KR102207900B1 - Optical inspection apparatus and method of optical inspection - Google Patents

Abstract

Translated fromKorean

광학 검사 장치는 표시 패널에 제 1 파장의 광을 조사하는 제 1 광원, 표시 패널에 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원, 표시 패널에 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원, 표시 패널에서 반사되는 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 표시 패널에서 반사되는 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터, 표시 패널에서 반사되는 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터, 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자 및 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 포함하는 카메라 및 제 1 전하 결합 소자에서 취득되는 제 1 영상, 제 2 전하 결합 소자에서 취득되는 제 2 영상 및 제 3 전하 결합 소자에서 취득되는 제 3 영상을 조합하여 표시 패널의 불량을 분석하는 영상 분석부를 포함한다.The optical inspection apparatus includes a first light source that irradiates light of a first wavelength to the display panel, a second light source that irradiates light of a second wavelength to the display panel, a third light source that irradiates light of a third wavelength to the display panel, and displays. A first filter for passing light of a first wavelength reflected from the panel, a second filter for passing light of a second wavelength reflected from the display panel, a third filter for passing light of a third wavelength reflected from the display panel, Camera and first charge coupling including a first charge coupling element arranged to correspond to the first filter, a second charge coupling element arranged to correspond to the second filter, and a third charge coupling element arranged to correspond to the third filter And an image analyzer configured to analyze a defect of the display panel by combining the first image acquired from the device, the second image acquired from the second charge-coupled device, and the third image acquired from the third charge-coupled device.

Description

Translated fromKorean

광학 검사 장치 및 광학 검사 방법{OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF OPTICAL INSPECTION}An optical inspection device and an optical inspection method TECHNICAL FIELD [OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF OPTICAL INSPECTION}

본 발명은 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 평판 표시 장치의 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection device. More specifically, the present invention relates to an optical inspection device and an optical inspection method of a flat panel display device.

평판 표시 장치(Flat Panel Display Device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치(Cathoderay Tube Display Device)를 대체하는 표시 장치로서 사용되고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device; LCD)와 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode display device; OLED)가 있다. 이러한 평판 표시 장치의 제조 공정에서 표시 패널(Display Panel)의 불량을 검출하는 다양한 장치 및 방법이 있다.Flat panel display devices are used as a display device that replaces a cathode ray tube display device due to characteristics such as light weight and thinness. Representative examples of such a flat panel display include a liquid crystal display device (LCD) and an organic light emitting diode display device (OLED). There are various devices and methods for detecting defects in a display panel in the manufacturing process of such a flat panel display device.

광학 검사 장치는 표시 패널의 제조 과정 중 또는 제조 완료 후에 검사 공정을 진행하여 불량을 검출 수 있다. 광학 검사 장치는, 표시 패널에 직접 접촉시키지 않고 빛을 조사하여 그 반사되는 빛을 카메라에 전달시킬 수 있다. 광학 검사 장치는 카메라에 전달되는 광량의 차를 이용하여 표시 패널의 불량 여부를 검출할 수 있다. 그러나, 이러한 광학 검사 장치는 표시 패널의 불량 여부만을 검출하고, 불량의 종류는 파악할 수 없다. 따라서, 표면 이물 불량과 같이 양품화 가능한 불량을 가진 표시 패널도 불량으로 분류되어 수율을 감소시키는 문제점이 있다.The optical inspection apparatus may detect defects by performing an inspection process during or after manufacturing of the display panel is completed. The optical inspection apparatus may irradiate light without directly contacting the display panel and transmit the reflected light to the camera. The optical inspection apparatus may detect whether the display panel is defective by using a difference in the amount of light transmitted to the camera. However, such an optical inspection apparatus only detects whether a display panel is defective, and cannot determine the type of defect. Accordingly, there is a problem in that a display panel having a defect that can be good quality, such as a defect of a surface foreign substance, is classified as a defect, reducing the yield.

본 발명의 일 목적은 표시 패널의 불량 종류를 파악할 수 있는 광학 검사 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an optical inspection device capable of identifying a defect type of a display panel.

본 발명의 다른 목적은 광학 검사 장치를 이용한 광학 검사 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an optical inspection method using an optical inspection device.

그러나, 본 발명이 목적은 상술한 목적들로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-described objects, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.

본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치는 표시 패널에 제 1 파장의 광을 조사하는 제 1 광원, 상기 표시 패널에 상기 제 1 파장과 상이한 파장을 갖는 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원, 상기 표시 패널에 상기 제 1 파장 및 상기 제 2 파장과 상이한 파장을 갖는 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터, 상기 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 상기 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자, 및 상기 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 포함하는 카메라, 및 상기 제 1 전하 결합 소자에서 취득되는 제 1 영상, 상기 제 2 전하 결합 소자에서 취득되는 제 2 영상 및 상기 제 3 전하 결합 소자에서 취득되는 제 3 영상을 조합하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 영상 분석부를 포함할 수 있다.In order to achieve an object of the present invention, an optical inspection apparatus according to embodiments of the present invention includes a first light source for irradiating light of a first wavelength to a display panel, and having a wavelength different from the first wavelength to the display panel. A second light source that irradiates light of a second wavelength, a third light source that irradiates the display panel with light of a third wavelength having a wavelength different from the first wavelength and the second wavelength, and the third light source reflected from the display panel A first filter for passing light of one wavelength, a second filter for passing light of the second wavelength reflected from the display panel, a third filter for passing light of the third wavelength reflected from the display panel, the A camera including a first charge-coupled element disposed to correspond to a first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a third charge-coupled element disposed to correspond to the third filter, and An image for detecting a defect in the display panel by combining a first image acquired from the first charge-coupled device, a second image acquired from the second charge-coupled device, and a third image acquired from the third charge-coupled device It may include an analysis unit.

일 실시예에 의하면, 상기 영상 분석부는 상기 제 1 영상에서의 상기 불량의 밝기, 상기 제 2 영상에서의 상기 불량의 밝기 및 상기 제 3 영상에서의 상기 불량의 밝기의 조합, 및 상기 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출할 수 있다.According to an embodiment, the image analysis unit includes a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the shape of the defect. The type of defect can be detected based on.

일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 적색 광, 녹색 광 및 청색 광일 수 있다.According to an embodiment, the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength may be red light, green light, and blue light.

일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광은 상기 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel.

일 실시예에 의하면, 상기 제 2 파장의 광은 상기 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the second wavelength may be irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with the display panel.

일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널과 90도의 각을 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel.

일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광을 조사하기 위한 반사 미러를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, a reflecting mirror for irradiating light of the third wavelength may be further included.

일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널에 동시에 조사될 수 있다.According to an exemplary embodiment, light of the first wavelength, light of the second wavelength, and light of the third wavelength may be simultaneously irradiated to the display panel.

본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 방법은 표시 패널에 제 1 광원으로부터 조사되는 제 1 파장의 광, 제 2 광원으로부터 조사되고, 상기 제 1 파장의 광과 상이한 파장을 갖는 제 2 파장의 광 및 제 3 광원으로부터 조사되고, 상기 제 1 파장 및 상기 제 2 파장과 상이한 파장을 갖는 상기 제 3 파장의 광을 동시에 조사하는 단계, 상기 표시 패널에 대향하여 배치되는 카메라로 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영하는 단계 및 상기 제 1 영상, 상기 제 2 영상 및 상기 제 3 영상을 분석하여 불량을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.In order to achieve another object of the present invention, an optical inspection method according to embodiments of the present invention includes light having a first wavelength irradiated from a first light source and a second light source irradiating a display panel, and light having the first wavelength Irradiating light of a second wavelength having a wavelength different from that of a third light source and simultaneously irradiating light of the third wavelength having a wavelength different from that of the first wavelength and the second wavelength, facing the display panel A first image by light of the first wavelength reflected from the display panel by a camera disposed, a second image by light of the second wavelength reflected from the display panel, and the third wavelength reflected from the display panel And detecting a defect by analyzing the first image, the second image, and the third image.

일 실시예에 의하면, 상기 불량을 검출하는 단계는, 상기 제 1 영상에서의 상기 불량의 밝기, 상기 제 2 영상에서의 상기 불량의 밝기 및 상기 제 3 영상에서의 상기 불량의 밝기의 조합, 및 상기 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the detecting of the defect includes a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and It may include the step of detecting the type of the defect based on the type of the defect.

