JP6278751B2 - 搬送方法及び基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、搬送方法及び基板処理装置に関する。

半導体装置の製造においては、被処理体である各種基板（例えば半導体ウエハ）に対して、成膜処理、酸化処理、拡散処理、アニール処理等の基板処理が施される。これらの基板処理処理を施す基板処理装置は、例えば、複数枚のウエハが収納されたキャリアを処理装置内に搬入するための載置台（ロードポート）、キャリア内に収納されたウエハをウエハボートに搬送する際にキャリアを保持する保持台（ＦＩＭＳポート）、キャリアを一時的にストックするための収納棚（ストッカ）、を有する。

一般的に、基板処理装置内でのキャリアの搬送は、搬送機構のハンド部によってキャリアの上部に設けられたフランジ部が把持された状態（例えば、特許文献１参照）又は搬送機構に設けられたキネマティックピン上にキャリアを載置した状態で実施される。

基板処理装置内へのウエハの搬入においては、先ず、ウエハが収納されたキャリアがロードポートに載置される。その後、キャリアは、搬送機構によって、ロードポートからストッカ又はＦＩＭＳポートへと搬送される。そして、ＦＩＭＳポート上のキャリアからウエハが取り出され、ウエハを各種処理した後に、再びキャリアに収納されて次工程へと搬出される。

特開２００４−３６３３６３号公報

近年、チップサイズの大型化や生産性を向上させる観点から、大口径サイズの半導体ウエハが開発されている。半導体ウエハの大口径化に伴い、その重量も増大するため、キャリアの搬送時において、搬送機構のアーム部等の撓みが大きくなる。そのため、搬送機構の剛性を増大させるために、搬送機構の大きさ、重量が大きくなるという問題点を有していた。

そこで、本発明は、軽量の搬送機構によって、基板が収納されたキャリアを搬送可能である搬送方法を提供する。

基板処理装置内で、基板を密閉収納可能であると共に上部にフランジ部が形成された収納容器を、フランジ挿入部を有するハンド部を備えた搬送機構を用いて、第１の水平方向に少なくとも２つ以上並んで設けられ、各々が前記第１の水平方向に垂直な第２の水平方向に水平移動可能である載置台から、前記載置台から前記第２の水平方向側に離間して設けられた搬送場所へと、搬送する搬送方法であって、
搬送対象の前記収納容器が載置された前記載置台を、前記第２の水平方向の前記搬送場所側に所定の距離移動させる第１の工程と、
前記フランジ挿入部内に前記フランジ部が挿入されるように、前記ハンド部を、搬送対象の前記収納容器が載置された載置台の隣りの前記載置台側から前記第１の水平方向にスライド移動させる第２の工程と、
前記ハンド部を介して、前記収納容器を前記載置台から前記搬送場所へと搬送する第３の工程と、
含み、
前記第３の工程は、
前記ハンド部を上昇させて、前記収納容器を前記載置台の上方に移動させる第４の工程と、
前記第４の工程の後に、前記ハンド部を、前記第１の水平方向の、搬送対象の前記収納容器が載置されていた前記載置台側から隣りの前記載置台側へと所定の距離スライド移動させる第５の工程と、
を含む、搬送方法。

軽量の搬送機構によって、基板が収納されたキャリアを搬送可能である搬送方法を提供できる。

本実施形態に係る基板処理装置の一例の概略構成図である。本実施形態に係る基板処理装置の一例の概略平面図である。本実施形態に係るキャリア搬送領域の一例の概略斜視図である。キャリアの一例の概略構成図である。本実施形態に係る搬送方法の一例のフロー図である。本実施形態に係る搬送方法の一例を説明するための、キャリア搬送領域の概略平面図である。本実施形態に係る搬送方法の他の例を説明するための、キャリア搬送領域の概略平面図である。

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

（基板処理装置）
先ず、本実施形態に係る搬送方法を実施できる基板処理装置の構成例について説明する。図１に、本実施形態に係る基板処理装置の一例の概略構成図を示す。また、図２に、本実施形態に係る基板処理装置の一例の概略平面図を示す。さらに、図３に、本実施形態に係るキャリア搬送領域の一例の概略斜視図を示す。なお、図２においては、説明のために、図１のロードポート１４の一方とＦＩＭＳポート２４とに、キャリアＣが載置されていない状態を示す。

なお、本実施形態に係る搬送方法は、縦型熱処理装置以外の種々の基板処理装置に適用することができるが、理解の容易のために、本実施形態においては、具体的な基板処理装置の１つとして縦型熱処理装置を用いて実施した例を挙げて説明する。

図１に示されるように、基板処理装置１００は、装置の外装体を構成する筐体２に収容されて構成される。筐体２内には、被処理体である半導体ウエハＷ（以後、ウエハＷ）を収容した容器であるキャリアＣが装置に対して搬入、搬出されるキャリア搬送領域Ｓ１と、キャリアＣ内のウエハＷを搬送して後述する熱処理炉２６内に搬入するウエハ搬送領域Ｓ２とが形成されている。

キャリアＣの構成の詳細については後述するが、ウエハＷを搬送する際には、ウエハＷの表面への異物の付着や自然酸化膜の形成を防止するために、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と呼ばれる基板収納容器に半導体ウエハが収容され、容器内の清浄度を所定のレベルに保持される。

キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２とは、隔壁４により仕切られている。キャリア搬送領域Ｓ１は、大気雰囲気下にある領域であり、ウエハＷが収納されたキャリアＣを、基板処理装置１００内の後述する要素間で搬送する、外部から基板処理装置１００内に搬入する又は基板処理装置から外部へと搬出する領域である。一方、ウエハ搬送領域Ｓ２は、キャリアＣからウエハＷを取り出し、各種処理を施す領域であり、ウエハＷに酸化膜が形成されることを防ぐために、不活性ガス雰囲気、例えば窒素（Ｎ_２）ガス雰囲気とされている。以後の説明では、キャリア搬送領域Ｓ１及びウエハ搬送領域Ｓ２の配列方向を前後方向（後述する第２の水平方向に対応）とし、キャリア搬送領域Ｓ１側を前方向、ウエハ搬送領域Ｓ２側を後方向とする。そして、この前後方向に垂直な水平方向を左右方向（後述する第１の水平方向に対応）とする。

なお、ウエハ搬送領域Ｓ２の天井部には、図示しないＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタ等のフィルタユニットが設けられ、これらのフィルタにより清浄化されたエアが供給される構成であっても良い。

隔壁４には、キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２との間でウエハＷを搬送するための搬送口６が設けられている。この搬送口６は、ＦＩＭＳ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ）規格に従ったドア機構８により開閉される。

キャリア搬送領域Ｓ１について説明する。キャリア搬送領域Ｓ１は、第１の搬送領域１０と、第１の搬送領域１０の後方側に位置する第２の搬送領域１２とから構成される。

図１に示すように、第１の搬送領域１０には、一例として上下２段かつ各段に左右２つ（図２参照）のロードポート１４が備えられている。ロードポート１４は、キャリアＣが基板処理装置１００に搬入されたときに、キャリアＣを受け入れる搬入用の載置台である。

ロードポート１４は、筐体２の壁が開放された箇所に設けられ、外部から基板処理装置１００へのアクセスが可能となっている。具体的には、本実施形態に係る基板処理装置１００の外部に設けられた図示しない搬送装置によって、ロードポート１４上へのキャリアＣの搬入載置と、ロードポート１４から外部へのキャリアＣの搬出が可能となっている。また、ロードポート１４は、例えば上下に２段存在するため、両方でのキャリアＣの搬入及び搬出が可能となっている。

また、第１の搬送領域１０の上下２段のロードポート１４が存在しない位置には、キャリアＣを多く保管できるようにするために、後述するストッカ１６が備えられていても良い。

図２に示すように、ロードポート１４のキャリアＣ載置面には、キャリアＣを位置決めする位置決めピン１８が、例えば３箇所に設けられている。また、少なくともロードポート１４上にキャリアＣを載置した状態において、ロードポート１４は、前後方向に移動可能に構成されている。

ロードポート１４には、図２に示すように、供給ノズル２０ａと、排気ノズル２０ｂとが設けられていても良い。キャリアＣの底面には、吸気口２２ａ及び排気口２２ｂ（後述する図４（ｂ）参照）が設けられていることが一般的であり、ロードポート１４は、キャリアＣが載置されたときに、キャリアＣの吸気口２２ａに対応する位置に供給ノズル２０ａが、キャリアＣの排気口２２ｂに対応する位置に排気ノズル２０ｂが設けられるようにしても良い。このような供給ノズル２０ａ、排気ノズル２０ｂを設けることにより、キャリアＣがロードポート１４上に載置された際、キャリアＣの内部に不活性ガスを供給し、キャリアＣ内部の窒素置換を行うことができる。これにより、空間内が不活性ガスで満たされているものの、不活性ガスの供給が無い状態で搬送されてきたキャリアＣは、ロードポート１４に搬入された段階ですぐに不活性ガスの供給を再開することができる。

第２の搬送領域１２の下部側には、左右方向に並んで２つのＦＩＭＳポート２４が配置されている。ＦＩＭＳポート２４は、キャリアＣ内のウエハＷを、ウエハ搬送領域Ｓ２内の後述する熱処理炉２６に対して搬入及び搬出する際に、キャリアＣを保持する保持台である。ＦＩＭＳポート２４は、前後方向に移動自在に構成されている。図２に示すように、ＦＩＭＳポート２４の載置面にも、ロードポート１４と同様に、キャリアＣを位置決めする位置決めピン１８が、３箇所に設けられている。さらに、ＦＩＭＳポート２４の載置面には、キャリアＣを固定するためのフック２８が設けられている。

第２の搬送領域１２の上部側には、キャリアＣを保管するストッカ１６が設けられている。ストッカ１６は、２段以上（図１に示す例では３段）の棚により構成されており、各々の棚は、左右方向に２つ以上のキャリアＣを載置することができる。また、第２の搬送領域１２の下部側であって、キャリア載置台が配置されていない領域にも、ストッカ１６を配置する構成であっても良い。

ストッカ１６の底面にも、ロードポート１４と同じように、前述した供給ノズル２０ａ及び排気ノズル２０ｂを設け、ストッカ１６上に載置されたキャリアＣの内部を不活性ガスに置換可能とする構成であっても良い。

