【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は端面加工方法に関し、特にインクジェット記録
ヘッド等においてヒータボードを形成する５１等の基板
と、天板を形成する樹脂等との異質な素材で構成される
積層体の端面を加工する端面加工方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to an end face processing method, and in particular to a method for processing an end face, and in particular, processing of different materials such as a substrate such as 51 forming a heater board and a resin forming a top plate in an inkjet recording head or the like. The present invention relates to an end face processing method for processing the end face of a laminate made of raw materials.
［従来の技術］上述したインクジェット記録装置としては、三重素子の
変形により液流路内に圧力変化を発生させて微小液滴を
吐出させるもの、あるいは更に一対の電極を設けて、こ
れにより液滴を偏向して吐出させるものが知られている
。また液路内に配設した発熱素子を急激に発熱させるこ
とによって気泡を生ぜしめ、その気泡の発生によって吐
出口から液滴を吐出させるもの等が種々提案されてきた
。[Prior Art] The above-mentioned inkjet recording apparatuses include those that eject minute droplets by generating a pressure change in a liquid flow path by deforming a triple element, or those that eject minute droplets by further providing a pair of electrodes. There are known devices that deflect and eject. Furthermore, various proposals have been made in which bubbles are generated by rapidly generating heat from a heating element disposed in the liquid path, and droplets are ejected from the ejection port by the generation of the bubbles.
これらの中でも、熱エネルギーを利用して記録液を吐出
する方式に係るインクジェット記録ヘッドは、記録用の
液滴を吐出して飛ｙ■用液滴を形成するためのオリフィ
ス等の液体吐出口（以下オリフィスともいう）を高密度
に配列することができるために高解像力の記録をするこ
とが可能であること、記録ヘッドとして全体的コンパク
ト化も容易であること、最近の半導体分野における技術
の進歩と信頼性の向上が著しいＩＣ技術やマイクロ加工
技術の長所を十二分に活用でき、長尺化および面状化（
２次元化）が容易であること等により、マルチノズル化
および高密度実装化が容易で、しかも大量生産時の生産
性が良く製造費用も廉価にできるものとして特に注目さ
れている。Among these, inkjet recording heads that eject recording liquid using thermal energy have liquid ejection ports (such as orifices) for ejecting recording liquid droplets to form flying droplets. (hereinafter also referred to as orifices) can be arranged at high density, making it possible to perform high-resolution recording; making the overall recording head more compact; and recent technological advances in the semiconductor field. It is possible to take full advantage of the advantages of IC technology and micro-processing technology, which have significantly improved reliability.
It is attracting particular attention because it is easy to make multi-nozzles and high-density packaging, and also has good productivity and low manufacturing costs during mass production.
このような記録ヘッドにおけるヒータボードと天板との
積層体の模式図を第４図に示す。FIG. 4 shows a schematic diagram of a laminated body of a heater board and a top plate in such a recording head.
図において、１００はＳ、で形成されるヒータボードで
あり、その上面には吐出エネルギー発生素子としての電
気熱変換体およびその電気配線部がバターニングされて
いる。４００はヒータボード１００と接着剤等によって
接合する天板であり、ボソエーテルサルフォン等の樹脂
を射出成形することによって形成される。天板４００は
ヒータボード１００との接合によってインク路を形成す
る複数のインク路？ｆｔ４ｏｔを有し、このインク路溝
４０１の各々はオリフィスプレート４０のオリフィス４
１にそれぞれ連通する。また、天板４００は流入したイ
ンクを貯留するとともに各インク路に連通す共通液室を
有する。In the figure, 100 is a heater board made of S, and an electrothermal transducer as an ejection energy generating element and its electrical wiring portion are patterned on the upper surface. A top plate 400 is joined to the heater board 100 with an adhesive or the like, and is formed by injection molding a resin such as bosoether sulfone. Does the top plate 400 form a plurality of ink paths by joining with the heater board 100? ft4ot, and each of the ink passage grooves 401 corresponds to the orifice 4 of the orifice plate 40.
