【発明の詳細な説明】（発明の利用分野〕本発明は、スクリュ式真空ポンプに係り、特に大気圧か
ら１０−４Ｔｏｒｒレベルの低・中真空領域に好適な無
潤滑式のスクリュ真空ポンプに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Application of the Invention) The present invention relates to a screw vacuum pump, and more particularly to a non-lubricated screw vacuum pump suitable for low to medium vacuum ranges from atmospheric pressure to 10 −4 Torr level.
半導体を製造するには、真空状態にした容器内にウェハ
ーを収納して行なわれるが、容器内を真空状態とするに
は、容器内に窒素ガス等の不活性ガスを供給しつつ真空
ポンプで吸引し容器内の不純物（０，、Ｈ，Ｏ等）を除
去し、数Ｔｏｒｒから１０−’Ｔｏｒｒレベルの真空状
態とするようになっている。To manufacture semiconductors, wafers are stored in a vacuum container, but to create a vacuum inside the container, a vacuum pump is used while supplying an inert gas such as nitrogen gas into the container. Impurities (0, H, O, etc.) in the container are removed by suction, and a vacuum state of several Torr to 10-' Torr level is created.
こういった半導体製造工程において使用される真空ポン
プは、油回転ポンプ、ルーツ式のメカニカルブースタポ
ンプなどが用いられている。Vacuum pumps used in these semiconductor manufacturing processes include oil rotary pumps and Roots-type mechanical booster pumps.
しかし、これらポンプには以下の欠点がある。However, these pumps have the following drawbacks.
油回転ポンプでは、使用している潤滑油が、半導体製造
過程で用いる各種ガス（例えば、ヒ素、ガリウム、塩等
、 Ｐｏ１ｙ −Ｓ ｉ等）と接触して、潤滑油として
の寿命が非常に短くなるという欠点があつた。また、油
分子が半導体製造容器内に逆拡散して半導体製造工程上
好ましくないという問題があった。In oil rotary pumps, the lubricating oil used comes into contact with various gases used in the semiconductor manufacturing process (e.g., arsenic, gallium, salt, etc., PoIy-Si, etc.), resulting in a very short lifespan as a lubricating oil. It had the disadvantage of becoming. Further, there is a problem in that oil molecules back diffuse into the semiconductor manufacturing container, which is unfavorable in the semiconductor manufacturing process.
また、これらポンプでは、適正排気速度を得るための使
用圧力範囲が狭いため、所定圧に到達するまでに数種の
真空ポンプを切換えて使用しなければならないという欠
点があった。In addition, these pumps have a narrow operating pressure range for obtaining an appropriate pumping speed, and therefore have the disadvantage that several types of vacuum pumps must be switched and used until a predetermined pressure is reached.
さらに、大気圧から１０−’Ｔｏｒｒレベルまで一台の
真空ポンプで排気することができず、従来より。Furthermore, conventionally, it has not been possible to evacuate from atmospheric pressure to the 10-'Torr level with a single vacuum pump.
無潤滑式で、上記圧力範囲を一台でカバーできる真空ポ
ンプの開発が希求されていた。There has been a desire to develop a vacuum pump that is non-lubricated and can cover the above pressure range.
本発明の目的は、前−記問題点に鑑み、１０−’Ｔｏｒ
ｒ程度のレベルの中真空を、１段でしかも無潤滑のポン
プで達成できる真空ポンプを提供することにある。In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to
The purpose of the present invention is to provide a vacuum pump capable of achieving a medium vacuum of about 100 psi with a single stage and without lubrication.
