【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバを使
用した液滴検出方法および液滴検出センサに関し、水蒸
気や高温ガス、化学物質ガスなどの結露によって生じる
微小な液滴の発生を光ファイバを用いてただちに検知で
きるようにしたものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and a sensor for detecting a droplet using an optical fiber. It can be used for immediate detection.
【0002】[0002]
【従来の技術】水蒸気や高温ガスあるいは化学物質ガス
などの結露をただちに検知する必要がある場合も多く、
その一つに熱電可変型ガスタービンシステムがある。2. Description of the Related Art In many cases, it is necessary to immediately detect condensation such as water vapor, high-temperature gas, or chemical substance gas.
One of them is a thermoelectric variable gas turbine system.
【0003】この熱電可変型ガスタービンシステムは、
ガスタービンの燃焼排ガスを熱源として蒸気を発生さ
せ、この蒸気の一部を燃焼器に噴射させることでガスタ
ービンの出力増大と熱効率向上を図るシステムであり、
この蒸気噴射ガスタービンには、蒸気を過熱器によって
過熱蒸気として噴射するチエン・サイクルと、飽和蒸気
を高温空気に混合して過熱状態にする部分再生ガスター
ビンとが用いられている。 このような熱電可変型ガス
タービンシステムでは、燃焼器に噴射する蒸気の状態、
特に水滴が発生しているかどうかを知る必要があり、湿
り度を知ることが重要である。[0003] This thermoelectric variable gas turbine system is
This is a system that generates steam using the combustion exhaust gas of a gas turbine as a heat source and injects a part of this steam into a combustor to increase the output and thermal efficiency of the gas turbine.
The steam injection gas turbine includes a chain cycle in which steam is injected as superheated steam by a superheater, and a partially regenerating gas turbine in which saturated steam is mixed with high-temperature air to bring the superheated state. In such a thermoelectric variable gas turbine system, the state of steam injected into the combustor,
In particular, it is necessary to know whether or not water droplets are generated, and it is important to know the degree of wetness.
【0004】このため、従来は、発生蒸気の温度と圧力
を測定し、これらの測定値から計算によって湿り度を求
めていた。For this reason, conventionally, the temperature and pressure of the generated steam have been measured, and the wetness has been obtained by calculation from these measured values.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
温度と圧力とから計算で求められる蒸気の湿り度は、シ
ステム全体としての値であり、燃焼器直前などの蒸気配
管中の局所的な位置における蒸気の状態、特に水滴の発
生をただちに知ることができないという問題がある。However, the wetness of steam calculated from such temperature and pressure is a value for the entire system, and is a local position in a steam pipe immediately before a combustor or the like. However, there is a problem that it is not possible to immediately know the state of the steam, especially the generation of water droplets.
【0006】この発明は、かかる従来技術の有する課題
に鑑みてなされたもので、水蒸気など局所的に結露によ
って液滴が生じる可能性のある場合に、その液滴の発生
を光ファイバを用いることでただちに知ることができる
光ファイバを使用した液滴検出方法および液滴検出セン
サを提供しようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the related art, and in a case where a droplet may be locally generated due to condensation such as water vapor, the generation of the droplet is performed using an optical fiber. It is an object of the present invention to provide a droplet detection method and a droplet detection sensor using an optical fiber, which can be immediately known.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するこの
発明の請求項1記載の光ファイバを使用した液滴検出方
法は、光ファイバ表面の一部を剥離してコアを露出さ
せ、そのコアを露出させて所定の場所に配置し、その光
ファイバで送られる光量により液滴を検出する、ことを
特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for detecting a droplet using an optical fiber, comprising the steps of: exposing a part of the surface of the optical fiber to expose a core; Is exposed and arranged at a predetermined location, and a droplet is detected based on the amount of light transmitted by the optical fiber.