일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 적색 광, 녹색 광 및 청색 광일 수 있다.According to an embodiment, the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength may be red light, green light, and blue light.

일 실시예에 의하면, 상기 제 1 파장의 광은 상기 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각도를 이루면서 조사될 수 있다.According to an exemplary embodiment, the light having the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel.

일 실시예에 의하면, 상기 제 2 파장의 광은 상기 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각도를 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the second wavelength may be irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with the display panel.

일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널과 90도의 각도를 이루면서 조사될 수 있다.According to an embodiment, the light of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel.

일 실시예에 의하면, 상기 제 3 파장의 광을 조사하기 위한 반사 미러를 포함할 수 있다.According to an embodiment, a reflective mirror for irradiating light of the third wavelength may be included.

일 실시예에 의하면, 상기 카메라는 상기 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 상기 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터 및 상기 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the camera may include a first filter for passing light of the first wavelength, a second filter for passing light of the second wavelength, and a third filter for passing light of the third wavelength. I can.

일 실시예에 의하면, 상기 카메라는 상기 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 상기 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자, 및 상기 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the camera includes a first charge-coupled element disposed to correspond to the first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a second charge-coupled element disposed to correspond to the third filter. 3 may further include a charge-coupled device.

본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법은 표시 패널에 적색 파장, 녹색 파장, 청색 파장의 광원을 동시에 조사하고, 각각의 파장을 통과시키는 필터 상부에 위치한 카메라로 영상을 취득하여 분석함으로써, 불량의 종류를 검출할 수 있다. 또한, 광학 검사 장치 및 광학 검사 방법은 불량의 종류를 검출하여 양품화 가능한 표시 패널을 분류함으로써 생산성을 향상시킬 수 있다.In the optical inspection apparatus and optical inspection method according to embodiments of the present invention, a display panel is simultaneously irradiated with light sources of red wavelength, green wavelength, and blue wavelength, and images are acquired with a camera positioned above a filter passing each wavelength. By analyzing, the kind of defect can be detected. In addition, the optical inspection apparatus and the optical inspection method can improve productivity by detecting types of defects and classifying display panels that can be made good.

다만, 본 발명의 효과는 상술한 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 광학 검사 장치에서 검사하는 표시 패널을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 방법을 나타내는 순서도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an optical inspection apparatus according to embodiments of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating a display panel inspected by the optical inspection device of FIG. 1.
3 is a flowchart illustrating an optical inspection method according to embodiments of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same elements in the drawings, and duplicate descriptions for the same elements are omitted.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an optical inspection apparatus according to embodiments of the present invention.

도 1을 참조하면, 광학 검사 장치(100)는 제 1 광원(112), 제 2 광원(114), 제 3 광원(116), 카메라(130) 및 영상 분석부(140)를 포함할 수 있다. 제 1 광원(112)은 표시 패널(P)에 제 1 파장의 광(A)을 조사하고, 제 2 광원(114)은 표시 패널(P)에 제 2 파장의 광(B)을 조사하며, 제 3 광원(116)은 표시 패널(P)에 제 3 파장의 광(C)을 조사할 수 있다. 카메라(130)는 제 1 필터(122), 제 2 필터(124), 제 3 필터(126), 제 1 전하 결합 소자(Charge-Coupled Device; CCD)(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)를 포함할 수 있다. 제 1 필터(122)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 1 파장의 광(A)을 통과시키고, 제 2 필터(124)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 2 파장의 광(B)을 통과시키며, 제 3 필터(126)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 3 파장의 광(C)을 통과시킬 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)에 상응하도록 배치되고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)에 상응하도록 배치되며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)에 상응하도록 배치될 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)를 통과하는 제 1 파장의 광(A)에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)를 통과하는 제 2 파장의 광(B)에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)를 통과하는 제 3 파장의 광(C)에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 영상 분석부(140)는 제 1 내지 제 3 전하 결합 소자들(132, 134, 136)에서 취득되는 제 1 내지 제 3 영상들을 조합하여 표시 패널(P)의 불량을 검출할 수 있다.Referring to FIG. 1, theoptical inspection apparatus 100 may include afirst light source 112, asecond light source 114, athird light source 116, acamera 130, and animage analysis unit 140. . Thefirst light source 112 irradiates light A of a first wavelength to the display panel P, and thesecond light source 114 irradiates light B of a second wavelength to the display panel P, Thethird light source 116 may irradiate the display panel P with light C having a third wavelength. Thecamera 130 includes afirst filter 122, a second filter 124, athird filter 126, a first charge-coupled device (CCD) 132, and a second charge-coupled device 134. ) And a third charge-coupleddevice 136. Thefirst filter 122 passes light of a first wavelength reflected from the display panel P, and the second filter 124 passes light of a second wavelength reflected from the display panel P. And thethird filter 126 may pass light C having a third wavelength reflected from the display panel P. The firstcharge coupling element 132 is disposed to correspond to thefirst filter 122, the secondcharge coupling element 134 is disposed to correspond to the second filter 124, and the thirdcharge coupling element 136 May be disposed to correspond to thethird filter 126. The first charge-coupledelement 132 may capture a first image by light A having a first wavelength passing through thefirst filter 122, and the second charge-coupledelement 134 is a second filter 124 ), a second image can be captured by light (B) of a second wavelength passing through, and the third charge-coupleddevice 136 is generated by light (C) of a third wavelength passing through thethird filter 126. You can take a third video. Theimage analyzer 140 may detect a defect of the display panel P by combining the first to third images acquired from the first to thirdcharge coupling devices 132, 134, and 136.

구체적으로, 제 1 광원(112)은 표시 패널(P)에 제 1 파장의 광(A)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 1 파장의 광(A)은 적색 광일 수 있다. 제 1 광원(112)은 제 1 파장의 광(A)을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 제 1 광원(112)은 적색 광을 방출하는 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED)일 수 있다. 제 2 광원(114)은 표시 패널(P)에 제 2 파장의 광(B)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 2 파장의 광(B)은 녹색 광일 수 있다. 제 2 광원(114)은 제 2 파장의 광(B)을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 제 2 광원(114)은 녹색 광을 방출하는 발광 다이오드일 수 있다. 제 3 광원(116)은 표시 패널(P)에 제 3 파장의 광(C)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 3 파장의 광(C)은 청색 광일 수 있다. 제 3 광원(116)은 제 3 파장의 광(C)을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 제 3 광원(116)은 청색 광을 방출하는 발광 다이오드일 수 있다. 본 발명에서는 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)에서 방출하는 광들로 적색 광, 녹색 광 및 청색 광을 예로 들어 설명하지만, 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원에서 방출하는 광들은 이에 한정되지 않는다. 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)에서 방출하는 광은 각기 다른 파장 대를 갖는 광들 일 수 있다.Specifically, thefirst light source 112 may irradiate the display panel P with light A of the first wavelength. For example, the light A of the first wavelength may be red light. Thefirst light source 112 may be an optical element capable of emitting light A of a first wavelength. Thefirst light source 112 may be a light emitting diode (LED) that emits red light. Thesecond light source 114 may irradiate the display panel P with light B having a second wavelength. For example, the light B of the second wavelength may be green light. Thesecond light source 114 may be an optical element capable of emitting light B of a second wavelength. Thesecond light source 114 may be a light emitting diode emitting green light. Thethird light source 116 may irradiate the display panel P with light C having a third wavelength. For example, the light C of the third wavelength may be blue light. Thethird light source 116 may be an optical element capable of emitting light C of a third wavelength. The thirdlight source 116 may be a light emitting diode that emits blue light. In the present invention, red light, green light, and blue light are used as examples of light emitted from the firstlight source 112, the secondlight source 114, and the thirdlight source 116, but the firstlight source 112, The light emitted from the secondlight source 114 and the third light source is not limited thereto. Light emitted from the firstlight source 112, the secondlight source 114, and the thirdlight source 116 may be lights having different wavelength bands.

