【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は光学式の測長装置に係わ
り、特に位置検出の基準となる原点の位置をあらかじめ
決められた複数の位置で任意に変更できるようにした測
長装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical length measuring device, and more particularly to a length measuring device capable of arbitrarily changing a position of an origin serving as a position detection reference at a plurality of predetermined positions.
【０００２】[0002]
【従来の技術】工作機械の加工テーブル等には、例えば
工具に対する加工テーブルの相対的な移動量を読み取る
ために、測長装置が取付けられている。そしてこの測長
装置の一例として、光学式の測長装置がある。2. Description of the Related Art A machining table or the like of a machine tool is equipped with a length measuring device in order to read a relative movement amount of the machining table with respect to a tool. An optical length measuring device is an example of this length measuring device.
【０００３】一般に光学式の測長装置は、工作機械等に
直接取り付られるスケールユニットと、このスケールユ
ニットからの検出信号に基づいて実際の移動量を求め、
これを表示するカウンタユニット等から構成されてい
る。Generally, an optical length measuring device determines a scale unit directly attached to a machine tool or the like and an actual movement amount based on a detection signal from the scale unit.
It is composed of a counter unit for displaying this.
【０００４】図４の概略図に示すように、スケールユニ
ットＡは、ガラス板等からなるスケール本体１と、この
スケール本体１に対して相対移動する検出ヘッド２を有
している。またスケール本体１には、Ｃｒ等を蒸着して
エッチング処理で形成した金属膜からなる目盛１ａがス
トライプ状に設けられている。このほかスケール本体１
には、前記目盛の上部の所定位置に原点マーク１ｂが設
けられている。As shown in the schematic view of FIG. 4, the scale unit A has a scale body 1 made of a glass plate or the like, and a detection head 2 which moves relative to the scale body 1. Further, the scale body 1 is provided with stripe-shaped scales 1a made of a metal film formed by vapor-depositing Cr or the like and performing an etching process. Besides this, the scale body 1
Is provided with an origin mark 1b at a predetermined position above the scale.
【０００５】また検出ヘッド２には、前記スケール本体
１をはさんで、一方に光源３が設けられ、他方にスリッ
ト４，５と光電変換素子６，７が設けられている。この
スリット４は前記原点マーク１ｂに対応しており、スリ
ット４及び原点マーク１ｂを通過した光源３からの光は
光電変換素子６で受光される。また、スリット５は前記
スケール本体Ａの目盛１ａに対応しており、スリット５
と目盛１ａによって生じるモアレ縞の位相が互いに９０
°ずれるような位置に光電変換素子７ａ，７ｂが対応し
て設けられている。そして２つの光電変換素子７ａ，７
ｂの受信信号に基づいて、スケール本体１に対する検出
ヘッド２の移動方向と移動量を求めることができる。The detection head 2 is provided with a light source 3 on one side of the scale body 1 and slits 4, 5 and photoelectric conversion elements 6, 7 on the other side. The slit 4 corresponds to the origin mark 1b, and the light from the light source 3 that has passed through the slit 4 and the origin mark 1b is received by the photoelectric conversion element 6. The slit 5 corresponds to the scale 1a of the scale body A, and the slit 5
And the scale of the scale 1a causes the moiré fringes to have a phase of 90.
Photoelectric conversion elements 7a and 7b are provided correspondingly at positions shifted from each other. And two photoelectric conversion elements 7a, 7
Based on the received signal of b, the moving direction and the moving amount of the detection head 2 with respect to the scale body 1 can be obtained.
【０００６】次に図５，図６を用いて加工の基準となる
原点の求め方を説明する。図５は、スケール本体１に形
成された原点マーク１ｂと、検出ヘッド２のスリット４
とを模式的に示した図である。また図６は、光電変換素
子６の受光量の変化を示したグラフである。Next, a method of obtaining an origin serving as a machining reference will be described with reference to FIGS. FIG. 5 shows the origin mark 1b formed on the scale body 1 and the slit 4 of the detection head 2.
It is the figure which showed typically. FIG. 6 is a graph showing changes in the amount of light received by the photoelectric conversion element 6.
