본 문서는 이송 로봇암을 이용한 케미컬 자동공급 시스템에 관한 것으로, 이송 로봇암을 이용하여 수커넥터를 암커넥터로 이동시켜 체결시키거나, 수커넥터를 암커넥터로부터 분리시키는 케미컬 자동공급 시스템에 관한 것이다.This document is about an automatic chemical supply system using a transfer robot arm. It is about an automatic chemical supply system that uses a transfer robot arm to move a male connector to a female connector and fasten it, or to separate a male connector from a female connector.
일반적으로 반도체, 반도체 장치, LCD, OLED를 제조하는 회사와 제약회사 및 페인트 회사 등 유해화학물질을 사용하는 모든 회사에서는 다양한 종류의 케미컬이 사용되고 있으며, 이러한 케미컬을 안전하게 공급하는 방식도 다양화되고 있다.In general, various types of chemicals are used in all companies that use hazardous chemicals, such as companies that manufacture semiconductors, semiconductor devices, LCDs, and OLEDs, pharmaceutical companies, and paint companies, and methods of safely supplying these chemicals are also diversifying. .
이러한 케미컬은 건물 외부에 정차된 탱크로리(Tank lorry)의 케미컬 탱크에서 건물 내부에 설치된 케미컬 저장탱크(Chemical storage tank)로 케미컬을 이송시킨 다음, 케미컬 저장탱크에서 단위 공정이 진행되는 챔버로 이송하는 방식으로 이루어진다. 또한, 이와는 반대로 케미컬을 케미컬 탱크에서 탱크로리로 이송하는 경우도 있다.These chemicals are transferred from the chemical tank of a tank lorry parked outside the building to a chemical storage tank installed inside the building, and then transferred from the chemical storage tank to the chamber where the unit process is performed. It consists of Also, on the contrary, there are cases where chemicals are transferred from a chemical tank to a tank lorry.
현재 ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit)로 불리는 케미컬 자동공급장치가 출시되어 사용되고 있다. 케미컬 저장탱크는 통상 건물 내부에 구비되고, ACQC 유닛은 건물 외부에 있는 탱크로리의 케미컬 탱크와 건물 내부에 있는 케미컬 저장탱크 사이에서 중계 공급 역할을 한다. 구체적으로, ACQC 유닛은 케미컬용 수커넥터 거치부와 케미컬용 암커넥터를 포함하여 구성되어 있고 이송 수단(Transfer means)에 의해 케미컬용 수커넥터 거치부를 케미컬용 암커넥터로 이동하게 하여 자동적으로 케미컬용 수커넥터를 암커넥터에 삽입 체결되도록 할 수 있다. 이로 인해, 작업자가 케미컬에 노출되지 않고 안전하게 케미컬이 공급될 수 있다.Currently, an automatic chemical supply device called ACQC unit (Automatic Clean Quick Coupler Unit) has been released and is in use. Chemical storage tanks are usually installed inside the building, and the ACQC unit acts as a relay supply between the chemical tank of the tanker outside the building and the chemical storage tank inside the building. Specifically, the ACQC unit is composed of a male connector holder for chemicals and a female connector for chemicals, and the male connector holder for chemicals is moved to the female connector for chemicals by a transfer means, automatically releasing water for chemicals. The connector can be inserted and fastened into the female connector. Because of this, chemicals can be safely supplied without workers being exposed to chemicals.
한국특허공보(등록공보번호 : 10-1779493, 케미컬 자동공급장치)는 작업자가 케미컬용 호스가 연결된 수커넥터를 거치부에 안착 및 고정시키면, 이송유닛의 구동에 의해 거치부가 전방(Forward)으로 이동을 하게 되어 수커넥터(Male connector)가 암커넥터(Female connector)에 삽입되고 이송 챔버에 케미컬을 공급하는 기술을 개시하고 있다. 그러나 이러한 종래기술은 복수개의 이송 챔버 마다 케미컬 자동공급장치를 개별적으로 구비시켜야 하므로 설치 비용이 상승되는 문제가 초래될 수 있다.Korean Patent Publication (Registration Publication Number: 10-1779493, automatic chemical supply device) states that when the operator places and fixes the male connector to which the chemical hose is connected to the holder, the holder moves forward by driving the transfer unit. A technology is being developed in which a male connector is inserted into a female connector and chemicals are supplied to the transfer chamber. However, this prior art requires an individual automatic chemical supply device for each of the plurality of transfer chambers, which may result in increased installation costs.
본 발명은 복수개의 이송 챔버 마다 케미컬 자동공급장치를 개별적으로 구비시키지 않고 최소의 비용으로 신속하게 수커넥터를 암커넥터에 체결되게 하거나, 수커넥터를 암커넥터로부터 분리시키는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to quickly fasten a male connector to a female connector or separate a male connector from a female connector at minimal cost without individually providing an automatic chemical supply device for each of the plurality of transfer chambers.
일 실시예에 따라, 케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 수커넥터를 안착시킨 상태에서 수커넥터를 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 연결되도록 하는 케미컬 자동공급 시스템은,According to one embodiment, in order to supply chemicals from one side to the other by connecting a chemical tank and a chemical storage tank, a chemical automatic device is used to transfer the male connector while seating it so that the male connector is connected to the female connector. The supply system is,
벽체 내에 배치되고, 제1의 수커넥터 거치부가 배치될 수 있는 제1의 거치 유닛,A first mounting unit disposed within the wall and capable of placing a first male connector mounting portion,
상기 제1의 거치 유닛과 일정한 간격을 두고 전방에 배치된 제1의 암커넥터,A first female connector disposed in front at a certain distance from the first mounting unit,
상기 벽체 내에 배치되고, 제2의 수커넥터 거치부가 배치될 수 있는 제2의 거치 유닛,A second mounting unit disposed within the wall and capable of placing a second male connector mounting portion,
상기 제2의 거치 유닛과 일정한 간격을 두고 전방에 배치된 제2의 암커넥터,A second female connector disposed in front at a certain distance from the second mounting unit,
제1의 방향으로 연장되어, 상기 제1의 거치 유닛 및 상기 제1의 암커넥터 사이, 그리고 상기 제2의 거치 유닛 및 상기 제2의 암커넥터 사이에 배치된 이송 로봇암 스테이지,A transfer robot arm stage extending in a first direction and disposed between the first mounting unit and the first arm connector, and between the second mounting unit and the second arm connector;
상기 이송 로봇암 스테이지 상에 배치되어, 상기 제1의 방향을 따라 이동하는 이송 로봇암,A transfer robot arm disposed on the transfer robot arm stage and moving along the first direction;
상기 제1의 방향과 수직인 제2의 방향으로 연장되어, 상기 제1의 거치 유닛 및 상기 제1의 암커넥터를 연결하는 제1의 이송 스테이지, 및A first transfer stage extending in a second direction perpendicular to the first direction and connecting the first mounting unit and the first female connector, and
상기 제2의 방향으로 연장되어, 상기 제2의 거치 유닛 및 상기 제2의 암커넥터 사이를 연결하는 제2의 이송 스테이지를 포함하고,A second transfer stage extending in the second direction and connecting the second mounting unit and the second female connector,
상기 이송 로봇암은,The transfer robot arm is,
상기 제1의 수커넥터 거치부를 상기 제1의 이송 스테이지를 따라 상기 제2의 방향으로 이송하고,Transporting the first male connector holder in the second direction along the first transport stage,
상기 이송 로봇암 스테이지를 따라 상기 제1의 방향으로 이동하여, 상기 제2의 수커넥터 거치부를 상기 제2의 이송 스테이지를 따라 상기 제2의 방향으로 이송하여 최소의 비용으로 신속하게 수커넥터를 암커넥터에 체결되게 하거나, 수커넥터를 암커넥터로부터 분리시킬 수 있다.By moving in the first direction along the transfer robot arm stage, the second male connector holder is transferred in the second direction along the second transfer stage to quickly connect the male connector to the arm at minimal cost. It can be fastened to the connector, or the male connector can be separated from the female connector.
본 발명은 복수개의 이송 챔버 마다 케미컬 자동공급장치를 개별적으로 구비시킬 필요가 없어 시스템 구축 비용이 절감될 수 있다.In the present invention, system construction costs can be reduced because there is no need to individually provide an automatic chemical supply device for each of the plurality of transfer chambers.
