.

한편, 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 어느 하나에는 기본값(또는 디폴트(default)값)이 설정되어 있을 수 있다.Meanwhile, any one of the multiple tabs (821, 822, 823, 824) may have a default value (or default value) set.

제어부(130)는 선택 페이지 영역(800)을 출력할 때, 기본값으로 설정된 특정 탭(예를 들어, 제1 탭 “화학식”, 821)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(400)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.When outputting the selection page area (800), the control unit (130) can output character information (400) stored in the storage unit (120) corresponding to a specific tab set as a default (e.g., the first tab “chemical formula”, 821) to the third area (830).

나아가, 제3 영역(830)에서는, 기본값으로 설정된 특정 탭(제1 탭, 821)과는 다른 탭(예를 들어, 제2 탭 “화학 반응식”, 822)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(410)가 포함될 수 있다.Furthermore, in the third area (830), character information (410) stored in the storage unit (120) may be included corresponding to a tab (e.g., the second tab “chemical reaction formula”, 822) different from a specific tab (the first tab, 821) set as the default.

또한, 제3 영역(830)에서는, 기본값으로 설정된 특정 탭(제1 탭, 821)과는 다른 탭(예를 들어, 제3 탭 “초기값”, 823)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(420)가 포함될 수 있다.Additionally, in the third area (830), character information (420) stored in the storage unit (120) may be included corresponding to a tab (e.g., the third tab “initial value”, 823) different from a specific tab (first tab, 821) set as the default.

제3 영역(830)에서는, 기본값으로 설정된 특정 탭(제1 탭, 821)과는 다른 탭(예를 들어, 제4 탭 “조건”, 824)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(430)가 포함될 수 있다.In the third area (830), character information (430) stored in the storage unit (120) may be included corresponding to a tab (e.g., the fourth tab “Condition”, 824) different from a specific tab (the first tab, 821) set as the default.

한편, 제어부(130)는, 제3 영역(830)에 제1 탭(821)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(400)가 포함되어 있는 상태에서, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(820)에 출력된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 제2 탭(822)이 선택되면, 선택된 제2 탭(822)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자정보(410)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) may output, in the third area (830), character information (400) stored in the storage unit (120) corresponding to the first tab (821), if the second tab (822) is selected from among a plurality of tabs (821, 822, 823, 824) output from an electronic device related to plasma simulation to the second area (820), character information (410) stored in the storage unit (120) corresponding to the selected second tab (822) may be output to the third area (830).

제어부(130)는, 제3 영역(830)에 제2 탭(822)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(410)가 포함되어 있는 상태에서, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(820)에 출력된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 제3 탭(823)이 선택되면, 선택된 제3 탭(823)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(420)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.The control unit (130) may output the character information (410) stored in the storage unit (120) corresponding to the second tab (822) in the third area (830) to the third area (830), if the third tab (823) is selected from among a plurality of tabs (821, 822, 823, 824) output from an electronic device related to plasma simulation to the second area (820). The control unit may output the character information (420) stored in the storage unit (120) corresponding to the selected third tab (823) to the third area (830).

제어부(130)는, 제3 영역(830)에 제3 탭(822)에 대응되어 저장된 문자 정보(420)가 포함되어 있는 상태에서, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(820)에 출력된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 제4 탭(824)이 선택되면, 선택된 제4 탭(824)에 대응되어 저장부(120)에 저장된 문자 정보(430)를 제3 영역(830)에 출력할 수 있다.The control unit (130) may output, in the third area (830), character information (420) stored corresponding to the third tab (822), if the fourth tab (824) among the plurality of tabs (821, 822, 823, 824) output from an electronic device related to plasma simulation to the second area (820) is selected, character information (430) stored in the storage unit (120) corresponding to the selected fourth tab (824) to the third area (830).

즉, 제3 영역(830)에는, 제2 영역(820)에 포함된 복수의 탭(821, 822, 823, 824) 중 어느 하나와 관련되도록 이루어질 수 있다.That is, the third area (830) can be configured to be related to any one of the multiple tabs (821, 822, 823, 824) included in the second area (820).

나아가, 제3 영역(830)에 포함된 문자 정보는 복수의 선택이 가능한 체크 리스트로 출력할 수 있다.Furthermore, the character information included in the third area (830) can be output as a check list with multiple selections possible.

제어부(130)는 제3 영역(830)에 포함된 문자 정보 중 제어부(130)에 의해 선정된 시뮬레이션 인자 데이터(600)가 존재하는 경우, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함된 문자 정보는 선택되어 있고, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함되지 않은 문자 정보는 선택되지 않은 체크 리스트를 출력할 수 있다.The control unit (130) can output a check list in which, if simulation factor data (600) selected by the control unit (130) exists among the character information included in the third area (830), the character information included in the simulation factor data is selected and the character information not included in the simulation factor data is not selected.

한편, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제3 영역(830)에 포함된 복수의 선택이 가능한 체크 리스트에서 선택되지 않은 것으로 표시된 문자 정보가 선택되면, 선택된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 선택한 것으로 출력할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) can output the character information related to the selected plasma process as selected when the character information that is not selected from the check list with multiple selections included in the third area (830) is selected from an electronic device related to plasma simulation.

