JP5469484B2

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Publication number: JP5469484B2
Application number: JP2010047187A
Authority: JP
Inventors: 雅一平田; 徳男千葉; 学大海; 陽子篠原; 幸子田邉; 良和田中
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2010-03-03
Filing date: 2010-03-03
Publication date: 2014-04-16
Anticipated expiration: 2030-03-03
Also published as: JP2011181159A

Description

本発明は、近接場光を利用して記録媒体に各種の情報を記録再生する近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置に関するものである。 The present invention relates to a near-field light utilizing head gimbal assembly that records and reproduces various information on a recording medium using near-field light, and an information recording / reproducing apparatus including the same.

近年、コンピュータ機器におけるハードディスクドライブ等の情報記録再生装置は、より大量かつ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものを記録媒体として採用することが考えられている。そのため、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。 In recent years, an information recording / reproducing apparatus such as a hard disk drive in a computer device has been demanded to have a higher density in response to a need to record and reproduce a larger amount of high-density information. Therefore, in order to minimize the influence of adjacent magnetic domains and thermal fluctuation, it is considered to employ a recording medium having a strong coercive force. Therefore, it has been difficult to record information on the recording medium.

そこで、上述した不具合を解消するために、近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間に記録媒体への書き込みを行う熱アシスト磁気記録方式の情報記録再生装置が考案され開発が進められている。 Therefore, in order to eliminate the above-mentioned problems, a magnetically assisted magnetic recording system in which the magnetic domain is locally heated using near-field light to temporarily reduce the coercive force and during which writing to the recording medium is performed. An information recording / reproducing apparatus has been devised and developed.

熱アシスト磁気記録方式による情報記録再生装置には、近接場光を発生させるための近接場光素子およびそれを駆動させるための光学系が必要となる。これら近接場光素子と光学系は、各種のものが考案されている。 An information recording / reproducing apparatus using the heat-assisted magnetic recording system requires a near-field light element for generating near-field light and an optical system for driving the near-field light element. Various types of near-field light elements and optical systems have been devised.

上記光学系の主要なものとして、光源となる半導体レーザが考えられる。例えば特許文献１および特許文献２に示されるように、この半導体レーザをヘッドを有するスライダに固定する構成が知られている。このような構成においては、光学系を構成する要素部品が少なくなるため、各要素部品間における光損失が少なくなり、よって比較的低損失でレーザ光を近接場光素子に供給することができると考えられている。 As a main component of the optical system, a semiconductor laser serving as a light source can be considered. For example, as shown in Patent Document 1 andPatent Document 2, a configuration in which this semiconductor laser is fixed to a slider having a head is known. In such a configuration, since the number of component parts constituting the optical system is reduced, light loss between the component parts is reduced, and therefore, laser light can be supplied to the near-field light element with relatively low loss. It is considered.

一方、熱アシスト磁気記録方式による情報記録再生装置においては、既存の情報記録再生装置であるハードディスクドライブと同様に、記録素子および再生素子等を記録媒体に対して一定の距離だけ離間させる必要があるため空気浮上スライダ技術を用いる。これは、回転する記録媒体によって生じる空気流によって、記録素子および再生素子等を固定したスライダを空気浮上させるものである。空気流はスライダと記録媒体間に所望の圧力分布を発生させている。スライダを記録媒体から離そうとする正圧とスライダを記録媒体に引き付けようとする負圧と、スライダを機械的に支持しているサスペンションによる押しつけ力の釣り合いで、スライダは所望の状態で浮上する。 On the other hand, in the information recording / reproducing apparatus using the heat-assisted magnetic recording method, it is necessary to separate the recording element and the reproducing element from the recording medium by a certain distance, like the hard disk drive that is an existing information recording / reproducing apparatus. Therefore, air floating slider technology is used. In this method, an air flow generated by a rotating recording medium causes the slider on which the recording element and the reproducing element are fixed to float on the air. The air flow generates a desired pressure distribution between the slider and the recording medium. The slider floats in a desired state by the balance between the positive pressure for separating the slider from the recording medium, the negative pressure for attracting the slider to the recording medium, and the pressing force by the suspension that mechanically supports the slider. .

現在、記録媒体とスライダのすきまは１０ｎｍ程度もしくはそれ以下となっており、スライダと記録媒体間の圧力分布の設計のみならず、サスペンションの機械的特性の設計も重要となっている。特許文献３や特許文献４のように、サスペンションの適切な箇所に補強部材を付加して所望の押しつけ力や、スライダの浮上安定性を確保する手法が知られている。 Currently, the clearance between the recording medium and the slider is about 10 nm or less, and not only the design of the pressure distribution between the slider and the recording medium, but also the design of the mechanical characteristics of the suspension is important. As disclosed inPatent Document 3 andPatent Document 4, a method is known in which a reinforcing member is added to an appropriate portion of a suspension to ensure a desired pressing force and a flying stability of the slider.