본 발명은 하나의 이송 로봇암으로 복수개의 수커넥터를 이동시키므로 유지관리(Maintenance) 비용이 절감될 수 있고, 보다 효율적 일 수 있다.The present invention moves a plurality of male connectors with one transfer robot arm, so maintenance costs can be reduced and it can be more efficient.
본 발명은 이송 로봇암이 케미컬용 수커넥터와 질소용 수커넥터를 동시에 이송시킬 수도 있으므로 작업 속도가 향상될 수 있다.In the present invention, work speed can be improved because the transfer robot arm can transfer the male connector for chemicals and the male connector for nitrogen at the same time.
도 1은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 사시도이다.
도 2는 일 실시예에 따라, 도 1의 A-A'을 따라 절단된 상면을 보여 주는 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트를 파지한 이송 로봇암을 포함하는 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트의 영역을 파지한 이송 로봇암을 설명하는 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따라, 이송 로봇암이 배치된 케미컬 자동공급 시스템의 측면도이다.
도 6은 일 실시예에 따라, 이동 구동부가 구비된 이송 로봇암을 설명하는 도면이다.
도 7은 일 실시예에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트를 파지한 이동 구동부가 구비된 이송 로봇암을 포함하는 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다.
도 8은 일 실시예에 따라, 스테이지 다이크가 포함된 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다.
도 9는 일 실시예에 따라, 로봇 다이크가 구비된 이송 로봇암을 설명하는 도면이다.
도 10은 일 실시예에 따라, 로봇 다이크 및 이동 구동부가 구비된 이송 로봇암을 설명하는 도면이다.Figure 1 is a perspective view explaining an automatic chemical supply system according to an embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system showing an upper surface cut along line A-A' of FIG. 1, according to an embodiment.
Figure 3 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system including a transfer robot arm holding a first male connector mounting plate, according to an embodiment.
FIG. 4 is a diagram illustrating a transfer robot arm gripping an area of a first male connector mounting plate, according to an embodiment.
Figure 5 is a side view of an automatic chemical supply system in which a transfer robot arm is disposed, according to one embodiment.
FIG. 6 is a diagram illustrating a transfer robot arm equipped with a movement drive unit, according to an embodiment.
FIG. 7 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system including a transfer robot arm provided with a moving drive unit holding a first male connector mounting plate, according to an embodiment.
Figure 8 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system including a stage dyke, according to an embodiment.
Figure 9 is a diagram explaining a transfer robot arm equipped with a robot dyke, according to an embodiment.
Figure 10 is a diagram explaining a transfer robot arm equipped with a robot dyke and a movement drive unit, according to an embodiment.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail through preferred embodiments described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily understand and reproduce it. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the embodiments of the present invention, the detailed description will be omitted. The terms used throughout the present invention are terms defined in consideration of the functions in the embodiments of the present invention, and can be sufficiently modified depending on the user's or operator's intention, custom, etc., so the definitions of these terms are defined throughout the present specification. It will have to be decided based on the contents.
또한 전술한, 그리고 추가적인 발명의 양상들은 후술하는 실시예들을 통해 명백해질 것이다. 본 명세서에서 선택적으로 기재된 양상이나 선택적으로 기재된 실시예의 구성들은 비록 도면에서 단일의 통합된 구성으로 도시되었다 하더라도 달리 기재가 없는 한 당업자에게 기술적으로 모순인 것이 명백하지 않다면 상호간에 자유롭게 조합될 수 있는 것으로 이해된다.Additionally, the above-described and additional inventive aspects will become apparent through the examples described below. Even though the aspects or configurations of the optionally described embodiments in the specification are shown as a single integrated configuration in the drawings, unless otherwise stated, they can be freely combined with each other unless it is obvious to those skilled in the art that there is a technical contradiction. I understand.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Accordingly, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent the entire technical idea of the present invention, so at the time of filing this application, various alternatives are available to replace them. It should be understood that equivalents and variations may exist.
도 1은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 사시도이다. 도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급 시스템(1000)은 제1의 거치 유닛(100), 제2의 거치 유닛(200), 제1의 이송 챔버(300), 제2의 이송 챔버(400), 이송 로봇암 스테이지(500), 제1의 이송 스테이지(600), 제2의 이송 스테이지(700)를 포함할 수 있다.Figure 1 is a perspective view explaining an automatic chemical supply system according to an embodiment. As shown, the automatic chemical supply system 1000 includes a first mounting unit 100, a second mounting unit 200, a first transfer chamber 300, a second transfer chamber 400, and a transfer It may include a robot arm stage 500, a first transfer stage 600, and a second transfer stage 700.
케미컬 자동공급 시스템(1000)은 케미컬 탱크(도시 안됨)와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 어느 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 수커넥터를 안착시킨 상태에서 수커넥터를 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 연결되도록 하는 기능을 수행할 수 있다. 케미컬 탱크는 통상 탱크 로리에 구비된다.The automatic chemical supply system (1000) connects a chemical tank (not shown) and a chemical storage tank to supply chemicals from one side to the other. The male connector is transferred with the male connector seated, so that the male connector connects to the female connector. It can perform the function of connecting with. Chemical tanks are usually provided in tank lorry.
거치 유닛(100, 200)은 수커넥터를 거치 내지 안치하는 기능을 수행하고 개방부(2100)가 구비된 벽체(2000) 내부에 구비될 수 있다. 벽체(2000)는 건물을 구성하는 벽을 의미하고, 개방부(2100)는 건물의 외부와 내부가 연통되도록 뚫린 형상으로 이루어져 있을 수 있다. 거치 유닛(100, 200)은 도어(Door)가 구비되어 작업자에 의해 개폐될 수 있다.The mounting units 100 and 200 perform the function of mounting or placing the male connector and may be provided inside the wall 2000 provided with the opening portion 2100. The wall 2000 refers to a wall that constitutes a building, and the opening 2100 may be formed in an open shape to communicate with the outside and inside of the building. The holding units 100 and 200 are equipped with a door and can be opened and closed by an operator.
거치 유닛(100, 200)이 벽체(2000) 내부에 구비되어 있다는 것의 의미는, 거치 유닛(100, 200)의 적어도 일부가 벽체(2000) 내부에 구비되어 있다는 것을 의미한다. 따라서, 거치 유닛(100, 200)의 일부가 벽체(2000) 외부로 돌출되어 있을 수도 있다.The fact that the mounting units 100 and 200 are provided inside the wall 2000 means that at least part of the mounting units 100 and 200 are provided inside the wall 2000. Accordingly, a portion of the mounting units 100 and 200 may protrude outside the wall 2000.
이송 챔버(300, 400)는 케미컬을 공급 받고 케미컬을 저장하는 기능을 수행하며, 수커넥터와 체결되기 위한 암커넥터가 측면에 구비되어 있을 수 있다. 이송 챔버(300, 400)는 저장 탱크(도시 안됨)를 수용할 수 있으며, 더 나아가 작업 공정이 이루어질 수도 있다. 또한, 이송 챔버(300, 400)는 저장 탱크가 구비되지 않을 수도 있다.The transfer chambers 300 and 400 perform the function of receiving and storing chemicals, and may be provided with a female connector on the side to be connected to a male connector. The transfer chambers 300 and 400 may accommodate storage tanks (not shown) and further work processes may be performed thereon. Additionally, the transfer chambers 300 and 400 may not be equipped with a storage tank.
이송 로봇암 스테이지(500)는 수커넥터를 파지하는 이송 로봇암(미도시)의 이동을 가이드하는 가이드 라인을 제공할 수 있다. 이송 로봇암 스테이지(500)는, 제1의 방향으로 연장되어 있을 수 있으며, 제1의 방향은 X 방향을 의미할 수 있다.The transfer robot arm stage 500 may provide a guide line that guides the movement of the transfer robot arm (not shown) that grips the male connector. The transfer robot arm stage 500 may extend in a first direction, and the first direction may mean the X direction.
이송 스테이지(600, 700)는 수커넥터가 암커넥터로 이송되기 위한 가이드 라인을 제공할 수 있다. 이송 스테이지(600, 700)는 제2의 방향으로 연장되어 있을 수 있으며, 제2의 방향은 Y 방향을 의미할 수 있다.The transfer stages 600 and 700 may provide guide lines for transferring the male connector to the female connector. The transfer stages 600 and 700 may extend in a second direction, and the second direction may mean the Y direction.
