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JP5165062B2 - Piezoelectric module, internal combustion engine and glow plug - Google Patents

Piezoelectric module, internal combustion engine and glow plug
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JP5165062B2JP2010522733AJP2010522733AJP5165062B2JP 5165062 B2JP5165062 B2JP 5165062B2JP 2010522733 AJP2010522733 AJP 2010522733AJP 2010522733 AJP2010522733 AJP 2010522733AJP 5165062 B2JP5165062 B2JP 5165062B2
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本発明は、変位や振動を発生する圧電アクチュエータ、気体、液体等の圧力を測定するための圧電センサ、さらには自動車用エンジンの燃焼圧力を測定するための圧電センサ等の圧電モジュールに関する。  The present invention relates to a piezoelectric module such as a piezoelectric actuator for generating displacement or vibration, a piezoelectric sensor for measuring pressure of gas, liquid, etc., and a piezoelectric sensor for measuring combustion pressure of an automobile engine.

従来から圧電アクチュエータや圧電センサの用途で圧電素子が用いられている。例えば特許文献1には、圧電素子を搭載した圧力センサが開示されている。  Conventionally, piezoelectric elements have been used for piezoelectric actuators and piezoelectric sensors. For example,Patent Document 1 discloses a pressure sensor equipped with a piezoelectric element.

この圧力センサは、受圧面を有し、側壁の一部に他の部分より熱膨張率の大きい部分を有する筺体と、筺体の内部に設けられ、かつ一端が受圧面の裏側の面に接する圧力伝達部材と、筺体の内部に設けられ、かつ圧力伝達部材の他端に設けられた圧電素子を有し、筺体の加熱時に熱膨張率の大きい部分が他の部分よりも大きく延びることによって圧電素子と受圧面との位置関係の変化を規制するものである。  This pressure sensor has a pressure receiving surface, a housing having a portion having a larger coefficient of thermal expansion than other portions on a part of the side wall, and a pressure that is provided inside the housing and has one end in contact with the back surface of the pressure receiving surface. A piezoelectric element having a transmission member and a piezoelectric element provided inside the housing and provided at the other end of the pressure transmission member, and a portion having a larger coefficient of thermal expansion when heated than the other portion when the housing is heated The change in the positional relationship between the pressure receiving surface and the pressure receiving surface is regulated.

この構成により、センサの筺体の側壁部の一部に他の部分より熱膨張率の大きい部分を設け、この部分が熱膨張することで筺体の先端の受圧面を圧電素子側へ引き寄せる構造とすることができる。その結果、熱膨張による予備圧力変動を防止できるので、温度特性に優れた圧電型圧力センサを実現できる。  With this configuration, a part having a larger coefficient of thermal expansion than the other part is provided in a part of the side wall part of the sensor casing, and this part is thermally expanded to draw the pressure receiving surface at the front end of the casing toward the piezoelectric element side. be able to. As a result, the preliminary pressure fluctuation due to thermal expansion can be prevented, so that a piezoelectric pressure sensor having excellent temperature characteristics can be realized.

また、特許文献1の圧力センサは、上記の圧電素子を有し、筺体の加熱時に熱膨張率の小さい部分の延びが小さいことによる圧電素子と受圧面との位置関係の変化を規制するものである。  Moreover, the pressure sensor ofpatent document 1 has said piezoelectric element, and regulates the change of the positional relationship of a piezoelectric element and a pressure receiving surface by the extension of the part with a small thermal expansion coefficient being small at the time of heating of a housing. is there.

この構成により、センサ筺体側壁部の一部に圧電素子や圧力伝達部材より熱膨張率の小さい部分を設け、センサ筺体全体の熱膨張を圧電素子と圧力伝達部材を合わせた熱膨張と等しくすることができる。その結果、熱膨張による予備圧力変動を防止できるので、温度特性に優れた圧電型圧力センサを実現できる。  With this configuration, a part having a smaller thermal expansion coefficient than that of the piezoelectric element or the pressure transmission member is provided in a part of the side wall portion of the sensor casing, and the thermal expansion of the entire sensor casing is equal to the thermal expansion of the piezoelectric element and the pressure transmission member. Can do. As a result, the preliminary pressure fluctuation due to thermal expansion can be prevented, so that a piezoelectric pressure sensor having excellent temperature characteristics can be realized.

特開平5−164643号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-164643

しかしながら、特許文献1に記載された圧力センサの場合は、熱膨張による影響を小さくすることを目的としており、数kHz〜数10kHz程度の高周波数の圧力振動が加わった際の応答性を向上させること、また耐久性を向上させて信頼性を高めること等については記載されていない。  However, in the case of the pressure sensor described inPatent Document 1, the purpose is to reduce the influence of thermal expansion, and the responsiveness when high-frequency pressure vibration of about several kHz to several tens kHz is applied is improved. In addition, there is no description about improving durability by improving durability.

例えば、自動車等の内燃機関に設けられる燃焼圧センサとして圧力センサを用いる場合には、圧力センサには数kHz〜数10kHz程度の高周波数および高圧力の圧力振動が加わるため、高い応答性と優れた耐久性が要求される。  For example, when a pressure sensor is used as a combustion pressure sensor provided in an internal combustion engine such as an automobile, the pressure sensor is subjected to high frequency and high pressure pressure vibration of about several kHz to several tens of kHz, so that high responsiveness and excellent Durability is required.

本発明は上記従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、高い応答性を有し、また優れた耐久性を有する圧電モジュールを提供すること、さらにその圧電モジュールを用いた内燃機関およびグロープラグを提供することにある。  The present invention has been completed in view of the above-described conventional problems, and an object thereof is to provide a piezoelectric module having high responsiveness and excellent durability, and further using the piezoelectric module. It is to provide an internal combustion engine and a glow plug.

