JP5323654B2

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Publication number: JP5323654B2
Application number: JP2009271262A
Authority: JP
Inventors: 剛記小山
Original assignee: Kitz SCT Corp
Current assignee: Kitz SCT Corp
Priority date: 2009-11-30
Filing date: 2009-11-30
Publication date: 2013-10-23
Anticipated expiration: 2029-11-30
Also published as: JP2011112196A

Description

本発明は、例えば、半導体装置や液晶製造構造に用いられ、液体や固体からなるガス化用材料等の処理流体を充填し、この処理流体を、例えば、チャンバーに供給するための処理流体充填容器と処理流体充填容器一体型ブロックバルブに関する。 The present invention is used, for example, in a semiconductor device or a liquid crystal manufacturing structure, and is filled with a processing fluid such as a gasification material made of liquid or solid, and this processing fluid is supplied to, for example, a chamber. And a processing fluid filling container integrated block valve.

この種の容器は、液体や固体状の半導体製造用材料を気化・昇華させてガス化し、継手やバルブを介して外部に供給できるようにしたものである。
例えば、特許文献１のバルブ付流体用容器は、２つの容器管を具備する容器本体、ブロック集積バルブとバルブユニット管とを具備するバルブユニットを有し、容器管とバルブユニット管とが接合部により接合されて容器本体とバルブユニットとが一体化されている。この場合、バルブユニットは、溶接により固着された容器管と、容器管の接合部すなわち継手部位を介して容器本体に接続されている。一般的に、この構造は、着脱や搬送の繰り返しが多いこと、落下等に対する耐衝撃強度を高めることなどから、例えば、ハイフロータイプに見られるように、溶接部位の口径を１サイズ程度大径にして溶接部位の外周長さを長くするか、或は、固定金具で固定することで継手の溶接部位に加わる応力を軽減するようにし、溶接割れによる材料の漏れを防止することが多くなっている。In this type of container, a liquid or solid semiconductor manufacturing material is vaporized and sublimated to be gasified and supplied to the outside through a joint or a valve.
For example, the fluid container with a valve of Patent Document 1 has a container body having two container pipes, a valve unit having a block integrated valve and a valve unit pipe, and the container pipe and the valve unit pipe are joined to each other. The container body and the valve unit are integrated. In this case, the valve unit is connected to the container body via a container pipe fixed by welding and a joint portion of the container pipe, that is, a joint part. In general, this structure has many repetitions of attachment and detachment and conveyance, and increases the impact resistance against dropping, etc. For example, as seen in the high flow type, the diameter of the welded part is increased by about one size. Increasing the outer peripheral length of the welded part or fixing it with a fixing bracket reduces the stress applied to the welded part of the joint and prevents leakage of material due to weld cracking. .

一方、特許文献２のタンク構造は、液体を貯蔵するタンク容器部位とタンク開口部位とを備えたタンクと、流量を制御するバルブと、液体供給流路・ガス給排気流路・弁座が設けられる流体継手とを備えたバルブ継手一体型集積ユニットを有する構造であり、このバルブ継手一体型集積ユニットは、流体継手に形成された挿入部がタンク開口部に挿入されることにより、タンクに固定されている。 On the other hand, the tank structure ofPatent Document 2 includes a tank having a tank container part for storing liquid and a tank opening part, a valve for controlling a flow rate, a liquid supply channel, a gas supply / exhaust channel, and a valve seat. The valve joint integrated type integrated unit is provided with a fluid coupling, and the valve joint integrated type unit is fixed to the tank by inserting the insertion portion formed in the fluid joint into the tank opening. Has been.

特許文献３は、密閉容器にガスを導くガス導入通路と、容器内の液体を吐出する吐出通路と、ガス導入通路と吐出通路とを連通するバイパス通路と、通路を開閉するバルブとを備えた液体供給構造である。そして、ガス導入通路、吐出通路、バイパス通路は、マニホールドブロック内に形成され、第１バルブと第２バルブ、第３バルブと第４バルブが所定の流路に連通して互いに対向配置されると共に、マニホールドブロックが容器に結合されている。 Patent Document 3 includes a gas introduction passage that guides gas to a sealed container, a discharge passage that discharges liquid in the container, a bypass passage that communicates the gas introduction passage and the discharge passage, and a valve that opens and closes the passage. It is a liquid supply structure. The gas introduction passage, the discharge passage, and the bypass passage are formed in the manifold block, and the first valve and the second valve, the third valve and the fourth valve communicate with a predetermined flow path, and are arranged opposite to each other. The manifold block is coupled to the container.

特開２００７−１８２９２７号公報JP 2007-182927 A特開２００６―３０７９４４号公報JP 2006-307944 A特許第４０２１７２１号公報Japanese Patent No. 4021721

しかしながら、特許文献１のバルブ付流体用容器は、容器本体とバルブユニットとが継手部により接合され、容器管が溶接により固着されている。このため、仮に衝撃に対する強度を高めたとしても容器本体とバルブユニットとの着脱時や搬送時に誤って落下させたりぶつけたりすると、その衝撃によりバルブとの接合部や溶接部位が損傷することがあった。このことから、毒性や腐食性の強い材料を使用することが多い半導体・液晶製造分野でこの容器を用いたときに漏れが生じる危険性があり安全性の点で問題があった。 However, in the fluid container with valve of Patent Document 1, the container body and the valve unit are joined by a joint portion, and the container pipe is fixed by welding. For this reason, even if the strength against impact is increased, if the container body and the valve unit are accidentally dropped or hit during transportation, the joint and welded part of the valve may be damaged by the impact. It was. Therefore, there is a risk in terms of safety because there is a risk of leakage when this container is used in the semiconductor / liquid crystal manufacturing field, which often uses highly toxic and corrosive materials.

しかも、容器管や継手部により容器本体とバルブユニットとを接続しているため、これらの内部流路の容積の大きさに比例してパージ時間が増加したり不純物混入の可能性も高まることになり、延いては、半導体・液晶製造ラインの稼動を停止したり、材料の歩留まりが低下することにも繋がっていた。 In addition, since the container body and the valve unit are connected by the container pipe and the joint part, the purge time increases in proportion to the volume of the internal flow path, and the possibility of contamination is increased. As a result, the operation of the semiconductor / liquid crystal production line was stopped, and the yield of materials was reduced.

一方、同文献２、３においては、バルブが集積ユニットやマニホールドブロックにより集積化された状態で水平方向に取り付けられており、バルブ内部の弁体シール部であるダイヤフラムやベローズ部分が水平方向に移動してシールするため、バルブ内部に流体が残留しやすくなっていた。このため、大気暴露時に流路の腐食やバルブの損傷が発生し、この損傷部分から材料漏れが生じて人体に飛散して事故に繋がる可能性もあった。 On the other hand, in theliteratures 2 and 3, the valves are mounted in a horizontal direction in an integrated state by an integrated unit or a manifold block, and the diaphragm or bellows portion, which is a valve body seal portion inside the valve, moves in the horizontal direction. As a result, fluid tends to remain inside the valve. For this reason, corrosion of the flow path and damage to the valve occur during exposure to the atmosphere, and material leakage may occur from this damaged portion, which may scatter to the human body and lead to an accident.

本発明は、上記の課題点を解決するために開発したものであり、その目的とするところは、ガス化用材料等の処理流体を気化又は昇華させて供給でき、集積弁を集積化した状態で取付けて取付け強度を確保しつつ内部流路の容積を小さくし、かつ、内部への処理流体の残留を防ぐことができる処理流体充填容器と処理流体充填容器一体型ブロックバルブとを提供することにある。 The present invention has been developed in order to solve the above-described problems, and the object of the present invention is to supply a process fluid such as a gasification material by vaporizing or sublimating it and integrating the integrated valve. A processing fluid filling container and a processing fluid filling container-integrated block valve capable of reducing the volume of the internal flow path while preventing attachment of the processing fluid to the inside while securing the attachment strength It is in.