일 실시예에 따라, 제3의 거치 유닛, 제3의 이송 챔버가 구비될 수 있고 더 많은 거치 유닛, 이송 챔버가 구비될 수 있음은 통상의 기술자에 자명하다.According to one embodiment, it is obvious to those skilled in the art that a third mounting unit and a third transfer chamber may be provided and more mounting units and transfer chambers may be provided.
도 2는 일 실시예에 따라, 도 1의 A-A'을 따라 절단된 상면을 보여 주는 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급 시스템(1000)은 제1의 거치 유닛(100), 제2의 거치 유닛(200), 제1의 이송 챔버(300), 제2의 이송 챔버(400), 이송 로봇암 스테이지(500), 제1의 이송 스테이지(600), 제2의 이송 스테이지(700), 및 이송 로봇암(800)을 포함할 수 있다.FIG. 2 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system showing an upper surface cut along line A-A' of FIG. 1, according to an embodiment. As shown, the automatic chemical supply system 1000 includes a first mounting unit 100, a second mounting unit 200, a first transfer chamber 300, a second transfer chamber 400, and a transfer It may include a robot arm stage 500, a first transfer stage 600, a second transfer stage 700, and a transfer robot arm 800.
제1의 거치 유닛(100)은 벽체(2000) 내에 배치되고 제1의 수커넥터 거치부(910)가 배치될 수 있고, 제2의 거치 유닛(200)은 벽체(2000) 내에 배치되고 제2의 수커넥터 거치부(920)가 배치될 수 있다. 제2의 거치 유닛(200)은 제1의 거치 유닛(100)과 인접하여 배치될 수 있다.The first mounting unit 100 may be disposed within the wall 2000 and the first male connector mounting portion 910 may be disposed, and the second mounting unit 200 may be disposed within the wall 2000 and the second mounting unit 910 may be disposed within the wall 2000. The male connector holder 920 may be disposed. The second mounting unit 200 may be disposed adjacent to the first mounting unit 100.
제1의 거치 유닛(100)과 제2의 거치 유닛(200)은 벽체(2000)의 개방부(2100)에 삽입되고 제1의 수커넥터 거치부(910), 제2의 수커넥터 거치부(920) 각각을 수용할 수 있다.The first mounting unit 100 and the second mounting unit 200 are inserted into the opening 2100 of the wall 2000 and include a first male connector mounting portion 910 and a second male connector mounting portion ( 920) Each can be accommodated.
제1의 거치 유닛(100)과 제2의 거치 유닛(200)은 도어가 구비되어 케미컬 자동공급 시스템(1000)의 바람막이 기능을 수행하고 이물질의 유입을 차단할 수 있다.The first mounting unit 100 and the second mounting unit 200 are equipped with doors and can function as windbreakers for the automatic chemical supply system 1000 and block the inflow of foreign substances.
제1의 이송 챔버(300)는 측면에 제1의 암커넥터(310)를 구비하고, 제1의 암커넥터(310)를 통해 케미컬을 공급받아 저장할 수 있다. 제1의 이송 챔버(300)는 케미컬 저장탱크(도시 안됨)를 수용할 수 있다.The first transfer chamber 300 is equipped with a first female connector 310 on its side, and can receive and store chemicals through the first female connector 310. The first transfer chamber 300 can accommodate a chemical storage tank (not shown).
제1의 암커넥터(310)는 제1의 거치 유닛(100)과 일정한 간격을 두고 전방(Forward)에 배치될 수 있다. 전방은 양(Positive)의 Y 방향을 의미할 수 있다.The first female connector 310 may be placed forward at a certain distance from the first mounting unit 100. Forward may mean the positive Y direction.
제2의 이송 챔버(400)는 측면에 제2의 암커넥터(410)를 구비하고, 제2의 암커넥터(410)를 통해 케미컬을 공급받아 저장할 수 있다. 제2의 이송 챔버(400)는 케미컬 저장탱크(도시 안됨)를 수용할 수 있다. 제2의 이송 챔버(400)는 제1의 이송 챔버(300)와 인접 배치될 수 있다.The second transfer chamber 400 is equipped with a second female connector 410 on the side, and can receive and store chemicals through the second female connector 410. The second transfer chamber 400 can accommodate a chemical storage tank (not shown). The second transfer chamber 400 may be disposed adjacent to the first transfer chamber 300.
제2의 암커넥터(410)는 제2의 거치 유닛(200)과 일정한 간격을 두고 전방(Forward)에 배치될 수 있다. 전방은 양(Positive)의 Y 방향을 의미할 수 있다.The second female connector 410 may be placed forward at a certain distance from the second mounting unit 200. Forward may mean the positive Y direction.
이송 로봇암 스테이지(500)는 제1의 방향(X 방향)으로 연장되어, 제1의 거치 유닛(100) 및 제1의 암커넥터(310) 사이, 그리고 제2의 거치 유닛(200) 및 제2의 암커넥터(410) 사이에 배치될 수 있다.The transfer robot arm stage 500 extends in the first direction (X direction), between the first mounting unit 100 and the first arm connector 310, and between the second mounting unit 200 and the first arm connector 310. It can be placed between the female connectors 410 of 2.
이송 로봇암 스테이지(500)는 레일(Rail)로 구성될 수도 있으나 이에 한정되는 것은 아니고 이송 로봇암(800)이 X 방향으로 이동을 허용하는 통로 수단을 제공할 수 있으면 족할 수 있다.The transfer robot arm stage 500 may be composed of a rail, but is not limited thereto, and it may be sufficient to provide a passage means that allows the transfer robot arm 800 to move in the X direction.
이송 로봇암(800)은 이송 로봇암 스테이지(500) 상에 배치되어, 제1의 방향(X 방향)을 따라 이동할 수 있다. 이송 로봇암(800)은 다축 다관절(Articulated) 로봇일 수 있다. 예를 들어, 이송 로봇암(800)은 6축 다관절 로봇암일 수 있다. 이송 로봇암(800)은 하부에 이송 로봇암 거치 플레이트(810)가 구비되고, 이송 로봇암 거치 플레이트(810)가 이송 로봇암 스테이지(500)에 직접 접촉되어 이송 로봇암 스테이지(500) 상에서 슬라이딩하면서 이동될 수 있다. 이송 로봇암(800) 또는 이송 로봇암 스테이지(500)에는 모터가 구비될 수 있다.The transfer robot arm 800 is disposed on the transfer robot arm stage 500 and can move along a first direction (X direction). The transfer robot arm 800 may be a multi-axis articulated robot. For example, the transfer robot arm 800 may be a 6-axis articulated robot arm. The transfer robot arm 800 is provided with a transfer robot arm mounting plate 810 at the bottom, and the transfer robot arm mounting plate 810 is in direct contact with the transfer robot arm stage 500 and slides on the transfer robot arm stage 500. It can be moved while doing so. The transfer robot arm 800 or the transfer robot arm stage 500 may be equipped with a motor.
제1의 이송 스테이지(600)는 제1의 방향과 수직인 제2의 방향(Y 방향)으로 연장되어, 제1의 거치 유닛(100) 및 제1의 암커넥터(310)를 연결할 수 있다. 여기에서 제1의 거치 유닛(100) 및 제1의 암커넥터(310)를 '연결'한다는 것의 의미는 제1의 이송 스테이지(600)가 제1의 거치 유닛(100) 또는 제1의 암커넥터(310)와 물리적으로 일체화 되어 있는 상태만을 의미하는 것이 아니라, 수커넥터를 제1의 암커넥터(310)의 입구로 이동시킬 수 있을 정도로 제2의 방향(Y 방향)으로 연장되어 있으면 충분할 정도의 넓은 의미일 수 있다.The first transfer stage 600 extends in a second direction (Y direction) perpendicular to the first direction, and can connect the first mounting unit 100 and the first female connector 310. Here, 'connecting' the first mounting unit 100 and the first female connector 310 means that the first transfer stage 600 is connected to the first mounting unit 100 or the first female connector. It does not mean only the state of being physically integrated with (310), but it is sufficient as long as it extends in the second direction (Y direction) enough to move the male connector to the inlet of the first female connector (310). It may have a broad meaning.