반면, 제어부(130)는 사용자가 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제3 영역(830)에 포함된 복수의 선택이 가능한 체크 리스트에서 선택된 것으로 표시된 문자 정보가 선택되면, 선택된 문자 정보를 선택되지 않은 것으로 출력할 수 있다.On the other hand, the control unit (130) can output the selected character information as not selected when the character information is selected from a check list with multiple selections included in the third area (830) from an electronic device related to plasma simulation.

다음으로, 도 8에 도시된 것과 같이, 제4 영역(840)에는, 선택 페이지 영역(800)에서 제공되는 기능 아이콘들(841, 842, 843)이 포함될 수 있다.Next, as illustrated in FIG. 8, the fourth area (840) may include function icons (841, 842, 843) provided in the selection page area (800).

제어부(130)는 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “확인”, 842)가 선택되면, 본 발명에 따라 선택 페이지 영역(800)에서 선택된 시뮬레이터 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행할 수 있다.The control unit (130) can perform plasma simulation using the simulator factor data selected in the selection page area (800) according to the present invention when at least one of the function icons (841, 842, 843) included in the fourth area (840) (e.g., “Confirmation”, 842) is selected.

나아가, 제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션 수행에 사용한 시뮬레이션 인자 데이터를 저장부(120)에 저장할 수 있다.Furthermore, the control unit (130) can store simulation factor data used to perform plasma simulation in the storage unit (120).

한편, 제어부(130)는 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “취소”, 843)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 직접 선택한 시뮬레이션 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 과정을 종료할 수 있다.Meanwhile, if at least one of the function icons (841, 842, 843) included in the fourth area (840) (e.g., “Cancel”, 843) is selected, the control unit (130) can terminate the process of performing plasma simulation using the directly selected simulation factor data.

나아가, 제어부(130)는 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “문서 보기”, 841)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서를 확인할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.Furthermore, when at least one of the function icons (841, 842, 843) included in the fourth area (840) (e.g., “View document”, 841) is selected, the control unit (130) can provide a function for checking a document in an electronic file format.

제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제4 영역(840)에 포함된 기능 아이콘들(841, 842, 843) 중 적어도 하나(예를 들어, “문서 보기”, 841)가 선택되면, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)가 본 발명에 따라 수신한 전자 파일 형식의 문서와 해당 문서로부터 추출한 문자 정보를 제공하는 문서 보기 페이지 영역(900)를 출력할 수 있다.When at least one of the function icons (841, 842, 843) included in the fourth area (840) from an electronic device related to plasma simulation (e.g., “Document View”, 841) is selected, the control unit (130) can output a document view page area (900) that provides a document in an electronic file format received according to the present invention and character information extracted from the document, as illustrated in FIG. 9A.

문서 보기 페이지 영역(900)에는 제1 영역 내지 제4 영역(910, 920, 930, 940)이 방향과 상관없이 배치될 수 있다.In the document viewing page area (900), the first to fourth areas (910, 920, 930, 940) can be arranged regardless of direction.

이러한 선택 페이지 영역(900)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.The configuration of this selection page area (900) is only an example and can be changed in various ways.

예를 들어, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제1 영역(910)에는 문서 보기 페이지 영역(900)에서 제공되는 기능의 안내 문구(예를 들어, “시뮬레이션에 입력할 내용을 선택해 주세요”)가 출력될 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 9a, a guide text for a function provided in a document view page area (900) (e.g., “Please select the content to input into the simulation”) may be output in the first area (910).

다음으로, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제2 영역(920)에는, 문서 보기 페이지 영역(900)에서 제공 가능한 전자 파일 형식의 문서(922)를 출력할 수 있다.Next, as illustrated in FIG. 9a, in the second area (920), a document (922) in an electronic file format that can be provided in the document viewing page area (900) can be output.

여기서, 제어부(130)는, 전자 파일 형식의 문서(922)을 출력할 때, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 표시(예를 들어, 박스, 925)하도록 출력할 수 있다.Here, the control unit (130) can output character information extracted from the document in electronic file format (922) when outputting the document in electronic file format (e.g., box 925).

나아가, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 시뮬레이션 인자 데이터로 선정된 문자 정보는 표시를 다르게 하여 출력할 수 있다.Furthermore, the control unit (130) can output character information selected as simulation factor data among character information extracted from a document in electronic file format with a different display.

예를 들어, 도 9a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 전자 파일 형식의 문서(922)를 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보 중 시뮬레이션 인자 데이터로 선정된 문자 정보(예를 들어, 923, 924)를 다른 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보(예를 들어, 925)와 다르게 표시되도록 출력할 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 9a, the control unit (130) can output a document (922) in an electronic file format so that character information (e.g., 923, 924) selected as simulation factor data among character information extracted from the document in an electronic file format is displayed differently from character information (e.g., 925) related to another plasma process.

