JP2010015005A - Method for producing color filter, color filter, method for forming optical element, optical element,electro-optical apparatus and electronic device - Google Patents

Abstract

Translated fromJapanese

【課題】隔壁の角においても確実に着色できるカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】基板２上を少なくとも１つの着色角部７ａを有する着色領域７に区画する隔壁４を形成する隔壁形成工程と、着色角部７ａに近い隔壁４の角部側面４ｃに親液処理をする表面改質工程とを有する。さらに、隔壁４に囲まれた着色領域７に着色膜５の材料を含む機能液２６を塗布する塗布工程と、塗布された機能液２６を固化して着色膜５を形成する固化工程とを有する。塗布工程は内部塗布工程と角部塗布工程とを有する。そして、内部塗布工程では隔壁４に機能液２６を塗布し、角部塗布工程では角部側面４ｃにおける隔壁上面４ａ上面から隔壁側面４ｂにかけて機能液２６を塗布する。
【選択図】図９A method for producing a color filter capable of reliably coloring a corner of a partition wall is provided.
A partition wall forming step for forming a partition wall on a substrate to be divided into colored regions having at least one colored corner portion, and a lyophilic treatment on a corner side surface of the partition wall close to the colored corner portion. And a surface modification step. Furthermore, it has the application | coating process which apply | coats the functional liquid 26 containing the material of the colored film 5 to the coloring area | region 7 enclosed by the partition 4, and the solidification process which solidifies the apply | coated functional liquid 26 and forms the colored film 5 . The coating process has an internal coating process and a corner coating process. Then, the functional liquid 26 is applied to the partition walls 4 in the internal coating process, and the functional liquid 26 is applied from the upper surface of the partition upper surface 4a to the partition wall side face 4b in the corner side surface 4c in the corner application process.
[Selection] Figure 9

Description

Translated fromJapanese

本発明は、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、光学素子の形成方法、光学素子、電気光学装置、電子機器等にかかわり、特に品質良く膜を形成する方法に関するものである。  The present invention relates to a color filter manufacturing method, a color filter, an optical element forming method, an optical element, an electro-optical device, an electronic apparatus, and the like, and particularly to a method for forming a film with high quality.

カラー画像を表示する表示部を有する電子機器にはカラーフィルタが活用されることが多い。そして、特許文献１に色の濃淡差の少ないカラーフィルタの製造方法が開示されている。それによると、上面に撥液処理がされたバンク（以下、隔壁と称す）を基体に形成する。そして隔壁に区画された着色層形成領域（以下、着色領域と称す）に着色材料を含む機能液を液滴吐出法（インクジェット法）を用いて塗布する。次に、着色材料を含む機能液を硬化させていた。  A color filter is often used for an electronic apparatus having a display unit for displaying a color image.Patent Document 1 discloses a method for manufacturing a color filter with little color density difference. According to this, a bank (hereinafter referred to as a partition) having a liquid repellent treatment on the upper surface is formed on the substrate. Then, a functional liquid containing a coloring material is applied to a colored layer forming region (hereinafter referred to as a colored region) partitioned by the partition using a droplet discharge method (inkjet method). Next, the functional liquid containing the coloring material was cured.

特開２００７−４７４４１号公報JP 2007-47441 A

インクジェット法を用いて基体上の隔壁内に機能液を吐出するとき、機能液には表面張力が働くことにより球体形状に近くなる。そして、着色領域が多角形に区画されるとき、隔壁の角となる場所において機能液が球体形状に近づくことにより、機能液が充填されない場合がある。この機能液を乾燥して固化するとき、隔壁の角では機能液による膜が形成されないので、この部分は着色されない。従って、このカラーフィルタは着色されない部分を含んだ不良品となる。そして、隔壁の角においても確実に着色できるカラーフィルタの製造方法が望まれていた。  When the functional liquid is discharged into the partition wall on the substrate using the ink jet method, the functional liquid becomes close to a spherical shape due to surface tension. And when a coloring area | region is divided into polygons, a functional liquid may not be filled by a functional liquid approaching a spherical shape in the location used as the corner of a partition. When this functional liquid is dried and solidified, a film made of the functional liquid is not formed at the corners of the partition walls, so this portion is not colored. Therefore, this color filter is a defective product including a portion that is not colored. And the manufacturing method of the color filter which can color reliably also in the corner of a partition was desired.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。  SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］
本適用例にかかるカラーフィルタの製造方法であって、基板上を少なくとも１つの角部を有する着色領域に区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、前記隔壁に囲まれた前記着色領域に色要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、塗布された前記液状体を固化して色要素を形成する固化工程とを有し、前記塗布工程は角部塗布工程を含み、前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とする。[Application Example 1]
A color filter manufacturing method according to this application example, wherein a partition wall forming step for partitioning a substrate into a colored region having at least one corner portion, and a lyophilic treatment on a side surface of the partition wall at the corner portion A surface modification step, a coating step of applying a liquid material containing a color element material to the colored region surrounded by the partition walls, and a solidification step of solidifying the applied liquid material to form a color element The application step includes a corner application step, and in the corner application step, the liquid material is applied to the side surface of the partition wall at the corner.

このカラーフィルタの製造方法によれば、隔壁形成工程にて隔壁が形成される。そして、表面改質工程において隔壁の角部が親液化される。そして、塗布工程では着色領域に液状体を塗布する。液状体の体積が小さいとき、液状体には表面張力が働くので液状体は球体に近づく傾向がある。その結果、角部の液状体が塗布されない可能性がある。角部塗布工程では側面の角部に液状体を塗布している。側面の角部は親液化されることにより液状体が濡れ広がり易くなっており、角部には直接液状体が塗布されるので確実に液状体を塗布することができる。そして、固化工程において液状体を固化することにより、着色領域の総ての場所に色要素を形成することができる。  According to this color filter manufacturing method, the partition walls are formed in the partition wall forming step. And the corner | angular part of a partition is made lyophilic in a surface modification process. In the application step, the liquid material is applied to the colored region. When the volume of the liquid is small, the liquid tends to approach a sphere because surface tension acts on the liquid. As a result, the corner liquid may not be applied. In the corner application step, the liquid material is applied to the corners of the side surfaces. By making the corners of the side surfaces lyophilic, the liquid easily spreads out and the liquid is applied directly to the corners, so that the liquid can be reliably applied. And a color element can be formed in all the places of a colored region by solidifying a liquid in a solidification process.

［適用例２］
上記に記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記塗布工程では前記液状体を液滴にして吐出して塗布することを特徴とする。[Application Example 2]
In the color filter manufacturing method described above, in the application step, the liquid material is ejected as droplets and applied.

このカラーフィルタの製造方法によれば、液状体を液滴にして吐出する。塗布する液状体の量は１滴の液滴の量と液滴数とを積算した量となるので、液滴の体積と液滴数を制御することにより液状体の量を精度良く吐出して着色領域に液状体を塗布することができる。  According to this color filter manufacturing method, the liquid is discharged as droplets. Since the amount of liquid to be applied is the sum of the amount of one droplet and the number of droplets, the amount of liquid is accurately discharged by controlling the volume and number of droplets. A liquid can be applied to the colored region.

［適用例３］
上記に記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記角部塗布工程において吐出する前記液滴は、前記角部塗布工程以外の前記塗布工程において吐出する前記液滴より小さいことを特徴とする。[Application Example 3]
In the color filter manufacturing method described above, the droplets ejected in the corner application step are smaller than the droplets ejected in the application step other than the corner application step.

このカラーフィルタの製造方法によれば、角部塗布工程においては小さい液滴が吐出されるので、着弾した液滴が隔壁上面を塗布する面積を小さくすることができる。  According to this color filter manufacturing method, small droplets are ejected in the corner coating step, so that the area where the landed droplets coat the partition wall upper surface can be reduced.