제2의 이송 스테이지(700)는 제2의 방향(Y 방향)으로 연장되어, 제2의 거치 유닛(200) 및 제2의 암커넥터(410)를 연결할 수 있다. 여기에서 제2의 거치 유닛(200) 및 제2의 암커넥터(410)를 '연결'한다는 것의 의미는 제2의 이송 스테이지(700)가 제2의 거치 유닛(200) 또는 제2의 암커넥터(410)와 물리적으로 일체화 되어 있는 상태만을 의미하는 것이 아니라, 수커넥터를 제2의 암커넥터(410)의 입구로 이동시킬 수 있을 정도로 제2의 방향(Y 방향)으로 연장되어 있으면 충분할 정도의 넓은 의미일 수 있다.The second transfer stage 700 extends in the second direction (Y direction) and can connect the second mounting unit 200 and the second female connector 410. Here, 'connecting' the second mounting unit 200 and the second female connector 410 means that the second transfer stage 700 is connected to the second mounting unit 200 or the second female connector. It does not mean only the state of being physically integrated with (410), but it is sufficient as long as it extends in the second direction (Y direction) enough to move the male connector to the entrance of the second female connector (410). It may have a broad meaning.
일 실시예에 따라, 이송 로봇암(800)은, 제1의 수커넥터 거치부(910)를 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 제2의 방향으로 이송하여 수커넥터를 암커넥터에 체결하고, 그 다음에 이송 로봇암 스테이지(500)를 따라 제1의 방향으로 이동하여, 제2의 수커넥터 거치부(920)를 제2의 이송 스테이지(700)를 따라 제2의 방향으로 이송하여 수커넥터를 암커넥터에 체결할 수 있다.According to one embodiment, the transfer robot arm 800 transfers the first male connector holder 910 in the second direction along the first transfer stage 600 and fastens the male connector to the female connector. , and then moves in the first direction along the transfer robot arm stage 500, and transfers the second male connector holder 920 in the second direction along the second transfer stage 700. The connector can be connected to the female connector.
일 실시예에 따라, 제1의 수커넥터 거치부(910) 및 제2의 수커넥터 거치부(920)를 이송시켜 수커넥터를 암커넥터에 체결하기 전에, 이송 로봇암(800)은 제1의 암커넥터(310) 및 제2의 암커넥터(410)의 입구에 구비된 마개(도시 안됨)를 제거하는 동작을 별도로 수행할 수도 있다.According to one embodiment, before transferring the first male connector holder 910 and the second male connector holder 920 and fastening the male connector to the female connector, the transfer robot arm 800 The operation of removing the stopper (not shown) provided at the entrance of the female connector 310 and the second female connector 410 may be performed separately.
일 실시예에 따른 케미컬 자동공급 시스템에 있어서, 제1의 수커넥터 거치부(910)는 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911), 및 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911) 상에 배치된 제1의 케미컬용 수커넥터 거치부(912) 및 제1의 질소용 수커넥터 거치부(913)를 포함하고,In the automatic chemical supply system according to an embodiment, the first male connector holder 910 includes a first male connector holder plate 911, and a first male connector mount plate 911 disposed on the first male connector mount plate 911. It includes a first chemical male connector holder 912 and a first nitrogen male connector holder 913,
제2의 수커넥터 거치부(920)는 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921), 및 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921) 상에 배치된 제2의 케미컬용 수커넥터 거치부(922) 및 제2의 질소용 수커넥터 거치부(923)를 포함하고,The second male connector mounting portion 920 includes a second male connector mounting plate 921, and a second chemical male connector mounting portion 922 disposed on the second male connector mounting plate 921. It includes a second nitrogen male connector holder 923,
이송 로봇암(800)은, 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911) 및 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921)의 영역을 파지하고 이송할 수 있다.The transfer robot arm 800 can grip and transfer the areas of the first male connector mount plate 911 and the second male connector mount plate 921.
일 실시예에 따른 케미컬 자동공급 시스템에 있어서, 제1의 이송 스테이지(600)는, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610)를 포함하고, 제2의 이송 스테이지(700)는, 제2의 케미컬용 이송 스테이지(710)를 포함하고, 이송 로봇암(800)은 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역 및 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921)의 영역을 파지할 수 있다.In the automatic chemical supply system according to one embodiment, the first transfer stage 600 includes a first chemical transfer stage 610, and the second transfer stage 700 includes a second chemical transfer stage 610. It includes a transfer stage 710, and the transfer robot arm 800 can grip the area of the first male connector mount plate 911 and the area of the second male connector mount plate 921.
일 실시예에 따른 케미컬 자동공급 시스템에 있어서, 제1의 이송 스테이지(600)는, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610)와 이격되어 배치된 제1의 질소용 이송 스테이지(620)를 포함하고,In the automatic chemical supply system according to one embodiment, the first transfer stage 600 includes a first transfer stage 620 for nitrogen arranged to be spaced apart from the first transfer stage 610 for chemicals; ,
제2의 이송 스테이지(700)는, 제2의 케미컬용 이송 스테이지(710)와 이격되어 배치된 제2의 질소용 이송 스테이지(720)를 포함할 수 있다.The second transfer stage 700 may include a second nitrogen transfer stage 720 disposed to be spaced apart from the second chemical transfer stage 710.
이송 로봇암(800)은, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 질소용 이송 스테이지(620) 사이에 위치된 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역을 파지하고, 제2의 케미컬용 이송 스테이지(710) 및 제2의 질소용 이송 스테이지(720) 사이에 위치된 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921)의 영역을 파지할 수 있다. 여기에서 '파지'의 의미는, 이송 로봇암(800)이 케미컬용 수커넥터 및 질소용 수커넥터를 이송시킬 정도의 충분한 강도로 수커넥터 거치 플레이트(911, 921)에 접촉됨을 의미할 수 있다. 필요에 따라 질소용 수커넥터 거치부는 구비되지 않을 수 있다.The transfer robot arm 800 grips the area of the first male connector mounting plate 911 located between the first chemical transfer stage 610 and the first nitrogen transfer stage 620, and The area of the second male connector mounting plate 921 located between the second chemical transfer stage 710 and the second nitrogen transfer stage 720 can be gripped. Here, the meaning of 'grip' may mean that the transfer robot arm 800 contacts the male connector mounting plates 911 and 921 with sufficient strength to transfer the chemical male connector and the nitrogen male connector. Depending on need, the male connector holder for nitrogen may not be provided.
도 3은 일 실시예에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트를 파지한 이송 로봇암을 포함하는 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급 시스템(1000)에 있어서, 제1의 수커넥터 거치부(910)는 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911), 및 제1의 케미컬용 수커넥터 거치부(912) 및 제1의 질소용 수커넥터 거치부(913)를 포함할 수 있다. 제1의 케미컬용 수커넥터 거치부(912) 및 제1의 질소용 수커넥터 거치부(913)는 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911) 상에 배치될 수 있다. 이송 로봇암(800)은, 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)를 파지하고 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송할 수 있다.Figure 3 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system including a transfer robot arm holding a first male connector mounting plate, according to an embodiment. As shown, in the automatic chemical supply system 1000, the first male connector holder 910 includes a first male connector holder plate 911, and a first chemical male connector holder 912. And it may include a first nitrogen male connector holder 913. The first chemical male connector holder 912 and the first nitrogen male connector holder 913 may be disposed on the first male connector holder plate 911. The transfer robot arm 800 can hold the first male connector mounting plate 911 and transfer it along the first transfer stage 600.
이송 로봇암(800)이 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)를 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송함에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911) 상에 배치된 제1의 케미컬용 수커넥터 거치부(912) 및 제1의 질소용 수커넥터 거치부(913)가 동시에 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송할 수 있다. 이로 인해, 제1의 수커넥터(3100)를 구성하는 제1의 케미컬용 수커넥터(3110)와 제1의 질소용 수커넥터(3120)가 동시에 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송되어 제1의 케미컬용 암커넥터(310)와 제1의 질소용 암커넥터(320)에 각각 체결될 수 있다. 또한 그 반대로 제1의 케미컬용 암커넥터(310)와 제1의 질소용 암커넥터(320)로부터 분리될 수도 있다.As the transfer robot arm 800 transfers the first male connector mount plate 911 along the first transfer stage 600, the first chemical disposed on the first male connector mount plate 911 The water connector holder 912 and the first nitrogen male connector holder 913 can be simultaneously transferred along the first transfer stage 600. As a result, the first chemical male connector 3110 and the first nitrogen male connector 3120, which constitute the first male connector 3100, are simultaneously transferred along the first transfer stage 600 to form the first male connector 3100. It can be connected to the first chemical female connector 310 and the first nitrogen female connector 320, respectively. Alternatively, it may be separated from the first chemical female connector 310 and the first nitrogen female connector 320.
