JP4790995B2 - Slurry dilution device - Google Patents

Description

Translated fromJapanese

本発明は、半導体製造装置等に用いられる基板研摩装置に供給するスラリー溶液を作るためのスラリー希釈装置に関し、特に、量の少ないスラリー原液を純水で稀釈し、高精度に濃度調整できるスラリー希釈装置に関する。The present invention relates to aslurry dilution systemfor making a slurry solution supplied to the substrate polishing apparatus used in a semiconductor manufacturing device or the like, inparticular, was diluted lessslurry stock solution with an amountof pure water,the slurry diluted capable concentration accurately adjusted Relates to the device.

従来、複数種類の液を混合するにあたって、液混合装置を用いて混合することが行われていた。ここでは、液の混合の例として、半導体基板等の基板を研摩する基板研摩装置に供給するスラリー溶液を製造するための、スラリー原液と純水を混合させるスラリー希釈装置を説明する。Conventionally, in mixing a plurality of types of liquids, mixing using a liquid mixing apparatus has been performed. Here, as an example of liquid mixing, aslurry dilution apparatus for mixing a slurry stock solution and pure water for producing a slurry solution supplied to a substrate polishing apparatus for polishing a substrate such as a semiconductor substrate will be described.

従来、スラリー原液を純水で希釈して、その濃度が調整されたスラリー溶液を製造するには、例えば内径が上下方向に同一な筒状の容器内に、原液供給手段からスラリー原液を所定量供給し、その後該容器内に、純水供給手段から所定量の純水を供給して、該容器内でスラリー原液と純水とを混合して、所定濃度のスラリー溶液を得る。このとき、このスラリー原液及び純水の計量は、容器の壁面等に取り付けた液面計で液位を測定することで行なっている。  Conventionally, in order to produce a slurry solution whose concentration is adjusted by diluting the slurry stock solution with pure water, for example, a predetermined amount of the slurry stock solution is supplied from the stock solution supply means into a cylindrical container having the same inner diameter in the vertical direction. Then, a predetermined amount of pure water is supplied from the pure water supply means into the container, and the slurry stock solution and pure water are mixed in the container to obtain a slurry solution having a predetermined concentration. At this time, the slurry stock solution and the pure water are measured by measuring the liquid level with a liquid level gauge attached to the wall surface of the container.

ところが、上記した方法では、希釈されるスラリー原液に対して純水の量が多い場合は、内径が上下方向に同一の容器を用いているため、少量のスラリー原液による液位変化は大量の純水による液位変化に比較して小さく、スラリー原液の量を精度良く計量することが困難となり、精度良く濃度調整されたスラリー溶液が得にくいという問題があった。  However, in the above method, when the amount of pure water is large relative to the diluted slurry stock solution, the same inner diameter is used in the vertical direction. There is a problem that it is smaller than the change in the liquid level due to water, and it is difficult to accurately measure the amount of the slurry stock solution, and it is difficult to obtain a slurry solution whose concentration is adjusted accurately.

さらに、スラリー溶液を作る別の方法として、スラリー原液及び純水の量を予め計量しておき、この計量されたスラリー原液と純水とを容器内に供給し混合する方法もあるが、この方法では、予めスラリー原液の液量の計量を行う作業と純水の液量の計量を行なう作業とがそれぞれ必要なため、スラリー溶液を作る手順が煩雑になる上に、スラリー原液の液量を計量する装置と、純水の液量を計量する装置とをそれぞれ別個に設ける必要があるため、装置の構成が複雑になり、装置が大型化してしまうという問題があった。  Furthermore, as another method for preparing the slurry solution, there is a method in which the amount of the slurry stock solution and pure water is measured in advance, and the measured slurry stock solution and pure water are supplied into the container and mixed. Then, since the work of measuring the liquid volume of the slurry stock solution and the work of measuring the liquid volume of pure water are required in advance, the procedure for preparing the slurry solution becomes complicated, and the liquid volume of the slurry stock solution is measured. Since it is necessary to separately provide a device for measuring and a device for measuring the amount of pure water, there is a problem that the configuration of the device becomes complicated and the device becomes large.

また、従来の混合方法は、内径が上下方向に同一の容器内に、少量のスラリー原液と多量の純水とを供給し、両者を攪拌機等で攪拌して混合するものであるが、スラリー原液を純水中に均一に混合させるには時間がかかるという問題もあった。  In addition, the conventional mixing method is to supply a small amount of slurry stock solution and a large amount of pure water into a container having the same inner diameter in the vertical direction, and stir and mix them with a stirrer or the like. There is also a problem that it takes time to uniformly mix the water with pure water.

本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、簡素な構成で、混合する各液の液量を正確に測定でき、精度の良い濃度の混合液を作ることができると共に、短時間で各液が均一に混合できるスラリー希釈装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above points, and its purpose is to have a simple configuration, accurately measure the amount of each liquid to be mixed, and to make a highly accurate mixed liquid, An object of the present invention is to provide aslurry diluting device capable of uniformly mixing each liquid in a short time.

本願請求項１に記載の発明は、半導体基板等の基板を研摩する基板研摩装置に供給するスラリー溶液を製造するための、スラリー原液と純水を混合させるスラリー希釈装置であって、筒状の上部タンクと下部タンクとを有し、前記下部タンクが前記上部タンクの下方に一体的に設けられその内径が前記上部タンクの内径より小さく且つ内部が前記上部タンクと連通してなる調合タンクと、前記調合タンクにスラリー原液を供給するスラリー供給手段と、前記調合タンクに純水を供給する純水供給手段と、前記調合タンクへのスラリー原液及び純水の供給を制御する制御手段と、前記上部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる上部タンク液面検出手段と、前記下部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる下部タンク液面検出手段と、前記上部タンク内に設置され、前記スラリー供給手段から供給されるスラリー原液が通るスラリー供給管と、前記純水供給手段から供給される純水が通る純水供給管と、前記スラリー供給管と前記純水供給管の吐出側の端部が合流する合流管路部とを有し、前記合流管路部の吐出口を前記下部タンクの入口に向けて配置してなる配管部材と、を備え、前記制御手段は、前記スラリー供給手段で前記下部タンクにスラリー原液を供給し、前記下部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該スラリー原液の供給を停止し、前記純粋供給手段から前記下部タンクに純水を供給することで、前記下部タンク内でスラリー原液と純水との混合を行い、該混合で生成したスラリー溶液が前記下部タンクを溢れて前記上部タンクに流入することで、前記上部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該純水の供給を停止することを特徴とするスラリー希釈装置にある。