【０００７】図５に示すように、原点マーク１ｂとスリ
ット４は、ネガ・ポジの関係となるようにパターンが形
成されている。そしてスケール本体１に対し検出ヘッド
２が相対移動すると、原点マーク１ｂがスリット４に対
し移動し、双方のパターンの重り具合が変化する。そし
て原点マーク１ｂの動きによって光電変換素子６での受
光量が変化する。As shown in FIG. 5, the origin mark 1b and the slit 4 are patterned so as to have a negative / positive relationship. When the detection head 2 moves relative to the scale body 1, the origin mark 1b moves relative to the slit 4, and the weight of both patterns changes. The amount of light received by the photoelectric conversion element 6 changes according to the movement of the origin mark 1b.
【０００８】光電変換素子６の受光量は、図６に示すよ
うに原点マーク１ｂの隙間部分にスリット４の格子部分
が完全に重なった際に最小となるピーク波形を生じ、基
準値とピークホールド回路によってこのピーク波形から
パルス状の原点出力波形を得ている。そして図示しない
カウンタユニットによって該原点出力波形の立下がりを
原点信号としている。As shown in FIG. 6, the amount of light received by the photoelectric conversion element 6 produces a minimum peak waveform when the lattice portion of the slit 4 completely overlaps the gap of the origin mark 1b, and the reference value and the peak hold. The circuit obtains the pulse-shaped origin output waveform from this peak waveform. Then, the falling edge of the origin output waveform is used as an origin signal by a counter unit (not shown).
【０００９】[0009]
【考案が解決しようとする課題】ところで、前記原点マ
ーク１ｂは、工作機械の加工の種類等に応じた測長装置
の使用目的や、ユーザーの使い勝手等によってスケール
本体１の中央部に設けられたり端部に設けられたり、設
ける位置が種々異なるものである。従来の方式では、原
点マーク１ｂは直接スケール本体１に形成され、またス
リット４も検出ヘッドに直接形成されるので、スケール
本体１を形成した後、原点位置を変更することはできな
かった。そのためユーザーは、測長装置を購入する際に
あらかじめ原点位置を指定しなければならない。逆に製
造者側では、ユーザーの指定に応じて原点位置のみ異な
る多品種の測長装置を製造しなけらばならず、大量生産
ができないという製造上の問題が生じる。また管理の上
でも煩雑になるという問題があった。By the way, the origin mark 1b may be provided in the central portion of the scale body 1 depending on the purpose of use of the length-measuring device according to the type of machining of the machine tool and the convenience of the user. It is provided at the end or the position where it is provided is different. In the conventional method, since the origin mark 1b is directly formed on the scale body 1 and the slit 4 is also directly formed on the detection head, the origin position cannot be changed after the scale body 1 is formed. Therefore, the user must specify the origin position before purchasing the length measuring device. On the contrary, the manufacturer side has to manufacture various types of length measuring devices that differ only in the origin position according to the specification of the user, which causes a manufacturing problem that mass production cannot be performed. There is also a problem in that it is complicated in terms of management.
【００１０】本考案は上述した問題に鑑みてなされたも
のであり、加工位置の基準となる原点の位置を変更する
ことができる測長装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a length measuring device capable of changing the position of an origin serving as a reference of a processing position.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本考案の測長装置は、測
定用目盛が形成されたスケールと、前記スケールに対し
て相対的に移動する検出ヘッドと、前記検出ヘッドに設
けられて前記スケールの測定用目盛と共にモアレ縞を生
ずる測定用スリットと、前記検出ヘッドに設けられた光
源と、前記検出ヘッドに設けられて前記モアレ縞から２
以上の位相信号を検出する光電変換素子とを有し、前記
スケールと前記検出ヘッドの相対的変位を前記光電変換
素子からの２以上の位相信号を用いて検出する測長装置
において、前記スケールに形成された複数の原点マーク
と、前記検出ヘッドに設けられ前記各原点マークを検出
して原点マーク信号を出力する原点検出手段と、測長方
向に関する各原点マークの両側の位置に極性の異なる磁
極が配置されるように任意の原点マークの近傍に変更自
在に設置される磁石と、前記検出ヘッドに設けられ前記
磁石の磁界を検出して信号を出力する極性の異なる一対
のホール素子と、一方の極性の前記ホール素子からの信
号をラッチしてラッチ信号を出力する第１のラッチ回路
と、他方の極性の前記ホール素子からの信号をラッチし
てラッチ信号を出力する第２のラッチ回路と、前記光電
変換素子からの位相信号から測長方向を判定して一方又
は他方の方向判別信号を出力する方向判定回路と、前記
方向判定回路からの一方の方向判別信号と前記第１のラ
ッチ回路からのラッチ信号と前記原点検出手段からの原
点マーク信号のＡＮＤ信号を出力する第１のＡＮＤ回路
手段と、前記方向判定回路からの他方の方向判別信号と
前記第２のラッチ回路からのラッチ信号と前記原点検出
手段からの原点マーク信号のＡＮＤ信号を出力する第２
のＡＮＤ回路手段とを有している。The length measuring apparatus of the present invention comprises a scale having a measuring scale, a detection head that moves relative to the scale, and the scale provided on the detection head. Measuring slits that generate moire fringes together with the measuring scale, the light source provided in the detection head, and the moire fringes provided in the detection head.