【0008】この光ファイバを使用した液滴検出方法に
よれば、光ファイバ表面の一部を剥離してコアを露出さ
せ、このコアを露出させた部分を液滴の検出面として配
置し、この光ファイバで送られる光量の変化を見るよう
にしており、検出面に結露(凝縮)による液滴が付着す
ると、乾き状態で送られる光量が、液滴面での屈折によ
って減少し、これにより、液滴の発生をただちに検出で
きるようになる。According to the droplet detecting method using the optical fiber, a part of the surface of the optical fiber is peeled to expose a core, and the exposed part of the core is arranged as a droplet detecting surface. The change in the amount of light sent by the optical fiber is observed. When a droplet due to condensation (condensation) adheres to the detection surface, the amount of light sent in a dry state decreases due to refraction at the surface of the droplet. The generation of droplets can be immediately detected.
【0009】また、この発明の請求項2記載の光ファイ
バを使用した液滴検出センサは、所定の場所に配置され
るセンサ本体と、表面の一部を剥離してコアを露出させ
た光ファイバと、その光ファイバに光を送る発光部材
と、その光ファイバにより送られる光を受光する受光部
材と、を備え、前記光ファイバを前記センサ本体にその
コアを露出させて配置した、ことを特徴とするものであ
る。According to a second aspect of the present invention, there is provided a droplet detection sensor using an optical fiber, wherein the sensor body is disposed at a predetermined location, and the core is exposed by exfoliating a part of the surface. And a light-emitting member that sends light to the optical fiber, and a light-receiving member that receives light sent by the optical fiber, wherein the optical fiber is arranged with the core thereof exposed in the sensor body. It is assumed that.
【0010】この光ファイバを使用した液滴検出センサ
によれば、センサ本体を所定の場所である液滴の発生を
検出する場所に配置し、このセンサ本体に表面の一部を
剥離してコアを露出させた光ファイバをそのコアを露出
させて配置し、この光ファイバに発光部材から光を送っ
て受光部材で受光するようにしており、液滴検出部であ
るコア表面に結露(凝縮)による液滴が付着すると、乾
き状態では受光部材で受光された入射光が液滴面での屈
折によって伝送される光量が減少し、これにより、液滴
の発生をただちに検出できるようになる。According to the droplet detecting sensor using the optical fiber, the sensor main body is disposed at a predetermined place, that is, a place for detecting the generation of the droplet, and a part of the surface is peeled off from the sensor main body to form the core. The exposed optical fiber is arranged so that its core is exposed, and light is transmitted from the light emitting member to the optical fiber and received by the light receiving member. When the droplets adhere to the droplets, the amount of light transmitted by the refraction of the incident light received by the light receiving member on the droplet surface in a dry state is reduced, whereby the generation of the droplets can be immediately detected.
【0011】さらに、この発明の請求項3記載の光ファ
イバを使用した液滴検出センサは、請求項2記載の構成
に加え、前記センサ本体は筒型形状で、前記光ファイバ
はその内面に螺旋状に配置された、ことを特徴とするも
のである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a droplet detecting sensor using an optical fiber according to the second aspect, wherein the sensor main body has a cylindrical shape, and the optical fiber has a spiral shape on its inner surface. Are arranged in a shape.
【0012】この光ファイバを使用した液滴検出センサ
によれば、センサ本体を筒型形状にし、その内周表面に
クラッドを除去してコアを露出させた光ファイバを螺旋
状に配置するようにしており、センサ本体のいずれの位
置に液滴が付着してもこれを検出でき、高精度に検出で
きるようになる。According to the droplet detecting sensor using the optical fiber, the sensor body is formed in a cylindrical shape, and the optical fiber whose core is exposed by removing the cladding on the inner peripheral surface thereof is spirally arranged. This makes it possible to detect a droplet adhering to any position of the sensor body and to detect it with high accuracy.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態に
ついて図面に基づき詳細に説明する。図1は、この発明
の光ファイバを使用した液滴検出センサの一実施の形態
にかかる全体断面図、詳細断面図および横断面図であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall cross-sectional view, a detailed cross-sectional view, and a cross-sectional view according to an embodiment of a droplet detection sensor using an optical fiber of the present invention.
【0014】また、図2および図3はこの発明の光ファ
イバを使用した液滴検出方法の一実施の形態にかかる検
出原理の説明図および出力図である。FIGS. 2 and 3 are an explanatory diagram and an output diagram of a detection principle according to an embodiment of a droplet detecting method using an optical fiber according to the present invention.