The invention described in claim 1 of the present application isa slurry diluting device for mixing a slurry stock solution and pure water for producing a slurry solution to be supplied to a substrate polishing apparatus for polishing a substrate such as asemiconductor substrate . A mixing tank comprising an upper tank and a lower tank, wherein the lower tank is integrally provided below the upper tank, an inner diameter thereof is smaller than an inner diameter of the upper tank, and an inside communicates with the upper tank; Slurry supply means for supplying a slurry stock solution to the preparation tank, pure water supply means for supplying pure water to the preparation tank, control means for controlling supply of the slurry stock solution and pure water to the preparation tank, and the upper part Upper tank liquid level detecting means comprising a capacitive liquid level sensor attached to the outer surface of the tank, and a capacitive liquid level attached to the outer surface of the lower tank A lower tank solution level detecting means including a bell sensoris installed in said upper tank, a slurry supply pipe slurry concentrate passes supplied from the slurry supply unit, the pure water supplied from the pure water supply means through A pure water supply pipe; a slurry supply pipe; and a merge pipe section where the discharge-side end of the pure water supply pipe merges, with a discharge port of the merge pipe section facing an inlet of the lower tank And the control means supplies the slurry stock solution to the lower tank by the slurry supply means, and when the lower tank liquid level detection means detects a predetermined liquid level, the slurry The supply of the stock solution is stopped, and pure water is supplied from the pure supply means to the lower tank, so that the slurry stock solution and pure water are mixed in the lower tank, and the slurry solution generated by the mixing is mixed with the lower solution. By overflowing the tank flows into the upper tank, when the upper tank liquid level detecting means detects a predetermined liquid level, in a slurry dilution apparatus characterized by stopping the supply of the pure water.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のスラリー希釈装置において、前記上部タンクの底部には、その外周端部から中央の開口部に向かって次第にその高さが低くなるように傾斜した傾斜板が取り付けられており、前記下部タンクの底部には、混合後の前記スラリー溶液を排出するための開口部が設けられていることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the slurry diluting device according to the first aspect,the bottom of the upper tank is inclined so that its height gradually decreases from the outer peripheral end toward the central opening. The inclined plate is attached, and an opening for discharging the mixed slurry solution is provided at the bottom of the lower tank .

請求項１に記載の発明によれば、調合タンクを内径が大きい上部タンクと、内径が小さい下部タンクで構成し、スラリー供給手段で下部タンクにスラリー原液を供給し、下部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該スラリー原液の供給を停止し、純粋供給手段から下部タンクに純水を供給することで、下部タンク内でスラリー原液と純水との混合を行い、該混合で生成したスラリー溶液が下部タンクを溢れて上部タンクに流入することで、上部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該純水の供給を停止するように構成したので、内径の小さい下部タンク内で異なる液が混合攪拌されながら、上部タンクに流入することになり、短時間で高精度に調整された濃度のスラリー溶液を作ることができる。According to the first aspect of the present invention, the preparation tank is composed of an upper tank having a large inner diameter and a lower tank having a small inner diameter, theslurry supply means supplies the slurry stock solution to the lower tank, and the lower tank liquid level detection means When the predetermined liquid level is detected, the supply of the slurry stock solution is stopped, and pure water is supplied from the pure supply means to the lower tank, so that the slurry stock solution and the pure water are mixed in the lower tank. Since the generated slurry solution overflows the lower tank and flows into the upper tank, when the upper tank liquid level detecting means detects a predetermined liquid level, the supply of the pure water is stopped. While different liquids are mixed and stirred in the lower tank, the liquid flows into the upper tank, anda slurry solution having a concentration adjusted withhigh accuracy can be made in a short time.

また、下部タンクの内径が小さいから、該下部タンクに供給されるスラリー原液は少量でも下部タンク液面検出手段で精度良く計量できると共に、該少量のスラリー原液が希釈されたスラリー溶液も上部タンク液面検出手段で精度良く検出できるから、簡単な構成で、精度の良くスラリー溶液の濃度調整ができる。Further, since the inner diameter of the lower tank is small, even a small amount of the slurry stock solution supplied to the lower tank can be accurately measured by the lower tank liquid level detecting means, and the slurry solution obtained by diluting the small amount of slurry stock solution can also be used. Since it can be detected with high accuracy by the surface detection means, the concentration of the slurry solution can be adjusted with high accuracy with a simple configuration.

さらに、上部タンク液面検出手段と下部タンク液面検出手段とは、共に液面レベルセンサーであるので、正確に容器内の液面を検出することができる。このため、各液の液量を正確に計量することができ、高精度に調整された濃度の混合液を作ることができる。また、液面レベルセンサーをタンクの外側面に取り付けたので、その取り付けが簡単であると共にメンテナンスが容易になる。Furthermore, since both the upper tank liquid level detecting means and the lower tank liquid level detecting means are liquid level sensors, the liquid level in the container can be detected accurately. For this reason, the liquid amount of each liquid can be measured accurately and the liquid mixture of the density | concentration adjusted with high precision can be made. Further, since the liquid level sensor is attached to the outer surface of the tank, the attachment is simple and the maintenance becomes easy.

さらに、スラリー供給手段から供給されるスラリー原液が通るスラリー供給管と、純水供給手段から供給される純水が通る純水供給管と、スラリー供給管と純水供給管の吐出側の端部が合流する合流管路部とを有し、合流管路部の吐出口を下部タンクの入口に向けて配置してなる配管部材を備えたので、合流管路部を通った液は下部タンク内に流れ込み、液の混合が効率良く行われると共に、最後に液を純水とすることにより、合流管路部の内部が洗浄されることになり、装置のメンテンナンスを行う回数が少なくて済む。Furthermore, a slurry supply pipe through which the slurry stock solution supplied from the slurry supply means passes, a pure water supply pipe through which pure water supplied from the pure water supply means passes, and an end portion on the discharge side of the slurry supply pipe and the pure water supply pipe And a pipe member formed by disposing the discharge port of the merging pipe part toward the inlet of the lower tank, sothat the liquid passing through the merging pipe part is contained in the lower tank. Then, the liquid is mixed efficiently, and finally the liquid is made pure water, so that the inside of the merging pipe section is cleaned, and the number of times of maintenance of the apparatus can be reduced.

さらに、配管部材の合流管路部をスラリー原液と純水とが通るので、該合流管路部の内壁にスラリー原液に含まれる固形物が付着して堆積しても、これが純水によって洗い流される効果があるため、装置のメンテンナンスを行う回数が少なくて済む。  Further, since the slurry stock solution and the pure water pass through the junction pipe portion of the piping member, even if the solid matter contained in the slurry stock solution is deposited on the inner wall of the junction pipe portion, it is washed away by the pure water. Since this is effective, the number of times of maintenance of the apparatus can be reduced.