일 실시예에서, 제 1 파장의 광(A)은 표시 패널(P)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 다른 실시예에서, 제 2 파장의 광(B)은 표시 패널(P)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 제 3 파장의 광(C)은 표시 패널(P)과 90도의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 예를 들어, 제 1 광원(112) 및 제 2 광원(114)은 돔(dome) 형태의 구조물에 의해 배치되어 제 1 파장의 광(A) 및 제 2 파장의 광(B)을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 3 광원(116)은 반사 미러(156)를 구비하여 제 3 파장의 광(C)을 조사할 수 있다. 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C)은 표시 패널(P)로 동시에 조사될 수 있다. 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B), 제 3 파장의 광(C)이 표시 패널(P)로 조사되는 각도를 서로 다르게 함으로써, 제 1 내지 제 3 파장의 광(C)들이 표시 패널(P)에 조사될 때, 또는, 제 1 내지 제 3 파장의 광(C)들이 표시 패널(P)에서 반사되어 나갈 때, 각각의 파장이 중첩되는 것을 최소화할 수 있다.In an embodiment, the light A of the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel P. In another embodiment, the light B having the second wavelength may be irradiated with the display panel P at an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees. In another embodiment, the light C of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel P. For example, the firstlight source 112 and the secondlight source 114 are arranged by a dome-shaped structure to irradiate light of a first wavelength (A) and light of a second wavelength (B). have. For example, the thirdlight source 116 may include areflective mirror 156 to irradiate light C having a third wavelength. The first wavelength light A, the second wavelength light B, and the third wavelength light C may be simultaneously irradiated to the display panel P. The first to third wavelengths of light (A), the second wavelength of light (B), and the third wavelength of light (C) are irradiated to the display panel P at different angles. When the C) is irradiated to the display panel P, or when the first to third wavelengths of light C are reflected from the display panel P, overlapping of respective wavelengths may be minimized.

카메라(130)는 제 1 필터(122), 제 2 필터(124), 제 3 필터(126), 제 1 전하 결합 소자(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)를 포함할 수 있다. 제 1 필터(122), 제 2 필터(124) 및 제 3 필터(126)는 표시 패널(P)에서 반사되는 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C) 중 어느 하나를 선택적으로 투과시킬 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 필터(122)는 제 1 파장의 광(A)을 통과시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 제 2 필터(124)는 제 2 파장의 광(B)을 통과시킬 수 있다. 또 다른 실시예에서, 제 3 필터(126)는 제 3 파장의 광(C)을 통과시킬 수 있다. 제 1 필터(122), 제 2 필터(124) 및 제 3 필터(126)에는 특정 파장대의 광만 통과시키는 물질이 도포될 수 있다.Thecamera 130 includes afirst filter 122, a second filter 124, athird filter 126, a firstcharge coupling element 132, a secondcharge coupling element 134, and a third charge coupling element ( 136). Thefirst filter 122, the second filter 124, and thethird filter 126 include light of a first wavelength (A), light of a second wavelength (B), and a third wavelength reflected from the display panel (P). Any one of the light (C) of may be selectively transmitted. In an embodiment, thefirst filter 122 may pass light A of the first wavelength. In another embodiment, the second filter 124 may pass light B of the second wavelength. In another embodiment, thethird filter 126 may pass light C of the third wavelength. Thefirst filter 122, the second filter 124, and thethird filter 126 may be coated with a material that allows only light of a specific wavelength band to pass.

제 1 필터(122)에 상응하도록 제 1 전하 결합 소자(132)가 배치될 수 있고, 제 2 필터(124)에 상응하도록 제 2 전하 결합 소자(134)가 배치될 수 있으며, 제 3 필터(124)에 상응하도록 제 3 전하 결합 소자(136)가 배치될 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)는 영상을 전기 신호로 변환할 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)를 통과하는 제 1 파장의 광(A)에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)를 통과하는 제 2 파장의 광(B)에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)를 통과하는 제 3 파장의 광(C)에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상은 영상 분석부(140)로 전달될 수 있다.The firstcharge coupling element 132 may be disposed to correspond to thefirst filter 122, the secondcharge coupling element 134 may be disposed to correspond to the second filter 124, and the third filter ( A thirdcharge coupling device 136 may be disposed to correspond to 124. The first charge-coupledelement 132, the second charge-coupledelement 134, and the third charge-coupledelement 136 may convert an image into an electric signal. The first charge-coupledelement 132 may capture a first image by light A having a first wavelength passing through thefirst filter 122, and the second charge-coupledelement 134 is a second filter 124 ), a second image can be captured by light (B) of a second wavelength passing through, and the third charge-coupleddevice 136 is generated by light (C) of a third wavelength passing through thethird filter 126. You can take a third video. The first image, the second image, and the third image may be transmitted to theimage analysis unit 140.

영상 분석부(140)는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 전달받고, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출할 수 있다. 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)에서 조사되는 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C)은 표시 패널(P)의 불량에 의해 반사될 수 있다. 이 때, 불량 유형에 따라 제 1 영상에 포함되는 불량의 밝기, 제 2 영상에 포함되는 불량의 밝기 및 제 3 영상에 포함되는 불량의 밝기가 다를 수 있다. 예를 들어, 표시 패널(P)의 표면에 오염 또는 이물이 존재할 경우, 제 1 파장의 광(A) 및 제 2 파장의 광(B)은 오염 또는 이물에 의해 카메라로 반사될 수 있고, 제 1 영상과 제 2 영상의 오염 또는 이물이 존재하는 영역은 주변 영역에 비해 밝게 표시될 수 있다. 또한, 제 3 파장의 광(C)은 수직으로 조사되므로 오염 또는 이물에 부딪쳐 산란될 수 있다. 따라서, 카메라로 반사되는 광량이 감소하여 제 3 영상의 오염 또는 이물이 존재하는 영역은 주변 영역에 비해 어둡게 표시될 수 있다. 표면 오염 또는 표면 이물은 제 1 내지 제 3 영상에 촬영된 불량의 형태에 기초하여 구분할 수 있다. 예를 들어, 표면 오염은 불량 발생 범위가 넓고, 경계가 모호할 수 있다. 표면 이물은 불량 발생 범위가 좁고, 작은 알갱이 또는 실과 같은 형태를 가질 수 있다. 이와 같이, 영상 분석부(140)는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 있다. 영상 분석부(140)에서 불량을 검출하는 방법은 도 2를 참조하여 자세히 설명하도록 한다.Theimage analysis unit 140 receives the first image, the second image, and the third image, and a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image , And the type of defect may be detected. The firstlight source 112, the secondlight source 114, and the light of the first wavelength (A), the light of the second wavelength (B) and the light of the third wavelength (C) irradiated from the thirdlight source 116 It may be reflected due to a defect in the display panel P. In this case, the brightness of the defect included in the first image, the brightness of the defect included in the second image, and the brightness of the defect included in the third image may be different according to the type of defect. For example, when contamination or foreign matter exists on the surface of the display panel P, light of the first wavelength (A) and light of the second wavelength (B) may be reflected by the contamination or foreign matter to the camera. An area in which contamination or foreign matters of the first image and the second image are present may be displayed brighter than the surrounding area. In addition, since the light C of the third wavelength is irradiated vertically, it may be scattered by hitting contamination or foreign matter. Accordingly, since the amount of light reflected by the camera is reduced, the area in which the contamination or foreign matter of the third image is present may be displayed darker than the surrounding area. Surface contamination or surface foreign matter may be classified based on the type of defects captured in the first to third images. For example, surface contamination has a wide range of defects, and boundaries may be ambiguous. The surface foreign matter has a narrow defect generation range and may have a shape such as small particles or threads. In this way, theimage analyzer 140 may detect a defect type based on a combination of brightness of the first image, the second image, and the third image, and the type of the defect. A method of detecting a defect in theimage analysis unit 140 will be described in detail with reference to FIG. 2.