1, respectively. Further, the top plate 400 stores the ink that has flowed in and has a common liquid chamber that communicates with each ink path.
上述したように、インクジェット記録ヘッドにおいては
ヒータボードと天板とが積層をなす。なお、上記オリフ
ィスプレート４０は、記録ヘッドの構成に用いられる場
合と、そうでない場合がある。As described above, in the inkjet recording head, the heater board and the top plate are laminated. Note that the orifice plate 40 may or may not be used in the configuration of the recording head.
［発明が解決しようとする課題］しかしながら、上述した従来例には以下に示すような問
題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned conventional example has the following problems.
射出成形によって形成された天板は一般にエツジ部がア
ール状をなし、インク吐出特性上悪影営をおよぼす場合
がある。A top plate formed by injection molding generally has rounded edges, which may adversely affect ink ejection characteristics.
第５図は、射出成形による樹脂製天板を用い、かつオリ
フィスプレートを有さないインクジェット記録ヘッドの
模式図である。この場合、同図４１０に示すように、イ
ンク路溝４０１の端部であるインク吐出口のエツジ部が
アール状をなすため、インク液滴が形成される過程、と
りわけインク液滴がメニスカスから離脱する過程の幾何
学的非対称性によってインク液滴の直進性が損なわれ、
その結果として記録される画像の品位を低下させる場合
があった。FIG. 5 is a schematic diagram of an inkjet recording head that uses an injection molded resin top plate and does not have an orifice plate. In this case, as shown in FIG. 410, since the edge of the ink ejection port, which is the end of the ink path groove 401, is rounded, the process of ink droplet formation, especially when the ink droplet separates from the meniscus. The geometric asymmetry of the process impairs the straightness of the ink droplet,
As a result, the quality of the recorded image may be degraded.
これに対して射出成形による樹脂製天板のエツジにおけ
るアール部分を、ダイシングソーで削ることにより除去
することは可能であるが、この加工の歩留りが悪いため
、記録ヘッドのコストに悪影響を及ぼすことが考えられ
る。On the other hand, it is possible to remove the rounded edges of the injection-molded resin top plate by cutting it with a dicing saw, but this processing has a low yield and has a negative impact on the cost of the recording head. is possible.
また、従来の天板とヒータボードとの接合は、自動接合
機によって位置合せを行ない、その後接合する方法をと
っているが、この場合吐出口前面における±５μｍ程度
の前後ずれが生ずる場合があり、これによってもインク
吐出に悪影響をおよぼす。In addition, the conventional method of joining the top plate and heater board is to align them using an automatic joining machine and then join them, but in this case, there may be a back-and-forth deviation of about ±5 μm in front of the discharge port. , this also adversely affects ink ejection.
第６図は上述した前後ずれの様子を模式的に示したもの
である。同図において１０１はインク吐出のための吐出
エネルギー発生素子としての電気熱変換体、８は吐出さ
れたインク液滴である。この図から明らかなように、吐
出口前面において、天板４００の方がヒータボード１０
０よりも突出している場合、第５図において上述したの
と同様の理由でインク液滴は上方に偏向して吐出される
。このように、吐出口前面における天板とヒータボード
との段差のためにインク液滴の直進性が損なわれ、記録
画像の品位が低下する。FIG. 6 schematically shows the state of the above-mentioned front-to-back displacement. In the figure, 101 is an electrothermal converter as an ejection energy generating element for ejecting ink, and 8 is an ejected ink droplet. As is clear from this figure, in front of the discharge port, the top plate 400 is closer to the heater board 10.
If the ink droplet protrudes more than 0, the ink droplet is deflected upward and ejected for the same reason as described above in FIG. As described above, the level difference between the top plate and the heater board in front of the ejection ports impairs the straightness of the ink droplets, resulting in a decrease in the quality of the recorded image.