［適用例４］
本適用例にかかるカラーフィルタであって、基板と、少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁と、前記隔壁に囲まれた着色領域に形成された色要素と、を備え、前記角部の前記隔壁の側面において前記色要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とする。[Application Example 4]
A color filter according to this application example, comprising: a substrate; a partition that partitions the substrate into a colored region having at least one corner; and a color element formed in the colored region surrounded by the partition. Further, a lyophilic surface having lyophilicity is formed on a side surface of the partition wall at the corner portion with respect to a liquid that dissolves or disperses the material of the color element.

このカラーフィルタによれば、角部の隔壁の側面に親液面が形成される。従って、着色領域に液状体を塗布するとき、液状体が流動し難い角部の隔壁の側面に、液状体を配置し易くすることができる。その結果、着色領域の総ての場所に液状体を配置することができる。  According to this color filter, the lyophilic surface is formed on the side surface of the partition wall at the corner. Therefore, when the liquid material is applied to the colored region, the liquid material can be easily arranged on the side surfaces of the partition walls at the corners where the liquid material is difficult to flow. As a result, the liquid material can be arranged at all locations in the colored region.

［適用例５］
上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記角部の前記隔壁上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とする。[Application Example 5]
In the color filter according to the application example described above, a liquid repellent surface having liquid repellency with respect to the liquid material is formed on the upper surface of the partition wall at the corner portion.

このカラーフィルタによれば、角部の隔壁上面は撥液性を有し、角部の側面は親液性を有している。従って、隔壁の角部側面と隔壁の上面とを跨いで液滴が位置するとき、液滴は表面張力により隔壁の上面側から角部側面側へ移動し易くなる。その結果、塗布した液状体は着色領域内の角部にも流入し易くすることができる。  According to this color filter, the upper surface of the partition wall at the corner has liquid repellency, and the side surface of the corner has lyophilicity. Therefore, when the droplet is positioned across the corner side surface of the partition wall and the upper surface of the partition wall, the droplet is easily moved from the upper surface side of the partition wall to the corner side surface side by surface tension. As a result, the applied liquid material can easily flow into the corners in the colored region.

［適用例６］
上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記隔壁において前記色要素を囲む上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とする。[Application Example 6]
In the color filter according to the application example described above, a liquid repellent surface having liquid repellency with respect to the liquid material is formed on an upper surface surrounding the color element in the partition wall.

このカラーフィルタによれば、隔壁の上面は撥液面となっている。従って、着色領域内の液状体は隔壁を乗越え難くなる為、隣りの着色領域へ液状体を移動し難くすることができる。  According to this color filter, the upper surface of the partition wall is a liquid repellent surface. Accordingly, since the liquid in the colored region is difficult to get over the partition, it is difficult to move the liquid to the adjacent colored region.

［適用例７］
上記適用例にかかるカラーフィルタにおいて、前記隔壁の側面において前記角部と離れた場所は、前記角部より前記液状体に対して撥液性が高く、前記隔壁の上面より撥液性が低いことを特徴とする。[Application Example 7]
In the color filter according to the application example described above, the location apart from the corner portion on the side surface of the partition wall has higher liquid repellency with respect to the liquid than the corner portion and lower liquid repellency than the upper surface of the partition wall. It is characterized by.

このカラーフィルタによれば、隔壁の側面において角部に近い場所では角部と離れている面より親液性が高くなっている。そして、液状体に働く表面張力により、隔壁の側面に位置する液状体は角部と離れている場所から角部に流動し易くなる。さらに、角部と離れている場所では隔壁の上面より側面の方が親液性が高いので、液状体が隔壁の上面と側面とを跨いで配置されるとき、液状体は隔壁の上面側から側面側へ流動し易くなっている。従って、塗布される液状体を着色領域に集めて、着色領域の総ての場所に液状体を配置することができる。  According to this color filter, the lyophilicity is higher at the side of the partition wall near the corner than at the surface away from the corner. Then, due to the surface tension acting on the liquid material, the liquid material located on the side surface of the partition wall easily flows from a location away from the corner portion to the corner portion. Furthermore, since the side surface is more lyophilic than the upper surface of the partition wall at a place away from the corner, when the liquid material is disposed across the upper surface and the side surface of the partition wall, the liquid material is separated from the upper surface side of the partition wall. It is easy to flow to the side. Therefore, the liquid material to be applied can be collected in the colored region and the liquid material can be arranged at all locations in the colored region.

［適用例８］
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、一対の電極の間に発光要素を有する光学素子の形成方法であって、前記電極を基板上に形成する電極形成工程と、少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、前記隔壁に囲まれた発光領域に発光要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、塗布された前記液状体を固化して発光要素を形成する固化工程とを有し、前記塗布工程は角部塗布工程を含み、前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とする。[Application Example 8]
A method for forming an optical element according to this application example is a method for forming an optical element having a light emitting element between a pair of electrodes, the electrode forming step of forming the electrode on a substrate, and at least one corner portion. A partition forming step of forming a partition partitioning the substrate in the colored region, a surface modification step of performing a lyophilic treatment on a side surface of the partition at the corner, and a light emitting element in the light emitting region surrounded by the partition An application step of applying a liquid material containing a material; and a solidification step of solidifying the applied liquid material to form a light emitting element, wherein the application step includes a corner portion application step, and the corner portion application step. Then, the liquid material is applied to the side surface of the partition wall at the corner.

この光学素子の形成方法によれば、隔壁形成工程にて隔壁が形成される。そして、表面改質工程において角部の隔壁の側面が親液化される。そして、塗布工程では隔壁内に液状体を塗布する。このとき、液状体に表面張力が働くので、角部と近い場所まで液状体が塗布されない場合がある。角部塗布工程では角部に液状体を塗布している。角部の隔壁の側面は親液化され、直接液状体が塗布されるので、確実に、角部に液状体を塗布することができる。そして、固化工程において液状体を固化することにより、発光領域の総ての場所に発光要素を配置することができる。その結果、電極から発光領域に電流を流すとき、総ての発光領域から発光させることができる。  According to this method for forming an optical element, the partition is formed in the partition formation step. In the surface modification step, the side surfaces of the partition walls at the corners are made lyophilic. In the application step, a liquid material is applied in the partition walls. At this time, since the surface tension acts on the liquid material, the liquid material may not be applied to a place close to the corner. In the corner application step, a liquid material is applied to the corner. Since the side surfaces of the partition walls at the corners are made lyophilic and the liquid material is directly applied, the liquid material can be reliably applied to the corner portions. Then, by solidifying the liquid in the solidifying step, the light emitting elements can be arranged at all locations in the light emitting region. As a result, when current flows from the electrode to the light emitting region, light can be emitted from all the light emitting regions.

［適用例９］
本適用例にかかる光学素子であって、第１の電極が形成された基板と、少なくとも１つの角部を有する発光領域に前記基板を区画する隔壁と、前記隔壁に囲まれた前記発光領域に形成された発光要素と、前記第１の電極と共に前記発光要素を挟むように配置された第２の電極と、を備え、前記角部の前記隔壁の側面において前記発光要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とする。[Application Example 9]
An optical element according to this application example, wherein a substrate on which a first electrode is formed, a partition partitioning the substrate into a light emitting region having at least one corner, and the light emitting region surrounded by the partition A light emitting element formed, and a second electrode disposed so as to sandwich the light emitting element together with the first electrode, and the material of the light emitting element is dissolved or dispersed on the side surface of the partition wall at the corner portion A lyophilic surface having lyophilicity with respect to the liquid to be formed is formed.