【0015】この光ファイバを使用した液滴検出センサ
は、光ファイバのクラッドを除去してコアを露出させて
液滴検出部とし、この液滴検出部に液滴が付着すると、
光がガラス界面で外側に屈折し、ファイバ内を反射しな
がら進む光の量が変化する現象を利用して液滴の付着を
検出しようとするものである。In the droplet detection sensor using the optical fiber, a cladding of the optical fiber is removed to expose a core to form a droplet detection unit. When a droplet adheres to the droplet detection unit,
This is to detect the adhesion of a droplet by utilizing a phenomenon in which light is refracted outward at a glass interface and the amount of light traveling while reflecting in the fiber changes.
【0016】この光ファイバを使用した液滴検出センサ
10の具体的な構造は、図1に示すように、配管途中に
介装連結することができるセンサ本体11を備えてお
り、例えば図1(a)に示すように、両端部に大径のフ
ランジ12が形成された円筒状に形成されている。この
センサ本体11には、円筒内面に螺旋溝13が形成さ
れ、液滴検出用光ファイバ14の外径に相当する幅で、
深さが外径よりわずかに小さくなるように形成してあ
る。As shown in FIG. 1, a specific structure of the droplet detection sensor 10 using this optical fiber is provided with a sensor body 11 which can be interposed and connected in the middle of a pipe. As shown in a), it is formed in a cylindrical shape with large-diameter flanges 12 formed at both ends. A spiral groove 13 is formed on the inner surface of the cylinder of the sensor body 11 and has a width corresponding to the outer diameter of the optical fiber 14 for detecting droplets.
It is formed so that the depth is slightly smaller than the outer diameter.
【0017】このセンサ本体11の螺旋溝13には、図
1(b),(c)に示すように、液滴検出用光ファイバ
14が装着されるが、センサ本体11の内壁面側のみに
コア15が露出するよう被覆16およびクラッド17が
除去して装着され、クラッド17が除去されて露出する
コア15の表面が液滴検出部18となる。As shown in FIGS. 1B and 1C, an optical fiber 14 for detecting a droplet is mounted in the spiral groove 13 of the sensor main body 11, but only on the inner wall surface side of the sensor main body 11. The coating 16 and the clad 17 are removed and mounted so that the core 15 is exposed, and the surface of the core 15 which is exposed when the clad 17 is removed serves as a droplet detecting unit 18.
【0018】そして、このようにセンサ本体11の螺旋
溝13に装着された液滴検出用光ファイバ14の一端部
には、発光部材19が設けられ、例えば発光素子である
発光ダイオードで構成され、他端部に向けて光を送るよ
うになっており、液滴検出用光ファイバ14の他端部に
は、発光部材19から送られる光を受光する受光部材2
0が設けられ、例えば受光素子であるフォトダイードで
構成され、送られる光の光量の変化を検出できるように
してある。A light-emitting member 19 is provided at one end of the optical fiber 14 for detecting a droplet mounted on the spiral groove 13 of the sensor body 11 as described above, and is constituted by, for example, a light-emitting diode as a light-emitting element. Light is sent toward the other end, and the other end of the optical fiber 14 for drop detection is provided with a light receiving member 2 for receiving light sent from the light emitting member 19.
0 is provided, for example, is constituted by a photodiode serving as a light receiving element, so that a change in the amount of transmitted light can be detected.
【0019】さらに、この受光素子20からの出力信号
がアンプ21で増幅されるようになっている。Further, an output signal from the light receiving element 20 is amplified by an amplifier 21.
【0020】このように構成した光ファイバを使用した
液滴検出センサ10は、例えば蒸気配管の途中にセンサ
本体11ごと介装され、フランジ12を介して配管の一
部を構成するように連結される。The droplet detecting sensor 10 using the optical fiber thus constructed is interposed, for example, along with the sensor main body 11 in the middle of a steam pipe, and is connected via a flange 12 so as to constitute a part of the pipe. You.
