【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場、精密機械
工場、薬品工場、食品工場などの製造・検査工程などで
用いられるクリーンルームに関し、特に高清浄空間に他
の領域から塵埃が流入するのを防止したクリーンルーム
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room used in a manufacturing / inspection process such as a semiconductor factory, a precision machine factory, a chemical factory, a food factory, etc., and particularly, dust is introduced into a highly clean space from other areas. Related to a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、各種の産業においてクリーンルー
ムの要求が高まっているが、室内で局所的に高い清浄度
が要求され、その清浄度を維持するには以下に述べるよ
うな手段が採用されている。2. Description of the Related Art Recently, the demand for a clean room is increasing in various industries, but a high cleanliness is required locally in the room, and the following means are used to maintain the cleanliness. There is.
【０００３】第一の方法は、室内全体を要求される最も
高い清浄度に合わせたクリーンルームとする。第二の方
法は、室内の高清浄域を壁で仕切って区画する。第三の
方法は、室内の高清浄域の天井部にクリーンフードを設
置したクリーントンネル方式とする。第四の方法は、室
内の高清浄域にクリーンブースまたはクリーンベンチを
設置する。第五の方法は、特公平５−７９８８７号に記
載されるように通路域のダウンフロー気流を強くする。The first method is to make the entire room a clean room which meets the highest required cleanliness. The second method is to partition the highly clean area in the room by separating it with a wall. The third method is a clean tunnel method in which a clean hood is installed on the ceiling of a highly clean area in the room. The fourth method is to install a clean booth or clean bench in a highly clean area inside the room. The fifth method strengthens the downflow airflow in the passage area as described in Japanese Patent Publication No. 5-79887.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術では以下のような問題点がある。まず、第一
の方法では、クリーンルーム全体の清浄循環空気量が多
くなり、設備費、運転費とも高価となる。また、第二の
方法では、作業性、メンテナンス性が悪く、製造装置の
ライン変更への対応が容易でない。However, the above-mentioned conventional techniques have the following problems. First, in the first method, the amount of clean circulating air in the entire clean room is large, and the equipment cost and operating cost are high. Further, in the second method, workability and maintainability are poor, and it is not easy to cope with line changes of the manufacturing apparatus.
【０００５】第三の方法では、第二の方法同様に製造装
置のライン変更への対応が容易でないという問題があ
る。また、第四の方法では、設備費が高価となるととも
に、製造装置のライン変更への対応が容易でない。As with the second method, the third method has a problem that it is not easy to cope with a line change of the manufacturing apparatus. In addition, in the fourth method, the equipment cost is high, and it is not easy to cope with a change in the line of the manufacturing apparatus.
【０００６】第五の方法では、一般に現実のクリーンル
ームでは作業領域よりも通路面積の方が広いので、通路
域全面の吹出し風速を速くすると、運転費が高価とな
る。また、作業者および作業台が同風速域内（作業域）
に位置することから、作業者の動作により発塵の拡散が
防止できないという問題がある。In the fifth method, since the passage area is generally larger than the working area in an actual clean room, if the blowing air velocity over the entire passage area is increased, the operating cost becomes expensive. In addition, the worker and workbench are in the same wind speed range (working area)
Since it is located at, there is a problem that the diffusion of dust particles cannot be prevented by the operation of the operator.