特開２００７−３３５０２７号公報JP 2007-335027 A特開２００８−５９６４５号公報JP 2008-59645 A特開２００８−５９６４５号公報JP 2008-59645 A特開平５−１５９２６２号公報JP-A-5-159262

一般的に半導体レーザはその固定方法によって寿命が大きく左右されると言われている。特許文献１においては半導体レーザをユニット基板に固定して、ユニット基板をスライダおよびサスペンションに固定している。ユニット基板を用いることで半導体レーザを安定的に固定できるため、半導体レーザの寿命を確保することが出来ると考えられる。しかしながら、ユニット基板と言う別の部材を用意するために、高コスト化しやすいと言う欠点がある。
一方、特許文献２においては、半導体レーザはサスペンションとスライダに挟み込まれるように固定されており、サスペンションは半導体レーザを介してスライダを機械的に支持する構造になっている。前述のユニット基板が必要でないために安価な情報記録再生装置を実現できる可能性があるが、絶えず半導体レーザに応力がかかるため半導体レーザの寿命を縮める欠点があった。In general, it is said that the lifetime of a semiconductor laser is greatly influenced by its fixing method. In Patent Document 1, a semiconductor laser is fixed to a unit substrate, and the unit substrate is fixed to a slider and a suspension. Since the semiconductor laser can be stably fixed by using the unit substrate, it is considered that the life of the semiconductor laser can be secured. However, since another member called a unit substrate is prepared, there is a drawback that it is easy to increase the cost.
On the other hand, inPatent Document 2, the semiconductor laser is fixed so as to be sandwiched between the suspension and the slider, and the suspension mechanically supports the slider via the semiconductor laser. Since the aforementioned unit substrate is not necessary, an inexpensive information recording / reproducing apparatus may be realized. However, since the semiconductor laser is constantly stressed, there is a drawback that the life of the semiconductor laser is shortened.

そこで本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、光源である半導体レーザの寿命を確保しつつ、安価な近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリおよび情報記録再生装置を提供することである。 Accordingly, the present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an inexpensive near-field light utilizing head gimbal assembly and information recording / reproducing apparatus while ensuring the life of a semiconductor laser as a light source. It is to be.

本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。
本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の表面に沿って延設され、フレクシャおよびロードビームを有するサスペンションと、フレクシャの一部を構成し、バネ部とバネ部に接続される剛体部とを備えるフレクシャ舌部と、剛体部上に設けられたレーザと、記録媒体の表面と対向するようにフレクシャ舌部上に固定され、レーザから発生した光束を用いて近接場光を発生するスライダと、ロードビームの先端に設けられ、フレクシャ舌部のレーザが配置された側とは逆側の一部分を押圧する押圧部とを備え、フレクシャ舌部は、押圧部を中心として回動するものであり、剛体部は、押圧部による押圧方向に対して直交する面の撓みを抑制するものであることを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention extends along the surface of the recording medium, and forms a suspension having a flexure and a load beam, a part of the flexure, and is connected to the spring portion and the spring portion. A flexure tongue that includes a rigid body, a laser provided on the rigid body, and a flexure tongue that is fixed on the flexure tongue so as to face the surface of the recording medium, and generates near-field light using a light beam generated from the laser. And a pressing portion that is provided at the tip of the load beam and presses a portion of the flexure tongue that is opposite to the side where the laser is disposed, and the flexure tongue rotates around the pressing portion. The rigid body portion is characterized in that it suppresses the bending of the surface orthogonal to the pressing direction by the pressing portion.

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、剛体部の剛性は前記バネ部の剛性よりも高いことを特徴とするものである。 The near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the rigidity of the rigid part is higher than the rigidity of the spring part.

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、剛体部の剛性はレーザの剛性よりも高いことを特徴とするものである。 The near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the rigidity of the rigid portion is higher than the rigidity of the laser.

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、記録媒体のうねりに対してジンバル機構が動作するが、この際剛体部はたわまないので、剛体部上に固定されたレーザに曲げ応力がかかることがない。よって、レーザを安定的に固定することができ、ひいてはレーザの長寿命化を図ることが出来る。 In the near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention, the gimbal mechanism operates against the waviness of the recording medium. However, since the rigid body portion does not bend at this time, the bending stress is applied to the laser fixed on the rigid body portion. Will not take. Therefore, the laser can be stably fixed, and the life of the laser can be extended.

ここで特許文献３においては、ロードビーム（ロードアーム）の輪郭に曲げ加工による補強部を設けているが、ジンバル機構とは異なる部位であり、本発明と同様な効果を実現することはできない。また、スライダを固定するサスペンション舌部（スライダ保持部）は補強部（段差部）を設けてはいるが、ヘッドジンバルアセンブリにレーザを搭載することを想定していない上、段差部のためにスライダの一部のみでスライダを保持せざるを得ず、レーザに曲げ応力がかかってしまう。よって、本発明と同様な効果を実現することはできない。 Here, inPatent Document 3, a reinforcement portion by bending is provided on the contour of the load beam (load arm), but it is a part different from the gimbal mechanism, and the same effect as the present invention cannot be realized. The suspension tongue (slider holding portion) for fixing the slider is provided with a reinforcing portion (stepped portion), but it is not assumed that a laser is mounted on the head gimbal assembly. The slider must be held by only a part of the laser beam, and bending stress is applied to the laser. Therefore, the same effect as the present invention cannot be realized.

また特許文献４においては、サスペンション舌部（サスペンションタング部）に補強部（強化部材）を設けてはいるが、ヘッドジンバルアセンブリにレーザを搭載することを想定していない上、サスペンション舌部全体に補強部を設けており、レーザに曲げ応力がかかることを防止しつつシンバル機構を動作させることを妨げている。よって、本発明と同様な効果を実現することはできない。 InPatent Document 4, the suspension tongue (suspension tongue) is provided with a reinforcing portion (strengthening member), but it is not assumed that a laser is mounted on the head gimbal assembly, and the entire suspension tongue is provided. A reinforcing portion is provided, which prevents the cymbal mechanism from operating while preventing bending stress from being applied to the laser. Therefore, the same effect as the present invention cannot be realized.