本発明の圧電モジュールは、先頭ピンと、該先頭ピンの後端面側に第1の面が位置するように設けられた圧電素子と、該圧電素子の前記第1の面に対向する第2の面を先端が押圧する棒状の差込具とを具備し、装置の取付け孔に挿置される圧電モジュールであって、前記差込具の先端部に一端が固定されるとともに他端が前記取付け孔の壁面の段差に係止されて前記圧電素子および前記先頭ピンの後端部を覆う外筒と、該外筒の内側に設置された、前記先頭ピンから前記圧電素子に伝わる圧力を弾性変形して緩和する内筒とを有しており、該内筒は、前記差込具の一部として一体化されて形成されていることを特徴とするものである。
The piezoelectric module of the present invention includes a leading pin, a piezoelectric element provided so that the first surface is located on the rear end surface side of the leading pin, and a second surface facing the first surface of the piezoelectric element. A piezoelectric module that is inserted into a mounting hole of the device, and has one end fixed to the distal end portion of the insertion tool and the other end of the mounting hole. An outer cylinder that is locked to a step of the wall surface of the piezoelectric element and covers a rear end portion of the piezoelectric element and the leading pin, and elastically deforms pressure transmitted from the leading pin to the piezoelectric element that is installed inside the outer cylinder. Theinner cylinder is formed integrally as a part of the insertion tool .

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、前記圧電素子は、前記内筒の内側に配置されていることを特徴とするものである。  The piezoelectric module of the present invention is preferably characterized in that the piezoelectric element is arranged inside the inner cylinder.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、前記内筒は、内面と外面との間の厚みが1mm以下であることを特徴とするものである。  The piezoelectric module of the present invention is preferably characterized in that the inner cylinder has a thickness of 1 mm or less between the inner surface and the outer surface.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、前記内筒は、長さが3mm以上であることを特徴とするものである。  In the piezoelectric module of the present invention, preferably, the inner cylinder has a length of 3 mm or more.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、前記外筒は、前記差込具の先端部に固定される前記一端が前記圧電素子よりも前記先頭ピンから離れる側に位置していることを特徴とするものである。  In the piezoelectric module of the present invention, preferably, the outer cylinder has the one end fixed to the distal end portion of the insertion tool positioned on a side farther from the leading pin than the piezoelectric element. To do.

本発明の内燃機関は、上記いずれかの本発明の圧電モジュールを搭載したことを特徴とするものである。  An internal combustion engine of the present invention is characterized by mounting any one of the above-described piezoelectric modules of the present invention.

本発明のグロープラグは、上記いずれかの本発明の圧電モジュールを設けたことを特徴とするものである。  The glow plug of the present invention is characterized in that any one of the above-described piezoelectric modules of the present invention is provided.

本発明の圧電モジュールは、先頭ピンと、先頭ピンの後端面側に第1の面が位置するように設けられた圧電素子と、圧電素子の第1の面に対向する第2の面を先端が押圧する棒状の差込具とを具備し、装置の取付け孔に挿置される圧電モジュールであって、差込具の先端部に一端が固定されるとともに他端が取付け孔の壁面の段差に係止されて圧電素子および先頭ピンの後端部を覆う外筒と、外筒の内側に設置された、先頭ピンから圧電素子に伝わる力を弾性変形して緩和する内筒とを有しており、該内筒は、差込具の一部として一体化されて形成されていることから、例えば圧力センサとして使用した場合に、圧力を発生する内燃機関等の装置に圧電モジュールを設置する際に、例えば装置の取付け孔(ねじ孔)に圧電モジュールの棒状の差込具をねじ込んで設置するが、ねじ込みによる締結力を外筒が受け持ち、その締結力は圧電素子には直接加わらない。また、外筒と独立した、力を弾性変形して緩和する内筒が、力を圧電素子に伝達する。従って、締結力と測定すべき力とが分離され、締結力による力信号オフセットの発生がなくなり、力を直接的に測定することができる。その結果、力に対する高い応答性を実現できる。また、内筒が差込具の一部として一体化されて形成されていることから、円形状である内筒の端面が、差込具の先端部に一様に接した状態となり、先頭ピンで受けた応力は、一様に緩和されることとなる。従って、圧電素子が測定すべき圧力は、ある一部分に偏ることなく、先頭ピンから圧電素子に伝達されるため、本発明の圧電モジュールの測定精度を向上させることができる。
The piezoelectric module of the present invention has a leading pin, a piezoelectric element provided so that the first surface is positioned on the rear end surface side of the leading pin, and a second surface facing the first surface of the piezoelectric element at the tip. A piezoelectric module that is inserted into the mounting hole of the apparatus, and has one end fixed to the tip of the insertion tool and the other end being a step on the wall surface of the mounting hole. An outer cylinder that is locked and covers the piezoelectric element and the rear end portion of the leading pin, and an inner cylinder that is installed inside the outer cylinder and elastically deforms and relaxes the force transmitted from the leading pin to the piezoelectric element.Since the inner cylinder is integrally formed as a part of the insertion tool , for example, when used as a pressure sensor, when the piezoelectric module is installed in a device such as an internal combustion engine that generates pressure. In addition, for example, the mounting hole (screw hole) of the device has a rod-shaped piezoelectric module Installing by screwing write device, but the outer cylinder is responsible for the fastening force by screwing, the fastening force to the piezoelectric element is not directly applied. Further, an inner cylinder that is elastically deformed and relaxed independently of the outer cylinder transmits the force to the piezoelectric element. Therefore, the fastening force and the force to be measured are separated, the generation of a force signal offset due to the fastening force is eliminated, and the force can be measured directly. As a result, high responsiveness to force can be realized.In addition, since the inner cylinder is integrally formed as a part of the insertion tool, the end surface of the circular inner cylinder is in a state of being in uniform contact with the distal end portion of the insertion tool, and the leading pin The stress received in is uniformly relaxed. Therefore, since the pressure to be measured by the piezoelectric element is transmitted from the leading pin to the piezoelectric element without being biased to a certain part, the measurement accuracy of the piezoelectric module of the present invention can be improved.

また、圧電素子は、圧力測定対象の装置への締結力が直接加わらないため、装置の振動による力信号の変動の発生を抑制でき、その点でも高い応答性を実現できる。  In addition, since the fastening force to the device whose pressure is to be measured is not directly applied to the piezoelectric element, the fluctuation of the force signal due to the vibration of the device can be suppressed, and high responsiveness can also be realized in that respect.