여기서, 다르게 표시되는 것은, 색이 다른 박스로 표시하는 것을 포함할 수 있다. 다만, 도 9a와 함께 설명하는 시뮬레이션 인자 데이터로 선정된 문자 정보를 표시하는 방법은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.Here, what is displayed differently may include displaying it as a box of a different color. However, the method of displaying the character information selected as the simulation factor data described with Fig. 9a is only an example and can be changed in various ways.

한편, 제2 영역(920)에는 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 문자 정보를 수정할 수 있는 기능 아이콘(예를 들어, “편집”, 921)이 포함될 수 있다.Meanwhile, the second area (920) may include a function icon (e.g., “Edit”, 921) that can modify character information extracted from a document in electronic file format.

제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(920)에 포함된 기능 아이콘(921)이 선택되면, 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 편집할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.The control unit (130) can provide a function for editing character information related to a plasma process extracted from a document in an electronic file format when a function icon (921) included in a second area (920) is selected from an electronic device related to plasma simulation.

이 경우에, 본 발명의 플라즈마 시뮬레이션 방법에서는 상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 전자 문서에 포함된 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 전자 문서에서 특정 범위의 블록을 지정하면, 상기 지정된 블록 내에서 상기 화학반응식의 오류 여부를 점검할 수 있다.In this case, the plasma simulation method of the present invention may include a step of checking for errors in the chemical reaction formula included in the electronic document using the extracted character information. For example, if a specific range of blocks is designated in the electronic document, it is possible to check for errors in the chemical reaction formula within the designated block.

이러한 블록의 지정은 본 예시와 같은 문자 정보를 편집할 수 있는 기능에서 제공될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 전자 파일을 업로드하는 과정 또는 업로드 후의 과정의 어디에서도 이러한 블록 지정이 가능하다.Although the designation of such blocks may be provided in a function capable of editing character information such as in this example, the present invention is not limited thereto, and such block designation is possible at any time during the process of uploading an electronic file or after the process of uploading.

한편, 제2 영역(920)에 포함된 전자 파일 형식의 문서(922)는 복수의 페이지를 포함할 수 있으며, 복수의 페이지 중 제1 페이지는 기본값(또는 디폴트(default)값)으로 설정되어 있을 수 있다.Meanwhile, the document (922) in electronic file format included in the second area (920) may include multiple pages, and the first page among the multiple pages may be set to a default value (or default value).

제어부(130)는 문서 보기 페이지 영역(900)을 출력할 때, 기본값으로 설정된 전자 파일 형식의 문서의 제1 페이지(예를 들어, 922)에 포함된 문자 정보를 제3 영역(930)에 출력할 수 있다.When outputting the document viewing page area (900), the control unit (130) can output character information included in the first page (e.g., 922) of a document in an electronic file format set as the default value to the third area (930).

나아가, 제3 영역(930)에는 기본값으로 설정된 전자 파일 형식의 문서의 제1 페이지(922)와는 다른 페이지에 포함되는 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 제3 영역(930)에 출력할 수 있다.Furthermore, in the third area (930), character information related to a plasma process included in a page other than the first page (922) of a document in an electronic file format set as the default can be output in the third area (930).

나아가, 제3 영역(930)에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보는 복수의 선택이 가능한 체크 리스트로 출력할 수 있다.Furthermore, the text information related to the plasma process included in the third area (930) can be output as a check list with multiple selections possible.

제어부(130)는 제3 영역(930)에 포함된 문자 정보 중 제어부(130)에 의해 선정된 시뮬레이션 인자 데이터(600)가 존재하는 경우, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함된 문자 정보는 선택되어 있고, 시뮬레이션 인자 데이터에 포함되지 않은 문자 정보는 선택되지 않은 체크 리스트를 출력할 수 있다.The control unit (130) can output a check list in which, if simulation factor data (600) selected by the control unit (130) exists among the character information included in the third area (930), the character information included in the simulation factor data is selected and the character information not included in the simulation factor data is not selected.

한편, 제어부(130)는, 도 9b에 도시된 것과 같이, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제3 영역(950)에 포함된 복수의 선택이 가능한 체크 리스트에서, 선택되지 않은 것으로 표시된 문자 정보가 선택되면, 선택된 문자 정보(953)를 선택한 것으로 체크 리스트에 출력할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130), as shown in FIG. 9b, when character information that is marked as not selected is selected from a check list in which multiple selections are possible in the third area (950) from an electronic device related to plasma simulation, the control unit can output the selected character information (953) as selected in the check list.

다음으로, 도 9b에 도시된 것과 같이, 제4 영역(940)에는, 문서 보기 페이지 영역(900)에서 제공되는 기능 아이콘들(941, 942)이 포함될 수 있다.Next, as illustrated in FIG. 9b, the fourth area (940) may include function icons (941, 942) provided in the document view page area (900).

제어부(130)는 제4 영역(940)에 포함된 기능 아이콘들(941, 942) 중 적어도 하나(예를 들어, “이전”, 941)가 선택되는 경우, 제어부(130)는 문서 보기를 통해 전자 파일 형식의 문서에서 추출한 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보 중 시뮬레이션 인자 데이터를 선택하는 과정을 종료할 수 있다.When at least one of the function icons (941, 942) included in the fourth area (940) (e.g., “Previous”, 941) is selected, the control unit (130) can end the process of selecting simulation factor data among character information related to a plasma process extracted from a document in an electronic file format through a document view.