この光学素子によれば、角部の隔壁の側面に親液面が形成される。従って、発光領域に発光要素の材料を含む液状体を塗布するとき、液状体が角部に流動し易くすることができる。その結果、発光領域の総ての場所に塗布することができる。  According to this optical element, the lyophilic surface is formed on the side surface of the partition wall at the corner. Accordingly, when a liquid material containing a light emitting element material is applied to the light emitting region, the liquid material can easily flow to the corners. As a result, it can be applied to all locations in the light emitting area.

［適用例１０］
本適用例にかかる電気光学装置であって、上記のいずれか一項に記載のカラーフィルタまたは上記に記載の光学素子を備えたことを特徴とする。[Application Example 10]
An electro-optical device according to this application example, including the color filter according to any one of the above and the optical element according to the above.

この電気光学装置がカラーフィルタを備えるとき、カラーフィルタが備える着色領域は総て着色されている。従って、カラーフィルタを光が通過するとき、総ての光は着色される。その結果、電気光学装置は品質の良い画像を提供することができる。  When this electro-optical device includes a color filter, all the colored regions included in the color filter are colored. Therefore, when light passes through the color filter, all light is colored. As a result, the electro-optical device can provide a high-quality image.

この電気光学装置が光学素子を備えるとき、光学素子が備える発光領域には総ての場所に発光要素が配置されている。発光要素が適正に配置されない場所では電極間に過電流が流れる為、光学素子の寿命が短くなる。本適用例の光学素子が発光するとき、光学素子の総ての場所にて適正な電流が通電される。従って、電気光学装置は寿命を長くすることができる。  When this electro-optical device includes an optical element, the light-emitting elements are arranged at all locations in the light-emitting region included in the optical element. Since overcurrent flows between the electrodes in a place where the light emitting element is not properly disposed, the life of the optical element is shortened. When the optical element of this application example emits light, an appropriate current is applied at all locations of the optical element. Therefore, the life of the electro-optical device can be extended.

［適用例１１］
本適用例にかかる電子機器であって、上記に記載の電気光学装置を表示部に備えたことを特徴とする。[Application Example 11]
An electronic apparatus according to this application example is characterized in that the display unit includes the electro-optical device described above.

この電子機器によれば、表示部に品質の良いカラーフィルタを備えている。もしくは、寿命の長い光学素子を備えている。従って、画質が良い電子機器、もしくは、寿命の長い電子機器を提供することができる。  According to this electronic apparatus, the display unit is provided with a quality color filter. Alternatively, an optical element having a long lifetime is provided. Therefore, an electronic device with good image quality or an electronic device with a long lifetime can be provided.

以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。Hereinafter, specific embodiments will be described with reference to the drawings.
In addition, each member in each drawing is illustrated with a different scale for each member in order to make the size recognizable on each drawing.

（第１の実施形態）
本実施形態における特徴的なカラーフィルタの例と液滴吐出装置を用いた吐出方法により液滴を吐出してカラーフィルタを形成する場合の例とについて図１〜図１０に従って説明する。(First embodiment)
An example of a characteristic color filter in this embodiment and an example of forming a color filter by discharging droplets by a discharge method using a droplet discharge device will be described with reference to FIGS.

（カラーフィルタ）
最初に、カラーフィルタ１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のカラーフィルタのＡ−Ａ’線に沿う模式断面図である。カラーフィルタ１は液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルタ１に通過させることにより、カラー画像を形成する。図１に示すように、カラーフィルタ１は基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面には着色素子３が縦横並んで配列して形成されている。そして、着色素子３は赤、青、緑色の着色素子３により構成され、各色の着色素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、上から赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に着色素子３が配列して配置されている。そして、図中に上から下へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。(Color filter)
First, thecolor filter 1 will be described with reference to FIG. FIG. 1A is a schematic plan view showing a color filter. FIG. 1B is a schematic cross-sectional view taken along the line AA ′ of the color filter of FIG. Thecolor filter 1 is used in a display device such as a liquid crystal television, and forms a color image by allowing white light having a luminance distribution corresponding to an image signal to pass through thecolor filter 1. As shown in FIG. 1, thecolor filter 1 includes asubstrate 2. Thesubstrate 2 is only required to be light transmissive and strong enough not to be broken by tension, and a glass plate, a plastic plate, a plastic sheet or the like can be used. In the present embodiment, for example, a glass plate is employed. On the upper surface of thesubstrate 2, thecoloring elements 3 are formed so as to be arranged vertically and horizontally. Thecoloring elements 3 are composed of red, blue andgreen coloring elements 3, and thecoloring elements 3 of each color are arranged and arranged for each column. In FIG. 1A, thecolored elements 3 are arranged in the order of thered element row 3a, theblue element row 3b, and thegreen element row 3c from the top. And in the figure, from the top to the bottom, this order is repeated and the stripes are arranged.

着色素子３は格子状に形成された隔壁４を備え、隔壁４は着色された樹脂材料によって形成され光が透過しないようになっている。隔壁４によって矩形に仕切られた場所には赤色着色膜５ａ、青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃ等の色要素としての着色膜５が形成されている。赤色素子列３ａの着色素子３には赤色着色膜５ａが形成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃが形成されている。  Thecoloring element 3 includes apartition wall 4 formed in a lattice shape, and thepartition wall 4 is formed of a colored resin material so that light is not transmitted therethrough.Colored films 5 as color elements, such as a redcolored film 5a, a bluecolored film 5b, and a greencolored film 5c, are formed at locations partitioned into rectangles by thepartition walls 4. A redcolored film 5a is formed on thecolored elements 3 of thered element row 3a, and a bluecolored film 5b and a greencolored film 5c are formed on theblue element row 3b and thegreen element row 3c, respectively.

図２（ａ）は着色領域を示す要部模式平面図であり、着色膜５が配置されていない状態を示している。図２（ｂ）は着色領域を示す要部模式断面図であり、図２（ａ）の着色領域のＢ−Ｂ’線に沿う断面を示している。図２に示すように、隔壁４は断面形状が略台形に形成され、隔壁上面４ａは平坦に形成されている。隔壁側面４ｂは傾斜をつけて形成された斜面になっている。隔壁側面４ｂにより矩形に囲まれた基板２上の面は平坦に形成され、この面を隔壁底面６と称す。そして、隔壁４によって矩形に区画された隔壁側面４ｂ及び隔壁底面６からなる領域を着色領域７と称し、着色領域７に着色膜５が配置されることにより着色素子３が形成される。  FIG. 2A is a schematic plan view of a main part showing a colored region, and shows a state where thecolored film 5 is not arranged. FIG. 2B is a schematic cross-sectional view of a main part showing a colored region, and shows a cross section taken along the line B-B ′ of the colored region in FIG. As shown in FIG. 2, thepartition wall 4 has a substantially trapezoidal cross-sectional shape, and the partition wallupper surface 4a is formed flat. The partitionwall side surface 4b is a slope formed with an inclination. A surface on thesubstrate 2 surrounded by a rectangle by thepartition side surface 4 b is formed flat, and this surface is referred to as apartition bottom surface 6. A region formed by the partitionwall side surface 4b and the partitionwall bottom surface 6 divided into rectangles by thepartition wall 4 is referred to as acolored region 7, and thecolored film 5 is disposed in thecolored region 7, whereby thecolored element 3 is formed.

矩形に配置された着色領域７の四隅を着色角部７ａとし、矩形に配置された隔壁底面６の四隅を底面角部６ａとする。そして、隔壁側面４ｂにおいて着色角部７ａと底面角部６ａとの間とその近傍の場所を角部側面４ｃとする。１つの隔壁側面４ｂにおいて角部側面４ｃに挟まれた場所を中部側面４ｄとする。従って、１つの着色領域７は１つの隔壁底面６と４つの角部側面４ｃと４つの中部側面４ｄにより構成されている。  The four corners of thecolored region 7 arranged in a rectangle are thecolored corners 7a, and the four corners of the partitionwall bottom surface 6 arranged in the rectangle are thebottom corners 6a. And in thepartition side surface 4b, the place between thecolored corner portion 7a and thebottom corner portion 6a and the vicinity thereof is referred to as acorner side surface 4c. A location sandwiched between the corner side surfaces 4c in onepartition side surface 4b is defined as amiddle side surface 4d. Accordingly, onecolored region 7 is composed of onepartition bottom surface 6, four corner side surfaces 4c, and fourmiddle side surfaces 4d.