また、圧電素子に加わる力(圧力に基づく力)は、内筒が弾性変形して緩和されるために、圧電素子の破損等が抑制され、圧電モジュールの耐久性が向上する。  Further, the force (force based on pressure) applied to the piezoelectric element is relaxed by elastic deformation of the inner cylinder, so that damage to the piezoelectric element is suppressed, and the durability of the piezoelectric module is improved.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、圧電素子は、内筒の内側に配置されていることから、圧電素子を力を緩和する内筒の内側に密閉して格納することができ、圧電素子に対する力の影響をより小さくでき、圧電素子の耐久性を向上させることができる。  In the piezoelectric module of the present invention, preferably, since the piezoelectric element is disposed inside the inner cylinder, the piezoelectric element can be sealed and stored inside the inner cylinder for relaxing the force. The influence of the force on can be made smaller, and the durability of the piezoelectric element can be improved.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、内筒は、内面と外面との間の厚みが1mm以下であることから、内筒が薄型化されて弾性変形に適したものとなる。その結果、圧電素子に加わる圧力を内筒が緩和する効果が向上する。  In the piezoelectric module of the present invention, the inner cylinder preferably has a thickness of 1 mm or less between the inner surface and the outer surface, so that the inner cylinder is thinned and suitable for elastic deformation. As a result, the effect of the inner cylinder relaxing the pressure applied to the piezoelectric element is improved.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、内筒は、長さが3mm以上であることから、内筒の弾性変形による変形長さが長くなり、弾性変形に適したものとなる。その結果、圧電素子に加わる力を内筒が緩和する効果が向上する。  In the piezoelectric module of the present invention, preferably, the inner cylinder has a length of 3 mm or more, so that the deformation length due to the elastic deformation of the inner cylinder becomes long and is suitable for elastic deformation. As a result, the effect that the inner cylinder relaxes the force applied to the piezoelectric element is improved.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、外筒は、差込具の先端部に固定される一端が圧電素子よりも圧力室から離れる側に位置していることから、棒状の差込具のねじ込みによる締結力を、測定すべき力からより分離させることができる。その結果、力に対するより高い応答性を実現できる。  In the piezoelectric module of the present invention, preferably, the outer cylinder has one end fixed to the distal end portion of the insertion tool positioned on the side farther from the pressure chamber than the piezoelectric element. The fastening force due to screwing can be further separated from the force to be measured. As a result, higher responsiveness to force can be realized.

本発明の内燃機関は、上記本発明の圧電モジュールを燃焼圧センサとして搭載したことから、高い応答性と優れた耐久性とを有する圧電モジュールを用いているため、内燃機関の燃焼特性の制御性が高まり、また耐久性が向上する。  Since the internal combustion engine of the present invention is equipped with the piezoelectric module of the present invention as a combustion pressure sensor, the piezoelectric module having high responsiveness and excellent durability is used. And durability is improved.

本発明のグロープラグは、上記本発明の圧電モジュールを設けたことから、高い応答性と優れた耐久性とを有する圧電モジュールを用いているため、グロープラグの内燃機関の気筒(シリンダー)内の温度の制御性が高まり、また耐久性が向上する。  Since the glow plug of the present invention is provided with the piezoelectric module of the present invention, a piezoelectric module having high responsiveness and excellent durability is used. Therefore, the glow plug in the cylinder of the internal combustion engine of the glow plug is used. Temperature controllability is increased and durability is improved.

本発明の圧電モジュールの実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the piezoelectric module of this invention.本発明の圧電モジュールの製造工程の一例における断面図である。It is sectional drawing in an example of the manufacturing process of the piezoelectric module of this invention.本発明の圧電モジュールの製造工程の一例における断面図である。It is sectional drawing in an example of the manufacturing process of the piezoelectric module of this invention.本発明の圧電モジュールの製造工程の一例における断面図である。It is sectional drawing in an example of the manufacturing process of the piezoelectric module of this invention.本発明の圧電モジュールの製造工程の一例における断面図である。It is sectional drawing in an example of the manufacturing process of the piezoelectric module of this invention.

本発明の圧電モジュールの実施の形態について以下に詳細に説明する。  Embodiments of the piezoelectric module of the present invention will be described in detail below.

図1は、本例の圧電モジュールの実施の形態の一例を示す断面図である。図1において、1は圧力を受ける先頭ピン(受圧ピン)、2は圧電素子、2aは圧電素子2の第1の面、2bは圧電素子2の第2の面、3は差込具(プラグ)、4は外筒、5は内筒、6は圧力を測定する対象である装置、例えば内燃機関の気筒(シリンダー)等の圧力が発生する圧力室、6aは圧力室6の貫通孔、6bは貫通孔6aの壁面の段差である。  FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an embodiment of the piezoelectric module of this example. In FIG. 1, 1 is a leading pin (pressure receiving pin) for receiving pressure, 2 is a piezoelectric element, 2a is a first surface of thepiezoelectric element 2, 2b is a second surface of thepiezoelectric element 2, and 3 is a plug (plug). ) 4 is an outer cylinder, 5 is an inner cylinder, 6 is a device whose pressure is to be measured, for example, a pressure chamber in which pressure is generated, such as a cylinder of an internal combustion engine, 6a is a through hole of thepressure chamber 6, 6b Is a step on the wall surface of the through-hole 6a.

本例の圧電モジュールは、先頭ピン1と、先頭ピン1の後端面側に第1の面2aが位置するように設けられた圧電素子2と、圧電素子2の第1の面2aに対向する第2の面2bを先端が押圧する棒状の差込具3とを具備し、圧力を測定する対象である装置としての圧力室6の取付け孔(貫通孔)6aに挿置される圧電モジュールであって、差込具3の先端部に一端が固定されるとともに他端が貫通孔6aの壁面の段差6bに係止されて圧電素子2および先頭ピン1の後端部を覆う外筒4と、外筒4の内側に設置された、先頭ピン1から圧電素子2に伝わる力を弾性変形して緩和する内筒5とを有している。  The piezoelectric module of this example is opposed to thefirst pin 1, thepiezoelectric element 2 provided so that thefirst surface 2 a is located on the rear end surface side of thefirst pin 1, and thefirst surface 2 a of thepiezoelectric element 2. A piezoelectric module that includes a rod-like insertion tool 3 whose tip is pressed against thesecond surface 2b and is inserted into a mounting hole (through hole) 6a of apressure chamber 6 as a device for measuring pressure. Anouter cylinder 4 having one end fixed to the distal end portion of theinsertion tool 3 and the other end locked to astep 6b on the wall surface of the throughhole 6a to cover the rear end portion of thepiezoelectric element 2 and the leadingpin 1; And aninner cylinder 5 which is installed inside theouter cylinder 4 and elastically deforms and relaxes the force transmitted from the leadingpin 1 to thepiezoelectric element 2.