因に、吐出口前面における天板とヒータボードとの段差
がない記録ヘッドは、自動接合機によって製造されるヘ
ッドの総数の半数程度であり、段差のない記録ヘッドの
みを良品とすれば記録ヘッドのコストに悪影響を与える
。Incidentally, the number of recording heads that do not have a level difference between the top plate and the heater board in front of the ejection port is about half of the total number of heads manufactured by automatic bonding machines, and if only the recording heads that do not have a level difference are considered to be good, then the number of recording heads adversely affect the cost of
さらに、オリフィスプレートを具える記録ヘッドの吐出
前面において天板とヒータボードとの段差があると、オ
リフィスプレートを貼付ける過程で第７図の１１０に示
すようなすき間ができてしまい、オリフィスプレートの
はがれの原因となる。Furthermore, if there is a step between the top plate and the heater board on the ejection front surface of a recording head equipped with an orifice plate, a gap as shown at 110 in FIG. 7 will be created during the process of attaching the orifice plate. This may cause peeling.
事実、このような記録ヘッドによる記録を続けるとその
途中でオリフィスプレートのはがれに起因する吐出不良
を生じる場合がある。In fact, if such a recording head continues recording, ejection failure may occur due to peeling of the orifice plate during the recording process.
また、一般に樹脂成形品は、成形後、熱、水分の吸収に
より変形する。このため、この成形した部品を二次加工
する場合基準面が定まらない等の問題がある。Furthermore, resin molded products generally deform due to absorption of heat and moisture after molding. For this reason, when performing secondary processing on this molded part, there are problems such as the reference plane being undefined.
本発明は上述した従来の問題点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところはインクジェット記録ヘッ
ドのインク吐出口面のような、異なる素材による積層体
の端面において天板等の一方の部材がヒータボード等の
他方の部材に対して突出するように接合して積極的に段
差を生ぜしめ、その後エキシマレーザ光で突出部を除去
することにより積層される部材間の段差を無くし、かつ
これによりエツジのアール部を除去することをも可能と
した端面加工方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to remove one side of a top plate or the like at the end face of a laminate made of different materials, such as the ink ejection orifice face of an inkjet recording head. A member is joined so as to protrude from another member, such as a heater board, to actively create a step, and then the protruding portion is removed using excimer laser light to eliminate the step between stacked members, and The object of the present invention is to provide an end face processing method that also makes it possible to remove the rounded portion of the edge.
［課題を解決するための手段］そのために本発明ではエキシマレーザ光によって加工さ
れ得る部材と加工され得ない部材とを、加工され得る部
材を加工され得ない部材より突出させて接合し、当該接
合によって突出した部材をエキシマレーザ光の照射によ
って除去することを特徴とする。[Means for Solving the Problem] To achieve this, in the present invention, a member that can be processed and a member that cannot be processed by excimer laser light are joined together with the member that can be processed protruding from the member that cannot be processed. The feature is that the protruding member is removed by irradiation with excimer laser light.
［作 用］以上の構成によれば、吐出部がエキシマレーザ−光によ
って除去されることにより、２つの部材間の段差が解消
され均一な端面となる。[Function] According to the above configuration, the discharge portion is removed by excimer laser light, thereby eliminating the step difference between the two members and providing a uniform end face.
［実施例］以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。[Example]Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図（＾）および（Ｂ）は、本発明の一実施例に係る
インクジェット記録ヘッドを示し、インク供給源たるイ
ンク収容部を一体としたディスポーザブルタイプのもの
としである。FIGS. 1(^) and 1(B) show an inkjet recording head according to an embodiment of the present invention, which is a disposable type in which an ink storage section serving as an ink supply source is integrated.
同図（Ａ） において、１００はＳｉ基板上に電気熱変
換体（吐出ヒータ）と、これに電力を供給するＡＩｌ等
の配線とが成膜技術により形成されて成るヒータボード
である。２００はヒータボード１００に対する配線基板
であり、対応する配線は例えばワイヤボンディングによ
り接続される。In the figure (A), reference numeral 100 denotes a heater board in which an electrothermal converter (discharge heater) and wiring such as AIL for supplying electric power to the converter are formed on a Si substrate by film-forming technology. Reference numeral 200 is a wiring board for the heater board 100, and corresponding wiring is connected by wire bonding, for example.