上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、処理流体を充填した容器本体の蓋、天板、鏡板などの上面に位置している上面部位を実装基盤とし、この実装基盤の肉厚部内に容器本体内に連通させた処理流体の供給部と排出部を設け、この供給部と排出部の接続シール面に平面マウント用バルブである集積弁を直接取付けた処理流体充填容器である。 In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 uses the upper surface portion located on the upper surface of the lid, top plate, end plate, etc. of the container body filled with the processing fluid as the mounting substrate, and the thickness of this mounting substrate A processing fluid supply container in which a processing fluid supply part and a discharge part communicated with each other in the container main body are provided in the part, and an integrated valve, which is a flat mount valve, is directly attached to a connection seal surface between the supply part and the discharge part.

請求項２に係る発明は、供給部と排出部は、集積弁と連通させる連通孔を有する継手用連通部と供給又は排出用の継手とを有する流路ブロックで構成し、この流路ブロックを実装基盤に着脱自在に設けた処理流体充填容器である。 According to a second aspect of the present invention, the supply section and the discharge section are constituted by a flow path block having a joint communication section having a communication hole that communicates with the integrated valve, and a supply or discharge joint. The processing fluid filling container is detachably provided on the mounting base.

請求項３に係る発明は、流路ブロックは、実装基盤に形成した収納溝に挿脱自在に設けた処理流体充填容器である。 According to a third aspect of the present invention, the flow path block is a processing fluid filled container that is removably provided in a storage groove formed in the mounting base.

請求項４に係る発明は、継手用連通部と連通孔を有するバルブ用連通部とで接続シール面を形成し、この接続シール面に集積弁のフランジ部を４本のボルトで固定シールした処理流体充填容器である。 The invention according toclaim 4 is a process in which a connection seal surface is formed by the joint communication portion and the valve communication portion having the communication hole, and the flange portion of the integrated valve is fixed and sealed to the connection seal surface by four bolts. It is a fluid-filled container.

請求項５に係る発明は、実装基盤の肉厚部内に形成した収納溝に、バイパス用の流路ブロックを挿脱自在に設け、この流路ブロックの継手用連通部とバルブ用連通部とで接続シール面を形成し、この接続シール面に集積弁のフランジ部を４本のボルトで固定シールした処理流体充填容器である。 According to a fifth aspect of the present invention, a bypass channel block is detachably provided in a storage groove formed in the thick portion of the mounting base, and a coupling communication portion and a valve communication portion of the flow channel block are provided. This is a processing fluid filled container in which a connection seal surface is formed and the flange portion of the integrated valve is fixed and sealed to the connection seal surface with four bolts.

請求項６に係る発明は、処理流体を充填した容器本体の蓋、天板、鏡板などの上面に位置している上面部位を実装基盤とし、この実装基盤の肉厚部内に容器本体内に連通させた処理流体の供給部と排出部を設け、この供給部と排出部の接続シール面に平面マウント用バルブである集積弁を直接取付けた処理流体充填容器一体型ブロックバルブである。 The invention according toclaim 6 uses the upper surface portion located on the upper surface of the lid, top plate, end plate, etc. of the container body filled with the processing fluid as the mounting base, and communicates with the inside of the container main body in the thick part of the mounting base. The processing fluid filling container integrated block valve is provided with a supply portion and a discharge portion for the treated fluid, and an integrated valve, which is a flat mount valve, is directly attached to a connection seal surface between the supply portion and the discharge portion.

請求項１に係る発明によると、処理流体を充填した容器本体の上面部位を実装基盤とし、この実装基盤に対して平面マウント用バルブである集積弁を平面実装により直接取付けるようにしているので、処理流体を気化又は昇華させて供給できると共に、集積弁を集積化した状態で取付けて全体のコンパクト化を図りつつ集積弁と容器本体との接合強度を確保して衝撃等による損傷を防止し、かつ、流路の内容積が小さくなるため、パージ時間を短くしたり不純物の混入を防止して材料の歩留まりを向上させたりすることができる。この場合、洗浄時間を短縮してコストの削減も可能になる。しかも、集積弁を平面マウントにより鉛直方向に取付けているため、弁体シール部が鉛直方向となり、集積弁の内部への処理流体の残留による液だまり等の発生を防いで流路の腐食や集積弁の損傷を防止できる。これにより、処理流体等の漏れを防ぐことができ安全性が向上する。更には、ブロック化された実装基盤により配管継手が少なくなるため、容器本体を加熱するためのヒーティング構造が容易になり、ヒーティングの際の温度均一性も高まる。 According to the invention according to claim 1, since the upper surface portion of the container body filled with the processing fluid is used as a mounting base, the integrated valve which is a plane mounting valve is directly attached to the mounting base by flat mounting. Process fluid can be vaporized or sublimated and supplied, and the integrated valve is attached in an integrated state to ensure the overall compactness while ensuring the joint strength between the integrated valve and the container body to prevent damage due to impact, etc. And since the internal volume of a flow path becomes small, purge time can be shortened or mixing of impurities can be prevented and the yield of materials can be improved. In this case, the cleaning time can be shortened to reduce the cost. In addition, since the integrated valve is mounted in a vertical direction by a flat mount, the valve body seal is in the vertical direction, preventing the occurrence of liquid pools due to residual processing fluid inside the integrated valve and preventing corrosion and accumulation of the flow path. Damage to the valve can be prevented. Thereby, the leakage of the processing fluid or the like can be prevented, and safety is improved. Furthermore, since the number of pipe joints is reduced due to the blocked mounting base, a heating structure for heating the container body is facilitated, and temperature uniformity during heating is also increased.

請求項２に係る発明によると、流路ブロックにより供給部と排出部とを構成しており、平面マウント構造の集積弁を着脱して消耗の激しい供給部と排出部のみを流路ブロックの着脱により容易に交換できる。流路ブロックを用いることにより設置スペースを抑えながら集積弁を平面マウントした状態で実装でき、集積部分のコンパクト化を図ることができる。しかも、集積弁と流路ブロックによる内部流路を短くできることでクリーンなガスを得ることが可能になる。 According to the second aspect of the present invention, the supply block and the discharge portion are configured by the flow path block, and the flat-mount structure integrated valve is attached and detached, and only the supply section and the discharge portion that are heavily consumed are attached and detached. Can be easily replaced. By using the flow path block, the integrated valve can be mounted in a plane-mounted state while reducing the installation space, and the integrated portion can be made compact. In addition, it is possible to obtain clean gas by shortening the internal flow path by the integrated valve and the flow path block.

請求項３に係る発明によると、必要に応じて流路ブロックのみを実装基盤から簡単に取外して交換することができ、供給部や排出部である流路ブロックが消耗した場合でも実装基盤や容器本体全体を交換する必要がない。しかも、流路ブロックを実装基盤に位置決め状態で収納できることにより連通部を実装基盤の所定位置に配置でき、接続シール面に対して漏れの無い密着シール状態で集積弁を正確に実装できる。更に、流路ブロックを収納溝に収納できることで実装基盤全体の高さを低くでき、容器本体のコンパクト化を図ることができる。 According to the invention ofclaim 3, if necessary, only the flow path block can be easily removed and replaced from the mounting base, and the mounting base and the container can be replaced even when the flow path block as the supply unit or the discharge unit is consumed. There is no need to replace the entire body. In addition, since the flow path block can be accommodated in the mounting base in a positioning state, the communicating portion can be arranged at a predetermined position on the mounting base, and the integrated valve can be accurately mounted in a tightly sealed state with no leakage with respect to the connection seal surface. Furthermore, since the flow path block can be stored in the storage groove, the height of the entire mounting substrate can be reduced, and the container body can be made compact.

