KR100925458B1 - Thin film transistor array panel and manufacturing method thereof - Google Patents

Abstract

Translated fromKorean

먼저, 크롬의 하부막과 알루미늄 합금의 상부막으로 게이트선을 형성한다. 다음, 게이트 절연막을 형성하고, 그 상부에 비정질 규소층 및 도핑된 비정질 규소층을 차례로 형성한다. 이어, 크롬의 하부막과 알루미늄 합금의 상부막을 포함하며 데이터선 및 드레인 전극을 형성한다. 이어, 보호막을 적층하고 드레인 전극 및 데이터선의 끝 부분에 대응하는 위치하는 제1 부분과 게이트선의 끝 부분에 대응하며 제1 부분보다 얇은 두께를 가지는 제2 부분 및 제1 부분보다 두꺼우며 제1 부분과 제2 부분을 제외한 제3 부분을 감광막 패턴을 형성한다. 이어, 감광막 패턴을 식각 마스크로 보호막 또는 게이트 절연막을 식각하여 제1 부분 아래의 보호막과 제2 부분 아래의 게이트 절연막을 드러내고, 이어, 제2 부분을 식각 마스크로 하여 드러난 접촉부의 보호막과 패드부의 게이트 절연막을 제거하여 드레인 전극 및 게이트선의 끝 부분의 일부를 드러내는 제1 및 제2 접촉 구멍을 형성한다. 이어, 보호막 상부에 제1 접촉 구멍을 통하여 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성한다.First, a gate line is formed of a lower layer of chromium and an upper layer of an aluminum alloy. Next, a gate insulating film is formed, and an amorphous silicon layer and a doped amorphous silicon layer are sequentially formed thereon. Next, a lower layer of chromium and an upper layer of an aluminum alloy are formed to form a data line and a drain electrode. Subsequently, a first portion positioned to correspond to an end portion of the drain electrode and the data line and a second portion having a thickness thinner than the first portion and a first portion that correspond to the end portion of the drain electrode and the data line are stacked and thicker than the first portion. And a third portion except the second portion to form a photosensitive film pattern. Subsequently, the protective layer or the gate insulating layer is etched using the photoresist pattern as an etch mask to expose the passivation layer under the first portion and the gate insulating layer under the second portion, and then the passivation layer and the gate of the pad portion exposed using the second portion as the etch mask. The insulating film is removed to form first and second contact holes exposing a portion of the end of the drain electrode and the gate line. Next, a pixel electrode connected to the drain electrode is formed on the passivation layer through the first contact hole.

Description

Translated fromKorean

박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법{THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL AND METHOD MANUFACTURING THE SAME}Thin film transistor array panel and manufacturing method therefor {THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL AND METHOD MANUFACTURING THE SAME}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판이고,1 is a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 II-II' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,FIG. 2 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel illustrated in FIG. 1 taken along the line II-II ′.

도 3a, 4a, 5a 및 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판을 제조하는 중간 과정을 그 공정 순서에 따라 도시한 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,3A, 4A, 5A, and 6A are layout views of a thin film transistor array panel, in which an intermediate process of manufacturing a thin film transistor array panel for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention is performed according to a process sequence thereof;

도 3b는 도 3a에서 IIIb-IIIb' 선을 따라 절단한 단면도이고,3B is a cross-sectional view taken along the line IIIb-IIIb ′ in FIG. 3A;

도 4b는 도 4a에서 IVb-IVb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 3b의 다음 단계를 도시한 단면도이고,4B is a cross-sectional view taken along the line IVb-IVb ′ in FIG. 4A and is a cross-sectional view showing the next step in FIG. 3B;

도 5b는 도 5a에서 Vb-Vb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 4b의 다음 단계를 도시한 단면도이고,FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the line Vb-Vb ′ in FIG. 5A and is a cross-sectional view showing the next step in FIG. 4B;

도 6은 도 5a에서 Vb-Vb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 5b의 다음 단계를 도시한 단면도이고,FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line Vb-Vb 'of FIG. 5A and illustrating the next step of FIG. 5B;

도 7b는 도 7a에서 VIIb-VIIb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 6의 다 음 단계를 도시한 단면도이고,FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line VIIb-VIIb ′ of FIG. 7A and illustrating the following steps of FIG. 6;

도 8은 도 7a에서 VIIb-VIIb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 7b의 다음 단계를 도시한 단면도이고,FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line VIIb-VIIb 'of FIG. 7A and illustrates the next step of FIG. 7B;

도 9는 도 7a에서 VIIb-VIIb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 8의 다음 단계를 도시한 단면도이고,FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line VIIb-VIIb ′ of FIG. 7A and illustrating the next step of FIG. 8;

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,10 is a layout view of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 11 및 도 12는 도 110에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 XI-XI' 선 및 XII-XII'선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,11 and 12 are cross-sectional views of the thin film transistor array panel illustrated in FIG. 110 taken along lines XI-XI ′ and XII-XII ′,

도 13a는 본 발명의 제2 실시예에 따라 제조하는 첫 단계에서의 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,13A is a layout view of a thin film transistor array panel at a first stage of manufacture according to a second embodiment of the present invention;

도 13b 및 13c는 각각 도 13a에서 XIIIb-XIIIb' 선 및 XIIIc-XIIIc' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이며,13B and 13C are cross-sectional views taken along the lines XIIIb-XIIIb 'and XIIIc-XIIIc' of FIG. 13A, respectively.

도 14a 및 14b는 각각 도 13a에서 XIIIb-XIIIb' 선 및 XIIIc-XIIIc' 선을 따라 잘라 도시한 단면도로서, 도 13b 및 도 13c 다음 단계에서의 단면도이고,14A and 14B are cross-sectional views taken along the lines XIIIb-XIIIb 'and XIIIc-XIIIc' in FIG. 13A, respectively, and are cross-sectional views in the next steps of FIGS. 13B and 13C;

도 15a는 도 14a 및 14b 다음 단계에서의 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,FIG. 15A is a layout view of a TFT panel next to FIGS. 14A and 14B;

도 15b 및 15c는 각각 도 15a에서 XVb-XVb' 선 및 XVc-XVc' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이며,15B and 15C are cross-sectional views taken along the XVb-XVb 'line and the XVc-XVc' line in FIG. 15A, respectively.

도 16a, 17a, 18a와 도 16b, 17b, 18b는 각각 도 15a에서 XVb-XVb' 선 및 XVc-XVc' 선을 따라 잘라 도시한 단면도로서 도 15b 및 15c 다음 단계들을 공정 순서에 따라 도시한 것이고,16A, 17A, 18A and 16B, 17B, and 18B are cross-sectional views taken along the XVb-XVb 'line and the XVc-XVc' line in FIG. 15A, respectively, illustrating the following steps in the order of the process. ,

도 19a는 도 18a 및 도 18b의 다음 단계에서의 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고,19A is a layout view of a thin film transistor array panel in the next step of FIGS. 18A and 18B.

도 19b 및 19c는 각각 도 19a에서 XIXb-XIXb' 선 및 XIXc-XIXc' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,19B and 19C are cross-sectional views taken along the lines XIXb-XIXb 'and XIXc-XIXc', respectively, in FIG. 19A;

도 20a, 21a, 22a와 도 20b, 21b, 22b는 각각 도 19a에서 XIXb-XIXb' 선 및 XIXc-XIXc' 선을 따라 잘라 도시한 단면도로서 도 19b 및 19c 다음 단계들을 공정 순서에 따라 도시한 것이고,20A, 21A, 22A and 20B, 21B, 22B are cross-sectional views taken along the lines XIXb-XIXb 'and XIXc-XIXc' in FIG. 19A, respectively, illustrating the following steps in the order of the process. ,

도 23은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 도시한 배치도이고,FIG. 23 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 24는 도 23에서 XXIII-XXIII' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.FIG. 24 is a cross-sectional view taken along the line XXIII-XXIII 'of FIG. 23.

본 발명은 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor array panel and a method of manufacturing the same.

액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.The liquid crystal display is one of the most widely used flat panel display devices. The liquid crystal display includes two substrates on which electrodes are formed and a liquid crystal layer interposed therebetween, and rearranges the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer by applying a voltage to the electrode. By controlling the amount of light transmitted.                        

액정 표시 장치 중에서도 현재 주로 사용되는 것은 두 기판에 전극이 각각 형성되어 있고 전극에 인가되는 전압을 스위칭하는 박막 트랜지스터를 가지고 있는 액정 표시 장치이다.Among the liquid crystal display devices, a liquid crystal display device having a thin film transistor for forming an electrode on each of two substrates and switching a voltage applied to the electrode is used.

일반적으로 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 기판에는 박막 트랜지스터 외에도 주사 신호를 전달하는 게이트선 및 화상 신호를 전달하는 데이터선을 포함하는 배선, 외부로부터 주사 신호 또는 화상 신호를 인가받아 게이트선 및 데이터선으로 각각 전달하는 게이트 패드 및 데이터 패드가 형성되어 있으며, 게이트선과 데이터선이 교차하여 정의되는 화소 영역에는 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극이 형성되어 있다.In general, a substrate including a thin film transistor includes a wiring line including a gate line for transmitting a scan signal and a data line for transmitting an image signal, and a scan signal or an image signal from an external source, respectively, to the gate line and the data line. A gate pad and a data pad to be transferred are formed, and a pixel electrode electrically connected to the thin film transistor is formed in a pixel region defined by crossing the gate line and the data line.

이때, 신호 지연을 방지하기 위하여 배선은 저저항을 가지는 금속 물질, 특히 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy) 등과 같은 알루미늄 계열의 금속 물질을 사용하는 것이 일반적이다. 그러나, 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 배선은 물리적 또는 화학적인 특성이 약하기 때문에 접촉부에서 다른 도전 물질과 연결될 때 부식이 발생하여 박막 트랜지스터의 특성을 저하시키는 문제점을 가지고 있다. 특히, 액정 표시 장치에서와 같이 투명한 도전 물질인 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)를 사용하여 화소 전극을 형성하는 경우에 ITO 또는 IZO와 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 배선과 접하는 접촉부에서 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 배선이 부식되거나 접촉 저항이 증가하는 문제점이 발생한다.In this case, in order to prevent signal delay, the wiring is generally made of a metal material having a low resistance, particularly an aluminum-based metal material such as aluminum (Al) or aluminum alloy (Al alloy). However, since the wiring of aluminum or aluminum alloy is weak in physical or chemical properties, corrosion occurs when the contact portion is connected to other conductive materials, thereby degrading the characteristics of the thin film transistor. In particular, in the case of forming a pixel electrode using indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), which is a transparent conductive material, as in a liquid crystal display device, aluminum is contacted at the contact portion of ITO or IZO and the wiring of aluminum or an aluminum alloy. Alternatively, a problem occurs in that the wiring of the aluminum alloy is corroded or the contact resistance increases.

또한, 이러한 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법에서는 절연막을 사이에 두고 형성되어 있는 배선을 서로 연결하기 위해 절연막을 식각하 여 배선의 일부를 드러내는 공정이 필요하다. 절연막 아래에서 심하게 언더 컷(under cut)이 발생하는 경우에는 접촉부의 스텝 커버리지(step coverage)가 나빠진다. 이로 인하여 이후에 형성되는 상부막의 프로파일(profile)이 나빠지거나 접촉부에서 단선이 발생하여 접촉부의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있다.In addition, in such a method of manufacturing a thin film transistor array panel for a liquid crystal display, a process of exposing a part of the wiring by etching the insulating film is required to connect the wirings formed with the insulating film therebetween. If a severe under cut occurs under the insulating film, the step coverage of the contact portion deteriorates. For this reason, there is a problem in that a profile of the upper layer formed thereafter becomes worse or a disconnection occurs in the contact portion, thereby degrading the reliability of the contact portion.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 낮은 접촉 저항을 가지는 접촉부를 포함하는 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a thin film transistor array panel including a contact portion having a low contact resistance and a method of manufacturing the same.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 접촉부의 프로파일을 개설할 수 있는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a thin film transistor array panel in which a profile of a contact portion can be opened.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에서는 배선을 낮은 비저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 제1 도전막과 IZO 또는 ITO와 낮은 접촉 저항을 가지는 도전 물질로 이루어진 제2 도전막을 포함하여 형성하고 접촉 구멍을 통하여 드러난 제1 도전막을 제거하여 제2 도전막만을 남긴다. 또한, 접촉부에서는 접촉 구멍을 배선의 경계선이 드러나도록 형성하는데, 접촉 구멍에 대응하는 부분에는 감광막을 다른 부분보다 얇게 형성하여 필요에 따라 어떤 막을 식각할 때는 배선의 하부막이 식각되지 않도록 보호하는 역할을 한다.In order to solve this problem, the present invention forms a wiring including a first conductive film made of aluminum or aluminum alloy having a low specific resistance and a second conductive film made of a conductive material having a low contact resistance with IZO or ITO. The exposed first conductive film is removed, leaving only the second conductive film. In addition, in the contact portion, the contact hole is formed so that the boundary line of the wiring is exposed, and the portion corresponding to the contact hole is formed to be thinner than other portions so as to protect the lower layer of the wiring from being etched when etching certain films as necessary. do.