４００はインク流路を限界するための隔壁や共通液室等
を設けた天板であり、ポリエーテルサルフォン等の樹脂
材料で成る。A top plate 400 is provided with a partition wall for limiting the ink flow path, a common liquid chamber, etc., and is made of a resin material such as polyether sulfone.
３００は例えば金属製の支持体、５００は押えばねであ
り、両者間にヒータボード１００および天板４００を挟
み込んだ状態で両者を係合させることにより、押えばね
５００の付勢力によってヒータボード１００と天板４０
０とを圧着固定する。なお、支持体３００は、配線基板
２００も貼着等により設けられるとともに、ヘッドの走
査を行うためのキャリッジへの取付は基準を有する。ま
た、支持体３００は駆動に伴って生じるヒータボード１
００の熱を放熱冷却する部材としても機能する。For example, 300 is a metal support, and 500 is a pressing spring. By sandwiching the heater board 100 and the top plate 400 between them and engaging them, the urging force of the pressing spring 500 causes the heater board 100 to Top plate 40
0 and fixed by crimping. Note that the support body 300 is provided with the wiring board 200 by adhesion or the like, and has a standard for attachment to a carriage for head scanning. In addition, the support body 300 is attached to the heater board 1 which is generated as a result of driving.
It also functions as a member that radiates and cools the heat of 00.
６００は供給タンクであり、インク供給源をなすインク
貯留部からインク供給を受け、ヒータボード１００と天
板４００との接合により形成される共通液室にインクを
導くサブタンクとして機能する。A supply tank 600 functions as a sub-tank that receives ink supply from an ink reservoir serving as an ink supply source and guides the ink to a common liquid chamber formed by joining the heater board 100 and the top plate 400.
７００は共通液室へのインク供給口付近の供給タンク６
００内の部位に配置されるフィルタ、８００は供給タン
ク６００の蓋部材である。700 is a supply tank 6 near the ink supply port to the common liquid chamber
The filter 800 is a lid member of the supply tank 600, which is disposed at a position inside the filter 00.
９００はインクを含浸させるための吸収体であり、カー
トリッジ本体１０００内に配置される。 １２００は上
記各部１００〜８００からなるユニットに対してインク
を供給するための供給口であり、当該ユニットをカート
リッジ本体１０００の部分１０１０に配置する前の工程
で供給口１２００よりインクを注入することにより吸収
体９００のインク含浸を行わせることができる。Reference numeral 900 denotes an absorber for impregnating ink, and is disposed within the cartridge body 1000. Reference numeral 1200 denotes a supply port for supplying ink to the unit consisting of the above-mentioned parts 100 to 800, and by injecting ink from the supply port 1200 in a step before placing the unit in the section 1010 of the cartridge main body 1000. The absorber 900 can be impregnated with ink.
１１００はカートリッジ本体の蓋部材、１４００はカー
トリッジ内部を大気に連通するために蓋部材に設けた大
気連通口である。１３００は大気連通口１４００の内方
に配置される撥液材であり、これにより大気連通口１４
００からのインク漏洩が防止される。1100 is a lid member of the cartridge main body, and 1400 is an atmosphere communication port provided in the lid member for communicating the inside of the cartridge with the atmosphere. Reference numeral 1300 denotes a liquid repellent material disposed inside the atmosphere communication port 1400, so that the atmosphere communication port 14
Ink leakage from 00 is prevented.
供給口１２００を介してのインク充填が終了すると、各
部１００〜８００よりなるユニットを部分１０１０に位
置付けて配設する。このときの位置決めないし固定は、
例えばカートリッジ本体１０００に設けた突起１０１２
と、これに対応して支持体３００に設けた穴３１２とを
嵌合させることにより行うことができ、これによって第
１図（Ｂ）のカートリッジが完成する。When the ink filling through the supply port 1200 is completed, the unit consisting of each part 100 to 800 is positioned and disposed in the part 1010. Positioning or fixing at this time is
For example, a protrusion 1012 provided on the cartridge body 1000
This can be done by fitting the holes 312 formed in the support body 300 corresponding thereto, thereby completing the cartridge shown in FIG. 1(B).