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、補強部がフレクシャ舌部の一部を塑性変形させることで形成されていることを特徴とするものである。 The near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the reinforcing portion is formed by plastic deformation of a part of the flexure tongue.

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、剛体部を所定の剛性とするために別途部材を用意する必要がなく、これを備えるヘッドジンバルアセンブリを安価にすることができる。 In the near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention, it is not necessary to prepare a separate member in order to make the rigid body portion have a predetermined rigidity, and the head gimbal assembly including this can be made inexpensive.

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、補強部がレーザを位置決めするレーザガイドであることを特徴とするものである。 The near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the reinforcing portion is a laser guide for positioning the laser.

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、レーザガイドがレーザを位置決めすることで、容易に組立をおこなうことができる。また、レーザガイドが補強部を兼ねているため、別途部材を用意する必要がなく、これを備えるヘッドジンバルアセンブリを安価にすることができる。 In the near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention, the laser guide positions the laser so that the assembly can be easily performed. Further, since the laser guide also serves as the reinforcing portion, it is not necessary to prepare a separate member, and the head gimbal assembly including this can be made inexpensive.

また、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリと、前記記録媒体と、を有するものである。 An information recording / reproducing apparatus according to the present invention includes the near-field light utilizing head gimbal assembly of the present invention and the recording medium.

本発明に係る情報記録再生装置においては、本発明の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリを備えているので、長寿命で安価なものとすることかできる。 Since the information recording / reproducing apparatus according to the present invention includes the near-field light utilizing head gimbal assembly of the present invention, it can be long-lived and inexpensive.

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリによれば、光源である半導体レーザの寿命を確保しつつ、安価な近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリおよび情報記録再生装置を提供することができる。 According to the near-field light utilizing head gimbal assembly according to the present invention, it is possible to provide an inexpensive near-field light utilizing head gimbal assembly and information recording / reproducing apparatus while ensuring the life of the semiconductor laser as the light source.

本発明の第１実施形態に係る情報記録再生装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the information recording / reproducing apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention.図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。It is a perspective view of the head gimbal assembly shown in FIG.図２に示すパッド部２０４ａ近傍の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of apad portion 204a shown in FIG.図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 3.本発明の第１実施形態に係るパッド部２０４ａの拡大斜視図である。It is an expansion perspective view of thepad part 204a which concerns on 1st Embodiment of this invention.図５のバリエーションを示す図である。It is a figure which shows the variation of FIG.図５の別のバリエーションを示す図である。It is a figure which shows another variation of FIG.本発明の第２実施形態に係るパッド部２０４ａ近傍の拡大図である。It is an enlarged view near thepad part 204a which concerns on 2nd Embodiment of this invention.図５のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the B-B 'line of FIG.

（第１実施形態）
以下、本発明に係る第１実施形態を、図１から図５を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る情報記録再生装置１を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、磁気記録層を有する記録媒体Ｄに対して、熱アシスト磁気記録方式で書き込みを行う装置である。(First embodiment)
A first embodiment according to the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a configuration diagram showing an information recording / reproducing apparatus 1 according to the present embodiment. In addition, the information recording / reproducing apparatus 1 of this embodiment is an apparatus which writes with respect to the recording medium D which has a magnetic-recording layer with a heat-assisted magnetic recording system.

図１に示すように本実施形態の情報記録再生装置１において、スライダ２が固定されたサスペンション３が、キャリッジ１１に固定されている。スライダ２とサスペンション３を合わせて、ヘッドジンバルアセンブリ１２（近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ）と呼ぶ。円盤状の記録媒体Ｄはスピンドルモータ７によって所定の方向に回転する。キャリッジ１１はピボット１０を中心に回転可能になっており、制御部５からの制御信号によって制御されるアクチュエータ６によって回転し、スライダ２を記録媒体Ｄ表面の所定の位置に配置することができる。ハウジング９はアルミニウムなどから成る箱状（図１では説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している）のものであり、上記の部品をその内部に格納している。スピンドルモータ７はハウジング９の底面に固定されている。スライダ２は記録媒体Ｄに向けて磁場を発生させる記録素子（図示略）と、近接場光を発生する導光部（図示略）と、記録媒体Ｄに記録された情報を再生する再生素子（図示略）を有している。記録素子と再生素子は、サスペンション３およびキャリッジ１１に沿って敷設されたフレキシブル配線１３、キャリッジ１１側面に設けられたターミナル１４およびフラットケーブル４を介して制御部５に接続されている。 As shown in FIG. 1, in the information recording / reproducing apparatus 1 of this embodiment, asuspension 3 to which aslider 2 is fixed is fixed to acarriage 11. Theslider 2 and thesuspension 3 are collectively referred to as a head gimbal assembly 12 (a near-field light utilizing head gimbal assembly). The disc-shaped recording medium D is rotated in a predetermined direction by thespindle motor 7. Thecarriage 11 is rotatable about thepivot 10 and is rotated by anactuator 6 controlled by a control signal from thecontrol unit 5, so that theslider 2 can be disposed at a predetermined position on the surface of the recording medium D. The housing 9 has a box shape made of aluminum or the like (in FIG. 1, the peripheral wall surrounding the periphery of the housing 9 is omitted for easy understanding), and the above components are stored therein. Thespindle motor 7 is fixed to the bottom surface of the housing 9. Theslider 2 includes a recording element (not shown) for generating a magnetic field toward the recording medium D, a light guide unit (not shown) for generating near-field light, and a reproducing element (for reproducing information recorded on the recording medium D). (Not shown). The recording element and the reproducing element are connected to thecontrol unit 5 through theflexible wiring 13 laid along thesuspension 3 and thecarriage 11, the terminal 14 provided on the side surface of thecarriage 11, and theflat cable 4.