上記の構成により、圧力測定対象の装置の圧力室6に圧電モジュールを設置する際に、例えば圧力室6の貫通孔(ねじ孔)6aに圧電モジュールの棒状の差込具3をねじ込んで設置するが、ねじ込みによる締結力を外筒4が受け持ち、締結力は圧電素子2には直接加わらない。また、外筒4と独立した、力としての圧力を弾性変形して緩和する内筒5が、圧力を圧電素子2に伝達する。従って、締結力と測定すべき圧力とが分離され、締結力による圧力信号オフセットの発生がなくなり、圧力を直接的に測定することができる。その結果、圧力に対する高い応答性を実現できる。  With the above configuration, when the piezoelectric module is installed in thepressure chamber 6 of the apparatus to be pressure-measured, for example, the rod-shapedinsertion tool 3 of the piezoelectric module is screwed into the through hole (screw hole) 6a of thepressure chamber 6 and installed. However, theouter cylinder 4 takes charge of the fastening force due to screwing, and the fastening force is not directly applied to thepiezoelectric element 2. Aninner cylinder 5 that is independent of theouter cylinder 4 and elastically deforms and relaxes the pressure as a force transmits the pressure to thepiezoelectric element 2. Therefore, the fastening force and the pressure to be measured are separated, the occurrence of the pressure signal offset due to the fastening force is eliminated, and the pressure can be measured directly. As a result, high response to pressure can be realized.

また、圧電素子2は、圧力測定対象の装置への締結力が直接加わらないため、装置の振動による圧力信号の変動の発生を抑制でき、その点でも高い応答性を実現できる。  In addition, since the fastening force to the device whose pressure is to be measured is not directly applied to thepiezoelectric element 2, it is possible to suppress the fluctuation of the pressure signal due to the vibration of the device, and it is possible to realize high response.

また、圧電素子2に加わる圧力は、内筒5が弾性変形して緩和するために、圧電素子2の破損等が抑制され、圧電モジュールの耐久性が向上する。  Moreover, since theinner cylinder 5 is elastically deformed and relaxed, the pressure applied to thepiezoelectric element 2 is suppressed from being damaged, and the durability of the piezoelectric module is improved.

図1に示す例の構成において、内筒5は外筒4の内側に隙間を介して配置されている。この隙間は、内筒5が圧力によって弾性変形し易いようにする目的で設けられる。この隙間があることにより、内筒5と外筒4とが衝突することがなく、また圧電モジュールが大型化することがない。  In the configuration of the example shown in FIG. 1, theinner cylinder 5 is disposed inside theouter cylinder 4 via a gap. This gap is provided for the purpose of making theinner cylinder 5 easily elastically deformed by pressure. Due to this gap, theinner cylinder 5 and theouter cylinder 4 do not collide, and the piezoelectric module does not increase in size.

先頭ピン1、差込具3、外筒4および内筒5は好ましくは、例えば高温(数100℃〜1000℃程度)となる自動車等のエンジンの燃焼室(気筒:シリンダー)内の圧力を測定する場合を想定して、耐熱性および耐食性の高いステンレススチール等の金属から成る。しかしながら、必ずしもステンレススチール等の金属に限定するものではなく、用途によっては樹脂,セラミックス等の材料を用いても良い。  Thelead pin 1, theinsertion tool 3, theouter cylinder 4 and theinner cylinder 5 preferably measure the pressure in a combustion chamber (cylinder: cylinder) of an engine such as an automobile, which is at a high temperature (about several hundred to 1000 ° C.), for example. Assuming the case, it is made of a metal such as stainless steel having high heat resistance and corrosion resistance. However, it is not necessarily limited to metals such as stainless steel, and materials such as resins and ceramics may be used depending on applications.

また、本例の圧電モジュールは、全体の形状が円柱状、角柱状等の柱状である。従って、先頭ピン1、差込具3および圧電素子2は、全体的な形状が円柱状、角柱状等の柱状である。また、外筒4および内筒5は、全体的な形状が円筒状、角筒状等の筒状である。  In addition, the piezoelectric module of this example has a columnar shape such as a columnar shape or a prismatic shape as a whole. Therefore, thehead pin 1, theinsertion tool 3, and thepiezoelectric element 2 have a columnar shape such as a columnar shape or a prismatic shape as a whole. Further, theouter cylinder 4 and theinner cylinder 5 have a cylindrical shape such as a cylindrical shape or a rectangular tube shape as a whole.

圧電素子2は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT:Pb(Zr,Ti1−x)O)(xは0.525程度)等の圧電体と、それに設けられた一対の対向電極とを有する構成である。また、圧電素子2は、PZT等から成る圧電体層と銀等から成る電極層とを交互に多層に積層した多層積層構造のものであってもよい。また圧電素子2は、図1に示すように、例えば先頭ピン1と差込具3とに挟まれて内筒5の内側に配設される。Thepiezoelectric element 2 includes, for example, a piezoelectric body such as lead zirconate titanate (PZT: Pb (Zrx , Ti1-x ) O3 ) (x is about 0.525) and a pair of counter electrodes provided on the piezoelectric body. It is the composition which has. Further, thepiezoelectric element 2 may have a multilayer laminated structure in which piezoelectric layers made of PZT or the like and electrode layers made of silver or the like are alternately laminated in multiple layers. Further, as shown in FIG. 1, thepiezoelectric element 2 is disposed inside theinner cylinder 5, for example, sandwiched between the leadingpin 1 and theinsertion tool 3.

本例の圧電モジュールは好ましくは、圧電素子2は、内筒5の内側に配置されている。この場合、圧電素子2を圧力を緩和する内筒5の内側に密閉して格納することができ、圧電素子2に対する圧力の影響をより小さくでき、圧電素子2の耐久性を向上させることができる。また、圧電素子2は、内筒5の内側の中央部に配置されることがより好ましく、この場合には圧電素子2の耐久性をより向上させることができる。すなわち、圧電素子2が内筒5の内側の中央部に配置されることによって、圧電素子2に加わる圧力が内筒5によって最も効果的に分散され緩和される位置に、圧電素子2が配置されることになる。  In the piezoelectric module of this example, thepiezoelectric element 2 is preferably disposed inside theinner cylinder 5. In this case, thepiezoelectric element 2 can be sealed and stored inside theinner cylinder 5 that relieves pressure, the influence of pressure on thepiezoelectric element 2 can be reduced, and the durability of thepiezoelectric element 2 can be improved. . In addition, thepiezoelectric element 2 is more preferably disposed at the central portion inside theinner cylinder 5, and in this case, the durability of thepiezoelectric element 2 can be further improved. In other words, thepiezoelectric element 2 is arranged at a position where the pressure applied to thepiezoelectric element 2 is most effectively dispersed and relaxed by theinner cylinder 5 by arranging thepiezoelectric element 2 in the central portion inside theinner cylinder 5. Will be.