도 3에서 제1의 케미컬용 수커넥터(3110)와 제1의 질소용 수커넥터(3120)에 연결되는 호스(Hose)는 편의상 생략되었다. 통상적으로 질소용 호스도 케미컬용 호스와 함께 케미컬 자동공급장치(1000)에 연결되어, 탱크로리에 질소(N2)를 공급함으로써 가압에 의해 케미컬의 공급을 가속화시킬 수 있다.In FIG. 3 , the hose connected to the first chemical male connector 3110 and the first nitrogen male connector 3120 is omitted for convenience. Typically, the nitrogen hose is also connected to the chemical automatic supply device 1000 along with the chemical hose, and nitrogen (N2 ) is supplied to the tank lorry, thereby accelerating the supply of chemicals through pressurization.
제1의 이송 스테이지(600)는 제1의 거치 유닛(100) 내부까지 연장되어 있을 수 있으며, 제1의 거치 유닛(100)은 벽체(2000)의 개방부(2100)에 삽입되어 있을 수 있다.The first transfer stage 600 may extend to the inside of the first mounting unit 100, and the first mounting unit 100 may be inserted into the opening 2100 of the wall 2000. .
이송 로봇암(800)이 이송 로봇암 스테이지(500)를 따라 이동하여 제1의 이송 스테이지(600) 근처에 위치하면, 그 이동을 멈추고 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)를 파지할 수 있다.When the transfer robot arm 800 moves along the transfer robot arm stage 500 and is located near the first transfer stage 600, the movement can be stopped and the first male connector mounting plate 911 can be grasped. .
일 실시예에 따라, 제1의 이송 스테이지(600)는, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610)와 이격되어 배치된 제1의 질소용 이송 스테이지(620)를 포함하고,According to one embodiment, the first transfer stage 600 is a first transfer stage for chemicals 610 and a first transfer stage for nitrogen arranged to be spaced apart from the first transfer stage 610 for chemicals ( 620),
이송 로봇암(800)은, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 질소용 이송 스테이지(620) 사이에 위치된 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역을 파지할 수 있다.The transfer robot arm 800 can grip the area of the first male connector mounting plate 911 located between the first transfer stage 610 for chemicals and the first transfer stage 620 for nitrogen. .
제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 질소용 이송 스테이지(620)는 이격되어 있을 수도 있지만 일체형으로 구성될 수도 있다.The first transfer stage 610 for chemicals and the first transfer stage 620 for nitrogen may be spaced apart, but may also be configured as an integrated unit.
도 3은 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610), 제1의 질소용 이송 스테이지(620), 제1의 이송 스테이지(600), 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911), 제1의 케미컬용 암커넥터(310), 제1의 질소용 암커넥터(320)에 대하여 설명하고 있지만, 도 2에 도시된 제2의 이송 스테이지(700)를 구성하는 제2의 케미컬용 이송 스테이지(710), 제2의 질소용 이송 스테이지(720), 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921), 제2의 케미컬용 암커넥터(410), 및 제2의 질소용 암커넥터(420)에도 상기의 실시예가 마찬가지로 적용될 수 있다.3 shows a first chemical transfer stage 610, a first nitrogen transfer stage 620, a first transfer stage 600, a first male connector mounting plate 911, and a first chemical transfer stage 610. Although the female connector 310 and the first female connector 320 for nitrogen are described, the second chemical transfer stage 710 and the second chemical transfer stage 710 constituting the second transfer stage 700 shown in FIG. 2 The above embodiment can be similarly applied to the second nitrogen transfer stage 720, the second male connector mounting plate 921, the second chemical female connector 410, and the second nitrogen female connector 420. You can.
도 4는 일 실시예에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트의 영역을 파지한 이송 로봇암을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 이송 로봇암(800)은, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 질소용 이송 스테이지(620) 사이에 위치된 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역을 파지할 수 있다.FIG. 4 is a diagram illustrating a transfer robot arm gripping an area of a first male connector mounting plate, according to an embodiment. As shown, the transfer robot arm 800 is located in the area of the first male connector mounting plate 911 located between the first chemical transfer stage 610 and the first nitrogen transfer stage 620. can be grasped.
일 실시예에 따라, 이송 로봇암(800)의 단부에 커넥터(801)가 구비되어 있을 수 있다. 커넥터(801)는 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 질소용 이송 스테이지(620) 사이에 위치된 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역에 접촉될 수 있다. 파지의 방법은 다양할 수 있으며, 커넥터(801)가 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)에 고정될 수 있는 다양한 방법이 적용될 수 있다.According to one embodiment, a connector 801 may be provided at the end of the transfer robot arm 800. The connector 801 may be in contact with an area of the first male connector mounting plate 911 located between the first transfer stage 610 for chemicals and the first transfer stage 620 for nitrogen. The gripping method may vary, and various methods by which the connector 801 can be fixed to the first male connector mounting plate 911 may be applied.
일 실시예에 따라, 이송 로봇암(800)은, 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역 및 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921)의 영역의 '하면'을 파지할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 이송 로봇암(800)의 커넥터(801)는 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역의 '하면'을 파지할 수 있다. 이로 인해, 효율적이고 안정적으로, 수커넥터를 암커넥터로 이동시키거나 수커넥터를 암커넥터로부터 멀어지게 할 수 있다. 또한, 이로 인해, 이송 로봇암(800)의 높이를 작게 할 수 있고, 이송 로봇암(800)이 제1의 이송 스테이지(600)의 하부에서 자유로운 이동이 가능할 수 있다.According to one embodiment, the transfer robot arm 800 may grip the 'lower surface' of the area of the first male connector mounting plate 911 and the area of the second male connector mounting plate 921. As shown in FIG. 4, the connector 801 of the transfer robot arm 800 can grip the 'lower surface' of the area of the first male connector mounting plate 911. Because of this, it is possible to efficiently and reliably move the male connector to the female connector or move the male connector away from the female connector. Additionally, because of this, the height of the transfer robot arm 800 can be reduced, and the transfer robot arm 800 can move freely under the first transfer stage 600.
상기와 같이 이송 로봇암(800)은, 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역 및 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921)의 영역의 '하면'을 파지할 수 있는 것을 예시로 들었지만 상면, 전단 또는 후단을 파지할 수도 있다.As described above, the transfer robot arm 800 is given as an example of being able to grip the 'lower surface' of the area of the first male connector mounting plate 911 and the area of the second male connector mounting plate 921, but the upper surface , the front or rear end may be gripped.
도 4는 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610), 제1의 질소용 이송 스테이지(620), 제1의 이송 스테이지(600), 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)에 대하여 설명하고 있지만, 도 2에 도시된 제2의 이송 스테이지(700)를 구성하는 제2의 케미컬용 이송 스테이지(710), 제2의 질소용 이송 스테이지(720), 제2의 이송 스테이지(700), 및 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921)에도 상기의 실시예가 마찬가지로 적용될 수 있다.FIG. 4 illustrates the first chemical transfer stage 610, the first nitrogen transfer stage 620, the first transfer stage 600, and the first male connector mounting plate 911. The second transfer stage 710 for chemicals, the second transfer stage 720 for nitrogen, the second transfer stage 700, and the second transfer stage 700 shown in FIG. 2. The above embodiment can be similarly applied to the male connector mounting plate 921.