〔発明の概要〕第１図、第２図において、符号２，４はケーシング１内
において噛み合うように配設された一対の雌雄ロータで
、それぞれのロータ２，４の軸部はラジアル軸受５やス
ラスト軸受６（６Ａ、６Ｂ）で支承されている。両ロー
タ２，４の軸部には同期歯車９．１０が設けられ、両ロ
ータ２，４が同期して回転するようになっており、ケー
シング１の上端部に形成された吸入ポート１１から気体
が両ロータ２，４に圧縮されてケーシング１下端部に形
成された吐出ポート１２へ吐き出され、吸入ポート１１
と連通されている真空容器（図示せず）内を真空状態と
するようになっている。ラジアル軸受５．スラスト軸受
６．同期歯車９，１０には潤滑油が供給されており、こ
れらの潤滑油が両ロータ２，４の収納されているケーシ
ング内に侵入しないようにロー、夕の軸支部にはカーボ
リングシール１４．ネジシール１５からなる軸封装置１
６゜１７が設けられている。[Summary of the Invention] In FIGS. 1 and 2, reference numerals 2 and 4 indicate a pair of male and female rotors that are arranged to mesh in the casing 1, and the shaft portions of the respective rotors 2 and 4 are mounted on radial bearings 5 and 4. It is supported by thrust bearings 6 (6A, 6B). Synchronous gears 9 and 10 are provided on the shafts of both rotors 2 and 4, so that both rotors 2 and 4 rotate synchronously, and gas is supplied from the suction port 11 formed at the upper end of the casing 1. is compressed by both the rotors 2 and 4 and discharged to the discharge port 12 formed at the lower end of the casing 1, and the suction port 11
The inside of a vacuum container (not shown) which is in communication with the vacuum chamber is kept in a vacuum state. Radial bearing 5. Thrust bearing6. Lubricating oil is supplied to the synchronous gears 9 and 10, and carbo ring seals 14. Shaft seal device 1 consisting of screw seal 15
6°17 is provided.
しかし、軸封装置１１７の潤滑油はロータ軸端部にて大
気に臨んでいるため大気圧に等しいが、吸込ポート１１
側の軸支部では大気圧によりかなり低く、ロータ軸支部
の潤滑油に差圧が生じ、軸封袋！ｉ！１７だけでは潤滑
油がケーシング内に侵入することを確実に防止すること
はできない。そのため油分子が逆拡散して真空容器内に
侵入したり。However, since the lubricating oil in the shaft sealing device 117 is exposed to the atmosphere at the end of the rotor shaft, the pressure is equal to atmospheric pressure.
At the side shaft support, the atmospheric pressure is quite low, creating a differential pressure in the lubricating oil of the rotor shaft support, causing the shaft to seal! i! 17 alone cannot reliably prevent lubricating oil from entering the casing. As a result, oil molecules diffuse back and enter the vacuum container.
あるいは翰封部から大気が侵入したりして効率を低下さ
せる等、従来技術の問題点を十分に解決するまでには至
っていない。In addition, the problems of the prior art have not been sufficiently solved, such as air entering through the sealing part and reducing efficiency.
第３図（ａ）、（ｂ）は、スクリュ流体機械で雄ロータ
２０、雌ロータ２１が噛み合っている状態を。Figures 3(a) and 3(b) show a screw fluid machine in which the male rotor 20 and female rotor 21 are engaged.
ロータの周方向に展開して示したモデルである。This is a model developed in the circumferential direction of the rotor.
本図は、雄ロータの歯数５枚、雌ロータの歯数６枚につ
いて示しているが、本発明は、雄ロータの歯数２枚以上
で、雌ロータの歯数が常に１枚多い場合の歯数組合せに
ついても有効である。Although this figure shows the male rotor with 5 teeth and the female rotor with 6 teeth, the present invention is applicable to cases where the male rotor has 2 or more teeth and the female rotor always has 1 more tooth. It is also valid for combinations of the number of teeth.
ロータを覆うケーシング２２は、その軸方向の一端が気
体の吸入ポート２３として大きく開口しており１反対側
には吐出ポート２４が設けられている。この両ポート以
外ではケーシング２２は微少な隙間をもって、口・−夕
２０，２１を覆い、ロータとケーシングによりＶ字形の
作動室を形成する。A casing 22 covering the rotor has a large opening at one end in the axial direction as a gas suction port 23, and a discharge port 24 on the opposite side. Other than these two ports, the casing 22 covers the ports 20 and 21 with a small gap, and the rotor and the casing form a V-shaped working chamber.
ロータが回転すると両ロータの噛み合い部は吸入ポート
２３から吐出ポート２４へ向がって移動するが、この際
作動室２５はその容積を減少させ作動室内の気体を圧縮
する。一方作動室２６は容積一定であるので気体の圧縮
作用はなく、移送作用をなす。When the rotors rotate, the meshing portion of both rotors moves from the suction port 23 toward the discharge port 24, but at this time, the volume of the working chamber 25 is reduced and the gas within the working chamber is compressed. On the other hand, since the volume of the working chamber 26 is constant, there is no compressing action of the gas, but a transporting action.
なお、図中吸入ポート２３と連通している各作動室は、
ロータの回転とともにその容積を増大させ気体の吸入作
用をなす。In addition, each working chamber communicating with the suction port 23 in the figure is
As the rotor rotates, its volume increases to create a gas suction effect.
