【発明の詳細な説明】【産業上の利用分野〕本発明は、ワークの搬送装置に係り、特にワークを複数
の職場に送り、繰り返して処理を施す生産設備の量産ラ
イン化に好適なワークの搬送装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a workpiece conveyance device, and particularly to a workpiece conveyance device suitable for mass production lines of production equipment in which workpieces are sent to multiple workplaces and repeatedly processed. Regarding a conveyance device.
従来、メツセージを送る技術としては、例えば特公昭５
８−１５９８９号公報に示されるデータ伝送方式がある
。このデータ伝送方式では、通信路の設定と、通信文の
分割とを経済的な見地から効率的く行うため、通信要求
の発生時、予め通信路・通信文を規定する特徴事項を記
憶するようにしている。しかしながら、通信速度は物の
生産設備と異なり、桁違いに早い。したがって、前記デ
ータ伝送方式を物の生産設備に適用して、物の流れを一
定のスピードにコントロールすることは困難である。Traditionally, as a technique for sending messages, for example,
There is a data transmission method disclosed in Japanese Patent No. 8-15989. In this data transmission method, in order to set the communication path and divide the message efficiently from an economical point of view, when a communication request occurs, the characteristic items that define the communication path and the message are memorized in advance. I have to. However, the communication speed is different from that of physical production equipment, and is orders of magnitude faster. Therefore, it is difficult to control the flow of goods at a constant speed by applying the data transmission method to manufacturing equipment.
一方、文献「データ伝送と計算機のネットワーク（田村
進−著昭和５４年発行）」には、そのＰ４０〜４６に通
信路を設定する回路交換や通信文の蓄積咬換に関する技
術が開示されている。しかしながら、この文献には通信
路の速度をコントロールして効率的な通信方式を確立す
る技術は示されていない。したがって、この技術を直ち
に物の生産設備に採り入れることは困難である。On the other hand, the document "Data Transmission and Computer Networks (Author: Susumu Tamura, published in 1976)" discloses the technology for circuit exchange for setting communication channels on pages 40 to 46 and the storage and replacement of correspondence. . However, this document does not disclose a technique for establishing an efficient communication method by controlling the speed of a communication path. Therefore, it is difficult to immediately incorporate this technology into production equipment.
前記従来技術は、ワークを複数の職場に送り、繰り返し
て処理を施す物の生産設備において、次工程の職場の仕
掛り量に応じてワークの出荷量を調整し、前後の処理工
程の処理速度の違いによるトラブルを解消し、バッチ方
式で生産されていた物の生産を量産ライン化することに
ついては配慮され℃いない。The above-mentioned conventional technology adjusts the amount of work to be shipped according to the amount of work in progress at the workplace for the next process in a production facility where workpieces are sent to multiple workplaces and processed repeatedly, thereby increasing the processing speed of the previous and subsequent processing steps. No consideration was given to eliminating problems caused by differences in production and converting batch-produced products to mass-production lines.
本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し、ワーク
を複数の職場に順次送り、ワークに繰り返・し処理を施
す生産設備の量産ライン化を図り得るワークの搬送装置
を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a workpiece conveyance device that solves the problems of the prior art, and that enables mass production lines for production equipment that sequentially sends workpieces to a plurality of workplaces and repeatedly processes the workpieces. It is in.
上記目的は、エンドレス状に構成された搬送路の回りに
、ワークを処理する複数の職場を配置し。The above purpose is to arrange multiple workplaces for processing workpieces around an endless conveyance path.
洛職場と搬送路間に、搬送路から指定されたワークを取
り出して当該職場に搬送し、かつ当該職場で処理された
ワークを受け取って搬送路まで搬送する機能と、ワーク
をストレージさせる機能とを有スるマルチステージフン
を設備し、少な（ともワークの品種別の処理工程や作業
条件を検索し、必要な部署に指令を送る機能と、各処理
工程のワークの仕掛り量を監視し、次の処理工程のワー
クの仕掛り量が基準値以下になるように、その前の処理
工程のマルチステーションに指令を送り、ワークの出荷
量を調整する機能とを有するコントローラを備えている
ことにより、達成される。Between the Raku workplace and the transport route, there is a function to take out a specified work from the transport route and transport it to the relevant workplace, receive a work processed at the relevant workplace and transport it to the transport route, and a function to store the work. Equipped with a multi-stage funnel, it has the ability to search for processing steps and work conditions for each type of workpiece, send commands to the necessary department, and monitor the amount of workpieces in progress for each processing step. By being equipped with a controller that has the function of sending commands to the multi-station of the previous processing process and adjusting the amount of work to be shipped so that the amount of work in progress for the next processing process is below the standard value. , achieved.
本発明では、エンドレス状に構成された搬送路に、少な
（ともワークの品種や行先を表示したワークを投入する
。In the present invention, a small number of workpieces (with the type and destination of the workpieces indicated) are introduced into an endless conveyance path.