そして、インクはカートリッジ内部より供給口１２００
、支持体３００に設けた穴３２０および供給タンク６０
０の第１図（＾）中実面側に設けた導入口を介して供給
タンク６００内に供給され、その内部を通った後、導出
口より適宜の供給管および天板４００のインク導入口４
２０を介して共通液室内へと流入する。以上におけるイ
ンク連通用の接続部には、例えばシリコンゴムやブチル
ゴム等のパツキンが配設され、これによって封止が行わ
れてインク供給路が確保される。The ink is supplied from inside the cartridge through the supply port 1200.
, a hole 320 provided in the support 300 and a supply tank 60
Figure 1 of 0 (^) The ink is supplied into the supply tank 600 through the inlet provided on the solid surface side, and after passing through the inside, the ink is supplied from the outlet to an appropriate supply pipe and the ink inlet of the top plate 400. 4
20 into the common liquid chamber. A packing made of, for example, silicone rubber or butyl rubber is disposed at the above-mentioned connection portion for ink communication, and this seals the ink supply path to ensure an ink supply path.
以下、本発明の実施例として、第１図（＾）および（Ｂ
）に示したインクジェット記録ヘッドのインク吐出口面
において、天板４００をヒータボード１００より約２０
μｍはど前面に突出させた場合の突出による段差のエキ
シマレーザによる除去の態様を説明する。Below, as examples of the present invention, Figures 1 (^) and (B
) At the ink ejection orifice surface of the inkjet recording head shown in FIG.
The manner in which the excimer laser removes the step caused by the protrusion when the .mu.m diameter protrudes from the front surface will be explained.
第２図は本発明の実施例を示す模式図であり、同図にお
いて、４００および１００は第１図に示した天板および
ヒータボード、８は天板４００とヒータボード１００と
による積層構造の吐出口面を上方に向けて載置し、その
位置を変化させることのできる可動式ステージである。FIG. 2 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention, in which 400 and 100 are the top plate and heater board shown in FIG. It is a movable stage that can be placed with the ejection port facing upward and its position can be changed.
第１図において上述したように、天板４００はポリエー
テルサルフォンを射出成形して形成したものであり、ヒ
ータボード１００はＳＩ基板上にインク吐出のためのエ
ネルギー発生素子をパターンニングじたものである。こ
れらで形成される吐出口のサイズは４０Ｘ ４０μＩで
ある。As described above in FIG. 1, the top plate 400 is formed by injection molding polyether sulfone, and the heater board 100 is formed by patterning energy generating elements for ink ejection on an SI substrate. It is. The size of the ejection port formed by these is 40×40 μI.
突出部を除去するために用いられるレーザはハイパワー
の紫外光を射出可能なＫｒＦエキシマレーザを用いた。A KrF excimer laser capable of emitting high-power ultraviolet light was used as a laser to remove the protrusion.
このエキシマレーザは紫外光を発振可能なレーザであり
、高強度である、単色性が良い、指向性がある、短パル
ス発振できる、レンズで集光することでエネルギ密度を
非常に大きくできるなどの利点を有する。This excimer laser is a laser that can emit ultraviolet light.It has high intensity, good monochromaticity, directivity, can emit short pulses, and can greatly increase energy density by focusing it with a lens. has advantages.
エキシマレーザは希ガスとへロケンガスの混合気体を放
電励起することで、短パルス（１５〜３５ｎｓ）の紫外
光を発振できる装置であり、にｒＦＸｅｃｊＺ 、Ａｒ
Ｆレーザがよく用いられる。これらの発振エネルギは数
１００ａ＋Ｊ／パルス、パルス繰返し周波数は３０〜１
０００Ｈｚである。An excimer laser is a device that can oscillate short pulses (15 to 35 ns) of ultraviolet light by exciting a gas mixture of rare gas and helokene gas.
