【発明の詳細な説明】(イ)産業上の利用分野本発明は固定ダイスと移動ダイスを具備した平ダイス式
転造機およびセグメント式転造機等のねじ転造機により
ねじを転造するに際し、転造時に発生するスベリ不良品
を検出する装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Industrial field of application The present invention provides a method for rolling threads when thread rolling machines such as flat die rolling machines and segment rolling machines equipped with fixed dies and movable dies are used. This invention relates to a device that detects slippage defects that occur during manufacturing.
(ロ)従来技術ねじを平ダイス式転造機等によって転造する場合その転
造工程において、固定ダイスと移動ダイス間に挟持され
たねじが転造中に浮き上り現象で正しく転造されなかっ
たり、ねじのころがり長さが長くなったり短かくなった
りして転造が完了したねじの排出位置が変化する所謂ス
ベリ現象によって正しく転造されないためのねじ不良が
発生することがある。(b) When conventional screws are rolled using a flat die rolling machine, etc., during the rolling process, the screws held between the fixed die and the movable die may lift up during rolling and may not be rolled correctly. The so-called slipping phenomenon, in which the rolling length of the screw becomes longer or shorter and the ejecting position of the screw that has been rolled changes, may result in failure of the screw because it is not rolled correctly.
前者の浮き上り現象によるねじ不良に対しては例えば特
公昭54−40502号で提案された装置等がある。For example, there is a device proposed in Japanese Patent Publication No. 40502/1983 to deal with screw defects due to the former phenomenon of lifting.
しかしながら後者のスベリ現象によるねじ不良を検出す
る装置としては現在迄のところ有効な提案がなされてい
なかった。However, no effective proposal has been made up to now as a device for detecting screw defects due to the latter slippage phenomenon.
(ハ)発明の目的そこで本願では、前記スベリ現象によるねじ不良を検出
するための装置を提供し、該装置により検出されたスベ
リ不IH、pじを逐次排除する装置等と連繋させること
により生産性の向上と品質の確保を計ることに寄与せん
と′するものである。(c) Purpose of the Invention Therefore, the present application provides a device for detecting screw defects due to the slipping phenomenon, and is capable of producing screws by linking it with a device etc. that sequentially eliminates the non-slip IH and screws detected by the device. The aim is to contribute to improving performance and ensuring quality.
(ニ)発明の背景本願の背景となったスベリ検出の考え方に付いて説明す
る。(d) Background of the Invention The concept of slip detection, which is the background of the present application, will be explained.
一〜η第1図は移動ダイスに連繋されたクランク機構のローリ
ング1サイクルにおける転造状態を示す説明図、第2図
は固定ダイスと移動ダイスの関係を示す説明図である。1~η FIG. 1 is an explanatory diagram showing the rolling state during one rolling cycle of a crank mechanism connected to a moving die, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between a fixed die and a moving die.
クランク機構に連繋された移動ダイスは、クランク軸が
180度回転する迄は固定ダイス側に往動するが、その
間に移動ダイスと固定ダイスとでねじ素材を挟持する態
様で喰い付き、所定のねじを転造したのち転造ねじを排
出し、180度を経たのちは固定ダイスから遠ざかるよ
うに復動する。この喰い付き位置から排出位置に至る間
における固定ダイス上のねじのころがり長さはLS、移
動ダイス上のねじのころがり長さは1−mである。スベ
リ現象がなく正常に転造された時にはLm−Lsであり
、移動ダイス上におけるねじの排出位置は一定である。The movable die linked to the crank mechanism moves toward the fixed die until the crankshaft rotates 180 degrees. During this time, the movable die and the fixed die grip the screw material and bite into the predetermined screw. After rolling, the rolling screw is ejected, and after turning 180 degrees, it moves back away from the fixed die. The rolling length of the screw on the fixed die from the biting position to the discharge position is LS, and the rolling length of the screw on the movable die is 1-m. When the thread is rolled normally without any slipping phenomenon, the state is Lm-Ls, and the ejection position of the screw on the movable die is constant.
従って移動ダイス上における適正なねじの排出位置を予
め設定しておき、該設定された排出位置においてねじの
有無を確認することでスベリが発生したか否かを判別す
ることができる。Therefore, by setting an appropriate screw ejection position on the movable die in advance and checking the presence or absence of the screw at the set ejection position, it is possible to determine whether or not slipping has occurred.