請求項４に係る発明によると、実装基盤上に集積化した状態で集積弁を取付けてコンパクト化を図ることができ、かつ、接続シール面に密着させて漏れを防ぎながら、簡単な作業により集積弁を取付けることができる。 According to the invention ofclaim 4, it is possible to reduce the size by mounting the integrated valve in a state of being integrated on the mounting base, and it is integrated by a simple operation while closely contacting the connection seal surface to prevent leakage. You can install the valve.

請求項５に係る発明によると、実装基盤内の流路を短絡させてこの流路内を集中的に洗浄することが可能になり、この流路内部に残った処理流体やガスを外部にパージしてこれらが内部に残留したり内部に不純物が付着したりすることを抑えてクリーンなガスを供給することができる。 According to the invention ofclaim 5, it becomes possible to short-circuit the flow path in the mounting substrate to intensively clean the flow path, and purge the processing fluid and gas remaining inside the flow path to the outside. Thus, it is possible to supply clean gas while preventing these from remaining inside or adhering impurities inside.

請求項６に係る発明によると、処理流体を充填した容器本体の上面部位を実装基盤とし、この実装基盤に対して平面マウント用バルブである集積弁を直接取付けるようにしているので、処理流体を気化又は昇華させて供給できると共に、集積弁を集積化した状態で取付けて集積弁と容器本体との接合強度を確保して衝撃等による損傷を防止し、かつ、パージ時間を短くしたり不純物の混入を防止して材料の歩留まりを向上させる処理流体充填容器一体型ブロックバルブを提供できる。この場合、洗浄時間を短縮してコストの削減も可能になり、しかも、集積弁の内部への処理流体の残留による液だまり等の発生を防いで流路の腐食や集積弁の損傷を防止している。これにより、処理流体等の漏れを防ぐことができ、安全性が向上している。 According to the invention ofclaim 6, the upper surface portion of the container body filled with the processing fluid is used as a mounting base, and the integrated valve that is a flat mount valve is directly attached to the mounting base. It can be supplied by vaporization or sublimation, and the integrated valve is attached in an integrated state to ensure the joint strength between the integrated valve and the container body to prevent damage due to impact, etc. It is possible to provide a processing fluid-filled container integrated block valve that prevents mixing and improves the material yield. In this case, the cleaning time can be shortened and the cost can be reduced, and the occurrence of liquid accumulation due to the remaining processing fluid inside the integrated valve is prevented to prevent the corrosion of the flow path and the integrated valve from being damaged. ing. Thereby, the leakage of the processing fluid or the like can be prevented, and safety is improved.

処理流体充填容器と処理流体充填容器一体型ブロックバルブの実施形態を示した正面図である。It is the front view which showed embodiment of the processing fluid filling container and the processing fluid filling container integrated block valve.図１における実装基盤を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the mounting base | substrate in FIG.図２における実装基盤の分離斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the mounting board in FIG. 2.図１の処理流体充填容器と処理流体充填容器一体型ブロックバルブの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the processing fluid filling container and the processing fluid filling container integrated block valve of FIG. 1.図４のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG.処理流体充填容器と処理流体充填容器一体型ブロックバルブの他の実施形態における実装基盤を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the mounting base in other embodiment of the processing fluid filling container and the processing fluid filling container integrated block valve.図６の実装基盤の分離斜視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view of the mounting board of FIG. 6.処理流体充填容器と処理流体充填容器一体型ブロックバルブの他の実施形態を示した平面図である。It is the top view which showed other embodiment of the processing fluid filling container and the processing fluid filling container integrated block valve.図８のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG.図８のＣ−Ｃ断面図である。It is CC sectional drawing of FIG.

以下に、本発明における処理流体充填容器と、処理流体充填容器一体型ブロックバルブの実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。図１においては、本発明における処理流体充填容器と、処理流体充填容器一体型ブロックバルブを示し、図２〜図４においては、その実装基盤を示している。 Embodiments of a processing fluid filling container and a processing fluid filling container integrated block valve according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a processing fluid filling container and a processing fluid filling container integrated block valve according to the present invention, and FIGS. 2 to 4 show their mounting bases.

本発明の処理流体充填容器は、例えば、ＣＶＤ法やＭＯＣＶＤ法により半導体を製造する際において、処理流体を気化又は昇華させて生成した生成流体を外部の図示しない半導体製造装置の反応炉に供給するために用いられる。この場合、生成流体の供給方法としては、例えば、原料を溶解させた処理流体を充填容器に液送しておき、これをキャリアガスによって強制的に気化させて供給する、いわゆる溶液気化法と、充填容器を加熱して充填容器内の処理流体の蒸気圧を高くし、これにキャリアガスをバブリングさせてキャリアガスに処理流体を飽和させた生成流体を供給する、いわゆるバブリング法とがある。以降の実施形態では、溶液気化法を採用した場合の構造の充填容器を述べる。 The processing fluid filling container of the present invention supplies a generated fluid generated by vaporizing or sublimating the processing fluid to a reaction furnace of an external semiconductor manufacturing apparatus (not shown) when a semiconductor is manufactured by, for example, CVD or MOCVD. Used for. In this case, as a supply method of the generated fluid, for example, a processing fluid in which a raw material is dissolved is liquid-fed to a filling container, and this is forcibly vaporized by a carrier gas and supplied, and so-called solution vaporization method, There is a so-called bubbling method in which the filling container is heated to increase the vapor pressure of the processing fluid in the filling container, and the carrier gas is bubbled to supply the generated fluid in which the processing fluid is saturated to the carrier gas. In the following embodiments, a filled container having a structure in which the solution vaporization method is employed will be described.

図１に示すように、処理流体充填容器は、充填容器本体（以下、容器本体という）１を有し、この容器本体１は、実装基盤２と収納体３とを有し、実装基盤２には平面マウント用バルブである集積弁４、５、６が取付けられている。 As shown in FIG. 1, the processing fluid filling container has a filling container main body (hereinafter referred to as a container main body) 1, and the container main body 1 has a mountingbase 2 and astorage body 3. Are mounted withintegrated valves 4, 5, 6 which are flat mount valves.

図２、図３において、実装基盤２は、例えば、蓋、天板、鏡板などの容器本体１の上面に位置している上面部位からなり、略円板状に形成されている。この実装基盤２には肉厚部７が設けられ、この肉厚部７内には容器本体１内に連通させた処理流体の供給部８、排出部９、パージ部１０が設けられ、これらの供給部８、排出部９、パージ部１０の接続シール面１１に、集積弁４、５、６が直接平面実装されるようになっている。 2 and 3, the mountingbase 2 is composed of an upper surface portion located on the upper surface of the container main body 1 such as a lid, a top plate, and an end plate, and is formed in a substantially disc shape. The mountingbase 2 is provided with athick portion 7, and a processingfluid supply portion 8, adischarge portion 9, and apurge portion 10 communicated with the inside of the container body 1 are provided in thethick portion 7. Theintegrated valves 4, 5, 6 are directly mounted on the connection seal surfaces 11 of thesupply unit 8, thedischarge unit 9, and thepurge unit 10.

供給部８、排出部９、パージ部１０は、流路ブロック１２で構成されており、この流路ブロック１２は、継手用連通部１３と継手１４とを有している。図５に示すように、継手用連通部１３は、集積弁４、５、６の供給側又は排出側と連通される連通孔１５を有し、継手１４は、略Ｌ字形状に形成されて図示しない外部流路に接続可能に設けられている。 Thesupply unit 8, thedischarge unit 9, and thepurge unit 10 include aflow channel block 12, and theflow channel block 12 includes ajoint communication unit 13 and a joint 14. As shown in FIG. 5, thejoint communication portion 13 has acommunication hole 15 that communicates with the supply side or the discharge side of theintegrated valves 4, 5, 6, and the joint 14 is formed in a substantially L shape. It is provided so as to be connectable to an external flow path (not shown).