더욱 상세하게 본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법에서는, 우선, 절연 기판 위에 게이트선, 게이트선과 연결되어 있는 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하고, 그 상부에 게이트 절연막을 적층한다. 이어, 게이트 절연막 상부에 반도체층을 형성하고, 그 상부에 게이트선과 교차하는 데이터선, 데이터선과 연결되어 있으며 상기 게이트 전극에 인접하는 소스 전극 및 게이트 전극에 대하여 소스 전극의 맞은 편에 위치하는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선을 형성하고, 보호막을 적층한다. 이어, 보호막 상부에 드레인 전극에 대응하는 접촉부에 위치하는 제1 부분과 게이트 패드에 대응하는 패드부에 위치하며 제1 부분보다 얇은 두께를 가지는 제2 부분 및 제1 부분보다 두꺼우며 접촉부 및 패드부를 제외한 기타부에 위치하는 제3 부분을 포함하는 감광막 패턴을 형성한다. 이어, 감광막 패턴을 식각 마스크로 보호막 또는 게이트 절연막을 식각하여 제1 부분 아래의 보호막과 제2 부분 아래의 게이트 절연막을 드러내고, 이어, 제3 부분을 식각 마스크로 하여 드러난 접촉부의 보호막과 패드부의 게이트 절연막을 제거하여 드레인 전극 및 게이트 배선의 일부를 드러내는 제1 및 제2 접촉 구멍을 형성한다. 이어, 보호막 상부에 제1 접촉 구멍을 통하여 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성한다.More specifically, in the method for manufacturing a thin film transistor array panel according to the present invention, first, a gate line including a gate line, a gate electrode connected to the gate line, and a gate pad is formed on an insulating substrate, and a gate insulating film is laminated thereon. . Subsequently, a semiconductor layer is formed on the gate insulating layer, and a data line intersecting the gate line and a data electrode intersecting the gate line, and a drain electrode which is opposite to the source electrode with respect to the source electrode and the gate electrode adjacent to the gate electrode. To form a data line including a protective film. Subsequently, the first portion positioned on the contact portion corresponding to the drain electrode and the pad portion corresponding to the gate pad and thicker than the first portion and the first portion positioned at a pad portion corresponding to the gate pad are thicker than the first portion. The photosensitive film pattern including the third part positioned at the other part except for the above is formed. Subsequently, the protective film or the gate insulating film is etched using the photoresist pattern as an etch mask to expose the protective film under the first part and the gate insulating film under the second part, and then the protective film and the gate of the pad part exposed using the third part as an etch mask. The insulating film is removed to form first and second contact holes exposing a portion of the drain electrode and the gate wiring. Next, a pixel electrode connected to the drain electrode is formed on the passivation layer through the first contact hole.

본 발명에서, 감광막 패턴은 데이터선의 끝 부분에 대응하며 제3 부분보자 얇은 두께를 가지는 제4 부분을 더 포함하며, 제4 부분과 보호막을 식각하여 데이터선의 끝 부분을 드러내는 제3 접촉 구멍을 형성한다.In the present invention, the photoresist pattern further includes a fourth portion corresponding to an end portion of the data line and having a thinner thickness than the third portion, and forming a third contact hole exposing the end portion of the data line by etching the fourth portion and the protective layer. do.

제1 부분 아래의 보호막과 제2 부분 아래의 게이트 절연막을 드러낼 때에는 건식 식각으로 실시하며, 감광막 패턴과 보호막에 대한 식각비가 실질적으로 동일한 식각 조건으로 실시하는 것이 바람직하며, 제1 부분 아래의 보호막과 제2 부분 아래의 게이트 절연막을 드러내는 단계에서 드러난 게이트 절연막은 보호막보다 얇 은 두께를 가지는 것이 바람직하다.When exposing the passivation layer under the first portion and the gate insulating layer under the second portion, the etching is performed by dry etching, and the etching ratio to the photoresist pattern and the passivation layer is preferably performed under an etching condition that is substantially the same. The gate insulating film exposed in the step of exposing the gate insulating film under the second portion and preferably has a thickness thinner than that of the protective film.

제1 및 제2 접촉 구멍 형성 때에도 건식 식각으로 실시하며, 게이트 절연막과 보호막에 대한 식각비가 실질적으로 동일한 식각 조건으로 실시하는 것이 바람직하다.Dry etching is also performed when the first and second contact holes are formed, and etching conditions for the gate insulating film and the protective film are preferably performed under the same etching conditions.

게이트선 또는 데이터선 및 드레인 전극은 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금의 하부 도전막과 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 상부 도전막으로 형성할 수 있으며, 화소 전극 형성 단계 전에 상부 도전막을 제거하는 것이 바람직하다.The gate line or the data line and the drain electrode may be formed of a lower conductive film of chromium or molybdenum or molybdenum alloy and an upper conductive film of aluminum or aluminum alloy, and it is preferable to remove the upper conductive film before the pixel electrode forming step.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a portion of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on top" of another part, this includes not only when the other part is "right on" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.

이제 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판 및 그의 제조 방법에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a thin film transistor array panel and a method of manufacturing the same according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

그러면, 이러한 본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Next, the thin film transistor array panel and its manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1 및 도 2를 참고로 하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 구조에 대하여 상세히 설명한다.First, the structure of the thin film transistor array panel according to the first exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판이고, 도 2는 도 1에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 II-II' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.1 is a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel shown in FIG. 1 taken along the line II-II '.

절연 기판(110) 위에 주로 가로 방향으로 뻗어 있는 복수의 게이트선(121)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 다른 물질과 접촉 특성이 우수한 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금 또는 탄탈륨 또는 티타늄 등으로 이루어진 하부 도전막(201)과 낮은 비저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 도전 물질로 이루어진 상부 도전막(202)으로 이루어져 있다. 게이트선(121)은 박막 트랜지스터의 게이트 전극(123)을 포함한다. 이때, 다른 부부보다 넓은 폭을 가지는 게이트선(121)의 일부는 이후에 형성되는 화소 전극(191)과 연결되어 있는 유지 축전기용 도전체 패턴(177)과 중첩되어 유지 축전기를 이루며, 여기서의 유지 용량이 충분하지 않은 경우에는 게이트 배선(121, 123, 125)으로부터 분리되어 있는 유지 배선을 추가될 수 있다.A plurality ofgate lines 121 extending mainly in the horizontal direction are formed on the insulatingsubstrate 110. Thegate line 121 is formed of a lowerconductive film 201 made of chromium, molybdenum, molybdenum alloy, tantalum, titanium, or the like, and an upper conductive film made of a conductive material of aluminum or aluminum alloy having a low specific resistance. 202). Thegate line 121 includes thegate electrode 123 of the thin film transistor. At this time, a part of thegate line 121 having a wider width than the other couple overlaps theconductor pattern 177 for the storage capacitor connected to thepixel electrode 191 formed later to form a storage capacitor. If the capacity is not sufficient, the maintenance wiring separated from thegate wiring 121, 123, 125 may be added.

본 발명의 다른 실시예에 따르며, 액정 축전기의 전하 보존 능력을 향상시키는 유지 축전기의 한 전극을 이루는 복수의 유지 전극이 기판(110) 위에 형성되어 있다. 유지 전극은 기준 전압 또는 공통 전극 전압 따위의 미리 정해진 전압을 외부로부터 인가 받는다. 이때 기준 전압은 또한 다른 표시판의 기준 전극에도 인가 된다.In accordance with another embodiment of the present invention, a plurality of sustain electrodes forming one electrode of a sustain capacitor which improves the charge retention capability of the liquid crystal capacitor are formed on thesubstrate 110. The sustain electrode receives a predetermined voltage such as a reference voltage or a common electrode voltage from the outside. In this case, the reference voltage is also applied to the reference electrode of the other display panel.

기판(110) 위에는 질화 규소(SiN_x) 따위로 이루어진 게이트 절연막(140)이 게이트선(121)을 덮고 있다.On thesubstrate 110, agate insulating layer 140 made of silicon nitride (SiN_x ) covers thegate line 121.

게이트 전극(123)의 게이트 절연막(140) 상부에는 비정질 규소 등으로 이루어진 반도체층(150)이 형성되어 있으며, 반도체층(150)의 상부에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항 접촉 부재(163, 165)가 각각 형성되어 있다.Asemiconductor layer 150 made of amorphous silicon is formed on thegate insulating layer 140 of thegate electrode 123, and an n + hydrogenated amorphous layer in which silicide or n-type impurities are heavily doped is formed on thesemiconductor layer 150.Resistive contact members 163 and 165 made of a material such as silicon are formed, respectively.

저항 접촉층(163, 1653) 및 게이트 절연막(140) 위에는 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 몰리브덴(Mo) 또는 몰리브덴-텅스텐(MoW) 합금, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti) 등의 금속 또는 도전체로 이루어진 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)이 형성되어 있다. 데이터선(171)은 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차하고 있으며, 데이터선(171)으로부터 뻗은 복수의 가지는 박막 트랜지스터의 소스 전극(173)을 이른다. 한 쌍의 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)은 한 쌍의 저항성 접촉 부재(163, 165) 상부에 적어도 위치하며, 서로 분리되어 있으며 게이트 전극(123)에 대하여 서로 반대쪽에 위치한다. 데이터선(171)과 동일한 층에는 이후의 화소 전극(191)과 전기적으로 연결되어 있으며 앞에서 설명한 바와 같이 게이트선(121)과 중첩하는 유지 축전기용 도전체 패턴(177)이 형성되어 있다. 이때, 데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)는 30-80° 범위의 경사각을 가지는 테이퍼 구조를 취할 수 있다.On theohmic contacts 163 and 1653 and thegate insulating layer 140, aluminum (Al) or aluminum alloy (Al alloy), molybdenum (Mo) or molybdenum-tungsten (MoW) alloy, chromium (Cr), tantalum (Ta), Thedata line 171 and thedrain electrode 175 made of a metal or a conductor such as titanium (Ti) are formed. Thedata line 171 mainly extends in the vertical direction to intersect thegate line 121, and the plurality of branches extending from thedata line 171 form thesource electrode 173 of the thin film transistor. The pair ofsource electrode 173 and thedrain electrode 175 are at least positioned on the pair ofohmic contacts 163 and 165, are separated from each other, and are opposite to each other with respect to thegate electrode 123. On the same layer as thedata line 171, aconductive capacitor pattern 177 for a storage capacitor is formed, which is electrically connected to thepixel electrode 191 and overlaps thegate line 121 as described above. In this case, thedata line 171, thedrain electrode 175, and thestorage capacitor conductor 177 may have a tapered structure having an inclination angle in the range of 30 to 80 °.

데이터 배선(171) 및 드레인 전극(175)은 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 단일막으로 형성하는 것이 바람직하지만, 이중층이상으로 형성될 수도 있다. 이중층 이상으로 형성하는 경우에는 한 층은 저항이 작은 물질로 형성하고 다른 층은 다른 물질, 특히 IZO 또는 ITO와 낮은 접촉 저항을 가지는 물질로 만드는 것이 바람직하다. 그 예로는 Al(또는 Al 합금)/Cr 또는 Al(또는 Al 합금)/Mo(또는 Mo 합금) 등을 들 수 있으며, 본 발명의 실시예에서 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)은 크롬의 하부 도전막(701)과 알루미늄-네오디뮴 합금의 상부 도전막(702)의 이중막으로 이루어져 있다.Thedata line 171 and thedrain electrode 175 are preferably formed of a single film of aluminum or an aluminum alloy, but may be formed of two or more layers. In the case of forming more than two layers, it is preferable that one layer is made of a material having a low resistance and the other layer is made of a material having a low contact resistance with other materials, especially IZO or ITO. Examples thereof include Al (or Al alloy) / Cr or Al (or Al alloy) / Mo (or Mo alloy), and the like. In an embodiment of the present invention, thedata line 171 and thedrain electrode 175 may be formed of chromium. And a double film of the lowerconductive film 701 and the upperconductive film 702 of aluminum-neodymium alloy.

데이터 배선(171), 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177) 및 이들이 가리지 않는 반도체층(150) 상부에는 질화 규소로 이루어진 보호막(180)이 형성되어 있다.Thepassivation layer 180 made of silicon nitride is formed on thedata line 171, thedrain electrode 175, theconductor 177 for the storage capacitor, and thesemiconductor layer 150 which is not covered by the capacitor.

보호막(180)에는 드레인 전극(175) 및 데이터선의 끝 부분(179)를 각각 드러내는 접촉 구멍(185, 189)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(140)과 함께 게이트선의 끝 부분(125)를 드러내는 접촉 구멍(182)이 형성되어 있다. 여기서, 접촉 구멍(185)은 드레인 전극(175)의 경계선이 드러나도록 형성되어 있어, 드레인 전극(179)에 인접한 게이트 절연막(140) 일부도 접촉 구멍(185)을 통하여 드러나 있다. 드레인 전극(175)을 드러내는 접촉 구멍(185)은 10㎛×10㎛를 넘지 않으며 4㎛×4㎛ 이상인 것이 바람직하다. 또한, 게이트선 및 데이터선 각각의 끝 부분(125, 179)을 드러내는 접촉 구멍(182, 189)도 패드의 경계선이 드러나도록 형 성될 수 있으며 이에 대해서는 제2 실시예를 통하여 구체적으로 설명하기로 하며, 접촉부의 접촉 저항을 최소화하기 위해 접촉 구멍(185)보다 크게 형성하는 것이 바람직하다.In thepassivation layer 180, contact holes 185 and 189 respectively exposing thedrain electrode 175 and theend portion 179 of the data line are formed, and the contact exposing theend portion 125 of the gate line together with thegate insulating layer 140. Thehole 182 is formed. Here, thecontact hole 185 is formed so that the boundary line of thedrain electrode 175 is exposed, and a portion of thegate insulating layer 140 adjacent to thedrain electrode 179 is also exposed through thecontact hole 185. Thecontact hole 185 exposing thedrain electrode 175 is preferably not more than 10 μm × 10 μm and not less than 4 μm × 4 μm. In addition, the contact holes 182 and 189 exposing theend portions 125 and 179 of the gate lines and the data lines may also be formed to expose the boundary lines of the pads, which will be described in detail with reference to the second embodiment. In order to minimize contact resistance of the contact portion, thecontact hole 185 may be formed larger than thecontact hole 185.