상술한 바와 같이, 도 1의 광학 검사 장치(100)는 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)을 구비하고, 각각 다른 파장을 갖는 제 1 파장의 광(A), 제 2 파장의 광(B) 및 제 3 파장의 광(C)을 표시 패널(P)로 동시에 조사할 수 있다. 이 때, 제 1 광원(112), 제 2 광원(114) 및 제 3 광원(116)의 배치를 달리함으로써, 각각의 파장이 중첩되지 않고 표시 패널(P)로 조사될 수 있다. 광학 검사 장치(100)는 제 1 필터(122), 제 2 필터(124), 제 3 필터(126), 제 1 전하 결합 소자(132), 제 2 전하 결합 소자(134) 및 제 3 전하 결합 소자(136)를 포함하는 카메라(130)를 구비할 수 있다. 제 1 전하 결합 소자(132)는 제 1 필터(122)를 통과하는 제 1 파장의 광(A)에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자(134)는 제 2 필터(124)를 통과하는 제 2 파장의 광(B)에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자(136)는 제 3 필터(126)를 통과하는 제 3 파장의 광(C)에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 영상 분석부(140)는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 전달받고, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기들의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출할 수 있다. 이와 같이, 도 1의 광학 검사 장치(100)는 제 1 내지 제 3 파장의 광(C)들을 동시에 조사함으로써, 광학 검사 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 불량 유형을 검출하여 양품화 가능한 표시 패널(P)을 구분할 수 있게 되어, 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, theoptical inspection apparatus 100 of FIG. 1 includes a firstlight source 112, a secondlight source 114, and a thirdlight source 116, and each of the light having a first wavelength having a different wavelength ( A), light of the second wavelength (B), and light of the third wavelength (C) may be simultaneously irradiated to the display panel P. In this case, by varying the arrangement of the firstlight source 112, the secondlight source 114, and the thirdlight source 116, the respective wavelengths do not overlap and are irradiated to the display panel P. Theoptical inspection device 100 includes afirst filter 122, a second filter 124, athird filter 126, a firstcharge coupling element 132, a secondcharge coupling element 134, and a third charge coupling. Acamera 130 including anelement 136 may be provided. The first charge-coupledelement 132 may capture a first image by light A having a first wavelength passing through thefirst filter 122, and the second charge-coupledelement 134 is a second filter 124 ), a second image can be captured by light (B) of a second wavelength passing through, and the third charge-coupleddevice 136 is generated by light (C) of a third wavelength passing through thethird filter 126. You can take a third video. Theimage analysis unit 140 receives the first image, the second image, and the third image, and a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image , And the type of defect may be detected. In this way, theoptical inspection apparatus 100 of FIG. 1 can shorten the optical inspection time by simultaneously irradiating the light C having the first to third wavelengths. In addition, by detecting a defect type, it is possible to distinguish the display panel P capable of producing good products, thereby improving productivity.

도 2는 도 1의 광학 검사 장치에서 검사하는 표시 패널을 나타내는 단면도이다. .2 is a cross-sectional view illustrating a display panel inspected by the optical inspection device of FIG. 1. .

도 2를 참조하면, 표시 패널(200)은 기판(220), 편광판(240), 접착 수지(260) 및 윈도우 부재(280)를 포함할 수 있다. 표시 패널(200)의 각각의 층에서 다양한 불량이 발생할 수 있다. 기판(220)에 편광판(240)이 합착되는 공정에서 기판(220)과 편광판(240) 사이에 이물이 삽입되는 편광판 이물 불량(242)이 발생할 수 있다. 편광판(240) 상에 접착 수지(260)가 형성되는 공정에서 접착 수지(260)가 불균일하게 도포되어 발생하는 접착 수지 기포 불량(262) 또는 편광판(240)과 접착 수지(260) 사이에 이물이 삽입되는 접착 수지 이물 불량(262) 발생할 수 있다. 또한, 접착 수지(260) 상에 합착되는 윈도우 부재(280)에는 윈도우 부재(280) 상부에 발생하는 표면 오염(282), 표면 이물(284), 표면 눌림(286) 및 표면 긁힘(288) 불량이 발생할 수 있다. 이러한 불량 유형을 검출하여 표시 패널(200)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 표면 이물(284) 불량을 갖는 표시 패널(200)은 표면의 이물을 제거하여 양품화할 수 있다. 또한, 불량 발생 위치를 검출하여 재작업 여부를 판단하고, 재작업 과정을 거침으로써, 불량을 갖는 표시 패널(200)을 양품화할 수 있다.Referring to FIG. 2, thedisplay panel 200 may include asubstrate 220, apolarizing plate 240, anadhesive resin 260, and awindow member 280. Various defects may occur in each layer of thedisplay panel 200. In a process of bonding thepolarizing plate 240 to thesubstrate 220, a polarizing plateforeign material defect 242 may occur in which a foreign material is inserted between thesubstrate 220 and thepolarizing plate 240. In the process of forming theadhesive resin 260 on thepolarizing plate 240, the adhesiveresin bubble defect 262 caused by the non-uniform coating of theadhesive resin 260, or a foreign substance between thepolarizing plate 240 and the adhesive resin 260 Aforeign body defect 262 of the adhesive resin to be inserted may occur. In addition, in thewindow member 280 bonded to theadhesive resin 260,surface contamination 282, surfaceforeign matter 284, surface pressing 286, andsurface scratches 288 occurring on thewindow member 280 are defective. This can happen. By detecting such a type of defect, productivity of thedisplay panel 200 may be improved. For example, thedisplay panel 200 having defects in the surfaceforeign material 284 may be made good by removing the foreign material on the surface. In addition, by detecting the location of the defect, determining whether or not to rework, and going through the rework process, thedisplay panel 200 having a defect may be made good.

영상 분석부는 제 1 필터를 통과하는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 제 2 필터를 통과하는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상 및 제 3 필터를 통과하는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 전달받을 수 있다. 영상 분석부는 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량의 유형을 분석할 수 있다.The image analysis unit generates a first image by light having a first wavelength passing through the first filter, a second image by light having a second wavelength passing through the second filter, and light having a third wavelength passing through the third filter. You can receive the third video. The image analysis unit may analyze the type of defect based on a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the type of the defect.

제 1 영상First video제 2 영상2nd video제 3 영상3rd video표면 오염Surface contaminationbrightbrightbrightbrightdarkdark표면 이물Surface foreign matterbrightbrightbrightbrightdarkdark표면 눌림Surface pressedbrightbrightblackblackdarkdark표면 긁힘Surface scratchesbrightbrightblackblackdarkdark접착 수지 기포Adhesive resin bubblebrightbrightblackblackbrightbright접착 수지 이물Adhesive resin foreign matterbright / darkbright / darkblackblackbrightbright편광판 이물Polarizer foreign matterbright / darkbright / darkblackblackblackblack

표 1은 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기를 나타내는 표이다. 표 1을 참조하면, 표면 오염(282) 불량 및 표면 이물(284) 불량은 제 1 영상 및 제 2 영상에서 주변 영역에 의해 밝게 검출되고, 제 3 영상에서 주변 영역에 비해 어둡게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광과 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 표면 오염(282) 또는 표면 이물(284)에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 1 영상 및 제 2 영상에서 표면 오염(282) 불량 또는 표면 이물(284) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 오염(282) 또는 표면 이물(284)에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 수직으로 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 오염(282) 또는 표면 이물(284)에 부딪쳐 산란되므로, 주변 영역보다 적은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서, 표면 오염(282) 불량 또는 표면 이물(284) 불량은 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 표면 오염(282) 불량 및 표면 이물(284) 불량은 형태에 따라 다시 구분될 수 있다. 예를 들어, 표면 오염(282) 불량은 경계가 모호한 얼룩진 형태일 수 있고, 표면 이물(284) 불량은 작은 알갱이 또는 실과 같은 형태일 수 있다.Table 1 is a table showing the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image. Referring to Table 1, the defect of thesurface contamination 282 and the defect of the surfaceforeign matter 284 may be detected brightly by the surrounding area in the first image and the second image, and darker than the surrounding area in the third image. Specifically, light of a first wavelength irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with thedisplay panel 200 and light of a second wavelength irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with thedisplay panel 200 Thesilver surface contamination 282 or the surfaceforeign matter 284 may hit the surface, so that a larger amount of light than the surrounding area may be reflected to the camera. Accordingly, in the first image and the second image, thesurface contamination 282 defect or the surfaceforeign matter 284 defect may be displayed brighter than the surrounding area. In addition, light of a third wavelength irradiated while forming an angle of 90 degrees with thedisplay panel 200 may hit thesurface contamination 282 or the surfaceforeign material 284 and be reflected. In this case, since the light of the third wavelength irradiated vertically hits thesurface contamination 282 or the surfaceforeign matter 284 and is scattered, a smaller amount of light than the surrounding area may be reflected by the camera. Accordingly, in the third image, the defect of thesurface contamination 282 or the defect of the surfaceforeign matter 284 may be displayed darker than the surrounding area. Thesurface contamination 282 defect and the surfaceforeign matter 284 defect may be classified again according to the shape. For example, the defect of thesurface contamination 282 may be a stained form with an ambiguous boundary, and the defect of the surfaceforeign matter 284 may be in the form of small particles or threads.