着色膜５は着色膜５の材料を溶解もしくは分散した機能液を着色領域７に塗布して形成されている。そして、着色領域７及び隔壁上面４ａにはこの機能液に対して親液性を有する場所と撥液性を有する場所とが形成されている。具体的には、隔壁底面６と角部側面４ｃとには機能液に対する親液性が高い親液面が形成されており、例えば、接触角が２０度以下に形成されている。そして、隔壁上面４ａでは機能液に対する撥液性が高い撥液面が形成されており、例えば、接触角が５０度以上に形成されている。そして、中部側面４ｄは隔壁底面６及び角部側面４ｃより撥液性が高く、隔壁上面４ａより撥液性が低く形成されており、例えば、接触角が３０度〜４０度に形成されている。  Thecolored film 5 is formed by applying a functional liquid in which the material of thecolored film 5 is dissolved or dispersed to thecolored region 7. In thecolored region 7 and the partitionupper surface 4a, a place having lyophilicity and a place having liquid repellency are formed. Specifically, a lyophilic surface having high lyophilicity with respect to the functional liquid is formed on the partitionwall bottom surface 6 and thecorner side surface 4c. For example, the contact angle is formed to be 20 degrees or less. The partitionupper surface 4a is formed with a liquid repellent surface having high liquid repellency with respect to the functional liquid. For example, the contact angle is 50 degrees or more. Themiddle side surface 4d has higher liquid repellency than thepartition bottom surface 6 andcorner side surface 4c, and lower liquid repellency than the partitionupper surface 4a. For example, the contact angle is formed at 30 to 40 degrees. .

（液滴吐出装置）
図３は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図であり、この液滴吐出装置は、着色膜５の材料を含む機能液を基板２に吐出する装置である。図３に示すように、液滴吐出装置１０は一方向に延びる一対の案内レール１１，１２を備え、案内レール１１，１２が延在する方向をＹ方向とする。そして、水平方向のうちＹ方向と直交する方向をＸ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は重力加速度の方向と逆の方向となる。(Droplet discharge device)
FIG. 3 is a schematic perspective view showing the configuration of the droplet discharge device. The droplet discharge device is a device that discharges a functional liquid containing the material of thecolored film 5 onto thesubstrate 2. As shown in FIG. 3, thedroplet discharge device 10 includes a pair ofguide rails 11 and 12 extending in one direction, and a direction in which the guide rails 11 and 12 extend is a Y direction. A direction perpendicular to the Y direction in the horizontal direction is taken as an X direction, and a direction perpendicular to the X direction and the Y direction is taken as a Z direction. The Z direction is opposite to the direction of gravitational acceleration.

案内レール１１，１２上には案内レール１１，１２に沿って移動するステージ１３が配置され、ステージ１３は直動機構１４を備えている。この直動機構１４は、例えば案内レール１１，１２に沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転する図示しないＹ軸モータに連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転または逆転して、ステージ１３が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動または、復動してＹ方向に走査するようになっている。  Astage 13 that moves along the guide rails 11 and 12 is disposed on the guide rails 11 and 12, and thestage 13 includes alinear motion mechanism 14. Thelinear motion mechanism 14 is, for example, a screw linear motion mechanism including a screw shaft (drive shaft) extending in the Y direction along the guide rails 11 and 12 and a ball nut screwed to the screw shaft. The drive shaft is connected to a Y-axis motor (not shown) that receives a predetermined pulse signal and rotates forward and backward in steps. When a drive signal corresponding to a predetermined number of steps is input to the Y-axis motor, the Y-axis motor rotates normally or reversely, and thestage 13 is predetermined along the Y direction by an amount corresponding to the same number of steps. Scanning is performed in the Y direction by moving forward or backward at a speed of.

ステージ１３のＸ方向にはステージ位置検出装置１５を備え、ステージ１３のＹ方向の位置を検出することが可能になっている。ステージ位置検出装置１５は、例えば、位置を示す目盛りが配置された長尺のスケールと目盛りを検出するセンサ等から構成されている。そして、センサがスケールの目盛りを検出することにより、ステージ位置検出装置１５はステージ１３の位置を認識する。  Astage position detector 15 is provided in the X direction of thestage 13 so that the position of thestage 13 in the Y direction can be detected. The stageposition detection device 15 includes, for example, a long scale on which a scale indicating the position is arranged, a sensor that detects the scale, and the like. Thestage position detector 15 recognizes the position of thestage 13 when the sensor detects the scale scale.

ステージ１３の上面には載置面１３ａが形成され、その載置面１３ａには図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１３ａに基板２を載置すると、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１３ａの所定位置に位置決め固定されるようになっている。  Aplacement surface 13a is formed on the upper surface of thestage 13, and a suction-type substrate chuck mechanism (not shown) is provided on theplacement surface 13a. When thesubstrate 2 is placed on theplacement surface 13a, thesubstrate 2 is positioned and fixed at a predetermined position on theplacement surface 13a by the substrate chuck mechanism.

ステージ１３のＺ方向には、Ｘ方向に延びる一対の案内レール１６，１７が配置されている。案内レール１６，１７上には案内レール１６，１７に沿って移動するキャリッジ１８が配置され、キャリッジ１８は直動機構１９を備えている。そのキャリッジ１８の直動機構１９は、例えば、ステージ１３が備える直動機構１４と同様の機構である。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をキャリッジ１８が備える図示しないＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転または逆転して、キャリッジ１８が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動または復動してＸ方向に走査するようになっている。  A pair ofguide rails 16 and 17 extending in the X direction are arranged in the Z direction of thestage 13. Acarriage 18 that moves along the guide rails 16 and 17 is disposed on the guide rails 16 and 17, and thecarriage 18 includes alinear motion mechanism 19. Thelinear motion mechanism 19 of thecarriage 18 is, for example, the same mechanism as thelinear motion mechanism 14 included in thestage 13. When a drive signal corresponding to a predetermined number of steps is input to an X-axis motor (not shown) provided in thecarriage 18, the X-axis motor rotates forward or reverse, and thecarriage 18 moves in the X direction by the amount corresponding to the number of steps. It moves in the X direction by moving forward or backward along.

キャリッジ１８のＹ方向にはキャリッジ位置検出装置２０を備え、キャリッジ１８のＸ方向の位置を検出することが可能になっている。キャリッジ位置検出装置２０は、例えば、ステージ位置検出装置１５と同様の装置を用いることができる。このキャリッジ１８の下側には液滴吐出ヘッド２１が凸設されている。  A carriageposition detection device 20 is provided in the Y direction of thecarriage 18 so that the position of thecarriage 18 in the X direction can be detected. As the carriageposition detection device 20, for example, a device similar to the stageposition detection device 15 can be used. On the lower side of thecarriage 18, adroplet discharge head 21 is protruded.

液滴吐出装置１０には機能液を供給可能に収容する図示しない収容タンクが配設されている。そして、収容タンクから液滴吐出ヘッド２１までチューブを介して機能液が供給される。他にも、液滴吐出装置１０は制御装置２２を備えている。制御装置２２は直動機構１４，１９、ステージ位置検出装置１５、キャリッジ位置検出装置２０、液滴吐出ヘッド２１と接続されている。  Thedroplet discharge device 10 is provided with a storage tank (not shown) that stores functional liquid so as to be supplied. Then, the functional liquid is supplied from the storage tank to thedroplet discharge head 21 via a tube. In addition, thedroplet discharge device 10 includes acontrol device 22. Thecontrol device 22 is connected to thelinear motion mechanisms 14 and 19, the stageposition detection device 15, the carriageposition detection device 20, and thedroplet discharge head 21.