例えば、固定ダイス側にてXmmのスベリを発生したと
すると、移動ダイスでのねじのころがり長さ18 ”=
Lm −Xとなって1111 >LIn −である。For example, if a slippage of X mm occurs on the fixed die side, the rolling length of the screw on the movable die is 18" =
Lm −X and 1111 > LIn −.
又移動ダイス側にてylllmのスベリを発生したとす
ると、移動ダイスでのねじのころがり長さ1m”=Lm
+yとなってLlll <Llll −である。Also, if a slippage of ylllm occurs on the moving die side, the rolling length of the screw on the moving die is 1m" = Lm
+y, and Lllll <Lllll -.
いずれにしてもLlll =1m−=LSとなる時は正
常に転造された時のみである。但し、実際の転造に際し
ては完全なる一致は困難なために、一定の許容差を設け
てその範囲内で排出されたものを良品とすることになる
。In any case, Lllll =1m-=LS only when the roll is normally rolled. However, in actual rolling, it is difficult to achieve a perfect match, so a certain tolerance is set and those discharged within this range are considered non-defective.
(ホ)発明の構成本に1の要旨は、いずれか一方を本体より絶縁した固定
ダイスと移動ダイス間に所定電圧を印加しておき、予め
設定された許容排出範囲で両ダイス間の電位差をチェッ
クし、電位変化点の有無により転造の良否を判別せしめ
たねじのスベリ不良検出装置である。(E) Structure of the Invention The gist of Part 1 of the book is that a predetermined voltage is applied between a fixed die and a movable die, one of which is insulated from the main body, and the potential difference between the two dice is maintained within a preset allowable discharge range. This is a screw slippage detection device that checks whether the rolling is good or bad based on the presence or absence of potential change points.
(へ)実施例第3図は本願装置の機構部分の平面図を示し、各部の構
成は次のとおりである。(F) Embodiment FIG. 3 shows a plan view of the mechanical part of the apparatus of the present invention, and the configuration of each part is as follows.
図示しない駆動源からの駆動を受けて回転するドライブ
ピニオンギヤ1と、該ドライブピニオンギヤ1に従動し
て回転するクランクギヤ2と、前記クランクギヤ2に一
方端が偏心状態で装着されたフンロッド3と、該フンロ
ッド3の他方端に揺動可能に装着され、前記クランクギ
ヤ2の回転により往復運動を行う移動ダイ4と、該移動
ダイ4に装着された移動ダイス5と、該移動ダイス5を
移動ダイ4に固定するダイス押え6と、前記移動ダイ4
の往復動時にこれを案内するラム押え7と、前記移動ダ
イス5と対向状に配備された固定ダイス8と、該固定ダ
イス8が取イ」【ノられる固定ダイ9と、前記固定ダイ
ス8を固定ダイ9に固定するダイス押え10と、前記移
動ダイス5と固定ダイス8間にねじ素材11を給送する
ガイドレール12と、給送されたねじ素材11が112
出するのを防止するねじ押え13とを具備して((”る
。但し、に記の各構成はいずれも従来より使用されてい
るものである。A drive pinion gear 1 that rotates under drive from a drive source (not shown), a crank gear 2 that rotates as a result of the drive pinion gear 1, and a rod 3 that is eccentrically attached to the crank gear 2 at one end; A movable die 4 is swingably attached to the other end of the rod 3 and performs reciprocating motion by the rotation of the crank gear 2, a movable die 5 is attached to the movable die 4, and the movable die 5 is connected to the movable die. 4, and the movable die 4.
A ram presser 7 that guides the movable die 5 during reciprocating motion, a fixed die 8 disposed opposite the movable die 5, a fixed die 9 that allows the fixed die 8 to be removed, and a fixed die 9 that allows the fixed die 8 to be removed. A die presser 10 that is fixed to the fixed die 9, a guide rail 12 that feeds the screw material 11 between the movable die 5 and the fixed die 8, and a screw material 11 that is fed is 112.
A screw retainer 13 is provided to prevent the screw from coming out.However, each of the configurations described below are those that have been used in the past.
次に本願特有の構成として、前記クランクギヤ2の中心
軸2aには図示しない本体側に固定されたポテンショメ
ータ14の回転軸14aが連結され、該ポテンショメー
タ14はリード線15を介して後述する制御回路に接続
されている。Next, as a configuration specific to the present application, a rotating shaft 14a of a potentiometer 14 fixed to the main body (not shown) is connected to the center shaft 2a of the crank gear 2, and the potentiometer 14 is connected to a control circuit (described later) via a lead wire 15. It is connected to the.
