JP2010162796A

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Publication number: JP2010162796A
Application number: JP2009007926A
Authority: JP
Inventors: Hiromichi Yoshikawa; 博道吉川; Hiroaki Ishizuka; 宏彰石塚; Masahiro Mita; 正弘三田; Mamoru Yoshimoto; 護吉本; Nobutaka Takezawa; 信隆竹澤; Hiroyuki Yamato; 弘之大和; Tsubasa Yamanoi; 翼山ノ井
Original assignee: KYODO INTERNATIONAL KK; Tochigi Prefecture; Tomei Diamond Co Ltd; Tokyo Institute of Technology NUC
Current assignee: KYODO INTERNATIONAL KK; Tochigi Prefecture; Tomei Diamond Co Ltd; Tokyo Institute of Technology NUC
Priority date: 2009-01-16
Filing date: 2009-01-16
Publication date: 2010-07-29
Anticipated expiration: 2029-01-16
Also published as: JP5305388B2

Abstract

【課題】ホットプレス法によるナノプリントに使用されるスタンパの型押面に取付けられるスタンパ用表面材について、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を備えるとともに、そりが生じないようにする。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターン１が形成された薄片形からなる。表面がダイヤモンド２とされ表面のダイヤモンド２の背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドであるダイヤモンドライクカーボン３の層が存在する積層体からなる。
【選択図】図１[PROBLEMS] To provide a stamper surface material to be attached to a stamping surface of a stamper used for nanoprinting by a hot press method, having hardness and wear resistance for preventing deformation due to press contact with a workpiece, and causing warpage. Do not be.
A thin piece having a fine concavo-convex pattern 1 formed on a surface thereof is provided. It consists of a laminate in which the surface is diamond 2 and a diamond-like carbon 3 layer of non-diamond mainly composed of carbon is present on the back side of the surface diamond 2.
[Selection] Figure 1

Description

Translated fromJapanese

本発明は、ホットプレス法によるナノプリントに使用されるスタンパの型押面に取付けられるスタンパ用表面材に係る技術分野に属する。 The present invention belongs to a technical field related to a stamper surface material attached to a stamping surface of a stamper used for nanoprinting by a hot press method.

最近、ホットプレス法によるナノプリントの対象とされる被加工物が合成樹脂材からガラス材，金属材に拡張され、表面に微細な凹凸パターンが形成され被加工物に圧接されるスタンパ用表面材に相当程度の硬度と耐摩耗性とが要求されるようになってきている。 A stamper surface material that has recently been expanded from a synthetic resin material to a glass material or a metal material, and has a fine concavo-convex pattern formed on the surface and pressed against the workpiece. Therefore, a considerable degree of hardness and wear resistance have been demanded.

従来、硬度，耐摩耗性を高めることを指向したスタンパ用表面材としては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
特許文献１には、表面に微細な凹凸パターンが形成されたダイヤモンドからなる薄片形のスタンパ用表面材が記載されている。
特許文献１に係るスタンパ用表面材は、材料として硬度，耐摩耗性の高いダイヤモンドを選択することで被加工物への圧接による変形を防止するものである。なお、このスタンパ用表面材は、加熱による変形を防止するために、熱膨張係数がほぼ同一で相対的に厚さのある台座に接合されて型押面に取付けられる構成が採られる。Conventionally, as a stamper surface material aimed at increasing hardness and wear resistance, for example, a material described in Patent Document 1 is known.
Patent Document 1 describes a flaky stamper surface material made of diamond having a fine concavo-convex pattern formed on the surface thereof.
The stamper surface material according to Patent Document 1 prevents deformation due to pressure contact with a workpiece by selecting diamond having high hardness and wear resistance as a material. In addition, in order to prevent the deformation | transformation by heating, the surface material for stampers employ | adopted the structure attached to a stamping surface by joining to the base with substantially the same thermal expansion coefficient and relatively thick.

特開２００６−２８９６８４号公報JP 2006-289684 A

特許文献１に係るスタンパ用表面材では、薄片形であることからダイヤモンド結晶の生成過程の応力でそりが生じやすく台座に接合されてもそりが消失するわけではないため、被加工物への圧接によって割れが生じやすく、ナノプリントの精度も低くなってしまうという問題点がある。 Since the surface material for a stamper according to Patent Document 1 has a thin piece shape, warpage is likely to occur due to the stress of the diamond crystal formation process, and the warpage does not disappear even if it is joined to the pedestal. However, there is a problem that cracks are easily generated and the accuracy of nanoprinting is lowered.