記録媒体Ｄは１枚でも良いが、図１に示すように複数枚設けても良い。記録媒体Ｄの枚数が増えれば、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数も増加する。図１では記録媒体Ｄの片面側のみにヘッドジンバルアセンブリ１２が設けられている構成を示しているが、両面に設けても良い。よって、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数は、最大で記録媒体Ｄの枚数の倍になる。これにより、情報記録再生装置１台当たりの記録容量の増加を図ることができる。 One recording medium D may be provided, but a plurality of recording media may be provided as shown in FIG. As the number of recording media D increases, the number ofhead gimbal assemblies 12 also increases. Although FIG. 1 shows a configuration in which thehead gimbal assembly 12 is provided only on one side of the recording medium D, it may be provided on both sides. Therefore, the number ofhead gimbal assemblies 12 is at most twice the number of recording media D. Thereby, the recording capacity per information recording / reproducing apparatus can be increased.

図２は第１実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ１２の拡大図である。サスペンション３は、ステンレス薄板を材料とするベースプレート２０１、ヒンジ２０２、ロードビーム２０３、フレクシャ２０４からなる。ベースプレート２０１は、その一部に設けられた取り付け穴２０１ａにより、キャリッジ１１に固定されている。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３を接続している。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３よりも薄くなっており、ヒンジ２０２を中心としてサスペンション３がたわむようになっている。フレクシャ２０４はロードビーム２０３、ヒンジ２０２に固定された細長い部材であり、ロードビーム２０３やベースプレート２０１よりも薄くなっており、たわみやすく出来ている。フレクシャ２０４の先端には略直方体形状のスライダ２が固定されている。 FIG. 2 is an enlarged view of thehead gimbal assembly 12 according to the first embodiment. Thesuspension 3 includes abase plate 201 made of a thin stainless plate, ahinge 202, aload beam 203, and aflexure 204. Thebase plate 201 is fixed to thecarriage 11 by mountingholes 201a provided in a part thereof. Thehinge 202 connects thebase plate 201 and theload beam 203. Thehinge 202 is thinner than thebase plate 201 and theload beam 203, and thesuspension 3 is bent around thehinge 202. Theflexure 204 is an elongate member fixed to theload beam 203 and thehinge 202, is thinner than theload beam 203 and thebase plate 201, and is easily bent. A substantiallyrectangular parallelepiped slider 2 is fixed to the tip of theflexure 204.

スライダ２の表面のうちフレクシャ２０４に固定された面の反対面は、記録媒体Ｄに対向する面である。この面は回転する記録媒体Ｄによって生じた空気流の粘性から、スライダ２が浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇＳｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。ＡＢＳ上には図示を略した凹凸形状が設けられており、スライダ２と記録媒体Ｄ間に所望の圧力分布を発生させている。スライダ２を記録媒体Ｄから離そうとする正圧とスライダ２を記録媒体Ｄに引き付けようとする負圧と、サスペンション３による押しつけ力の釣り合いで、スライダ２は所望の状態で浮上している。記録媒体Ｄとスライダ２のすきまの最低値は１０ｎｍ程度もしくはそれ以下となっている。サスペンション３による押しつけ力は主にヒンジ２０２の弾性により発生している。また、記録媒体Ｄ表面のうねりに対して、ヒンジ２０２およびフレクシャ２０４がたわむことで、所望の浮上状態を維持することが出来る。 The surface opposite to the surface fixed to theflexure 204 in the surface of theslider 2 is a surface facing the recording medium D. This surface is a surface that generates a pressure for theslider 2 to rise from the viscosity of the air flow generated by the rotating recording medium D, and is called ABS (Air Bearing Surface). An uneven shape (not shown) is provided on the ABS, and a desired pressure distribution is generated between theslider 2 and the recording medium D. Theslider 2 floats in a desired state due to the balance between the positive pressure for separating theslider 2 from the recording medium D, the negative pressure for attracting theslider 2 to the recording medium D, and the pressing force of thesuspension 3. The minimum clearance between the recording medium D and theslider 2 is about 10 nm or less. The pressing force by thesuspension 3 is mainly generated by the elasticity of thehinge 202. Further, since thehinge 202 and theflexure 204 are bent with respect to the undulation of the surface of the recording medium D, a desired floating state can be maintained.