In the length measuring device having a photoelectric conversion element for detecting the above phase signal and detecting relative displacement of the scale and the detection head by using two or more phase signals from the photoelectric conversion element, A plurality of formed origin marks, origin detecting means provided in the detection head for detecting each origin mark and outputting an origin mark signal, and magnetic poles having different polarities at positions on both sides of each origin mark in the length measuring direction. A magnet that is variably installed in the vicinity of an arbitrary origin mark so as to be arranged, and a pair of Hall elements with different polarities that are provided in the detection head and detect the magnetic field of the magnet and output a signal The first latch circuit that latches the signal from the Hall element of the other polarity and outputs the latch signal and the signal from the Hall element of the other polarity and outputs the latch signal A second latch circuit, a direction determination circuit that determines the length measurement direction from the phase signal from the photoelectric conversion element and outputs one or the other direction determination signal, and one direction determination signal from the direction determination circuit And a first AND circuit means for outputting an AND signal of the latch signal from the first latch circuit and the origin mark signal from the origin detection means, the other direction determination signal from the direction determination circuit, and the second A second AND signal for outputting a latch signal from the latch circuit of No. 1 and an origin mark signal from the origin detection means
AND circuit means of.
【００１２】[0012]
【作用】スケールと検出ヘッドを相対的に移動させる。
原点検出手段はスケール上の複数の原点マークを次々に
検出して原点マーク信号を出力する。光電変換素子は、
スケールの測定用目盛と検出ヘッドの測定用スリットか
ら生じるモアレ縞から２以上の位相信号を出力する。方
向判定回路はこれら位相信号から測長方向の方向判別信
号を出力する。磁石を設定して指定した特定の原点マー
クに検出ヘッドがさしかかると、検出ヘッドのホール素
子が信号を出力する。ラッチ回路はこの信号をラッチし
てラッチ信号を出力する。そして原点判定回路は、原点
マーク信号と方向判別信号とラッチ信号のＡＮＤをと
り、特定の原点マークを示す原点出力信号を出力する。[Operation] The scale and the detection head are moved relative to each other.
The origin detecting means sequentially detects a plurality of origin marks on the scale and outputs an origin mark signal. The photoelectric conversion element is
Two or more phase signals are output from the moire fringes generated from the scale for measuring scale and the slit for measuring of the detection head. The direction determination circuit outputs a direction determination signal in the length measuring direction from these phase signals. When the detection head approaches the specific origin mark designated by setting the magnet, the Hall element of the detection head outputs a signal. The latch circuit latches this signal and outputs a latch signal. Then, the origin determination circuit ANDs the origin mark signal, the direction determination signal and the latch signal and outputs an origin output signal indicating a specific origin mark.
【００１３】[0013]
【実施例】図１〜図３によって一実施例を説明する。ガ
ラス等からなるスケール１０には、測定用目盛１１が形
成されている。また、スケール１０の測定用目盛１１の
上には、適当な間隔をおいて複数の原点マーク１２（
〜）が形成されている。このスケール１０は、両端と
下面が開放されたケーシング１３の上板１４の下面に固
定されている。EXAMPLE One example will be described with reference to FIGS. A measuring scale 11 is formed on the scale 10 made of glass or the like. Further, on the measuring scale 11 of the scale 10, a plurality of origin marks 12 (
~) Are formed. The scale 10 is fixed to the lower surface of the upper plate 14 of the casing 13 whose both ends and the lower surface are open.