보호막(180) 위에는 투명한 도전 물질인 ITO 또는 IZO로 이루어진 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)을 통하여 드레인 전극(175)과 전기적으로 연결되어 있는데, 화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)에서 드러난 드레인 전극(175)의 하부막(701)과 충분히 접촉하고 있다. 이러한 본 발명의 실시예에 따른 구조에서는 화소 전극(191)은 드레인 전극(175)의 하부막(701)과 접촉하고 있어 화소 전극(191)과 드레인 전극(175)이 접촉하는 접촉부의 접촉 저항을 최소화할 수 있으며, 또한 드레인 전극(175)의 하부에서 언더 컷이 없어 접촉부에서 화소 전극(191)은 단선되지 않으며, 이를 통하여 접촉부의 프로파일을 양호하게 유도할 수 있다. 물론 화소 전극(191)과 유지 축전기용 도전체(177)가 접촉하는 접촉부에서도 화소 전극(191)과 드레인 전극(175)이 접촉하는 접촉부와 동일한 구조를 가진다.Thepixel electrode 191 made of ITO or IZO, which is a transparent conductive material, is formed on thepassivation layer 180. Thepixel electrode 191 is electrically connected to thedrain electrode 175 through thecontact hole 185, and thepixel electrode 191 is connected to thelower layer 701 of thedrain electrode 175 exposed from thecontact hole 185. I'm in full contact. In the structure according to the exemplary embodiment of the present invention, thepixel electrode 191 is in contact with thelower layer 701 of thedrain electrode 175, so that the contact resistance of the contact portion between thepixel electrode 191 and thedrain electrode 175 contacts. In addition, since there is no undercut under thedrain electrode 175, thepixel electrode 191 is not disconnected at the contact portion, thereby inducing a good profile of the contact portion. Of course, the contact portion between thepixel electrode 191 and thestorage capacitor conductor 177 may have the same structure as the contact portion between thepixel electrode 191 and thedrain electrode 175.

또한, 보호막(180) 위에는 접촉 구멍(182, 189)을 통하여 각각 게이트선의 끝 부분(125) 및 데이터선의 끝 부분(179)와 연결되어 있는 게이트 접촉 보조 부재(192) 및 데이터 접촉 보조 부재(199)가 형성되어 있다.In addition, on thepassivation layer 180, the gate contactauxiliary member 192 and the data contactauxiliary member 199 are connected to theend portion 125 of the gate line and theend portion 179 of the data line through the contact holes 182 and 189, respectively. ) Is formed.

그러면, 이러한 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법에 대하여 도 1 및 도 2와 도 3a 내지 도 9를 참고로 하여 상세히 설명한다.Next, a method of manufacturing the thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2 and FIGS. 3A to 9.                    

먼저, 도 3a 및 3b에 도시한 바와 같이, 기판(110) 위에 크롬의 하부 도전막(201)과 알루미늄 합금의 금속 중, 2 at%의 Nd를 포함하는 Al-Nd를 포함하는 표적을 이용하여 2,500Å 정도의 두께로 상부 도전막(202)을 차례로 스퍼터링(sputtering)으로 적층하고 패터닝하여 게이트선(121)을 20-80°범위의 경사각의 테이퍼 구조로 형성한다.First, as shown in FIGS. 3A and 3B, by using a target including Al-Nd containing 2 at% of Nd in the lowerconductive film 201 of chromium and an aluminum alloy metal on thesubstrate 110. The upperconductive film 202 is sequentially stacked and patterned by sputtering to a thickness of about 2,500 m 3, thereby forming thegate line 121 in a tapered structure having an inclination angle in a range of 20 to 80 °.

다음, 도 4a 및 도 4b에 도시한 바와 같이, 질화 규소로 이루어진 게이트 절연막(140), 비정질 규소층(150), 도핑된 비정질 규소층(160)의 삼층막을 연속하여 적층하고 마스크를 이용한 패터닝 공정으로 비정질 규소층(150)과 도핑된 비정질 규소층(160)을 패터닝하여 게이트 전극(123)과 마주하는 게이트 절연막(140) 상부에 반도체층(150)을 형성하고 그 상부에 도핑된 규소층(160)을 남긴다. 여기서, 게이트 절연막(140)은 질화 규소를 250~1500℃ 온도 범위, 2,000∼5,000Å 정도의 두께로 적층하여 형성하는 것이 바람직하다.Next, as shown in FIGS. 4A and 4B, a three-layer film of agate insulating layer 140 made of silicon nitride, anamorphous silicon layer 150, and a dopedamorphous silicon layer 160 is successively stacked, and a patterning process using a mask is performed. Thesemiconductor layer 150 is formed on thegate insulating layer 140 facing thegate electrode 123 by patterning theamorphous silicon layer 150 and the dopedamorphous silicon layer 160 to form a doped silicon layer (top). 160). Here, thegate insulating film 140 is preferably formed by stacking silicon nitride in a thickness of about 2,000 to 5,000 Pa at a temperature range of 250 to 1500 ° C.

다음, 도 5a 내지 도 5b에 도시한 바와 같이, 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금 또는 크롬 등으로 이루어진 하부 도전막(701)을 500Å 정도의 두께로, 저저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 금속 중, 2 at%의 Nd를 포함하는 Al-Nd 합금의 표적을 이용하여 상부 도전막(702)을 150℃ 정도에서 2,500Å 정도의 두께로 스퍼터링(sputtering)을 통하여 차례로 적층한 후, 마스크를 이용한 사진 공정으로 패터닝하여 게이트선(121)과 교차하는 데이터선(171), 데이터선(171)과 분리되어 있으며 게이트 전극(123)을 중심으로 소스 전극(173)과 마주하는 드레인 전극(175) 및 게이트선(121)과 중첩하는 유지 축전기용 도전체(177)를 테이퍼 구조로 형성한 다. 여기서, 상부막(702) 및 하부막(701)은 모두 습식 식각으로 식각할 수 있으며, 상부막(702)은 습식 식각으로 하부막(701)은 건식 식각으로 식각할 수 있으며, 하부막(701)이 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금막인 경우에는 상부막(702)과 하나의 식각 조건으로 패터닝할 수 있다.Next, as shown in FIGS. 5A to 5B, the lowerconductive film 701 made of molybdenum, molybdenum alloy, chromium, or the like is about 500 kPa, and at least 2 at% of the metal of aluminum or aluminum alloy having low resistance. The upperconductive film 702 was sequentially stacked by sputtering to a thickness of about 2,500 에서 at a temperature of about 150 ° C. using an Al-Nd alloy target including Nd, and then patterned by a photo process using a mask. Thedata line 171 crossing thegate line 121 and thedata line 171 are separated from each other, and thedrain electrode 175 and thegate line 121 facing thesource electrode 173 around thegate electrode 123. Theconductive capacitor conductor 177 for overlapping with each other is formed in a tapered structure. Here, both theupper layer 702 and thelower layer 701 may be etched by wet etching, theupper layer 702 may be etched by wet etching, and thelower layer 701 may be etched by dry etching, and thelower layer 701 may be etched. ) Is a molybdenum or molybdenum alloy film may be patterned with theupper film 702 in one etching condition.

이어, 데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)로 가리지 않는 도핑된 비정질 규소층(160)을 식각하여 게이트 전극(123)을 중심으로 양쪽으로 분리시켜 저항성 접촉 부재(163, 165)를 형성하는 한편, 양쪽의 저항성 접촉 부재(163, 165) 사이의 반도체층(150)을 노출시킨다. 이어, 노출된 반도체층(150)의 표면을 안정화시키기 위하여 산소 플라스마를 실시하는 것이 바람직하다.Subsequently, the dopedamorphous silicon layer 160, which is not covered by thedata line 171, thedrain electrode 175, and thestorage capacitor conductor 177, is etched and separated from both sides of thegate electrode 123 to form ohmic contacts. Themembers 163 and 165 are formed, while thesemiconductor layer 150 between theohmic contact members 163 and 165 is exposed. Subsequently, in order to stabilize the surface of the exposedsemiconductor layer 150, it is preferable to perform oxygen plasma.

다음으로, 도 6에서 보는 바와 같이, 질화 규소와 같은 무기 절연막을 또는 낮은 유전율을 가지는 유기 절연막을 적층하여 보호막(180)을 형성하고, 그 상부에 감광막(210)을 스핑 코팅 방법으로 도포한다.Next, as shown in FIG. 6, an inorganic insulating film such as silicon nitride or an organic insulating film having a low dielectric constant is stacked to form aprotective film 180, and aphotosensitive film 210 is applied on the upper part of the sputter coating method.

그 후, 마스크를 통하여 감광막(210)에 빛을 조사한 후 현상하여 도 7b에 도시한 바와 같이, 감광막 패턴(212, 214)을 형성한다. 이때, 감광막 패턴(212, 214) 중에서 접촉부(C1), 즉 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)상부에 위치한 제1 부분(214)은 게이트 패드(125)에 대응하는 패드부(B1)를 제외한 기타부(A1)에 위치한 제2 부분(212)보다 얇은 두께를 가지며, 패드부(B1)의 감광막은 모두 제거한다. 이 때, 데이터선의 끝 부분(179) 상부에 위치하는 감광막은 패드부(B1)와 동일한 두께로 남길 수 있으나, 본 발명의 실시예에서는 접촉부(C1)와 동 일한 두께로 남긴다. 여기서, 접촉부(C1)에 남아 있는 감광막(214)의 두께와 기타부(A1)에 남아 있는 감광막(212)의 두께의 비는 후에 후술할 식각 공정에서의 공정 조건에 따라 조절하며, 제1 부분(214)의 두께는 보호막(180)보다 같거나 얇은 두께로 남기는 것이 바람직하다.Thereafter, thephotosensitive film 210 is irradiated with light through a mask and then developed to formphotosensitive film patterns 212 and 214 as shown in FIG. 7B. In this case, among thephotoresist patterns 212 and 214, thefirst portion 214 disposed above the contact portion C1, that is, thedrain electrode 175 and thestorage capacitor conductor 177, may have a pad portion corresponding to thegate pad 125. It has a thickness thinner than thesecond portion 212 located in the other portion A1 except for (B1), and removes all the photoresist of the pad portion B1. In this case, the photoresist film positioned on theupper end portion 179 of the data line may be left to have the same thickness as the pad part B1, but in the exemplary embodiment of the present invention, is left to have the same thickness as the contact part C1. Here, the ratio of the thickness of thephotoresist film 214 remaining in the contact portion C1 and the thickness of thephotoresist film 212 remaining in the other portion A1 is adjusted according to the process conditions in the etching process, which will be described later. The thickness of 214 is preferably the same or thinner than thepassivation layer 180.

이와 같이, 위치에 따라 감광막의 두께를 달리하는 방법으로 여러 가지가 있을 수 있으며, C1 영역의 빛 투과량을 조절하기 위하여 주로 슬릿(slit)이나 격자 형태의 패턴을 형성하거나 반투명막을 사용한다.As such, there may be various methods of varying the thickness of the photoresist layer according to the position. In order to control the light transmission amount of the C1 region, a slit or lattice-shaped pattern is mainly used or a translucent film is used.

이때, 슬릿 사이에 위치한 패턴의 선 폭이나 패턴 사이의 간격, 즉 슬릿의 폭은 노광시 사용하는 노광기의 분해능보다 작은 것이 바람직하며, 반투명막을 이용하는 경우에는 마스크를 제작할 때 투과율을 조절하기 위하여 다른 투과율을 가지는 박막을 이용하거나 두께가 다른 박막을 이용할 수 있다.In this case, the line width of the pattern located between the slits or the interval between the patterns, that is, the width of the slits, is preferably smaller than the resolution of the exposure machine used for exposure, and in the case of using a translucent film, the transmittance is different in order to control the transmittance when fabricating a mask. A thin film having a thickness or a thin film may be used.