第３図（ｎ）、（ｂ）で、作動室２７は吐出ボート２４
を通して気体を吐出中であり、ここの圧力は吐出圧力に
等しく各作動室の中で最も圧力が高くなっている６作動
室２７からの気体の洩れはロータ外周部およびロータ端
面とケーシングの間の隙間を通って隣りの作用室２８へ
洩れるものと、両ロータの噛合い部ｋを通って第３図（
ｂ）で、表側から裏側へ、すなわち、雄ロータ側の作動
室２９と雌ロータ側の作動室３ｏへ洩れるものがある。In FIGS. 3(n) and (b), the working chamber 27 is connected to the discharge boat 24.
Gas is being discharged through the casing, and the pressure here is equal to the discharge pressure. Gas leakage from the working chamber 27, which has the highest pressure among the working chambers, occurs at the outer periphery of the rotor and between the rotor end face and the casing. One leaks through the gap into the adjacent working chamber 28, and the other leaks through the meshing part k of both rotors as shown in Figure 3 (
In b), there is some leakage from the front side to the back side, that is, to the working chamber 29 on the male rotor side and the working chamber 3o on the female rotor side.
スクリュ圧縮機の場合、雄ロータの巻き角は、通常、３
６０°以下であるので、作動室２９と３０は直接吸入ボ
ートに連通しており、ロータの噛み合い部のシール効果
の良し悪しが圧縮機の性能を大きく左右する。ロータ外
周部については、吐出ポートと吸入ポートの間には幾つ
かのスクリュ山部によるシール効果が期待できるので、
ここからの気体の洩れは比較的小さい。For screw compressors, the winding angle of the male rotor is usually 3
Since the angle is less than 60 degrees, the working chambers 29 and 30 are in direct communication with the suction boat, and the quality of the sealing effect at the meshing portion of the rotor greatly influences the performance of the compressor. Regarding the outer circumference of the rotor, it is expected that there will be a sealing effect between the discharge port and the suction port due to the crests of several screws.
Gas leakage from here is relatively small.
そこで、作動室２９．３０が直接吸入ボートへ洩れない
ようにするには、第３図（ａ）で、実線りの部分までロ
ータを長くすればよい。Therefore, in order to prevent the working chambers 29, 30 from directly leaking into the suction boat, the rotor should be made as long as the solid line in FIG. 3(a).
このように長くすることにより、各作動室は吸入ポート
と吐出ポートの間に少くとも２ケ所の密閉部を有するこ
とにより、真空ポンプの性能を良くすることができる。By increasing the length in this manner, each working chamber has at least two sealed portions between the suction port and the discharge port, thereby improving the performance of the vacuum pump.
まとめると、ロータを長くするということは、（１）吸
込行程の作動室と、移送行程の作動室とを隔てる第１の
密閉部５移送行程の作動室と圧縮行程寥たは、吐出行程
の作動室とを隔てる第２の密閉部を備え、第１，２の密
閉部はともに両ロータの噛合い部によって形成される。In summary, lengthening the rotor means that (1) the first sealed part 5 separates the working chamber of the suction stroke and the working chamber of the transfer stroke; A second sealed portion is provided that separates the rotor from the working chamber, and both the first and second sealed portions are formed by the meshing portions of both rotors.
（２）移送行程の作動室を形成する第１．第２の密閉部
、圧縮行程に入る直前の作動室を形成する第２．第３の
密閉部を備え、第１の密閉部は、ケーシングによって形
成され、第２，３の密閉部は、両ロータ同志の噛合い部
によって形成されるようにしたことである。換言すれば
、ロータの任意の１つの溝に沿って、吸入、移送作用を
行なわせる移送用の作動室と圧縮、吐出作用を行なわせ
る圧縮吐出用の作動室とを有し、この一対の作動室がロ
ータの各溝に沿って形成される。そして、ロータの回転
にともなって、一対の作動室は、軸方向に移動するので
移送室が途中において、圧縮、吐出用の作動室となり、
この作動室の吸−人口寄りの位置に新たに移送用の作動
室が形成される。他の対の作動室も同様である。両ロー
タとケーシングによって形成される作動室が吸入口から
遮断されて、移送用の作動室を形成する時期は、圧縮、
吐出作用を行なう作動室が、容積を縮小し始めるときか
ら。(2) The first chamber that forms the working chamber for the transfer stroke. a second sealed portion, a second sealed portion forming a working chamber immediately before entering the compression stroke; A third sealed part is provided, the first sealed part is formed by the casing, and the second and third sealed parts are formed by the meshing parts of both rotors. In other words, along any one groove of the rotor, there is a transfer working chamber for suction and transfer, and a compression and discharge working chamber for compression and discharge. A chamber is formed along each groove of the rotor. As the rotor rotates, the pair of working chambers moves in the axial direction, so the transfer chamber becomes a working chamber for compression and discharge in the middle.