【００１４】このケーシング１３の上板１４の上面に
は、スケール１０に近接し、スケール１０の長手方向に
沿って溝部１５が形成されている。この溝部１５の近傍
には、スケール１０に形成された各原点マーク１２の位
置を示す表示１６がそれぞれ形成されている。そして、
この溝部１５には永久磁石１７が設置されるようになっ
ている。永久磁石１７は、Ｎ極とＳ極が原点マーク１２
をはさむ両側の位置に配置されるような寸法のＵ字形状
になっており、前記表示１６にあわせて永久磁石１７を
配置することにより、複数の原点位置のうちのひとつを
任意に選択することができる。A groove portion 15 is formed on the upper surface of the upper plate 14 of the casing 13 so as to be close to the scale 10 and along the longitudinal direction of the scale 10. In the vicinity of the groove portion 15, a display 16 indicating the position of each origin mark 12 formed on the scale 10 is formed. And
A permanent magnet 17 is installed in the groove 15. Permanent magnet 17 has origin mark 12 with north and south poles.
It has a U-shape sized so as to be placed on both sides sandwiching, and by arranging the permanent magnet 17 in accordance with the display 16, it is possible to arbitrarily select one of a plurality of origin positions. You can
【００１５】前記ケーシング１３内には、前記スケール
１０に沿って相対的に移動する検出ヘッド１８が設けら
れている。検出ヘッド１８はスケール１０を挟む断面略
コ字形であり、一方の側には、光源としてＬＥＤ１９が
設けられている。Inside the casing 13, there is provided a detection head 18 which moves relatively along the scale 10. The detection head 18 has a substantially U-shaped cross section sandwiching the scale 10, and an LED 19 as a light source is provided on one side.
【００１６】スケール１０を挟んで前記ＬＥＤ１９の反
対側である検出ヘッド１８の他方の側には、原点検出手
段として前記原点マーク１２に対応する原点検出スリッ
ト２０と光電変換素子２１が設けられている。また、こ
の他方の側には、前記測定用目盛１１に対応する測定用
スリット２２と２個の光電変換素子２３，２４が設けら
れている。An origin detection slit 20 corresponding to the origin mark 12 and a photoelectric conversion element 21 are provided as origin detection means on the other side of the detection head 18 opposite to the LED 19 with the scale 10 interposed therebetween. . Further, on the other side, a measuring slit 22 corresponding to the measuring scale 11 and two photoelectric conversion elements 23, 24 are provided.
【００１７】一方の光電変換素子２１は、原点マーク１
２と原点検出スリット２０の重なり合いによるＬＥＤ１
９の光量の変化をとらえて各原点マークごとに原点マー
ク信号を出力する。また、他方の２個の光電変換素子２
３，２４は、測定用目盛１１と測定用スリット２２が生
成するモアレ縞を例えば９０°の位相差でそれぞれ検出
し、Ａ相信号及びＢ相信号として出力する。One photoelectric conversion element 21 has an origin mark 1
LED1 by overlapping of 2 and origin detection slit 20
The origin mark signal is output for each origin mark by capturing the change in the light amount of 9. In addition, the other two photoelectric conversion elements 2
Reference numerals 3 and 24 detect moire fringes generated by the measuring scale 11 and the measuring slit 22 with a phase difference of, for example, 90 °, and output them as an A-phase signal and a B-phase signal.
【００１８】前記検出ヘッド１８のＬＥＤ１９側には、
Ｎ極ホール素子２５とＳ極ホール素子２６が設けられて
いる。これらの両ホール素子２５，２６は、前記磁石１
７が設定される前記ケーシング１３の溝部１５と近接し
た位置にある。即ち、スケール１０及びケーシング１３
に対して検出ヘッド１８が相対的に移動すれば、選択さ
れた原点位置の手前で、これら両ホール素子２５，２６
が磁石１７の一方の磁極を検出して信号を出力する。な
お、本実施例では、図１において、検出ヘッド１８に対
してスケール１０が右方向に移動した時、順に検出され
る原点マーク１２を，，…と呼び、磁石１７は同移
動方向の先方がＳ極となるように配置した。On the LED 19 side of the detection head 18,
An N-pole Hall element 25 and an S-pole Hall element 26 are provided. Both of these Hall elements 25, 26 correspond to the magnet 1
7 is in a position close to the groove portion 15 of the casing 13 in which 7 is set. That is, the scale 10 and the casing 13
If the detection head 18 moves relative to the Hall elements 25 and 26 before the selected origin position.
Detects one magnetic pole of the magnet 17 and outputs a signal. In the present embodiment, in FIG. 1, when the scale 10 moves to the right with respect to the detection head 18, the origin marks 12 that are sequentially detected are called, ... It was arranged so as to have a south pole.