前記搬送路は、予め決められた方向に移動し、マルチス
テージフンの位置にワークを搬送する。The conveyance path moves in a predetermined direction and conveys the workpiece to the position of the multi-stage fan.
一方、コントローラはワークの品種別の処理工程や作業
条件を検索し、この検索データに基づいて必要な部署に
指令を送る。On the other hand, the controller searches for processing steps and work conditions for each type of workpiece, and sends instructions to the necessary departments based on this search data.
前記コントローラにより指定された１番目の職場のマル
チステージ謬ンは、指定されたワークを取り出して当該
職場に搬送する。The multi-stage machine at the first workplace designated by the controller takes out the designated work and transports it to the workplace.
当該職場では、ワークに予め決められた作業条件で処理
を施し、そのワークをマルチステーションに引き渡す。At the workplace, the work is processed under predetermined working conditions and then delivered to the multi-station.
前記マルチステージ、７は、当該職場から受け取ったワ
ークを搬送路まで搬送して引き渡す。The multi-stage 7 transports the work received from the workplace to the transport path and delivers it.
前記搬送路は、コントローラにより指定された２番目の
職場のステージ璽ンにワークを搬送する。The transport path transports the workpiece to a stage at a second workplace designated by the controller.
以後、前述の動作を最終の処理工程まで繰り返す。これ
により、ワークに品種別に適正な処理を繰り返して施す
ことができる。Thereafter, the above-described operations are repeated until the final processing step. This makes it possible to repeatedly apply appropriate processing to each type of workpiece.
その間、コントローラでに各職場のワークの仕掛り量を
監視している。そして、次の処理工程のワークの仕掛り
量が基準値を超えた時は、その前の処理工程のマルチス
テーションに、ワークの出荷量を調整すべく指令を送る
。Meanwhile, the controller monitors the amount of work in progress at each workplace. When the amount of workpieces in progress for the next processing step exceeds the reference value, a command is sent to the multi-station of the previous processing step to adjust the amount of workpieces to be shipped.
前記コントローラから指令を受けたマルチステ。A multi-station that receives commands from the controller.
−シ１ンは、ワークをストレージさせる。したがり℃、
前後の処理工程間の処理速度の違いを吸収することがで
きる。その結果、ワークに繰り返し処理を施す生産設備
の量産ライン化を図ることが可能となる。- The machine stores the work. I want to ℃,
Differences in processing speed between previous and subsequent processing steps can be absorbed. As a result, it becomes possible to create a mass production line for production equipment that repeatedly processes workpieces.
以下、本発明の実施例を図面により説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は本発明の一実施例の概念を示す平面図、第２図
はマルチステージ曹ンの一例の詳細を示す斜視図、第５
図（Ａ） 、 （Ｂ）はワークの一例を示す図である。FIG. 1 is a plan view showing the concept of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing details of an example of a multi-stage canon, and FIG.
Figures (A) and (B) are diagrams showing an example of a workpiece.
この実施例において取り扱うワーク１は、ロットケース
２に例えば２５〜５０枚の範囲内で予め決。In this embodiment, the number of works 1 to be handled is predetermined in the lot case 2, for example, within a range of 25 to 50 pieces.
められた枚数のウェハ５を入れたロフトである。This is the loft in which the desired number of wafers 5 are placed.
そして、ロットケース２の予め決められた位置に、標識
４が付げられている。この標識４には、ワークの品種、
整理番号１行先が表示されている。A marker 4 is attached to a predetermined position on the lot case 2. This sign 4 indicates the type of workpiece,
The serial number one line ahead is displayed.
一方、この実施例のワークの搬送装置を工、第１図に示
すように、ワークの投入装置５と、搬送路６と、複数の
職場９−１〜９−４と、マルチステ−シ曹ン１０−１〜
１０−４と、＝ントローラ１８１゜製品の送り出し装置
１９とを備えて構成されている。On the other hand, as shown in FIG. 1, the workpiece conveyance apparatus of this embodiment includes a workpiece input device 5, a conveyance path 6, a plurality of workplaces 9-1 to 9-4, and a multi-station workplace. 10-1～
10-4, and a controller 181° product delivery device 19.
前記ワークの投入装置５には、例えばベルトコンベア等
が用いられる。この投入装置５は、ワーク１を搬送路６
に投入するようになっている。なお、ワーク１には標識
４に予め品種、整理番号の他に、最初の行先が表示され
ている。For example, a belt conveyor or the like is used as the workpiece loading device 5. This loading device 5 transfers the workpiece 1 to a conveyance path 6.
It is planned to be invested in It should be noted that the first destination of the work 1 is displayed in advance on the sign 4 in addition to the type and serial number.