【0021】この光ファイバを使用した液滴検出センサ
10による液滴の検出方法は、図2および図3に示すよ
うに、発光部材19からの光を液滴検出用光ファイバ1
4の一端から他端に向けて照射した状態にしておく。As shown in FIGS. 2 and 3, a method of detecting a droplet by the droplet detection sensor 10 using this optical fiber is as follows.
4 is irradiated from one end to the other end.
【0022】(1) 液滴検出部18がガス体による乾
き状態の場合 この乾き状態の場合には、図2に示すように、液滴検出
部18が乾いた状態であるため、液滴検出用光ファイバ
14に送られる光は、光ファイバ内を反射を繰り返しな
がら他端に導かれ、発光部材19からの入射光の光量が
受光部材20に受光され、図3に示すように、高い電圧
のV1 の出力電圧で検出される。(1) When the droplet detector 18 is in a dry state due to a gaseous substance In this dry state, the droplet detector 18 is in a dry state as shown in FIG. The light sent to the optical fiber for use 14 is guided to the other end while repeating reflection in the optical fiber, and the amount of incident light from the light emitting member 19 is received by the light receiving member 20, and as shown in FIG. At the output voltage of V1.
【0023】(2) 液滴検出部18に液滴が付着した
場合 この液滴が液滴検出部18に付着すると、図2に示すよ
うに、液滴検出用光ファイバ14に送られる光は、光フ
ァイバから液滴側に屈折し、光ファイバ内を反射を繰り
返しながら他端に導かれる光が少なくなり、発光部材1
9からの入射光の光量が減少し、図3に示すように、受
光部材20の出力電圧は乾き状態より低下したV2 の出
力電圧で検出される。(2) When a droplet adheres to the droplet detector 18 When the droplet adheres to the droplet detector 18, as shown in FIG. The light that is refracted from the optical fiber toward the liquid droplet side and guided to the other end while repeating reflection in the optical fiber is reduced.
As shown in FIG. 3, the output voltage of the light receiving member 20 is detected at the output voltage V2 lower than the dry state.
【0024】したがって、この出力電圧のV1 からV2
への変化を監視することで液滴の付着を付着直後に検出
することができる。Therefore, the output voltage V1 to V2
By monitoring the change to, the attachment of the droplet can be detected immediately after the attachment.
【0025】(3) 液滴検出部18が液膜や液に浸っ
た状態の場合 液滴検出部18への液滴の付着が増大すると、液滴検出
部18が液滴の状態から液膜の状態、さらには液に浸っ
た状態になる。(3) When the droplet detector 18 is immersed in a liquid film or liquid When the adhesion of droplets to the droplet detector 18 increases, the droplet detector 18 changes the state of the droplet to a liquid film. State, and further, a state immersed in the liquid.
【0026】すると、液滴が液滴検出部18に付着する
場合に比べ、液滴検出用光ファイバ14に送られる光
は、液滴検出部18を覆う液膜側に屈折し、光ファイバ
内に戻る光が殆どなく、受光素子21に受光される光量
も殆どなく、受光部材20の出力電圧がほぼ零のV3 に
なる。The light sent to the droplet detecting optical fiber 14 is refracted toward the liquid film that covers the droplet detecting unit 18, as compared with the case where the droplet adheres to the droplet detecting unit 18. And the amount of light received by the light receiving element 21 is almost zero, and the output voltage of the light receiving member 20 becomes almost zero V3.
【0027】以上のように、予め検出ガスが乾き状態の
場合の受光部材20の出力電圧V1を求め、この出力電
圧V1に対して低下した出力電圧V2 を予め設定してお
くことで、液滴の付着による出力電圧V2 への変化から
ただちに液滴の付着を知ることができる。As described above, the output voltage V1 of the light receiving member 20 when the detection gas is in a dry state is determined in advance, and the output voltage V2 that is reduced with respect to the output voltage V1 is set in advance, so that the droplet can be obtained. From the change to the output voltage V2 due to the adhesion of the droplet, the adhesion of the droplet can be immediately known.