請求項２に記載の発明によれば、上部タンクの底部に傾斜板を取り付けたことで、上部タンク内のスラリー溶液が残らず下部タンクに移行するようになり、かつ、下部タンクの底部に開口部を設けたことで、当該開口部から調合タンク内のスラリー希釈液が外部に確実に排出されるようになるので、混合後に調合タンク内のスラリー溶液の全量を確実に他に移すことができる。  According to the second aspect of the present invention, the slant plate is attached to the bottom of the upper tank so that the slurry solution in the upper tank does not remain and moves to the lower tank, and opens to the bottom of the lower tank. By providing the part, the slurry diluent in the preparation tank is surely discharged to the outside from the opening, so that the entire amount of the slurry solution in the preparation tank can be reliably transferred to the other after mixing. .

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態であるスラリー希釈装置１の分解斜視図であり、図２は組み立てられたスラリー希釈装置１を示す図で、同図（ａ）はその上側から見た図であり、同図（ｂ）はその概略側断面図である。スラリー希釈装置１は、半導体製造装置等に用いられる基板研摩装置に供給するシリカ（ＳｉＯ２）等のスラリー溶液を作るもので、スラリーの原液を純水と混合して所望の濃度のスラリー溶液を作るものである。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an exploded perspective view of a slurry diluting apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view showing the assembled slurry diluting apparatus 1, and FIG. FIG. 5B is a schematic side sectional view thereof. The slurry diluting device 1 is a device for producing a slurry solution such as silica (SiO 2) to be supplied to a substrate polishing device used in a semiconductor manufacturing device or the like. The slurry solution is mixed with pure water to produce a slurry solution having a desired concentration. Is.

スラリー希釈装置１は、その内部でスラリー原液を希釈する容器である調合タンク１０を具備し、該調合タンク１０は内径寸法βの大きい上部タンク１１と、該上部タンク１１に連通する内径寸法αの小さい（β＞α）下部タンク１５から構成されている。調合タンク１０には、図示しない原液貯蔵タンクからスラリー原液を供給するスラリー供給管２０と、図示しない純水貯蔵タンクから純水を供給する純水供給管３０と、上部タンク１１内に設置された、スラリー原液と純水とがその内部を通る配管部材４０と、上部タンク１１の開口部に被せて取り付けられた蓋部材５０と、下部タンク１５の壁面に取り付けられた液面レベルセンサー６０と、上部タンク１１の壁面に取り付けられた液面レベルセンサー７０とを具備して構成されている。以下、このスラリー希釈装置１の構成について詳細に説明する。  The slurry diluting apparatus 1 includes apreparation tank 10 that is a container for diluting the slurry stock solution therein, and thepreparation tank 10 has anupper tank 11 having a large inner diameter dimension β and an inner diameter dimension α that communicates with theupper tank 11. It is composed of a small (β> α)lower tank 15. Theblending tank 10 is installed in aslurry supply pipe 20 for supplying a raw slurry solution from a raw liquid storage tank (not shown), a purewater supply pipe 30 for supplying pure water from a pure water storage tank (not shown), and anupper tank 11. Apiping member 40 through which the slurry stock solution and pure water pass, alid member 50 attached to the opening of theupper tank 11, aliquid level sensor 60 attached to the wall surface of thelower tank 15, Aliquid level sensor 70 attached to the wall surface of theupper tank 11 is provided. Hereinafter, the configuration of the slurry dilution apparatus 1 will be described in detail.

上部タンク１０及び下部タンク１５は、例えば、ＰＶＣ（塩化ビニル樹脂）や、ＰＦＡ（パーフルオロアルキルビニルエーテル樹脂）やガラス等の材料で形成された薬液収納用の容器である。上部タンク１１は、その上端に開口部１１ａを設けると共に、開口部１１ａの周囲には、蓋部材５０を取り付けるための取付穴１１ｂが複数個（図では４個）設けられている。また、図２に示すように、底部１２には、その外周端部から中央の開口部１２ａに向かって次第にその高さが低くなるように傾斜した傾斜板１３が取り付けられている。  Theupper tank 10 and thelower tank 15 are containers for storing chemicals made of materials such as PVC (vinyl chloride resin), PFA (perfluoroalkyl vinyl ether resin), and glass. Theupper tank 11 is provided with an opening 11a at its upper end, and a plurality of mountingholes 11b (four in the figure) for attaching thelid member 50 are provided around the opening 11a. As shown in FIG. 2, aninclined plate 13 is attached to thebottom portion 12 so as to be gradually lowered from the outer peripheral end portion toward thecentral opening portion 12a.

一方、下部タンク１５の底部１６には、開口部１６ａが設けられて、この開口部１６ａにバルブ１８が取り付けられている。バルブ１８は、これを開くことで調合タンク１０内で希釈されたスラリー溶液を、開口部１６ａを経由させて外部に取り出すことができる。なお、バルブ１８はいわゆる表面設置型のバルブで、その下端の吐出口１８ａを貯蔵タンク８０の上部に設けた開口部８１に係合させて、調合タンク１０を貯蔵タンク８０の上部に載置することができる。  On the other hand, thebottom 16 of thelower tank 15 is provided with an opening 16a, and avalve 18 is attached to the opening 16a. By opening thevalve 18, the slurry solution diluted in thepreparation tank 10 can be taken out through theopening 16 a. Thevalve 18 is a so-called surface-mounted valve, and thedischarge port 18 a at the lower end thereof is engaged with anopening 81 provided in the upper part of thestorage tank 80, and thepreparation tank 10 is placed on the upper part of thestorage tank 80. be able to.

上記のように、下部タンク１５の内径寸法αが、上部タンク１１の内径寸法βよりも小さい寸法となるように構成されている。そして、下部タンク１５は、一度に作られるスラリー溶液に必要なスラリー原液をその内部に収容することができる容積を備えている。また、上部タンク１１は下部タンク１５よりもその容積が大きく構成されている。そして、上部タンク１１と下部タンク１５とを合わせた容積は、一度に作られるスラリー溶液をその内部に収容できる容積を備えて構成されている。  As described above, the inner diameter dimension α of thelower tank 15 is configured to be smaller than the inner diameter dimension β of theupper tank 11. And thelower tank 15 is equipped with the volume which can accommodate the slurry stock solution required for the slurry solution made at a time in the inside. Further, the volume of theupper tank 11 is larger than that of thelower tank 15. The total volume of theupper tank 11 and thelower tank 15 is configured to have a volume capable of accommodating a slurry solution made at a time therein.