第１の搬送領域１０と第２の搬送領域１２との間には、キャリアＣを、ロードポート１４とＦＩＭＳポート２４とストッカ１６との間で搬送するキャリア搬送機構３０が設けられている。

図２に示すように、キャリア搬送機構３０は、上下方向に伸びる第１のガイド部３２と、この第１のガイド部３２に接続され、左右方向（第１の水平方向）に伸びる第２のガイド部３４と、この第２のガイド部３４にガイドされながら左右方向に移動する移動部３６と、この移動部３６に設けられる、（多）関節アーム部３８（図２に示す例では１つの関節を有する２つのアーム部）と、を備えている。

また、図１に示すように、多関節アーム部３８の先端には、キャリアＣの後述するフランジ部４０が挿入可能であると共にフランジ部４０を係止可能に構成されたフランジ挿入部４２が形成されたハンド部４４が設けられている。より具体的には、本実施形態においては、ハンド部４４の断面は、図１に一例を示すように、略Ｃ字形状とすることができる。即ち、フランジ挿入部４２の両側には、一対の凹部４６が延在形成されている。そして、ハンド部４４の下端には、この一対の凹部４６の各々の一側面をなすと共に、フランジ部４０を係止する一対の係止部４８が形成されている。この一対の係止部４８は、上面が、フランジ部４０の下面を支持することにより、フランジ部４０を支持可能に構成されている。そのため、対向する係止部４８間の距離は、キャリアＣの後述する首部７６の幅より僅かに大きく設計され、フランジ挿入部４６の幅は、キャリアＣのフランジ部４０の幅より僅かに大きく設計されている。なお、係止部４８には、キャリアＣのフランジ部４０との位置合わせのために、フランジ部４０と係合する構成が設けられていても良い。

前述したように、隔壁４には、キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２とを連通させるウエハＷの搬送口６が設けられている。搬送口６には、搬送口６をウエハ搬送領域Ｓ２側から塞ぐドア機構８が設けられている。ドア機構８には、図示しない駆動機構が接続されており、駆動機構によりドア機構８は前後方向及び上下方向に移動自在に構成され、搬送口６が開閉される。

次に、ウエハ搬送領域Ｓ２について説明する。

ウエハ搬送領域Ｓ２には、下端が炉口として開口された縦型の熱処理炉２６が設けられている。この熱処理炉２６の下方側には、多数枚のウエハＷを棚状に保持するウエハボート５０が、保温筒５２を介して蓋体５４の上に載置されている。別の言い方をすると、蓋体５４は、ウエハボート５０の下方側に、ウエハボート５０と一体的に設けられている。

蓋体５４は、図示しない昇降機構の上に支持されており、この昇降機構によりウエハボート５０が熱処理炉２６に対して搬入又は搬出される。

ウエハボート５０は、例えば、石英製であり、大口径例えば直径４５０ｍｍ又は３００ｍｍ等のウエハＷを、水平状態で上下方向に所定の間隔で搭載するように構成されている。一般的に、ウエハボート５０に収容されるウエハＷの枚数は、限定されないが、例えば５０〜１５０枚程度である。

また、ウエハボート５０と隔壁４の搬送口６との間には、ウエハ移載機構５６が設けられている。図２に示すように、このウエハ移載機構５６は、ＦＩＭＳポート２４上に保持されたキャリアＣと、ウエハボート５０との間でウエハＷの移載を行うためのものである。ウエハ移載機構５６は、左右方向に伸びるガイド機構５８に沿って移動すると共に、鉛直軸回りに回動する移動体６０に、５枚の進退自在なフォーク６２（移載板）を設けて構成される。

（キャリア）
次に、キャリアＣの構成について、図４（ａ）、図４（ｂ）を参照して説明する。

図４（ａ）に、キャリアＣの一例の概略斜視図を示す。また、図４（ｂ）に、キャリアＣの底面の一例の概略図を示す。

キャリアＣは、主として、一側面に開口部６４が形成された収納容器本体６６と、この開口部６４を封止する蓋体６８とを有する。

収納容器本体６６に形成される開口部６４は、ウエハＷを搬出入するためのものであり、収納容器本体６６の側面であって、ＦＩＭＳポート２４に載置される際に搬送口６と対向する面に設けられている。

収納容器本体６６の内部の左右には、ウエハＷの裏面側を支持する支持部７０（ティース）が複数段で設けられている。

収納容器本体６６の開口部６４側の内周には、係合溝７２が形成されており、蓋体６８の係合部７４が、この係合溝７２に係合することによって、蓋体６８が収納容器本体６６に固定される。

キャリアＣの頂面には、例えば矩形状の首部７６が形成され、この首部７６の上端には、矩形状に張り出したフランジ部４０が形成されている。前述したキャリア搬送機構３０は、このフランジ部４０の底面を、ハンド部４４の係止部４８が支持することによって、キャリアＣを搬送する。なお、フランジ部４０は、ハンド部４４との位置合わせが容易な形状になされていても良い。

キャリアＣの底面には、図４（ｂ）に示すように、１つ又は複数の位置決め溝７８が形成される。前述したように、ロードポート１４、ストッカ１６及びＦＩＭＳポート２４には、各々、位置決め溝７８に係合する位置決めピン１８が形成されている。この位置決めピン１８及び位置決め溝７８によって、キャリアＣをロードポート１４、ストッカ１６又はＦＩＭＳポート２４に載置した場合に、キャリアＣが所定の位置に位置決めされる。なお、図４（ｂ）には、３つの位置決め溝が形成される例を示したが、この数は限定されない。