제어부(130)는 제4 영역(940)에 포함된 기능 아이콘들(941, 942) 중 적어도 하나(예를 들어, “적용”, 942)가 선택되면, 제어부(130)는 앞서 살펴본 도 8의 선택 페이지 영역(800)을 출력할 수 있다.When at least one of the function icons (941, 942) included in the fourth area (940) (e.g., “Apply”, 942) is selected, the control unit (130) can output the selection page area (800) of FIG. 8 as discussed above.

이때, 제어부(130)는, 본 발명에 따라 문서 보기 페이지 영역(900)에서 선택된 시뮬레이터 인자 데이터를 선택 페이지 영역(800)의 제3 영역(800)에 포함되게 출력할 수 있다.At this time, the control unit (130) can output the simulator factor data selected in the document viewing page area (900) according to the present invention to be included in the third area (800) of the selection page area (800).

한편, 제어부(130)는, 저장부(120)에 저장된 전자 파일 형식의 문서를 제공할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) can provide a document in electronic file format stored in the storage unit (120).

예를 들어, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 저장부(120)에 저장된 전자 파일 형식의 문서를 수신하기 위한 기능 아이콘(1001)이 선택되면, 저장부(120)에 저장된 전자 파일 형식의 문서 제공할 수 있는 문서 불러오기 페이지 영역(1000)를 출력할 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 10a, when a function icon (1001) for receiving a document in an electronic file format stored in a storage unit (120) from an electronic device related to plasma simulation is selected, the control unit (130) can output a document retrieval page area (1000) capable of providing a document in an electronic file format stored in the storage unit (120).

먼저, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제1 영역(1010)에는 문서 불러오기 페이지 영역(1000)에서 제공되는 기능의 안내 문구(예를 들어, “저장된 문서를 선택해주세요”)가 출력될 수 있다.First, as illustrated in FIG. 10a, a guidance text for a function provided in a document loading page area (1000) (e.g., “Please select a saved document”) may be output in the first area (1010).

다음으로, 도 10a에 도시된 것과 같이, 제2 영역(1020)에는 문서 불러오기 페이지 영역(1000)에서 제공하는 전자 파일 형식의 문서들이 출력할 수 있다.Next, as illustrated in FIG. 10a, documents in electronic file format provided in the document loading page area (1000) can be output in the second area (1020).

한편, 제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 제공하는 전자 파일 형식의 문서들을 제2 영역(1020)에 출력할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) can output documents in the form of electronic files stored in the storage unit (120) to the second area (1020).

나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(1020)에 포함된 전자 파일 형식의 문서 중 적어도 하나(예를 들어, “문서1”, 1021)가 선택되면, 선택된 전자 파일 형식의 문서를 사용하여 해당 전자 파일 형식의 문서에서 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 제공할 수 있다.Furthermore, when at least one of the documents in the electronic file format included in the second area (1020) (e.g., “document 1”, 1021) is selected from an electronic device related to plasma simulation, the control unit (130) can provide simulation factor data selected from the document in the electronic file format using the document in the selected electronic file format.

제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역(1020)에 포함된 전자 파일 형식의 문서 중 적어도 하나가 선택되면, 도 10b에 도시된 것과 같이, 시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)을 출력할 수 있다.The control unit (130) can output a simulation factor data selection page area (1030) as illustrated in FIG. 10b when at least one of the electronic file format documents included in the second area (1020) is selected from an electronic device related to plasma simulation.

시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)에는 제1 영역 내지 제3 영역(1040, 1050, 1060)이 일 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.In the simulation factor data selection page area (1030), the first area to the third area (1040, 1050, 1060) can be arranged in a parallel manner along one direction.

예를 들어, 제1 영역(1040)은, 제2 영역(1050) 상단에 배치되고, 제2 영역(1050)은 제3 영역(1060) 상단에 배치될 수 있다. 이러한 시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.For example, the first region (1040) may be placed on top of the second region (1050), and the second region (1050) may be placed on top of the third region (1060). This configuration of the simulation factor data selection page region (1030) is only an example and may be changed in various ways.

도 10b에 도시된 것과 같이, 제1 영역(1040)에는 안내 문구가 출력되고, 제2 영역(1050)에는 시뮬레이션 인자 데이터가 출력될 수 있다.As illustrated in Fig. 10b, a guidance text may be output in the first area (1040), and simulation factor data may be output in the second area (1050).

제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 선택된 전자 파일 형식의 문서(“문서1”, 1021)에 대응되는 시뮬레이션 인자 데이터를 제2 영역(1050)에 체크 리스트(1051)의 형태로 출력할 수 있다.The control unit (130) can output simulation factor data corresponding to a document in an electronic file format (“document 1”, 1021) selected from an electronic device related to plasma simulation stored in the storage unit (120) in the form of a check list (1051) to the second area (1050).