F lasers are often used. These oscillation energies are several 100a+J/pulse, and the pulse repetition frequency is 30 to 1
000Hz.
このエキシマレーザ光のような高輝度の短パルス紫外光
をポリマー樹脂表面に照射すると、照射部分が瞬間的に
プラズマ発光と衝磐音を件って分解、飛散するＡｂｌａ
ｔｉｖｅ Ｐｈｏｔｏｄｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ（Ａ
ＰＤ）過程が生じ、この過程によってポリマー樹脂の加
工が可能となる。When a polymer resin surface is irradiated with high-intensity short-pulse ultraviolet light such as excimer laser light, the irradiated area instantly decomposes and scatters with plasma emission and impact noise.
tive Photodecomposition (A
PD) process occurs, which allows processing of polymer resins.
このようにエキシマレーザによる加工精度と他のレーザ
によるそれとを比較した場合、例えばポリイミド（ＰＩ
）フィルムにエキシマレーザとしてのにｒＦレーザと、
他のＹＡＧレーザおよびＣ０２レーザを照射すると、Ｐ
Ｉの光を吸収する波長がＵｖ領領域あるため、にｒＦ
レーザによってきれいな穴が開くが、Ｕｖ領領域ないＹ
ＡＧレーザでは穴が開くもののエツジ面が荒れ、赤外線
であるＣＯ２レーザでは穴の周囲にクレータ−を生じて
しまう。In this way, when comparing the processing accuracy of excimer laser and that of other lasers, for example, polyimide (PI)
) rF laser as an excimer laser on the film,
When irradiated with other YAG laser and C02 laser, P
Since the wavelength that absorbs I light is in the Uv region, rF
A clean hole is made by the laser, but there is no UV region Y
The AG laser creates a hole, but the edge surface becomes rough, and the CO2 laser, which is an infrared ray, creates a crater around the hole.
また、ＳｕＳ等の金属、不透明なセラミックス。Also, metals such as SuS, and opaque ceramics.
Ｓｔ等は大気の雰囲気において、エキシマレーザ光の照
射によって影響を受けないため、エキシマレーザによる
加工におけるマスク材として用いることができる。Since St and the like are not affected by excimer laser light irradiation in the atmosphere, they can be used as a mask material in excimer laser processing.
第２図に示すように、エキシマレーザｌＯから射出され
たレーザビーム１２はｆ値５００ｍｍのレンズ１１で集
光される。また、天板４００とヒータボード１００の積
層体はレンズ１１から３００ｍｍのところで、かつヒー
タボード１００が発振器１０側になるよう配置される。As shown in FIG. 2, a laser beam 12 emitted from an excimer laser IO is focused by a lens 11 with an f-number of 500 mm. Further, the stacked body of the top plate 400 and the heater board 100 is arranged at a distance of 300 mm from the lens 11, with the heater board 100 facing the oscillator 10.
このような配置において、レーザービーム１２が上記積
層体を照射すると、ヒータボード１００のレーザビーム
に１２に照射される部分は、ヒータボード１００を形成
するＳｌがエキシマレーザによって何ら影響を受けない
という理由でマスクとしての機能を果し、樹脂で形成さ
れる天板４００の突出部４１０のみがエキシマレーザに
よって除去される。なお、上述のエキシマレーザの照射
は大気中で行なフた。In such an arrangement, when the laser beam 12 irradiates the laminated body, the portion of the heater board 100 that is irradiated with the laser beam 12 is because the Sl forming the heater board 100 is not affected in any way by the excimer laser. Only the protrusion 410 of the top plate 400, which functions as a mask and is made of resin, is removed by the excimer laser. Note that the excimer laser irradiation described above was performed in the atmosphere.