【0028】また、この光ファイバを使用した液滴検出
センサ10によれば、液滴の検出を光ファイバ内に導か
れた光の反射及び屈折を利用して行うので、応答性が良
く、センサが一体化しているため配管にセンサ本体11
を取り付けるだけで簡単に設置して液滴を検出すること
ができるとともに、既存配管などへの適用も簡単にでき
る。According to the droplet detection sensor 10 using the optical fiber, the droplet is detected by utilizing the reflection and refraction of the light guided into the optical fiber. Is integrated with the sensor body 11
In addition to being able to easily install and detect droplets simply by attaching the, it can be easily applied to existing piping and the like.
【0029】さらに、ガス体との接する液滴検出部17
が光ファイバで構成してあるので、高温ガスや化学プラ
ントの反応ガスの液滴発生(結露)も検出することがで
きるとともに、耐久性にも優れ、熱電可変を使用したガ
スタービンの燃焼器に噴射される水蒸気の結露の発生を
検出できるなど広範囲の液滴検出に適用することができ
る。Further, the droplet detecting section 17 in contact with the gas body
Is composed of optical fiber, so it is possible to detect high temperature gas and droplet generation (condensation) of reactive gas in chemical plants, and it has excellent durability and is suitable for gas turbine combustors using variable thermoelectric. The present invention can be applied to detection of a wide range of droplets, such as detection of the occurrence of condensation of jetted water vapor.
【0030】なお、上記実施の形態では、液滴検出用光
ファイバを螺旋状に配置して液滴検出部を螺旋状に形成
したが、この配置に限らず直線状に配置するなど他の配
置でも良く、液滴検出用光ファイバも1本だけ配置する
場合に限らず、複数本配置するようにしても良い。In the above embodiment, the droplet detecting optical fibers are spirally arranged to form the droplet detecting portion in a spiral shape. However, the present invention is not limited to this arrangement, and other arrangements such as linear arrangement are possible. However, the invention is not limited to the case where only one optical fiber for drop detection is provided, and a plurality of optical fibers may be provided.
【0031】[0031]
【発明の効果】以上、一実施の形態とともに詳細に説明
したように、この発明の請求項1記載の光ファイバを使
用した液滴検出方法によれば、光ファイバ表面の一部を
剥離してコアを露出させ、このコアを露出させた部分を
液滴の検出面として配置し、この光ファイバで送られる
光量の変化を見るようにしたので、検出面に結露(凝
縮)による液滴が付着すると、乾き状態で送られる光量
が、液滴面での屈折によって減少し、これにより、液滴
の発生をただちに検出することができる。As described above in detail with one embodiment, according to the droplet detecting method using an optical fiber according to the first aspect of the present invention, a part of the surface of the optical fiber is peeled off. The core was exposed, and the exposed part of the core was placed as a detection surface for droplets, and changes in the amount of light sent by this optical fiber were observed, so that droplets due to condensation (condensation) adhered to the detection surface Then, the amount of light sent in a dry state decreases due to refraction on the droplet surface, whereby the generation of droplets can be detected immediately.
【0032】また、この発明の請求項2記載の光ファイ
バを使用した液滴検出センサによれば、センサ本体を所
定の場所である液滴の発生を検出する場所に配置し、こ
のセンサ本体に表面の一部を剥離してコアを露出させた
光ファイバをそのコアを露出させて配置し、この光ファ
イバに発光部材から光を送って受光部材で受光するよう
にしたので、液滴検出部であるコア表面に結露(凝縮)
による液滴が付着すると、乾き状態では受光部材で受光
された入射光が液滴面での屈折によって伝送される光量
が減少し、これにより、液滴の発生をただちに検出する
ことができる。Further, according to the droplet detecting sensor using the optical fiber according to the second aspect of the present invention, the sensor main body is disposed at a predetermined position where the generation of the droplet is detected. An optical fiber having a core exposed by exfoliating a part of the surface is disposed with the core exposed, and light is transmitted from the light emitting member to the optical fiber and received by the light receiving member. Condensation on the surface of the core
When a droplet adheres to the droplet, the amount of light transmitted by the refraction of the incident light received by the light receiving member on the droplet surface in the dry state is reduced, whereby the generation of the droplet can be immediately detected.