次に、スラリー供給管２０には、原液バルブ２２が取り付けられており、この原液バルブ２２が、蓋部材５０の上面に取り付けられたバルブブラケット２３と蓋部材５０の下面側でバルブブラケット２３に接続された継手２４とを介して、下記する配管部材４０の原液管路４１に接続されている。従って、原液タンクから吸引されたスラリー原液は、スラリー供給管２０から原液バルブ２２を通って配管部材４０の原液管路４１に導かれる。なお、原液バルブ２２は、調合タンク１０内の気圧に対応してスラリー原液の流路を開閉するよう構成されたバルブである。  Next, araw solution valve 22 is attached to theslurry supply pipe 20, and thisraw solution valve 22 is connected to thevalve bracket 23 on the lower surface side of thelid member 50 and thevalve bracket 23 attached to the upper surface of thelid member 50. It is connected to the undilutedsolution line 41 of thepiping member 40 mentioned below via the madejoint 24. Therefore, the slurry stock solution sucked from the stock solution tank is guided from theslurry supply pipe 20 through thestock solution valve 22 to thestock solution pipe 41 of thepiping member 40. Thestock solution valve 22 is a valve configured to open and close the flow path of the slurry stock solution corresponding to the atmospheric pressure in thepreparation tank 10.

また、純水供給管３０は、継手３２と接続管３３及び継手３４を介して、下記する配管部材４０の純水管路４２に接続されて構成されている。従って、純水タンクから供給される純水は、純水供給管３０と接続管３３を通って、純水管路４２に導かれる。また、純水供給管３０の途中には、純水バルブ３１が設けられ、この純水バルブ３１を開閉することによって、純水を供給・停止することができるよう構成されている。  The purewater supply pipe 30 is configured to be connected to a purewater pipe line 42 of apiping member 40 described below via ajoint 32, aconnection pipe 33, and ajoint 34. Therefore, the pure water supplied from the pure water tank is guided to thepure water pipeline 42 through the purewater supply pipe 30 and theconnection pipe 33. Further, apure water valve 31 is provided in the middle of the purewater supply pipe 30, and pure water can be supplied and stopped by opening and closing thepure water valve 31.

配管部材４０は、ＰＦＡ等のフッ素樹脂で形成され、図３に示すように、スラリー供給管２０と接続された略直線状の原液管路４１と、純水供給管３０と接続され、その途中に略直角方向に屈曲した屈曲部４２ａを設けた純水管路４２とを設けると共に、原液管路４１の吐出側端部と純水管路４２の吐出側端部とが合流部４３で合流して、略直線状に形成された合流管路４４として形成されている。なお、純水管路４２は、原液管路４１及びこれと直線状に一体に構成された合流管路４４とに、合流部４３で、溶接による継手接続によって取り付けられている。この配管部材４０は、図２に示すように、調合タンク１０の上部タンク１１内に設置されたとき、その下端の吐出口４５が下部タンク１５の開口である開口部１２ａに向かって開口し、スラリー及び純水をこの下部タンク１５内に供給することができる長さ及び形状に形成されている。  Thepiping member 40 is formed of a fluororesin such as PFA, and as shown in FIG. 3, is connected to the substantially straightstock solution pipe 41 connected to theslurry supply pipe 20 and the purewater supply pipe 30. And apure water pipe 42 provided with abent portion 42a bent in a substantially right angle direction, and the discharge side end of thestock solution pipe 41 and the discharge side end of thepure water pipe 42 merge at thejunction 43. The mergingconduit 44 is formed in a substantially straight line. Thepure water pipe 42 is attached to theundiluted liquid pipe 41 and the mergingpipe 44 linearly formed integrally therewith by a joint connection by welding at the mergingportion 43. As shown in FIG. 2, when the pipingmember 40 is installed in theupper tank 11 of thepreparation tank 10, thedischarge port 45 at the lower end thereof opens toward the opening 12 a that is the opening of thelower tank 15, The slurry and pure water are formed in such a length and shape that can be supplied into thelower tank 15.

蓋部材５０は、ＰＶＣ（塩化ビニル樹脂）や、ＰＦＡ（パーフルオロアルキルビニルエーテル樹脂）やガラス等の材料で形成された平板状の部材で、調合タンク１０の開口部１１ａに取り付けることでこれを覆うように、開口部１１ａの外形と略同一の形状に形成されている。図１に示すように、蓋部材５０には、その上面５０ａに、バルブブラケット２３の軸部２３ａが挿通される取付穴５１と、接続管３３がその内部に挿通されて取り付けられる取付穴５２と、図示しない真空吸引装置に接続された真空吸引管５３が取り付けられる取付穴５４とが設けられている。また、チェックバルブ５５とフロートスイッチ５６が設けられている。さらに、蓋部材５０の外周部には、取付穴５７が複数個（図では４個）設けられ、蓋部材５０は、この取付穴５７と調合タンク１０の取付穴１１ｂとに挿通されるビス５８によって、調合タンク１０に取り付けられ、開口部１１ａを密閉した状態で塞いでいる。  Thelid member 50 is a flat plate member made of a material such as PVC (vinyl chloride resin), PFA (perfluoroalkyl vinyl ether resin) or glass, and covers thelid member 50 by attaching it to theopening 11a of thepreparation tank 10. Thus, it is formed in the shape substantially the same as the external shape of theopening part 11a. As shown in FIG. 1, thelid member 50 has a mountinghole 51 through which theshaft portion 23 a of thevalve bracket 23 is inserted, and a mountinghole 52 through which theconnection pipe 33 is inserted and attached. A mountinghole 54 to which avacuum suction pipe 53 connected to a vacuum suction device (not shown) is attached is provided. Acheck valve 55 and afloat switch 56 are also provided. Further, a plurality of attachment holes 57 (four in the figure) are provided in the outer peripheral portion of thelid member 50, and thelid member 50 is inserted into the attachment holes 57 and the attachment holes 11 b of thepreparation tank 10. Is attached to themixing tank 10 and closes theopening 11a in a sealed state.

次に，下部タンク液面検出手段である液面レベルセンサー６０と上部タンク液面検出手段である液面レベルセンサー７０は、共に下部タンク１５及び上部タンク１１の外側から、その内部に溜められた液体の液面を検出することができるもので、ここではレベルセンサー（液面レベルセンサー）を用いる。このレベルセンサーとして、静電容量型レベルセンサーを用いると好適である。静電容量型レベルセンサーは、液面等の位置の検出にあたり、その電気的な出力の変化をコンデンサーの静電容量の変化として検知するものである。なお、ここでは、静電容量型レベルセンサーを用いた場合を例に説明するが、液面レベルセンサー６０及び液面レベルセンサー７０は、静電容量型のレベルセンサーに限られず、液面にレーザー光を照射する光学型や、超音波を発射する超音波型のレベルセンサー等を用いることも可能である。  Next, theliquid level sensor 60 which is the lower tank liquid level detection means and theliquid level sensor 70 which is the upper tank liquid level detection means are both stored inside thelower tank 15 and theupper tank 11 from the outside. The liquid level can be detected, and a level sensor (liquid level sensor) is used here. As this level sensor, it is preferable to use a capacitance type level sensor. The capacitance type level sensor detects a change in electrical output as a change in capacitance of a capacitor when detecting the position of a liquid level or the like. Here, a case where a capacitance type level sensor is used will be described as an example. However, theliquid level sensor 60 and theliquid level sensor 70 are not limited to the capacitance level sensor, and a laser is applied to the liquid level. It is also possible to use an optical type that emits light, an ultrasonic type level sensor that emits ultrasonic waves, or the like.