本発明は、このような問題点を考慮してなされたもので、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を備えしかもそりが生じることのない薄片形のスタンパ用表面材を提供することを課題とする。 The present invention has been made in consideration of such problems, and has a hardness and wear resistance for preventing deformation due to pressure contact with a workpiece, and is a flaky stamper surface material that does not warp. It is an issue to provide.

前述の課題を解決するため、本発明に係るスタンパ用表面材は、特許請求の範囲の各請求項に記載の手段を採用する。 In order to solve the above-described problems, the stamper surface material according to the present invention employs means described in each of the claims.

即ち、請求項１では、表面に微細な凹凸パターンが形成された薄片形のスタンパ用表面材において、表面がダイヤモンドとされ表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層が存在する積層体からなることを特徴とする。 That is, according to claim 1, in the surface material for a flaky stamper having a fine uneven pattern formed on the surface, the surface is a diamond, and a non-diamond layer mainly composed of carbon is present on the back side of the surface diamond. It consists of the laminated body which carries out.

この手段では、微細な凹凸パターンが形成された表面をダイヤモンドとすることで被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を維持し、表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層が存在する積層体とすることでダイヤモンド結晶の生成過程の応力の影響を低減する。 With this method, the surface on which the fine unevenness pattern is formed is made of diamond to maintain hardness and wear resistance that prevent deformation due to pressure contact with the work piece, and carbon is the main component on the back side of the surface diamond. The effect of stress on the formation process of diamond crystals is reduced by using a laminate in which a non-diamond layer exists.

また、請求項２では、表面に微細な凹凸パターンが形成された薄片形のスタンパ用表面材において、表面がダイヤモンドとされ表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層とダイヤモンドの層とが存在する積層体からなることを特徴とする。 Further, according toclaim 2, in the surface material for a thin stamper having a fine concavo-convex pattern formed on the surface, a non-diamond layer mainly composed of carbon and diamond on the back side of the surface diamond and diamond It is characterized by comprising the laminated body which exists.

この手段では、微細な凹凸パターンが形成された表面をダイヤモンドとすることで被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を維持し、表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層が存在する積層体とすることでダイヤモンド結晶の生成過程の応力の影響を低減する。また、表面のダイヤモンドの背面側にダイヤモンドの層を存在させることで、相対的に硬度，耐摩耗性の低い非ダイヤモンドの層を補完する。 With this method, the surface on which the fine unevenness pattern is formed is made of diamond to maintain hardness and wear resistance that prevent deformation due to pressure contact with the work piece, and carbon is the main component on the back side of the surface diamond. The effect of stress on the formation process of diamond crystals is reduced by using a laminate in which a non-diamond layer exists. In addition, the presence of a diamond layer on the back side of the surface diamond complements the non-diamond layer having relatively low hardness and wear resistance.

また、請求項３では、請求項１または２のスタンパ用表面材において、炭素を主成分とする非ダイヤモンドがダイヤモンドライクカーボン，テトラヘドラル，アモルファスダイヤ等の非晶質炭素からなることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the stamper surface material of the first or second aspect, the non-diamond containing carbon as a main component is made of amorphous carbon such as diamond-like carbon, tetrahedral, amorphous diamond, or the like.

この手段では、炭素を主成分とする非ダイヤモンドがダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の非晶質炭素とされることで、ダイヤモンド，非ダイヤモンドが共通性のある製造法によって形成される。 In this means, non-diamond mainly composed of carbon is made amorphous carbon such as diamond-like carbon (DLC), so that diamond and non-diamond are formed by a common manufacturing method.

また、請求項４では、請求項３のスタンパ用表面材において、ダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンとはダイヤモンド結晶の組成勾配をもって連続的に成膜されたものであることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the stamper surface material according to the third aspect, the diamond and diamond-like carbon are continuously formed with a composition gradient of diamond crystals.

この手段では、ダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンとがダイヤモンド結晶の組成勾配をもって連続的に成膜されることで、ダイヤモンドと非ダイヤモンドとの間に界面が形成されなくなる。 By this means, diamond and diamond-like carbon are continuously formed with a compositional gradient of diamond crystals, so that no interface is formed between diamond and non-diamond.