【０００７】本発明は、作業性が良好であり、設備費が
安価となるとともに、製造装置のライン変更への対応が
容易であり、しかも作業・通路域で発生した塵埃が高清
浄域に流入することのないクリーンルームを提供するこ
とを目的としている。According to the present invention, the workability is good, the equipment cost is low, the line change of the manufacturing equipment is easy, and the dust generated in the work / passage area flows into the high clean area. The purpose is to provide a clean room that never does.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
は、室内に空気ゾーンにより高清浄域と低清浄域を形成
すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口をそれぞ
れ天井に備え、また床には床下の排気風路へ空気を吸い
込む吸入孔を形成し、かつ前記高清浄域と低清浄域との
境界部の天井に、境界用空気吹出口を設け、この境界用
空気吹出口からは、高清浄域への吹出し空気流よりも速
度の速い空気流で清浄空気が吹き出されるようにしたも
のとしてある。The clean room of the present invention is provided with a clean air outlet corresponding to each of these areas on the ceiling in order to form a high clean area and a low clean area by an air zone in the room, and a floor. Has a suction hole for sucking air into the exhaust air passage under the floor, and a boundary air outlet is provided on the ceiling of the boundary between the high clean area and the low clean area. The clean air is blown out by an air flow having a speed higher than that of the air flow blown to the high clean area.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。図１の構成図に、本発明によるクリーンルー
ムの一実施例を示す。また、図２はフィルタが設置され
た天井部の平面図である。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a clean room according to the present invention. In addition, FIG. 2 is a plan view of the ceiling portion where the filter is installed.
【００１０】これらの図で、クリーンルーム内には、プ
ロセスエリアＡ、作業・通路域（ワーキングエリア）Ｂ
が空気ゾーンにて形成され、プロセスエリアＡと作業・
通路域Ｂ間には境界域Ｃが設けられている。これら３つ
の領域に対応する天井１はシステム天井となっており、
床３は吸入口を有するグレーチングのレイズドフロアと
してあり、清浄空気は天井１から吹き出され、床下風路
３ａに吸い込まれて、適宜排気されるクリームルーム方
式となっている。In these figures, the process area A and the work / passage area (working area) B are shown in the clean room.
Are formed in the air zone and work with process area A
A boundary area C is provided between the passage areas B. The ceiling 1 corresponding to these three areas is a system ceiling,
The floor 3 is a raised floor with a grating having an intake port, and clean air is of a cream room type in which clean air is blown out from the ceiling 1, sucked into the underfloor air passage 3a, and appropriately discharged.
【００１１】プロセスエリアＡは、高清浄域であり、こ
のプロセスエリアＡに対応する天井１には高性能フィル
タ２ａが全面に装着されている。このプロセスエリアＡ
の天井面からは、清浄空気を矢印のように下向きに層流
状に吹き出しており、清浄度は例えばクラス１００
（０．１μの塵）に保持されており、符号４は製造装置
を示す。The process area A is a highly clean area, and the high performance filter 2a is mounted on the entire surface of the ceiling 1 corresponding to the process area A. This process area A
Clean air is blown downward in a laminar manner as shown by the arrow from the ceiling surface of, and the cleanliness is, for example, class 100.
It is held in (0.1 μ dust), and reference numeral 4 indicates a manufacturing apparatus.
【００１２】作業・通路域Ｂは、作業員５が作業をした
り、歩行したり、資材を搬送したり、ロボット６が作業
する低清浄域であり、この作業・通路域Ｂに対応する天
井１には標準の高性能フィルタ２ｂが例えば５０％装着
されている。この領域の清浄度は例えばクラス１０００
（０．１μの塵）に保持されており、符号２ｄは盲パネ
ルを示す。The work / passage area B is a low clean area where the worker 5 works, walks, conveys materials, and the robot 6 works, and the ceiling corresponding to the work / passage area B For example, a standard high-performance filter 2b is attached to 1 for 50%. The cleanliness of this area is, for example, class 1000
It is held in (0.1 μ dust), reference numeral 2d indicates a blind panel.
【００１３】また、プロセスエリアＡに近接する境界域
Ｃには、天井１から例えば３００ｍｍ〜５００ｍｍの長
さの垂れ壁７が設けられている。この境界域Ｃに対応し
て天井１に装着される高性能フィルタ２ｃは、単位面積
当りの濾紙面積を多くし、濾紙を通過する空気の抵抗を
少なくしている。In the boundary area C close to the process area A, a hanging wall 7 having a length of, for example, 300 mm to 500 mm from the ceiling 1 is provided. The high-performance filter 2c mounted on the ceiling 1 corresponding to the boundary area C has a large filter paper area per unit area and reduces the resistance of air passing through the filter paper.