また、キャリアＣの底面には、ＦＩＭＳポート２４の載置面に形成された、キャリアＣを固定するためのフック２８に対応する位置に、溝部８０が形成されている。この溝部８０がフック２８と係合することにより、キャリアＣがＦＩＭＳポート２４に固定される。

（搬送方法）
次に、本実施形態に係る基板処理装置１００を用いた搬送方法、より具体的には、キャリア搬送機構３０によるキャリアＣの搬送方法について、図を参照して説明する。

図５に、本実施形態に係る搬送方法の一例のフロー図を示す。

図５（ａ）に示すように、本実施形態に係る搬送方法は、ウエハＷを搬入する際の搬送方法であって、
基板処理装置１００内で、基板を密閉収納可能であると共に上部にフランジ部４０が形成された収納容器（例えば、前述したＦＯＵＰ）を、フランジ挿入部４２を有するハンド部４４を備えた搬送機構（例えば、前述したキャリア搬送機構３０）を用いて、第１の水平方向（左右方向に対応）に少なくとも２つ以上並んで設けられ、各々が前記第１の水平方向に垂直な第２の水平方向（前後方向に対応）に水平移動可能である載置台（例えば、前述したロードポート１４）から、前記載置台から前記第２の水平方向側に離間して設けられた搬送場所（例えば、前述したＦＩＭＳポート２４又はストッカ１６）へと、搬送する搬送方法であって、
搬送対象の前記収納容器が載置された前記載置台を、前記第２の水平方向の前記搬送場所側に所定の距離移動させる第１の工程（Ｓ１００）と、
前記フランジ挿入部４２内に前記フランジ部４０が挿入されるように、前記ハンド部４４を、搬送対象の前記収納容器が載置された載置台の隣りの前記載置台側から前記第１の水平方向にスライド移動させる第２の工程（Ｓ１１０）と、
前記ハンド部４４を介して、前記収納容器を前記載置台から前記搬送場所へと搬送する第３の工程（Ｓ１２０）と、
を含む。

また、図５（ｂ）に示すように、別の実施形態に係る搬送方法は、ウエハＷを搬出する際の搬送方法であって、
基板処理装置１００内で、基板を密閉収納可能であると共に上部にフランジ部４０が形成された収納容器を、フランジ挿入部４２を有するハンド部４４を備えた搬送機構を用いて、第１の載置台（例えば、前述したＦＩＭＳポート２４又はストッカ１６）から、第２の載置台（例えば、前述したロードポート１４）へと搬送する搬送方法であり、
前記第２の載置台は、第１の水平方向に少なくとも２つ以上並んで設けられ、各々が前記第１の水平方向に垂直な第２の水平方向に水平移動可能であり、
前記第１の載置台は、前記第２の載置台から前記第２の水平方向側に離間して設けられ、
前記第１の載置台に載置された搬送対象の前記収納容器に対して、前記フランジ挿入部４２内に前記フランジ部４０が挿入されるように、前記ハンド部４４を、前記第１の水平方向にスライド移動させる第１の工程（Ｓ１０００）と、
前記収納容器を搬送する前記第２の載置台を、前記第２の水平方向の前記第１の載置台側に所定の距離移動させる第２工程（Ｓ１１００）と、
前記ハンド部４４を介して、前記収納容器を、前記第１の載置台から、移動させた前記第２の載置台へと移動させる第３の工程（Ｓ１２００）と、
前記フランジ挿入部から前記フランジ部が抜去されるように、前記ハンド部４４を、搬送対象の前記収納容器が載置された前記第２の載置台の隣りの前記第２の載置台側へと前記第１の水平方向にスライド移動させる第４の工程（Ｓ１３００）と、
搬送対象の前記収納容器が載置された前記第２の載置台を、前記第２の水平方向の前記第１の載置台とは反対側の方向に前記所定の距離移動させる第５の工程（Ｓ１４００）と、
を含む。

各々の工程の具体的な実施形態について、図１乃至図３を用いて説明した縦型熱処理装置を例にとって、図６を参照して説明する。しかしながら、本実施形態に係る搬送方法は、他の種々の基板処理装置１００に適用することができる。

図６（ａ）〜図６（ｊ）に、本実施形態に係る搬送方法の一例を説明するための、キャリア搬送領域の概略平面図を示す。なお、図６（ａ）に、理解の容易のために、第１の水平方向及び第２の水平方向を図示しており、各々の図における破線は、直前の図におけるキャリアＣの位置を示している。

図６（ａ）は、本実施形態に係る搬送方法を実施する前の、ハンド部４４及びキャリアＣの初期配置例である。説明の一例として、第１の水平方向（前述した左右方向）に、２つ並んでロードポート１４が設けられ、この２つのロードポート１４上にキャリアＣが載置されているとする。