나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 시뮬레이션 인자 데이터(1051) 중 적어도 하나가 선택되면, 선택된 시뮬레이션 인자 데이터가 선택된 것으로 출력할 수 있다.Furthermore, when at least one of the simulation factor data (1051) is selected from an electronic device related to plasma simulation, the control unit (130) can output the selected simulation factor data as being selected.

한편, 제2 영역(1050)은 저장부(130)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터와 다른 시뮬레이션 인자 데이터를 선택하기 위한 기능 아이콘(예를 들어, “추가”, 1052)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the second area (1050) may include a function icon (e.g., “Add”, 1052) for selecting simulation factor data other than the simulation factor data stored in the storage unit (130).

제어부(130)는, 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 제2 영역에 포함된 기능 아이콘(1052)를 선택되면, 선택된 전자 파일 형식의 문서(“문서1”, 1021)에 포함된 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 시뮬레이션 인자 데이터로 선정할 수 있는 기능을 제공할 수 있다.The control unit (130) may provide a function to select at least some of the information related to the plasma process included in a document in the selected electronic file format (“document 1”, 1021) as simulation factor data when a function icon (1052) included in the second area is selected from an electronic device related to plasma simulation.

이러한 기능은 도 8, 도 9a 내지 도 9b와 함께 설명한 과정과 동일하게 진행될 수 있다.This function can be performed in the same manner as the process described with reference to FIGS. 8, 9a and 9b.

다음으로, 도 10b에 도시된 것과 같이, 제3 영역(1060)에는, 시뮬레이션 인자 데이터 선택 페이지 영역(1030)에서 제공되는 기능 아이콘들(1061, 1062)이 포함될 수 있다. 상기 기능 아이콘들(1061, 1062)은, 예를 들어, 본 발명에 따라 제2 영역 (1050)에서 선택된 시뮬레이션 인자 데이터를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 선택 아이콘(예를 들어, “확인”, 1061)과 시뮬레이션 인자 데이터를 선택하는 과정을 종료하는 선택 아이콘(예를 들어, “취소”, 1062) 등을 포함할 수 있다.Next, as illustrated in FIG. 10b, the third area (1060) may include function icons (1061, 1062) provided in the simulation factor data selection page area (1030). The function icons (1061, 1062) may include, for example, a selection icon (e.g., “OK”, 1061) for performing a plasma simulation using the simulation factor data selected in the second area (1050) according to the present invention, and a selection icon (e.g., “Cancel”, 1062) for terminating the process of selecting simulation factor data.

한편, 제어부(130)는, 도 11에 도시된 것과 같이, 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 제공할 수 있다.Meanwhile, the control unit (130) can provide simulation factor data stored in the storage unit (120), as illustrated in FIG. 11.

예를 들어, 도 11에 도시된 것과 같이, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 수신하기 위한 기능 아이콘(1001)이 선택되면, 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 제공할 수 있는 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)를 출력할 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 11, when a function icon (1001) for receiving simulation factor data stored in a storage unit (120) from an electronic device related to plasma simulation is selected, the control unit (130) can output a simulation factor data retrieval page area (1100) that can provide simulation factor data stored in the storage unit (120).

시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에는 제1 영역 내지 제3 영역(1110, 1120, 1130)이 일 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.In the simulation factor data loading page area (1100), first to third areas (1110, 1120, 1130) can be arranged in a parallel manner along one direction.

예를 들어, 제1 영역(1110)은, 제2 영역(1120) 상단에 배치되고, 제2 영역(1120)은 제3 영역(1130) 상단에 배치될 수 있다. 이러한 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)의 구성은 일 예시에 불과하여, 다양하게 변경 가능하다.For example, the first area (1110) may be placed on top of the second area (1120), and the second area (1120) may be placed on top of the third area (1130). This configuration of the simulation factor data import page area (1100) is only an example and may be changed in various ways.

예를 들어, 제1 영역(1110)에는 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에서 제공되는 기능의 안내 문구가 출력되고, 제2 영역(1120)에는 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에서 제공할 수 있는 시뮬레이션 인자 데이터가 출력될 수 있다.For example, in the first area (1110), a guide text for a function provided in the simulation factor data import page area (1100) may be output, and in the second area (1120), simulation factor data that can be provided in the simulation factor data import page area (1100) may be output.

제어부(130)는 저장부(120)에 저장된 시뮬레이션 인자 데이터를 제2 영역(1120)에 체크 리스트로 출력할 수 있다.The control unit (130) can output simulation factor data stored in the storage unit (120) as a check list to the second area (1120).

나아가, 제어부(130)는 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기로부터 시뮬레이션 인자 데이터 중 적어도 하나가 선택되면, 체크 리스트에 선택된 시뮬레이션 인자 데이터가 선택된 것으로 출력할 수 있다.Furthermore, when at least one of the simulation factor data is selected from an electronic device related to plasma simulation, the control unit (130) can output the selected simulation factor data as being selected in the check list.