フレクシャ２０４上にはフレキシブル配線１３が設けられている。フレクシャ２０４は略コ字状の開口部を有しており、この開口部に囲まれて舌状となったパッド部２０４ａ上に後述のレーザ３０３等を挟み込んでスライダ２が固定されている。スライダ２の端部のうち、サスペンション３の根本側（キャリッジ１１側）は流入端と呼ばれている。その反対のサスペンション３の先端側は、スライダ２の流出端と呼ばれている。これらは、前述の記録媒体Ｄによる空気流の方向に基づいて名付けられている。サスペンション３の根本側から延設されたフレキシブル配線１３は途中から２本に分岐し、前述の開口部およびスライダ２の両側を回り込むように、スライダ２の流出端側に接続されている。 Flexible wiring 13 is provided on theflexure 204. Theflexure 204 has a substantially U-shaped opening, and theslider 2 is fixed by sandwiching alaser 303 or the like (described later) on apad portion 204a surrounded by the opening and having a tongue shape. Of the ends of theslider 2, the base side (carriage 11 side) of thesuspension 3 is called an inflow end. The tip side of theopposite suspension 3 is called the outflow end of theslider 2. These are named based on the direction of the air flow by the recording medium D described above. Theflexible wiring 13 extended from the base side of thesuspension 3 branches into two from the middle, and is connected to the outflow end side of theslider 2 so as to go around the opening and both sides of theslider 2.

図３は第１実施形態に係るパッド部２０４ａ近傍の拡大図である。図４は図３のＡ−Ａ’断面である。フレキシブル配線１３はベースフィルム３０１と、それに載る６本の金属配線３０２からなる。ベースフィルム３０１はポリイミド等の樹脂からなる。金属配線３０２は銅からなり、表面が金メッキされている。ベースフィルム３０１は金属配線３０２とフレクシャ２０４とを絶縁している。また、図示はしていないが金属配線３０２の一部は保護のためにポリイミド等の樹脂で覆われている。６本の金属配線３０２のうち４本はスライダ２に設けられた記録素子（図示略）および再生素子（図示略）にそれぞれ２本ずつ接続されている。ただし、金属配線３０２の本数は６本に限られるものではなく、必要に応じて増減することができる。 FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of thepad portion 204a according to the first embodiment. 4 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'of FIG. Theflexible wiring 13 includes abase film 301 and sixmetal wirings 302 mounted thereon. Thebase film 301 is made of a resin such as polyimide. Themetal wiring 302 is made of copper and has a surface plated with gold. Thebase film 301 insulates themetal wiring 302 and theflexure 204 from each other. Although not shown, a part of themetal wiring 302 is covered with a resin such as polyimide for protection. Four of the sixmetal wirings 302 are respectively connected to two recording elements (not shown) and two reproducing elements (not shown) provided on theslider 2. However, the number ofmetal wirings 302 is not limited to six and can be increased or decreased as necessary.

また、パッド部２０４ａ上には平面視コの字状のレーザガイド３０４が配置されている。レーザガイド３０４はベースフィルム３０１と同材料、同厚となっている。そのためレーザガイド３０４とベースフィルム３０１は同時に形成することができる。レーザ３０３は平面視コの字状のレーザガイド３０４にはまりこむようになっており、位置決めが容易になっている。レーザ３０３は端面発光レーザであるため、その側面からレーザ光が出射する。レーザガイド３０４はレーザ３０３側面からのレーザ光出射を妨げないようになっている。レーザ３０３の厚さはレーザガイド３０４と等しい。スライダ２はベースフィルム３０１の一部とレーザ３０３およびレーザガイド３０４に載るように固定される。ベースフィルム３０１の端面のうち、レーザ３０３に対向する面は、レーザ３０３からの出射光の光軸方向に対して４５度傾斜した斜平面になっており、この斜平面に金属被膜することでミラー面３０１ａとなっている。被膜の金属はアルミニウムや金を用いる。よって、スライダ２とパッド部２０４ａに挟まれるように設置されたレーザ３０３から出射した光は、ミラー面３０１ａにて９０度曲げられて、スライダ２の内部に設けられた近接場光素子（図示略）を有する導光部３０６に導入される。 In addition, aU-shaped laser guide 304 is disposed on thepad portion 204a. Thelaser guide 304 has the same material and the same thickness as thebase film 301. Therefore, thelaser guide 304 and thebase film 301 can be formed simultaneously. Thelaser 303 is fitted in aU-shaped laser guide 304 in a plan view, and positioning is easy. Since thelaser 303 is an edge emitting laser, laser light is emitted from the side surface. Thelaser guide 304 does not hinder the emission of laser light from the side surface of thelaser 303. The thickness of thelaser 303 is equal to that of thelaser guide 304. Theslider 2 is fixed so as to be placed on a part of thebase film 301, thelaser 303 and thelaser guide 304. Of the end surface of thebase film 301, the surface facing thelaser 303 is an oblique plane inclined by 45 degrees with respect to the optical axis direction of the light emitted from thelaser 303, and a mirror is formed by coating the oblique plane with a metal film. Asurface 301a is formed. Aluminum or gold is used for the metal of the coating. Therefore, the light emitted from thelaser 303 installed so as to be sandwiched between theslider 2 and thepad portion 204a is bent by 90 degrees at themirror surface 301a, and a near-field light element (not shown) provided inside theslider 2 is shown. ).