本発明に係るスタンパ用表面材は、微細な凹凸パターンが形成された表面をダイヤモンドとすることで被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を維持し、表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層が存在する積層体とすることでダイヤモンド結晶の生成過程の応力の影響を非ダイヤモンドの層で低減するため、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を備えしかもそりが生じることのない薄片形とすることができる効果がある。 The surface material for a stamper according to the present invention maintains hardness and wear resistance to prevent deformation due to pressure contact with a workpiece by making the surface on which a fine concavo-convex pattern is formed a diamond, and the back surface of the surface diamond By forming a laminate with a non-diamond layer mainly composed of carbon on the side, the non-diamond layer reduces the influence of stress on the diamond crystal formation process, preventing deformation due to pressure contact with the workpiece. It has the effect of being able to be made into a flake shape having hardness and wear resistance that does not cause warpage.

さらに、請求項２として、微細な凹凸パターンが形成された表面をダイヤモンドとすることで被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を維持し、表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層が存在する積層体とすることでダイヤモンド結晶の生成過程の応力の影響を非ダイヤモンドの層で低減するため、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を備えしかもそりが生じることのない薄片形とすることができる効果がある。また、表面のダイヤモンドの背面側にもダイヤモンドの層を存在させることで、相対的に硬度，耐摩耗性の低い非ダイヤモンドの層を補完するため、全体の硬度，耐摩耗性が高められ被加工物への圧接による変形がより確実に防止される効果がある。 Further, as claimed inclaim 2, the surface on which the fine unevenness pattern is formed is made of diamond, so that the hardness and wear resistance are prevented so as to prevent deformation due to pressure contact with the work piece, and the surface of the diamond on the back side of the diamond is carbon. Hardness to prevent deformation due to pressure contact with the work piece in order to reduce the influence of stress in the formation process of diamond crystals with the non-diamond layer There is an effect that it can be formed into a flake shape having wear resistance and no warpage. In addition, the presence of a diamond layer on the back side of the surface diamond complements the non-diamond layer, which has relatively low hardness and wear resistance, so that the overall hardness and wear resistance can be improved. There is an effect that deformation due to pressure contact with an object is more reliably prevented.

さらに、請求項３として、炭素を主成分とする非ダイヤモンドがダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）とされることで、ダイヤモンド，非ダイヤモンドが共通性のある製造法によって形成されるため、製造が安価，容易になる効果がある。 Further, as claimed inclaim 3, since non-diamond mainly composed of carbon is diamond-like carbon (DLC), diamond and non-diamond are formed by a common production method, so that production is inexpensive and easy. There is an effect to become.

さらに、請求項４として、ダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンとがダイヤモンド結晶の組成勾配をもって連続的に成膜されることで、ダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンとの間に界面が形成されなくなるため、ダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンとの剥離が防止される効果がある。 Further, as claimed in claim 4, since diamond and diamond-like carbon are continuously formed with a composition gradient of diamond crystals, an interface is not formed between diamond and diamond-like carbon. There is an effect of preventing separation from carbon.

本発明に係るスタンパ用表面材を実施するための形態の第１例の取付状態の断面図である。It is sectional drawing of the attachment state of the 1st example of the form for implementing the surface material for stampers which concerns on this invention.図１の製造例を示す断面図であり、（Ａ）〜（Ｅ）に製造工程順が示されている。It is sectional drawing which shows the manufacture example of FIG. 1, and the order of a manufacturing process is shown by (A)-(E).本発明に係るスタンパ用表面材を実施するための形態の第２例の取付状態の断面図である。It is sectional drawing of the attachment state of the 2nd example of the form for implementing the surface material for stampers which concerns on this invention.本発明に係るスタンパ用表面材を実施するための形態の第３例の取付状態の断面図である。It is sectional drawing of the attachment state of the 3rd example of the form for implementing the surface material for stampers which concerns on this invention.

以下、本発明に係るスタンパ用表面材を実施するための形態を図面に基づいて説明する。 EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing the surface material for stampers concerning this invention is demonstrated based on drawing.

図１，図２は、本発明に係るスタンパ用表面材を実施するための形態の第１例を示すものである。 1 and 2 show a first example of a mode for carrying out a stamper surface material according to the present invention.