A new transfer working chamber is formed at a position closer to the suction port of this working chamber. The same goes for the other pairs of working chambers. When the working chamber formed by both rotors and the casing is isolated from the suction port to form the working chamber for transfer, compression,
From the time the working chamber that performs the discharge action begins to shrink in volume.
吐出口に連通ずる直前に達するまでの間に選定すること
が望ましい。It is desirable to select the point just before it communicates with the discharge port.
（発明の実施例〕以下本発明の一実施例を第４図、第５図および第６図に
より説明する。(Embodiment of the Invention) An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 4, 5, and 6.
５枚の歯および溝をもった雄ロータ３９と６枚の歯およ
び溝をもった雌ロータ４０は主ケーシング４１と吸入ケ
ーシング４２内の軸受４５，４６゜４７．４８により回
転自在に支えられている６０−タの軸端にはタイミング
ギヤ４９，５０を取り付け、′ｍ・雌ロータが互いに接
触しないよう両ロータ間の隙間を調整する。軸受４５，
４６の潤滑は飛まつ給油により行ない、吸入カバ４３内
に溜った潤滑油を５６をタイミングギヤによって跳ねか
ける。一方軸受４７．４８の潤滑のため雄ロータ軸には
円板５１を取り付け、吐出カバ４４内の潤滑油５７を円
板５１により跳ねかける。シャフトシール５２，５３，
５４，５５は軸受やタイミングギヤの潤滑油が作動室内
へ侵入するのを防いでいる。ロータの吐出側作動室６６
と吐出カバ４４内はほぼ大気圧になるので、吐出側のシ
ャフトシール５４，５５に作用する差圧は比較的小さい
が、吸入側作動室６５は１０−４τｏｒｒレベルの圧力
となるため吸入カバ４３内を大気に開放すると吸入側シ
ャフトシール５２，５３に作用する差圧が大きくなりシ
ールが難かしくなる。そこで吸入カバ４３内を排気管５
９．６０によって低圧の差動室６７と連通させ、吸入カ
バ４３内の圧力を下げてシャフトシール５２，５３に作
用する差圧を小さくしてシール効果を高めている。吸入
カバ４３内は油の飛沫が充満しているので、この油が排
圧Ｉ￥１５９，６０を通って作動室へ入るのを防ぐため
吸入カバには飛沫分離室５８が設けられ、また排圧管に
はオイルトラップ６１が取付けられている。また万一排
圧管を通って油が作動室へ入った場合でも、この油が吸
入ポート６３側へ逆流しないようにするため、主ケーシ
ング４１の排圧口６２はロータの作動室６７が吸入ポー
ト６３から完全に閉じられた後の位置に開口されている
。、雄ロータ３９の作動室６７は、この作動室が吸入ポ
ート６３を通過後吐出ボート６４と連通するまでの間に
雌ロータ４０と２ケ所の噛み合い部６８゜６９を有し、
同様に雌ロータの作動室７０は雄ロータと２ケ所の噛み
合い部７１．６９を有する。A male rotor 39 with five teeth and grooves and a female rotor 40 with six teeth and grooves are rotatably supported by bearings 45, 46° 47.48 in the main casing 41 and the suction casing 42. Timing gears 49 and 50 are attached to the shaft ends of the 60-torers, and the gap between the female rotors is adjusted so that the female rotors do not come into contact with each other. bearing 45,
Lubrication of 46 is performed by splash oil supply, and the lubricating oil accumulated in the suction cover 43 is splashed onto 56 by a timing gear. On the other hand, a disk 51 is attached to the male rotor shaft to lubricate the bearings 47 and 48, and the disk 51 splashes the lubricating oil 57 inside the discharge cover 44. Shaft seals 52, 53,
54 and 55 prevent lubricating oil from the bearings and timing gear from entering the working chamber. Rotor discharge side working chamber 66
Since the pressure inside the discharge cover 44 is almost atmospheric, the differential pressure acting on the shaft seals 54 and 55 on the discharge side is relatively small. If the inside is opened to the atmosphere, the differential pressure acting on the suction side shaft seals 52 and 53 will increase, making sealing difficult. Therefore, the inside of the intake cover 43 is connected to the exhaust pipe 5.