이와 같은 마스크를 통하여 감광막에 빛을 조사하면 빛에 직접 노출되는 부분에서는 고분자들이 완전히 분해되며, 슬릿 패턴이나 반투명막이 형성되어 있는 부분에서는 빛의 조사량이 적으므로 고분자들은 완전 분해되지 않은 상태이며, 차광막으로 가려진 부분에서는 고분자가 거의 분해되지 않는다. 이어 감광막을 현상하면, 고분자 분자들이 분해되지 않은 부분만이 남고, 빛이 적게 조사된 중앙 부분에는 빛에 전혀 조사되지 않은 부분보다 얇은 두께의 감광막이 남길 수 있다. 이때, 노광 시간을 길게 하면 모든 분자들이 분해되므로 그렇게 되지 않도록 해야 한다.When the light is irradiated to the photosensitive film through such a mask, the polymers are completely decomposed at the part directly exposed to the light, and the polymers are not completely decomposed because the amount of light is small at the part where the slit pattern or the translucent film is formed. In the area covered by, the polymer is hardly decomposed. Subsequently, when the photoresist film is developed, only a portion where the polymer molecules are not decomposed is left, and a thin photoresist film may be left at a portion where the light is not irradiated at a portion less irradiated with light. In this case, if the exposure time is extended, all molecules are decomposed, so it should not be so.

이러한 얇은 두께의 감광막(214)은 리플로우가 가능한 물질로 이루어진 감광 막을 이용하고 빛이 완전히 투과할 수 있는 부분과 빛이 완전히 투과할 수 없는 부분으로 나뉘어진 통상적인 마스크로 노광한 다음 현상하고 리플로우시켜 감광막이 잔류하지 않는 부분으로 감광막의 일부를 흘러내리도록 함으로써 형성할 수도 있다.Thisthin film 214 is exposed to a conventional mask, which is divided into a part that can completely transmit light and a part that cannot fully transmit light, using a photosensitive film made of a reflowable material, and then developed and rippled. It can also be formed by letting a part of the photosensitive film flow to the part which does not remain by making it low.

이어, 감광막 패턴(212, 214)을 식각 마스크로 하여 그 하부의 막인 보호막(180) 및 게이트 절연막(140)에 대한 식각을 진행한다. 이때, 패드부(B1)에서는 게이트 절연막(140)과 보호막(180)이 제거되어야 하고, 접촉부(C1)에서는 적어도 게이트 절연막(140)이 남아 있어야 한다.Subsequently, using thephotoresist patterns 212 and 214 as an etching mask, etching is performed on thepassivation layer 180 and thegate insulating layer 140 which are lower layers thereof. In this case, thegate insulating layer 140 and thepassivation layer 180 should be removed from the pad portion B1, and at least thegate insulating layer 140 should remain in the contact portion C1.

우선, 도 8에서 보는 바와 같이, 감광막 패턴(212, 214)을 마스크로 하여 보호막(180) 또는 게이트 절연막(140)을 식각하는데, 이때, 패드부(B1)에서는 보호막(180)이 완전히 제거되어야 하며, 접촉부(C1)에서는 감광막의 일부가 잔류할 수도 있다. 이때, 식각은 건식 식각 방법을 적용하며, 보호막(180) 및 감광막(212, 214)에 대하여 실질적으로 동일한 식각비를 가지는 식각 조건으로 실시하는 것이 좋다. 이는 접촉 구멍(185, 187)을 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체 패턴(177)의 경계선이 드러나도록 형성하더라도 이후의 식각 공정에서 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체 패턴(177) 하부에 게이트 절연막(140)을 용이하게 남길 수 있도록 하기 위함이다. 패드부(B1)에서 남은 게이트 절연막(140)의 두께는 보호막(180)보다 얇은 것이 바람직하며, 이는 이후의 식각 공정에서 패드부(B1)에서 게이트선의 끝 부분(125)을 드러내기 위해 게이트 절연막(140)을 완전히 제거하더라도 접촉부(C1)에서는 보호 막(180)을 제거하고 게이트 절연막(140)이 식각되지 않도록 하여 접촉부(C1)의 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177) 하부에서 언더 컷이 발생하지 않도록 하기 위함이다. 도면에서 보는 바와 같이 패드부(B1)에서는 게이트 절연막(140) 일부가 식각될 수 있다. 이어, 애싱 공정을 통하여 접촉부(C1)에서 잔류하는 감광막의 제1 부분(214)을 완전히 제거하여 접촉부(C1)에서 드레인 전극(175) 상부에 위치하는 보호막(180)을 드러낸다.First, as shown in FIG. 8, thepassivation layer 180 or thegate insulating layer 140 is etched using thephotoresist patterns 212 and 214 as a mask. In this case, thepassivation layer 180 must be completely removed from the pad portion B1. A part of the photosensitive film may remain in the contact portion C1. In this case, the etching may be a dry etching method, and the etching may be performed under the same etching conditions with respect to thepassivation layer 180 and the photoresist layers 212 and 214. Although the contact holes 185 and 187 are formed such that the boundary lines of thedrain electrode 175 and the conductivecapacitor conductor pattern 177 are exposed as shown in FIGS. 1 and 2, thedrain electrode 175 in the subsequent etching process. And to easily leave thegate insulating layer 140 under theconductive pattern 177 for the storage capacitor. The thickness of thegate insulating layer 140 remaining in the pad portion B1 is preferably thinner than that of thepassivation layer 180, which is used to expose theend portion 125 of the gate line in the pad portion B1 in a subsequent etching process. Even if 140 is completely removed, theprotection layer 180 is removed from the contact portion C1 and thegate insulating layer 140 is not etched so that thedrain electrode 175 and the lower portion of thestorage capacitor conductor 177 of the contact portion C1 are removed. This is to prevent undercuts from occurring. As shown in the drawing, a part of thegate insulating layer 140 may be etched in the pad part B1. Subsequently, thefirst portion 214 of the photoresist film remaining in the contact portion C1 is completely removed through the ashing process to expose thepassivation layer 180 positioned on thedrain electrode 175 at the contact portion C1.

이어, 도 9에서 보는 바와 같이, 남은 감광막의 제2 부분(212)을 식각 마스크로 사용하여 드러난 접촉부(C1) 및 패드부(B1)에서 보호막(180) 및 게이트 절연막(140)을 제거하여 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177) 및 게이트선의 끝 부분(125)과 데이터선의 끝 부분(179)을 드러내는 접촉 구멍(185, 187, 182, 189)을 완성한다. 이때, 식각은 건식 식각으로 사용하며, 게이트 절연막(140)과 보호막(180)에 대하여 실질적으로 동일한 식각비를 가지는 식각 조건으로 실시한다. 이렇게 하면, 패드부(B1)에서 게이트선의 끝 부분(125) 상부의 게이트 절연막(140)은 접촉부(C)의 보호막(180)보다 얇은 두께를 가지고 있기 때문에, 접촉부(C1)에서 보호막(180)만을 제거하여 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)가 드러날 때, 패드부(B1)에서는 게이트 절연막(140)이 완전히 제거되어 게이트선 끝 부분(125)을 접촉 구멍(182)을 완성할 수 있으며, 접촉부(C1)에서는 게이트 절연막(140)을 완전히 제거되는 것을 방지할 수 있다. 이어, 접촉 구멍(182, 185, 187)을 통하여 드러난 알루미늄 합금의 상부막(202, 702)을 제거한다. 이는 드레인 전극(175) 또는 게이트선 및 데이터선 끝 부분(125, 179)과 이후에 형성되 는 ITO 및 IZO와의 접촉 저항을 최소화하기 위함이다.Subsequently, as shown in FIG. 9, thepassivation layer 180 and thegate insulating layer 140 are removed from the contact portion C1 and the pad portion B1 exposed using thesecond portion 212 of the remaining photoresist layer as an etching mask. The contact holes 185, 187, 182, and 189 exposing theelectrode 175, theconductor 177 for the storage capacitor, theend portion 125 of the gate line, and theend portion 179 of the data line are completed. In this case, the etching may be performed by dry etching, and the etching may be performed under the same etching conditions with respect to thegate insulating layer 140 and thepassivation layer 180. In this case, since thegate insulating layer 140 on theend portion 125 of the gate line in the pad portion B1 has a thickness thinner than that of theprotective layer 180 of the contact portion C, theprotective layer 180 is formed at the contact portion C1. When only thedrain electrode 175 and thestorage capacitor conductor 177 are exposed by removing only thegate insulating layer 140, thegate insulating layer 140 is completely removed from the pad portion B1 so that the gatehole end portion 125 contacts thecontact hole 182. Thegate insulating layer 140 may be completely removed from the contact portion C1. Next, theupper films 202 and 702 of the aluminum alloy exposed through the contact holes 182, 185 and 187 are removed. This is to minimize the contact resistance between thedrain electrode 175 or the gate line and data lineend portions 125 and 179 and later formed ITO and IZO.

다음, 마지막으로 도 1 및 2에 도시한 바와 같이, IZO 또는 ITO막을 스퍼터링으로 적층하고 마스크를 이용한 패터닝을 실시하여 접촉 구멍(185, 187)을 통하여 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(187)와 연결되는 화소 전극(191)과 접촉 구멍(182, 189)을 통하여 게이트선의 끝 부분(125) 및 데이터선의 끝 부분(179)과 각각 연결되는 게이트 접촉 보조 부재(192) 및 데이터 접촉 보조 부재(199)를 각각 형성한다. 이때, 화소 전극(191)은 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)의 하부에서 언더 컷이 발생하지 않아 단선되지 않아 접촉부의 프로파일을 완만하게 형성할 수 있으며, 접촉부에서 IZO 또는 ITO막과 낮은 접촉 저항을 가지는 하부막(701)과 충분히 접하고 있어 접촉부의 접촉 저항을 최소화할 수 있다.Next, as shown in FIGS. 1 and 2, the IZO or ITO film is laminated by sputtering and patterned using a mask to conductdrain electrode 175 and a conductor for a storage capacitor throughcontact holes 185 and 187. The gatecontact assistant member 192 and the data contact assistant respectively connected to theend portion 125 of the gate line and theend portion 179 of the data line through thepixel electrode 191 connected to the 187 and the contact holes 182 and 189, respectively. Eachmember 199 is formed. In this case, thepixel electrode 191 may not be disconnected because the under electrode does not occur in the lower portion of thedrain electrode 175 and thestorage capacitor conductor 177, so that the profile of the contact portion may be smoothly formed, and the contact portion may have a IZO or ITO. The contact resistance of the contact portion can be minimized because it is sufficiently in contact with thelower layer 701 having a low contact resistance with the film.

이러한 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 구조는 게이트선(121) 및 데이터선(171)이 저저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 도전막을 포함하고 있는 동시에 접촉부 특히 데이터 배선과 화소 전극(191)의 접촉 저항을 최소화할 수 있어 대화면 고정세의 액정 표시 장치에 적용할 수 있다.The structure of the thin film transistor array panel according to the exemplary embodiment of the present invention includes a conductive film of aluminum or aluminum alloy in which thegate line 121 and thedata line 171 have a low resistance, and at the same time, the contact portion, especially the data line and thepixel electrode 191. Contact resistance can be minimized and can be applied to a large screen high-definition liquid crystal display device.

이러한 방법은 앞에서 설명한 바와 같이, 5매의 마스크를 이용하는 제조 방법에 적용할 수 있지만, 4매 마스크를 이용하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법에서도 동일하게 적용할 수 있다. 이에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.As described above, this method can be applied to a manufacturing method using five masks, but the same method can be applied to a manufacturing method of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display device using four masks. This will be described in detail with reference to the drawings.

먼저, 도 10 내지 도 12를 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 4매 마스크 를 이용하여 완성된 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 단위 화소 구조에 대하여 상세히 설명한다.First, a unit pixel structure of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display device completed using four masks according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 10 to 12.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고, 도 11 및 도 12는 각각 도 10에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 XI-XI' 선 및 XII-XII' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.10 is a layout view of a thin film transistor array panel for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 11 and 12 are lines XI-XI ′ and XII-XII ′, respectively, of the thin film transistor array panel illustrated in FIG. 10. A cross-sectional view taken along the line.

먼저, 절연 기판(110) 위에 제1 실시예와 동일하게 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 저저항 도전 물질로 이루어진 게이트선(121)이 형성되어 있다. 그리고, 기판(110) 상부에는 게이트선(121)과 평행하며 다른 표시판에 형성되어 있는 공통 전극(도시하지 않음)에 입력되는 공통 전극 전압 따위의 전압을 외부로부터 인가받는 유지 전극선(131)이 형성되어 있다. 유지 전극선(131)은 후술할 화소 전극(191)과 연결된 드레인 전극(175)과 중첩되어 화소의 전하 보존 능력을 향상시키는 유지 축전기를 이루며, 후술할 화소 전극(191)과 게이트선(121)의 중첩으로 발생하는 유지 용량이 충분할 경우 형성하지 않을 수도 있다.First, agate line 121 made of a low resistance conductive material of aluminum or an aluminum alloy is formed on the insulatingsubstrate 110 as in the first embodiment. In addition, astorage electrode line 131 is formed on thesubstrate 110 to receive a voltage, such as a common electrode voltage, that is input to a common electrode (not shown) parallel to thegate line 121 and formed on another display panel. It is. Thestorage electrode line 131 overlaps with thedrain electrode 175 connected to thepixel electrode 191, which will be described later, to form a storage capacitor that improves the charge retention capability of the pixel. Thestorage electrode line 131 of thepixel electrode 191 and thegate line 121, which will be described later, It may not be formed if the holding capacity generated by the overlap is sufficient.