制御装置２２は直動機構１４を駆動してステージ１３をＸ方向に走査する。そして、液滴吐出ヘッド２１と対向する場所が基板２の一端と基板２の他端との間で往復するように、制御装置２２は基板２を移動させる。この方向を主走査方向とする。そして、制御装置２２は基板２を液滴吐出ヘッド２１に対して１往復した後、制御装置２２はキャリッジ１８の直動機構１９を駆動して液滴吐出ヘッド２１を移動させる。この動作を繰り返して、制御装置２２はキャリッジ１８をＹ方向に走査する。この方向を副走査方向とする。  Thecontrol device 22 drives thelinear motion mechanism 14 to scan thestage 13 in the X direction. Then, thecontrol device 22 moves thesubstrate 2 so that the place facing thedroplet discharge head 21 reciprocates between one end of thesubstrate 2 and the other end of thesubstrate 2. This direction is the main scanning direction. Then, after thecontrol device 22 reciprocates thesubstrate 2 once with respect to thedroplet discharge head 21, thecontrol device 22 drives thelinear motion mechanism 19 of thecarriage 18 to move thedroplet discharge head 21. By repeating this operation, thecontrol device 22 scans thecarriage 18 in the Y direction. This direction is the sub-scanning direction.

制御装置２２はステージ位置検出装置１５が出力するステージ１３の位置信号を入力する。さらに、制御装置２２はキャリッジ位置検出装置２０が出力するキャリッジ１８の位置信号を入力する。そして、ＸＹ方向における基板２と液滴吐出ヘッド２１との相対位置を認識する。そして、液滴吐出ヘッド２１が基板２に対して所望の場所に位置するとき、液滴吐出ヘッド２１から基板２に液滴を吐出することが可能になっている。そして、液滴吐出装置１０は基板２に所望のパターンを描画することができる。  Thecontrol device 22 inputs the position signal of thestage 13 output from the stageposition detection device 15. Further, thecontrol device 22 inputs a position signal of thecarriage 18 output from the carriageposition detection device 20. Then, the relative position between thesubstrate 2 and thedroplet discharge head 21 in the XY directions is recognized. When thedroplet discharge head 21 is located at a desired location with respect to thesubstrate 2, it is possible to discharge droplets from thedroplet discharge head 21 to thesubstrate 2. Then, thedroplet discharge device 10 can draw a desired pattern on thesubstrate 2.

図４（ａ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式平面図である。図４（ａ）に示すように、１つのキャリッジ１８には、３個の液滴吐出ヘッド２１が略Ｙ方向において等間隔に配列して配置されている。３個の液滴吐出ヘッド２１は赤色、青色、緑色の機能液が供給されている。そして、この各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド２１はそれぞれＸ方向に千鳥状に配列して配置されている。  FIG. 4A is a schematic plan view showing the arrangement of the droplet discharge heads. As shown in FIG. 4A, onecarriage 18 has three droplet discharge heads 21 arranged at regular intervals in the substantially Y direction. The three droplet discharge heads 21 are supplied with red, blue, and green functional liquids. The droplet discharge heads 21 that discharge the functional liquids of the respective colors are arranged in a staggered manner in the X direction.

そして、液滴吐出ヘッド２１の表面にはノズルプレート２３が配置され、ノズルプレート２３にはノズル２４が複数形成されている。ノズル２４の数は、吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２３にはノズル２４の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル２４が配置されている。  Anozzle plate 23 is disposed on the surface of thedroplet discharge head 21, and a plurality ofnozzles 24 are formed on thenozzle plate 23. The number ofnozzles 24 may be set according to the pattern to be ejected and the size of thesubstrate 2. In the present embodiment, for example, onenozzle plate 23 is formed with a single array ofnozzles 24, Fifteennozzles 24 are arranged in the row.

図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図４（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２１は、ノズルプレート２３を備え、ノズルプレート２３には、ノズル２４が形成されている。ノズルプレート２３の上側であって、ノズル２４と対向する位置には、ノズル２４と連通する圧力室としてのキャビティ２５が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド２１のキャビティ２５には、図示しない供給装置に貯留されている液状体としての機能液２６が図示しない流路を介して供給される。  FIG. 4B is a schematic cross-sectional view of a main part for explaining the structure of the droplet discharge head. As shown in FIG. 4B, thedroplet discharge head 21 includes anozzle plate 23, and anozzle 24 is formed on thenozzle plate 23. Acavity 25 as a pressure chamber communicating with thenozzle 24 is formed on the upper side of thenozzle plate 23 at a position facing thenozzle 24. Thefunctional liquid 26 as a liquid material stored in a supply device (not shown) is supplied to thecavity 25 of thedroplet discharge head 21 via a flow path (not shown).

キャビティ２５の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ２５内の容積を拡大縮小する振動板２７と、上下方向に伸縮して振動板２７を振動させる駆動部としての圧電素子２８が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド２１が圧電素子２８を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子２８が伸縮して、振動板２７がキャビティ２５内の容積を拡大縮小してキャビティ２５を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド２１のノズル２４から、縮小した容積分の機能液２６が液滴２９として吐出される。ノズル２４、キャビティ２５、振動板２７、圧電素子２８等により液滴吐出素子３０が構成され、１つの液滴吐出ヘッド２１には複数の液滴吐出素子３０が配列して形成されている。  Above thecavity 25, avibration plate 27 that vibrates in the vertical direction (Z direction) and expands and contracts the volume in thecavity 25, and a piezoelectric element as a drive unit that expands and contracts in the vertical direction to vibrate thevibration plate 27. 28 is disposed. When thedroplet discharge head 21 receives a nozzle drive signal for controlling and driving thepiezoelectric element 28, thepiezoelectric element 28 expands and contracts, and thediaphragm 27 expands and contracts the volume in thecavity 25 to add thecavity 25. Press. As a result, the functional liquid 26 corresponding to the reduced volume is ejected asdroplets 29 from thenozzles 24 of thedroplet ejection head 21. Thenozzle 24, thecavity 25, thevibration plate 27, thepiezoelectric element 28, and the like constitute adroplet discharge element 30, and a plurality ofdroplet discharge elements 30 are arranged in onedroplet discharge head 21.

（カラーフィルタの形成方法）
次に、上述した液滴吐出装置１０を用いて液滴吐出ヘッド２１から基板２に機能液２６を塗布し、カラーフィルタ１を形成する形成方法について図５〜図１０を用いて説明する。図５は、カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャートである。(Color filter forming method)
Next, a forming method for forming thecolor filter 1 by applying the functional liquid 26 from thedroplet discharge head 21 to thesubstrate 2 using thedroplet discharge apparatus 10 described above will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a flowchart showing a manufacturing process for forming a color filter.