以上のようにして製造されたインクジェット記録ヘッド
は、そのインク吐出口面における天板とヒータボードと
の段差のサイズは±０μｍのオーダーであり、また、レ
ーザによる加工面も非常にきれいなものとなる。In the inkjet recording head manufactured as described above, the step size between the top plate and the heater board on the ink ejection orifice surface is on the order of ±0 μm, and the surface processed by the laser is also very clean. .
第３図は本発明の他の実施例を示す模式図であり、同図
において第２図に示したのと同様の要素には、同一の符
号を付してその説明は省略する。FIG. 3 is a schematic diagram showing another embodiment of the present invention, and in this figure, the same elements as shown in FIG. 2 are given the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted.
９はへ１製のマスクであり、レンズ１１と加工される記
録ヘッドの間に配置される。加工されるインクジェット
記録ヘッドは第２図に示した実施例と同様のものである
が、天板４００がレーザ１０側になるよう配置される。Reference numeral 9 denotes a mask made of Helmet, which is placed between the lens 11 and the recording head to be processed. The inkjet recording head to be processed is similar to the embodiment shown in FIG. 2, but is arranged so that the top plate 400 is on the laser 10 side.
本実施例では、マスクとしてヒータボード１００を兼用
する代わりに、エツジを有するアルミニウム製の板（厚
さ１ ｍｍ）をマスクとして用いた。また、第２図に示
したのと同様、にｒＦエキシマレーザビームをｆ値５０
０ｍｍのレンズ１１で集光し、レンズ１１から３００ｍ
ｍの位置に加工されるインクジェット記録ヘッド（ヒー
タボード１００ と天板４００との積層体）を置いた。In this example, instead of using the heater board 100 as a mask, an aluminum plate (1 mm thick) having edges was used as a mask. In addition, as shown in Fig. 2, an rF excimer laser beam with an f value of 50
0mm lens 11 focuses the light, and from lens 11 300m
An inkjet recording head to be processed (a stacked body of a heater board 100 and a top plate 400) was placed at a position of m.
本例ではレーザビーム１２は天板４００の側からマスク
を介して照射し、天板の突出部４１０がこの照射によっ
て除去される。In this example, the laser beam 12 is irradiated from the top plate 400 side through a mask, and the protrusion 410 of the top plate is removed by this irradiation.
このような加工によって、インクジェット記録ヘッドの
インク吐出口面における天板４００とヒータボード１０
０との段差の寸法は±３μＩの範囲にある。前例におけ
る加工後の段差の寸法は±０μｍの範囲であるのに対し
、本例で±３μｍとなっているのは、第３図に示すアル
ミニウムのマスク９と、加工されるインクジェット記録
ヘッドの位置合せの精度によるものである。しかしなが
ら、本例の加工による記録ヘッドを用いた記録を行なっ
た場合、従来のインクジェット記録ヘッドによる記録に
比べて記録画像の品位は明らかに良くなった。Through such processing, the top plate 400 and the heater board 10 on the ink ejection orifice surface of the inkjet recording head are
The dimension of the step difference from 0 is in the range of ±3 μI. While the dimension of the step after processing in the previous example was in the range of ±0 μm, in this example it was ±3 μm due to the position of the aluminum mask 9 and the inkjet recording head to be processed as shown in FIG. This is due to the precision of the alignment. However, when printing was performed using the printing head processed in this example, the quality of the printed image was clearly improved compared to printing using the conventional inkjet printing head.
なお、上述の２つの実施例では、端面を水平に加工する
例を示したが本発明の適用はこれらに限られず、レーザ
ビームの照射角度を変化させれば斜めにカットされた端
面を得ることもできるし、また、マスクの形状に応じて
種々の端面形状も可能となる。In the above two embodiments, an example was shown in which the end face is processed horizontally, but the application of the present invention is not limited to these, and by changing the irradiation angle of the laser beam, it is possible to obtain an end face cut diagonally. Furthermore, various end face shapes are also possible depending on the shape of the mask.