実装基盤２の流路ブロック１２の取付け位置には収納溝１６が形成されており、この収納溝１６に対して流路ブロック１２が挿脱自在になっている、このように、流路ブロック１２は、実装基盤２に着脱可能に設けられており、流路ブロック１２の収納溝１６への収納後に、継手用連通部１３が実装基盤２上に配設される。 Astorage groove 16 is formed at the mounting position of the flow path block 12 of the mountingbase 2, and the flow path block 12 can be inserted into and removed from thestorage groove 16. Is detachably provided on the mountingbase 2, and thejoint communication portion 13 is disposed on the mountingbase 2 after thepassage block 12 is stored in thestorage groove 16.

実装基盤２における継手用連通部１３と対応する位置にはバルブ用連通部１７が設けられ、このバルブ用連通部１７は、図３における実装基盤２の上面側である外部と、下面側である容器本体１の内部とを連通するように形成されている。更に、排出側集積弁６側のバルブ用連通部１７においては、収納体３の内部まで延長するようにチューブ２７が設けられている。 Avalve communication portion 17 is provided at a position corresponding to thejoint communication portion 13 in the mountingsubstrate 2, and thevalve communication portion 17 is on the outside on the upper surface side of the mountingsubstrate 2 in FIG. 3 and on the lower surface side. It is formed so as to communicate with the inside of the container body 1. Furthermore, atube 27 is provided in thevalve communication portion 17 on the discharge side integratedvalve 6 side so as to extend to the inside of thehousing 3.

流路ブロック１２を収納溝１６に収納した場合には、継手用連通部１３とバルブ用連通部１７とにより上記した接続シール面１１が形成され、この接続シール面１１にシール状態で各集積弁４、５、６が取付け可能になっている。接続シール面１１の周囲には、後述するフランジ部３０取付け用の雌ねじ２６が４箇所に形成されている。 When the flow path block 12 is housed in thehousing groove 16, theconnection communication surface 13 is formed by thejoint communication portion 13 and thevalve communication portion 17, and each integrated valve is sealed on theconnection seal surface 11. 4, 5, 6 can be attached. Around theconnection seal surface 11,female threads 26 for attaching aflange portion 30 to be described later are formed at four locations.

実装基盤２の収納溝１６の近傍にはメネジ１８が形成され、このメネジ１８にはオネジ１９が螺着可能になっている。Ｌ型部材２０と固定部材２１は、流路ブロック１２を収納溝１６に収納した状態で固定するために設けられ、Ｌ型部材２０は、オネジ１９が挿通可能な穴部２２を有し、固定部材２１は、継手１４が装着可能な形状の凹溝２３と、オネジ１９が螺着可能なメネジ２４とを有している。また、実装基盤２の外周縁近傍には適宜の間隔で装着穴２５が形成されている。 Afemale screw 18 is formed in the vicinity of thestorage groove 16 of the mountingbase 2, and amale screw 19 can be screwed to thefemale screw 18. The L-shapedmember 20 and the fixingmember 21 are provided to fix the flow path block 12 in a state in which the flow path block 12 is stored in thestorage groove 16, and the L-shapedmember 20 has ahole portion 22 through which themale screw 19 can be inserted. Themember 21 has aconcave groove 23 that can be fitted with the joint 14 and afemale screw 24 into which themale screw 19 can be screwed. Further, mountingholes 25 are formed in the vicinity of the outer peripheral edge of the mountingsubstrate 2 at appropriate intervals.

図４における各集積弁について、集積弁４は、キャリアガス供給用の供給側集積弁として設けられ、集積弁５は、処理流体にキャリアガスを供給して得られる生成流体を排出するための排出側集積弁として設けられ、一方、集積弁６は、容器本体１内をパージ可能な真空引き用弁として設けられる。
集積弁４、５、６は、実装基盤２に取付け用フランジ部３０を介して取付けられ、図５における集積弁４、５、６の底面３１と接続シール面１１との間にはシール部材３２が配設される。For each integrated valve in FIG. 4, theintegrated valve 4 is provided as a supply-side integrated valve for supplying a carrier gas, and theintegrated valve 5 is a discharge for discharging a generated fluid obtained by supplying the carrier gas to the processing fluid. Theaccumulation valve 6 is provided as a evacuation valve capable of purging the inside of the container body 1.
Theintegrated valves 4, 5, 6 are attached to the mountingsubstrate 2 via mountingflanges 30, and aseal member 32 is provided between thebottom surface 31 of theintegrated valves 4, 5, 6 and theconnection seal surface 11 in FIG. 5. Is disposed.

集積弁４、５、６は、一般的な構造を有する自動弁又は手動弁からなり、図５に示すように、その底面３１に流入口３４と流出口３５とからなる流路口３３がそれぞれ形成され、流入口３４と流出口３５との間の流路には弁体３６が設けられている。弁体３６は、自動又は手動操作により開閉や中間開度の状態に開度調整可能であり、この弁体３６の開度調整により、集積弁４によるキャリアガスの供給量と、集積弁５による生成流体の排出量と、集積弁６によるパージ量とがそれぞれ制御可能になっている。 Theaccumulation valves 4, 5, and 6 are automatic valves or manual valves having a general structure, and as shown in FIG. 5, flowpath ports 33 including aninflow port 34 and anoutflow port 35 are respectively formed on thebottom surface 31. Avalve body 36 is provided in the flow path between theinlet 34 and theoutlet 35. Thevalve body 36 can be opened and closed or adjusted to an intermediate opening state automatically or manually. By adjusting the opening of thevalve body 36, the amount of carrier gas supplied by theintegrated valve 4 and theintegrated valve 5 can be adjusted. The discharge amount of the generated fluid and the purge amount by theaccumulation valve 6 can be controlled.

図３に示すように、集積弁４、５、６の下部側には略円柱状の取付部４０が設けられ、この取付部４０の底面３１側に前記流入口３４と流出口３５とが形成されている。更に、取付部４０には平行二面部４１が適宜の長さで切欠き形成されている。取付部４０の外周側には締付ナット４２が装着され、この締付ナット４２の内周側にはめねじ部４３が形成されている。 As shown in FIG. 3, a substantially cylindrical mountingportion 40 is provided on the lower side of theaccumulation valves 4, 5, 6, and theinlet 34 and theoutlet 35 are formed on thebottom surface 31 side of the mountingportion 40. Has been. Furthermore, a parallel two-surface part 41 is notched and formed in theattachment part 40 with an appropriate length. A tighteningnut 42 is mounted on the outer peripheral side of the mountingportion 40, and a female screw portion 43 is formed on the inner peripheral side of the tighteningnut 42.

フランジ部３０は、台座部４５とこの台座部４５から延設した筒状部４６とを有している。台座部４５には実装基盤２の雌ねじ２６の位置に対応した４つの取付孔４７が形成され、この取付孔４７に雄ねじ４８を有するボルト４９が挿通可能になっている。筒状部４６の上端側には、平行二面部４１に対応する突起部５０が形成され、この突起部５０が平行二面部４１に装着可能になっている。筒状部４６の外周側には、締付ナット４２のめねじ部４３と螺着可能なおねじ部５１が形成されている。 Theflange portion 30 includes apedestal portion 45 and acylindrical portion 46 extending from thepedestal portion 45. Four mountingholes 47 corresponding to the positions of thefemale screws 26 of the mountingbase 2 are formed in thepedestal portion 45, andbolts 49 havingmale screws 48 can be inserted into the mounting holes 47. A protrudingportion 50 corresponding to the parallel two-surface portion 41 is formed on the upper end side of thecylindrical portion 46, and the protrudingportion 50 can be attached to the parallel two-surface portion 41. On the outer peripheral side of thecylindrical portion 46, amale screw portion 51 that can be screwed with the female screw portion 43 of the tighteningnut 42 is formed.