また、本例の圧電モジュールは好ましくは、内筒5は、内面と外面との間の厚みが1mm以下である。この場合、内筒5が薄型化されて弾性変形に適したものとなる。その結果、圧電素子2に加わる力を内筒5が緩和する効果が向上する。内筒5における内面と外面との間の厚みの下限値は、0.2mm程度である。内面と外面との間の厚みが0.2mm未満では、内筒5が薄すぎるため、強度が低下し、圧力によって塑性変形したり破壊されたりし易くなる。また、内筒5の製造が容易でなくなる。  In the piezoelectric module of this example, preferably, theinner cylinder 5 has a thickness of 1 mm or less between the inner surface and the outer surface. In this case, theinner cylinder 5 is thinned and is suitable for elastic deformation. As a result, the effect that theinner cylinder 5 relaxes the force applied to thepiezoelectric element 2 is improved. The lower limit of the thickness between the inner surface and the outer surface of theinner cylinder 5 is about 0.2 mm. When the thickness between the inner surface and the outer surface is less than 0.2 mm, theinner cylinder 5 is too thin, so that the strength is lowered, and the plastic cylinder is easily deformed or broken by pressure. Further, the manufacture of theinner cylinder 5 is not easy.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、内筒5は、長さが3mm以上である。この場合、内筒5の弾性変形による変形長さが長くなり、弾性変形に適したものとなる。その結果、圧電素子2に加わる圧力を内筒5が緩和する効果が向上する。内筒5の長さの上限値は、20mm程度である。内筒5の長さが20mmを超えると、内筒5の弾性変形による変形長さが長くなりすぎ、また強度が低下し、力によって塑性変形し易くなる。また、圧電モジュールが大型化する傾向がある。  In the piezoelectric module of the present invention, preferably, theinner cylinder 5 has a length of 3 mm or more. In this case, the deformation length due to the elastic deformation of theinner cylinder 5 becomes long, which is suitable for the elastic deformation. As a result, the effect that theinner cylinder 5 relaxes the pressure applied to thepiezoelectric element 2 is improved. The upper limit of the length of theinner cylinder 5 is about 20 mm. When the length of theinner cylinder 5 exceeds 20 mm, the deformation length due to elastic deformation of theinner cylinder 5 becomes too long, the strength is lowered, and plastic deformation is easily caused by force. In addition, the piezoelectric module tends to increase in size.

また、内筒5に代えてばねを用いたものであってもよい。この場合、ばねは筒形状のものと比較して大きく弾性変形することから、圧電素子2に加わる力を緩和する効果が向上する。なお、内筒5の一部をばねに代えてもよい。例えば、差込具3の先端部に固定される方の端部および先頭ピン1に固定される方の端部は筒形状の部材であり、両者の間の部分のみがばねで構成されるものを、内筒5に代えて使用してもよい。  Further, instead of theinner cylinder 5, a spring may be used. In this case, since the spring is greatly elastically deformed compared to the cylindrical shape, the effect of relaxing the force applied to thepiezoelectric element 2 is improved. A part of theinner cylinder 5 may be replaced with a spring. For example, the end fixed to the distal end of theinsertion tool 3 and the end fixed to the leadingpin 1 are cylindrical members, and only the portion between them is constituted by a spring. May be used in place of theinner cylinder 5.

また、内筒5は、差込具3の一部として、一体化されて形成されている。このことから、円形状である内筒5の端面が、差込具3の先端部に一様に接した状態となる。従って、
先頭ピン1で受けた応力は、一様に緩和されることとなる。従って、圧電素子2が測定すべき圧力は、ある一部分に偏ることなく、先頭ピン1から圧電素子2に伝達されるため、本発明の圧電モジュールの測定精度を向上させることができる。
Further, theinner cylinder 5, as part ofSakomigu 3,are formed integrally.Therefore, the end surface of theinner cylinder 5 is a circular shape in a state of uniform contact with the distal end of theSakomigu 3. Therefore,
The stress received by the leadingpin 1 is alleviated uniformly. Therefore, since the pressure to be measured by thepiezoelectric element 2 is transmitted from the leadingpin 1 to thepiezoelectric element 2 without being biased to a certain part, the measurement accuracy of the piezoelectric module of the present invention can be improved.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、外筒4は、差込具3の先端部に固定される一端が圧電素子2よりも先頭ピン1から離れる側(圧電素子2に対して先頭ピン1と反対側)に位置している。この場合、棒状の差込具3の貫通孔6aへのねじ込みによる締結力を、測定すべき圧力からより確実に分離させることができる。その結果、圧力に対するより高い応答性を実現できる。例えば、外筒4における差込具3の先端部に固定される一端は、圧電素子2よりも0.5〜5mm程度先頭ピン1から離れる側に位置することが良い。この範囲内とすることにより、外筒4が長くなりすぎて、強度が低下し、圧力によって塑性変形し易くなることを抑制し、また、圧電モジュールが大型化することを抑えることができる。  Further, in the piezoelectric module of the present invention, preferably, theouter cylinder 4 has one end fixed to the distal end portion of theinsertion tool 3 on the side farther from the leadingpin 1 than the piezoelectric element 2 (the leadingpin 1 with respect to the piezoelectric element 2). On the opposite side). In this case, the fastening force by screwing the rod-shapedinsertion tool 3 into the throughhole 6a can be more reliably separated from the pressure to be measured. As a result, higher response to pressure can be realized. For example, one end of theouter cylinder 4 that is fixed to the distal end portion of theinsertion tool 3 is preferably located on the side away from the leadingpin 1 by about 0.5 to 5 mm from thepiezoelectric element 2. By setting it within this range, it is possible to suppress theouter cylinder 4 from becoming too long, reducing the strength and being easily plastically deformed by pressure, and to suppress an increase in size of the piezoelectric module.