ステップＳ１は隔壁形成工程に相当する。この工程は、基板上に隔壁を形成する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は表面改質工程に相当し、基板の一部に親液処理を施し、別の一部に撥液処理を施す工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は内部塗布工程に相当し、着色領域の底面に機能液を吐出して塗布する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は角部塗布工程に相当し、隔壁の角部側面に機能液を吐出して塗布する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は固化工程に相当し、塗布された機能液を乾燥して固化する工程である。ステップＳ３及びステップＳ４を合わせてステップＳ１０の塗布工程とする。以上の工程によりカラーフィルタを形成する工程を終了する。  Step S1 corresponds to a partition forming step. This step is a step of forming partition walls on the substrate. Next, the process proceeds to step S2. Step S2 corresponds to a surface modification step, which is a step of performing lyophilic treatment on a part of the substrate and subjecting another part to liquid repellent treatment. Next, the process proceeds to step S3. Step S3 corresponds to an internal coating process, which is a process of discharging and applying a functional liquid to the bottom surface of the colored region. Next, the process proceeds to step S4. Step S4 corresponds to a corner application step, and is a step in which a functional liquid is discharged and applied to the corner side surface of the partition wall. Next, the process proceeds to step S5. Step S5 corresponds to a solidification step, and is a step of drying and solidifying the applied functional liquid. Step S3 and step S4 are combined to form the coating step of step S10. The process of forming the color filter is completed by the above process.

次に、図６〜図１０のカラーフィルタの製造方法を説明するための模式図を用いて、図５に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。図６（ａ）はステップＳ１の隔壁形成工程に対応する図である。図６（ａ）に示すように、基板２に隔壁４を形成する。隔壁４の材料としては、着色膜５の溶媒または分散媒に対して耐久性を有し、所定の形状にパターニング可能な材料であることが望ましい。さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できる材料であれば良い。例えば、感光性のフェノール樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、オレフィン樹脂、メラミン樹脂等といった絶縁性を有する有機系感光性の高分子材料を用いることが好ましい。隔壁４の形成方法としては、例えば、基板２の表面に有機系感光性材料をロールコート法、スピンコート法、スプレーコート法、ダイコート法、ディップコート法等の所定の方法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍ〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域７に対応した大きさの開口部が設けられたマスクを基板２と所定の位置で対向させて露光した後現像することにより、隔壁４を形成することができる。  Next, the manufacturing method will be described in detail in correspondence with the steps shown in FIG. 5, using schematic diagrams for explaining the manufacturing method of the color filter of FIGS. FIG. 6A is a diagram corresponding to the partition formation step of step S1. As shown in FIG. 6A, thepartition walls 4 are formed on thesubstrate 2. The material of thepartition wall 4 is desirably a material that is durable to the solvent or dispersion medium of thecolored film 5 and can be patterned into a predetermined shape. Furthermore, any material that can be made liquid repellent by plasma treatment using a fluorine-based gas as a treatment gas may be used. For example, it is preferable to use an organic photosensitive polymer material having insulation properties such as photosensitive phenol resin, acrylic resin, epoxy resin, polyimide resin, olefin resin, melamine resin, and the like. As a method for forming thepartition wall 4, for example, an organic photosensitive material is applied to the surface of thesubstrate 2 by a predetermined method such as a roll coating method, a spin coating method, a spray coating method, a die coating method, a dip coating method, and the like. A photosensitive resin layer having a thickness of about 2 μm to 3 μm is formed. Then, thepartition 4 can be formed by developing a mask provided with an opening having a size corresponding to thecolored region 7 so as to face thesubstrate 2 at a predetermined position and developing the mask.

図６（ｂ）〜図７（ｂ）はステップＳ２の表面改質工程に対応する図である。図６（ｂ）に示すように、隔壁４が形成された基板２に機能液２６を構成する溶媒３２もしくは分散媒３３を塗布する。機能液２６の溶媒及び分散媒としては、着色膜５の材料を溶解または分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼン等の炭化水素系化合物を溶媒及び分散媒として例示できる。他にも、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサン等のエーテル系化合物を溶媒及び分散媒として例示できる。さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン等の極性化合物を溶媒及び分散媒として例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法（インクジェット法）への適用の容易さの点で、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、炭化水素系化合物を挙げることができる。次に、基板２に塗布された溶媒３２または分散媒３３を乾燥して固化することにより親液膜３４を形成する。  FIG. 6B to FIG. 7B are diagrams corresponding to the surface modification step of step S2. As shown in FIG. 6B, a solvent 32 or a dispersion medium 33 constituting thefunctional liquid 26 is applied to thesubstrate 2 on which thepartition walls 4 are formed. The solvent and dispersion medium of thefunctional liquid 26 are not particularly limited as long as they can dissolve or disperse the material of thecolored film 5 and do not cause aggregation. For example, alcohols such as methanol, ethanol, propanol, butanol, n-heptane, n-octane, decane, dodecane, tetradecane, toluene, xylene, cymene, durene, indene, dipentene, tetrahydronaphthalene, decahydronaphthalene, cyclohexylbenzene, etc. Can be exemplified as a solvent and a dispersion medium. In addition, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, p-dioxane Examples of the ether compound such as a solvent and a dispersion medium. Furthermore, polar compounds such as propylene carbonate, γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, and cyclohexanone can be exemplified as the solvent and the dispersion medium. Among these, alcohols, hydrocarbon compounds, and ether compounds are preferable and more preferable from the viewpoints of fine particle dispersibility, dispersion stability, and ease of application to the droplet discharge method (inkjet method). Examples of the dispersion medium include hydrocarbon compounds. Next, thelyophilic film 34 is formed by drying and solidifying the solvent 32 or the dispersion medium 33 applied to thesubstrate 2.

次に、図６（ｃ）及び図６（ｄ）に示すように、隔壁上面４ａ及び中部側面４ｄに配置された親液膜３４を除去する。そして、隔壁底面６及び角部側面４ｃに限定して親液膜３４を配置する。この親液膜３４のＺ方向の面が親液面３４ａとなる。親液膜３４を除去する方法としては隔壁上面４ａ及び中部側面４ｄの形状に光が透過するマスクを用いて、レーザー光や紫外光を照射する方法が挙げられる。光の照射条件としては、親液膜３４を形成する材料や厚み等を考慮して、親液膜３４が除去されるように光の強度、照射時間等を適宜調整する。また、照射するレーザー光としては、例えばＮｂ：ＹＡＧレーザーまたは炭酸ガスレーザー等を用いることができる。他にも、親液膜３４をエッチングして除去しても良い。例えばレジスト膜を形成した後、露光、現像してパターニングする。次に、ウエットエッチング、ドライエッチングすることにより隔壁上面４ａ及び中部側面４ｄに配置された親液膜３４を除去する。その後、レジスト膜を除去しても良い。  Next, as shown in FIGS. 6C and 6D, thelyophilic film 34 disposed on the partitionupper surface 4a and themiddle side surface 4d is removed. And thelyophilic film 34 is arrange | positioned only in thepartition bottom face 6 and the corner | angularpart side surface 4c. The surface in the Z direction of thelyophilic film 34 becomes thelyophilic surface 34a. As a method of removing thelyophilic film 34, there is a method of irradiating laser light or ultraviolet light using a mask that transmits light in the shape of the partitionupper surface 4a and themiddle side surface 4d. As light irradiation conditions, the light intensity, irradiation time, and the like are appropriately adjusted so that thelyophilic film 34 is removed in consideration of the material and thickness of thelyophilic film 34. Moreover, as a laser beam to irradiate, a Nb: YAG laser or a carbon dioxide laser etc. can be used, for example. In addition, thelyophilic film 34 may be removed by etching. For example, after forming a resist film, exposure and development are performed for patterning. Next, thelyophilic film 34 disposed on the partitionupper surface 4a and themiddle side surface 4d is removed by wet etching and dry etching. Thereafter, the resist film may be removed.