前記搬送路６は、エンドレス状のタクトコンベア等によ
り構成されている。この搬送路６にはワーク１を１個ず
つ入れる複数の棚７が設けられており、この棚７に前記
投入装置５からワーク１を入れてマルチステーション１
ｏ−１〜１ｏ−４に搬送するよう罠なっている。The conveyance path 6 is constituted by an endless tact conveyor or the like. This conveyance path 6 is provided with a plurality of shelves 7 into which the workpieces 1 are placed one by one.
It is a trap to be transported to o-1 to 1o-4.
前記搬送路６におけるワークの投入部には、標識読み取
り手段としての第１の無接点リーダ８が設けられている
。この第１の無接点リーダ８は、少なくともワーク１の
品種と整理番号とを読み取り、その読み取り値をコント
ローラ１８に送り込むようになっている。A first non-contact reader 8 serving as a label reading means is provided at the workpiece input section in the transport path 6. The first non-contact reader 8 reads at least the type and serial number of the workpiece 1 and sends the read value to the controller 18.
前記職場９−１〜９−４は、搬送路６の回りに一装置さ
れている。これらの職場９−１〜９−４は、例えば半導
体記憶素子の生産設備の場合には、ロットケース２から
ウェハ３を１枚ずつ取り出し、次の処理を−行うように
なっている。すなわち、職場９−１ではフォトレジスト
処理を行い、職場９−２では酸化・拡散・インプラ処理
を行い、職場９−３では蒸着−ＣＶＤ処理を行い、職場
９−４ではエツチング処理を行うようになっている。The workplaces 9-1 to 9-4 are arranged around the conveyance path 6. For example, in the case of a production facility for semiconductor memory elements, these workplaces 9-1 to 9-4 take out wafers 3 one by one from a lot case 2 and perform the next processing. That is, workplace 9-1 performs photoresist processing, workplace 9-2 performs oxidation/diffusion/implantation processing, workplace 9-3 performs vapor deposition/CVD processing, and workplace 9-4 performs etching processing. It has become.
前記マルチステーション１０−１〜１０−４１！前記搬
送路６と職場間に設置されている。各マルチステーショ
ン１０−１〜１ｏ−４は、第２図に代表して符号１０−
Ｃ示されている。そのマルチステーション１０は、ワー
クの標識読み取り手段としての第２の無接点リーダ１１
と、ワークの搬入路１２と、ワークを受け付ける窓口１
５と、ワークの標識読木取り手段としての第５の無接点
リーダ１４と、ワークの搬出路１５と、ワークの分岐ψ
合流装置１６と、ワークの次の行先の書き込み手段１７
とを備えて構成されている。The multi-stations 10-1 to 10-41! It is installed between the conveyance path 6 and the workplace. Each multi-station 10-1 to 1o-4 is represented by the reference numeral 10- in FIG.
C is shown. The multi-station 10 includes a second non-contact reader 11 as a workpiece label reading means.
, a workpiece delivery path 12, and a workpiece reception window 1
5, a fifth non-contact reader 14 as a means for reading the workpiece markings, a workpiece delivery path 15, and a workpiece branch ψ
A merging device 16 and a means 17 for writing the next destination of the workpiece.
It is composed of:
前記第２の無接点リーダ１１は、ワークの搬入芦１２の
近傍に設げられている。この第２の無接点リーダ１１ハ
、少なくともワーク１の行先を読み取り、その読み取り
置をコントローラ１日に送り込むようになっている。The second non-contact reader 11 is provided near the workpiece loading reed 12. This second non-contact reader 11c reads at least the destination of the workpiece 1 and sends the reading position to the controller 1.
前記ワークの搬入路１２は、コントローラ１８からの指
令により、搬送路６の棚７から該当する行先のワーク１
を取り出し、窓口１５まで搬送し、いったん窓口１５に
入れ、ついで窓口１５からワーク１を受け取って職場に
搬入するようになっている。The workpiece loading path 12 is configured to transport the workpiece 1 to the corresponding destination from the shelf 7 of the transport path 6 in response to a command from the controller 18.
The worker takes out the work 1, transports it to the counter 15, puts it into the counter 15, and then receives the work 1 from the counter 15 and carries it into the workplace.
前記窓口１５は、搬入路１２と搬出路１５間に複数個配
列され、搬入路１２と搬出路１５からワーク１を受け付
けて入れるようになっている。また、窓口１５４次の処
理工程でのワークの仕掛り量が基準値を超えた時は、ワ
ーク１をストレージさせるようにしている。A plurality of the windows 15 are arranged between the carry-in path 12 and the carry-out path 15, and are configured to receive and put the workpieces 1 from the carry-in path 12 and the carry-out path 15. Further, when the amount of work in progress at the next processing step at the counter 154 exceeds a reference value, the work 1 is stored.
前記第５の無接点リーダ１４は、各窓口１５に対向させ
て設けられている。この第３の無接点リーダ１４は、窓
口１５に入っているワーク１の整理番号を読み取り、そ
の読み取り置をコントローラ１８に送り込むようになっ
ている。The fifth non-contact reader 14 is provided facing each window 15. This third non-contact reader 14 reads the serial number of the workpiece 1 entered at the counter 15 and sends the reading position to the controller 18.