図３に示すように、シール部材３２は、例えば、薄型の断面略Ｃ字形状に形成され、集積弁４、５、６の流路口３３（流入口３４、流出口３５）と接続シール面１１との間に挟着可能な形状に設けられている。 As shown in FIG. 3, theseal member 32 is formed in, for example, a thin, substantially C-shaped cross section, and the flow path port 33 (inlet 34 and outlet 35) of theintegrated valves 4, 5, 6 and theconnection seal surface 11. Are provided in a shape that can be sandwiched between the two.

集積弁４、５、６は、流路口３３のうち、何れか一方側の流路口３３が継手用連通部１３、他方側の流路口３３がバルブ用連通部１７に連通した状態で実装基盤２にそれぞれ平面実装される。本実施形態においては、供給側の集積弁４における流入口３４が継手用連通部１３、流出口３５がバルブ用連通部１７と連通し、排出側集積弁５における流入口３４がバルブ用連通部１７、流出口３５が継手用連通部１３と連通し、真空引き用集積弁６における流入口３４がバルブ用連通部１７、流出口３５が継手用連通部１３と連通した状態で、各集積弁のフランジ部４０が４本のボルト４９で固定シールされている。 Theintegrated valves 4, 5, and 6 have the mountingbase 2 in a state in which any one of theflow passage ports 33 is in communication with thejoint communication portion 13 and the otherflow passage port 33 is in communication with thevalve communication portion 17. Each is mounted on a plane. In the present embodiment, theinlet 34 in the supply-sideintegrated valve 4 is in communication with thejoint communication portion 13, theoutlet 35 is in communication with thevalve communication portion 17, and theinlet 34 in the discharge-sideintegrated valve 5 is in the valve communication portion. 17, theoutlet 35 communicates with the joint communicatingportion 13, theinlet 34 in the vacuumingintegrated valve 6 communicates with thevalve communicating portion 17, and theoutlet 35 communicates with the joint communicatingportion 13. Theflange portion 40 is fixedly sealed with fourbolts 49.

一方、図１に示すように、収納体３は略円筒形状に形成され、その内部に液体や固体状のガス化用材料等の適宜の処理流体が収納される。ガス化用材料としては、例えば、テトラヒドロフラン、トリエトキシボラン、トリエトキシアルシン、トリメチルアルミニウム、トリメチルガリウム、テトラエトキシシラン、四塩化珪素、三塩化砒素などがある。図１、図５において、収納体３の上端側には環状鍔部５５が形成され、この環状鍔部５５における実装基盤２の装着穴２５と対応する位置には貫通穴５６が形成されている。 On the other hand, as shown in FIG. 1, thestorage body 3 is formed in a substantially cylindrical shape, and an appropriate processing fluid such as a liquid or a solid gasification material is stored therein. Examples of the gasification material include tetrahydrofuran, triethoxyborane, triethoxyarsine, trimethylaluminum, trimethylgallium, tetraethoxysilane, silicon tetrachloride, and arsenic trichloride. 1 and 5, anannular flange 55 is formed on the upper end side of thehousing 3, and a throughhole 56 is formed at a position corresponding to the mountinghole 25 of the mountingbase 2 in theannular flange 55. .

実装基盤２は、この収納体３に対して、図示しない密封シール用のシール部材、例えば、ＰＦＡやＰＴＦＥ等の樹脂などの耐薬品性を発揮する部材を挟着した状態で、貫通孔５６と装着穴２５にボルト・ナット５７を締め込むことで一体化され、この一体化した実装基盤２と収納体３とにより容器本体１が構成される。 The mountingbase 2 has a through-hole 56 in a state where a sealing member for sealing and sealing (not shown), for example, a member exhibiting chemical resistance such as resin such as PFA or PTFE is sandwiched between thehousing 3 and thehousing 3. The mountingbody 25 is integrated by tightening bolts andnuts 57, and the integrated mountingbase 2 andstorage body 3 constitute the container body 1.

続いて、上記の集積弁４、５、６を実装基盤２に平面実装する場合の手順を述べる。この手順では、供給側の集積弁４において、流入口３４と継手用連通部１３、流出口３３とバルブ用連通部１７を連通させるように実装する場合を説明する。 Subsequently, a procedure for mounting theintegrated valves 4, 5, 6 on the mountingsubstrate 2 will be described. In this procedure, a case will be described in which theinlet 34 and thejoint communication portion 13 and theoutlet 33 and thevalve communication portion 17 are mounted in the supply-sideintegrated valve 4 so as to communicate with each other.

図３において、先ず、実装基盤２の収納溝１６に供給部８（流路ブロック１２）を収納する。この状態で、凹溝２３に継手１４を嵌め込みながら固定部材２１を装着し、この固定部材２１の他方側からＬ型部材２０を継手１４に装着して、Ｌ型部材２０と凹溝２３との間に継手１４を挟んだ状態にする。そして、オネジ１９をメネジ１８、２４に螺着し、固定部材２１とＬ型部材２０、Ｌ型部材２０と実装基盤２とをそれぞれ固定する。この固定により、流路ブロック１２が収納溝１６に固定され、継手用連通部１３とバルブ用連通部１７とにより接続シール面１１が実装基盤２の上面側に形成される。 In FIG. 3, first, the supply unit 8 (flow path block 12) is stored in thestorage groove 16 of the mountingsubstrate 2. In this state, the fixingmember 21 is attached while fitting the joint 14 into theconcave groove 23, and the L-shapedmember 20 is attached to the joint 14 from the other side of the fixingmember 21, and the L-shapedmember 20 and theconcave groove 23 are connected. The joint 14 is sandwiched between them. Then, themale screw 19 is screwed onto thefemale screws 18 and 24, and the fixingmember 21 and the L-shapedmember 20, and the L-shapedmember 20 and the mountingboard 2 are fixed, respectively. By this fixing, the flow path block 12 is fixed to thestorage groove 16, and theconnection seal surface 11 is formed on the upper surface side of the mountingsubstrate 2 by thejoint communication portion 13 and thevalve communication portion 17.

次に、台座部４５の取付孔４７を雌ねじ２６の位置に合わせながらフランジ部３０を実装基盤２に載置し、４本のボルト４９を雌ねじ２６に螺着してフランジ部３０を実装基盤２に固着する。この状態で接続シール面１１と底面３１との間にシール部材３２を介在させつつ、平行二面部４１の向きを突起部５０の位置に合わせながら取付部４０を筒状部４６の内側に取付ける。これにより、流入口３４が継手用連通部１３、流出口３５がバルブ用連通部１７とそれぞれ連通した状態で集積弁４が載置される。 Next, theflange portion 30 is placed on the mountingbase 2 while the mountinghole 47 of thepedestal portion 45 is aligned with the position of thefemale screw 26, and fourbolts 49 are screwed onto thefemale screw 26 to attach theflange portion 30 to the mountingbase 2. It sticks to. In this state, theattachment portion 40 is attached to the inside of thetubular portion 46 while theseal member 32 is interposed between theconnection seal surface 11 and thebottom surface 31 and the direction of the parallel two-surface portion 41 is adjusted to the position of the protrudingportion 50. Accordingly, theintegrated valve 4 is placed in a state where theinlet 34 communicates with the joint communicatingportion 13 and theoutlet 35 communicates with thevalve communicating portion 17.