第１例は、図１に示すように、表面に微細な凹凸パターン１が形成され薄片形とされた２層の積層体からなるものが接着剤Ｃで金属材等のバックアッププレートＰに貼着されている。凹凸パターン１を含む表面側のある程度の厚さをもった層は、ダイヤモンド２からなる。接着剤Ｃに対面するダイヤモンド２の背面側の層は、炭素を主成分とする非ダイヤモンドであるダイヤモンドライクカーボン３からなる。 In the first example, as shown in FIG. 1, a two-layer laminate having a fine uneven pattern 1 formed on the surface and formed into a thin piece is adhered to a backup plate P such as a metal material with an adhesive C. Has been. The layer having a certain thickness on the surface side including the uneven pattern 1 is made ofdiamond 2. The layer on the back side of thediamond 2 facing the adhesive C is made of diamond-like carbon 3 which is a non-diamond mainly composed of carbon.

第１例の製造方法については、図２に示されている。 The manufacturing method of the first example is shown in FIG.

まず、図２（Ａ）に示すように、マザーモールドＭが製作される。マザーモールドＭは、シリコン基板にリソグラフィー技術により前述の凹凸パターン１に対応（凹凸が逆の）した微細な凹凸パターンを形成したものである。即ち、光源としてステッパーを用い、レジストを使用してフォトマスクにより微細な凹凸パターンを感光，現像した後、ドライエッチング（エッチングガスＣＦ_４，ＳＦ_６，ＣＨＦ_３，Ｏ_２）する。リソグラフィー技術としては、フォトリソグラフィー，電子線リソグラフィー，Ｘ線リソグラフィーを選択することができる。First, as shown in FIG. 2A, a mother mold M is manufactured. The mother mold M is obtained by forming a fine concavo-convex pattern corresponding to the above-described concavo-convex pattern 1 (reverse concavo-convex) on a silicon substrate by a lithography technique. That is, a stepper is used as a light source, a fine uneven pattern is exposed and developed with a photomask using a resist, and then dry etching (etching gas CF₄ , SF₆ , CHF₃ , O₂ ) is performed. As the lithography technique, photolithography, electron beam lithography, and X-ray lithography can be selected.

次ぎに、図２（Ｂ）に示すように、マザーモールドＭの微細な凹凸パターンの上に化学的気相成長法（ＣＶＤ法）によりダイヤモンド２を成膜する。即ち、反応ガス（炭化水素を含み水素ガス等）雰囲気下の高温のチャンバの内部を減圧して、励起された炭素種をマザーモールドＭの微細な凹凸パターンに衝突させる。化学的気相成長法としては、マイクロ波ＣＶＤ法，プラズマＣＶＤ法，熱フィラメントＣＶＤ法を選択することができる。 Next, as shown in FIG. 2B, adiamond 2 is formed on the fine concavo-convex pattern of the mother mold M by chemical vapor deposition (CVD). That is, the inside of a high-temperature chamber under an atmosphere of a reaction gas (including hydrocarbons and hydrogen gas) is depressurized to cause the excited carbon species to collide with the fine uneven pattern of the mother mold M. As the chemical vapor deposition method, a microwave CVD method, a plasma CVD method, or a hot filament CVD method can be selected.

次ぎに、図２（Ｃ）に示すように、ダイヤモンド２の上に化学的気相成長法によりダイヤモンドライクカーボン３を成膜する。ダイヤモンドライクカーボン３は、ダイヤモンド構造（結晶）であるＳＰ３結合のみからなるダイヤモンド２に対して、ダイヤモンド構造であるＳＰ３結合とグラファイト構造であるＳＰ３結合とが混在したアモルファス（非結晶）構造からなる。従って、化学的気相成長法において、反応ガスの濃度や温度，圧力を調整することで、ダイヤモンド２，ダイヤモンドライクカーボン３の成膜の変換が可能である。特に、共通のチャンバの内部でダイヤモンド結晶の組成勾配をもって連続的に成膜されることで、ダイヤモンド２とダイヤモンドライクカーボン３との間に界面が形成されなくなるため、ダイヤモンド２とダイヤモンドライクカーボン３との一体性が得られ剥離が防止される。このダイヤモンドライクカーボン３は、ダイヤモンド２に積層されたことになって、ダイヤモンド２のダイヤモンド結晶の生成過程の応力を低減させる機能を奏する。なお、実装上の要請から、ダイヤモンド２，ダイヤモンドライクカーボン３の成膜の合計厚さとしては０．１ｍｍ以上が好ましい。 Next, as shown in FIG. 2C, a diamond-like carbon 3 is formed on thediamond 2 by chemical vapor deposition. The diamond-like carbon 3 has an amorphous (non-crystalline) structure in which SP3 bonds having a diamond structure and SP3 bonds having a graphite structure are mixed withdiamond 2 having only SP3 bonds having a diamond structure (crystal). Therefore, in the chemical vapor deposition method, the film formation ofdiamond 2 and diamond-like carbon 3 can be converted by adjusting the concentration, temperature and pressure of the reaction gas. In particular, since the interface is not formed between thediamond 2 and the diamond-like carbon 3 by continuously forming the film with the composition gradient of the diamond crystal inside the common chamber, thediamond 2 and the diamond-like carbon 3 Is obtained and peeling is prevented. The diamond-like carbon 3 is laminated on thediamond 2 and has a function of reducing the stress in the diamond crystal formation process of thediamond 2. In view of mounting requirements, the total thickness ofdiamond 2 and diamond-like carbon 3 is preferably 0.1 mm or more.