レーザ３０３はパッド部２０４ａと接する面にカソード電極３０３ａを有し、スライダ２に接する面にアノード電極３０３ｂを有する。また、スライダ２はアノード電極３０３ｂに接する面に電極２ａ（スライダ側導電性膜）を有する。電極２ａはその一部がスライダ２の側面に突出部２ｂを有している。突出部２ｂと６本の金属配線３０２のうち磁極および再生素子に接続されていない１本の電気配線３０２ａとは、ボール３０５によるボールボンディングにより電気的に接続されている。６本の金属配線３０２のうち残る１本の電気配線３０２ｂはベースフィルム３０１上から延設されてパッド部２０４ａに接触している。カソード電極３０３ａおよびアノード電極３０３ｂは金などの金属からなっている。また電極２ａも導電性の材料からなっており、例えばスズを用いるとアノード電極３０３ｂと金スズ接合が可能となり都合が良い。ボール３０５は金や半田などの金属からなっている。よって、制御部５からの電気信号は電気配線３０２ａ、ボール３０５、電極２ａ、アノード電極３０３ｂを介して、および電気配線３０２ｂ、パッド部２０４ａ、カソード電極３０３ａを介して、レーザ３０３を駆動する。レーザ３０３からの光は導光部３０６に導入され、近接場光となってディスクＤの微小領域を加熱することで、熱アシスト磁気記録を実現する。 Thelaser 303 has acathode electrode 303 a on the surface in contact with thepad portion 204 a and ananode electrode 303 b on the surface in contact with theslider 2. Theslider 2 has anelectrode 2a (slider side conductive film) on the surface in contact with theanode electrode 303b. A part of theelectrode 2 a has a protrudingportion 2 b on the side surface of theslider 2. The protrudingportion 2b and one of the sixmetal wirings 302, which are not connected to the magnetic pole and the reproducing element, are electrically connected by ball bonding with theballs 305. The remaining one of the sixmetal wirings 302b extends from thebase film 301 and contacts thepad portion 204a. Thecathode electrode 303a and theanode electrode 303b are made of a metal such as gold. Theelectrode 2a is also made of a conductive material. For example, when tin is used, theanode electrode 303b and gold-tin can be joined conveniently. Theball 305 is made of metal such as gold or solder. Therefore, the electric signal from thecontrol unit 5 drives thelaser 303 through theelectric wiring 302a, theball 305, theelectrode 2a, and theanode electrode 303b, and through theelectric wiring 302b, thepad unit 204a, and thecathode electrode 303a. Light from thelaser 303 is introduced into thelight guide unit 306 and becomes near-field light to heat a minute region of the disk D, thereby realizing heat-assisted magnetic recording.

パッド部２０４ａは剛体部３０７とバネ部３０８からなっている。パッド部２０４ａはバネ部３０８でフレクシャ２０４のその他の部位と接続されている。剛体部３０７は、ディンプル２０３ａによる押圧方向に対して直交する面の撓みを抑制するものである。図５に示すように剛体部３０７の輪郭線上には、剛体部３０７の一部を構成する補強部３０９が設けられている。これはパッド部２０４ａの一部をバッド部２０４ａ面に垂直になるように曲げ加工することで形成される。ロードビーム２０３のスライダ２側の先端には半球状のディンプル２０３ａ（押圧部）が設けられている。ディンプル２０３ａの頂点は剛体部３０７に接触している。前述のように、サスペンション３によるスライダ２への押しつけ力は主にヒンジ２０２の弾性により発生しているが、その押しつけ力はディンプル２０３ａと剛体部３０７の接触を介して伝えられている。また、ディンプル２０３ａの頂点を中心に、パッド部２０４ａおよびスライダ２が回動できるようになっている。つまり、ディンプル２０３ａとパッド部２０４ａによりジンバル機構を構成している。さらに前述のように、記録媒体Ｄ表面のうねりに対して、フレクシャ２０４がたわむことで、スライダ２は所望の浮上状態を維持することが出来るが、この時、補強部３０９のためにパッド部２０４ａのうち剛体部３０７はたわむことがなく、バネ部３０８のみがたわむ。レーザ３０３はパッド部２０４ａのうち、剛体部３０７に固定されている。 Thepad part 204 a is composed of arigid part 307 and aspring part 308. Thepad portion 204 a is connected to other portions of theflexure 204 by aspring portion 308. Therigid body portion 307 suppresses the bending of the surface orthogonal to the pressing direction by thedimple 203a. As shown in FIG. 5, a reinforcingportion 309 constituting a part of therigid body portion 307 is provided on the contour line of therigid body portion 307. This is formed by bending a part of thepad part 204a so as to be perpendicular to the surface of thepad part 204a. Ahemispherical dimple 203a (pressing portion) is provided at the tip of theload beam 203 on theslider 2 side. The top of thedimple 203a is in contact with therigid body portion 307. As described above, the pressing force of thesuspension 3 against theslider 2 is mainly generated by the elasticity of thehinge 202, and the pressing force is transmitted through the contact between thedimple 203 a and therigid portion 307. Further, thepad portion 204a and theslider 2 can be rotated around the apex of thedimple 203a. That is, thedimple 203a and thepad portion 204a constitute a gimbal mechanism. Further, as described above, theflexure 204 is deflected by the waviness of the surface of the recording medium D, so that theslider 2 can maintain a desired floating state. At this time, thepad portion 204a is provided for the reinforcingportion 309. Among them, therigid body portion 307 is not bent, and only thespring portion 308 is bent. Thelaser 303 is fixed to therigid portion 307 in thepad portion 204a.

ここまで補強部３０９は図５に示すように、パッド部２０４ａの一部を曲げ加工することで形成されているが、剛体部３０７の剛性を確保するものであればどのような形状でも良い。例えば図６に示すように、パッド部２０４ａの一部をリブ状に押し出し加工したものを補強部３０９としても良い。また、図７に示すようにレーザガイド３０４を補強部３０９として用いても良い。 Up to this point, the reinforcingportion 309 has been formed by bending a part of thepad portion 204a as shown in FIG. 5, but it may have any shape as long as the rigidity of therigid portion 307 is ensured. For example, as shown in FIG. 6, a portion obtained by extruding a part of thepad portion 204 a into a rib shape may be used as the reinforcingportion 309. Further, as shown in FIG. 7, alaser guide 304 may be used as the reinforcingportion 309.