도 5는 일 실시예에 따라, 이송 로봇암이 배치된 케미컬 자동공급 시스템의 측면도이다. 도시된 바와 같이, 이송 로봇암(800)은 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)에 의해 이송 로봇암 스테이지(500) 상에 배치되어, 제1의 방향(X 방향)을 따라 이동할 수 있고, 제1의 수커넥터 거치부를 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 제2의 방향(Y 방향)으로 이송할 수 있다. 제1의 이송 스테이지(600)는 제1의 거치 유닛(100) 및 제1의 이송 챔버(300)를 연결할 수 있다.Figure 5 is a side view of an automatic chemical supply system in which a transfer robot arm is disposed, according to one embodiment. As shown, the transfer robot arm 800 is disposed on the transfer robot arm stage 500 by the first male connector mounting plate 911 and can move along the first direction (X direction), The first male connector holder can be transferred in the second direction (Y direction) along the first transfer stage 600. The first transfer stage 600 may connect the first mounting unit 100 and the first transfer chamber 300.
이송 로봇암(800)은 제3의 방향(Z 방향)으로 연장된 높이를 가질 수 있다. 일 실시예에 따라, 이송 로봇암 스테이지(500)가 배치되는 지면과 제1의 이송 챔버(300)가 배치되는 지면은 높이 h의 단차(Step)가 형성되어 있을 수 있다. 즉, 제1의 이송 챔버(300)가 배치되는 지면은 이송 로봇암 스테이지(500)가 배치되는 지면 보다 h 높이 만큼 더 높을 수 있다. 이로 인해, 이송 로봇암(800)이 제1의 이송 스테이지(600) 하부에서 자유롭게 이동할 수 있다. 다만, 이송 로봇암의 높이가 충분히 낮은 경우 단차는 없을 수도 있다.The transfer robot arm 800 may have a height extending in the third direction (Z direction). According to one embodiment, a step of height h may be formed between the ground on which the transfer robot arm stage 500 is placed and the ground on which the first transfer chamber 300 is placed. That is, the ground on which the first transfer chamber 300 is placed may be higher by a height of h than the ground on which the transfer robot arm stage 500 is placed. Because of this, the transfer robot arm 800 can freely move below the first transfer stage 600. However, if the height of the transfer robot arm is sufficiently low, there may be no step.
도 5는 제1의 거치 유닛(100), 제1의 이송 챔버(300), 제1의 이송 스테이지(600)에 대하여 설명하고 있지만, 도 2에 도시된 제2의 거치 유닛(200), 제2의 이송 챔버(400), 및 제2의 이송 스테이지(700)에도 상기의 실시예가 마찬가지로 적용될 수 있다.5 illustrates the first mounting unit 100, the first transfer chamber 300, and the first transfer stage 600, but the second mounting unit 200 shown in FIG. The above embodiment can be similarly applied to the second transfer chamber 400 and the second transfer stage 700.
도 6은 일 실시예에 따라, 이동 구동부가 구비된 이송 로봇암을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 이송 로봇암(800)은 이동 구동부(820)를 포함할 수 있다. 이로 인해, 상기 이송 로봇암 스테이지(500) 상에서 자율 주행이 가능할 수 있다. 이송 로봇암(800)은 일단에 커넥터(801)가 구비되어 수커넥터 거치 플레이트(911, 921)에 결합 및 고정될 수 있다. 이송 로봇암(800)은 다축 다관절(Articulated) 로봇일 수 있다.FIG. 6 is a diagram illustrating a transfer robot arm equipped with a movement drive unit, according to an embodiment. As shown, the transfer robot arm 800 may include a movement driver 820. Because of this, autonomous driving may be possible on the transfer robot arm stage 500. The transfer robot arm 800 is provided with a connector 801 at one end and can be coupled to and fixed to the male connector mounting plates 911 and 921. The transfer robot arm 800 may be a multi-axis articulated robot.
도 7은 일 실시예에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트를 파지한 이동 구동부가 구비된 이송 로봇암을 포함하는 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급 시스템(1000)에 있어서, 제1의 수커넥터 거치부(910)는 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911), 및 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911) 상에 배치된 제1의 케미컬용 수커넥터 거치부(912) 및 제1의 질소용 수커넥터 거치부(913)를 포함할 수 있다. 이송 로봇암(800)은, 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)를 파지하고 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송할 수 있다.FIG. 7 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system including a transfer robot arm provided with a moving drive unit holding a first male connector mounting plate, according to an embodiment. As shown, in the automatic chemical supply system 1000, the first male connector holder 910 is on the first male connector holder plate 911, and the first male connector holder plate 911. It may include a first chemical male connector holder 912 and a first nitrogen male connector holder 913. The transfer robot arm 800 can hold the first male connector mounting plate 911 and transfer it along the first transfer stage 600.
이송 로봇암(800)은 이동 구동부(820)가 구비되어 이송 로봇암 스테이지(500) 상에서 자유롭게 이동할 수 있다. 이송 로봇암 스테이지(500)는 레일을 포함하지 않을 수 있다. 이동 구동부(820)는 모터로 구성될 수 있다. 이송 로봇암(800)은 자율 주행이 가능함으로 인해 통과가 어려운 환경에서도 우회 이동을 통해 작업을 탄력적으로 수행할 수 있다. 즉, 이송 로봇암(800)은, 이동 구동부(820)가 구비되어 상기 이송 로봇암 스테이지 상 또는 상기 이송 로봇암 스테이지를 우회하는 또 다른 스테이지 상에서 자율 주행할 수 있다.The transfer robot arm 800 is provided with a movement driver 820 and can move freely on the transfer robot arm stage 500. The transfer robot arm stage 500 may not include rails. The movement driver 820 may be composed of a motor. Because the transfer robot arm 800 is capable of autonomous driving, it can flexibly perform work through detour movement even in environments where passage is difficult. That is, the transfer robot arm 800 is provided with a movement driver 820 and can autonomously travel on the transfer robot arm stage or on another stage that bypasses the transfer robot arm stage.
이송 로봇암(800)이 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)를 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송함에 따라, 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911) 상에 배치된 제1의 케미컬용 수커넥터 거치부(912) 및 제1의 질소용 수커넥터 거치부(913)가 동시에 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송할 수 있다. 이로 인해, 제1의 케미컬용 수커넥터(3110)와 제1의 질소용 수커넥터(3120)가 동시에 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송되어 제1의 케미컬용 암커넥터(311)와 제1의 질소용 암커넥터(312)에 각각 체결될 수 있다. 또한 그 반대로 분리될 수도 있다.As the transfer robot arm 800 transfers the first male connector mount plate 911 along the first transfer stage 600, the first chemical disposed on the first male connector mount plate 911 The water connector holder 912 and the first nitrogen male connector holder 913 can be simultaneously transferred along the first transfer stage 600. As a result, the first chemical male connector 3110 and the first nitrogen male connector 3120 are simultaneously transferred along the first transfer stage 600 and connected to the first chemical female connector 311 and the first nitrogen male connector 3120. Each can be connected to the female connector 312 for nitrogen in 1. It can also be separated in reverse.
도 7에서 제1의 케미컬용 수커넥터(3110)와 제1의 질소용 수커넥터(3120)에 연결되는 호스는 편의상 생략되었다.In FIG. 7 , the hose connected to the first chemical male connector 3110 and the first nitrogen male connector 3120 is omitted for convenience.
제1의 이송 스테이지(600)는 제1의 거치 유닛(100) 내부까지 연장되어 있을 수 있으며, 제1의 거치 유닛(100)은 벽체(2000)의 개방부(2100)에 삽입되어 있을 수 있다.The first transfer stage 600 may extend to the inside of the first mounting unit 100, and the first mounting unit 100 may be inserted into the opening 2100 of the wall 2000. .
이송 로봇암(800)이 이송 로봇암 스테이지(500)를 따라 이동하여 제1의 이송 스테이지(600) 근처에 위치하면, 그 이동을 멈추고 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)를 파지할 수 있다.When the transfer robot arm 800 moves along the transfer robot arm stage 500 and is located near the first transfer stage 600, the movement can be stopped and the first male connector mounting plate 911 can be grasped. .