キャリア搬送機構３０は、前述したように、上下方向に伸びる第１のガイド部３２を有する。第１のガイド部３２は、図６（ａ）に示す第２の水平方向でのキャリアＣの搬送においては、キャリアＣの搬送経路を妨害しないように、筐体２の側壁２ａ側に寄せて配置される。本実施形態では、この第１のガイド部３２が配置されている側壁２ａ側のロードポート１４を第１のロードポート１４ａとし、他方のロードポート１４を第２のロードポート１４ｂと呼ぶ。そして、第１のロードポート１４ａ上に載置されたキャリアＣを、ＦＩＭＳポート２４へと搬送する場合を例に挙げて、下記に説明する。しかしながら、本発明はこの点において限定されず、第１のロードポート１４ａ上に載置されたキャリアＣを、ストッカ１６へと搬送する場合等にも適用することができる。

先ず、図６（ｂ）の矢印で移動方向を示すように、キャリアＣが載置された第１のロードポート１４ａを、第２の水平方向のＦＩＭＳポート２４側に所定の距離移動させる（Ｓ１００）。

第１のロードポート１４ａの移動距離は、キャリア搬送機構３０のハンド部４４が第１のロードポート１４ａ上のキャリアＣを搬送する際に、第２のロードポート１４ｂに関するＳＥＭＩ規格の排除領域に侵入しない程度であれば良く、例えば、図６（ｂ）に示すように、キャリアＣ１つ分の幅とすることができる。

次に、図６（ｃ）の矢印で移動方向を示すように、ハンド部４４のフランジ挿入部４２（図１参照）とキャリアＣのフランジ部４０との高さが対応するように、ハンド部４４の高さを調整すると共に、第１のロードポート１４ａに載置されたキャリアＣのフランジ部４０に対して、第１の水平方向の第２のロードポート１４ｂ側に、ハンド部４４を移動させる。ハンド部４４を、第１のロードポート１４ａに載置されたキャリアＣのフランジ部４０に対して、第１の水平方向の第２のロードポート１４ｂとは反対側に移動させた場合、アーム部３８が、筐体２の側壁２ａ又は第１のガイド部３２と干渉する場合がある。この干渉は、筐体２のサイズを大きくすることで回避することも可能であるが、この場合、基板処理装置１００のフットプリントが増大するため好ましくない。

そして、図６（ｄ）の矢印で移動方向を示すように、フランジ挿入部４２内にフランジ部４０が挿入されるように、ハンド部４４をスライド移動させる（Ｓ１１０）。なお、前述したように、キャリアＣのフランジ部４０及びハンド部４４には、互いの位置合わせを容易にする構成が設けられていても良い。

次に、ロードポート１４のキャリアＣに対するフック２８を解除した後にハンド部４４を上昇させて、キャリアＣを第１のロードポート１４ａから外す。この際、ハンド部４４の係止部４８がフランジ部４０の底面を支持して、キャリアＣがハンド部４４に係止される。その後、好ましくは、第１の水平方向の、第２のロードポート１４ｂ側へと所定の距離スライドさせる（図６（ｅ）の矢印の移動方向を参照）。前述したように、キャリア搬送機構３０のアーム部３８は、筐体２の側壁２ａ又は第１のガイド部３２と干渉する場合がある。しかしながら、ハンド部４４を、搬送対象のキャリアが載置されたロードポート１４（第１のロードポート１４ａ）側から、隣りのロードポート１４（第２のロードポート１４ｂ）側へと所定の距離スライド移動させることで、基板処理装置１００のフットプリントを小さくした場合であっても、前記の干渉を防ぐことができる（図６（ｆ）参照）。

そして、図６（ｆ）及び図６（ｇ）の矢印で移動方向を示すように、キャリアＣを支持したハンド部４４を、第２の水平方向の、ロードポート１４側から搬送場所側（ＦＩＭＳポート２４又はストッカ１６側であって、図６に示す例ではＦＩＭＳポート２４）へと搬送する。次に、図６（ｈ）の矢印で移動方向を示すように、キャリアＣを支持したハンド部４４を、第１の水平方向の、第２のロードポート１４ｂ側から第１のロードポート１４ａ側へと移動させて、ＦＩＭポート２４の上方へと移動させると共に、ハンド部４４を下降させてＦＩＭＳポート２４上へとキャリアＣを載置する。

ＦＩＭＳポート２４のフック２８（図２参照）によりキャリアＣを固定した後、図６（ｉ）の矢印で移動方向を示すように、ハンド部４４を、第１の水平方向の、第１のロードポート１４ａ側から第２のロードポート１４ｂ側へと所定の距離スライド移動させて、ハンド部４４によるフランジ部４０の係止を解除する。最後に、ハンド部４４を初期位置へと戻し、ウエハＷを搬入する際のキャリアＣの搬送を完了する。

また、ウエハＷを搬出する際のキャリアＣの搬送について、図７（ａ）〜図７（ｊ）を参照して説明する。

図７（ａ）〜図７（ｊ）に、本実施形態に係る搬送方法の他の例を説明するための、キャリア搬送領域の概略平面図を示す。なお、図７（ａ）に、理解の容易のために、第１の水平方向及び第２の水平方向を図示しており、図７（ａ）〜図７（ｆ）における破線は、第１のロードポート１４ａの位置を示している。また、ウエハＷを搬出する際のキャリアＣの搬送は、基本的には、図６（ａ）〜図６（ｊ）とは反対の動作により行うため、各々の構成要素については、図６（ａ）〜図６（ｊ）と同様のものを使用して説明する。