【００１９】次に、前記光電変換素子２１，２３，２４
及び両ホール素子２５，２６からの信号を処理する回路
の構成について図２を用いて説明する。方向判定回路３
０は、光電変換素子２３，２４からのＡ相信号及びＢ相
信号を入力されて右送り信号又は左送り信号を出力す
る。Next, the photoelectric conversion elements 21, 23, 24
The configuration of the circuit that processes the signals from the Hall elements 25 and 26 will be described with reference to FIG. Direction determination circuit 3
0 receives the A-phase signal and the B-phase signal from the photoelectric conversion elements 23 and 24, and outputs a right feed signal or a left feed signal.
【００２０】Ｓ極ホール素子２６とＮ極ホール素子２５
からの信号は、それぞれラッチ回路３１，３２に入力さ
れ、それぞれラッチ信号となって出力される。このラッ
チ回路３１，３２は原点マーク信号によってリセットさ
れる。S-pole Hall element 26 and N-pole Hall element 25
Signals are input to the latch circuits 31 and 32, respectively, and output as latch signals. The latch circuits 31 and 32 are reset by the origin mark signal.
【００２１】そして、原点判定回路としての一方のＡＮ
Ｄ回路３３には、前記光電変換素子２１が出力する原点
マーク信号と、Ｓ極ホール素子２６のラッチ信号と、右
送り信号とが入力される。One of the ANs as the origin determination circuit
To the D circuit 33, the origin mark signal output from the photoelectric conversion element 21, the latch signal of the S pole hall element 26, and the right feed signal are input.
【００２２】また、他方のＡＮＤ回路３４には、前記原
点マーク信号と、Ｎ極ホール素子２５のラッチ信号と、
左送り信号とが入力される。In the other AND circuit 34, the origin mark signal, the latch signal of the N-pole Hall element 25,
The left feed signal and is input.
【００２３】そして、両ＡＮＤ回路３３，３４の出力は
ＯＲ回路３５に入力され、ＯＲ回路３５の出力が原点信
号となる。The outputs of the AND circuits 33 and 34 are input to the OR circuit 35, and the output of the OR circuit 35 becomes the origin signal.
【００２４】次に、以上の構成における作用を図３のタ
イミングチャートを用いて説明する。なお、図１に示す
通り、磁石１７は原点マークを選択している。 （１）右送り時 検出ヘッド１８に対してスケール１０を右に移動させ
る。原点マーク信号は…，，の順に出力される。
磁石１７のＳ極が検出ヘッド１８のＳ極ホール素子２６
に接近すると、原点マーク信号，の間で、Ｓ極ホー
ル素子２６は信号を出力する。この出力により、ラッチ
回路３１はラッチ信号を出力する。このラッチ信号は原
点マーク信号の立下りまで接続する。また、この間、
光電変換素子２３，２４が出力するＡ相，Ｂ相信号によ
り、方向判定回路３０はスケール１０の移動方向を判定
し、右送り信号を出力している。Next, the operation of the above configuration will be described with reference to the timing chart of FIG. As shown in FIG. 1, the magnet 17 selects the origin mark. (1) Rightward feeding The scale 10 is moved to the right with respect to the detection head 18. The origin mark signal is output in this order.
The S pole of the magnet 17 is the S pole Hall element 26 of the detection head 18.
When approaching to, the S pole Hall element 26 outputs a signal between the origin mark signals. With this output, the latch circuit 31 outputs a latch signal. This latch signal is connected until the trailing edge of the origin mark signal. Also, during this time,
The direction determination circuit 30 determines the moving direction of the scale 10 based on the A-phase and B-phase signals output from the photoelectric conversion elements 23 and 24, and outputs a right feed signal.
【００２５】そして、ＡＮＤ回路３３は、ラッチ中に右
送りで原点マーク信号がＯＮとなった時のみ原点信号
を出力し、同時にラッチを解除する。ラッチ中に左送り
となって原点マークがＯＮとなった時はこのラッチ信
号をＯＦＦとし、原点信号を出力しないようにし、誤動
作を防止している。Then, the AND circuit 33 outputs the origin signal only when the origin mark signal is turned ON during rightward feeding during latching, and simultaneously releases the latch. When the feed is to the left during latching and the origin mark is turned on, this latch signal is turned off so that the origin signal is not output to prevent malfunction.