本実施の形態によって、記録媒体Ｄのうねりに対して剛体部３０７はたわまないので、剛体部３０７上に固定されたレーザ３０３に曲げ応力がかかることがない。よって、レーザ３０３を安定的に固定することができ、ひいてはレーザ３０３の長寿命化を図ることが出来る。また、補強部３０９のため、剛体部３０７の剛性を確保するために別途部材を用意する必要がなく、これを備えるヘッドジンバルアセンブリ１２および情報記録再生装置１を安価にすることができる。 According to the present embodiment, since therigid body portion 307 does not bend with respect to the undulation of the recording medium D, the bending stress is not applied to thelaser 303 fixed on therigid body portion 307. Therefore, thelaser 303 can be stably fixed, and the life of thelaser 303 can be extended. Further, since the reinforcingportion 309 is used, it is not necessary to prepare a separate member in order to ensure the rigidity of therigid portion 307, and thehead gimbal assembly 12 and the information recording / reproducing apparatus 1 including the member can be made inexpensive.

（第２実施形態）
以下、本発明に係る第２実施形態を、図８と図９を参照して説明する。第１実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１実施形態と異なる点は、レーザが傾斜面を有し、よってベースフィルム側面に反射面を設けなくて良い点である。(Second Embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. The difference between this embodiment and the first embodiment is that the laser has an inclined surface, and thus it is not necessary to provide a reflecting surface on the side surface of the base film.

図８は第２実施形態に係るパッド部２０４ａ近傍の拡大図である。図９は図５のＢ−Ｂ’断面である。フレキシブル配線１３はベースフィルム５０１と、それに載る６本の金属配線５０２からなる。ベースフィルム５０１はポリイミド等の樹脂からなる。金属配線５０２は銅からなり、表面が金メッキされている。ベースフィルム５０１は金属配線５０２とフレクシャ２０４とを絶縁している。また、図示はしていないが金属配線５０２の一部は保護のためにポリイミド等の樹脂で覆われている。６本の金属配線５０２のうち４本はスライダ２に設けられた記録素子（図示略）および再生素子（図示略）にそれぞれ２本ずつ接続されている。 FIG. 8 is an enlarged view of the vicinity of thepad portion 204a according to the second embodiment. FIG. 9 is a B-B ′ cross section of FIG. 5. Theflexible wiring 13 includes abase film 501 and sixmetal wirings 502 mounted thereon. Thebase film 501 is made of a resin such as polyimide. Themetal wiring 502 is made of copper and has a surface plated with gold. Thebase film 501 insulates themetal wiring 502 and theflexure 204 from each other. Although not shown, a part of themetal wiring 502 is covered with a resin such as polyimide for protection. Four of the sixmetal wirings 502 are connected to two recording elements (not shown) and two reproducing elements (not shown) provided on theslider 2, respectively.

ベースフィルム５０１はスライダ２の平面サイズと略同サイズで剛体部３０７上にまで延設された延設部５０１ａを有している。６本の金属配線５０２のうち磁極および再生素子に接続されていない１本の電気配線５０２ｂは延設部５０１ａ上にまで延設されてその先端はスライダ２の平面サイズと略同サイズの電極となっている。延設部５０１ａ上に載る電気配線５０２ｂ上にはレーザ５０３が配置されている。スライダ２はレーザ５０３に載るように固定される。レーザ５０３からの光はスライダ２方向に出射し、スライダ２の内部に設けられた近接場光素子（図示略）を有する導光部３０６に導入される。 Thebase film 501 has an extendingportion 501 a that is substantially the same size as the planar size of theslider 2 and extends to therigid body portion 307. Of the sixmetal wires 502, oneelectric wire 502b that is not connected to the magnetic pole and the reproducing element extends to theextended portion 501a, and the tip of theelectric wire 502b is an electrode having the same size as the planar size of theslider 2. It has become. Alaser 503 is disposed on theelectric wiring 502b placed on theextended portion 501a. Theslider 2 is fixed so as to be placed on thelaser 503. Light from thelaser 503 is emitted in the direction of theslider 2 and introduced into alight guide unit 306 having a near-field light element (not shown) provided inside theslider 2.

電極２ａの突出部２ｂと６本の金属配線５０２のうち磁極および再生素子に接続されていない残り１本の電気配線５０２ａとは、ワイヤ５０３によるワイヤボンディングにより電気的に接続されている。よって、制御部５からの電気信号は電気配線５０２ａ、ワイヤ５０３、電極２ａ、アノード電極５０３ｂを介して、および電気配線５０２ｂ、カソード電極５０３ａを介して、レーザ５０３を駆動する。レーザ５０３からの光は導光部３０６に導入され、近接場光となってディスクＤの微小領域を加熱することで、熱アシスト磁気記録を実現する。 The protrudingportion 2b of theelectrode 2a and the remaining one of the sixmetal wires 502 that are not connected to the magnetic pole and the reproducingelement 502a are electrically connected by wire bonding using awire 503. Therefore, the electric signal from thecontrol unit 5 drives thelaser 503 through theelectric wiring 502a, thewire 503, theelectrode 2a, and theanode electrode 503b, and through theelectric wiring 502b and thecathode electrode 503a. Light from thelaser 503 is introduced into thelight guide unit 306 and becomes near-field light to heat a minute region of the disk D, thereby realizing heat-assisted magnetic recording.