又、前記固定ダイス8と固定ダイ9間には絶縁体16が
介在され、固定ダイス8に端子17を設番〕ると共に、
該端子17はリード線18を介して後述する制御回路に
接続されている。Further, an insulator 16 is interposed between the fixed die 8 and the fixed die 9, and a terminal 17 is provided on the fixed die 8.
The terminal 17 is connected to a control circuit to be described later through a lead wire 18.
尚、移動ダイス側に絶縁体を介在させるようにしても良
いことは勿論である。It goes without saying that an insulator may be interposed on the moving die side.
更に、前記移動ダイス5と電気的に同電位となる例えば
前記ラム押え7にも端子19を設け、該端子19はリー
ド線20を介して後述する制御回路に接続されている。Furthermore, a terminal 19 is also provided on, for example, the ram presser 7 which is electrically at the same potential as the moving die 5, and the terminal 19 is connected to a control circuit to be described later through a lead wire 20.
前記ポテンショメータ14の固定端子には制御回路から
DCI 2Vが供給され、クランクギヤ2の回転で回転
軸14aが回転されると摺動端子にはO〜12Vの可変
電圧が取出され、この電圧は再び制御回路へ戻される。DCI 2V is supplied from the control circuit to the fixed terminal of the potentiometer 14, and when the rotating shaft 14a is rotated by the rotation of the crank gear 2, a variable voltage of 0 to 12V is taken out to the sliding terminal, and this voltage is again Returned to control circuit.
この可変電圧は第5図に承り波形図(1)のようにのこ
ぎり波を発生し、ねじに許容される排出範囲の上下限に
設定される第1設定位置]−1および第2設定位置T2
を設定電圧V+と設定電圧■2がら得るためのものであ
る。This variable voltage generates a sawtooth wave as shown in the waveform diagram (1) in FIG.
This is to obtain the set voltage V+ and the set voltage ■2.
一方、前記固定ダイス17にはリード線18を介してD
Cl 2Vが供給され、該固定ダイス18と移動ダイス
5の間には12Vの電位差を生じるようになっており、
ねじ素材11が両ダイス間に挟持されると当該ねじ素材
を介してO電位まで低下するように構成されている。従
ってねじ素材11の有無に応じて第5図の波形(3)の
ように12V (H)又ハOV (L)(7)矩形波を
発生する1次に制御回路に付いて第4図のブロック図と
第5図の波形図に基づいて説明する。On the other hand, D is connected to the fixed die 17 via a lead wire 18.
2V of Cl is supplied, and a potential difference of 12V is generated between the fixed die 18 and the movable die 5.
When the screw material 11 is held between both dies, the potential is lowered to O through the screw material. Therefore, depending on the presence or absence of the screw material 11, the primary control circuit that generates a 12V (H) or OV (L) (7) rectangular wave as shown in waveform (3) in Fig. 5 is shown in Fig. 4. This will be explained based on the block diagram and the waveform diagram in FIG.
ねじ検出部21は前記のとおりDC電源22がら+12
Vを受けて端子17から取出される12VあるいはOv
のねじ検出パルスPoによってねじ素材11の有無を検
出するものであり、ねじ素材11が有る場合はL (O
V)を又無い場合はH(12V)を各々出力する。位置
設定部23は前記ポテンショメータ14の設定電圧V+
および■2を受け、コンパレータ等によって許容排出範
囲の上下限T1.T2で第5図の波形(2)のように位
置設定パルスP1.P2を各々発生させるものである。The screw detection unit 21 is connected to the DC power supply 22 as described above.
12V or Ov taken out from terminal 17 after receiving V
The presence or absence of the thread material 11 is detected by the thread detection pulse Po, and if the thread material 11 is present, L (O
V) and, if not, output H (12V), respectively. The position setting section 23 sets the setting voltage V+ of the potentiometer 14.
and ■2, the upper and lower limits T1 of the allowable emission range are determined by a comparator or the like. At T2, position setting pulse P1. as shown in waveform (2) in FIG. P2 is generated respectively.
ねじ検出部21と位置設定部23の各出力は比較回路2
4に送られる。該比較回路24は前記第1および第2の
設定位置T1.T2においてねじ素材11が有るか無い
かを各々検出するものであり、ねじ検出パルスPoはイ
ンバータ■NV−1で反転したのち、第1設定位置T+
におりる検出を行うアンド回路AND−1の一方入力と
して又第2設定位置T2における検出を行うアンド回路
AND−2の一方入力としてインバータを介さず直接伝
送される。Each output of the screw detection section 21 and the position setting section 23 is connected to the comparison circuit 2.