다음으로, 도 11에 도시된 것과 같이, 제3 영역(1130)에는, 시뮬레이션 인자 데이터 불러오기 페이지 영역(1100)에서 제공되는 기능 아이콘들(1131, 1132)이 포함될 수 있다. 상기 기능 아이콘들은 도 10b를 참조하여 설명한 기능 아이콘과 동일한 기능의 아이콘들이 될 수 있으며, 이에 대한 설명은 전술한 내용으로 갈음한다.Next, as illustrated in FIG. 11, the third area (1130) may include function icons (1131, 1132) provided in the simulation factor data import page area (1100). The function icons may be icons having the same function as the function icons described with reference to FIG. 10b, and the description thereof will be replaced with the above-mentioned content.

이상에서 살펴본 것과 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하고, 추출된 문자 정보 중 적어도 일부를 시뮬레이션 인자 데이터로 선정하여 플라즈마 시뮬레이션 수행에 사용함으로써, 플라즈마 시뮬레이션 수행을 용이하게 하는 환경을 제공할 수 있다.As described above, the plasma simulation method and system according to the present invention can provide an environment that facilitates the performance of plasma simulation by extracting text information related to a plasma process from a document in an electronic file format, and selecting at least some of the extracted text information as simulation factor data and using it to perform plasma simulation.

나아가, 본 발명에 따른 플라즈마 시뮬레이션 방법 및 시스템은, 전자 파일 형식의 문서로부터 플라즈마 공정과 관련된 문자 정보를 추출하여 제공함으로써, 사용자 측면에서, 문서에서 플라즈마 공정과 관련된 정보를 찾는 수고로움을 줄여주며, 플라즈마 시뮬레이션 계산에 필요한 정보를 직접 입력하지 않아 입력 오류를 범하지 않도록 할 수 있다.Furthermore, the plasma simulation method and system according to the present invention extracts and provides character information related to a plasma process from a document in an electronic file format, thereby reducing the user's effort in finding information related to a plasma process in a document and preventing input errors from being made by not directly inputting information necessary for plasma simulation calculation.

한편, 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체는, 컴퓨터 시스템에 의하여 읽힐 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체의 예로는, HDD(Hard Disk Drive), SSD(Solid State Disk), SDD(Silicon Disk Drive), ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장 장치 등이 있다.Meanwhile, computer-readable media include all types of recording devices that store data that can be read by a computer system. Examples of computer-readable media include hard disk drives (HDDs), solid state disks (SSDs), silicon disk drives (SDDs), ROMs, RAMs, CD-ROMs, magnetic tapes, floppy disks, and optical data storage devices.

나아가, 컴퓨터가 읽을 수 있는 매체는, 저장소를 포함하며 전자기 기가 통신을 통하여 접근할 수 있는 서버 또는 클라우드 저장소일 수 있다. 이 경 우, 컴퓨터는 유선 또는 무선 통신을 통하여, 서버 또는 클라우드 저장소로부터 본 발명에 따른 프로그램을 다운로드 받을 수 있다.Furthermore, the computer-readable medium may be a server or cloud storage that includes storage and that the electronic device can access through communication. In this case, the computer can download the program according to the present invention from the server or cloud storage through wired or wireless communication.

나아가, 본 발명에서는 위에서 설명한 컴퓨터는 프로세서, 즉 CPU(Central Processing Unit, 중앙처리장치)가 탑재된 전자기기로서, 그 종류에 대하여 특별한 한정을 두지 않는다.Furthermore, in the present invention, the computer described above is an electronic device equipped with a processor, i.e., a CPU (Central Processing Unit), and there is no particular limitation on its type.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Meanwhile, the embodiments of the present invention disclosed in this specification and drawings are merely specific examples presented to easily explain the technical content of the present invention and to help understand the present invention, and are not intended to limit the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should be interpreted as including all changes or modified forms derived based on the technical idea of the present invention in addition to the embodiments disclosed herein.

Claims (13)