図２に示すように、液面レベルセンサー６０は、センサーブラケット６５によって、その検知面６１を調合タンク１０の下部タンク１５内に向けた状態で、下部タンク１５の外側面１５ｃに取り付けられている。図４は、液面レベルセンサー６０とセンサーブラケット６５とを示す図で、同図（ａ）はこれらを上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット６５をその側方から見た図である。図４に示すように、液面レベルセンサー６０は、検知面６１を備えた矩形の略平板形状であり、検知面６１が平面形状であるため、そのままでは湾曲している下部タンク１５の外側面１５ｃに取り付けることが出来ないため、センサーブラケット６５の一方の側面６７を、外側面１５ｃの湾曲に合わせた形状に形成し、このセンサーブラケット６５によって外側面１５ｃに取り付けられている。センサーブラケット６５は、同図（ｂ）に示すように、その側方から見た形状が略コ字状に形成され、内側に検知面６１を収納する収納部６６を設けている。なお、６２は液面レベルセンサー６０をセンサーブラケット６５に取り付けるビスである。  As shown in FIG. 2, theliquid level sensor 60 is attached to theouter surface 15 c of thelower tank 15 with thedetection surface 61 facing the inside of thelower tank 15 of thepreparation tank 10 by thesensor bracket 65. . FIG. 4 is a view showing theliquid level sensor 60 and thesensor bracket 65. FIG. 4 (a) is a view of these from the top, and FIG. 4 (b) is a view of thesensor bracket 65 from the side. It is a figure. As shown in FIG. 4, theliquid level sensor 60 has a rectangular substantially flat plate shape having adetection surface 61, and thedetection surface 61 has a planar shape, so that the outer surface of thelower tank 15 that is curved as it is. Since it cannot be attached to 15c, oneside surface 67 of thesensor bracket 65 is formed in a shape that matches the curvature of theouter surface 15c, and is attached to theouter surface 15c by thissensor bracket 65. As shown in FIG. 2B, thesensor bracket 65 is formed in a substantially U shape when viewed from the side, and is provided with astorage portion 66 for storing thedetection surface 61 inside.Reference numeral 62 denotes a screw for attaching theliquid level sensor 60 to thesensor bracket 65.

この液面レベルセンサー６０は、下部タンク１５の外側面１５ｃのうち、下部タンク１５内にスラリー原液を溜めた際に、その液面が位置する高さに合わせた位置に取り付けておき、供給されるスラリー原液の液量が所望の液量になったら、液面レベルセンサー６０でこれを検出できるように構成しておく。液面レベルセンサー６０を取り付けたセンサーブラケット６５は、下部タンク１５の外側面１５ｃに、接着により固定するかあるいは粘着テープなどで貼り付けて固定する。また、希釈するスラリー溶液の量やその濃度を切り換えて使用する場合には、液面レベルセンサー６０は、下部タンク１５内に供給するスラリー原液の液量に合わせて下部タンク１５の外側面１５ｃにおけるその取付位置を上下に移動することができるように、例えばガイドレール等によって、半固定の状態で取り付けても良い。  Thisliquid level sensor 60 is supplied by being attached to a position of theouter surface 15c of thelower tank 15 that matches the height at which the liquid level is located when the slurry stock solution is stored in thelower tank 15. When the amount of the slurry stock solution to be reached reaches a desired amount, theliquid level sensor 60 is configured to detect this. Thesensor bracket 65 to which theliquid level sensor 60 is attached is fixed to theouter surface 15c of thelower tank 15 by adhesion or affixed with an adhesive tape or the like. When the amount of slurry solution to be diluted and its concentration are switched and used, theliquid level sensor 60 is provided on theouter surface 15 c of thelower tank 15 in accordance with the amount of the slurry stock solution supplied into thelower tank 15. For example, a guide rail or the like may be attached in a semi-fixed state so that the attachment position can be moved up and down.

原液バルブ２２は液面レベルセンサー６０の出力信号により開閉制御されるようになっており、液面レベルセンサー６０によって下部タンク１５内の液面が検出されると、その検出信号により原液バルブ２２が閉じられ、スラリー原液の供給が停止されるように構成されている。  The undilutedliquid valve 22 is controlled to be opened and closed by an output signal of theliquid level sensor 60. When the liquid level in thelower tank 15 is detected by theliquid level sensor 60, the undilutedliquid valve 22 is detected by the detection signal. It is closed and the supply of the slurry stock solution is stopped.

一方、図５は、液面レベルセンサー７０とセンサーブラケット７５とを示す図で、同図（ａ）はこれらを上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット７５のみをその側方から見た図である。液面レベルセンサー７０も、液面レベルセンサー６０と同様に、センサーブラケット７５によって、その検知面７１を上部タンク１１内に向けた状態で、上部タンク１１の外側面１１ｃに取り付けられている。センサーブラケット７５は、その一方の側面７７が、上部タンク１１の外側面１１ｃの湾曲に合わせた形状に形成されている。また、同図（ｂ）に示すように、その側方から見た形状が略コ字状に形成され、内側に検知面７１を収納する収納部７６を設けている。  On the other hand, FIG. 5 is a view showing theliquid level sensor 70 and thesensor bracket 75. FIG. 5A is a view of these from the upper side, and FIG. 5B is a view showing only thesensor bracket 75 on the side. It is the figure seen from the direction. Similarly to theliquid level sensor 60, theliquid level sensor 70 is also attached to theouter surface 11 c of theupper tank 11 with thedetection surface 71 facing the inside of theupper tank 11 by thesensor bracket 75. Oneside 77 of thesensor bracket 75 is formed to match the curvature of theouter surface 11 c of theupper tank 11. Further, as shown in FIG. 5B, the shape viewed from the side is formed in a substantially U shape, and astorage portion 76 for storing thedetection surface 71 is provided inside.

液面レベルセンサー７０は、上部タンク１１の外側面１１ｃのうち、調合タンク１０内に希釈したスラリー溶液を溜めた際に、その液面が位置する高さに合わせて取り付けておき、供給される純水の液量が所望の液量になったら、液面レベルセンサー７０でこれを検出できるように構成しておく。液面レベルセンサー７０をビス７２で固定したセンサーブラケット７５は、上部タンク１１の外側面１１ｃに接着により固定するか、あるいは粘着テープなどで貼り付けて固定する。また、スラリー溶液の量やその濃度を切り換えて使用する場合には、液面レベルセンサー７０は、スラリー溶液の液量に合わせて、上部タンク１１の外側面１１ｃにおけるその取付位置を上下に移動できるように、半固定の状態で取り付けても良い。  Theliquid level sensor 70 is attached and supplied according to the height at which the liquid level is located when the diluted slurry solution is stored in thepreparation tank 10 of theouter surface 11c of theupper tank 11. When the amount of pure water reaches a desired amount, theliquid level sensor 70 is configured to detect this. Thesensor bracket 75 to which theliquid level sensor 70 is fixed with thescrew 72 is fixed to theouter surface 11c of theupper tank 11 by adhesion, or is adhered and fixed with an adhesive tape or the like. When the amount and concentration of the slurry solution are switched, theliquid level sensor 70 can move the mounting position on theouter surface 11c of theupper tank 11 up and down in accordance with the amount of the slurry solution. As such, it may be attached in a semi-fixed state.