표 1을 참조하면, 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 제 1 영상에서 주변 영역에 비해 밝게 검출되고, 제 2 영상에서 검게 검출되며, 제 3 영상에서 어둡게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 표면 눌림(286) 영역 및 표면 긁힘(288) 영역에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 1 영상에서 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 표면 눌림(286) 영역 또는 표면 긁힘(288) 영역에서 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 검게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 눌림(286) 영역 및 표면 긁힘(288) 영역에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 수직으로 조사되는 제 3 파장의 광은 표면 눌림(286) 영역 및 표면 긁힘(288) 영역에 부딪쳐 산란되므로, 주변 영역보다 적은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서, 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 표면 눌림(286) 불량 및 표면 긁힘(288) 불량은 형태에 따라 다시 구분될 수 있다. 예를 들어, 표면 눌림(286) 불량은 경계가 모호한 면의 형태일 수 있고, 표면 긁힘(288) 불량은 날카로운 선의 형태일 수 있다.Referring to Table 1, defects in the surface pressing 286 and defects in the surface scratches 288 may be detected brighter than the surrounding area in the first image, black in the second image, and dark in the third image. Specifically, the light of the first wavelength irradiated while forming an angle of not less than 60 degrees and less than 90 degrees with thedisplay panel 200 collides with thesurface pressing area 286 and thesurface scratch area 288 so that a larger amount of light is generated than the surrounding area. It can be reflected back to the camera. Accordingly, in the first image, the defect of the surface pressing 286 and the defect of thesurface scratch 288 may be displayed brighter than the surrounding area. The light of the second wavelength irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with thedisplay panel 200 has a very small incidence angle, so that a very small amount of light is reflected in the surface pressedarea 286 or the surface scratchedarea 288 , It may pass through thedisplay panel 200 without being reflected. Accordingly, in the second image, a defect in the surface pressing 286 and a defect in thesurface scratch 288 may be displayed in black. In addition, light of a third wavelength irradiated while forming an angle of 90 degrees with thedisplay panel 200 may hit the surface pressed 286 area and the surface scratched 288 area and reflected. In this case, since the light of the third wavelength irradiated vertically hits and scatters the area of the surface pressed 286 and the area of the surface scratched 288, less light than the surrounding area may be reflected to the camera. Accordingly, in the third image, the defect of the surface pressing 286 and the defect of thesurface scratch 288 may be displayed darker than the surrounding area. The surface pressing 286 defect and thesurface scratch 288 defect may be classified again according to the shape. For example, the defect of the surface pressing 286 may be in the form of a surface with an ambiguous boundary, and the defect of the surface scratching 288 may be in the form of a sharp line.

표 1을 참조하면, 접착 수지 기포(262) 불량은 제 1 영상 및 제 3 영상에서 주변 영역에 비해 밝게 검출되고, 제 2 영상에서 검게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광과 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 접착 수지 기포(262)에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 1 영상 및 제 3 영상에서 접착 수지 기포(262) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 접착 수지 기포(262)에서 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 접착 수지 기포(262) 불량은 검게 표시될 수 있다.Referring to Table 1, the defect of theadhesive resin bubble 262 may be detected brighter than the surrounding area in the first image and the third image, and black in the second image. Specifically, light of a first wavelength irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees to thedisplay panel 200 and light of a third wavelength irradiated while forming an angle of 90 degrees to thedisplay panel 200 are adhesive resin bubbles ( 262), a larger amount of light than the surrounding area may be reflected back to the camera. Accordingly, defects in theadhesive resin bubble 262 in the first image and the third image may be displayed brighter than the surrounding area. The light of the second wavelength irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees to thedisplay panel 200 has a very small incidence angle, so that a very small amount of light is reflected from theadhesive resin bubble 262 or is not reflected and the display panel ( 200) can be passed. Therefore, the defect of theadhesive resin bubble 262 in the second image may be displayed as black.

표 1을 참조하면, 접착 수지 이물(264) 불량은 제 1 영상에서 주변 영역에 비해 밝거나 어둡게 검출되고, 제 2 영상에서 검게 검출되면, 제 3 영상에서 밝게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 접착 수지 이물(264)에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 접착 수지 이물(264)에 부딪치는 제 1 파장의 광은 카메라 방향으로 반사되거나, 산란될 수 있다. 접착 수지 이물(264)에 부딪쳐 반사되거나 산란되는 제 1 파장의 광량은 접착 수지의 종류에 따라 다를 수 있다. 따라서, 제 1 영상에서 접착 수지 이물(264) 불량은 주변 영역보다 밝거나, 어둡게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 접착 수지 이물(264)에 부딪칠 경우, 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 접착 수지 이물(264) 불량은 검게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 접착 수지 이물(264)에 부딪쳐 주변 영역보다 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서 접착 수지 이물(264) 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있다.Referring to Table 1, a defect of the adhesive resinforeign material 264 may be detected brighter or darker in the first image than in the surrounding area, and when black is detected in the second image, it may be detected brightly in the third image. Specifically, light of the first wavelength irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with thedisplay panel 200 may hit the adhesive resinforeign material 264 and be reflected. In this case, the light of the first wavelength hitting the foreignadhesive resin 264 may be reflected or scattered toward the camera. The amount of light of the first wavelength reflected or scattered by hitting the adhesive resinforeign material 264 may be different depending on the type of the adhesive resin. Therefore, the defect of the adhesive resinforeign material 264 in the first image may be displayed brighter or darker than the surrounding area. When the light of the second wavelength irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with thedisplay panel 200 has a very small incident angle, when it hits the adhesive resinforeign material 264, a very small amount of light is reflected or not reflected. It can pass through thedisplay panel 200 without the presence of the. Therefore, the defect of the adhesive resinforeign material 264 in the second image may be displayed as black. In addition, the light of the third wavelength irradiated while forming an angle of 90 degrees to thedisplay panel 200 collides with the adhesive resinforeign material 264 so that a larger amount of light than the surrounding area may be reflected to the camera. Accordingly, the defect of the adhesive resinforeign material 264 in the third image may be displayed brighter than the surrounding area.

표 1을 참조하면, 편광판 이물(242) 불량은 제 1 영상에서 주변 영역에 비해 밝거나 어둡게 검출되고, 제 2 영상 및 제 3 영상에서 검게 검출될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널(200)과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 편광판 이물(242)에 부딪쳐 반사될 수 있다. 이 때, 편광판 이물(242)에 부딪치는 제 1 파장의 광은 카메라 방향으로 반사되거나, 산란될 수 있다. 편광판 이물(242)에 부딪쳐 반사되거나 산란되는 제 1 파장의 광량은 편광판(240)의 종류에 따라 다를 수 있다. 따라서, 제 1 영상에서 편광판 이물(242) 불량은 주변 영역보다 밝거나, 어둡게 표시될 수 있다. 표시 패널(200)과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 편광판 이물(242)에 부딪칠 경우 매우 적은 양의 광이 반사되거나, 반사되지 않고 표시 패널(200)을 통과할 수 있다. 따라서, 제 2 영상에서 편광판 이물(242) 불량은 검게 표시될 수 있다. 또한, 표시 패널(200)과 90도의 각을 이루면서 조사되는 제 3 파장의 광은 편광판 이물(242)에 부딪칠 경우 산란될 수 있다. 이 때, 산란되는 제 3 파장의 광은 편광판(240)에 의해 진행 방향이 변경될 수 있다. 따라서, 제 3 영상에서 편광판 이물(242) 불량은 검게 표시될 수 있다.Referring to Table 1, a defect of the polarizing plateforeign material 242 may be detected brighter or darker in the first image than in the surrounding area, and black in the second image and the third image. Specifically, light of the first wavelength irradiated while forming an angle of not less than 60 degrees and less than 90 degrees with thedisplay panel 200 may hit theforeign material 242 of the polarizing plate and be reflected. In this case, the light of the first wavelength hitting the polarizing plateforeign material 242 may be reflected or scattered toward the camera. The amount of light of the first wavelength reflected or scattered by hitting the polarizing plateforeign material 242 may be different depending on the type of thepolarizing plate 240. Therefore, the defect of the polarizing plateforeign material 242 in the first image may be displayed brighter or darker than the surrounding area. The second wavelength light irradiated with thedisplay panel 200 at an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees has a very small incidence angle, so when it hits the polarizing plateforeign material 242, a very small amount of light is reflected or not reflected. It can pass through thepanel 200. Accordingly, a defect of the polarizing plateforeign material 242 in the second image may be displayed as black. In addition, light of a third wavelength irradiated while forming an angle of 90 degrees to thedisplay panel 200 may be scattered when it hits theforeign material 242 of the polarizing plate. In this case, the propagation direction of the scattered light of the third wavelength may be changed by thepolarizing plate 240. Accordingly, a defect of the polarizing plateforeign material 242 in the third image may be displayed as black.