続いて、めねじ部４３とおねじ部５１とを螺着させるように締付ナット４２を締付けると、図２に示すように集積弁４が実装基盤２に平面実装される。このとき、集積弁４の底面３１と接続シール面１１との間にシール部材３２が挟着され、集積弁４が実装基盤２にシール状態で実装される。 Subsequently, when the tighteningnut 42 is tightened so that the female thread portion 43 and theexternal thread portion 51 are screwed together, theintegrated valve 4 is planarly mounted on the mountingbase 2 as shown in FIG. At this time, theseal member 32 is sandwiched between thebottom surface 31 of theintegrated valve 4 and theconnection seal surface 11, and theintegrated valve 4 is mounted on the mountingsubstrate 2 in a sealed state.

上記と同様の取付け手順により、排出側集積弁５と真空引き用集積弁６とを実装基盤２の所定の位置にそれぞれ平面実装する。この場合、前記したとおり排出側集積弁５、真空引き用集積弁６は、流入口３４がバルブ用連通部１７、流出口３５が継手用連通部１３となるように連通させて載置して実装すればよい。 The discharge-sideintegrated valve 5 and the vacuumingintegrated valve 6 are each mounted in a plane at predetermined positions on the mountingboard 2 by the same mounting procedure as described above. In this case, as described above, the dischargeside integration valve 5 and the vacuumingintegration valve 6 are placed in communication such that theinlet 34 is thevalve communication part 17 and theoutlet 35 is thejoint communication part 13. Just implement it.

容器本体１により処理流体から生成流体を設ける場合、実装後の集積弁４、５、６がそれぞれ独立して開閉又は中間開度に制御可能であり、集積弁４、５を制御して容器本体１内部に収納したガス化用材料にキャリアガスを供給して生成流体を得ることが可能になる。例えば、集積弁４を開状態に制御すると、外部流路から容器本体１内にキャリアガスが供給され、このキャリアガスによりガス化用材料が強制的に気化又は昇華される。このときのキャリアガスとしては、例えば、Ｈ_２、Ｎ_２、Ｈｅ、Ａｒガスなどがある。続いて、集積弁５を開状態に制御すると、キャリアガスに処理流体が飽和した状態になって生成流体が設けられ、この生成流体は、チューブ２７より集積弁５を介して外部の反応炉等に供給される。When the production fluid is provided from the processing fluid by the container body 1, theintegrated valves 4, 5, 6 after mounting can be independently controlled to open / close or to an intermediate opening degree, and the container body is controlled by controlling theintegrated valves 4, 5 It is possible to obtain a product fluid by supplying a carrier gas to the gasification material accommodated in the inside. For example, when theaccumulation valve 4 is controlled to be in an open state, a carrier gas is supplied into the container body 1 from the external flow path, and the gasification material is forcibly vaporized or sublimated by the carrier gas. Examples of the carrier gas at this time include H₂ , N₂ , He, Ar gas, and the like. Subsequently, when theintegrated valve 5 is controlled to be in the open state, the processing fluid is saturated in the carrier gas, and the generated fluid is provided, and this generated fluid is supplied from thetube 27 via theintegrated valve 5 to an external reactor or the like. To be supplied.

また、真空引き用集積弁６を開閉又は中間開度に制御して容器本体１内を真空引きすると、排出側集積弁５、この排出側集積弁５の継手用連通部１３、バルブ用連通部１７、チューブ２７などの領域内に付着する生成流体や不純物が集積弁６を介して外部にパージされる。これにより、生成流体の付着しやすい排出側に生成流体や不純物が付着することを防いで流路を確保でき、集積弁６側からクリーンな生成流体を安定して供給できる。 When the vacuumingintegrated valve 6 is opened / closed or controlled to an intermediate opening to evacuate the inside of the container body 1, the discharge side integratedvalve 5, thejoint communication part 13 of the discharge side integratedvalve 5, thevalve communication part 17 and the product fluid and impurities adhering in the region such as thetube 27 are purged to the outside through theaccumulation valve 6. As a result, it is possible to prevent the generated fluid and impurities from adhering to the discharge side where the generated fluid easily adheres, and to secure a flow path, so that a clean generated fluid can be stably supplied from theintegrated valve 6 side.

上記実施形態において、説明の便宜上、集積弁を供給側集積弁４、排出側集積弁５、真空引き用集積弁６に分けて説明しているが、これらの集積弁は同一構造であってもよく、同一構造である場合、任意の集積弁を何れかの実装位置に適宜実装することができる。また、図示しないが、容器本体と実装基盤とを一体化したり、接続シール面を実装基盤の上面に一体に構成することも可能である。また、真空引き用の集積弁６と、この真空引き弁を平面実装するための流路ブロック等を省略することもできる。 In the above embodiment, for convenience of explanation, the accumulation valve is divided into the supplyside accumulation valve 4, the dischargeside accumulation valve 5, and the vacuumingaccumulation valve 6, but these accumulation valves may have the same structure. In the case of the same structure, any integrated valve can be appropriately mounted at any mounting position. Although not shown, it is also possible to integrate the container body and the mounting substrate, or to integrally form the connection seal surface on the upper surface of the mounting substrate. Further, theintegrated valve 6 for evacuation and the flow path block for mounting the evacuation valve in a plane can be omitted.

更に、処理流体充填容器は、容器本体の上面部位を実装基盤とし、この実装基盤の供給部と排出部の接続シール面に平面マウント構造により集積弁を直接取付けるようにすれば、その取付け構造にこだわることはなく上記以外の取付け構造により実装基盤に実装してもよい。例えば、図示しないが、集積弁の下端側に矩形状のフランジ部を一体に形成し、このフランジを実装基盤に直接ボルト止めして実装することも可能である。 Furthermore, if the processing fluid filling container has the upper surface portion of the container body as a mounting base, and the integrated valve is directly attached to the connection sealing surface of the supply and discharge parts of the mounting base by a flat mount structure, the mounting structure is improved. You may mount on a mounting board | substrate by attachment structures other than the above without being particular. For example, although not shown, a rectangular flange portion can be integrally formed on the lower end side of the integrated valve, and this flange can be directly bolted to the mounting base for mounting.

また、上記実施形態では、容器本体に集積弁を取付けた処理流体充填容器としているが、実装基盤に集積弁を平面実装してブロックバルブを設け、このブロックバルブを、例えば、内容積の小さい容器本体の上面部位として一体化すれば、上述と同様の構成によって処理流体充填容器一体型ブロックバルブを設けることができる。この処理流体充填容器一体型ブロックバルブは、狭い設置スペースなどに設置することが可能である。 Further, in the above embodiment, the processing fluid filling container is provided with an integrated valve attached to the container body. However, the block valve is provided on the mounting base by mounting the integrated valve on a plane, and the block valve is, for example, a container having a small internal volume. If integrated as an upper surface portion of the main body, the processing fluid filling container integrated block valve can be provided with the same configuration as described above. This processing fluid filling container integrated block valve can be installed in a narrow installation space or the like.

本発明の処理流体充填容器は、上述したように、容器本体１の蓋、天板、鏡板などの上面部位を実装基盤２とし、この実装基盤２の肉厚部７内に容器本体１内に連通させた処理流体の供給部８と排出部９を設け、この供給部８と排出部９の接続シール面１１に集積弁４、５を平面マウントにより直接取付けているので、容器本体１と集積弁４、５との間に配管継手等の別の部品を設ける必要がない。この平面実装構造により、容器本体１と集積弁４、５との接合強度を高めることができ、衝撃などが加わった場合でも各部への損傷を防いで処理流体の漏れを確実に防止できる。 In the processing fluid filling container of the present invention, as described above, the upper surface portion of the container body 1 such as the lid, the top plate, and the end plate is used as the mountingbase 2, and thethick portion 7 of the mountingbase 2 is placed in the container main body 1. The processingfluid supply unit 8 and thedischarge unit 9 are provided in communication with each other, and theintegrated valves 4 and 5 are directly attached to theconnection seal surface 11 of thesupply unit 8 and thedischarge unit 9 by a plane mount. There is no need to provide another component such as a pipe joint between thevalves 4 and 5. With this planar mounting structure, the bonding strength between the container body 1 and theintegrated valves 4 and 5 can be increased, and even when an impact or the like is applied, damage to each part can be prevented and leakage of the processing fluid can be reliably prevented.