게이트선(121) 및 유지 전극선(131)은 마찬가지로 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진 단일층으로 형성될 수도 있지만, IZO 또는 ITO와 낮은 접촉 저항을 가지는 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금 또는 탄탈륨 또는 티타늄으로 이루어진 하부막(201)과 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진 상부막(202)을 포함하는 이중막으로 형성되어 있다.Thegate line 121 and thestorage electrode line 131 may likewise be formed of a single layer made of aluminum or an aluminum alloy, but a lower layer made of chromium or molybdenum or molybdenum alloy or tantalum or titanium having a low contact resistance with IZO or ITO. It is formed of a double film including a 201 and anupper film 202 made of aluminum or an aluminum alloy.

게이트선(121) 및 유지 전극선(131) 위에는 질화 규소(SiN_x) 따위로 이루어 진 게이트 절연막(140)이 형성되어 게이트선(121) 및 유지 전극선(131)을 덮고 있다.Agate insulating layer 140 made of silicon nitride (SiN_x ) is formed on thegate line 121 and thestorage electrode line 131 to cover thegate line 121 and thestorage electrode line 131.

게이트 절연막(140) 위에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon) 따위의 반도체(152)가 형성되어 있으며, 반도체(152) 위에는 인(P) 따위의 n형 불순물로 고농도로 도핑되어 있는 비정질 규소 따위로 이루어진 저항성 접촉 부재(ohmic contact layer)(163, 165)가 형성되어 있다.Asemiconductor 152 such as hydrogenated amorphous silicon is formed on thegate insulating layer 140, and an amorphous silicon, which is heavily doped with n-type impurities such as phosphorous (P), is formed on thesemiconductor 152. Ohmic contact layers 163 and 165 are formed.

저항성 접촉 부재(163, 165) 위에는 저저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 도전 물질로 이루어진 도전막을 포함하는 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)이 형성되어 있다. 데이터선(171)은 게이트 전극(123) 상부에 위치하는 소스 전극(173)을 포함한다. 이때, 드레인 전극(175)은 데이터선(171)과 분리되어 있으며 게이트 전극(123) 또는 박막 트랜지스터의 채널부에 대하여 소스 전극(173)의 반대쪽에 위치하며 유지 전극선(131) 상부까지 연장되어 있다.On theohmic contacts 163 and 165, adata line 171 and adrain electrode 175 including a conductive film made of a conductive material of aluminum or an aluminum alloy having low resistance are formed. Thedata line 171 includes asource electrode 173 positioned above thegate electrode 123. In this case, thedrain electrode 175 is separated from thedata line 171, positioned opposite to thesource electrode 173 with respect to the channel portion of thegate electrode 123 or the thin film transistor, and extends to the upper portion of thestorage electrode line 131. .

데이터선(171), 드레인 전극(175)도 게이트선(121)과 마찬가지로 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 금속으로 이루어진 단일층으로 형성될 수도 있지만, 제1 실시예와 동일하게 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금 또는 탄탈륨 또는 티타늄으로 이루어진 하부막(701)과 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진 상부막(702)을 포함하는 이중막으로 형성되어 있다.Thedata line 171 and thedrain electrode 175 may also be formed of a single layer made of a metal of aluminum or an aluminum alloy, similar to thegate line 121, but similarly to the first embodiment, the chromium, molybdenum, molybdenum alloy, or tantalum Or a double layer including alower layer 701 made of titanium and anupper layer 702 made of aluminum or an aluminum alloy.

저항성 접촉 부재(163, 165)는 그 하부의 반도체(152)와 그 상부의 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)의 접촉 저항을 낮추어 주는 역할을 하며, 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)과 실질적으로 동일한 형태를 가진다.Theohmic contacts 163 and 165 lower contact resistances of thesemiconductor 152 below and thedata line 171 and thedrain electrode 175 thereon, and thedata line 171 and the drain electrode ( 175) and substantially the same form.                    

한편, 반도체(152)는 박막 트랜지스터의 채널부인 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이를 제외하면 데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 및 저항성 접촉 부재(163, 165)와 실질적으로 동일한 모양을 하고 있다. 즉, 박막 트랜지스터의 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)이 분리되어 있고 한 쌍은 저항성 접촉 부재(163, 165)도 분리되어 있으나, 박막 트랜지스터용 반도체(152)는 이곳에서 끊어지지 않고 연결되어 박막 트랜지스터의 채널을 생성한다.Thesemiconductor 152 may be substantially connected to thedata line 171, thedrain electrode 175, and theohmic contacts 163 and 165 except between thesource electrode 173 and thedrain electrode 175, which are channel portions of the thin film transistor. It is the same shape. That is, although thesource electrode 173 and thedrain electrode 175 of the thin film transistor are separated and the pair ofohmic contacts 163 and 165 are also separated, the thinfilm transistor semiconductor 152 is not disconnected here. To create a channel of the thin film transistor.

데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 위에는 질화 규소로 이루어진 보호막(180)이 형성되어 있다.Apassivation layer 180 made of silicon nitride is formed on thedata line 171 and thedrain electrode 175.

보호막(180)은 드레인 전극(175) 및 데이터선의 끝 부분(179)을 드러내는 접촉 구멍(185, 189)을 가지고 있으며, 또한 게이트 절연막(140)과 함께 게이트선의 끝 부분(125)을 드러내는 접촉 구멍(182)을 가지고 있다. 이때, 접촉 구멍(182, 185, 189) 모두는 게이트선의 끝 부분(125), 드레인 전극(175), 데이터선의 끝 부분(179)의 경계선이 드러나도록 형성되어 있으며, 접촉 구멍(182, 185, 189)에서는 IZO 또는 ITO와 낮은 접촉 저항을 가지는 하부막(201, 701)이 드러나 있다.Thepassivation layer 180 hascontact holes 185 and 189 exposing thedrain electrode 175 and theend portion 179 of the data line, and the contact hole exposing theend portion 125 of the gate line together with thegate insulating layer 140. Has 182. In this case, all of the contact holes 182, 185, and 189 are formed so that the boundary lines of theend portion 125 of thegate line 125, thedrain electrode 175, and theend portion 179 of the data line are exposed, and the contact holes 182, 185, In 189,lower layers 201 and 701 having low contact resistance with IZO or ITO are exposed.

보호막(180) 위에는 박막 트랜지스터로부터 화상 신호를 받아 상판의 전극과 함께 전기장을 생성하는 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)을 통하여 드레인 전극(175)과 물리적·전기적으로 연결되어 화상 신호를 전달받는다. 화소 전극(191)은 또한 이웃하는 게이트선(121) 및 데이터선(171)과 중첩되어 개구율을 높이고 있으나, 중첩되지 않을 수도 있다. 한편, 게이트선의 끝 부분(125) 및 데이터선의 끝 부분(179) 위에는 접촉 구멍(182, 189)을 통하여 각각 이들과 연결되는 게이트 접촉 보조 부재(192) 및 데이터 접촉 보조 부재(199)가 형성되어 있으며, 이들은 게이트선 및 데이터선 각각의 끝 부분(125, 179)과 외부 회로 장치와의 접착성을 보완하고 패드를 보호하는 역할을 하는 것으로 필수적인 것은 아니며, 이들의 적용 여부는 선택적이다. 여기서도, 제1 실시예와 동일하게 접촉부 또는 패드부에서 IZO막(191, 192, 199)은 게이트선의 끝 부분(125), 드레인 전극(175), 데이터선의 끝 부분(179)의 하부막(201, 701)과 접촉되어 있다. 이때, 접촉 구멍(185, 189)은 드레인 전극(175) 및 데이터선의 끝 부분(179)의 경계선이 드러나 있어도, 드레인 전극(175) 및 데이터선의 끝 부분(179)의 주변에는 게이트 절연막(140)이 남아 있어 화소 전극(191) 및 데이터 접촉 보조 부재(199)는 접촉 구멍(185, 189)에서 단선되지 않고, 완만한 프로파일을 가진다.Apixel electrode 191 is formed on thepassivation layer 180 to receive an image signal from the thin film transistor and generate an electric field together with the electrode of the upper plate. Thepixel electrode 191 is physically and electrically connected to thedrain electrode 175 through thecontact hole 185 to receive an image signal. Thepixel electrode 191 also overlaps the neighboringgate line 121 and thedata line 171 to increase the aperture ratio, but may not overlap. On the other hand, a gate contactauxiliary member 192 and a data contactauxiliary member 199 are formed on theend portion 125 of the gate line and theend portion 179 of the data line, respectively, through the contact holes 182 and 189. In addition, they are not essential to complement the adhesion between theend portions 125 and 179 of the gate lines and the data lines and the external circuit device and to protect the pads, and their application is optional. Here, similarly to the first embodiment, theIZO films 191, 192, and 199 at the contact portions or the pad portions have thelower layers 201 at theend portions 125 of the gate lines, thedrain electrodes 175, and theend portions 179 of the data lines. , 701. In this case, the contact holes 185 and 189 may have thegate insulating layer 140 around thedrain electrode 175 and theend portion 179 of the data line, even if the boundary line between thedrain electrode 175 and theend portion 179 of the data line is exposed. This remains so that thepixel electrode 191 and thedata contact assistant 199 are not disconnected at the contact holes 185 and 189 and have a gentle profile.

여기에서는 화소 전극(191)의 재료의 예로 투명한 IZO를 들었으나, 투명한 도전성 폴리머(polymer) 등으로 형성할 수도 있으며, 반사형 액정 표시 장치의 경우 불투명한 도전 물질을 사용하여도 무방하다.Although the transparent IZO is mentioned as an example of the material of thepixel electrode 191, it may be formed of a transparent conductive polymer or the like. In the case of a reflective liquid crystal display, an opaque conductive material may be used.

그러면, 도 10 내지 도 12의 구조를 가지는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판을 4매 마스크를 이용하여 제조하는 방법에 대하여 상세하게 도 10 내지 도 12와 도 13a 내지 도 22c를 참조하여 설명하기로 한다.Next, a method of manufacturing a thin film transistor array panel for a liquid crystal display device having the structure of FIGS. 10 to 12 using four masks will be described in detail with reference to FIGS. 10 to 12 and FIGS. 13A to 22C. .

먼저, 도 13a 내지 13c에 도시한 바와 같이, ITO 또는 IZO와 낮은 접촉 저항을 가지는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금 또는 크롬 등으로 이루어진 하부 도전막(201)과 낮은 비저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금 중, 2 at%의 Nd를 포함하는 Al-Nd 합금의 표적을 스퍼터링하여 적층한 상부 도전막(202)을 차례로 형성한 후, 1 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 기판(110) 위에 게이트선(121) 및 유지 전극선(131)을 테이퍼 구조로 형성한다. First, as shown in FIGS. 13A to 13C, 2 at% of the lowerconductive film 201 made of molybdenum or molybdenum alloy or chromium having low contact resistance with ITO or IZO, and aluminum or aluminum alloy having low specific resistance After forming a stacked upperconductive film 202 by sputtering a target of an Al-Nd alloy including Nd, thegate line 121 and the storage electrode line (on thesubstrate 110 are formed on thesubstrate 110 by a photolithography process using one mask). 131 is formed into a tapered structure.

다음, 도 14a 및 14b에 도시한 바와 같이, 질화 규소로 이루어진 게이트 절연막(140), 비정질 규소층(150), 도핑된 비정질 규소층(160)을 화학 기상 증착법을 이용하여 각각 1,500 Å 내지 5,000 Å, 500 Å 내지 2,000 Å, 11500 Å 내지 600 Å의 두께로 연속 증착하고, 이어 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금으로 이루어진 하부 도전막(701)과 낮은 비저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진 하부막(701)을 포함하는 도전체층(170)을 스퍼터링 등의 방법으로 1,500 Å 내지 3,000 Å의 두께로 증착한 다음 그 위에 감광막(310)을 1 μm 내지 2 μm의 두께로 도포한다.Next, as shown in FIGS. 14A and 14B, thegate insulating layer 140, theamorphous silicon layer 150, and the dopedamorphous silicon layer 160 made of silicon nitride are respectively 1,500 kV to 5,000 kV using chemical vapor deposition. , 500 Å to 2,000 Å, 11500 Å to 600 Å continuously deposited, followed by a lowerconductive film 701 made of chromium, molybdenum or molybdenum alloy, and a lower film made of aluminum or aluminum alloy with low specific resistance Theconductive layer 170 including the deposited to a thickness of 1,500 kPa to 3,000 kPa by a method such as sputtering, and then aphotosensitive film 310 is applied thereon to a thickness of 1 μm to 2 μm.