前記ワークの搬出路１５は、当該職場で処理されたワー
ク１を受け取り、窓口１５まで搬送し、いったん窓口１
５に入れるようになっている。ついで、ワークの搬出路
１５ハ窓口１５でワーク１を受げ取り次の行先の書き込
み手段１７の位置まで搬送したのち、前記搬送路６まで
搬送し、搬送路６の棚７に入れるように構成されている
。The workpiece unloading path 15 receives the workpiece 1 processed at the workplace, transports it to the counter 15, and then transfers it to the counter 15.
It is designed to be placed in 5. Next, the workpiece unloading path 15 receives the workpiece 1 at the counter 15 and transports it to the next destination writing means 17, and then transports it to the transport path 6 and places it on the shelf 7 of the transport path 6. has been done.
前記ワークの分岐ｅ合流装置１６は、搬入路１２および
搬出路１５からワーク１を受げ取っていったん窓口１５
に入れ、ついでコントローラ１８からの指令により、窓
口１５からワーク１を取り出して搬入路１２や搬出路１
５にワーク１を振り分けるようになっている。The workpiece branching e-merging device 16 receives the workpiece 1 from the carry-in path 12 and the carry-out path 15 and then transfers it to the window 15.
Then, according to a command from the controller 18, the workpiece 1 is taken out from the window 15 and transferred to the loading path 12 or the loading path 1.
Work 1 is distributed to 5.
前記次の行先の書き込み手段１７は、当該職場で処理さ
れたのち、次の職場に送り出されるワーク１に、コント
ローラ１８からの指令により次の行先を書き込むように
構成されている。The next destination writing means 17 is configured to write the next destination on the workpiece 1 to be sent to the next workplace after being processed at the workplace in accordance with a command from the controller 18.
前記コントローラ１８は、次のように構成されている。The controller 18 is configured as follows.
ｔｘｔ ワークの品種別の処理進行管理用テーブルが
用意されている。この処理進行管理用テーブルには、品
種別の処理工程９作業条件等が登録されている。txt A processing progress management table for each type of workpiece is prepared. In this process progress management table, the process conditions for each type of process 9 are registered.
（２） 前記搬送路６におけるワークの投入部に付設
された第１の無接点リーダ８からワーク１の品種の読み
取り値を取り込み、処理進行管理用テーブルから処理工
程９作業条件を検索し、この検索データに基づいて職場
９−１〜９−４やマルチステージ曹ン１０−１〜１ｏ−
４における第２の無接点リーダ１１および次の行先の書
き込み手段１７に指令を送る。なお、前記作業条件には
処理速度や処理条件等が含まれる。(2) Take in the read value of the type of workpiece 1 from the first non-contact reader 8 attached to the workpiece input section in the conveyance path 6, search the process progress management table for the work conditions of process step 9, and Based on search data, workplaces 9-1 to 9-4 and multi-stage workplaces 10-1 to 1o-
The command is sent to the second non-contact reader 11 at No. 4 and the writing means 17 of the next destination. Note that the working conditions include processing speed, processing conditions, and the like.
（３） 前記マルチステージ曹ン１ｏ−１〜１ｏ−４
の第２の無接点リーダ１１からワーク１の行先の読み取
り値を取り込み、マルチステーション１゜−１〜１０−
４におけるワークの搬入路１２に、該当するワーク１を
取り出すように指令を送る。(3) The multi-stage carbon 1o-1 to 1o-4
The reading value of the destination of the workpiece 1 is taken in from the second non-contact reader 11 of the multi-station 1°-1 to 10-
A command is sent to the workpiece loading path 12 at No. 4 to take out the corresponding workpiece 1.
（４） 予め格納されている各職場９−１〜９−４０
処理速度から、各職場９−１〜９−４の現在■仕掛り量
を算出し、その仕掛り量と基準値なル較し、仕掛り量が
基準値以下になるように、前の処理工程のマルチステー
ジｌンにおけるワークの分岐・合流装置１６に指令を送
り、出荷量を調整する。(4) Each workplace 9-1 to 9-40 stored in advance
From the processing speed, calculate the current amount of work in progress at each workplace 9-1 to 9-4, compare the amount of work in progress with the standard value, and adjust the previous processing so that the amount of work in progress is below the standard value. A command is sent to the workpiece branching/merging device 16 in the multi-stage process to adjust the shipping amount.
（５） 前記マルチステーション１０−１〜１０−４
の第５の無接点リーダ１４から、窓口１３に入っている
ワーク１の整理番号の読み取り値を取り込へワーク１の
行方を管理するとともに、マルチステージ曹ン１０−１
〜１ｏ−４における次の行先の書き込み手段１７に対し
て、当該マルチステージ謬ン１０−１〜１０−４から送
り出されるワーク１に次の行先を書き込むべく指令を送
る。(5) The multi-stations 10-1 to 10-4
From the fifth non-contact reader 14 of
A command is sent to the next destination writing means 17 in ~1o-4 to write the next destination on the work 1 sent out from the multi-stage machines 10-1 to 10-4.