9.60 communicates with the low-pressure differential chamber 67 to lower the pressure inside the suction cover 43 and reduce the differential pressure acting on the shaft seals 52 and 53, thereby enhancing the sealing effect. Since the inside of the suction cover 43 is filled with oil droplets, a droplet separation chamber 58 is provided in the suction cover to prevent this oil from entering the working chamber through the exhaust pressure I. An oil trap 61 is attached to the pressure pipe. In addition, even if oil enters the working chamber through the exhaust pressure pipe, in order to prevent this oil from flowing back to the suction port 63 side, the exhaust port 62 of the main casing 41 is connected to the rotor's working chamber 67 at the suction port. 63 to the position after being completely closed. , the working chamber 67 of the male rotor 39 has two engagement parts 68° and 69 with the female rotor 40 after passing through the suction port 63 and before communicating with the discharge boat 64;
Similarly, the working chamber 70 of the female rotor has two engagement portions 71, 69 with the male rotor.
ロータの回転に伴い気体は吸入ポート６３からロータ歯
溝とケーシングによって形成される作動室に吸い込まれ
、吐出ポート６４から吐出される。As the rotor rotates, gas is sucked into the working chamber formed by the rotor tooth space and the casing through the suction port 63, and is discharged through the discharge port 64.
作動室６７．７０はロータの回転に伴い容積一定のまま
気体を移送するが、さらにロータが回転した位置にある
作動室７２，７３はロータの回転に伴いその容積を減少
させ気体を内部圧縮する。このため吐出出側では気体の
温度が上昇するので。The working chambers 67 and 70 transfer gas with a constant volume as the rotor rotates, but the working chambers 72 and 73 located at the position where the rotor rotates decrease their volume and internally compress the gas as the rotor rotates. . This causes the temperature of the gas to rise on the discharge side.
主ケーシング４１の吐出側には冷却ジャケット７４ａ〜
７４ｅを設け、このジャケット内に冷却水を通しケーシ
ングや圧縮気体を冷却する。On the discharge side of the main casing 41 are cooling jackets 74a to 74a.
74e is provided, and cooling water is passed through this jacket to cool the casing and compressed gas.
第６図は本発明の他の実施例であり、説明を簡単にする
ためロータ部分についてのみ示すが、ロータ以外の構成
は第４図、第５図と同一である。FIG. 6 shows another embodiment of the present invention, and to simplify the explanation, only the rotor portion is shown, but the configuration other than the rotor is the same as FIGS. 4 and 5.
真空ポンプの吸入側では気体の比容積が大きく吐出側で
は小さいので、真空ポンプの排気速度を大きくするには
吸入・移送作用をなす作動室の容積を大きく、圧縮作用
をなす作動室の容積は小さくした方がよい。第６図で雄
ロータ７５と雌ロータ７６は、吸入・移動作用をなす部
分７７．７８と。The specific volume of gas is large on the suction side of a vacuum pump and small on the discharge side, so in order to increase the pumping speed of a vacuum pump, the volume of the working chamber that performs suction and transfer actions is increased, and the volume of the working chamber that performs compression action is It's better to make it smaller. In FIG. 6, the male rotor 75 and the female rotor 76 are portions 77 and 78 that perform suction and movement functions.
圧縮作用をなす部分７９．８０によって構成されている
。吸入・移送部’１７．７８は圧縮部７９゜８０と比べ
てロータのねじれ角ψ工、ψ、が小さくＬ／Ｄが大きい
。したがって、第１１図のロータを用いた真空ポンプは
、第４図の真空ポンプと同じ大きさで、大きな排気速度
を得ることができる。It is constituted by parts 79, 80 which perform a compression action. The suction/transfer section '17.78 has a smaller rotor torsion angle ψ and a larger L/D than the compression section 79.80. Therefore, the vacuum pump using the rotor shown in FIG. 11 has the same size as the vacuum pump shown in FIG. 4, and can obtain a high pumping speed.