Translated fromKorean

플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계;
문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계;
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계; 및
상기 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 포함하고,
상기 문자 정보로 추출하는 단계는,
복수의 페이지로 이루어진 상기 전자 파일 형식의 문서에서, 각 페이지별로 화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터를 상기 문자 정보로 추출하며,
상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계는,
상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 자동으로 선정하는 단계; 및
상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에 상기 자동으로 선정된 시뮬레이션 인자 데이터 및, 상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보를 제공하여, 상기 자동으로 선정된 시뮬레이션 인자 데이터 및, 상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보 중 적어도 일부 상기 시뮬레이션 인자 데이터로 선택하는 입력 신호를 수신하는 단계를 포함하고,
상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계는,
상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에, 상기 전자 파일 형식의 문서를 기반으로 상기 입력 신호에 따라 선택된 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 제공하여 상기 시뮬레이션 인자 데이터 중 하나 이상의 시뮬레이션 인자 데이터를 설정하는 입력 신호를 수신하는 단계; 및
상기 입력 신호에 따라 설정된 상기 하나 이상의 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.A step of receiving a document in an electronic file format containing information related to a plasma process through an electronic device related to plasma simulation;
A step of extracting at least a part of the information related to the plasma process included in the document in the electronic file format as character information using a character recognition technique;
A step of selecting at least one simulation factor data that affects the result of the plasma simulation using the extracted character information; and
A step of performing the plasma simulation using the above-mentioned selected simulation factor data is included,
The steps for extracting the above text information are:
In the electronic file format document consisting of multiple pages, for each page, a chemical reaction formula, gas species included in the chemical reaction formula, reaction coefficients of the chemical reaction formula, and density data of the species are extracted as text information.
The step of selecting the above simulation factor data is:
A step of automatically selecting the simulation factor data using the character information extracted for each page; and
A step of providing the automatically selected simulation factor data and the character information extracted for each page to an electronic device related to the plasma simulation, and receiving an input signal for selecting at least some of the automatically selected simulation factor data and the character information extracted for each page as the simulation factor data,
The steps for performing the above plasma simulation are:
A step of receiving an input signal for providing the simulation factor data selected according to the input signal based on the document in the electronic file format to an electronic device related to the plasma simulation and setting one or more simulation factor data among the simulation factor data; and
A plasma simulation method comprising the step of performing the plasma simulation using the one or more simulation factor data set according to the input signal.제1항에 있어서,
상기 문자 정보로 추출하는 단계는,
상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 텍스트 데이터를 제1 단위로 토큰화하여 정형된 데이터를 생성하는 단계; 및
상기 플라즈마 공정과 관련된 정보를 상기 제1 단위와 다른 제2 단위로 토큰화하여 정형화된 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In the first paragraph,
The steps for extracting the above text information are:
A step of generating structured data by tokenizing text data included in the document in the above electronic file format into a first unit; and
A plasma simulation method comprising a step of generating standardized data by tokenizing information related to the plasma process into a second unit different from the first unit.제2항에 있어서,
상기 제1 단위는 단어 단위 및 문장 단위 중 적어도 하나를 포함하고,
상기 제2 단위는 화학식 단위 및 화학반응식 단위 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In the second paragraph,
The first unit includes at least one of a word unit and a sentence unit,
A plasma simulation method, characterized in that the second unit includes at least one of a chemical formula unit and a chemical reaction formula unit.제1항에 있어서,
상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계는,
딥 러닝 기반의 자연어 처리 기술(NLP)을 이용하여, 상기 추출된 문자 정보 중 적어도 하나 이상을 상기 시뮬레이션의 인자 데이터로 선정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In the first paragraph,
The step of selecting the above simulation factor data is:
A plasma simulation method characterized in that at least one of the extracted character information is selected as factor data of the simulation using a natural language processing (NLP) technology based on deep learning.삭제delete제1항에 있어서,
상기 추출된 화학반응식은 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 반응 계수와 관련된 정보와 서로 매칭되어 데이터베이스로서 저장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In the first paragraph,
A plasma simulation method characterized in that the extracted chemical reaction formula is matched with information related to the reaction coefficient included in the document in the electronic file format and stored as a database.제1항에 있어서,
상기 추출된 화학반응식이 전자가 포함된 반응인 경우, 상기 전자의 손실에너지를 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In the first paragraph,
A plasma simulation method characterized in that, when the extracted chemical reaction formula is a reaction including electrons, the loss energy of the electrons is extracted from the document in the electronic file format.제7항에 있어서,
상기 전자의 손실에너지가 상기 전자 파일 형식의 문서로부터 추출되지 않을 경우, 상기 전자 손실에너지를 사용자로부터 수신하여 저장하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In Article 7,
A plasma simulation method characterized in that the electron loss energy is received from a user and stored when the electron loss energy is not extracted from the document in the electronic file format.제1항에 있어서,
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In the first paragraph,
A plasma simulation method further comprising a step of checking for errors in a chemical reaction formula included in a document in the electronic file format using the extracted character information.제9항에 있어서,
상기 전자 파일 형식의 문서에서 특정 범위의 블록을 지정하면, 상기 지정된 블록 내에서 상기 화학반응식의 오류 여부를 점검하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 시뮬레이션 방법.In Article 9,
A plasma simulation method characterized in that when a specific range of blocks is specified in a document in the above electronic file format, the chemical reaction formula is checked for errors within the specified blocks.삭제delete저장부;
플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기 또는 외부서버 중 적어도 하나에 연결되는 통신부;
상기 통신부를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하고,
문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하고,
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하며,