상술한 바와 같이, 제 1 필터를 통과하는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 제 2 필터를 통과하는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상 및 제 3 필터를 통과하는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 분석하여 표시 패널(200)의 불량 유형을 검출할 수 있다. 구체적으로, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 잇다. 검출된 불량 유형에 따라, 표시 패널(200)을 재작업 또는 양품화하여 표시 패널(200)의 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, a first image by light of a first wavelength passing through the first filter, a second image by light of a second wavelength passing through the second filter, and light of a third wavelength passing through the third filter A defect type of thedisplay panel 200 may be detected by analyzing the third image by. Specifically, a defect type may be detected based on a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the shape of the defect. Depending on the detected type of defect, thedisplay panel 200 may be reworked or turned into good quality, thereby improving productivity of thedisplay panel 200.

도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 검사 방법을 나타내는 순서도이다.3 is a flowchart illustrating an optical inspection method according to embodiments of the present invention.

도 3을 참조하면, 도 3의 광학 검사 방법은 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 표시 패널에 동시에 조사(S120)하고, 카메라로 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 촬영(S140)하며, 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 분석하여 불량을 검출(S160)할 수 있다.Referring to FIG. 3, in the optical inspection method of FIG. 3, light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength are simultaneously irradiated to the display panel (S120), and the first image and the second image are And a third image (S140), and a defect may be detected (S160) by analyzing the first image, the second image, and the third image.

구체적으로, 도 3의 광학 검사 방법은 표시 패널에 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 표시 패널에 동시에 조사(S120)할 수 있다. 예를 들어, 제 1 파장의 광은 적색 광이고, 제 2 파장의 광은 녹색 광이며, 제 3 파장의 광은 청색 광일 수 있다. 제 1 파장의 광은 제 1 광원에서 조사될 수 있고, 제 2 파장의 광은 제 2 광원에서 조사될 수 있으며, 제 3 파장의 광은 제 3 광원에서 조사될 수 있다. 이 때, 제 1 광원, 제 2 광원 및 제 3 광원은 각각 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 방출할 수 있는 광학 소자일 수 있다. 예를 들어 제 1 광원, 제 2 광원 및 제 3 광원은 발광 다이오드 소자일 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 파장의 광은 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 다른 실시예에서, 제 2 파장의 광은 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 제 3 파장의 광은 표시 패널과 90도의 각을 이루면서 조사될 수 있다. 예를 들어, 제 1 광원 및 제 2 광원은 돔 형태의 구조물에 의해 배치되어 제 1 파장의 광 및 제 2 파장의 광을 조사할 수 있다. 예를 들어, 제 3 광원은 반사 미러를 구비하여 제 3 파장의 광을 수직으로 조사할 수 있다. 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광, 제 3 파장의 광이 표시 패널로 조사되는 각도를 서로 다르게 함으로써, 제 1 내지 제 3 파장의 광들이 표시 패널에 조사될 때, 또는, 제 1 내지 제 3 파장의 광들이 표시 패널에서 반사되어 나갈 때, 각각의 파장이 중첩되는 것을 최소화할 수 있다.Specifically, the optical inspection method of FIG. 3 may simultaneously irradiate the display panel with light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength to the display panel (S120). For example, light of a first wavelength may be red light, light of a second wavelength may be green light, and light of a third wavelength may be blue light. Light of a first wavelength may be irradiated from a first light source, light of a second wavelength may be irradiated from a second light source, and light of a third wavelength may be irradiated from a third light source. In this case, the first light source, the second light source, and the third light source may be optical elements capable of emitting light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength, respectively. For example, the first light source, the second light source, and the third light source may be light emitting diode devices. In one embodiment, the light of the first wavelength may be irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel. In another embodiment, the light of the second wavelength may be irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees with the display panel. In another embodiment, the light of the third wavelength may be irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel. For example, the first light source and the second light source may be disposed by a dome-shaped structure to irradiate light of a first wavelength and light of a second wavelength. For example, the third light source may include a reflective mirror to vertically irradiate light having a third wavelength. When light of the first wavelength, the second wavelength, and the third wavelength are irradiated to the display panel at different angles, when light of the first to third wavelength is irradiated to the display panel, or When lights of the third wavelength are reflected from the display panel, overlapping of each wavelength can be minimized.

이어서, 도 4의 광학 검사 방법은 카메라로 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 촬영(S140)할 수 있다. 카메라는 제 1 필터, 제 2 필터, 제 3 필터, 제 1 전하 결합 소자, 제 2 전하 결합 소자 및 제 3 전하 결합 소자를 포함할 수 있다. 제 1 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 1 파장의 광을 통과시키고, 제 2 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 2 파장의 광을 통과시키며, 제 3 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 3 파장의 광을 통과시킬 수 있다. 제 1 전하 결합 소자는 제 1 필터에 상응하도록 배치되고, 제 2 전하 결합 소자는 제 2 필터에 상응하도록 배치되며, 제 3 전하 결합 소자는 제 3 필터에 상응하도록 배치될 수 있다. 제 1 전하 결합 소자는 제 1 필터를 통과하는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상을 촬영할 수 있고, 제 2 전하 결합 소자는 제 2 필터를 통과하는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상을 촬영할 수 있으며, 제 3 전하 결합 소자는 제 3 필터를 통과하는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상은 영상 분석부로 전달될 수 있다.Subsequently, in the optical inspection method of FIG. 4, a first image, a second image, and a third image may be photographed with a camera (S140). The camera may include a first filter, a second filter, a third filter, a first charge-coupled element, a second charge-coupled element, and a third charge-coupled element. The first filter passes light of a first wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, the second filter passes light of a second wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, and the third filter passes Light of the third wavelength reflected from and incident to the camera may pass. The first charge-coupled element may be disposed to correspond to the first filter, the second charge-coupled element may be disposed to correspond to the second filter, and the third charge-coupled element may be disposed to correspond to the third filter. The first charge-coupled device may capture a first image by light of a first wavelength passing through the first filter, and the second charge-coupled device may capture a second image by light of a second wavelength passing through the second filter. The third charge-coupled device may capture a third image by light having a third wavelength passing through the third filter. The first image, the second image, and the third image may be transmitted to the image analysis unit.