일 실시예에 따라, 제1의 이송 스테이지(600)는, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610)와 이격되어 배치된 제1의 질소용 이송 스테이지(620)를 포함하고,According to one embodiment, the first transfer stage 600 is a first transfer stage for chemicals 610 and a first transfer stage for nitrogen arranged to be spaced apart from the first transfer stage 610 for chemicals ( 620),
이송 로봇암(800)은, 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610) 및 제1의 질소용 이송 스테이지(620) 사이에 위치된 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911)의 영역을 파지할 수 있다. 이로 인해, 제1의 수커넥터(3100)를 구성하는 제1의 케미컬용 수커넥터(3110)와 제1의 질소용 수커넥터(3120)가 동시에 제1의 이송 스테이지(600)를 따라 이송되어 제1의 케미컬용 암커넥터(311)와 제1의 질소용 암커넥터(312)에 각각 체결될 수 있다.The transfer robot arm 800 can grip the area of the first male connector mounting plate 911 located between the first transfer stage 610 for chemicals and the first transfer stage 620 for nitrogen. . As a result, the first chemical male connector 3110 and the first nitrogen male connector 3120, which constitute the first male connector 3100, are simultaneously transferred along the first transfer stage 600 to form the first male connector 3100. It can be connected to the first chemical female connector 311 and the first nitrogen female connector 312, respectively.
도 7은 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610), 제1의 질소용 이송 스테이지(620), 제1의 이송 스테이지(600), 제1의 수커넥터 거치 플레이트(911), 제1의 케미컬용 암커넥터(311), 제1의 질소용 암커넥터(312)에 대하여 설명하고 있지만, 도 2에 도시된 제2의 케미컬용 이송 스테이지(710), 제2의 질소용 이송 스테이지(720), 제2의 이송 스테이지(700), 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921), 제2의 케미컬용 암커넥터(411), 제1의 수커넥터, 및 제2의 질소용 암커넥터(412)를 구성하는 제2의 암커넥터(410)에도 상기의 실시예가 마찬가지로 적용될 수 있다.7 shows a first chemical transfer stage 610, a first nitrogen transfer stage 620, a first transfer stage 600, a first male connector mounting plate 911, and a first chemical transfer stage 620. Although the female connector 311 and the first female connector 312 for nitrogen are described, the second chemical transfer stage 710, the second nitrogen transfer stage 720, and the second chemical transfer stage 720 shown in FIG. Consisting of two transfer stages 700, a second male connector mounting plate 921, a second chemical female connector 411, a first male connector, and a second nitrogen female connector 412. The above embodiment can be similarly applied to the second female connector 410.
도 8은 일 실시예에 따라, 스테이지 다이크가 포함된 케미컬 자동공급 시스템을 설명하는 도면이다. 일 실시예에 따라, 케미컬 자동공급 시스템(1000)은 상기 제2의 방향으로 연장되고, 제1의 이송 스테이지 및 제2의 이송 스테이지의 하부에 각각 배치되어 케미컬의 누액이 수용되는 스테이지 다이크(Dike, 510)를 포함할 수 있다.Figure 8 is a diagram illustrating an automatic chemical supply system including a stage dyke, according to an embodiment. According to one embodiment, the automatic chemical supply system 1000 extends in the second direction and is disposed at the lower part of the first transfer stage and the second transfer stage, respectively, to accommodate the leaking chemical liquid. , 510).
스테이지 다이크(510)는 도시된 바와 같이, 제1의 이송 스테이지(600) 하부에 배치되고 제2의 방향(Y 방향)으로 연장되어 누액을 저장 내지 수용할 수 있다. 예를 들어, 제1의 수커넥터(3100)가 제1의 거치 유닛(100)에 배치된 상태 또는 이송 로봇암(800)에 의해 제1의 수커넥터(3100)가 제1의 이송 스테이지(600) 상에서 이송되는 상태, 또는 제1의 수커넥터(3100)가 제1의 암커넥터(310)에 체결 또는 분리되는 상태에서 제1의 수커넥터(3100)에서 케미컬의 누액이 발생한 경우, 스테이지 다이크(510)는 누액 받이 기능을 수행할 수 있다.As shown, the stage dyke 510 is disposed below the first transfer stage 600 and extends in the second direction (Y direction) to store or receive tear fluid. For example, the first male connector 3100 is placed on the first mounting unit 100 or the first male connector 3100 is connected to the first transfer stage 600 by the transfer robot arm 800. ), or when chemical leakage occurs in the first male connector 3100 while being transported on, or in a state in which the first male connector 3100 is connected to or separated from the first female connector 310, stage dyke ( 510) can perform a tear-receiving function.
스테이지 다이크(510)는 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610)의 하부에 배치된 케미컬용 다이크(511)와, 제1의 질소용 이송 스테이지(620)의 하부에 배치된 질소용 다이크(512)를 포함할 수 있다. 또한, 스테이지 다이크(510)는 질소용 다이크(512)를 포함하지 않을 수 있다.The stage dyke 510 includes a chemical dyke 511 disposed below the first chemical transfer stage 610, and a nitrogen dyke 512 disposed below the first nitrogen transfer stage 620. may include. Additionally, the stage dyke 510 may not include a dyke 512 for nitrogen.
일 실시예에 따라, 케미컬 자동공급 시스템(1000)은 드레인(520) 및 누액 감지용 센서(530)를 더 포함할 수 있다. 도 8의 B를 확대하면 드레인(520) 및 누액 감지용 센서(530)의 배치 위치가 확인될 수 있다. 드레인(520)은 제1의 암커넥터(310)의 입구의 하부에 구비될 수 있다.According to one embodiment, the automatic chemical supply system 1000 may further include a drain 520 and a sensor 530 for detecting leakage. By enlarging B in FIG. 8, the placement positions of the drain 520 and the sensor 530 for detecting leakage can be confirmed. The drain 520 may be provided below the inlet of the first female connector 310.
일 실시예에 따라, 스테이지 다이크(510)는 제2의 방향으로 갈수록 하강 경사(구배)가 형성되도록 배치될 수 있다. 이로 인해 스테이지 다이크(510)에서 일시적으로 저장된 케미컬 누액이 드레인(520)에 도달되어 배출될 수 있다.According to one embodiment, the stage dyke 510 may be arranged so that a downward slope (gradient) is formed toward the second direction. As a result, the chemical leak temporarily stored in the stage dyke 510 may reach the drain 520 and be discharged.
일 실시예에 따라, 드레인(520) 영역에는 누액 감지용 센서(530)가 구비될 수 있다. 누액 감지용 센서(530)는 누액 여부를 감지할 수 있으며, 더 나아가 누액의 양을 감지할 수도 있다. 이로 인해 케미컬 자동공급 시스템(1000)은 다양한 제어 동작이 수행될 수 있다.According to one embodiment, a sensor 530 for detecting leakage may be provided in the drain 520 area. The sensor 530 for detecting leaked liquid can detect whether there is leaked liquid, and can further detect the amount of leaked liquid. Because of this, the automatic chemical supply system 1000 can perform various control operations.
일 실시예에 따라, 누액 감지용 센서(530)가 스테이지 다이크(510) 상에 설치 내지 배치되어 있을 수도 있다.According to one embodiment, the sensor 530 for detecting leakage may be installed or disposed on the stage dyke 510.
또 다른 일 실시예에 따라, 상기와 같이 누액 감지용 센서(530)가 스테이지 다이크(510) 상에 설치 내지 배치되고, 스테이지 다이크(510)에는 하강 경사가 없어 누액을 담아 두기만 할 수도 있다.According to another embodiment, the sensor 530 for detecting leakage liquid is installed or disposed on the stage dyke 510 as described above, and the stage dyke 510 has no downward slope and may only contain the leakage liquid.
도 8은 제1의 케미컬용 이송 스테이지(610), 제1의 질소용 이송 스테이지(620), 제1의 이송 스테이지(600), 제1의 케미컬용 암커넥터(311), 제1의 질소용 암커넥터(312)에 대하여 설명하고 있지만, 제2의 케미컬용 이송 스테이지(710), 제2의 질소용 이송 스테이지(720), 제2의 이송 스테이지(700), 제2의 수커넥터 거치 플레이트(921), 제2의 케미컬용 암커넥터(411), 제1의 수커넥터, 및 제2의 질소용 암커넥터(412)를 구성하는 제2의 암커넥터(410)에도 상기의 실시예가 마찬가지로 적용될 수 있다.8 shows a first chemical transfer stage 610, a first nitrogen transfer stage 620, a first transfer stage 600, a first chemical female connector 311, and a first nitrogen transfer stage 610. Although the female connector 312 is explained, the second chemical transfer stage 710, the second nitrogen transfer stage 720, the second transfer stage 700, and the second male connector mounting plate ( 921), the above embodiment can be similarly applied to the second female connector 410 constituting the second chemical female connector 411, the first male connector, and the second nitrogen female connector 412. there is.