그 후, 제2 마스크를 통하여 감광막(310)에 빛을 조사한 후 현상하여 도 15b 및 15c에 도시한 바와 같이, 감광막 패턴(312, 314)을 형성한다. 이때, 감광막 패턴(312, 314) 중에서 박막 트랜지스터의 채널부(C2), 즉 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이에 위치한 제1 부분(314)은 배선부(A2), 즉 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)이 형성될 부분에 위치한 제2 부분(312)보다 두께가 작게 되도록 하며, 기타 부분(B2)의 감광막은 모두 제거한다. 이 때, 채널부(C2)에 남아 있는 감광막(314)의 두께와 배선부(A2)에 남아 있는 감광막(312)의 두께의 비는 후에 후술할 식각 공정에서의 공정 조건에 따라 다르게 하여야 하되, 제1 부분(314)의 두께를 제2 부분(312)의 두께의 1/2 이하로 하는 것이 바람직하며, 예를 들면, 4,000 Å 이하인 것이 좋다.Thereafter, thephotoresist layer 310 is irradiated with light through a second mask and then developed to formphotoresist patterns 312 and 314 as shown in FIGS. 15B and 15C. In this case, among thephotoresist patterns 312 and 314, the channel portion C2 of the thin film transistor, that is, thefirst portion 314 positioned between thesource electrode 173 and thedrain electrode 175, is the wiring portion A2, that is, the data line. The thickness of thesecond portion 312 positioned at theportion 171 and thedrain electrode 175 is to be smaller than that of thesecond portion 312, and all the photoresist of the other portion B2 is removed. At this time, the ratio of the thickness of thephotoresist film 314 remaining in the channel part C2 and the thickness of thephotoresist film 312 remaining in the wiring part A2 should be different depending on the process conditions in the etching process which will be described later. It is preferable to make the thickness of the1st part 314 into 1/2 or less of the thickness of the2nd part 312, for example, it is good to be 4,000 Pa or less.                    

이와 같이, 위치에 따라 감광막의 두께를 달리하는 방법은 제1 실시예와 동일하다.As such, the method of varying the thickness of the photosensitive film according to the position is the same as that of the first embodiment.

이어, 감광막 패턴(314) 및 그 하부의 막들, 즉 도전체층(170), 도핑된 비정질 규소층(160) 및 비정질 규소층(150)에 대한 식각을 진행한다. 이때, 배선부(A2)에는 데이터선, 드레인 전극 및 그 하부의 막들이 그대로 남아 있고, 채널부(C2)에는 비정질 규소의 반도체만 남아 있어야 하며, 나머지 부분(B2)에는 위의 3개 층(170, 160, 150)이 모두 제거되어 게이트 절연막(140)이 드러나야 한다.Subsequently, etching is performed on thephotoresist pattern 314 and the underlying layers, that is, theconductor layer 170, the dopedamorphous silicon layer 160, and theamorphous silicon layer 150. In this case, the data line, the drain electrode, and the films below the wiring line A2 remain intact, only the semiconductor of amorphous silicon should remain in the channel portion C2, and the upper three layers ( All of the 170, 160 and 150 should be removed to expose thegate insulating layer 140.

먼저, 도 16a 및 16b에 도시한 것처럼, 기타 부분(B2)의 노출되어 있는 도전체층(170)을 제거하여 그 하부의 도핑된 비정질 규소층(160)을 노출시킨다. 이 과정에서는 건식 식각 또는 습식 식각 방법을 모두 사용할 수 있으며, 이때 도전체층(170)은 식각되고 감광막 패턴(312, 314)은 거의 식각되지 않는 조건하에서 행하는 것이 좋다. 그러나, 건식 식각의 경우 도전체층(170)만을 식각하고 감광막 패턴(312, 314)은 식각되지 않는 조건을 찾기가 어려우므로 감광막 패턴(312, 314)도 함께 식각되는 조건하에서 행할 수 있다. 이 경우에는 습식 식각의 경우보다 제1 부분(314)의 두께를 두껍게 하여 이 과정에서 제1 부분(314)이 제거되어 하부의 도전체층(170)이 드러나는 일이 생기지 않도록 한다.First, as shown in FIGS. 16A and 16B, the exposedconductor layer 170 of the other portion B2 is removed to expose the underlying dopedamorphous silicon layer 160. In this process, both a dry etching method and a wet etching method may be used. In this case, theconductor layer 170 may be etched and thephotoresist patterns 312 and 314 may be etched under almost no etching conditions. However, in the case of dry etching, since it is difficult to find a condition in which only theconductor layer 170 is etched and thephotoresist patterns 312 and 314 are not etched, thephotoresist patterns 312 and 314 may also be etched together. In this case, the thickness of thefirst portion 314 is thicker than that of the wet etching so that thefirst portion 314 is removed in this process so that the lowerconductive layer 170 is not exposed.

도전체층(170)의 도전막 중 Mo 또는 MoW 합금, Al 또는 Al 합금, Ta 중 하나를 포함하는 도전막은 건식 식각이나 습식 식각 중 어느 것이라도 가능하다. 그러나 Cr은 건식 식각 방법으로는 잘 제거되지 않기 때문에 하부막(701)이 Cr이라면 습식 식각만을 이용하는 것이 좋다. 하부막(701)이 Cr인 습식 식각의 경우에는 식 각액으로 CeNHO₃을 사용할 수 있고, 하부막(701)이 Mo나 MoW인 건식 식각의 경우의 식각 기체로는 CF₄와 HCl의 혼합 기체나 CF₄와 O₂의 혼합 기체를 사용할 수 있으며 후자의 경우 감광막에 대한 식각비도 거의 비슷하다.The conductive film including Mo or MoW alloy, Al or Al alloy, or Ta among the conductive films of theconductor layer 170 may be either dry etching or wet etching. However, since Cr is not easily removed by the dry etching method, only wet etching may be used if thelower layer 701 is Cr. In the case of wet etching in which thelower layer 701 is Cr, CeNHO₃ may be used as an etchant, and in the case of dry etching in which thelower layer 701 is Mo or MoW, a mixed gas of CF₄ and HCl may be used. A mixture of CF₄ and O₂ can be used, and the latter has almost the same etch ratio to the photoresist.

이렇게 하면, 도 16a 및 도 16b에 나타낸 것처럼, 채널부(C2) 및 배선부(B2)의 도전체층, 즉 배선용 도전체(178)만이 남고 기타 부분(B2)의 도전체층(170)은 모두 제거되어 그 하부의 도핑된 비정질 규소층(160)이 드러난다. 이때 남은 도전체(178)는 소스 및 드레인 전극(173, 175)이 분리되지 않고 연결되어 있는 점을 제외하면 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)의 형태와 동일하다. 또한 건식 식각을 사용한 경우 감광막 패턴(312, 314)도 어느 정도의 두께로 식각된다.In this way, as shown in Figs. 16A and 16B, only the conductor layer of the channel portion C2 and the wiring portion B2, that is, thewiring conductor 178 remains, and all the conductor layers 170 of the other portion B2 are removed. To reveal the underlying dopedamorphous silicon layer 160. The remainingconductor 178 is the same as the shape of thedata line 171 and thedrain electrode 175 except that the source and drainelectrodes 173 and 175 are connected without being separated. In addition, when dry etching is used, thephotoresist patterns 312 and 314 are also etched to a certain thickness.

이어, 도 17a 및 17b에 도시한 바와 같이, 기타 부분(B2)의 노출된 도핑된 비정질 규소층(160) 및 그 하부의 비정질 규소층(150)을 감광막의 제1 부분(314)과 함께 건식 식각 방법으로 동시에 제거한다. 이 때의 식각은 감광막 패턴(312, 314)과 도핑된 비정질 규소층(160) 및 비정질 규소층(150)(비정질 규소층과 도핑된 비정질 규소층은 식각 선택성이 거의 없음)이 동시에 식각되며 게이트 절연막(140)은 식각되지 않는 조건하에서 행하여야 하며, 특히 감광막 패턴(312, 314)과 비정질 규소층(150)에 대한 식각비가 거의 실질적으로 동일한 조건으로 식각하는 것이 바람직하다. 예를 들어, SF₆과 HCl의 혼합 기체나, SF₆과 O₂의 혼합 기체를 사용하면 거의 동일한 두께로 두 막을 식각할 수 있다. 감광막 패턴(312, 314)과 비정질 규소층(150)에 대한 식각비가 동일한 경우 제1 부분(314)의 두께는 비정질 규소층(150)과 도핑된 비정질 규소층(160)의 두께를 합한 것과 같거나 그보다 작아야 한다.Then, as shown in FIGS. 17A and 17B, the exposed dopedamorphous silicon layer 160 of the other portion B2 and the underlyingamorphous silicon layer 150 are dried together with thefirst portion 314 of the photoresist film. Simultaneously remove by etching. In this case, thephotoresist pattern 312 and 314, the dopedamorphous silicon layer 160, and the amorphous silicon layer 150 (the amorphous silicon layer and the doped amorphous silicon layer have almost no etching selectivity) are simultaneously etched and gated. The insulatinglayer 140 should be performed under a condition that is not etched. In particular, the insulatinglayer 140 may be etched under conditions in which the etching ratios of thephotoresist patterns 312 and 314 and theamorphous silicon layer 150 are substantially the same. For example, by using a mixed gas of SF₆ and HCl or a mixed gas of SF₆ and O₂ , the two films can be etched to almost the same thickness. When the etch ratios of thephotoresist patterns 312 and 314 and theamorphous silicon layer 150 are the same, the thickness of thefirst portion 314 is equal to the sum of the thicknesses of theamorphous silicon layer 150 and the dopedamorphous silicon layer 160. Or less than that.

이렇게 하면, 도 17a 및 17b에 나타낸 바와 같이, 채널부(C2)의 제1 부분(314)이 제거되어 소스/드레인용 도전체(178)이 드러나고, 기타 부분(B2)의 도핑된 비정질 규소층(160) 및 비정질 규소층(150)이 제거되어 그 하부의 게이트 절연막(140)이 드러난다. 한편, 배선부(A2)의 제2 부분(312) 역시 식각되므로 두께가 얇아진다. 또한, 이 단계에서 비정질 규소층의 반도체(152)가 완성된다. 도면 부호 168은 각각 소스/드레인용 도전체(178) 하부의 도핑된 비정질 규소층을 가리킨다.This removes thefirst portion 314 of the channel portion C2, revealing the source /drain conductor 178, as shown in FIGS. 17A and 17B, and the doped amorphous silicon layer of the other portion B2. The 160 and theamorphous silicon layer 150 are removed to expose thegate insulating layer 140 thereunder. Meanwhile, since thesecond portion 312 of the wiring portion A2 is also etched, the thickness becomes thinner. In this step, thesemiconductor 152 of the amorphous silicon layer is completed.Reference numeral 168 denotes a doped amorphous silicon layer below the source /drain conductor 178, respectively.

이어 애싱(ashing)을 통하여 채널부(C2)의 소스/드레인용 도전체(178) 표면에 남아 있는 감광막 찌꺼기를 제거한다.Subsequently, ashing of the photoresist film remaining on the surface of the source /drain conductor 178 of the channel part C2 is removed.

다음, 도 18a 및 18b에 도시한 바와 같이 채널부(C2)의 소스/드레인용 도전체(178) 및 그 하부의 도핑된 비정질 규소층(168)을 식각하여 제거한다. 이 때, 식각은 소스/드레인용 도전체(178)와 비정질 규소층(168) 모두에 대하여 건식 식각만으로 진행할 수도 있으며, 소스/드레인용 도전체(178)에 대해서는 습식 식각으로, 도핑된 비정질 규소층(168)에 대해서는 건식 식각으로 행할 수도 있다. 전자의 경우 소스/드레인용 도전체(178)와 도핑된 비정질 규소층(168)의 식각 선택비가 큰 조건하에서 식각을 행하는 것이 바람직하며, 이는 식각 선택비가 크지 않을 경우 식각 종점을 찾기가 어려워 채널부(C2)에 남는 반도체(152)의 두께를 조절하기 가 쉽지 않기 때문이다. 예를 들면, SF₆과 O₂의 혼합 기체를 사용하여 소스/드레인용 도전체(178)을 식각하는 것을 들 수 있다. 습식 식각과 건식 식각을 번갈아 하는 후자의 경우에는 습식 식각되는 소스/드레인용 도전체(178)의 측면은 식각되지만, 건식 식각되는 도핑된 비정질 규소층(168)은 거의 식각되지 않으므로 계단 모양으로 만들어진다. 도핑된 비정질 규소층(168) 및 반도체(152)를 식각할 때 사용하는 식각 기체의 예로는 앞에서 언급한 CF₄와 HCl의 혼합 기체나 CF₄와 O₂의 혼합 기체를 들 수 있으며, CF₄와 O₂를 사용하면 균일한 두께로 반도체(152)을 남길 수 있다. 이때, 도 18b에 도시한 것처럼 반도체(152)의 일부가 제거되어 두께가 작아질 수도 있으며 감광막 패턴의 제2 부분(312)도 이때 어느 정도의 두께로 식각된다. 이때의 식각은 게이트 절연막(140)이 식각되지 않는 조건으로 행하여야 하며, 제2 부분(312)이 식각되어 그 하부의 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)이 드러나는 일이 없도록 감광막 패턴이 두꺼운 것이 바람직함은 물론이다.Next, as illustrated in FIGS. 18A and 18B, the source /drain conductor 178 of the channel portion C2 and the dopedamorphous silicon layer 168 thereunder are etched and removed. In this case, the etching may be performed only by dry etching with respect to both the source /drain conductor 178 and theamorphous silicon layer 168, and the source /drain conductor 178 may be wet-etched with doped amorphous silicon. Thelayer 168 may be performed by dry etching. In the former case, it is preferable to perform etching under a condition where the source /drain conductor 178 and the dopedamorphous silicon layer 168 have a large etching selectivity, which is difficult to find the etching end point when the etching selectivity is not large. This is because it is not easy to adjust the thickness of thesemiconductor 152 remaining in C2. For example, the source /drain conductor 178 may be etched using a mixed gas of SF₆ and O₂ . In the latter case of alternating between wet etching and dry etching, the side of the wet-etched source /drain conductor 178 is etched, but the dry-doped dopedamorphous silicon layer 168 is hardly etched, thus making a step shape. . Examples of the etching gas used to etch the dopedamorphous silicon layer 168 and thesemiconductor 152 may be mentioned CF₄ and HCl in the mixed gas of the mixed gas and CF₄ and O₂ in front, CF₄ Using and O₂ can leave thesemiconductor 152 with a uniform thickness. In this case, as shown in FIG. 18B, a portion of thesemiconductor 152 may be removed to reduce the thickness, and thesecond portion 312 of the photoresist pattern may also be etched to a certain thickness at this time. At this time, the etching must be performed under the condition that thegate insulating layer 140 is not etched, and the photoresist pattern is formed so that thesecond portion 312 is etched so that thedata line 171 and thedrain electrode 175 are not exposed. Of course, thick is preferable.