更に、容器本体１と集積弁４、５とによる内部流路の容積が最小限に抑えられるため、パージ時間を低減させて不純物混入のおそれもなくなる。集積弁４、５は、平面実装により実装基盤３に立設した状態で取付けられるため、図５において、弁体３９が鉛直方向に移動してシールでき、内部への液溜まり等による流体の残留を防止することができる。 Furthermore, since the volume of the internal flow path by the container main body 1 and the collectingvalves 4 and 5 is minimized, the purge time is reduced and there is no risk of contamination. Since theintegrated valves 4 and 5 are mounted in a state of being erected on the mountingbase 3 by plane mounting, the valve body 39 in FIG. 5 can be moved and sealed in the vertical direction, and fluid remains due to a liquid pool or the like inside. Can be prevented.

図６ないし図１０においては、本発明における処理流体充填容器の他の実施形態を示したものである。なお、この実施形態において、前記実施形態と同一部分は同一符号によって表し、その説明を省略する。
図９、図１０に示すように、この実施形態における処理流体充填容器は容器本体６０を有し、この容器本体６０は、実装基盤６１と収納体６２とを有している。そして、図６、図８に示すように、容器本体６０の上面部である実装基盤６２には肉厚部６３が一体に突出形成され、この肉厚部６３にバイパス用の２つの流路ブロック６４、６４を収納可能な収納溝６５と、真空引き用の流路ブロック１２を収納可能な収納溝１６とが設けられている。更に、実装基盤６２には、供給側集積弁４、排出側集積弁５用のバルブ用連通部７２、７２とパージ用集積弁６用のバルブ用連通部６８が形成され、排出側集積弁５側のバルブ用連通部７２においては、収納体６２の内部まで延長してチューブ６９が設けられている。6 to 10 show another embodiment of the processing fluid filling container according to the present invention. In this embodiment, the same parts as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
As shown in FIGS. 9 and 10, the processing fluid filling container in this embodiment has a containermain body 60, and the containermain body 60 has a mountingbase 61 and astorage body 62. As shown in FIGS. 6 and 8, athick portion 63 is integrally formed on the mountingbase 62, which is the upper surface portion of thecontainer body 60, and two bypass flow path blocks are formed in thethick portion 63. Astorage groove 65 that can store 64 and 64 and astorage groove 16 that can store a flow path block 12 for evacuation are provided. Further, the mountingbase 62 is formed withvalve communication portions 72 and 72 for the supply side integratedvalve 4 and the discharge side integratedvalve 5 and avalve communication portion 68 for the purge integratedvalve 6. In thevalve communication portion 72 on the side, atube 69 is provided extending to the inside of thestorage body 62.

図７において、バイパス用の流路ブロック６４は、収納溝６５に収納可能な形状に形成され、収納溝６５に挿脱自在になるように設けられている。このバイパス用流路ブロック６４内には、継手用連通部６６、６６が連通するように形成されている。一方、真空引き用の流路ブロック１２には、前述と同様に継手用連通部１３が形成されている。 In FIG. 7, the bypass flow path block 64 is formed in a shape that can be stored in thestorage groove 65, and is provided so as to be detachable from thestorage groove 65. In thisbypass channel block 64,joint communication portions 66, 66 are formed so as to communicate with each other. On the other hand, ajoint communication portion 13 is formed in the evacuation flow path block 12 as described above.

収納溝６５に対して、バイパス用流路ブロック６４、６４を２つ並べるように収納すると、このバイパス用流路ブロック６４、６４の隣接する継手用連通部６６、６６によりバイパス用の集積弁７０を平面実装可能な接続シール面７１が形成され、かつ、このバイパス用流路ブロック６４の他方側の継手用連通部６６と実装基盤６１のバルブ用連通部７２とにより供給側集積弁４、排出側集積弁５を平面実装可能な接続シール面７３、７３がそれぞれ形成される。
一方、収納溝１６に流路ブロック１２を収納すると、この流路ブロック１２の継手用連通部１３と、実装基盤６１に形成されたバルブ用連通部６８により接続シール面７４が形成される。When the bypass channel blocks 64 and 64 are stored in thestorage groove 65 so as to be arranged side by side, the bypass integratedvalve 70 is connected by thejoint communication portions 66 and 66 adjacent to the bypass channel blocks 64 and 64. Is formed by thejoint communication portion 66 on the other side of the bypassflow passage block 64 and thevalve communication portion 72 of the mountingbase 61. Connection seal surfaces 73 and 73 on which the side integratedvalve 5 can be mounted in a plane are formed.
On the other hand, when the flow path block 12 is stored in thestorage groove 16, theconnection seal surface 74 is formed by thejoint communication portion 13 of the flow path block 12 and thevalve communication portion 68 formed on the mountingbase 61.

接続シール面７３、７３に供給側集積弁４、排出側集積弁５、接続シール面７１にバイパス用集積弁７０、接続シール面７４に真空引き用集積弁６を載置し、各集積弁のフランジ部３０を４本のボルト４９により肉厚部６３に固定シールすることによりこれらが平面実装される。 The supplyside integration valve 4 and the dischargeside integration valve 5 are mounted on the connection seal surfaces 73 and 73, thebypass integration valve 70 is mounted on the connection seal surface 71, and thevacuum collection valve 6 is mounted on theconnection seal surface 74. Theflange portion 30 is fixed and sealed to thethick portion 63 by fourbolts 49, and these are mounted in a plane.

なお、この実施形態においては、肉厚部６３を実装基盤６２に一体に形成しているが、この肉厚部を実装基盤と別体に設け、実装基盤に図示しない固定用ボルト等の適宜の固着手段により固着するようにしてもよい。この場合、肉厚部に対して各連通部、連通孔、接続シール面等を容易に加工形成することができ、安価に大量生産することも可能になる。 In this embodiment, thethick portion 63 is formed integrally with the mountingbase 62. However, the thick portion is provided separately from the mounting base, and an appropriate bolt such as a fixing bolt (not shown) is provided on the mounting base. It may be fixed by fixing means. In this case, each communication portion, communication hole, connection seal surface, and the like can be easily processed and formed with respect to the thick portion, and mass production can be achieved at low cost.

生成流体を設ける場合には、集積弁４、５を開状態、集積弁６、バイパス用集積弁７０を閉状態にして、供給側集積弁４からキャリアガスを供給することにより、前記の実施形態と同様に溶液気化法によりガス化用材料から生成流体が得られる。 In the case of providing the product fluid, theintegrated valves 4 and 5 are opened, theintegrated valve 6 and the bypass integratedvalve 70 are closed, and the carrier gas is supplied from the supply-sideintegrated valve 4, so that Similarly to the above, a product fluid is obtained from the gasification material by the solution vaporization method.