【００１４】プロセスエリアＡと作業・通路域Ｂの境界
域Ｃの天井１の吹出口１ａにこのようなフィルタ２ｃを
配したことにより、吹出し風速は例えば０．４ｍ／ｓに
設定され、プロセスエリアＡの風速より若干速い鉛直下
向きの清浄空気（ダウンフロー気流）を境界域Ｃ内に層
流状に吹き出すことができる。By arranging such a filter 2c at the outlet 1a of the ceiling 1 in the boundary area C between the process area A and the work / passage area B, the blowing air velocity is set to 0.4 m / s, for example. Vertically downward clean air (downflow airflow) slightly higher than the wind speed of A can be blown into the boundary region C in a laminar flow manner.
【００１５】ここで、プロセスエリアＡの吹出し風速は
例えば０．３ｍ／ｓに設定され、作業・通路域Ｂの吹出
し風速はフィルタ２ｂが５０％装着されていることで、
０．１５ｍ／ｓに設定されている。Here, the blowing air velocity in the process area A is set to, for example, 0.3 m / s, and the blowing air velocity in the work / passage area B is 50% with the filter 2b attached.
It is set to 0.15 m / s.
【００１６】なお、プロセスエリアＡ、作業・通路域
Ｂ、境界域Ｃの３つの領域の吹出し風速を設定するため
のフィルタを設ける方法としては、１つのフィルタ枠内
に圧力損失の異なる濾材を組み込むことにより実現で
き、各領域の天井に所定の風速で吹き出される吹出口を
形成できる。As a method of providing a filter for setting the blowing wind speed in the three areas of the process area A, the work / passage area B, and the boundary area C, filter media having different pressure losses are incorporated in one filter frame. This can be realized, and an outlet for blowing out at a predetermined wind speed can be formed on the ceiling of each area.
【００１７】このように本発明のクリーンルームでは、
プロセスエリアＡと作業・通路域Ｂの境界域Ｃの天井１
に垂れ壁７を設けるとともに、プロセスエリアＡ側の吹
出し気流よりも若干速い鉛直下向きの清浄空気を境界域
Ｃに天井の吹出口１ａか吹き出すようにしたので、図３
および図４に示す気流のシミュレーション図のように、
作業・通路域Ｂでロボット６や作業者５が作業をして
も、作業・通路域Ｂでの気流の乱れは高清浄域のプロセ
スエリアＡに達する前に境界域Ｃでの強いダウンフロー
気流（エアカーテン）で遮ぎられてしまうため、作業・
通路域Ｂで発生した塵埃が、プロセスエリアＡに回り込
むのを防止することができる。なお、境界域Ｃに対し
て、境界流に接して作業台を設置することにより最良の
性能を発揮することが可能となる。As described above, in the clean room of the present invention,
Ceiling 1 at the boundary area C between the process area A and the work / passage area B
As shown in FIG. 3, the hanging wall 7 is provided on the ceiling, and the vertically downward clean air, which is slightly faster than the air flow on the process area A side, is blown to the boundary area C from the ceiling outlet 1a.
And as shown in the simulation diagram of the air flow shown in FIG.
Even if the robot 6 or the worker 5 works in the work / passage area B, the turbulence of the air flow in the work / passage area B is strong downflow air flow in the boundary area C before reaching the process area A in the highly clean area. Because it is blocked by (air curtain), work
It is possible to prevent dust generated in the passage area B from flowing into the process area A. It is possible to achieve the best performance by installing the work table in the boundary area C in contact with the boundary flow.