純水バルブ３１は液面レベルセンサー７０の出力信号により開閉制御されるようになっており、液面レベルセンサー７０によって上部タンク１１内の液面が検出されると、その検出信号により純水バルブ３１が閉じられ、純水の供給が停止されるように構成されている。  Thepure water valve 31 is controlled to be opened and closed by an output signal of theliquid level sensor 70. When the liquid level in theupper tank 11 is detected by theliquid level sensor 70, thepure water valve 31 is detected by the detection signal. 31 is closed and the supply of pure water is stopped.

これら液面レベルセンサー６０と液面レベルセンサー７０とは、下部タンク１５と上部タンク１１とにそれぞれ１個ずつ取り付けた場合を示したが、どちらも２個以上取り付けることも可能である。  Although oneliquid level sensor 60 and oneliquid level sensor 70 are attached to thelower tank 15 and theupper tank 11, respectively, two or more of them can be attached.

次に、上記構成のスラリー希釈装置１を用いて、スラリー溶液を作る手順を説明する。図２に示すように、調合タンク１０は、スラリー溶液を貯蔵する貯蔵タンク８０の上部に載置されており、バルブ１８の吐出口１８ａを貯蔵タンク８０の開口部８１に接続している。この状態ではバルブ１８は閉じられている。そして、図示しない真空吸引装置を作動させて調合タンク１０内の気体を吸引し、調合タンク１０内を真空の状態にする。ここで、調合タンク１０内の気体が一定のレベルまで吸引されると、原液バルブ２２にかかる気圧が変化することで、原液バルブ２２が開かれる。原液タンクからスラリーの原液が吸引されて、スラリー供給管２０及び原液バルブ２２を通って、配管部材４０の原液管路４１に導かれ、原液管路４１から合流管路４４を通って下部タンク１５内に流下する。流下したスラリー原液は、下部タンク１５内に溜まり、次第にその液面レベルが上昇する。液面レベルが予め設定されたレベルに到達すると、液面レベルセンサー７０がこの液面を検出し、原液バルブ２２が閉じられて、スラリー原液の供給が停止する。  Next, a procedure for making a slurry solution using the slurry dilution apparatus 1 having the above-described configuration will be described. As shown in FIG. 2, the blendingtank 10 is placed on the upper part of astorage tank 80 that stores the slurry solution, and thedischarge port 18 a of thevalve 18 is connected to theopening 81 of thestorage tank 80. In this state, thevalve 18 is closed. And the vacuum suction apparatus which is not shown in figure is operated, the gas in thepreparation tank 10 is attracted | sucked, and the inside of thepreparation tank 10 is made into a vacuum state. Here, when the gas in thepreparation tank 10 is sucked to a certain level, the pressure applied to thestock solution valve 22 is changed to open thestock solution valve 22. The slurry stock solution is sucked from the stock solution tank, led to thestock solution pipeline 41 of the pipingmember 40 through theslurry supply pipe 20 and thestock solution valve 22, and from thestock solution pipeline 41 through theconfluence pipeline 44 to thelower tank 15. It flows down inside. The slurry stock solution that has flowed down accumulates in thelower tank 15 and gradually rises in liquid level. When the liquid level reaches a preset level, theliquid level sensor 70 detects the liquid level, thestock solution valve 22 is closed, and the supply of the slurry stock solution is stopped.

続いて、純水バルブ３１を開けることで、純水タンクから純水が吸引され、該純水は純水供給管３０、純水管路４２及び合流部４３を通って合流管路４４に導かれ、下部タンク１５内に流下する。下部タンク１５内に流下した純水は、下部タンク１５内で、先に溜められたスラリー原液と混合攪拌し、この混合されたスラリー溶液（スラリー原液の純水による希釈液）は下部タンク１５内に溜まり、その液位が上昇して、やがて下部タンク１５から溢れ出て、上部タンク１１へ流れ込む。そして、上部タンク１１内の液面が、液面レベルセンサー７０で検出されると、純水バルブ３１が閉じられて純水の供給が停止される。こうして所望の濃度に希釈されたスラリー溶液が作られる。  Subsequently, by opening thepure water valve 31, pure water is sucked from the pure water tank, and the pure water is guided to themerge pipe 44 through the purewater supply pipe 30, thepure water pipe 42 and thejunction 43. Then, it flows down into thelower tank 15. The pure water flowing into thelower tank 15 is mixed and stirred in thelower tank 15 with the previously stored slurry stock solution, and this mixed slurry solution (diluted solution of the slurry stock solution with pure water) is stored in thelower tank 15. The liquid level rises and eventually overflows from thelower tank 15 and flows into theupper tank 11. When the liquid level in theupper tank 11 is detected by theliquid level sensor 70, thepure water valve 31 is closed and the supply of pure water is stopped. Thus, a slurry solution diluted to a desired concentration is made.

上記したスラリー溶液を作る方法では、下部タンク１５内の液面が所定の高さに達したことを検出することで、供給するスラリー原液の液量を計量しているが、下部タンク１５の内径寸法αは、上部タンク１１の内径寸法βよりも小さい内径寸法に形成されているため、少ない量のスラリー原液の液量を高い精度で計量することができる。また、純水で稀釈されたスラリー溶液は多量であるため、内径寸法βが大きい上部タンク１１でも精度良く計量できる。そのため、スラリー溶液の濃度を、目的とする濃度に精度良く調整できる。In the method of making the slurry solution described above, the amount of the slurry stock solution to be supplied is measured by detecting that the liquid level in thelower tank 15 has reached a predetermined height. Since the dimension α is formed to have an inner diameter dimension smaller than the inner diameter dimension β of theupper tank 11, a small amount of the slurry stock solution can be measured with high accuracy. Further, the slurry solution was dilutedwith pure water for a large amount, it can be accurately metered even in theupper tank 11 larger inner diameter β is. Therefore, the concentration of the slurry solution can be accurately adjusted to the target concentration.