次に、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、隔壁上面４ａに撥液面３５を形成する。撥液処理としては、例えばフッ素系化合物を含むフッ素含有ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する方法を採用することができる。フッ素系化合物を用いることにより、隔壁４の表面にフッ素基が導入され、これにより液体材料を弾くことが可能になる。フッ素系化合物としては、例えばＣＦ₄、ＳＦ₆、ＣＨＦ₃等が挙げられる。このとき、隔壁上面４ａの形状にパターニングされたマスクを基板２に重ねてプラズマ処理を行う。その結果、隔壁上面４ａに限定して撥液面３５が形成される。Next, as shown in FIGS. 7A and 7B, a liquidrepellent surface 35 is formed on the partitionupper surface 4a. As the liquid repellent treatment, for example, a plasma treatment method using a fluorine-containing gas containing a fluorine compound as a treatment gas can be employed. By using a fluorine-based compound, a fluorine group is introduced on the surface of thepartition wall 4, thereby making it possible to repel the liquid material. Examples of the fluorine compound include CF₄ , SF₆ , and CHF₃ . At this time, a plasma process is performed by superposing a mask patterned in the shape of the partitionupper surface 4 a on thesubstrate 2. As a result, the liquidrepellent surface 35 is formed only on the partitionupper surface 4a.

図７（ｃ）〜図８（ｃ）はステップＳ３の内部塗布工程に対応する図である。図７（ｃ）及び図８（ａ）に示すように、ステップＳ３において、液滴吐出ヘッド２１のノズル２４から隔壁底面６に向けて液滴２９を吐出する。このとき、図７（ｃ）に示すように、基板２と液滴吐出ヘッド２１とを連続して相対移動させ、隔壁底面６と対向する場所にノズル２４が位置するときに、ノズル２４から液滴２９を吐出する。そして、図８（ａ）に示すように、液滴２９の着弾位置３１が隔壁底面６に位置するようにする。その結果、図８（ｂ）に示すように、隔壁４に囲まれた着色領域７に機能液２６が充填される。隔壁上面４ａは撥液面３５が形成されているので、機能液２６は隔壁上面４ａに乗り上がらない。そして、隣り合う着色領域７の機能液２６が連結しないようになっている。  FIG.7 (c)-FIG.8 (c) are the figures corresponding to the internal application process of step S3. As shown in FIGS. 7C and 8A, in step S3, adroplet 29 is ejected from thenozzle 24 of thedroplet ejection head 21 toward the partitionwall bottom surface 6. At this time, as shown in FIG. 7C, when thesubstrate 2 and thedroplet discharge head 21 are continuously moved relative to each other and thenozzle 24 is positioned at a position facing the partitionwall bottom surface 6, the liquid is discharged from thenozzle 24. Drops 29 are discharged. Then, as shown in FIG. 8A, thelanding position 31 of thedroplet 29 is positioned on the partitionwall bottom surface 6. As a result, as shown in FIG. 8B, thefunctional liquid 26 is filled into thecolored region 7 surrounded by thepartition walls 4. Since the liquidrepellent surface 35 is formed on the partitionupper surface 4a, thefunctional liquid 26 does not ride on the partitionupper surface 4a. And thefunctional liquid 26 of the adjacent coloring area |region 7 is not connected.

図８（ｃ）は着色領域７に機能液２６が塗布された状態の１例を示している。この例では、機能液２６の表面張力により角部側面４ｃに機能液２６が充填されていない。このまま機能液２６を乾燥して固化するとき、隔壁底面６の一部には着色膜５が形成されない恐れがある。  FIG. 8C shows an example of a state in which thefunctional liquid 26 is applied to thecolored region 7. In this example, thefunctional liquid 26 is not filled in the cornerportion side surface 4 c due to the surface tension of thefunctional liquid 26. When thefunctional liquid 26 is dried and solidified, thecolored film 5 may not be formed on a part of the partitionwall bottom surface 6.

図９（ａ）〜図１０（ａ）はステップＳ４の角部塗布工程に対応する図である。図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２１のノズル２４から隔壁４の角部側面４ｃに向けて液滴２９を吐出する。このとき、図９（ａ）に示すように、基板２と液滴吐出ヘッド２１とを連続して相対移動させ、角部側面４ｃと対向する場所にノズル２４が位置するときに、ノズル２４から液滴２９を吐出する。そして、図９（ｂ）に示すように、液滴２９の着弾位置３１が角部側面４ｃに位置するようにする。その結果、図９（ｃ）及び図１０（ａ）に示すように、ステップＳ３にて隔壁底面６に着弾した機能液２６と角部側面４ｃに着弾した機能液２６が融合する。その結果、隔壁４に囲まれた着色領域７の総ての場所に機能液２６が充填される。  FIG. 9A to FIG. 10A are diagrams corresponding to the corner application step of step S4. As shown in FIGS. 9A and 9B, thedroplets 29 are ejected from thenozzles 24 of thedroplet ejection head 21 toward thecorner side surface 4 c of thepartition wall 4. At this time, as shown in FIG. 9A, thesubstrate 2 and thedroplet discharge head 21 are continuously moved relative to each other, and when thenozzle 24 is located at a position facing thecorner side surface 4c, Adroplet 29 is discharged. Then, as shown in FIG. 9B, thelanding position 31 of thedroplet 29 is positioned on thecorner side surface 4c. As a result, as shown in FIGS. 9C and 10A, thefunctional liquid 26 that has landed on the partitionwall bottom surface 6 in step S3 and thefunctional liquid 26 that has landed on thecorner side surface 4c are fused. As a result, thefunctional liquid 26 is filled in all the places of thecolored region 7 surrounded by thepartition walls 4.

図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）はステップＳ５の固化工程に対応する図である。図１０（ｂ）に示すように、機能液２６が塗布された基板２を乾燥装置３８に配置する。乾燥装置３８は乾燥室３９を備えている。乾燥室３９は載置台４０を備え、基板２は載置台４０に配置される。乾燥室３９は図中上側の供給管４１及び供給バルブ４２を介して乾燥気体供給部４３と接続されている。さらに、乾燥室３９は図中下側の排気管４４及び排気バルブ４５を介して排気部４６と接続されている。そして、乾燥気体供給部４３から供給される乾燥気体４７が供給バルブ４２及び供給管４１を介して乾燥室３９に供給される。次に、乾燥気体４７は基板２に塗布された機能液２６に沿って流動する。このとき、機能液２６に含まれる溶媒３２及び分散媒３３を乾燥気体４７が蒸発させて除去することにより、機能液２６を乾燥させる。そして、機能液２６が乾燥することにより、着色膜５が形成される。次に、溶媒３２及び分散媒３３を含んだ乾燥気体４７は排気管４４及び排気バルブ４５を通過して排気部４６により図示しない処理装置に排気される。その結果、図１０（ｃ）に示すように、基板２の着色領域７に着色膜５が形成されたカラーフィルタ１が完成する。以上で、カラーフィルタ１の製造工程を終了する。  FIG. 10B and FIG. 10C are diagrams corresponding to the solidification process of step S5. As shown in FIG. 10B, thesubstrate 2 on which thefunctional liquid 26 is applied is placed in the dryingdevice 38. The dryingdevice 38 includes a dryingchamber 39. The dryingchamber 39 includes a mounting table 40, and thesubstrate 2 is disposed on the mounting table 40. The dryingchamber 39 is connected to a dryinggas supply unit 43 via asupply pipe 41 and asupply valve 42 on the upper side in the drawing. Further, the dryingchamber 39 is connected to theexhaust unit 46 through thelower exhaust pipe 44 and theexhaust valve 45 in the drawing. Then, thedry gas 47 supplied from the drygas supply unit 43 is supplied to the dryingchamber 39 via thesupply valve 42 and thesupply pipe 41. Next, thedry gas 47 flows along thefunctional liquid 26 applied to thesubstrate 2. At this time, thefunctional liquid 26 is dried by evaporating and removing the solvent 32 and the dispersion medium 33 contained in thefunctional liquid 26 by thedry gas 47. And thecolored film 5 is formed when thefunctional liquid 26 dries. Next, thedry gas 47 containing the solvent 32 and the dispersion medium 33 passes through theexhaust pipe 44 and theexhaust valve 45 and is exhausted to the processing apparatus (not shown) by theexhaust unit 46. As a result, as shown in FIG. 10C, thecolor filter 1 in which thecolored film 5 is formed in thecolored region 7 of thesubstrate 2 is completed. Above, the manufacturing process of thecolor filter 1 is complete | finished.