【００１８】図５および図６は、境界域Ｃの天井に垂れ
壁がなく、天井からダウンフロー気流（エアカーテン）
が吹き出されていない場合の気流のシミュレーション図
であり、図３および図４に比べて気流の乱れが現われて
いるとともに、作業・通路域Ｂからの塵埃がプロセスエ
リアＡに流入する状態が分かる。In FIGS. 5 and 6, the ceiling in the boundary area C has no hanging wall, and the downflow air flow (air curtain) from the ceiling.
FIG. 5 is a simulation diagram of an air flow in the case where the air is not blown out. It can be seen that turbulence of the air flow appears as compared with FIGS. 3 and 4 and that dust from the work / passage area B flows into the process area A.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば高
清浄域のプロセスエリアと低清浄域の作業域・通路域と
の境界域の天井にプロセスエリア側よりも速い鉛直下向
きの清浄空気を層流状に吹き出すようにしたので、作業
域・通路域で発生した塵埃がプロセスエリア側に侵入す
るのを防止できる。As described above, according to the present invention, the vertically downward clean air that is faster than the process area side is provided on the ceiling of the boundary area between the high clean area process area and the low clean area work area / passage area. Since it is blown out in a laminar flow, it is possible to prevent dust generated in the work area / passage area from entering the process area side.
【００２０】また、通路域の天井全面から鉛直下向きの
清浄空気を層流状に吹き出す場合に比べて、運転費が安
価となるとともに、通路域からの塵埃の回り込みを防止
できるという利点がある。Further, as compared with the case where the vertically downward clean air is blown out in a laminar flow from the entire ceiling of the passage area, there are advantages that the operating cost is low and that the dust can be prevented from flowing from the passage area.
【００２１】また、従来のように高清浄域を壁で間仕切
ったり、クリーンブースを設置するのとは異なり、設備
費を安価にできるとともに、製造装置のライン変更への
対応が容易という利点がある。Further, unlike the conventional method of partitioning a highly clean area with a wall or installing a clean booth, there is an advantage that the facility cost can be reduced and the change of the production equipment line can be easily performed. is there.
【図１】本発明によるクリーンルームの一実施例を示す
構成図。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a clean room according to the present invention.
【図２】図１のクリーンルームの平面図。FIG. 2 is a plan view of the clean room shown in FIG.
【図３】上記クリーンルームにロボットを配置したとき
気流の流れを示すシミュレーション図。FIG. 3 is a simulation diagram showing the flow of airflow when a robot is placed in the clean room.
【図４】上記クリーンルームで作業員が作業中のときの
気流の流れを示すシミュレーション図。FIG. 4 is a simulation diagram showing the flow of airflow when a worker is working in the clean room.
【図５】従来のクリーンルームにロボットを配置したと
き気流の流れを示すシミュレーション図。FIG. 5 is a simulation diagram showing the flow of airflow when a robot is arranged in a conventional clean room.
【図６】従来のクリーンルームで作業員が作業中のとき
の気流の流れを示すシミュレーション図。FIG. 6 is a simulation diagram showing the flow of airflow when a worker is working in a conventional clean room.
１ 天井 １ａ 吹出口 ２ａ、２ｂ 高性能フィルタ ２ｃ 低抵抗の高性能フィルタ ２ｄ 盲パネル ３ 床 ３ａ 風路 ４ 製造装置 ５ 作業員 ６ ロボット ７ 垂れ壁 Ａ プロセスエリア Ｂ 作業域・通路域 Ｃ 境界域 1 Ceiling 1a Air outlet 2a, 2b High-performance filter 2c Low-resistance high-performance filter 2d Blind panel 3 Floor 3a Airway 4 Manufacturing equipment 5 Workers 6 Robot 7 Hanging wall A Process area B Working area / Aisle area C Boundary area
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12822194AJPH07310941A (en) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | Clean room |
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP12822194AJPH07310941A (en) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | Clean room |
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| JPH07310941Atrue JPH07310941A (en) | 1995-11-28 |
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| JP12822194APendingJPH07310941A (en) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | Clean room |
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