また、下部タンク１５内に溜まったスラリー原液の液面や、上部タンク１１内に溜まったスラリー溶液の液面の検出は、静電容量型の液面レベルセンサー６０や液面レベルセンサー７０を用いて行われるので、これら液面の検出が正確に行われる。また、液面レベルセンサー６０や液面レベルセンサー７０を用いることで、従来の希釈装置と比較して、低いコストで、計量機能を備えたスラリー希釈装置１を構成することが可能となる。さらに、液面レベルセンサー６０と液面レベルセンサー７０とを調合タンク１０の外側面に取り付けたので、その調整やメンテナンスが行い易く、スラリー希釈装置１の取扱いが容易になる。なお、液面レベルセンサー６０と液面レベルセンサー７０とを、その取り付け高さが変更可能な状態で取り付けておけば、スラリー溶液の濃度や液量の変更にも容易に対応することが可能となる。  Further, the liquid level of the slurry stock solution accumulated in thelower tank 15 and the liquid level of the slurry solution accumulated in theupper tank 11 are detected using a capacitance typeliquid level sensor 60 and aliquid level sensor 70. Therefore, the liquid level is accurately detected. In addition, by using theliquid level sensor 60 and theliquid level sensor 70, it is possible to configure the slurry diluting apparatus 1 having a metering function at a lower cost than the conventional diluting apparatus. Furthermore, since theliquid level sensor 60 and theliquid level sensor 70 are attached to the outer surface of theblending tank 10, the adjustment and maintenance thereof can be easily performed, and the slurry dilution apparatus 1 can be easily handled. In addition, if theliquid level sensor 60 and theliquid level sensor 70 are attached in a state in which their attachment heights can be changed, it is possible to easily cope with changes in the concentration and amount of slurry solution. Become.

また、配管部材４０の合流管路４４の部分は、原液タンクから供給されたスラリー原液が通過すると共に、純水タンクから供給された純水も通過する。よって、合流管路４４の部分をスラリー原液が通ることでその内壁に固形物が付着して堆積しても、純水が通ることによって定期的にこの堆積物が洗い落とされるため、合流管路４４が詰まることを防げ、清掃等のメンテナンスの回数を減らすことができる。  In addition, the portion of the mergingpipeline 44 of the pipingmember 40 passes through the slurry stock solution supplied from the stock solution tank and also passes the pure water supplied from the pure water tank. Therefore, even if solids adhere to and accumulate on the inner wall of the slurry stock solution passing through the portion of the joiningpipe 44, the deposit is periodically washed away by passing pure water. 44 can be prevented from being clogged, and the number of maintenance such as cleaning can be reduced.

また、スラリー原液と純水との混合は、容積の小さい下部タンク１５でスラリー原液に純水を混合攪拌するように行われるため、両者は良く混合し、混合した状態で下部タンク１５から溢れ、上部タンク１１に流れ込むので、格別な攪拌手段を備えることなく、濃度が均一で質の高いスラリー溶液が作られることとなる。  Moreover, since the mixing of the slurry stock solution and the pure water is performed so that the pure water is mixed and stirred in the slurry stock solution in thelower tank 15 having a small volume, both are mixed well and overflowed from thelower tank 15 in the mixed state. Since it flows into theupper tank 11, a high-quality slurry solution with a uniform concentration is produced without providing any special stirring means.

以上のようにして、調合タンク１０内で目的とする濃度のスラリー溶液が作られたら、バルブ１８を開いて、調合タンク１０内のスラリー溶液を貯蔵タンク８０内へ自然落下させて移送する。なお、バルブ１８を調合タンク１０の下端に取り付けて、自然落下により内部のスラリー溶液を移すよう構成したので、調合タンク１０内のスラリー溶液の全量を残さず移送することができる。また、スラリー溶液を移送するためのポンプ等の設備が不要になるため、設備のコンパクト化を図ることができる。なお、調合タンク１０内に傾斜板１３を取り付けたので、上部タンク１１内のスラリー溶液が、この傾斜板１３により残らず排出されるので、調合タンク１０内のスラリー溶液の全量を貯蔵タンク８０に移すことができる。  As described above, when a slurry solution having a target concentration is produced in thepreparation tank 10, thevalve 18 is opened, and the slurry solution in thepreparation tank 10 is naturally dropped into thestorage tank 80 and transferred. In addition, since the valve |bulb 18 was attached to the lower end of the mixingtank 10, and it comprised so that an internal slurry solution might be transferred by natural fall, it can transfer without leaving the whole quantity of the slurry solution in themixing tank 10. Moreover, since a facility such as a pump for transferring the slurry solution is not required, the facility can be made compact. Since theinclined plate 13 is attached in themixing tank 10, the slurry solution in theupper tank 11 is completely discharged by theinclined plate 13, so that the entire amount of the slurry solution in themixing tank 10 is stored in thestorage tank 80. Can be moved.

上記したスラリー溶液を作る作業とスラリー溶液を移送する作業からなる一連の作業を何回か繰り返して行うことで、貯蔵タンク８０内に必要な量のスラリー溶液を溜めることができる。なお、繰り返し作業を行うにあたっても、調合タンク１０の設置場所を変えたり、スラリー溶液をポンプで（別の場所に）移送する作業等は不要であるため、非常に効率が良い。  A necessary amount of slurry solution can be stored in thestorage tank 80 by repeatedly performing a series of operations consisting of the above-described operation of making the slurry solution and transferring the slurry solution. Even when the repetitive operation is performed, it is not necessary to change the installation location of thepreparation tank 10 or to transfer the slurry solution with a pump (to another location).

なお、調合タンク１０の形状は、上記実施形態に記載した形状に限られるものではない。また、本願発明は、異なる複数種類の液を混合する液混合装置にかかるものであり、液はスラリー原液に限られず、他の液でもよいし、液であるスラリー原液を溶媒である純水で希釈する場合に限られず、液と他の液とを混合するものであってもよい。また、混合する液は２種類に限らず、３種類以上を混合するものでもあってもよい。例えば、下部タンク１５に複数種類の液を順に所定量ずつ供給し、該複数種類の液に純水等の一種類の液、又は複数の液を所定量ずつ順次供給するようにしてもよい。また、下部タンク１５も１個に限定されるものではなく、内径が順に小さくなる下部タンクを複数段設けてもよい。  In addition, the shape of thepreparation tank 10 is not restricted to the shape described in the said embodiment. Further, the present invention relates to a liquid mixing apparatus that mixes a plurality of different types of liquids. The liquid is not limited to a slurry stock solution, and may be other liquids, or a slurry stock solution that is a liquid may be pure water that is a solvent. It is not restricted to the case of diluting, You may mix a liquid and another liquid. Further, the liquid to be mixed is not limited to two types, and three or more types may be mixed. For example, a plurality of types of liquids may be sequentially supplied to thelower tank 15 one by one, and one type of liquid such as pure water or a plurality of liquids may be sequentially supplied to the plurality of types of liquids one by one. Further, the number of thelower tanks 15 is not limited to one, and a plurality of lower tanks having smaller inner diameters may be provided.