次ぎに、図２（Ｄ），（Ｅ）に示すように、ダイヤモンド２，ダイヤモンドライクカーボン３が成膜されたマザーモールドＭを容器Ｂに貯溜された溶解液Ｗに浸漬させ、マザーモールドＭを溶解させる。溶解液Ｗとしては、例えば、フッ酸・硝酸混合液が使用される。マザーモールドＭを溶解させる手段を採ることによって、機械的な剥離手段と採る場合に比して、露出されるダイヤモンド２からなる表面の微細な凹凸パターン１を損傷を避けることができる。 Next, as shown in FIGS. 2D and 2E, the mother mold M on which thediamond 2 and the diamond-like carbon 3 are formed is immersed in the solution W stored in the container B, and the mother mold M is Dissolve. As the solution W, for example, a hydrofluoric acid / nitric acid mixed solution is used. By adopting the means for dissolving the mother mold M, it is possible to avoid damaging the fine uneven pattern 1 on the surface made of thediamond 2 exposed as compared with the case of using the mechanical peeling means.

この後、バックアッププレートＰに接着剤Ｃを介してダイヤモンドライクカーボン３側を貼着する。バックアッププレートＰとしては、例えば、ステンレス鋼，ニッケル耐熱合金が使用される。接着座Ｃとしては、例えば、チタン活性ローが使用される。 Thereafter, the diamond-like carbon 3 side is adhered to the backup plate P via the adhesive C. As the backup plate P, for example, stainless steel or nickel heat-resistant alloy is used. As the bonding seat C, for example, titanium active low is used.

第１例によると、微細な凹凸パターン１が形成された表面をダイヤモンド２とすることで、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を維持することができる。また、表面のダイヤモンド２の背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドであるダイヤモンドライクカーボン３の層が存在する積層体とすることで、ダイヤモンド結晶の生成過程の応力の影響をダイヤモンドライクカーボン３で低減することができるため、薄片形であるにもかかわらずそりが生じることがなくなる。そりの発生の防止は、被加工物への圧接による割れを防止して耐久性能を高めるとともに、ナノプリントの精度を高めることになる。 According to the first example, the surface on which the fine concavo-convex pattern 1 is formed is made ofdiamond 2, so that the hardness and wear resistance for preventing deformation due to press contact with the workpiece can be maintained. Further, by forming a layered body in which a diamond-like carbon 3 layer, which is a non-diamond mainly composed of carbon, is present on the back side of thediamond 2 on the surface, the effect of stress in the process of generating a diamond crystal can be reduced. Therefore, no warpage occurs even though it is a thin piece. Prevention of warpage prevents cracking due to pressure contact with the workpiece, thereby improving durability and improving the accuracy of nanoprinting.

図３は、本発明に係るスタンパ用表面材を実施するための形態の第２例を示すものである。 FIG. 3 shows a second example of the embodiment for carrying out the stamper surface material according to the present invention.

第２例は、ダイヤモンド２を微細な凹凸パターン１の凹凸に沿った薄性の層としてある。即ち、ダイヤモンド２を第１例のようにな凹凸パターン１を含む表面側のある程度の厚さをもった層としていない。 In the second example, thediamond 2 is a thin layer along the unevenness of the fine unevenness pattern 1. That is, thediamond 2 is not a layer having a certain thickness on the surface side including the uneven pattern 1 as in the first example.