도 9는 일 실시예에 따라, 로봇 다이크가 구비된 이송 로봇암을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 이송 로봇암(800)은 로봇 다이크(830)를 포함할 수 있다. 이로 인해, 상기 이송 로봇암 스테이지(500) 상에서 누액 받이 기능을 할 수도 있다. 이송 로봇암(800)은 다축 다관절(Articulated) 로봇일 수 있다. 로봇 다이크(830)는 케미컬의 누액을 수용할 수 있다. 상기 도 3에 대해 설명한 내용은 도 9에 참조에 의해 결합될 수 있다.Figure 9 is a diagram explaining a transfer robot arm equipped with a robot dyke, according to an embodiment. As shown, the transfer robot arm 800 may include a robot dyke 830. Because of this, the transfer robot arm stage 500 can also function as a liquid catcher. The transfer robot arm 800 may be a multi-axis articulated robot. The robot dyke 830 can accommodate chemical leakage. The content described with respect to FIG. 3 may be combined with reference to FIG. 9 .
로봇 다이크(830)는 누액을 저장할 수 있다. 예를 들어, 이송 로봇암(800)에 의해 제1의 수커넥터(3100)가 이송되는 상태 또는 제1의 수커넥터(3100)가 제1의 암커넥터(310)에 체결 또는 분리되는 상태에서 제1의 수커넥터(3100)에서 케미컬의 누액이 발생한 경우, 로봇 다이크(830)는 누액 받이 기능을 수행할 수 있다.Robot Dyke 830 can store tear fluid. For example, in a state in which the first male connector 3100 is transported by the transfer robot arm 800 or in a state in which the first male connector 3100 is connected to or separated from the first female connector 310, If chemical leakage occurs in the male connector 3100 of 1, the robot dyke 830 can perform a leak-receiving function.
일 실시예에 따라, 로봇 다이크(830) 영역에는 누액 감지용 센서(530)가 구비될 수 있다. 누액 감지용 센서(530)는 누액 여부를 감지할 수 있으며, 더 나아가 누액의 양을 감지할 수도 있다. 이로 인해 케미컬 자동공급 시스템(1000)은 다양한 제어 동작이 수행될 수 있다.According to one embodiment, a sensor 530 for detecting leakage may be provided in the robot dyke 830 area. The sensor 530 for detecting leaked liquid can detect whether there is leaked liquid, and can further detect the amount of leaked liquid. Because of this, the automatic chemical supply system 1000 can perform various control operations.
도 10은 일 실시예에 따라, 로봇 다이크 및 이동 구동부가 구비된 이송 로봇암을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 이송 로봇암(800)은 이동 구동부(820) 및 로봇 다이크(830)를 포함할 수 있다. 이로 인해, 상기 이송 로봇암 스테이지(500) 상에서 자율 주행이 가능할 뿐만 아니라 누액 받이 기능을 할 수도 있다. 이송 로봇암(800)은 다축 다관절(Articulated) 로봇일 수 있다. 로봇 다이크(830)는 케미컬의 누액을 수용할 수 있다.Figure 10 is a diagram explaining a transfer robot arm equipped with a robot dyke and a movement drive unit, according to an embodiment. As shown, the transfer robot arm 800 may include a movement driver 820 and a robot dyke 830. Due to this, not only autonomous driving is possible on the transfer robot arm stage 500, but also it can function as a liquid catcher. The transfer robot arm 800 may be a multi-axis articulated robot. The robot dyke 830 can accommodate chemical leakage.
로봇 다이크(830)는 이동 구동부(820) 상부에 배치되고 누액을 저장할 수 있다. 예를 들어, 이송 로봇암(800)에 의해 제1의 수커넥터(3100)가 이송되는 상태 또는 제1의 수커넥터(3100)가 제1의 암커넥터(310)에 체결 또는 분리되는 상태에서 제1의 수커넥터(3100)에서 케미컬의 누액이 발생한 경우, 로봇 다이크(830)는 누액 받이 기능을 수행할 수 있다.The robot dyke 830 is placed on top of the moving drive unit 820 and can store leaky fluid. For example, in a state in which the first male connector 3100 is transported by the transfer robot arm 800 or in a state in which the first male connector 3100 is connected to or separated from the first female connector 310, If a chemical leak occurs in the male connector 3100 of 1, the robot dyke 830 can perform a leak-receiving function.
일 실시예에 따라, 로봇 다이크(830) 영역에는 누액 감지용 센서(530)가 구비될 수 있다. 누액 감지용 센서(530)는 누액 여부를 감지할 수 있으며, 더 나아가 누액의 양을 감지할 수도 있다. 이로 인해 케미컬 자동공급 시스템(1000)은 다양한 제어 동작이 수행될 수 있다.According to one embodiment, a sensor 530 for detecting leakage may be provided in the robot dyke 830 area. The sensor 530 for detecting leaked liquid can detect whether there is leaked liquid, and can further detect the amount of leaked liquid. Because of this, the automatic chemical supply system 1000 can perform various control operations.
상기 도 7에 대해 설명한 내용은 도 10에 참조에 의해 결합될 수 있다.The content described with respect to FIG. 7 may be combined with reference to FIG. 10 .
1000 : 케미컬 자동공급 시스템
2000 : 벽체
100 : 제1의 거치 유닛
200 : 제2의 거치 유닛
300 : 제1의 이송 챔버
310 : 제1의 암커넥터
311 : 제1의 케미컬용 암커넥터
312 : 제1의 질소용 암커넥터
400 : 제2의 이송 챔버
410 : 제2의 암커넥터
411 : 제2의 케미컬용 암커넥터
412 : 제2의 질소용 암커넥터
500 : 이송 로봇암 스테이지
510 : 스테이지 다이크
511 : 케미컬용 다이크
512 : 질소용 다이크
520 : 드레인
530 : 누액 감지용 센서
600 : 제1의 이송 스테이지
610 : 제1의 케미컬용 이송 스테이지
620 : 제1의 질소용 이송 스테이지
700 : 제2의 이송 스테이지
710 : 제2의 케미컬용 이송 스테이지
720 : 제2의 질소용 이송 스테이지
800 : 이송 로봇암
801 : 커넥터
810 : 이송 로봇암 거치 플레이트
820 : 이동 구동부
830 : 로봇 다이크
910 : 제1의 수커넥터 거치부
911 : 제1의 수커넥터 거치 플레이트
912 : 제1의 케미컬용 수커넥터 거치부
913 : 제1의 질소용 수커넥터 거치부
920 : 제2의 수커넥터 거치부
921 : 제2의 수커넥터 거치 플레이트
922 : 제2의 케미컬용 수커넥터 거치부
923 : 제2의 질소용 수커넥터 거치부
3100 : 제1의 수커넥터
3110 : 제1의 케미컬용 수커넥터
3120 : 제1의 질소용 수커넥터1000: Automatic chemical supply system
2000: Wall
100: 1st mounting unit
200: Second mounting unit
300: first transfer chamber
310: 1st female connector
311: No. 1 female connector for chemicals
312: First female connector for nitrogen
400: second transfer chamber
410: Second female connector
411: Second chemical female connector
412: Second female connector for nitrogen
500: Transfer robot arm stage
510: Stage Dyke
511: Dyke for chemicals
512: Dyke for nitrogen
520: drain
530: Sensor for detecting leakage
600: first transfer stage
610: 1st chemical transfer stage
620: First transfer stage for nitrogen
700: Second transfer stage
710: Second chemical transfer stage
720: Second transfer stage for nitrogen
800: Transfer robot arm
801: connector
810: Transfer robot arm mounting plate
820: moving driving unit
830 : Robot Dyke
910: First male connector holder
911: 1st male connector mounting plate
912: First chemical male connector holder
913: First nitrogen male connector holder
920: Second male connector holder
921: Second male connector holder plate
922: Second chemical male connector holder
923: Second nitrogen male connector holder
3100: 1st male connector
3110: No. 1 chemical male connector
3120: First male connector for nitrogen
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|---|---|---|---|
| KR1020230034867AKR102689610B1 (en) | 2023-03-17 | 2023-03-17 | Automatic chemical supply system using transfer robot arm |
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