【0033】さらに、この発明の請求項3記載の光ファ
イバを使用した液滴検出センサによれば、センサ本体を
筒型形状にし、その内周表面にクラッドを除去してコア
を露出させた光ファイバを螺旋状に配置するようにした
ので、センサ本体のいずれの位置に液滴が付着してもこ
れを検出することができるとともに、高精度に液滴の付
着を検出することができる。Further, according to the droplet detecting sensor using the optical fiber according to the third aspect of the present invention, the light is obtained by exposing the core by removing the cladding on the inner peripheral surface of the sensor main body and removing the cladding from the inner peripheral surface. Since the fibers are arranged in a spiral shape, it is possible to detect droplets attached to any position of the sensor main body, and to detect the attached droplets with high accuracy.
【図1】この発明の光ファイバを使用した液滴検出セン
サの一実施の形態にかかる全体断面図、詳細断面図およ
び横断面図である。FIG. 1 is an overall cross-sectional view, a detailed cross-sectional view, and a cross-sectional view according to an embodiment of a droplet detection sensor using an optical fiber of the present invention.
【図2】この発明の光ファイバを使用した液滴検出方法
の一実施の形態にかかる検出原理の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a detection principle according to an embodiment of a droplet detection method using an optical fiber of the present invention.
【図3】この発明の光ファイバを使用した液滴検出方法
の一実施の形態にかかる出力図である。FIG. 3 is an output diagram according to an embodiment of a droplet detecting method using an optical fiber of the present invention.
10 光ファイバを使用した液滴検出センサ 11 センサ本体 12 フランジ 13 螺旋溝 14 液滴検出用光ファイバ 15 コア 16 被覆 17 クラッド 18 液滴検出部 19 発光部材 20 受光部材 21 アンプ Reference Signs List 10 Droplet detection sensor using optical fiber 11 Sensor main body 12 Flange 13 Spiral groove 14 Droplet detection optical fiber 15 Core 16 Coating 17 Cladding 18 Droplet detection unit 19 Light emitting member 20 Light receiving member 21 Amplifier
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15531698AJPH11326184A (en) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | Droplet detection method and drop detection sensor using optical fiber |
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15531698AJPH11326184A (en) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | Droplet detection method and drop detection sensor using optical fiber |
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326184Atrue JPH11326184A (en) | 1999-11-26 |
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15531698APendingJPH11326184A (en) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | Droplet detection method and drop detection sensor using optical fiber |
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11326184A (en) |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005527838A (en)* | 2002-05-29 | 2005-09-15 | トラスティーズ オブ プリンストン ユニバーシティ | Method and apparatus for extended evanescent field exposure in fiber optic resonators for spectroscopic measurements of trace species |
| JP2007175614A (en)* | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Toshiba Corp | Droplet ejection inspection apparatus and droplet ejection apparatus |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7504263B2 (en) | 2001-12-12 | 2009-03-17 | Trustees Of Princeton University | Method for enhanced evanescent field exposure in an optical fiber resonator for spectroscopic detection and measurement of trace species |
| US7504068B2 (en) | 2001-12-12 | 2009-03-17 | Trustees Of Princeton University | Apparatus for enhanced evanescent field exposure in an optical fiber resonator for spectroscopic detection and measurement of trace species |
| JP2005527838A (en)* | 2002-05-29 | 2005-09-15 | トラスティーズ オブ プリンストン ユニバーシティ | Method and apparatus for extended evanescent field exposure in fiber optic resonators for spectroscopic measurements of trace species |
| JP2009031312A (en)* | 2002-05-29 | 2009-02-12 | Trustees Of Princeton Univ | Method and apparatus for extended evanescent field exposure in fiber optic resonators for spectroscopic measurements of trace species |
| JP2010014739A (en)* | 2002-05-29 | 2010-01-21 | Trustees Of Princeton Univ | Apparatus for spectroscopic measurement of trace species |
| JP2007175614A (en)* | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Toshiba Corp | Droplet ejection inspection apparatus and droplet ejection apparatus |
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