本実施の形態によって、第１実施形態と同様の効果を実現することか出来る。つまり、記録媒体Ｄのうねりに対して剛体部３０７はたわまないので、剛体部３０７上に固定されたレーザ３０３に曲げ応力がかかることがない。よって、レーザ３０３を安定的に固定することができ、ひいてはレーザ３０３の長寿命化を図ることが出来る。また、折り曲げ部３０９のため、剛体部３０７の剛性を確保に別途部材を用意する必要がなく、これを備えるヘッドジンバルアセンブリ１２および情報記録再生装置１を安価にすることができる。 According to the present embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be realized. That is, since therigid portion 307 does not bend with respect to the undulation of the recording medium D, no bending stress is applied to thelaser 303 fixed on therigid portion 307. Therefore, thelaser 303 can be stably fixed, and the life of thelaser 303 can be extended. Further, since thebent portion 309 is used, it is not necessary to prepare a separate member for ensuring the rigidity of therigid body portion 307, and thehead gimbal assembly 12 and the information recording / reproducing apparatus 1 including the member can be made inexpensive.

また、レーザ５０３が傾斜面５０３ｃを有しているため、容易にレーザ５０３と導光部３０６との位置合わせが可能となり、結果低コストにヘッドジンバルアセンブリ１２および情報記録再生装置１を製造することができる。 In addition, since thelaser 503 has theinclined surface 503c, thelaser 503 and thelight guide unit 306 can be easily aligned, and as a result, thehead gimbal assembly 12 and the information recording / reproducing apparatus 1 can be manufactured at low cost. Can do.

なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。また、上述した各実施形態を適宜組み合わせて採用することも可能である。 It should be noted that the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes those in which various modifications are made to the above-described embodiments without departing from the spirit of the present invention. In other words, the configuration described in the above-described embodiment is merely an example, and can be changed as appropriate. Moreover, it is also possible to employ | adopt combining each embodiment mentioned above suitably.

Ｄ記録媒体１情報記録再生装置２スライダ２ａ電極３サスペンション１１キャリッジ１２ヘッドジンバルアセンブリ１３フレキシブル配線２０４フレクシャ２０４ａパッド部３０１ａミラー面３０２電気配線３０３レーザ３０３ａカソード電極３０３ｂアノード電極３０６導光部３０７剛体部３０８バネ部３０９補強部５０３レーザD recording medium 1 information recording / reproducingapparatus 2slider 2a electrode 3suspension 11carriage 12head gimbal assembly 13flexible wiring 204flexure 204apad portion301a mirror surface 302electrical wiring 303laser 303acathode electrode303b anode electrode 306light guide portion 307rigid body portion 308Spring part 309reinforcement part 503 laser

Claims

Translated fromJapanese

記録媒体の表面に沿って延設され、フレクシャおよびロードビームを有するサスペンションと、
前記フレクシャの一部を構成し、バネ部と前記バネ部に接続される剛体部とを備えるフレクシャ舌部と、
前記剛体部上に設けられたレーザと、
前記記録媒体の表面と対向するように前記フレクシャ舌部上に固定され、前記レーザから発生した光束を用いて近接場光を発生するスライダと、
前記ロードビームの先端に設けられ、前記フレクシャ舌部の前記レーザが配置された側とは逆側の一部分を押圧する押圧部とを備え、
前記フレクシャ舌部は、前記押圧部を中心として回動するものであり、
前記剛体部は、前記押圧部による押圧方向に対して直交する面の撓みを抑制するものであることを特徴とする近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。A suspension extending along the surface of the recording medium and having a flexure and a load beam;
A flexure tongue that comprises part of the flexure and comprises a spring portion and a rigid portion connected to the spring portion;
A laser provided on the rigid body;
A slider that is fixed on the flexure tongue so as to face the surface of the recording medium and generates near-field light using a light beam generated from the laser;
A pressing portion that is provided at a tip of the load beam and presses a portion of the flexure tongue that is opposite to the side where the laser is disposed;
The flexure tongue portion rotates around the pressing portion,
The near-field light utilizing head gimbal assembly, wherein the rigid body portion suppresses bending of a surface orthogonal to a pressing direction by the pressing portion.

前記剛体部の剛性は前記バネ部の剛性よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。 The near-field light utilizing head gimbal assembly according to claim 1, wherein the rigidity of the rigid part is higher than the rigidity of the spring part.

前記剛体部の剛性は前記レーザの剛性よりも高いことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。 3. The near-field light utilizing head gimbal assembly according to claim 1, wherein the rigidity of the rigid portion is higher than the rigidity of the laser.

前記剛体部が前記フレクシャ舌部の一部を塑性変形させることで形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。 4. The near-field light utilizing head gimbal assembly according to claim 1, wherein the rigid body portion is formed by plastic deformation of a part of the flexure tongue portion.

前記剛体部が前記レーザを位置決めするレーザガイドであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。 5. The near-field light utilizing head gimbal assembly according to claim 1, wherein the rigid body portion is a laser guide for positioning the laser.

請求項１から請求項５のいずれかに記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリと、前記記録媒体とを有する情報記録再生装置。 An information recording / reproducing apparatus comprising: the near-field light utilizing head gimbal assembly according to claim 1; and the recording medium.