前記製品の送り出し装置１９には、ベルトコンベア等を
用いる。この製品の送り出し装置１９は、搬送路６の棚
７から製品２０を受げ取り、外部に搬出するようになっ
ている。A belt conveyor or the like is used as the product delivery device 19. This product delivery device 19 receives the product 20 from the shelf 7 of the conveyance path 6 and carries it out to the outside.
前記実施例のワークの搬送装置は、次のように運転され
、動作する。The workpiece conveyance device of the above embodiment is operated and operated as follows.
まず、ワークの投入装置５から搬送路６の棚７にワーク
１を１個ずつ投入する。First, the workpieces 1 are loaded one by one from the workpiece loading device 5 onto the shelf 7 of the transport path 6.
前記ワーク１は、ロットケース２にウェハ５な予め決め
られた枚数式れたロットとされている。The work 1 is a lot in which a predetermined number of wafers 5 are placed in a lot case 2.
前記ロットケース２には、標識４が付けられている。こ
の標識４には、ウェハ３の品種と整理番号と最初の行先
とが表示されている。A label 4 is attached to the lot case 2. This sign 4 displays the type, serial number, and first destination of the wafer 3.
前記搬送路６の棚７にワーク１が納められると、第１の
無接点リーダ８により標識４を読み取り、少なくとも品
種と整理番号の読み取り値をコントローラ１８に送り込
む。When the workpiece 1 is stored on the shelf 7 of the transport path 6, the mark 4 is read by the first non-contact reader 8, and the read values of at least the product type and serial number are sent to the controller 18.
前記コントローラ１８は、前記第１の無接点り一ダ８か
らワーク１の品種と整理番号の読み取り値を受け取り、
予め用意されたワークの品種別の処理進行管理用テーブ
ルから品種別の処理工程１作業条件を検索し、必要な職
場９−１〜９−４やマルチステージ謬ン１０−１〜１０
−４の第２の無接点リーダ１１および次の行先の書き込
み手段１７に指令を送る。The controller 18 receives the read values of the type and serial number of the workpiece 1 from the first non-contact controller 8,
Search the processing process 1 work conditions for each type from the processing progress management table for each type of workpiece prepared in advance, and select the necessary workplaces 9-1 to 9-4 and multi-stage workplaces 10-1 to 10.
A command is sent to the second non-contact reader 11 of -4 and the writing means 17 of the next destination.
続いて、前記搬送路６はワーク１を決められた処理工程
に従って移動させ、最初は例えば職場９−１のマルチス
テーション１０−１におけるワークカ搬入路１２の位置
へ搬送する。Subsequently, the conveyance path 6 moves the workpiece 1 according to a predetermined processing step, and initially conveys it to the position of the workpiece loading path 12 in the multi-station 10-1 of the workplace 9-1, for example.
前記ワーク１がマルチステージｌン１ｏ−１におけるワ
ークの搬入路１２に進入すると、第２の無接点リーダ１
１が標識４中のワークの行先を読み取り、その読み取り
値をコントローラ１８に送り込む。When the workpiece 1 enters the workpiece loading path 12 in the multi-stage line 1o-1, the second non-contact reader 1
1 reads the destination of the workpiece in the marker 4 and sends the read value to the controller 18.
前記コントローラ１８ハ、第２の無接点リーダ１１から
読み取り値を取り込み、処理進行管理用テーブルに照合
してマルチステージ１ン１ｏ−１におけるワークの搬入
路１２に、搬送路６の棚７から該当するワーク１を取り
出すべく指令を送る。The controller 18c takes in the read value from the second non-contact reader 11, collates it with the process progress management table, and transfers the corresponding work from the shelf 7 of the transport path 6 to the workpiece loading path 12 in the multi-stage 1-1o-1. A command is sent to take out workpiece 1.
前記マルチステージｌン１ｏ−１におけるワークの搬入
路１２は、コントローラ１８からの指令により、搬送路
６の棚７からワーク１を取り出し、マルチ。The workpiece loading path 12 in the multi-stage line 1o-1 takes out the workpiece 1 from the shelf 7 of the transport path 6 in response to a command from the controller 18, and carries it out into the multi-stage inlet 1o-1.
ステージ曹ン１０−１の窓口１５の位置まで搬送し、い
ったん窓口１５に入れる。It is transported to the position of the window 15 of the stage operator 10-1 and placed there once.
前記マルチステージ嘗ン１ｏ−１の窓口１５でワーク１
を受け付けると、第３の無接点リーダ１４が標識４中の
整理番号を読み取り、その読み取り値をコントローラ１
８に送り込む。Work 1 at counter 15 of multi-stage 1o-1
Upon receiving the request, the third non-contact reader 14 reads the serial number in the sign 4 and sends the read value to the controller 1.