図７（ａ）は、本実施形態に係る搬送方法を実施する前の、ハンド部４４及びキャリアＣの初期配置例である。説明の一例として、第１の水平方向に、２つ並んでロードポート１４ａ、１４ｂが設けられ、第２のロードポート１４ｂと、ＦＩＭＳポート２４（ストッカ１６であっても良い）とにキャリアＣが載置されており、ＦＩＭＳポート２４上のキャリアＣを第１のロードポート１４ａへと搬送する場合について、説明する。

先ず、図７（ｂ）の矢印で移動方向を示すように、ハンド部４４を、ＦＩＭＳポート２４側へと移動させる。この際、ハンド部４４のフランジ挿入部４２（図１参照）とキャリアＣのフランジ部４０との高さが対応するように、ハンド部４４の高さを調整すると共に、ＦＩＭＳポート２４に載置されたキャリアＣのフランジ部４０に対して、第１の水平方向に所定の距離離間させてハンド部４４を配置する。

次に、図７（ｃ）の矢印で移動方向を示すように、フランジ挿入部４２内にフランジ部４０が挿入されるように、ハンド部４４をスライド移動させる（Ｓ１０００）。また、この際、第１のロードポート１４ａを、第２の水平方向のＦＩＭＳポート２４側に所定の距離移動させる（Ｓ１１００）。

第１のロードポート１４ａの移動距離は、後述する図７（ｆ）及び図７（ｇ）においてキャリア搬送機構３０のハンド部４４が第１のロードポート１４ａ上にキャリアＣを載置する際に、第２のロードポート１４ｂに関するＳＥＭＩ規格の排除領域に侵入しない程度であれば良く、例えば、図６（ｃ）に示すように、キャリアＣ１つ分の幅とすることができる。

次に、ＦＩＭＳポート２４のキャリアＣに対するフック２８を解除した後にハンド部４４を上昇させて、キャリアＣをＦＩＭＳポート２４から外す。この際、ハンド部４４の係止部４８がフランジ部４０の底面を支持して、キャリアＣがハンド部４４に係止される。その後、好ましくは、第１の水平方向の、第２のロードポート１４ｂ側へと所定の距離スライドさせる（図７（ｄ）の矢印の移動方向を参照）。前述したように、キャリア搬送機構３０のアーム部３８は、筐体２の側壁２ａ又は第１のガイド部３２と干渉する場合がある。しかしながら、ハンド部４４を、搬送対象のキャリアが載置されたロードポート１４（第１のロードポート１４ａ）側から、隣りのロードポート１４（第２のロードポート１４ｂ）側へと所定の距離スライド移動させることで、基板処理装置１００のフットプリントを小さくした場合であっても、前記の干渉を防ぐことができる。

そして、図７（ｅ）及び図７（ｆ）の矢印で移動方向を示すように、キャリアＣを支持したハンド部４４を、第２の水平方向のＦＩＭＳポート２４側から第１のロードポート１４ａ側へと搬送する（Ｓ１２００）。次に、図７（ｇ）の矢印で移動方向を示すように、キャリアＣを支持したハンド部４４を、第１の水平方向の、第２のロードポート１４ｂ側から第１のロードポート１４ａ側へと移動させて、第１のロードポート１４ａの上方へと移動させると共に、ハンド部４４を下降させて、第１のロードポート１４ａ上へとキャリアＣを載置する。

第１のロードポート１４ａのフック２８によりキャリアＣを固定した後、図７（ｈ）の矢印で移動方向を示すように、ハンド部４４を、第１の水平方向の、第１のロードポート１４ａ側から第２のロードポート１４ｂ側へと所定の距離スライド移動させる（Ｓ１３００）これにより、フランジ挿入部４２からフランジ部が抜去される。そして、図７（ｉ）及び図７（ｊ）に示すように、ハンド部４４を初期位置へと戻すと共に、第１のロードポート１４ａを第２の水平方向に移動させて初期位置へと戻し、ウエハＷを搬出する際のキャリアＣの搬送を完了する。

以上、本実施形態に係る搬送方法は、フランジ挿入部４２が形成されたハンド部４４を備えた搬送機構を用いて、このハンド部４４を、フランジ挿入部４２内にフランジ部４０が挿入されるように水平方向にスライド移動させ、フランジ部４０を係止した状態でフランジ部４０をすくいあげてキャリアを搬送する。これにより、ハンド部４４に必要な部品数を少なくすることができるため、ハンド部４４が軽量化され、搬送時のアーム部３８の撓みを抑制することができる。また、本実施形態に係る搬送方法は、キャリアＣの搬送前に、搬送対象のキャリアＣが載置された載置台を、搬送場所側に移動させる。これにより、ハンド部４４をスライド移動させてフランジ挿入部４２内にフランジ部４０を挿入する際に、ハンド部４４が、第２のロードポート１４ｂに関するＳＥＭＩ規格の排除領域に侵入することを防ぐことができる。そのため、本実施形態に係る搬送方法は、軽量のキャリア搬送機構３０によって、基板が収納されたキャリアＣを確実に搬送可能である。