圧電モジュールは、差込具3の雄ねじ部および貫通孔(ねじ孔)6aの雌ねじ部の接合部(ねじ接合部)で固定されているだけでなく、差込具3を貫通孔6aにねじ込み、差込具3が外筒4を壁面の段差6bに押し付けることによって、差込具3および外筒4がねじ接合部および、外筒4の端部と貫通孔6aの壁面の段差6bとの接触部の間で圧縮されることによって締結力が強められるので、より強固に固定されることとなる。  The piezoelectric module is not only fixed at the joint portion (screw joint portion) of the male screw portion of theinsertion tool 3 and the female screw portion of the through hole (screw hole) 6a, but also screwed theinsertion tool 3 into the throughhole 6a. When theinsertion tool 3 presses theouter cylinder 4 against thestep 6b on the wall surface, theinsertion tool 3 and theouter cylinder 4 contact the screw joint, and the contact between the end of theouter cylinder 4 and thestep 6b on the wall surface of the throughhole 6a. Since the fastening force is strengthened by being compressed between the portions, it is more firmly fixed.

従って、外筒4を用いることによって、圧電モジュールを貫通孔6aに強固に固定することができる。また、外筒4は、前述した締結力を受け持ってはいるが、内筒5とは互いに独立していることから、内筒5には締結力の影響が及ばない。従って、圧電モジュールにおいて、締結力と測定すべき圧力とが分離されることにより、測定すべき圧力に対する高い応答性を実現できる。  Therefore, by using theouter cylinder 4, the piezoelectric module can be firmly fixed to the throughhole 6a. Although theouter cylinder 4 is responsible for the fastening force described above, theinner cylinder 5 is not affected by the fastening force because it is independent of theinner cylinder 5. Therefore, in the piezoelectric module, by separating the fastening force and the pressure to be measured, high responsiveness to the pressure to be measured can be realized.

また、外筒4は、内筒5よりも剛性が高いことが好ましい。すなわち、外筒4は、棒状の差込具3の貫通孔6aへのねじ込みによる締結力が常時加わるものであることから、長期間の使用においても圧電素子2の位置ずれが発生しにくいように、内筒5よりも高い剛性を有していることが好適であるからである。  Further, theouter cylinder 4 is preferably higher in rigidity than theinner cylinder 5. That is, theouter cylinder 4 is constantly applied with a fastening force by screwing the rod-like insertion tool 3 into the throughhole 6a, so that the displacement of thepiezoelectric element 2 is less likely to occur even during long-term use. This is because it is preferable to have higher rigidity than theinner cylinder 5.

また、差込具3の貫通孔6aへの固定に際しては、ねじ込みによる締結に限られるものではなく、半田等の接続材によるものであってもよい。例えば、差込具3の外径および貫通孔6aの内径の間に隙間ができる状態としておき、両者の間に溶融させた半田を流し込む方法が挙げられる。この場合は、差込具3を貫通孔6aに固定する際に生じる締結力が生じないため、圧電素子2における測定すべき圧力に対する応答性が向上するので好ましい。  Further, the fixing of theinsertion tool 3 to the throughhole 6a is not limited to the fastening by screwing, but may be a connecting material such as solder. For example, there is a method in which a gap is formed between the outer diameter of theinsertion tool 3 and the inner diameter of the through-hole 6a, and molten solder is poured between the two. In this case, since the fastening force generated when theinsertion tool 3 is fixed to the throughhole 6a is not generated, the response to the pressure to be measured in thepiezoelectric element 2 is improved, which is preferable.

また、本発明の圧電モジュールは好ましくは、外筒4は単数に限らず、同心円状に複数あってもよい。  The piezoelectric module of the present invention is preferably not limited to a singleouter cylinder 4 but may be a plurality of concentric circles.

また、外筒4は、差込具3の一部として、差込具3と一体化して形成されていてもよい。この場合には、円形状である外筒4の端面が、差込具3の先端部に一様に接した状態となる。従って、差込具3の貫通孔6aへのねじ込みによる締結力が偏りなく外筒4に印加される。従って、外筒4において締結力を均等に分散させることができるので、外筒4が部分的に破損や変形しにくくなるので、圧電素子2および先頭ピン1の位置ずれが起こりにくくなることより、先頭ピン1にかかる圧力を、長期にわたって高い精度で測定することができる。  Further, theouter cylinder 4 may be formed integrally with theinsertion tool 3 as a part of theinsertion tool 3. In this case, the end surface of theouter cylinder 4 having a circular shape is in a state of being in uniform contact with the distal end portion of theinsertion tool 3. Therefore, the fastening force by screwing theinsertion tool 3 into the throughhole 6a is applied to theouter cylinder 4 without any deviation. Accordingly, since the fastening force can be evenly distributed in theouter cylinder 4, theouter cylinder 4 is not easily damaged or deformed partially, so that the displacement of thepiezoelectric element 2 and the leadingpin 1 is less likely to occur. The pressure applied to the leadingpin 1 can be measured with high accuracy over a long period of time.

本発明の内燃機関は、上記本発明の圧電モジュールを燃焼圧センサとして搭載する構成である。このことから、高い応答性と優れた耐久性とを有する圧電モジュールを用いているため、内燃機関の燃焼特性の制御性が高まり、また耐久性が向上する。  The internal combustion engine of the present invention is configured to mount the piezoelectric module of the present invention as a combustion pressure sensor. Accordingly, since the piezoelectric module having high responsiveness and excellent durability is used, the controllability of the combustion characteristics of the internal combustion engine is enhanced and the durability is improved.

内燃機関は、例えば、気筒(シリンダー)、ピストン、点火プラグ、グロープラグ、燃料噴射装置、シリンダーに供給する燃料の弁(バルブ)開閉装置等の種々の周知の装置を有するものである。具体的には、自動車等の乗物、貨物運搬車両等に用いられるガソリンエンジン、アルコール混合ガソリンエンジン、ディーゼルエンジン、アルコールエンジン、水素ガスエンジン等である。  The internal combustion engine has various known devices such as a cylinder, a piston, a spark plug, a glow plug, a fuel injection device, and a valve opening / closing device for a fuel supplied to the cylinder. Specific examples include gasoline engines, alcohol-mixed gasoline engines, diesel engines, alcohol engines, hydrogen gas engines, and the like used for vehicles such as automobiles and cargo vehicles.