Send it to 8.
前記コントローラ１８″Ｃ’＆Ｘ 、 マルチステー
ジ１ン。Said controller 18″C'&X, multi-stage 1n.
−１０−１における第５の無接点リーダ１４から整理番
号の読み取り値を取り込み、ワーク１０行方を管・理す
る。-10-1 The read value of the serial number is taken in from the fifth non-contact reader 14, and the whereabouts of the work 10 is managed.
前記マルチステージ１ン１０−１の窓口１５１ヱ、ワー
ク１を受け付は後、ワークの搬入路１２にワーク１を引
き渡す。前記マルチステージ１ン１０−１におけるワー
クの搬入路１２は、窓口１５からワーク１を受け取って
職場９−１に搬送する。After receiving the work 1 at the counter 151 of the multi-stage 1 unit 10-1, the work 1 is delivered to the work entry path 12. The workpiece entry path 12 in the multi-stage 1-in 10-1 receives the workpiece 1 from the window 15 and transports it to the workplace 9-1.
前記職場１０−１では、ロットケース２からウェハ５を
１枚ずつ取り出し、コントローラ１８からの指令により
、例えばフォトレジスト処理を施す。At the workplace 10-1, the wafers 5 are taken out one by one from the lot case 2 and are subjected to, for example, photoresist treatment according to instructions from the controller 18.
ついで、処理を施したウェハ５をロットケース２ニ入れ
、マルチステーション１ｏ−１におけるワークの搬出路
１５に引き渡す。Then, the processed wafers 5 are placed in the lot case 2 and delivered to the workpiece unloading path 15 in the multi-station 1o-1.
前記マルチステージ１ン１０−１におけるワーク・の搬
出路１５チェ職場９−１からワーク１、つまり処理され
たウェハ５を入れたロットケース２を受け取り、窓口１
５の位置まで搬送し、いりたん窓口１５に入れる。The workpiece unloading path 15 in the multi-stage 1 unit 10-1 receives the workpiece 1, that is, the lot case 2 containing the processed wafers 5 from the workplace 9-1, and goes to the counter 1.
Transport it to position 5 and put it at the reception counter 15.
前記マルチステージ１ン１０−１の窓口１ｒ正、１記職
場９−１で処理されたワーク１を受け付ける。ここでも
、第５の無接点リーダ１４が窓口１５に・入ったワーク
１の標Ｒ４中の整理番号を読み取り、その読み取り値を
コントローラ１８に送り込む。The counter 1r of the multi-stage machine 10-1 receives the work 1 processed at the workplace 9-1. Here, too, the fifth non-contact reader 14 reads the reference number in the marker R4 of the work 1 entered at the counter 15, and sends the read value to the controller 18.
前記コントローラ１８１ζマルチステージｌン１α−１
における第３の無接点リーダ１４からワーク１の整理番
号の読み取り値を取り退入、管理する。The controller 181ζ multi-stage ln1α-1
The read value of the serial number of the workpiece 1 is retrieved from the third non-contact reader 14 at , and is managed.
前記マルチステーション１ｏ−１と職５９−１とは、搬
送路６の棚７からワーク１を前述の要領で・次々尺取り
入れ、次々に処理し、窓口１５に入れるヶ続いて、コン
トローラ１Ｂからマルチステージ嘗ン１０−１における
ワークの分岐・合流装置１６に、職場９−１で処理され
たワーク１を取り出すべく指令を送る。The multi-station 1o-1 and the station 59-1 take in workpieces 1 one after another from the shelf 7 of the transport path 6 in the manner described above, process them one after another, and put them into the window 15. A command is sent to the workpiece branching/merging device 16 at the stage 10-1 to take out the workpiece 1 processed at the workplace 9-1.
前記！ルチステーシ曹ン１０−１におけるワーク１の分
岐［相］合流装置１６は、窓口１５かも処理されたワー
ク１を取り出し、ワークの搬出路１５に引き渡す。Said! The branching [phase] merging device 16 for the workpiece 1 in the multi-station station 10-1 takes out the processed workpiece 1 from the window 15 and delivers it to the workpiece unloading path 15.
前記マルチステーション１０−１におけるワークの搬出
路１５は、ワーク１を受け取って次の行先の昏き込み手
段１７の位置まで搬送する。The workpiece unloading path 15 in the multi-station 10-1 receives the workpiece 1 and transports it to the next destination, the position of the collapsing means 17.
前記マルチステージ１ン１０−１における次の行先の書
き込み手段１７ ”Ｃ’？！ 、 コントローラ１８
からの指令により、標識４中に表示されている行先を消
去し、新たに次の行先を書き込んでそのワーク１を送り
出す。Next destination writing means 17 “C”?! in the multi-stage 1-in 10-1, controller 18
In response to a command, the destination displayed on the sign 4 is erased, the next destination is newly written, and the work 1 is sent out.