上記の各実施例では、密閉部が２〜３箇所のものにつき
述べたが、密閉部が３〜４箇所（両ロータの噛合部によ
る密閉部を常時２箇所）のもの、すなわちロータの任意
の１つの溝部に沿って、吐出口から吸入口に至る間に圧
縮、吐出用の作動室、この作動室と両ロータの噛合部に
よる密閉部を介して連なる移送用の作動室、さらにこの
移送用の作動室と両ロータの噛合部による密閉部を介し
て第２の移送用作動室を形成してもよい。In each of the above embodiments, the case where there are 2 to 3 sealed parts is described, but the case where there are 3 to 4 sealed parts (there are always 2 sealed parts by the meshing part of both rotors), that is, any part of the rotor Along one groove, from the discharge port to the suction port, there is a working chamber for compression and discharge, a working chamber for transfer that is connected to this working chamber via a sealed part formed by the meshing part of both rotors, and a working chamber for transfer. A second transfer working chamber may be formed through the working chamber and a sealed portion formed by the meshing portion of both rotors.
このように溝部１箇所について移送用の作動室が２室形
成すると、ガス洩れが減少するのでさらに高い真空度を
得ることができる。When two working chambers for transfer are formed for one groove in this manner, gas leakage is reduced, and a higher degree of vacuum can be obtained.
以上のように１本発明の実施例によれば、オイルフリー
真空ポンプの排気特性が大幅に改善され、１台の真空ポ
ンプで効率良く大気圧から１Ｏ−４Ｔｏｒｒレベルの中
真空領域までの広い作動範囲をカバーすることが可能と
なる。As described above, according to an embodiment of the present invention, the exhaust characteristics of an oil-free vacuum pump are greatly improved, and one vacuum pump can efficiently operate over a wide range of conditions from atmospheric pressure to medium vacuum at the 10-4 Torr level. It is possible to cover a wide range.
また本発明に係る真空ポンプを使用（することにより、
従来の油回転ポンプやメカニカルブースターなどを組合
せて使った真空系と比べて構造が簡単で安価な真空系を
構成することができる。さらに真空系の構成が簡単にな
ることにより、バルブの切換えなど煩雑な操作が不要に
なり制御系を簡単で安定なものにすることができる。In addition, by using the vacuum pump according to the present invention,
Compared to vacuum systems that use a combination of conventional oil rotary pumps and mechanical boosters, it is possible to construct a vacuum system that is simpler and cheaper. Furthermore, by simplifying the configuration of the vacuum system, complicated operations such as switching valves are no longer necessary, and the control system can be made simple and stable.
以上詳細に述べたように本発明によれば、大気圧から１
０−’Ｔｏｒｒ程度レベルの中真空を１段のポンプで達
成できる真空ポンプを提供することができる。As described in detail above, according to the present invention, from atmospheric pressure to
It is possible to provide a vacuum pump that can achieve a medium vacuum of about 0-'Torr level with a single stage pump.
第１図は 。オイルフリースクリユー圧縮機の平面図、第２図は、第
１図の■−■線断面図、第３１！ｌおよび第４図は、本
発明の動作説明図、第５図は、ロータの噛み合い状態を
示す斜視図、第６図は１本発明の一実施例の平面断面図
、第７図は、第６図のＡ−Ａ断面図、第８図は１本発明
の他の実施例の説明図である。２７・・・雄ロータのモデル、２８・・・雌ロータのモ
デル、２９・・・雄ロータ、４０・・・雌ロータ。４１・・・主ケーシング、４２・・・吸入ケーシング、
４５．４６・・・深みぞ玉軸受、４７．４８・・・円筒
ころ軸受、４９．５０・・・タイミングギヤ、５２゜５
３．５４，５５・・・シャフトシール、６３・・・吸入
ポート、６４・・・吐出ポート。Figure 1 is. The plan view of the oil-free screw compressor, Figure 2, is a sectional view taken along the line ■-■ of Figure 1, Figure 31! 1 and 4 are explanatory diagrams of the operation of the present invention, FIG. 5 is a perspective view showing the meshing state of the rotors, FIG. 6 is a plan sectional view of one embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a sectional view taken along line A-A in FIG. 6, and FIG. 8 is an explanatory diagram of another embodiment of the present invention. 27...Male rotor model, 28...Female rotor model, 29...Male rotor, 40...Female rotor. 41... Main casing, 42... Suction casing,
45.46...Deep groove ball bearing, 47.48...Cylindrical roller bearing, 49.50...Timing gear, 52゜5
3.54, 55...Shaft seal, 63...Suction port, 64...Discharge port.
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