상기 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 제어부를 포함하고,
상기 문자 정보로 추출하는 것은,
복수의 페이지로 이루어진 상기 전자 파일 형식의 문서에서, 각 페이지별로 화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터를 상기 문자 정보로 추출하는 것이며,
상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 것은,
상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 자동으로 선정하고,
상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에 상기 자동으로 선정된 시뮬레이션 인자 데이터 및, 상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보를 제공하여, 상기 자동으로 선정된 시뮬레이션 인자 데이터 및, 상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보 중 적어도 일부 상기 시뮬레이션 인자 데이터로 선택하는 입력 신호를 수신하는 것이며,
상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 것은,
상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에, 상기 전자 파일 형식의 문서를 기반으로 상기 입력 신호에 따라 선택된 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 제공하여 상기 시뮬레이션 인자 데이터 중 하나 이상의 시뮬레이션 인자 데이터를 설정하는 입력 신호를 수신하고,
상기 입력 신호에 따라 설정된 상기 하나 이상의 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 것인, 플라즈마 시뮬레이션 시스템.storage;
A communication unit connected to at least one of an electronic device or an external server related to plasma simulation;
Receive a document in electronic file format containing information related to the plasma process through the above communication unit,
Extracting at least some of the information related to the plasma process contained in the document in the electronic file format as character information using a character recognition technique,
Using the extracted character information, at least one simulation factor data that affects the result of the plasma simulation is selected,
Including a control unit that performs the plasma simulation using the above-mentioned selected simulation factor data,
Extracting the above text information is as follows:
In the electronic file format document consisting of multiple pages, the chemical reaction formula, the types of gases included in the chemical reaction formula, the reaction coefficient of the chemical reaction formula, and the density data of the types are extracted as the text information for each page.
Selecting the above simulation factor data is:
Automatically select the simulation factor data using the character information extracted from each page above,
Providing the automatically selected simulation factor data and the character information extracted for each page to the electronic device related to the plasma simulation, and receiving an input signal for selecting at least some of the automatically selected simulation factor data and the character information extracted for each page as the simulation factor data.
Performing the above plasma simulation is as follows:
In the electronic device related to the above plasma simulation, an input signal is received for providing the simulation factor data selected according to the input signal based on the document in the electronic file format and setting one or more simulation factor data among the simulation factor data,
A plasma simulation system that performs the plasma simulation using one or more simulation factor data set according to the input signal.전자기기에서 하나 이상의 프로세스에 의하여 실행되며, 컴퓨터로 판독될 수 있는 기록매체에 저장된 프로그램으로서,
상기 프로그램은,
플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기를 통해 플라즈마 공정과 관련된 정보를 포함하는 전자 파일 형식의 문서를 수신하는 단계;
문자 인식 기법을 사용하여 상기 전자 파일 형식의 문서에 포함된 상기 플라즈마 공정과 관련된 정보 중 적어도 일부를 문자 정보로 추출하는 단계;
상기 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션의 결과에 영향을 주는 적어도 하나의 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계; 및
상기 선정된 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 수행하는 명령어들을 포함하고,
상기 문자 정보로 추출하는 단계는,
복수의 페이지로 이루어진 상기 전자 파일 형식의 문서에서, 각 페이지별로 화학반응식, 상기 화학반응식에 포함되는 가스의 종들, 상기 화학반응식의 반응계수, 상기 종들의 밀도 데이터를 상기 문자 정보로 추출하며,
상기 시뮬레이션 인자 데이터를 선정하는 단계는,
상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보를 이용하여 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 자동으로 선정하는 단계; 및
상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에 상기 자동으로 선정된 시뮬레이션 인자 데이터 및, 상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보를 제공하여, 상기 자동으로 선정된 시뮬레이션 인자 데이터 및, 상기 각 페이지별로 추출된 문자 정보 중 적어도 일부 상기 시뮬레이션 인자 데이터로 선택하는 입력 신호를 수신하는 단계를 포함하고,
상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계는,
상기 플라즈마 시뮬레이션과 관련된 전자기기에, 상기 전자 파일 형식의 문서를 기반으로 상기 입력 신호에 따라 선택된 상기 시뮬레이션 인자 데이터를 제공하여 상기 시뮬레이션 인자 데이터 중 하나 이상의 시뮬레이션 인자 데이터를 설정하는 입력 신호를 수신하는 단계; 및
상기 입력 신호에 따라 설정된 상기 하나 이상의 시뮬레이션 인자 데이터를 이용하여 상기 플라즈마 시뮬레이션을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터로 판독될 수 있는 기록매체에 저장된 프로그램.A program that is executed by one or more processes on an electronic device and stored on a computer-readable recording medium.
The above program is,
A step of receiving a document in an electronic file format containing information related to a plasma process through an electronic device related to plasma simulation;
A step of extracting at least a part of the information related to the plasma process included in the document in the electronic file format as character information using a character recognition technique;
A step of selecting at least one simulation factor data that affects the result of the plasma simulation using the extracted character information; and
Includes commands for performing a step of performing the plasma simulation using the above-mentioned selected simulation factor data,
The steps for extracting the above text information are:
In the electronic file format document consisting of multiple pages, for each page, a chemical reaction formula, gas species included in the chemical reaction formula, reaction coefficients of the chemical reaction formula, and density data of the species are extracted as text information.
The step of selecting the above simulation factor data is:
A step of automatically selecting the simulation factor data using the character information extracted for each page; and
A step of providing the automatically selected simulation factor data and the character information extracted for each page to an electronic device related to the plasma simulation, and receiving an input signal for selecting at least some of the automatically selected simulation factor data and the character information extracted for each page as the simulation factor data,
The steps for performing the above plasma simulation are:
A step of receiving an input signal for providing the simulation factor data selected according to the input signal based on the document in the electronic file format to an electronic device related to the plasma simulation and setting one or more simulation factor data among the simulation factor data; and
A program stored in a computer-readable recording medium, characterized in that it includes a step of performing the plasma simulation using the one or more simulation factor data set according to the input signal.

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