이렇게 하면, 도 15a, 18a 및 18b에서 보는 바와 같이, 데이터선(171)과 드레인 전극(175)이 분리되면서 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)과 그 하부의 저항성 접촉 부재(163, 165)이 완성된다.In this case, as shown in FIGS. 15A, 18A, and 18B, thedata line 171 and thedrain electrode 175 are separated, and theohmic contacts 163 and 165 below thedata line 171 and the drain electrode 175. ) Is completed.

마지막으로 데이터 배선부(A2)에 남아 있는 감광막 제2 부분(312)을 제거한다. 그러나, 제2 부분(312)의 제거는 채널부(C2) 소스/드레인용 도전체(178)를 제거한 후 그 밑의 도핑된 비정질 규소층(168)을 제거하기 전에 이루어질 수도 있다.Finally, the photosensitive filmsecond portion 312 remaining in the data wire part A2 is removed. However, the removal of thesecond portion 312 may also be made after removing the channel portion C2 source /drain conductor 178 and before removing the dopedamorphous silicon layer 168 thereunder.

앞에서 설명한 것처럼, 습식 식각과 건식 식각을 교대로 하거나 건식 식각만 을 사용할 수 있다. 후자의 경우에는 한 종류의 식각만을 사용하므로 공정이 비교적 간편하지만, 알맞은 식각 조건을 찾기가 어렵다. 반면, 전자의 경우에는 식각 조건을 찾기가 비교적 쉬우나 공정이 후자에 비하여 번거로운 점이 있다.As mentioned earlier, wet and dry etching can be alternately used, or only dry etching can be used. In the latter case, since only one type of etching is used, the process is relatively easy, but it is difficult to find a suitable etching condition. On the other hand, in the former case, the etching conditions are relatively easy to find, but the process is more cumbersome than the latter.

이와 같이 하여 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)을 형성한 후, 남은 감광막 패턴(314)을 제거하고, 도 19a 및 19b에 도시한 바와 같이 제1 실시예와 같이 질화 규소를 CVD 방법으로 증착하거나 낮은 유전율을 가지는 유기 절연막을 적층하여 보호막(180)을 형성한다. 이어, 그 상부에 감광막(410)을 스핑 코팅 방법으로 도포한 후, 마스크를 통하여 감광막(410)에 빛을 조사한 후 현상하여 도 19b 및 도 19c에서 보는 바와 같이 제1 실시예와 같이 감광막 패턴(412, 414)을 형성한다. 이때, 감광막 패턴(412, 414) 중에서 접촉부(C3), 즉 드레인 전극(175)상부에 위치한 제1 부분(414)은 게이트선의 끝 부분(125)에 대응하는 패드부(B3)를 제외한 기타부(A3)에 위치한 제2 부분(412)보다 얇은 두께를 가지며, 패드부(B3)의 감광막은 모두 제거한다. 이 때, 데이터선의 끝 부분(179)의 상부에 위치하는 감과막의 제1 부분(414)은 패드부(B3)와 실질적으로 동일한 두께로 남길 수 있으나, 본 발명의 실시예에서는 접촉부(C3)와 실질적으로 동일한 두께로 남긴다. 여기서, 접촉부(C3)에 남아 있는 감광막(414)은 보호막(180)보다 같거나 얇은 두께로 남기는 것이 바람직하다.After thedata line 171 and thedrain electrode 175 are formed in this manner, the remainingphotoresist pattern 314 is removed. As shown in FIGS. 19A and 19B, silicon nitride is CVD as in the first embodiment. Theprotective layer 180 is formed by depositing or stacking an organic insulating layer having a low dielectric constant. Subsequently, the photoresist layer 410 is applied on the upper part of the photoresist layer, and then irradiated with light to the photoresist layer 410 through a mask. Then, the photoresist layer 410 is developed as shown in FIGS. 19B and 19C. 412, 414. At this time, thefirst portion 414 of thephotoresist patterns 412 and 414 positioned above the contact portion C3, that is, thedrain electrode 175, may be other portions except for the pad portion B3 corresponding to theend portion 125 of the gate line. It has a thickness thinner than thesecond portion 412 located at (A3), and removes all the photoresist of the pad portion B3. At this time, thefirst portion 414 of the periphery film positioned above theend portion 179 of the data line may be substantially the same thickness as the pad portion B3. However, in the embodiment of the present invention, the contact portion C3 Leave substantially the same thickness. Here, thephotoresist film 414 remaining in the contact portion C3 is preferably left to be the same or thinner than thepassivation layer 180.

이때, 감광막 패턴(412, 414)을 식각 마스크로 하여 그 하부의 막인 보호막(180) 및 게이트 절연막(140)에 대한 식각을 진행한다. 이때, 패드부(B3)에서는 게이트 절연막(140)과 보호막(180)이 제거되어야 하고, 접촉부(C3)에서는 적 어도 게이트 절연막(140)이 남아 있어야 한다.At this time, thephotoresist patterns 412 and 414 are used as etching masks, and theprotective layers 180 and thegate insulating layer 140, which are lower layers thereof, are etched. In this case, thegate insulating layer 140 and thepassivation layer 180 should be removed from the pad portion B3, and at least thegate insulating layer 140 must remain in the contact portion C3.

우선, 도 20a 및 도 20b에서 보는 바와 같이 감광막 패턴(412, 414)을 마스크로 하여 보호막(180) 또는 게이트 절연막(140)을 식각하는데, 이때, 패드부(B3)에서는 보호막(180)이 완전히 제거되어야 하며, 접촉부(C3)에서는 감광막의 일부가 잔류할 수도 있다. 이때, 식각 조건은 제1 실시예와 동일하며, 패드부(B3)에서 남은 게이트 절연막(140)의 두께는 보호막(180)보다 얇은 것이 바람직하며, 이는 앞에서 설명한 바와 같이 드레인 전극(175) 하부에서 언더 컷이 발생하지 않도록 하기 위함이다. 도면에서 보는 바와 같이 패드부(B3)에서는 게이트 절연막(140) 일부가 식각될 수 있다. 이어, 애싱 공정을 통하여 접촉부(C3)에서 잔류하는 감광막의 제1 부분(414)을 완전히 제거하여 접촉부(C3)에서 드레인 전극(175) 상부에 위치하는 보호막(180)을 드러낸다.First, as shown in FIGS. 20A and 20B, thepassivation layer 180 or thegate insulation layer 140 is etched using thephotoresist patterns 412 and 414 as a mask. In this case, thepassivation layer 180 is completely formed in the pad portion B3. It must be removed, and a part of the photosensitive film may remain in the contact portion C3. In this case, the etching conditions are the same as in the first embodiment, and the thickness of thegate insulating layer 140 remaining in the pad portion B3 is preferably thinner than thepassivation layer 180, and as described above, under thedrain electrode 175. This is to prevent undercut from occurring. As shown in the drawing, a part of thegate insulating layer 140 may be etched in the pad part B3. Subsequently, thefirst portion 414 of the photoresist film remaining in the contact portion C3 is completely removed through the ashing process to expose thepassivation layer 180 positioned on thedrain electrode 175 at the contact portion C3.

이어, 도 21a 및 도 21b에서 보는 바와 같이, 남은 감광막의 제2 부분(412)을 식각 마스크로 사용하여 드러난 접촉부(C3)에서 보호막(180)을 제거하여 드레인 전극(175)을 드러내는 접촉 구멍(185)을 완성한다. 이때, 식각은 건식 식각으로 사용하며, 게이트 절연막(140)과 보호막(180)에 대하여 실질적으로 동일한 식각비를 가지는 식각 조건으로 실시한다. 이렇게 하면, 패드부(B3)에서 게이트선의 끝 부분(125) 상부의 게이트 절연막(140)은 접촉부(C3)의 보호막(180)보다 얇은 두께를 가지고 있기 때문에, 패드부(B3)에서는 게이트 절연막(140)이 완전히 제거되어 게이트선의 끝 부분(125)을 접촉 구멍(182)을 완성할 수 있으며, 접촉부(C3)에서는 게이트 절연막(140)을 남길 수 있다.Next, as shown in FIGS. 21A and 21B, the contact hole exposing thedrain electrode 175 by removing thepassivation layer 180 from the contact portion C3 exposed by using thesecond portion 412 of the remaining photoresist layer as an etching mask ( 185). In this case, the etching may be performed by dry etching, and the etching may be performed under the same etching conditions with respect to thegate insulating layer 140 and thepassivation layer 180. In this case, since thegate insulating layer 140 on theupper end portion 125 of the gate line in the pad portion B3 has a thickness thinner than that of thepassivation layer 180 of the contact portion C3, the pad insulating layer ( 140 may be completely removed to complete thecontact hole 182 at theend portion 125 of the gate line, and thegate insulating layer 140 may be left at the contact portion C3.                    

이어, 도 22a 및 도 22b에서 보는 바와 같이, 접촉 구멍(182, 185, 189)을 통하여 드러난 알루미늄 합금의 상부막(202, 702)을 제거한다. 이는 드레인 전극(175) 또는 게이트선 및 데이터선 각각의 끝 부분(125, 179)의 하부막(201, 701)을 드러내어, 이들을 통하여 드레인 전극(175) 또는 게이트선 및 데이터선 각각의 끝 부분(125, 179)과 이후에 형성되는 ITO 및 IZO와의 접촉 저항을 최소화하기 위함이다.Subsequently, as shown in FIGS. 22A and 22B, theupper films 202 and 702 of the aluminum alloy exposed through the contact holes 182, 185 and 189 are removed. This exposes thelower layers 201 and 701 of thedrain electrode 175 or theend portions 125 and 179 of the gate lines and the data lines, respectively, through which thedrain electrode 175 or the end portions of the gate lines and the data lines respectively ( 125 and 179) to minimize contact resistance between ITO and IZO.

마지막으로, 도 10 내지 도 12에 도시한 바와 같이, 제1 실시예와 같은 방법으로 1500 Å 내지 500 Å 두께의 IZO층을 스퍼터링 방법으로 증착하고 제4 마스크를 사용하여 식각하여 드레인 전극(175)과 연결된 화소 전극(191), 게이트선의 끝 부분(125)과 연결된 게이트 접촉 보조 부재(192) 및 데이터선의 끝 부분(179)과 연결된 데이터 접촉 보조 부재(199)를 형성한다. IZO를 패터닝하기 위한 식각액은 크롬(Cr)의 금속막을 식각하는데 사용하는 크롬 식각액을 사용하는데, 이는 알루미늄을 부식시키지 않아 데이터 배선 또는 게이트 배선이 부식되는 것을 방지할 수 있으며, 식각액으로 ( HNO₃/(NH₄)₂Ce(NO₃)₆/H₂O) 등을 들 수 있다.Finally, as shown in FIGS. 10 to 12, in the same manner as in the first embodiment, an IZO layer having a thickness of 1500 mV to 500 mV is deposited by a sputtering method and etched using a fourth mask to drain thedrain electrode 175. And apixel electrode 191 connected to thegate electrode 191, a gate contactauxiliary member 192 connected to theend portion 125 of the gate line, and a data contactauxiliary member 199 connected to theend portion 179 of the data line. The etchant for patterning IZO uses chromium etchant which is used to etch the metal film of chromium (Cr), which does not corrode aluminum and thus prevents corrosion of data wiring or gate wiring, and the etching solution (HNO₃ / (NH₄ )₂ Ce (NO₃ )₆ / H₂ O), and the like.

이러한 본 발명의 제2 실시예에서는 제1 실시예에 따른 효과뿐만 아니라 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)과 그 하부의 저항성 접촉 부재(163, 165) 및 반도체(152)을 하나의 마스크를 이용하여 형성하고 이 과정에서 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)이 분리하여 제조 공정을 단순화할 수 있다.In the second embodiment of the present invention, in addition to the effect according to the first embodiment, thedata line 171 and thedrain electrode 175, theohmic contact 163 and 165 and thesemiconductor 152 below the one mask It is formed by using and in this process thesource electrode 173 and thedrain electrode 175 can be separated to simplify the manufacturing process.

본 발명의 실시예에 따른 접촉부의 구조는 박막 트랜지스터 어레이 위에 색 필터가 형성되어 있는 COA(color filter on array) 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 구조에서도 동일하게 적용할 수 있다. 이에 대하여 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.The structure of the contact portion according to the exemplary embodiment of the present invention may be similarly applied to the structure of a thin film transistor array panel for a color filter on array (COA) liquid crystal display in which a color filter is formed on the thin film transistor array. This will be described in detail with reference to the drawings.