마지막으로, 도 4의 광학 검사 방법은 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 조합하여 불량을 검출(S160)할 수 있다. 영상 분석부는 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상을 전달받고, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 있다. 제 1 광원, 제 2 광원 및 제 3 광원에서 조사되는 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광은 표시 패널의 불량에 의해 카메라 방향으로 반사될 수 있다. 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광, 제 3 파장의 광이 표시 패널의 불량에 의해 반사되어 카메라 방향으로 향하는 광량에 따라 불량 영역이 주변 영역 보다 밝거나 어둡게, 또는, 검게 나타날 수 있다. 구체적으로, 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광, 제 3 파장의 광이 표시 패널로 조사될 때, 표시 패널과 이루는 각도, 즉, 입사각이 각각 다르므로, 동일한 불량에 대해서 카메라로 반사되는 광의 양이 각각 다를 수 있다. 예를 들어, 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각도를 이루면서 조사되는 제 1 파장의 광은 표시 패널의 표면 이물에 부딪쳐 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 그러나, 표시 패널에 수직으로 조사되는 제 3 파장의 광은 표시 패널의 표면 이물에 부딪쳐 산란되면서, 적은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 따라서, 표면 이물 불량은 제 1 영상에서 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있고, 제 3 영상에서 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 또한, 동일한 각도로 조사되는 동일한 파장의 광에 대해서, 표시 패널의 불량 발생 위치마다 반사되는 광의 양이 다를 수 있다. 예를 들어, 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각도를 이루면서 조사되는 제 2 파장의 광은 표시 패널의 표면 이물에 부딪쳐 많은 양의 광이 카메라로 반사될 수 있다. 그러나, 제 2 파장의 광은 입사각이 매우 작아 접착 수지 이물에 부딪치지 않고 통과할 수 있다. 따라서, 동일한 각도로 조사되는 제 2 파장의 광에 대해서, 표면 이물 불량은 주변 영역보다 밝게 표시될 수 있고, 접착 수지 이물 불량은 검게 표시될 수 있다. 이와 같이, 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합에 기초하여 불량의 유형을 검출할 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기들의 조합이 동일한 경우, 불량의 형태에 기초하여 불량 유형을 검출할 수 있다. 예를 들어, 표면 오염 불량 및 표면 이물 불량은 제 1 영상 및 제 2 영상에서 주변 영역보다 밝게 표시되고, 제 3 영상에서 주변 영역보다 어둡게 표시될 수 있다. 이 때, 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상의 불량 형태에 따라 표면 오염 불량 및 표면 이물 불량을 검출할 수 있다. 예를 들어, 표면 오염 불량은 불량 발생 범위가 넓고 경계가 모호할 수 있고, 표면 이물 불량은 불량 발생 범위가 좁고 작은 알갱이 또는 실과 같은 형태를 가질 수 있다Finally, the optical inspection method of FIG. 4 may detect a defect by combining the first image, the second image, and the third image (S160). The image analysis unit receives the first image, the second image, and the third image, and the combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and The type of defect can be detected based on the shape. Light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength irradiated from the first light source, the second light source, and the third light source may be reflected toward the camera due to a defect in the display panel. Light of the first wavelength, light of the second wavelength, and light of the third wavelength may be reflected by a defect in the display panel and the defective area may appear brighter, darker, or blacker than the surrounding area according to the amount of light directed toward the camera. Specifically, when light of the first wavelength, light of the second wavelength, and light of the third wavelength are irradiated to the display panel, the angle formed with the display panel, that is, the incident angle, is different, so that the same defect is reflected to the camera. The amount of light can be different. For example, light having a first wavelength irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel may hit a foreign object on the surface of the display panel, and a large amount of light may be reflected by the camera. However, the light of the third wavelength irradiated perpendicularly to the display panel hits and scatters foreign objects on the surface of the display panel, so that a small amount of light may be reflected by the camera. Accordingly, the surface foreign material defect may be displayed brighter than the surrounding area in the first image and darker than the surrounding area in the third image. Also, for light of the same wavelength irradiated at the same angle, the amount of reflected light may be different for each defect location of the display panel. For example, light having a second wavelength irradiated while forming an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees to the display panel may hit a foreign object on the surface of the display panel, and a large amount of light may be reflected to the camera. However, the light of the second wavelength has a very small incidence angle so that it can pass without hitting the foreign material of the adhesive resin. Accordingly, with respect to the light of the second wavelength irradiated at the same angle, the surface foreign material defect may be displayed brighter than the surrounding area, and the adhesive resin foreign material defect may be displayed black. In this way, the type of defect may be detected based on a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image. When a combination of the brightnesses of the defects in the first image, the second image, and the third image is the same, the type of defect may be detected based on the type of the defect. For example, the surface contamination defect and the surface foreign matter defect may be displayed brighter than the surrounding area in the first image and the second image, and darker than the surrounding area in the third image. In this case, surface contamination defects and surface foreign matter defects may be detected according to defect types of the first image, second image, and third image. For example, surface contamination defects may have a wide range of defects and have an ambiguous boundary, and surface foreign matter defects may have a small particle or thread-like shape with a narrow defect generation range.

상술한 바와 같이, 도 3의 광학 검사 방법은 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 표시 패널에 동시에 조사할 수 있다. 이 때, 제 1 파장의 광을 조사하는 제 1 광원, 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원 및 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원은 서로 다른 각도로 제 1 파장의 광, 제 2 파장의 광 및 제 3 파장의 광을 조사할 수 있도록 배치될 수 있다. 카메라는 표시 패널에서 반사되는 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 표시 패널에서 반사되는 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상 및 표시 패널에서 반사되는 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영할 수 있다. 이 때, 카메라는 제 1 필터, 제 2 필터, 제 3 필터, 제 1 전하 결합 소자, 제 2 전하 결합 소자 및 제 3 전하 결합 소자를 포함할 수 있다. 제 1 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 1 파장의 광을 통과시키고, 제 2 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 2 파장의 광을 통과시키며, 제 3 필터는 표시 패널에서 반사되어 카메라로 입사되는 제 3 파장의 광을 통과시킬 수 있다. 제 1 전하 결합 소자는 제 1 필터에 상응하도록 배치되고, 제 2 전하 결합 소자는 제 2 필터에 상응하도록 배치되며, 제 3 전하 결합 소자는 제 3 필터에 상응하도록 배치될 수 있다. 제 1 영상, 제 2 영상 및 제 3 영상은 영상 분석부로 전달되어 표시 패널의 불량 유형을 검출할 수 있다. 영상 분석부는 제 1 영상에서의 불량의 밝기, 제 2 영상에서의 불량의 밝기 및 제 3 영상에서의 불량의 밝기의 조합, 및 불량의 형태에 기초하여 표시 패널의 불량 유형을 검출할 수 있다. 이와 같이, 도 1의 광학 검사 장치는 제 1 내지 제 3 파장의 광들을 동시에 조사함으로써, 검사 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 불량 유형을 검출하여 양품화 가능한 표시 패널을 구분할 수 있게 되어, 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the optical inspection method of FIG. 3 may simultaneously irradiate the display panel with light of a first wavelength, light of a second wavelength, and light of a third wavelength. In this case, the first light source that irradiates light of the first wavelength, the second light source that irradiates the light of the second wavelength, and the third light source that irradiates the light of the third wavelength are at different angles. It may be arranged to irradiate the light of the second wavelength and the light of the third wavelength. The camera displays a first image by light of a first wavelength reflected from the display panel, a second image by light of a second wavelength reflected from the display panel, and a third image by light of a third wavelength reflected from the display panel. You can shoot. In this case, the camera may include a first filter, a second filter, a third filter, a first charge coupling element, a second charge coupling element, and a third charge coupling element. The first filter passes light of a first wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, the second filter passes light of a second wavelength reflected from the display panel and incident to the camera, and the third filter passes Light of the third wavelength reflected from and incident to the camera may pass. The first charge-coupled element may be disposed to correspond to the first filter, the second charge-coupled element may be disposed to correspond to the second filter, and the third charge-coupled element may be disposed to correspond to the third filter. The first image, the second image, and the third image may be transmitted to the image analysis unit to detect a defect type of the display panel. The image analyzer may detect a defect type of the display panel based on a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the type of the defect. As described above, the optical inspection apparatus of FIG. 1 can shorten the inspection time by simultaneously irradiating the light of the first to third wavelengths. In addition, by detecting a defect type, it is possible to classify a display panel capable of producing good quality, thereby improving productivity.

본 발명은 표시 장치의 광학 검사에 적용될 수 있다.The present invention can be applied to optical inspection of a display device.

이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to exemplary embodiments of the present invention, those of ordinary skill in the relevant technical field can variously modify the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that it can be modified and changed.