２ 筐体
４ 隔壁
６ 搬送口
８ ドア機構
１０ 第１の搬送領域
１２ 第２の搬送領域
１４ ロードポート
１６ ストッカ
１８ ピン
２６ 熱処理炉
２８ フック
３０ キャリア搬送機構
３２ 第１のガイド部
３４ 第２のガイド部
３６ 移動部
３８ 多関節アーム部
３８ アーム部
４０ フランジ部
４２ フランジ挿入部
４４ ハンド部
４６ 凹部
４８ 係止部
５０ ウエハボート
５２ 保温筒
５４ 蓋体
５６ ウエハ移載機構
５８ ガイド機構
６０ 移動体
６２ フォーク
６４ 開口部
６６ 収納容器本体
６８ 蓋体
７０ 支持部
７２ 係合溝
７４ 係合部
７６ 首部
８０ 溝部
１００ 基板処理装置

Claims (10)

1. 基板処理装置内で、基板を密閉収納可能であると共に上部にフランジ部が形成された収納容器を、フランジ挿入部を有するハンド部を備えた搬送機構を用いて、第１の水平方向に少なくとも２つ以上並んで設けられ、各々が前記第１の水平方向に垂直な第２の水平方向に水平移動可能である載置台から、前記載置台から前記第２の水平方向側に離間して設けられた搬送場所へと、搬送する搬送方法であって、
   搬送対象の前記収納容器が載置された前記載置台を、前記第２の水平方向の前記搬送場所側に所定の距離移動させる第１の工程と、
   前記フランジ挿入部内に前記フランジ部が挿入されるように、前記ハンド部を、搬送対象の前記収納容器が載置された載置台の隣りの前記載置台側から前記第１の水平方向にスライド移動させる第２の工程と、
   前記ハンド部を介して、前記収納容器を前記載置台から前記搬送場所へと搬送する第３の工程と、
   含み、
   前記第３の工程は、
   前記ハンド部を上昇させて、前記収納容器を前記載置台の上方に移動させる第４の工程と、
   前記第４の工程の後に、前記ハンド部を、前記第１の水平方向の、搬送対象の前記収納容器が載置されていた前記載置台側から隣りの前記載置台側へと所定の距離スライド移動させる第５の工程と、
   を含む、
   搬送方法。
2. 前記第３の工程の後に、前記ハンド部を、前記第１の水平方向の、搬送対象の前記収納容器が載置されていた前記載置台側から隣りの前記載置台側へと所定の距離スライド移動させて、前記ハンド部の前記フランジ部に対する係止を解除する第６の工程を更に含む、
   請求項１に記載の搬送方法。
3. 前記ハンド部は、下面側に、挿入される前記フランジ部の下面を係止する係止部を有する、
   請求項１又は２に記載の搬送方法。
4. 前記基板処理装置は、前記第１の水平方向に１つ又は２つ以上の搬送口を備えた隔壁で仕切られた基板搬送領域と容器搬送領域とを有し、
   前記容器搬送領域内に前記搬送口に対応して設けられ、前記収納容器に収納された前記基板を、前記容器搬送領域から前記搬送口を介して前記基板搬送領域へと受け渡すために、前記収納容器を保持する保持台と、
   前記保持台の上方に設けられた、前記収納容器を収納する収納棚と、
   を更に有する、
   請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送方法。
5. 前記搬送場所は、前記保持台又は前記収納棚のいずれか一方である、
   請求項４に記載の搬送方法。
6. 前記収納容器は、底部に位置決め用の溝部を有し、
   前記載置台、前記保持台及び前記収納棚は、前記位置決め用の溝部に係合する位置決め用のピンを有する、
   請求項４又は５に記載の搬送方法。
7. 前記搬送機構は、前記搬送場所と前記載置台との間に設けられ、鉛直方向に伸びる第１のガイド部と、前記第１のガイド部に接続されて鉛直方向に移動可能である、前記第１の水平方向に伸びる第２のガイド部と、前記第２のガイド部に接続され、前記第１の水平方向に移動可能である移動部と、前記移動部に設けられるアーム部と、を有し、
   前記ハンド部は、前記アーム部の先端に設けられている、
   請求項１乃至６のいずれか一項に記載の搬送方法。
8. 第１の水平方向に１又は２以上の搬送口を備えた隔壁で仕切られた基板搬送領域と容器搬送領域とを有し、
   前記容器搬送領域内に前記搬送口に対応して設けられ、基板を密閉収納可能であると共に上部にフランジ部が形成された収納容器に収納された前記基板を、前記容器搬送領域から前記搬送口を介して前記基板搬送領域へと受け渡すために、前記収納容器を保持する保持台と、
   前記保持台の上方に設けられた、前記収納容器を収納する収納棚と、
   前記容器搬送領域に、前記保持台から前記第１の水平方向及び鉛直方向に垂直な第２の水平方向に離間して設けられ、前記保持台側へと水平移動可能であり、少なくとも前記第１の水平方向に２つ以上並んで設けられた載置台と、
   前記保持台と前記載置台との間に設けられ、鉛直方向に伸びる第１のガイド部と、前記第１のガイド部に接続されて鉛直方向に移動可能である、前記第１の水平方向に伸びる第２のガイド部と、前記第２のガイド部に接続され、前記第１の水平方向に移動可能である移動部と、前記移動部に設けられ、前記第２の水平方向に伸縮可能であるアーム部と、前記アーム部の先端に設けられ、フランジ挿入部を有するハンド部と、を有する搬送機構と、