도 23은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 도시한 배치도이고, 도 24는 도 23에서 XXIII-XXIII' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.FIG. 23 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 24 is a cross-sectional view taken along the line XXIII-XXIII 'of FIG. 23.

대부분의 구조는 도 1 및 도 2와 대개 동일하다.Most of the structure is usually the same as in FIGS. 1 and 2.

하지만, 보호막(180) 하부의 화소 영역에는 드레인 전극(175)과 유지 축전기용 도전체 패턴(177)을 드러내는 개구부(C1, C2)를 가지는 적, 녹, 청의 컬러 필터(R, G, B)가 세로 방향으로 형성되어 있다. 여기서, 적, 녹, 청의 컬러 필터(R, G, B)의 경계는 데이터선(171) 상부에서 일치하여 도시되어 있지만, 데이터선(171) 상부에서 서로 중첩되어 화소 영역 사이에서 누설되는 빛을 차단하는 기능을 가질 수 있으며, 게이트선 및 데이터선 각각의 끝 부분(125, 179)이 배치되어 있는 패드부에서는 형성되어 있지 않다.However, red, green, and blue color filters R, G, and B having openings C1 and C2 exposing thedrain electrode 175 and theconductive pattern 177 for the storage capacitor in the pixel area under thepassivation layer 180. Is formed in the longitudinal direction. Here, the boundaries of the color filters R, G, and B of red, green, and blue are shown to coincide with each other on the upper part of thedata line 171, but overlapped with each other on the upper part of thedata line 171 to leak light between the pixel areas. It may have a function of blocking and is not formed in the pad portion where theend portions 125 and 179 of the gate lines and the data lines are disposed.

청, 녹, 청의 컬러 필터(R, G, B) 상부의 보호막(180)은 게이트 절연막(140)과 함께 게이트선의 끝 부분(125), 데이터선의 끝 부분(179), 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)를 드러내는 접촉 구멍(182, 189, 185, 187)을 가지고 있다. 이때, 드레인 전극(175) 및 유지 축전기용 도전체(177)를 드러내는 접촉 구멍(185, 187)은 컬러 필터(R, G, B)의 개구부(C1, C2) 안쪽에 위치한다.Thepassivation layer 180 on the color filters R, G, and B of the blue, green, and blue colors may include theend portion 125 of the gate line, theend portion 179 of the data line, thedrain electrode 175, together with thegate insulating layer 140. And contact holes 182, 189, 185, and 187 exposing theconductor 177 for the storage capacitor. In this case, the contact holes 185 and 187 exposing thedrain electrode 175 and theconductor 177 for the storage capacitor are located inside the openings C1 and C2 of the color filters R, G, and B.

이러한 COA 구조의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에서도 제1 및 제2 실시예에서와 같이 동일한 효과를 얻을 수 있다.The same effect can be obtained in the structure of the thin film transistor substrate for a liquid crystal display device having the COA structure as in the first and second embodiments.

이와 같이, 본 발명에 따르면 접촉부에서 드레인 전극의 경계면이 드러나도록 할 때 드레인 전극 하부의 절연막을 잔류시킴으로써 배선의 하부에서 언더 컷이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 접촉부의 프로파일을 완만하게 형성할 수 있으며, 이를 통하여 접촉부에서 화소 전극이 단선되는 것을 방지할 수 있다. 접촉 저항이 낮은 도전막을 드러내어 접촉부를 형성함으로써 접촉부의 접촉 저항을 최소화할 수 있어 접촉부의 신뢰성을 확보할 수 있다. 또한, 저저항의 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 포함하는 도전막을 포함하는 배선을 형성함으로써 대화면 고정세의 제품의 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제조 공정을 단순화하여 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판을 제조함으로 제조 공정을 단순화하고 제조 비용을 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, when the interface of the drain electrode is exposed at the contact portion, the insulating film under the drain electrode remains to prevent the undercut from occurring at the bottom of the wiring, so that the profile of the contact portion can be smoothly formed. This prevents disconnection of the pixel electrode at the contact portion. By forming a contact portion by exposing a conductive film having a low contact resistance, the contact resistance of the contact portion can be minimized, thereby ensuring the reliability of the contact portion. In addition, by forming a wiring including a conductive film containing low resistance aluminum or an aluminum alloy, the characteristics of a large screen high definition product can be improved. In addition, the manufacturing process may be simplified to manufacture the thin film transistor array panel for the liquid crystal display, thereby simplifying the manufacturing process and reducing the manufacturing cost.

Claims (15)

Translated fromKorean

절연 기판 위에 형성되어 있는 게이트선,A gate line formed over the insulating substrate,상기 게이트 배선을 덮는 게이트 절연막,A gate insulating film covering the gate wiring,상기 게이트 절연막 상부에 형성되어 있는 반도체,A semiconductor formed on the gate insulating film,상기 게이트 절연막 상부에 형성되어 있는 데이터선 및 상기 데이터선과 분리되어 있는 드레인 전극,A data line formed on the gate insulating layer and a drain electrode separated from the data line;상기 데이터선 및 상기 드레인 전극을 덮고 있으며, 상기 드레인 전극의 경계선을 드러내는 제1 접촉 구멍을 가지는 보호막,A protective film covering the data line and the drain electrode and having a first contact hole exposing a boundary line of the drain electrode;상기 보호막 상부에 형성되며 상기 제1 접촉 구멍을 통하여 상기 드레인 전극의 상부 표면 및 상기 게이트 절연막의 상부 표면과 접촉하는 화소 전극A pixel electrode formed on the passivation layer and contacting an upper surface of the drain electrode and an upper surface of the gate insulating layer through the first contact hole을 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.Thin film transistor array panel comprising a.제1항에서,In claim 1,상기 게이트선 또는 상기 데이터선 및 상기 드레인 전극은 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금의 하부막과 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 상부막으로 이루어진 박막 트랜지스터 표시판.And the gate line, the data line and the drain electrode are formed of a lower layer of chromium, molybdenum or molybdenum alloy, and an upper layer of aluminum or aluminum alloy.제2항에서,In claim 2,상기 게이트 절연막 및 상기 보호막은 질화 규소로 이루어진 박막 트랜지스 터 표시판.The thin film transistor array panel of which the gate insulating layer and the passivation layer are made of silicon nitride.제2항에서,In claim 2,상기 화소 전극은 IZO로 이루어진 박막 트랜지스터 표시판.The pixel electrode is a thin film transistor array panel made of IZO.제1항에서,In claim 1,상기 보호막은 상기 데이터선의 끝 부분 및 상기 게이트 절연막과 함께 상기 게이트선의 끝 부분을 드러내는 제2 및 제3 접촉 구멍을 가지며,The passivation layer has second and third contact holes exposing an end portion of the gate line together with an end portion of the data line and the gate insulating layer.상기 화소 전극과 동일한 층으로 형성되어 있으며, 상기 제2 및 제3 접촉 구멍을 통하여 상기 데이터선의 끝 부분 및 상기 게이트선의 끝 부분과 각각 연결되어 있는 데이터 접촉 보조 부재 또는 게이트 접촉 보조 부재를 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.And a data contact assistant member or a gate contact assistant member formed of the same layer as the pixel electrode and connected to an end portion of the data line and an end portion of the gate line through the second and third contact holes, respectively. Thin film transistor display panel.절연 기판 위에 게이트선을 형성하는 단계,Forming a gate line on the insulating substrate,상기 게이트선 위에 게이트 절연막을 적층하는 단계,Stacking a gate insulating film on the gate line;상기 게이트 절연막 위에 반도체층을 형성하는 단계,Forming a semiconductor layer on the gate insulating film,상기 게이트선과 교차하는 데이터선과 상기 데이터선과 분리되어 있는 드레인 전극을 형성하는 단계,Forming a data line crossing the gate line and a drain electrode separated from the data line;상기 데이터선 및 드레인 전극 위에 보호막을 적층하는 단계,Stacking a passivation layer on the data line and the drain electrode;상기 보호막 위에 제1 부분, 상기 제1 부분 보다 두꺼운 두께를 가지는 제2 부분을 가지는 감광막 패턴을 형성하는 단계,Forming a photoresist pattern on the passivation layer, the photoresist pattern having a first portion and a second portion having a thickness greater than the first portion;상기 제1 부분을 식각 마스크로 상기 보호막과 상기 제2 부분을 식각하여 상기 게이트선의 끝 부분에 대응하는 패드부 상부의 게이트 절연막과 상기 제2 부분 아래의 보호막을 노출하는 단계,Etching the passivation layer and the second portion by using the first portion as an etch mask to expose a gate insulating layer on the pad portion corresponding to an end portion of the gate line and a passivation layer under the second portion;상기 제1 부분을 식각 마스크로 드러난 상기 제2 부분 아래의 보호막과 드러난 상기 패드부 상부의 게이트 절연막을 제거하여 상기 드레인 전극 및 상기 패드부를 노출하는 제1 및 제2 접촉 구멍을 형성하는 단계Forming first and second contact holes exposing the drain electrode and the pad part by removing the passivation layer under the second part exposed by the etch mask and the gate insulating layer on the exposed part of the pad part;상기 보호막 위에 상기 제1 접촉 구멍을 통하여 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계Forming a pixel electrode connected to the drain electrode through the first contact hole on the passivation layer를 포함하고,Including,상기 제1 접촉 구멍은 상기 드레인 전극의 경계선을 노출하고 상기 화소 전극은 상기 드레인전극 및 상기 게이트 절연막의 상부 표면과 접촉하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.The first contact hole exposes a boundary line of the drain electrode and the pixel electrode is in contact with an upper surface of the drain electrode and the gate insulating layer.제6항에서,In claim 6,상기 감광막 패턴은 상기 데이터선 끝 부분에 위치하며 상기 제1 부분과 같은 두께를 가지는 제3 부분을 더 포함하며,The photoresist pattern may further include a third portion positioned at an end portion of the data line and having the same thickness as the first portion.상기 보호막을 드러내는 단계는 상기 제3 부분을 제거하여 상기 제3 부분 아래의 보호막을 노출하는 단계를 더 포함하고,Exposing the passivation layer further includes exposing the passivation layer under the third portion by removing the third portion;상기 제3 부분 아래의 보호막을 제거하여 상기 데이터선의 끝 부분을 드러내는 제3 접촉 구멍을 형성하는 단계를 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.And removing a passivation layer under the third portion to form a third contact hole exposing an end portion of the data line.제6항에서,In claim 6,상기 패드부 상부의 게이트 절연막과 상기 제1 부분 아래의 보호막을 드러내는 단계는 건식 식각으로 실시하며,Exposing the gate insulating film on the pad portion and the protective film under the first portion is performed by dry etching.상기 감광막 패턴과 상기 보호막에 대한 식각비가 실질적으로 동일한 식각 조건으로 실시하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.A method of manufacturing a thin film transistor array panel, wherein the etching ratio of the photoresist pattern and the passivation layer is substantially the same.제6항에서,In claim 6,상기 패드부 상부에 드러난 게이트 절연막은 상기 보호막보다 얇은 두께를 가지는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.The gate insulating layer exposed on the pad portion has a thickness thinner than that of the passivation layer.제6항에서,In claim 6,제1 및 제2 접촉 구멍 형성 단계는 건식 식각으로 실시하며, 상기 게이트 절연막과 상기 보호막에 대한 식각비가 실질적으로 동일한 식각 조건으로 실시하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.The first and second contact hole forming steps may be performed by dry etching, and etching may be performed under an etching condition in which an etching ratio between the gate insulating layer and the passivation layer is substantially the same.제6항에서,In claim 6,상기 게이트선 또는 상기 데이터선은 크롬 또는 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금의 하부 도전막과 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 상부 도전막으로 형성하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.The gate line or the data line is formed of a lower conductive layer of chromium, molybdenum or molybdenum alloy and an upper conductive layer of aluminum or aluminum alloy.제11항에서,In claim 11,상기 화소 전극 형성 단계 전에 상기 제1 접촉 구멍으로 노출된 상기 드레인 전극의 상부 도전막을 제거하는 단계를 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.And removing the upper conductive layer of the drain electrode exposed through the first contact hole before the pixel electrode forming step.제12항에서,In claim 12,상기 화소 전극은 IZO로 형성하고, 상기 화소 전극은 상기 하부 도전막과 접촉하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.The pixel electrode is formed of IZO, and the pixel electrode is in contact with the lower conductive layer.제6항에서,In claim 6,상기 데이터선 및 상기 반도체층은 부분적으로 두께가 다른 감광막 패턴을 이용한 사진 식각 공정으로 함께 패터닝하여 형성하는 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법.And the data line and the semiconductor layer are formed by patterning together the photolithography process using a photoresist pattern having a different thickness.제4항에서,In claim 4,상기 드레인 전극의 상기 제1 접촉 구멍과 대응하는 영역의 상부막은 제거되어 상기 화소 전극은 상기 하부막과 접촉하는 박막 트랜지스터 표시판.The upper layer of the region corresponding to the first contact hole of the drain electrode is removed so that the pixel electrode is in contact with the lower layer.

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