100: 광학 검사 장치
112: 제 1 광원114: 제 2 광원
116: 제 3 광원122: 제 1 필터
124: 제 2 필터126: 제 3 필터
130: 카메라132: 제 1 전하 결합 소자
134: 제 2 전하 결합 소자136: 제 3 전하 결합 소자
140: 영상 분석부100: optical inspection device
112: first light source 114: second light source
116: third light source 122: first filter
124: second filter 126: third filter
130: camera 132: first charge coupling element
134: second charge-coupled element 136: third charge-coupled element
140: image analysis unit

Claims (17)

Translated fromKorean

표시 패널에 제 1 파장의 광을 조사하는 제 1 광원;
상기 표시 패널에 상기 제 1 파장과 상이한 파장을 갖는 제 2 파장의 광을 조사하는 제 2 광원;
상기 표시 패널에 상기 제 1 파장 및 상기 제 2 파장과 상이한 파장을 갖는 제 3 파장의 광을 조사하는 제 3 광원;
상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터, 상기 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 상기 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자, 및 상기 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 포함하는 카메라; 및
상기 제 1 전하 결합 소자에서 취득되는 제 1 영상, 상기 제 2 전하 결합 소자에서 취득되는 제 2 영상 및 상기 제 3 전하 결합 소자에서 취득되는 제 3 영상을 조합하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 영상 분석부를 포함하고,
상기 제1 파장은 상기 제2 파장보다 크고, 상기 제2 파장은 상기 제3 파장보다 크며,
상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제2 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 크고, 상기 제3 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 큰 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.A first light source for irradiating light having a first wavelength onto the display panel;
A second light source for irradiating the display panel with light of a second wavelength having a wavelength different from that of the first wavelength;
A third light source for irradiating light of a third wavelength having a wavelength different from the first wavelength and the second wavelength to the display panel;
A first filter for passing light of the first wavelength reflected from the display panel, a second filter for passing light of the second wavelength reflected from the display panel, light of the third wavelength reflected from the display panel A third filter passing through, a first charge-coupled element disposed to correspond to the first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a third charge disposed to correspond to the third filter A camera including a coupling element; And
An image for detecting a defect in the display panel by combining a first image acquired from the first charge-coupled device, a second image acquired from the second charge-coupled device, and a third image acquired from the third charge-coupled device Including an analysis unit,
The first wavelength is greater than the second wavelength, the second wavelength is greater than the third wavelength,
An angle between the light of the first wavelength and the display panel is greater than an angle between the light of the second wavelength and the display panel, and an angle between the light of the third wavelength and the display panel is light of the first wavelength. And an angle formed by the display panel.제 1 항에 있어서, 상기 영상 분석부는 상기 제 1 영상에서의 상기 불량의 밝기, 상기 제 2 영상에서의 상기 불량의 밝기 및 상기 제 3 영상에서의 상기 불량의 밝기의 조합, 및 상기 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The method of claim 1, wherein the image analysis unit comprises a combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the shape of the defect. Optical inspection device, characterized in that to detect the type of the defect based on.제 1 항에 있어서, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 적색 광, 녹색 광 및 청색 광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength are red light, green light, and blue light.제 1 항에 있어서, 상기 제 1 파장의 광은 상기 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각을 이루면서 조사되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The optical inspection apparatus of claim 1, wherein the light having the first wavelength is irradiated with the display panel at an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees.제 1 항에 있어서, 상기 제 2 파장의 광은 상기 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각을 이루면서 조사되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the light of the second wavelength is irradiated with the display panel at an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees.제 1 항에 있어서, 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널과 90도의 각을 이루면서 조사되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the light of the third wavelength is irradiated while forming an angle of 90 degrees to the display panel.제 6 항에 있어서,
상기 제 3 파장의 광을 조사하기 위한 반사 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The method of claim 6,
An optical inspection device, characterized in that it further comprises a reflecting mirror for irradiating the light of the third wavelength.제 1 항에 있어서, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널에 동시에 조사되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength are simultaneously irradiated to the display panel.표시 패널에 제 1 파장의 광, 상기 제 1 파장의 광과 상이한 파장을 갖는 제 2 파장의 광 및 상기 제 1 파장 및 상기 제 2 파장과 상이한 파장을 갖는 제 3 파장의 광을 동시에 조사하는 단계;
상기 표시 패널에 대향하여 배치되는 카메라로 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 1 파장의 광에 의한 제 1 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 2 파장의 광에 의한 제 2 영상, 상기 표시 패널에서 반사되는 상기 제 3 파장의 광에 의한 제 3 영상을 촬영하는 단계; 및
상기 제 1 영상, 상기 제 2 영상 및 상기 제 3 영상을 분석하여 불량을 검출하는 단계를 포함하고,
상기 제1 파장은 상기 제2 파장보다 크고, 상기 제2 파장은 상기 제3 파장보다 크며,
상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제2 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 크고, 상기 제3 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각은 상기 제1 파장의 광과 상기 표시 패널이 이루는 각보다 큰 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.Simultaneously irradiating a display panel with light of a first wavelength, light of a second wavelength having a wavelength different from the light of the first wavelength, and light of a third wavelength having a wavelength different from the first wavelength and the second wavelength ;
A camera disposed opposite the display panel, a first image by light of the first wavelength reflected from the display panel, a second image by light of the second wavelength reflected from the display panel, in the display panel Capturing a third image by the reflected light of the third wavelength; And
Analyzing the first image, the second image, and the third image to detect a defect,
The first wavelength is greater than the second wavelength, the second wavelength is greater than the third wavelength,
An angle between the light of the first wavelength and the display panel is greater than an angle between the light of the second wavelength and the display panel, and an angle between the light of the third wavelength and the display panel is light of the first wavelength. And an angle formed by the display panel.제 9 항에 있어서, 상기 불량을 검출하는 단계는,
상기 제 1 영상에서의 상기 불량의 밝기, 상기 제 2 영상에서의 상기 불량의 밝기 및 상기 제 3 영상에서의 상기 불량의 밝기의 조합, 및 상기 불량의 형태에 기초하여 상기 불량의 유형을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The method of claim 9, wherein detecting the defect comprises:
Detecting the type of defect based on the combination of the brightness of the defect in the first image, the brightness of the defect in the second image, and the brightness of the defect in the third image, and the type of the defect Optical inspection method comprising the step.제 9 항에 있어서, 상기 제 1 파장의 광, 상기 제 2 파장의 광 및 상기 제 3 파장의 광은 적색 광, 녹색 광 및 청색 광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method according to claim 9, wherein the light of the first wavelength, the light of the second wavelength, and the light of the third wavelength are red light, green light, and blue light.제 9 항에 있어서, 상기 제 1 파장의 광은 상기 표시 패널과 60도 이상 90도 미만의 각도를 이루면서 조사되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method of claim 9, wherein the light of the first wavelength is irradiated while forming an angle of 60 degrees or more and less than 90 degrees with the display panel.제 9 항에 있어서, 상기 제 2 파장의 광은 상기 표시 패널과 0도 이상 30도 미만의 각도를 이루면서 조사되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method of claim 9, wherein the second wavelength light is irradiated with the display panel at an angle of 0 degrees or more and less than 30 degrees.제 9 항에 있어서, 상기 제 3 파장의 광은 상기 표시 패널과 90도의 각도를 이루면서 조사되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method of claim 9, wherein the light of the third wavelength is irradiated at an angle of 90 degrees to the display panel.제 14 항에 있어서, 상기 제 3 파장의 광을 조사하기 위한 반사 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.15. The optical inspection method according to claim 14, comprising a reflecting mirror for irradiating the light of the third wavelength.제 9 항에 있어서, 상기 카메라는 상기 제 1 파장의 광을 통과시키는 제 1 필터, 상기 제 2 파장의 광을 통과시키는 제 2 필터 및 상기 제 3 파장의 광을 통과시키는 제 3 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The method of claim 9, wherein the camera comprises a first filter to pass light of the first wavelength, a second filter to pass light of the second wavelength, and a third filter to pass light of the third wavelength Optical inspection method, characterized in that.제 16 항에 있어서, 상기 카메라는 상기 제 1 필터에 상응하도록 배치되는 제 1 전하 결합 소자, 상기 제 2 필터에 상응하도록 배치되는 제 2 전하 결합 소자, 및 상기 제 3 필터에 상응하도록 배치되는 제 3 전하 결합 소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.
The method of claim 16, wherein the camera comprises a first charge-coupled element disposed to correspond to the first filter, a second charge-coupled element disposed to correspond to the second filter, and a second charge-coupled element disposed to correspond to the third filter. 3 An optical inspection method further comprising a charge-coupled device.

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