前記マルチステーション１０−１におけるワークの搬出
路１５は、次の行先が書き込まれたワーク１を搬送路６
の位置まで搬送する。ついで、そのワーク１を搬送路６
の棚７に入れる。The workpiece unloading path 15 in the multi-station 10-1 transports the workpiece 1 on which the next destination is written to the transport path 6.
Transport it to the position. Then, the work 1 is transferred to the conveyance path 6.
Put it on shelf 7.
その後の処理が職場９−２ 、９−５ 、９−４の順に
行われるものとすると、ワーク１は処理進行管理用テー
ブルに従ってコントローラ１８から必要な部署に指令が
出され、搬送路６によりマルチステージ讐ン１０−２
、１０−５ 、１０−４の順に搬送され、当該マルチス
テージ１ン１０−２．１０−５゜１０−４と当該職場９
−２ 、９−５ 、９−４間にワーク１が搬入、搬出さ
れ、ワーク１に頴次例え１−２酸化・拡散・インプラ処
理、蒸着・ＣＶＤ処理、エツチング処理が施されろ。Assuming that the subsequent processing is carried out in the order of workplaces 9-2, 9-5, and 9-4, the controller 18 issues commands to the necessary departments according to the processing progress management table, and the workpiece 1 is transported through the transport path 6 into multiple locations. Stage revenge 10-2
.
The workpiece 1 is carried in and carried out between -2, 9-5, and 9-4, and the workpiece 1 is subjected to oxidation/diffusion/implantation treatment, vapor deposition/CVD treatment, and etching treatment.
その間、コントローラ１８は予め格納されていｂ各職場
９−１〜９−４の処理速度から、各職場９−１〜９−４
の現在の仕掛り量を算出する。ついで、算出された仕掛
り量と基準値とを比較する。During this time, the controller 18 calculates the processing speed of each workplace 9-1 to 9-4 based on the processing speed of each workplace 9-1 to 9-4 stored in advance.
Calculate the current amount of work in progress. Next, the calculated amount of work in progress is compared with a reference value.
比較の結果、次の処理工程の仕掛り量が基準値を超えた
時は、コントローラ１８から前の処理工程のマルチステ
ージ嘗ンにおけるワークの分岐・合流装置１６に指令を
送り、出荷量を調整する。つまり、例えば職場９−５の
仕掛り量が基準値を超えた時は、コントローラ１８から
その前の処理工程としての職場９−２のマルチステージ
１ン１０−２におけるワークの分岐・合流装置１６に指
令を送る。そして、マルチステーション１０−２の窓口
１５内にワーク１をストレージさせ、前記職場９−５の
仕掛り量が基準以下になるように、マルチステージ、ン
１０−２からのワーク１の出荷量を調整する。As a result of the comparison, if the amount of work in progress for the next processing step exceeds the standard value, the controller 18 sends a command to the workpiece branching/merging device 16 in the multi-stage of the previous processing step to adjust the shipping amount. do. That is, for example, when the amount of work in progress at the workplace 9-5 exceeds the standard value, the controller 18 sends a message to the workpiece branching/merging device 16 in the multi-stage 1/10-2 of the workplace 9-2 as the previous processing step. send commands to. Then, the work 1 is stored in the counter 15 of the multi-station 10-2, and the amount of work 1 shipped from the multi-stage station 10-2 is adjusted so that the amount of work in progress at the workplace 9-5 is below the standard. adjust.
これにより、前後の処理工程間の処理速度の違いによる
トラブルを解消でき、半導体記憶素子の生産設備の量産
ライン化を図ることが可能となるアなお、製作すべき半
導体記憶素子によっては、ワーク１を前記職場９−１〜
９−４に複数回、巡回させてもよい。As a result, troubles caused by differences in processing speed between the preceding and succeeding processing steps can be resolved, and it is possible to mass-produce production equipment for semiconductor memory devices.A.Depending on the semiconductor memory device to be manufactured, The workplace 9-1~
9-4 may be circulated multiple times.
また、製作すべき製品によっては、ワークを１巡目は職
場９−１〜９−４に巡回させ、２巡目は例えば職場９−
２から直接職場９−４の順に送るようにしてもよい。Also, depending on the product to be manufactured, the workpiece may be circulated to workplaces 9-1 to 9-4 in the first round, and the workpiece may be circulated to workplaces 9-1 to 9-4 in the second round.
Alternatively, the messages may be sent directly from 2 to workplace 9-4.
最終の処理工程を経て得られた製品２０は、製品の送り
出し装［１９から搬送路６の外部に設けられた検査場等
に送り出される。The product 20 obtained through the final processing step is sent out from a product delivery device [19] to an inspection site or the like provided outside the conveyance path 6.
なお、本発明では職場の数は、図面に示す４個に限らな
いこと勿論である。Note that in the present invention, the number of workplaces is of course not limited to four as shown in the drawings.