Sent to 4. The comparison circuit 24 is connected to the first and second setting positions T1. The presence or absence of the screw material 11 is detected at T2, and the screw detection pulse Po is reversed by the inverter ■NV-1 and then returned to the first setting position T+.
It is directly transmitted without an inverter as one input of an AND circuit AND-1 that detects the position T2 and as one input of an AND circuit AND-2 that detects the second set position T2.
更に第1設定位置1−1を支持づる位置設定パルスP+
は前記アンド回路AND−1の他方入力として、第2設
定位置1−2を指示する位置設定パルスP2は前記アン
ド回路AND−2の他方入力として各々伝送される。Further, a position setting pulse P+ supporting the first setting position 1-1
is transmitted as the other input of the AND circuit AND-1, and the position setting pulse P2 indicating the second setting position 1-2 is transmitted as the other input of the AND circuit AND-2.
判断回路25は前記比較回路24からの各比較結果を受
け、転造されたねじ素材11が良品か不良品かを判定す
るものである。The judgment circuit 25 receives each comparison result from the comparison circuit 24 and judges whether the rolled screw material 11 is a good product or a defective product.
前記アンド回路AND−1の出力はモノマルチM、Mに
伝送されるが、該アンド出力は第1設定位置T+でねじ
素材が有ると、とりあえずOKとして出力Hを発生し、
モノマルチM、Mを作動させて少くとも第2設定位@T
2の比較結果が来る2迄の聞出力1−1をアンド回路A
ND−3の一方入力として伝送する。前記アンド回路A
ND−2の出力はアンド回路AND−3の他方入力とし
て伝−送されるが、該アンド出力は第2設定位置T2で
ねじ素材11がすでに許容範囲内で排出され無い場合を
OKとして第5図の波形(4)のような合格パルスを発
生し、生産カウンタ26に伝送されて良品としての計数
がなされる。The output of the AND circuit AND-1 is transmitted to the monomultis M and M, but if there is a screw material at the first setting position T+, the AND output will temporarily indicate OK and generate an output H.
Activate Mono Multi M, M to at least the second setting @T
AND circuit A outputs 1-1 until the comparison result of
Transmit as one input of ND-3. The AND circuit A
The output of ND-2 is transmitted as the other input of the AND circuit AND-3, and the AND output is determined to be OK if the screw material 11 is not discharged within the allowable range at the second setting position T2. A pass pulse as shown in waveform (4) in the figure is generated and transmitted to the production counter 26, where it is counted as a non-defective product.
又、判別回路25内のインバータINV−2は前記位置
設定部23からの位置設定パルスP2を反転してノア回
路NORの一芳入力に伝送し、該ノア回路NORは前記
アンド回路AND−3の出力を他方入力として不良品の
判定をおこなう。Further, the inverter INV-2 in the discrimination circuit 25 inverts the position setting pulse P2 from the position setting section 23 and transmits it to the Kazuyoshi input of the NOR circuit NOR. Defective products are determined using the output as the other input.
すなわちノア回路NORは入力がL−Lの場合のみ出力
Hを発生するものであり、合格パルスHが他方入力に与
えられた場合は作動せず、第5図の波形図(3)のよう
に許容範囲より早く排出されたり遅く排出されるとねじ
検出パルスが第1および第2設定位置T1.T2でL−
1又はH−Hのとなり、この場合は不合格パルスを発生
するものである。そしてこの不合格パルスは不良品排出
装置27に送られ、該装置により転造不良ねじを排除さ
せる。In other words, the NOR circuit NOR generates an output H only when the input is LL, and it does not operate when the pass pulse H is given to the other input, as shown in the waveform diagram (3) in Figure 5. If the screw is ejected earlier or later than the allowable range, the screw detection pulse is activated at the first and second set positions T1. L- at T2
1 or H-H, in which case a fail pulse is generated. This reject pulse is then sent to the defective product ejecting device 27, which causes the defective rolled screw to be removed.
第6図(A)〜(F)前記制御回路の動作状態を説明す
るものであり、第6図(A)(B)は第5図の波形図(
3)における1回目のように、設定位置T+でねじが有
り、設定位置T2ではねじがなく、合格品が転造された
時の説明図である。FIGS. 6(A) to (F) illustrate the operating states of the control circuit, and FIGS. 6(A) and 6(B) are waveform diagrams of FIG.
FIG. 3 is an explanatory diagram when a passing product is rolled with a screw at the setting position T+ and no screw at the setting position T2, as in the first time in 3).