更に、バイパス用集積弁７０を開状態にすると、供給側集積弁４と排出側集積弁５との内部流路を、継手用連通部６６を介して短絡させることができる。この状態で供給側集積弁４からキャリアガスを供給すると、このキャリアガスは、供給用集積弁４から容器本体６０内に供給されると共に、継手用連通部６６とバイパス用集積弁７０とを介して排出側集積弁５の継手用連通部６６から直接排出される。これにより、容器本体６０により生成した生成流体にキャリアガスを混入させることが可能になり、流路内の洗浄度を向上させることができる。 Furthermore, when thebypass integration valve 70 is opened, the internal flow paths of the supply-side integration valve 4 and the discharge-side integration valve 5 can be short-circuited via thejoint communication portion 66. When the carrier gas is supplied from the supply-sideintegrated valve 4 in this state, the carrier gas is supplied from the supply integratedvalve 4 into thecontainer body 60, and via thejoint communication portion 66 and the bypass integratedvalve 70. Then, it is directly discharged from thejoint communication portion 66 of the discharge side integratedvalve 5. Thereby, it becomes possible to mix carrier gas with the product fluid produced | generated by the containermain body 60, and the cleanliness in a flow path can be improved.

また、上述した実施形態と同様に、真空引き用集積弁６により真空引きした場合には、集積弁や継手用連通部、バルブ用連通部、チューブなどの領域内に付着する生成流体や不純物を集積弁６よりパージできる。 Similarly to the above-described embodiment, when evacuation is performed by the evacuation integratedvalve 6, the generated fluid or impurities adhering to the areas such as the integrated valve, the joint communication portion, the valve communication portion, and the tube are removed. It can be purged from theaccumulation valve 6.

上記の実施形態では、溶液気化法により生成流体を供給する場合を説明したが、何れの実施形態においてもバブリング法により生成流体を供給することもできる。この場合、供給側集積弁のバルブ用連通部から延長して収納体の内部までチューブを設けた構造とすればよい。 In the above embodiment, the case where the product fluid is supplied by the solution vaporization method has been described. However, in any embodiment, the product fluid can be supplied by the bubbling method. In this case, a tube may be provided extending from the valve communication portion of the supply side integrated valve to the inside of the storage body.

バブリング法において、集積弁４、５を開状態、集積弁６、バイパス用集積弁７０を閉状態にしながら供給側集積弁４からキャリアガスを供給すると、キャリアガスがチューブを介してバブリングされる。ガス化用材料は、加熱により気化している状態にあるため、このガス化用材料がキャリアガスに飽和して生成流体が生成される。そして、ガス化用材料は、加熱により蒸気圧が高い状態になっているため、キャリアガスへの飽和状態が確実に維持された状態となり、品質の高い生成流体が排出側集積弁５から排出される。この場合、キャリアガスの供給量や、容器本体内部の温度、内圧、及び、集積弁５からの排出量などを制御することにより、更にパーティクルのより少ない飽和蒸気を生成流体として得ることができる。 In the bubbling method, when carrier gas is supplied from the supply side integratedvalve 4 while theintegrated valves 4 and 5 are opened, theintegrated valve 6 and the bypass integratedvalve 70 are closed, the carrier gas is bubbled through the tube. Since the gasification material is in a vaporized state by heating, the gasification material is saturated with the carrier gas, and a product fluid is generated. Since the gasification material is in a state where the vapor pressure is high due to heating, the saturated state of the carrier gas is reliably maintained, and a high-quality product fluid is discharged from the discharge-sideintegrated valve 5. The In this case, by controlling the supply amount of the carrier gas, the temperature inside the container main body, the internal pressure, the discharge amount from theaccumulation valve 5, and the like, a saturated vapor with fewer particles can be obtained as the product fluid.

何れの場合にも、実装基盤６１、集積弁４、５、６、７０、フランジ部３０に図示しない加熱用のヒーターを設けることができ、この場合、ヒーターを棒状や板状の各種の形状に設け、各部の内側や外側などの適宜の位置に設けることも可能である。 In any case, a heater for heating (not shown) can be provided on the mountingbase 61, theintegrated valves 4, 5, 6, 70, and theflange portion 30. In this case, the heater is formed in various shapes such as rods and plates. It is also possible to provide them at appropriate positions such as inside and outside of each part.

１、６０容器本体
２実装基盤
４、５、６集積弁
７肉厚部
８供給部
９排出部
１１接続シール面
１２流路ブロック
１３継手用連通部
１４継手
１５、２８連通孔
１６収納溝
１７バルブ用連通部
３０フランジ部
４９ボルトDESCRIPTION OFSYMBOLS 1, 60Container body 2Mounting base 4, 5, 6Integrated valve 7Thick part 8Supply part 9Discharge part 11Connection seal surface 12 Flow path block 13Joint communication part 14Joint 15, 28Communication hole 16Storage groove 17Valve Communication part 30Flange part 49 Bolt

Claims

Translated fromJapanese

処理流体を充填した容器本体の蓋、天板、鏡板などの上面に位置している上面部位を実装基盤とし、この実装基盤の肉厚部内に容器本体内に連通させた処理流体の供給部と排出部を設け、この供給部と排出部の接続シール面に平面マウント用バルブである集積弁を直接取付けたことを特徴とする処理流体充填容器。 An upper surface portion located on the upper surface of the lid, top plate, end plate, etc. of the container body filled with the processing fluid is used as a mounting base, and a processing fluid supply unit communicated with the inside of the container main body in the thick part of the mounting base; A processing fluid filling container, characterized in that a discharge portion is provided, and an integrated valve, which is a flat mount valve, is directly attached to a connecting seal surface between the supply portion and the discharge portion.

前記供給部と排出部は、前記集積弁と連通させる連通孔を有する継手用連通部と供給又は排出用の継手とを有する流路ブロックで構成し、この流路ブロックを前記実装基盤に着脱自在に設けた請求項１に記載の処理流体充填容器。 The supply part and the discharge part are constituted by a flow path block having a joint communication part having a communication hole communicating with the integrated valve and a supply or discharge joint, and the flow path block is detachable from the mounting base. The processing fluid filling container according to claim 1, which is provided in the container.

前記流路ブロックは、前記実装基盤に形成した収納溝に挿脱自在に設けた請求項２に記載の処理流体充填容器。 The processing fluid filling container according to claim 2, wherein the flow path block is detachably provided in a storage groove formed in the mounting base.

前記継手用連通部と連通孔を有するバルブ用連通部とで前記接続シール面を形成し、この接続シール面に前記集積弁のフランジ部を４本のボルトで固定シールした請求項２又は３に記載の処理流体充填容器。 4. The connection seal surface is formed by the joint communication portion and the valve communication portion having a communication hole, and the flange portion of the integrated valve is fixed and sealed to the connection seal surface with four bolts. The processing fluid filling container as described.

前記実装基盤の肉厚部内に形成した収納溝に、バイパス用の流路ブロックを挿脱自在に設け、この流路ブロックの継手用連通部とバルブ用連通部とで前記接続シール面を形成し、この接続シール面に前記集積弁のフランジ部を４本のボルトで固定シールした請求項２乃至４の何れか１項に記載の処理流体充填容器。 A bypass flow channel block is detachably provided in a storage groove formed in the thick portion of the mounting base, and the connection seal surface is formed by the joint communication portion and the valve communication portion of the flow channel block. The processing fluid filling container according to any one of claims 2 to 4, wherein the flange portion of the integrated valve is fixed and sealed to the connection seal surface with four bolts.

処理流体を充填した容器本体の蓋、天板、鏡板などの上面に位置している上面部位を実装基盤とし、この実装基盤の肉厚部内に容器本体内に連通させた処理流体の供給部と排出部を設け、この供給部と排出部の接続シール面に平面マウント用バルブである集積弁を直接取付けた請求項１乃至５の何れか１項に記載の処理流体充填容器一体型ブロックバルブ。 An upper surface portion located on the upper surface of the lid, top plate, end plate, etc. of the container body filled with the processing fluid is used as a mounting base, and a processing fluid supply unit communicated with the inside of the container main body in the thick part of the mounting base; The processing fluid filling container integrated block valve according to any one of claims 1 to 5, wherein a discharge portion is provided, and an integrated valve, which is a flat mount valve, is directly attached to a connection seal surface between the supply portion and the discharge portion.