【００２６】（２）左送り時 検出ヘッド１８に対してスケール１０を左に移動させ
る。原点マーク信号は…，，の順に出力される。
磁石１７のＮ極が検出ヘッド１８のＮ極ホール素子２５
に接近すると、原点マーク信号が出力される前にＮ極
ホール素子２５は信号を出力する。この出力により、ラ
ッチ回路３２はラッチ信号を出力する。このラッチ信号
は原点マーク信号の立下りまで接続する。この間、光
電変換素子２３，２４が出力するＡ相，Ｂ相信号によ
り、方向判定回路３０はスケール１０の移動方向を判定
し、左送り信号を出力している。(2) Leftward feeding The scale 10 is moved to the left with respect to the detection head 18. The origin mark signal is output in this order.
The N pole of the magnet 17 is the N pole Hall element 25 of the detection head 18.
Approaching, the N-pole Hall element 25 outputs a signal before the origin mark signal is output. With this output, the latch circuit 32 outputs a latch signal. This latch signal is connected until the trailing edge of the origin mark signal. During this time, the direction determination circuit 30 determines the moving direction of the scale 10 based on the A-phase and B-phase signals output from the photoelectric conversion elements 23 and 24, and outputs the left feed signal.
【００２７】そして、ＡＮＤ回路３４は、ラッチ中に左
送りで原点マーク信号がＯＮとなった時のみ原点信号
を出力し、同時にラッチを解除する。ラッチ中に右送り
となって原点マーク信号がＯＮとなった時はこのラッ
チ信号をＯＦＦとし、原点信号を出力しないようにし、
誤動作を防止している。Then, the AND circuit 34 outputs the origin signal only when the origin mark signal is turned ON by the left feed during latching, and simultaneously releases the latch. If the origin mark signal is turned on by right-feeding during latching, turn off this latch signal so that the origin signal is not output.
Prevents malfunction.
【００２８】[0028]
【考案の効果】本考案によれば、複数設けた原点マーク
のうち任意の原点に磁石を配設し、これを検出ヘッドの
ホール素子で検出している。従って本考案によれば、測
長装置における原点の位置と個数が選択可能となり、機
械等に取付けた後にも原点位置の変更を容易に行なうこ
とができる。このため、スケール本体の種類を増やす必
要がなく、一種類でユーザーのあらゆる要望に応えるこ
とができ、管理・メンテナンスの手間が簡素化される。According to the present invention, a magnet is arranged at an arbitrary origin among a plurality of origin marks, and this is detected by the Hall element of the detection head. Therefore, according to the present invention, the position and the number of the origin in the length measuring device can be selected, and the origin position can be easily changed even after being attached to a machine or the like. For this reason, it is not necessary to increase the number of types of scale bodies, and one type can meet all the user's wishes, and management and maintenance work is simplified.
【図１】一実施例の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment.
【図２】一実施例における信号処理機能を示すブロック
図である。FIG. 2 is a block diagram showing a signal processing function in one embodiment.
【図３】一実施例の作動時に出力される信号のタイミン
グ図である。FIG. 3 is a timing diagram of signals output during operation of one embodiment.
【図４】従来の測長装置の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a conventional length measuring device.
【図５】従来の測長装置における原点検出の原理を示す
図である。FIG. 5 is a diagram showing a principle of origin detection in a conventional length measuring device.
【図６】従来の測長装置における原点検出の原理を示す
図である。FIG. 6 is a diagram showing a principle of origin detection in a conventional length measuring device.
１０ スケール １１ 測定用目盛 １２ 原点マーク １７ 永久磁石（磁石） １８ 検出ヘッド １９ 光源としてのＬＥＤ ２０ 原点検出手段としての原点検出スリット ２１ 原点検出手段としての光電変換素子 ２２ 測定用スリット ２３，２４ 光電変換素子 ２５ Ｎ極ホール素子 ２６ Ｓ極ホール素子 ３０ 方向判定回路 ３１，３２ ラッチ回路 ３３，３４ 原点判定回路としてのＡＮＤ回路 10 scale 11 measuring scale 12 origin mark 17 permanent magnet (magnet) 18 detection head 19 LED as light source 20 origin detection slit as origin detection means 21 photoelectric conversion element as origin detection means 22 measurement slit 23, 24 photoelectric conversion Element 25 N-pole Hall element 26 S-pole Hall element 30 Direction determination circuit 31, 32 Latch circuit 33, 34 AND circuit as origin determination circuit
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|---|---|---|---|
| JP972392UJPH0755458Y2 (en) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | Length measuring device |
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| JP972392UJPH0755458Y2 (en) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | Length measuring device |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0614907U (en) | 1994-02-25 |
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
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