第6図(C)(D>は第5図の波形図(3)における2
回目のように設定位置TI、T2ともにねじ°がなく、
不格品が転造された時の説明図である。Figure 6 (C) (D> is 2 in the waveform diagram (3) in Figure 5)
Like the previous time, both setting positions TI and T2 have no screws,
It is an explanatory view when a rejected product is rolled.
第6図(E)(F)は第5図の波形図(3)における3
回目のように、設定位置TI、T2ともにねじが有り、
不合格品が転造された時の説明図である。Figure 6 (E) and (F) are 3 in the waveform diagram (3) of Figure 5.
Like the previous time, both setting positions TI and T2 have screws,
It is an explanatory view when a rejected product is rolled.
このように、第1設定位置T+まではねじ素材11に対
する転造作業がおこなわれ、第2設定位置T2では排出
がなされていることを確認して、この条件に適合するも
のがスベリが許容範囲内であるとして良品とし、その他
の条件のものは不良品であると判定せしむるものである
。In this way, it is confirmed that the thread rolling work is performed on the thread material 11 up to the first set position T+, and that the thread material 11 is discharged at the second set position T2. If the conditions are met, the product is considered to be good, and if the other conditions are met, the product is judged to be defective.
(ト)発明の効果前記実施例でも明らかなとおり、任意に設定可能な二つ
の設定位置におけるねじ素材の有無を確認するのみでス
ベリ現象による転造ねじの良否を順次判定し、不良品の
排除等必要な手段を取ることができると共に、これら作
業が量産する転造工程に何ら支障を与えることな〈実施
できる。(g) Effects of the invention As is clear from the above embodiments, the quality of rolled screws due to the sliding phenomenon can be determined sequentially by simply checking the presence or absence of screw material at two arbitrarily set positions, and defective products can be eliminated. These operations can be carried out without any hindrance to the rolling process for mass production.
従って、生産性の向上と品質を確保する上で極めて有効
なスベリ不良検出装置である。Therefore, it is an extremely effective slippage defect detection device for improving productivity and ensuring quality.
尚、本願は前記実施例に限定されるものではなく、要旨
の範囲内において各種の変形をとりうるちのである。例
えば前記実施例におけるポテンショメータによる位置検
出をロータリーエンコーダ等を使用しておこなったり、
移動ダイスの通路上にリミットスイッチその伯のセンサ
ーを配備してこれにより位置検出を行うようにしても良
い。It should be noted that the present application is not limited to the above-mentioned embodiments, and may be modified in various ways within the scope of the gist. For example, the position detection by the potentiometer in the above embodiment may be performed using a rotary encoder or the like, or
A limit switch or similar sensor may be provided on the path of the moving dice to detect the position.
又、ねじ検出部と位置設定部からのパルスを受けて良否
を比較判別する制御回路も公知の電気回路より同様の働
きをするものを選択して使用することができることはも
ちろんである。Furthermore, it goes without saying that a control circuit that receives pulses from the screw detection section and the position setting section and compares and determines whether the screw is good or bad can be selected from known electric circuits that perform the same function.
第1図はロータリング1サイクルにおける転造状態を示
す説明図、第2図は固定ダイスと移動ダイスの関係を示
す説明図、第3図は機構部分を示す平面図、第4図は制
御回路のブロック図、第5図は制御信号の波形図、第6
図(A)〜(F)は制御回路の動作説明図である。[符号の説明11・・・ドライブピニオンギヤ2・・・クランクギヤ 3・・・コンロッド4・・・移
動ダイ 5・・・移動ダイス6.10・・・ダイス押え
7・・・ラム押えt8・・・固定ダイス 9・・・固定ダイ11・・・ねじ
素材 12・・・ガイドレール13・・・ねじ押え 1
4・・・ポテンショメータ15.18.20・・・リー
ド線16・・・絶縁体 17.19・・・端子21・・・ね
じ検出部 22・・・DC電源23・・・位置設定部
24・・・比較回路25・・・判別回路 26・・・生
産カウンタ27・・・不良品排出装置特許出願人 株式会社トープラ代理人弁理士 成 i:;S 光 雄第1図第2図Fig. 1 is an explanatory diagram showing the rolling state in one rotoring cycle, Fig. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between fixed dies and movable dies, Fig. 3 is a plan view showing the mechanism part, and Fig. 4 is a control circuit. Figure 5 is a waveform diagram of the control signal, Figure 6 is a block diagram of
Figures (A) to (F) are explanatory diagrams of the operation of the control circuit. [Description of symbols 1 1... Drive pinion gear 2... Crank gear 3... Connecting rod 4... Moving die 5... Moving die 6.10... Die holder 7... Ram holder t 8 ...Fixed die 9...Fixed die 11...Screw material 12...Guide rail 13...Screw holder 1
4... Potentiometer 15.18.20... Lead wire 16... Insulator 17.19... Terminal 21... Screw detection section 22... DC power supply 23... Position setting section
24...Comparison circuit 25...Discrimination circuit 26...Production counter 27...Defective product ejection device Patent applicant Topura Co., Ltd. Patent attorney Sei I:;S Mitsuo Figure 1 Figure 2