本発明の内燃機関に用いられる本発明の圧電モジュールは、圧力室6としての内燃機関の燃焼室(シリンダー)に設置され、燃料の燃焼爆発による圧力を受圧して圧力を測定する。  The piezoelectric module of the present invention used in the internal combustion engine of the present invention is installed in the combustion chamber (cylinder) of the internal combustion engine as thepressure chamber 6 and receives pressure due to combustion explosion of fuel and measures the pressure.

本発明のグロープラグは、上記本発明の圧電モジュールを設けた構成である。このことから、高い応答性と優れた耐久性とを有する圧電モジュールを用いているため、グロープラグの内燃機関の気筒(シリンダー)内の温度の制御性が高まり、また耐久性が向上する。  The glow plug of the present invention has a configuration provided with the piezoelectric module of the present invention. Accordingly, since the piezoelectric module having high responsiveness and excellent durability is used, the controllability of the temperature in the cylinder of the internal combustion engine of the glow plug is enhanced, and the durability is improved.

グロープラグは、ディーゼルエンジンの気筒内の温度を制御する装置であり、例えば、気筒内の温度が低いとエンジンの始動が不調になるため、エンジンの始動前に気筒内に設けられたグロープラグを予熱して燃料着火を確実にし、始動性を高めるように作動する。従って、グローブラグは、ディーゼルエンジンの燃焼室内に先端を突出させて設けられる。  The glow plug is a device that controls the temperature in the cylinder of the diesel engine. For example, if the temperature in the cylinder is low, the engine starts malfunctioning. Therefore, the glow plug provided in the cylinder before starting the engine is used. Preheat to ensure fuel ignition and operate to improve startability. Therefore, the glove lug is provided with its tip projecting into the combustion chamber of the diesel engine.

このグロープラグは、例えば、抵抗変化率の大きい金属からなる通電用抵抗体と、通電用抵抗体の先端に接続され、固有抵抗が大きくかつ抵抗変化率の小さい金属からなる発熱用抵抗体と、これらの抵抗体を覆うシース管とを有する構成である。  The glow plug includes, for example, a current-carrying resistor made of a metal having a high resistance change rate, a heating resistor connected to the tip of the current-carrying resistor and having a large specific resistance and a low resistance change rate, and The sheath tube covers these resistors.

通電用抵抗体は、抵抗変化率の大きいFe,Ni等の金属からなり、発熱用抵抗体は、固有抵抗が大きくかつ抵抗変化率の小さいFeCr,NiCr等の金属からなる。  The energizing resistor is made of a metal such as Fe or Ni having a large resistance change rate, and the heating resistor is made of a metal such as FeCr or NiCr having a large specific resistance and a small resistance change rate.

図2〜図5は、本発明の圧電モジュールの製造方法の一例を示す工程ごとの断面図である。図2に示すように、まず始めに、先頭ピン1と内筒5とを予め接合して固定する。両者を接合する方法としては、ガス溶接、レーザ溶接、抵抗溶接、電子ビーム溶接等の溶接法を用いる。または、摩擦圧接、ロー付け、拡散接合等の接合方法を用いても良い。次に、内筒5の内側に圧電素子2を配置する。  2-5 is sectional drawing for every process which shows an example of the manufacturing method of the piezoelectric module of this invention. As shown in FIG. 2, first, the leadingpin 1 and theinner cylinder 5 are joined and fixed in advance. As a method for joining the two, welding methods such as gas welding, laser welding, resistance welding, and electron beam welding are used. Alternatively, a joining method such as friction welding, brazing, or diffusion bonding may be used. Next, thepiezoelectric element 2 is disposed inside theinner cylinder 5.

次に、図3に示すように、先頭ピン1の後端面と差込具3の先端部とで圧電素子2が隙間無く挟まれるようにする。その後、内筒5の差込具3側の端と、差込具3の先端部の当接箇所とを接合して固定する。接合する方法としては、ガス溶接、レーザ溶接、抵抗溶接、電子ビーム溶接等の溶接法を用いる。または、摩擦圧接、ロー付け、拡散接合等の接合方法を用いる。このとき、内筒5と差込具3とが当接して接合される位置は、圧電素子2より圧力室6から離れる側に位置するように、内筒5の長さと差込具3の先端部の長さとを設定する。  Next, as shown in FIG. 3, thepiezoelectric element 2 is sandwiched between the rear end surface of the leadingpin 1 and the front end portion of theinsertion tool 3 without a gap. Thereafter, the end of theinner cylinder 5 on the side of theinsertion tool 3 and the contact portion of the tip of theinsertion tool 3 are joined and fixed. As a method for joining, welding methods such as gas welding, laser welding, resistance welding, and electron beam welding are used. Alternatively, a joining method such as friction welding, brazing, or diffusion bonding is used. At this time, the length of theinner cylinder 5 and the distal end of theinsertion tool 3 are such that the position where theinner cylinder 5 and theinsertion tool 3 are brought into contact with each other is positioned on the side farther from thepressure chamber 6 than thepiezoelectric element 2. Set the length of the part.

次に、図4、図5に示すように、外筒4が、差込具3の先端部に一端が固定されるとともに他端が貫通孔6aの壁面の段差6bに係止されて圧電素子2および先頭ピン1の後端部を覆うように設置される。このとき、外筒4と差込具3とが当接して固定される位置は、内筒5と差込具3とが当接して固定される位置よりも先頭ピン1から離れる側に位置するように調整することが好ましい。この場合には、貫通孔6aへのねじ込みによる締結力を、測定すべき圧力から分離する効率がより高まるという効果がある。  Next, as shown in FIGS. 4 and 5, theouter cylinder 4 has one end fixed to the distal end portion of theinsertion tool 3 and the other end locked to astep 6b on the wall surface of the through hole 6a. 2 and the rear end portion of the leadingpin 1 are installed. At this time, the position where theouter cylinder 4 and theinsertion tool 3 are fixed in contact with each other is located on the side farther from the leadingpin 1 than the position where theinner cylinder 5 and theinsertion tool 3 are fixed in contact with each other. It is preferable to adjust so that. In this case, there is an effect that the efficiency of separating the fastening force by screwing into the throughhole 6a from the pressure to be measured is further increased.