また、職場は搬送路６の外部に配置するものに限らず、
搬送路６の内部に配置してもよい。In addition, workplaces are not limited to those located outside the transport path 6;
It may be arranged inside the conveyance path 6.
さらに、本発明は半導体記憶素子の生産設備に限らず、
ワークに繰り返し処理を施す生産設備全体に適用するこ
とができる。Furthermore, the present invention is not limited to production equipment for semiconductor memory elements;
It can be applied to entire production equipment that repeatedly processes workpieces.
以上説明した本発明によれば、エンドレス状に構成され
た搬送路の回りに、ワークを処理する複数の職場を配置
し、各職場と搬送路間に、搬送路から指定されたワーク
を取り出して当該職場に鬼１し、かつ当該職場で処理さ
れたワークを受け取って搬送路まで搬送する機能と、ワ
ークをストレージさせる機能とを有するマルチステージ
５ンを設置し、少なくともワークの品種別の処理工程や
作業条件を検索し、必要な部署に指令を送る機能と、各
処理工程のワークの仕掛り量を監視し、次の処理工程の
ワークの仕掛り量が基準値以下になるよう罠、その前の
処理工程のマルチステージ１ンに指令を送り、ワークの
出荷量を調整する機能とを有するコントローラを備えて
いるので、前後の処理工程間の処理速度の違いを吸収し
、この・６埋速度の違いによるトラブルを未然に解消で
きるので、ワークに繰り返し処理を施す生産設備の量産
ライン化を図り得る効果がある。According to the present invention described above, a plurality of workplaces for processing workpieces are arranged around an endless conveyance path, and designated workpieces are taken out from the conveyance path between each workplace and the conveyance path. A multi-stage unit is installed at the workplace and has the function of receiving the workpieces processed at the workplace and transporting them to the conveyance path, as well as the function of storing the workpieces, and at least performs processing steps for each type of workpiece. It also has a function that searches for work conditions and work conditions and sends commands to the necessary departments, and monitors the amount of work in progress for each processing process, and sets traps and controls to ensure that the amount of work in progress for the next processing step is below the standard value. Since it is equipped with a controller that has the function of sending commands to the multi-stage stage 1 of the previous processing process and adjusting the amount of work to be shipped, it absorbs the difference in processing speed between the previous and subsequent processing steps, and Since troubles caused by differences in speed can be eliminated, it is possible to convert production equipment that repeatedly processes workpieces into mass production lines.
第１図は本発明の一実施例の概念を示す平面図、第２図
はマルチステーションの一例の詳細を示す斜視図、第５
図（Ａ） 、 （Ｂ）はワークの一例を示す図である。１・・・ワーク、４・・・ワークの標識、６・・・ワー
クのｌ送路、８・・・標識読み取り手段としての第１の
無接点リーダ、９−１〜９−４・・・職場、１０．１０
−１〜１０−４・・・マルチステージ１ン、１１．１４
・・・標ｍ＊み取り手段としての第２．第５の無接点リ
ーダ、１２・・・マルチステーションにおけるワークの
搬入路、１５・・・同窓口、１５・・・同ワークの搬出
路、１６・・・同ワークの分岐・合流装置、１７・・・
同次の行先の書き込み手段、１８・・・コントローラ。搬ミ玲へ躬３０FIG. 1 is a plan view showing the concept of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing details of an example of a multi-station, and FIG.
Figures (A) and (B) are diagrams showing an example of a workpiece. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Work, 4... Work mark, 6... L feeding path of work, 8... First non-contact reader as a mark reading means, 9-1 to 9-4... Workplace, 10.10
-1 to 10-4...Multi stage 1, 11.14
...Second mark m* as a means of removing. 5th non-contact reader, 12... Work entry path in multi-station, 15... Same counter, 15... Same work delivery path, 16... Same work branch/merging device, 17.・・・
Means for writing the same destination, 18...controller. Transfer Mirei to 30
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61251613AJPS63105877A (en) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | Workpiece conveyance device |
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61251613AJPS63105877A (en) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | Workpiece conveyance device |
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63105877Atrue JPS63105877A (en) | 1988-05-11 |
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61251613APendingJPS63105877A (en) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | Workpiece conveyance device |
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63105877A (en) |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229527U (en)* | 1988-08-17 | 1990-02-26 | ||
| US5536128A (en)* | 1988-10-21 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for carrying a variety of products |
| JP2005175455A (en)* | 1993-07-15 | 2005-06-30 | Renesas Technology Corp | Manufacturing system and manufacturing method |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229527U (en)* | 1988-08-17 | 1990-02-26 | ||
| US5536128A (en)* | 1988-10-21 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for carrying a variety of products |
| JP2005175455A (en)* | 1993-07-15 | 2005-06-30 | Renesas Technology Corp | Manufacturing system and manufacturing method |
| Publication | Publication Date | Title |
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