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1447584AJPS60162544A (en) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | Slide failure detecting device of thread in thread rolling machine |
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1447584AJPS60162544A (en) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | Slide failure detecting device of thread in thread rolling machine |
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60162544Atrue JPS60162544A (en) | 1985-08-24 |
| JPS649897B2 JPS649897B2 (en) | 1989-02-20 |
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1447584AGrantedJPS60162544A (en) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | Slide failure detecting device of thread in thread rolling machine |
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60162544A (en) |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6620723B1 (en) | 2000-06-27 | 2003-09-16 | Applied Materials, Inc. | Formation of boride barrier layers using chemisorption techniques |
| US7101795B1 (en) | 2000-06-28 | 2006-09-05 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for depositing refractory metal layers employing sequential deposition techniques to form a nucleation layer |
| US7405158B2 (en) | 2000-06-28 | 2008-07-29 | Applied Materials, Inc. | Methods for depositing tungsten layers employing atomic layer deposition techniques |
| US6551929B1 (en) | 2000-06-28 | 2003-04-22 | Applied Materials, Inc. | Bifurcated deposition process for depositing refractory metal layers employing atomic layer deposition and chemical vapor deposition techniques |
| US6765178B2 (en) | 2000-12-29 | 2004-07-20 | Applied Materials, Inc. | Chamber for uniform substrate heating |
| US6998579B2 (en) | 2000-12-29 | 2006-02-14 | Applied Materials, Inc. | Chamber for uniform substrate heating |
| US6951804B2 (en) | 2001-02-02 | 2005-10-04 | Applied Materials, Inc. | Formation of a tantalum-nitride layer |
| US6878206B2 (en) | 2001-07-16 | 2005-04-12 | Applied Materials, Inc. | Lid assembly for a processing system to facilitate sequential deposition techniques |
| US6734020B2 (en) | 2001-03-07 | 2004-05-11 | Applied Materials, Inc. | Valve control system for atomic layer deposition chamber |
| US7211144B2 (en) | 2001-07-13 | 2007-05-01 | Applied Materials, Inc. | Pulsed nucleation deposition of tungsten layers |
| US7085616B2 (en) | 2001-07-27 | 2006-08-01 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition apparatus |
| US6936906B2 (en) | 2001-09-26 | 2005-08-30 | Applied Materials, Inc. | Integration of barrier layer and seed layer |
| US7049226B2 (en) | 2001-09-26 | 2006-05-23 | Applied Materials, Inc. | Integration of ALD tantalum nitride for copper metallization |
| US6916398B2 (en) | 2001-10-26 | 2005-07-12 | Applied Materials, Inc. | Gas delivery apparatus and method for atomic layer deposition |
| US6911391B2 (en) | 2002-01-26 | 2005-06-28 | Applied Materials, Inc. | Integration of titanium and titanium nitride layers |
| US6833161B2 (en) | 2002-02-26 | 2004-12-21 | Applied Materials, Inc. | Cyclical deposition of tungsten nitride for metal oxide gate electrode |
| US7439191B2 (en) | 2002-04-05 | 2008-10-21 | Applied Materials, Inc. | Deposition of silicon layers for active matrix liquid crystal display (AMLCD) applications |
| US7262133B2 (en) | 2003-01-07 | 2007-08-28 | Applied Materials, Inc. | Enhancement of copper line reliability using thin ALD tan film to cap the copper line |
| US7211508B2 (en) | 2003-06-18 | 2007-05-01 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition of tantalum based barrier materials |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818981U (en)* | 1981-07-30 | 1983-02-05 | 株式会社デサント | Stretchable narrow fabric |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5818981U (en)* | 1981-07-30 | 1983-02-05 | 株式会社デサント | Stretchable narrow fabric |
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS649897B2 (en) | 1989-02-20 |
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
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