   前記搬送機構の作動を制御する制御部と、
   を有し、
   前記制御部は、
   搬送対象の前記収納容器が載置された前記載置台を、前記第２の水平方向の前記保持台側に所定の距離移動させる第１の工程と、
   前記フランジ挿入部内に前記フランジ部が挿入されるように、前記ハンド部を、搬送対象の前記収納容器が載置された載置台の隣りの前記載置台側から前記第１の水平方向にスライド移動させて、前記ハンド部に前記フランジ部を係止させる第２の工程と、
   前記ハンド部を介して、前記収納容器を前記載置台から前記保持台又は前記収納棚へと搬送する第３の工程と、
   を実施するように、前記搬送機構の作動を制御し、
   前記第３の工程は、
   前記ハンド部を上昇させて、前記収納容器を前記載置台の上方に移動させる第４の工程と、
   前記第４の工程の後に、前記ハンド部を、前記第１の水平方向の、搬送対象の前記収納容器が載置されていた前記載置台側から隣りの前記載置台側へと所定の距離スライド移動させる第５の工程と、
   を含む、
   基板処理装置。
9. 基板処理装置内で、基板を密閉収納可能であると共に上部にフランジ部が形成された収納容器を、フランジ挿入部を有するハンド部を備えた搬送機構を用いて、第１の載置台から、第２の載置台へと搬送する搬送方法であり、
   前記第２の載置台は、第１の水平方向に少なくとも２つ以上並んで設けられ、各々が前記第１の水平方向に垂直な第２の水平方向に水平移動可能であり、
   前記第１の載置台は、前記第２の載置台から前記第２の水平方向側に離間して設けられ、
   前記第１の載置台に載置された搬送対象の前記収納容器に対して、前記フランジ挿入部内に前記フランジ部が挿入されるように、前記ハンド部を、前記第１の水平方向にスライド移動させる第１の工程と、
   前記収納容器を搬送する前記第２の載置台を、前記第２の水平方向の前記第１の載置台側に所定の距離移動させる第２工程と、
   前記ハンド部を介して、前記収納容器を、前記第１の載置台から、移動させた前記第２の載置台へと移動させる第３の工程と、
   前記フランジ挿入部から前記フランジ部が抜去されるように、前記ハンド部を、搬送対象の前記収納容器が載置された前記第２の載置台の隣りの前記第２の載置台側へと前記第１の水平方向にスライド移動させる第４の工程と、
   搬送対象の前記収納容器が載置された前記第２の載置台を、前記第２の水平方向の前記第１の載置台とは反対側の方向に前記所定の距離移動させる第５の工程と、
   を含む、
   搬送方法。
10. 第１の水平方向に１又は２以上の搬送口を備えた隔壁で仕切られた基板搬送領域と容器搬送領域とを有し、
    前記容器搬送領域内に前記搬送口に対応して設けられ、基板を密閉収納可能であると共に上部にフランジ部が形成された収納容器に収納された前記基板を、前記容器搬送領域から前記搬送口を介して前記基板搬送領域へと受け渡すために、前記収納容器を保持する保持台と、
    前記保持台の上方に設けられた、前記収納容器を収納する収納棚と、
    前記容器搬送領域に、前記保持台から前記第１の水平方向及び鉛直方向に垂直な第２の水平方向に離間して設けられ、前記保持台側へと水平移動可能であり、少なくとも前記第１の水平方向に２つ以上並んで設けられた載置台と、
    前記保持台と前記載置台との間に設けられ、鉛直方向に伸びる第１のガイド部と、前記第１のガイド部に接続されて鉛直方向に移動可能である、前記第１の水平方向に伸びる第２のガイド部と、前記第２のガイド部に接続され、前記第１の水平方向に移動可能である移動部と、前記移動部に設けられ、前記第２の水平方向に伸縮可能であるアーム部と、前記アーム部の先端に設けられ、フランジ挿入部を有するハンド部と、を有する搬送機構と、
    前記搬送機構の作動を制御する制御部と、
    を有し、
    前記制御部は、
    前記収納棚又は前記保持台に載置された搬送対象の前記収納容器に対して、前記フランジ挿入部内に前記フランジ部が挿入されるように、前記ハンド部を、前記第１の水平方向にスライド移動させる第１の工程と、
    前記収納容器を搬送する前記載置台を、前記第２の水平方向の前記収納棚及び前記保持台側に所定の距離移動させる第２工程と、
    前記ハンド部を介して、前記収納容器を、前記収納棚又は前記保持台から、移動させた前記載置台へと移動させる第３の工程と、
    前記フランジ挿入部から前記フランジ部が抜去されるように、前記ハンド部を、搬送対象の前記収納容器が載置された前記載置台の隣りの前記載置台側へと前記第１の水平方向にスライド移動させる第４の工程と、
    搬送対象の前記収納容器が載置された前記載置台を、前記第２の水平方向の前記収納棚及び前記保持台とは反対側の方向に前記所定の距離移動させる第５の工程と、
    を実施するように、前記搬送機構の作動を制御する、
    基板処理装置。

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