［発明の効果］以上の説明から明らかなように、本発明によれば吐出部
がエキシマレーザ光によって除去されることにより、２
つの部材間の段差が解消され均一な端面となる。[Effects of the Invention] As is clear from the above description, according to the present invention, the discharge portion is removed by the excimer laser beam, so that two
The difference in level between the two members is eliminated, resulting in a uniform end surface.
この結果、部材を接合する際の精度の高い位置合わせが
不要となり、特にインクジェット記録ヘッドにおいては
天板とヒータボードとの接合が簡易になり、記録ヘッド
の製造コストを庶価にできる。As a result, there is no need for highly accurate alignment when joining members, and especially in an inkjet recording head, the top plate and heater board can be easily joined, and the manufacturing cost of the recording head can be reduced.
また、天板とヒータボードを接合した後、吐出口面にオ
リフ・イスプレートを貼付する場合、すきまなく貼付で
き、さらには天板の成形時に生ずるエツジ部のアールが
解消されるので吐出インクの直進性が向上し、ひいては
記録画像の品位が向上させることが可能なインクジェッ
ト記録ヘッドを得ることができる。In addition, when attaching the orif chair plate to the ejection port surface after joining the top plate and the heater board, it can be attached without any gaps, and the rounded edges that occur when forming the top plate are eliminated, so the ejected ink can be It is possible to obtain an inkjet recording head that can improve straightness and, in turn, improve the quality of recorded images.
第１図（Ａ）および（Ｂ）は本発明によって加工された
天板とヒータボードとを用いた記録ヘッドのそれぞれ分
解斜視図および外観斜視図、第２図は本発明の一実施例
におけるインクジェット記録ヘッドの端面加工方法を示
す模式第３図は本発明の他の実施例におけるインクジェ
ット記録ヘッドの端面加工方法を示す模式第４図は天板
とヒータボードとの積層によって構成されるインクジェ
ット記録ヘットの模式的斜視図、第５図は射出成形による樹脂製天板を用いたインクジェ
ット記録ヘッドの斜視図、第６図は天板がヒータボードより突出した場合のインク
ジェット記録ヘッドの断面およびインク液滴が吐出する
様子を示す模式図、第７図は天板がヒータボードより突出した場合における
インクジェット記録ヘッドにオリフィスプレートを接合
した構成を示す模式的斜視図である。８・・・インク液滴、９・・・マスク、４０・・・オリフィスプレート、４１・・・オリフィス、１００・・・ヒータボード、１０１・・・吐出エネルギー発生素子、１１０・・・す
ぎ間、４００・・・天板、４１０・・・エツジ部のアール。第図第図1A and 1B are an exploded perspective view and an external perspective view, respectively, of a recording head using a top plate and a heater board processed according to the present invention, and FIG. 2 is an ink jet in an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic diagram showing a method for processing an end surface of an inkjet recording head in another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic diagram showing a method for processing an end surface of an inkjet recording head in another embodiment of the present invention. FIG. 5 is a perspective view of an inkjet recording head using an injection molded resin top plate. FIG. 6 is a cross section of the inkjet recording head and ink droplets when the top plate protrudes from the heater board. FIG. 7 is a schematic perspective view showing a configuration in which an orifice plate is joined to an inkjet recording head when the top plate protrudes from the heater board. 8... Ink droplet, 9... Mask, 40... Orifice plate, 41... Orifice, 100... Heater board, 101... Ejection energy generating element, 110... Passing interval, 400...Top plate, 410...Edge radius. Figure Figure
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27579588AJPH02121844A (en) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | End face processing method |
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27579588AJPH02121844A (en) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | End face processing method |
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02121844Atrue JPH02121844A (en) | 1990-05-09 |
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27579588APendingJPH02121844A (en) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | End face processing method |
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02121844A (en) |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0540047A3 (en)* | 1991-10-31 | 1995-01-25 | Canon Kk |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0540047A3 (en)* | 1991-10-31 | 1995-01-25 | Canon Kk | |
| US5482660A (en)* | 1991-10-31 | 1996-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for fabricating an ink jet head having improved discharge port formation face |
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