外筒4の一端と差込具3の先端部とを固定する方法は、ガス溶接、レーザ溶接、抵抗溶接、電子ビーム溶接等の溶接法を用いる。または、摩擦圧接、ロー付け、拡散接合等の接合方法を用いても良い。さらには、外筒4の一端と差込具3の先端部とを当接させるだけとし、外筒4の他端を係止することによって固定してもよい。  As a method of fixing one end of theouter cylinder 4 and the tip of theinsertion tool 3, a welding method such as gas welding, laser welding, resistance welding, or electron beam welding is used. Alternatively, a joining method such as friction welding, brazing, or diffusion bonding may be used. Further, it may be fixed by simply bringing one end of theouter cylinder 4 and the tip of theinsertion tool 3 into contact with each other and locking the other end of theouter cylinder 4.

このようにして構成した圧電モジュールは、先頭ピン1が圧力室6に暴露されることによって圧力を受け、内筒5が弾性変形し、先頭ピン1と差込具3との間に挟まれた圧電素子2が圧力を感知して電気信号を発生させることによって、圧力を測定する。  The piezoelectric module configured as described above is subjected to pressure when the leadingpin 1 is exposed to thepressure chamber 6, theinner cylinder 5 is elastically deformed, and is sandwiched between the leadingpin 1 and theinsertion tool 3. Thepiezoelectric element 2 senses the pressure and generates an electrical signal to measure the pressure.

外筒4は一端が差込具3に接合され固定されて、他端が貫通孔6aの段差部6bに係止される。このとき、圧電モジュールを貫通孔6aに差し込み、例えば差込具3の表面に形成されたねじ部を貫通孔6aの壁面のねじ部にねじ込んで固定する場合であれば、ねじ込みによって発生する軸方向の推力(締結力)を外筒4が受け持つ。またこのとき、内筒5、先頭ピン1および圧電素子2は、ねじ込みによって発生する軸方向の推力から分離されているため、推力の変動によって圧電素子2の出力が影響を受けることが無く、高い応答性を確保することができる。また、圧電素子2に推力が伝達しないことから、繊細な扱いが要求される圧電素子2に破損等を与えることが無く、耐久性が向上する。このような構成は、例えば、圧電モジュールの組み付け時や、メンテナンスのために取り外しおよび取り付けを行なう際などにも有効である。  One end of theouter cylinder 4 is joined and fixed to theinsertion tool 3, and the other end is locked to thestep portion 6b of the throughhole 6a. At this time, if the piezoelectric module is inserted into the through-hole 6a and, for example, a screw portion formed on the surface of theinsertion tool 3 is screwed into the screw portion of the wall surface of the through-hole 6a and fixed, the axial direction generated by screwing Theouter cylinder 4 takes charge of this thrust (fastening force). At this time, since theinner cylinder 5, the leadingpin 1 and thepiezoelectric element 2 are separated from the axial thrust generated by screwing, the fluctuation of the thrust does not affect the output of thepiezoelectric element 2 and is high. Responsiveness can be ensured. In addition, since thrust is not transmitted to thepiezoelectric element 2, thepiezoelectric element 2 that requires delicate handling is not damaged and the durability is improved. Such a configuration is also effective, for example, when the piezoelectric module is assembled or when it is removed and attached for maintenance.

1:先頭ピン
2:圧電素子
2a:第1の面
2b:第2の面
3:差込具
4:外筒
5:内筒
6:圧力室(圧力を測定する対象である装置)
6a:取付け孔(貫通孔)
6b:段差
1: Leading pin 2:Piezoelectric element 2a:First surface 2b: Second surface 3: Insertion tool 4: Outer cylinder 5: Inner cylinder 6: Pressure chamber (apparatus for measuring pressure)
6a: Mounting hole (through hole)
6b: level difference

Claims (7)

Translated fromJapanese
先頭ピンと、該先頭ピンの後端面側に第1の面が位置するように設けられた圧電素子と、該圧電素子の前記第1の面に対向する第2の面を先端が押圧する棒状の差込具とを具備し、装置の取付け孔に挿置される圧電モジュールであって、前記差込具の先端部に一端が固定されるとともに他端が前記取付け孔の壁面の段差に係止されて前記圧電素子および前記先頭ピンの後端部を覆う外筒と、該外筒の内側に設置された、前記先頭ピンから前記圧電素子に伝わる圧力を弾性変形して緩和する内筒とを有しており、該内筒は、前記差込具の一部として一体化されて形成されていることを特徴とする圧電モジュール。A leading pin, a piezoelectric element provided such that the first surface is located on the rear end surface side of the leading pin, and a rod-shaped tip whose tip presses the second surface of the piezoelectric element facing the first surface A piezoelectric module that is inserted into a mounting hole of the device and has one end fixed to the tip of the plug and the other end locked to a step on the wall surface of the mounting hole An outer cylinder that covers the piezoelectric element and the rear end portion of the leading pin, and an inner cylinder that is installed inside the outer cylinder and elastically deforms and relaxes the pressure transmitted from the leading pin to the piezoelectric element. The piezoelectric module is characterized in thatthe inner cylinder is integrally formed as a part of the insertion tool . 前記圧電素子は、前記内筒の内側に配置されていることを特徴とする請求項1記載の圧電モジュール。  The piezoelectric module according to claim 1, wherein the piezoelectric element is disposed inside the inner cylinder. 前記内筒は、内面と外面との間の厚みが1mm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電モジュール。  The piezoelectric module according to claim 1 or 2, wherein the inner cylinder has a thickness of 1 mm or less between an inner surface and an outer surface. 前記内筒は、長さが3mm以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧電モジュール。  The piezoelectric module according to claim 1, wherein the inner cylinder has a length of 3 mm or more. 前記外筒は、前記差込具の先端部に固定される前記一端が前記圧電素子よりも前記先頭ピンから離れる側に位置していることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の圧電モジュール。  5. The outer cylinder according to claim 1, wherein the one end fixed to the distal end portion of the insertion tool is located on a side farther from the head pin than the piezoelectric element. The piezoelectric module according to 1. 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の圧電モジュールを搭載したことを特徴とする内燃機関。  An internal combustion engine comprising the piezoelectric module according to any one of claims 1 to 5. 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の圧電モジュールを設けたことを特徴とするグロープラグ。  A glow plug comprising the piezoelectric module according to claim 1.
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