以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載のない何れの形状・構造・材質・方法であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。  Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the technical idea described in the claims and the specification and drawings. Is possible. Note that any shape, structure, material, and method not directly described in the specification and drawings are within the scope of the technical idea of the present invention as long as the effects and effects of the present invention are exhibited.

本発明の一実施形態であるスラリー希釈装置１の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the slurry dilution apparatus 1 which is one Embodiment of this invention.スラリー希釈装置１を示す図で、同図（ａ）はスラリー希釈装置１をその上側から見た図で、同図（ｂ）はスラリー希釈装置１の概略側断面図である。FIG. 2A is a diagram showing the slurry diluting device 1, in which FIG. 1A is a view of the slurry diluting device 1 as viewed from above, and FIG. 1B is a schematic sectional side view of the slurry diluting device 1.配管部材４０を示す図である。It is a figure which shows the piping member.液面レベルセンサー６０を示す図で、同図（ａ）は、液面レベルセンサー６０とセンサーブラケット６５とをその上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット６５をその側方から見た図である。Theliquid level sensor 60 is a view of theliquid level sensor 60 and thesensor bracket 65 as viewed from the upper side, and FIG. 5B is a side view of thesensor bracket 65. It is the figure seen from.液面レベルセンサー７０を示す図で、同図（ａ）は、液面レベルセンサー７０とセンサーブラケット７５とをその上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット７５をその側方から見た図である。Theliquid level sensor 70 is a view of theliquid level sensor 70 and thesensor bracket 75 as viewed from the upper side, and FIG. 5B is a side view of thesensor bracket 75. It is the figure seen from.

１ スラリー希釈装置
１０ 調合タンク
１１ 上部タンク
１２ 底部
１３ 傾斜板
１５ 下部タンク
１６ 底部
１８ バルブ
２０ スラリー供給管
２２ 原液バルブ
２３ バルブブラケット
３０ 純水供給管
３１ 純水バルブ
４０ 配管部材
４１ 原液管路
４２ 純水管路
４４ 合流管路
４５ 吐出口
５０ 蓋部材
５３ 真空吸引管
６０ 液面レベルセンサー
６１ 検知面
６５ センサーブラケット
７０ 液面レベルセンサー
７１ 検知面
７５ センサーブラケット
８０ 貯蔵タンクDESCRIPTION OF SYMBOLS 1Slurry dilution apparatus 10Preparation tank 11Upper tank 12Bottom part 13Inclined plate 15Lower tank 16Bottom part 18Valve 20Slurry supply pipe 22Stock solution valve 23Valve bracket 30 Purewater supply pipe 31Pure water valve 40 Pipingmember 41 Stocksolution pipe line 42Pure Water pipe 44Merge pipe 45Discharge port 50Lid member 53Vacuum suction pipe 60Liquid level sensor 61Detection surface 65Sensor bracket 70Liquid level sensor 71Detection surface 75Sensor bracket 80 Storage tank

Claims (2)

Translated fromJapanese

半導体基板等の基板を研摩する基板研摩装置に供給するスラリー溶液を製造するための、スラリー原液と純水を混合させるスラリー希釈装置であって、
筒状の上部タンクと下部タンクとを有し、前記下部タンクが前記上部タンクの下方に一体的に設けられその内径が前記上部タンクの内径より小さく且つ内部が前記上部タンクと連通してなる調合タンクと、
前記調合タンクにスラリー原液を供給するスラリー供給手段と、
前記調合タンクに純水を供給する純水供給手段と、
前記調合タンクへのスラリー原液及び純水の供給を制御する制御手段と、
前記上部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる上部タンク液面検出手段と、前記下部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる下部タンク液面検出手段と、
前記上部タンク内に設置され、前記スラリー供給手段から供給されるスラリー原液が通るスラリー供給管と、前記純水供給手段から供給される純水が通る純水供給管と、前記スラリー供給管と前記純水供給管の吐出側の端部が合流する合流管路部とを有し、前記合流管路部の吐出口を前記下部タンクの入口に向けて配置してなる配管部材と、
を備え、
前記制御手段は、
前記スラリー供給手段で前記下部タンクにスラリー原液を供給し、前記下部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該スラリー原液の供給を停止し、前記純粋供給手段から前記下部タンクに純水を供給することで、前記下部タンク内でスラリー原液と純水との混合を行い、該混合で生成したスラリー溶液が前記下部タンクを溢れて前記上部タンクに流入することで、前記上部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該純水の供給を停止する
ことを特徴とするスラリー希釈装置。A slurry diluting device for mixing a slurry stock solution and pure water for producing a slurry solution to be supplied to a substrate polishing apparatus for polishing a substrate such as a semiconductor substrate,
A cylindrical upper tank and a lower tank, wherein the lower tank is integrally provided below the upper tank, the inner diameter thereof is smaller than the inner diameter of the upper tank, and the interior communicates with the upper tank A tank,
Slurry supply means for supplying a slurry stock solution to the preparation tank;
Pure water supply means for supplying pure water to the preparation tank;
Control means for controlling the supply of the slurry stock solution and pure water to the blending tank;
Upper tank liquid level detecting means comprising a capacitive liquid level sensor attached to the outer surface of the upper tank, and lower tank comprising a capacitive liquid level sensor attached to the outer surface of the lower tank Liquid level detection means;
A slurry supply pipeinstalled in the upper tank and through which a slurry stock solution supplied from the slurry supply means passes, a pure water supply pipe through which pure water supplied from the pure water supply means passes, the slurry supply pipe, and the A pipe member formed by disposing an end portion on the discharge side of the pure water supply pipe to join, and a discharge port of the join pipe portion facing the inlet of the lower tank;
With
The control means includes
When the slurry supply means supplies the slurry stock solution to the lower tank, and the lower tank liquid level detection means detects a predetermined liquid level, the supply of the slurry stock solution is stopped, and the pure supply means supplies pure water to the lower tank. By supplying water, the slurry stock solution and pure water are mixed in the lower tank, and the slurry solution generated by the mixing overflows the lower tank and flows into the upper tank, whereby the upper tank solution A slurry diluting device characterized in that when the surface detecting means detects a predetermined liquid level, the supply of the pure water is stopped. 請求項１に記載のスラリー希釈装置において、
前記上部タンクの底部には、その外周端部から中央の開口部に向かって次第にその高さが低くなるように傾斜した傾斜板が取り付けられており、
前記下部タンクの底部には、混合後の前記スラリー溶液を排出するための開口部が設けられていることを特徴とするスラリー希釈装置。In the slurry dilution apparatus according to claim 1,
An inclined plate is attached to the bottom of the upper tank so that its height gradually decreases from the outer peripheral end toward the central opening,
A slurry diluting device, wherein an opening for discharging the mixed slurry solution is provided at the bottom of the lower tank.

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