第２例によると、製造（成膜）コストの掛かるダイヤモンド２を低減することができる。しかも、微細な凹凸パターン１が形成された表面がダイヤモンド２であることに変わりがないため、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を維持することができる。 According to the second example, it is possible to reducediamond 2 which is expensive to manufacture (film formation). Moreover, since the surface on which the fine concavo-convex pattern 1 is formed is stilldiamond 2, it is possible to maintain hardness and wear resistance that prevent deformation due to pressure contact with the workpiece.

図４は、本発明に係るスタンパ用表面材を実施するための形態の第３例を示すものである。 FIG. 4 shows a third example of the embodiment for carrying out the stamper surface material according to the present invention.

第３例は、第１例のダイヤモンドライクカーボン３の層にダイヤモンド２の層を介在させている。 In the third example, adiamond 2 layer is interposed in the diamond-like carbon 3 layer of the first example.

第３例によると、表面のダイヤモンド２の背面側にもダイヤモンド２の層を存在させることで、相対的に硬度，耐摩耗性の低いダイヤモンドライクカーボン３の層を補完することができる。このため、全体の硬度，耐摩耗性が高められ被加工物への圧接による変形がより確実に防止されることになる。 According to the third example, the diamond-like carbon 3 layer having relatively low hardness and wear resistance can be complemented by the presence of thediamond 2 layer on the back side of thesurface diamond 2. For this reason, the overall hardness and wear resistance are improved, and deformation due to pressure contact with the workpiece is more reliably prevented.

第３例については、第２例のダイヤモンドライクカーボン３の層にダイヤモンド２の層を介在させることも可能である。 In the third example, the diamond-like carbon 3 layer of the second example may be provided with adiamond 2 layer.

以上、図示した各例の外に、ダイヤモンドライクカーボン３に他の材料を加えることも可能である。 As described above, other materials can be added to the diamond-like carbon 3 in addition to the illustrated examples.

さらに、非ダイヤモンドとしてダイヤモンドライクカーボン３に代えてテトラヘドラル，アモルファスダイヤ等の非晶質炭素を選択することも可能である。 Furthermore, it is possible to select amorphous carbon such as tetrahedral or amorphous diamond instead of diamond-like carbon 3 as non-diamond.

１微細な凹凸パターン
２ダイヤモンド
３ダイヤモンドライクカーボン（非ダイヤモンド）1 Fineuneven pattern 2Diamond 3 Diamond-like carbon (non-diamond)

Claims

Translated fromJapanese

表面に微細な凹凸パターンが形成された薄片形のスタンパ用表面材において、表面がダイヤモンドとされ表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層が存在する積層体からなることを特徴とするスタンパ用表面材。 The surface material for a thin stamper with a fine concavo-convex pattern formed on the surface is made of a laminate in which the surface is diamond and a non-diamond layer mainly composed of carbon is present on the back side of the surface diamond. Characteristic stamper surface material.

表面に微細な凹凸パターンが形成された薄片形のスタンパ用表面材において、表面がダイヤモンドとされ表面のダイヤモンドの背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドの層とダイヤモンドの層とが存在する積層体からなることを特徴とするスタンパ用表面材。 Laminate stamper surface material with a fine concavo-convex pattern formed on the surface, and the surface is diamond, and the surface is a non-diamond layer composed mainly of carbon and a diamond layer on the back side of the diamond. A stamper surface material characterized by comprising a body.

請求項１または２のスタンパ用表面材において、炭素を主成分とする非ダイヤモンドがダイヤモンドライクカーボン，テトラヘドラル，アモルファスダイヤ等の非晶質炭素からなることを特徴とするスタンパ用表面材。 3. The stamper surface material according to claim 1, wherein the non-diamond containing carbon as a main component is made of amorphous carbon such as diamond-like carbon, tetrahedral, and amorphous diamond.

請求項３のスタンパ用表面材において、ダイヤモンドと炭素を主成分とする非ダイヤモンドとはダイヤモンド結晶の組成勾配をもって連続的に成膜されたものであることを特徴とするスタンパ用表面材。 4. The stamper surface material according to claim 3, wherein the diamond and the non-diamond mainly composed of carbon are formed continuously with a composition gradient of diamond crystals.