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ２の表面改質工程において隔壁４の角部側面４ｃが親液化される。そして、ステップＳ３の内部塗布工程では隔壁底面６に機能液２６を塗布する。塗布された機能液２６の体積が小さいとき、機能液２６には表面張力が働くので機能液２６は球体に近づく傾向がある。その結果、角部側面４ｃには機能液２６が塗布されない可能性がある。ステップＳ４の角部塗布工程では角部側面４ｃに機能液２６を塗布している。角部側面４ｃは親液化されることにより液状体が濡れ広がり易くなっており、角部側面４ｃに直接機能液２６が塗布されるので確実に機能液２６を塗布することができる。そして、ステップＳ５の固化工程において機能液２６を固化することにより、着色領域７の総ての場所に着色膜５を形成することができる。As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to the present embodiment, thecorner side surface 4c of thepartition wall 4 is made lyophilic in the surface modification step of Step S2. Then, in the internal coating step of step S3, thefunctional liquid 26 is applied to the partitionwall bottom surface 6. When the volume of the appliedfunctional liquid 26 is small, thefunctional liquid 26 tends to approach a sphere because surface tension acts on thefunctional liquid 26. As a result, thefunctional liquid 26 may not be applied to thecorner side surface 4c. In the corner application step of step S4, thefunctional liquid 26 is applied to thecorner side surface 4c. Since thecorner side surface 4c is made lyophilic, the liquid easily spreads and thefunctional liquid 26 is applied directly to thecorner side surface 4c, so that thefunctional liquid 26 can be reliably applied. And thecolored film 5 can be formed in all the places of the colored area |region 7 by solidifying thefunctional liquid 26 in the solidification process of step S5.

（２）本実施形態によれば、機能液２６を液滴２９にして吐出している。塗布する機能液２６の量は１滴の液滴２９の量と液滴数とを積算した量となるので、液滴２９の体積と液滴数を制御することにより機能液２６の量を精度良く吐出して着色領域７に機能液２６を塗布することができる。  (2) According to this embodiment, thefunctional liquid 26 is discharged asdroplets 29. Since the amount of thefunctional liquid 26 to be applied is an amount obtained by integrating the amount of onedroplet 29 and the number of droplets, the amount of thefunctional liquid 26 is accurately controlled by controlling the volume and the number ofdroplets 29. Thefunctional liquid 26 can be applied to thecolored region 7 by discharging well.

（３）本実施形態によれば、ステップＳ４の角部塗布工程において、小さい液滴２９を吐出する。このとき、着弾した液滴２９が隔壁上面４ａを塗布する面積を小さくすることができる。そして、隔壁上面４ａに着弾した液滴２９は着色領域７に塗布された機能液２６と合体する為、隔壁上面４ａに機能液２６を残り難くすることができる。  (3) According to the present embodiment,small droplets 29 are ejected in the corner application step of step S4. At this time, the area where thelanded droplets 29 apply the partitionupper surface 4a can be reduced. And since thedroplet 29 which landed on the partitionupper surface 4a is united with thefunctional liquid 26 applied to thecolored region 7, it is difficult for thefunctional liquid 26 to remain on the partitionupper surface 4a.

（４）本実施形態によれば、隔壁４の角部側面４ｃに親液面が形成される。従って、着色領域７に機能液２６を塗布するとき、機能液２６が流動し難い隔壁４の角部側面４ｃに、機能液２６を配置し易くすることができる。その結果、着色領域７の総ての場所に機能液２６を配置することができる。  (4) According to this embodiment, a lyophilic surface is formed on thecorner side surface 4 c of thepartition wall 4. Therefore, when thefunctional liquid 26 is applied to thecolored region 7, thefunctional liquid 26 can be easily arranged on thecorner side surface 4 c of thepartition wall 4 where thefunctional liquid 26 hardly flows. As a result, thefunctional liquid 26 can be disposed at all locations in thecolored region 7.

（５）本実施形態によれば、隔壁上面４ａは撥液性を有し、隔壁４の角部側面４ｃは親液性を有している。従って、隔壁４の角部側面４ｃと隔壁上面４ａとを跨いで液滴２９が位置するとき、液滴２９は表面張力により隔壁上面４ａから隔壁４の角部側面４ｃへ移動し易くなる。その結果、塗布した機能液２６は着色領域７の隅にも流入し易くすることができる。  (5) According to the present embodiment, the partitionupper surface 4a has liquid repellency, and thecorner side surface 4c of thepartition 4 has lyophilicity. Accordingly, when thedroplet 29 is positioned across thecorner side surface 4c of thepartition wall 4 and the partition wallupper surface 4a, thedroplet 29 is likely to move from thepartition surface 4a to thecorner side surface 4c of thepartition wall 4 due to surface tension. As a result, the applied functional liquid 26 can easily flow into the corners of thecolored region 7.

（６）本実施形態によれば、隔壁上面４ａは撥液面となっている。従って、着色領域７内の機能液２６は隔壁４を乗越えて、隣りの着色領域７へ移動し難くすることができる。  (6) According to this embodiment, the partitionupper surface 4a is a liquid repellent surface. Therefore, thefunctional liquid 26 in thecolored region 7 can be made difficult to move over thepartition wall 4 to the adjacentcolored region 7.

（７）本実施形態によれば、隔壁側面４ｂにおいて角部側面４ｃは中部側面４ｄより親液性が高いので、機能液２６に働く表面張力により機能液２６は中部側面４ｄから角部側面４ｃに流動し易くなる。さらに、中部側面４ｄは隔壁上面４ａより親液性が高く形成されているので、機能液２６が隔壁上面４ａと中部側面４ｄを跨いで配置されるとき、機能液２６は隔壁上面４ａから中部側面４ｄへ流動し易くなっている。従って、塗布される機能液２６を着色領域７に集めて、着色領域７の総ての場所に機能液２６を配置することができる。  (7) According to the present embodiment, thecorner side surface 4c of the partitionwall side surface 4b is more lyophilic than themiddle side surface 4d. It becomes easy to flow. Further, since themiddle side surface 4d is formed more lyophilic than the partitionupper surface 4a, when thefunctional liquid 26 is disposed across the partitionupper surface 4a and themiddle side surface 4d, thefunctional liquid 26 is separated from the partitionupper surface 4a. It is easy to flow to 4d. Therefore, thefunctional liquid 26 to be applied can be collected in thecolored area 7 and thefunctional liquid 26 can be disposed at all locations in thecolored area 7.

（第２の実施形態）
次に、上記のカラーフィルタを搭載した液晶表示装置とその液晶表示装置を製造する一実施形態について図１１を用いて説明する。まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の１つである液晶表示装置について説明する。図１１は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。(Second Embodiment)
Next, a liquid crystal display device equipped with the color filter and an embodiment for manufacturing the liquid crystal display device will be described with reference to FIG. First, a liquid crystal display device that is one of electro-optical devices including a color filter will be described. FIG. 11 is a schematic exploded perspective view showing the structure of the liquid crystal display device.

図１１に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置５０は、透過型の液晶表示パネル５１と、液晶表示パネル５１を照明する照明装置５２とを備えている。液晶表示パネル５１は、液晶５３を素子基板５４とカラーフィルタとしての対向基板５５とで挟持して配置されている。そして、素子基板５４における下側の表面には、下偏光板５６が配置され、対向基板５５における上側の表面には、上偏光板５７が配置されている。  As shown in FIG. 11, the liquidcrystal display device 50 as an electro-optical device includes a transmissive liquidcrystal display panel 51 and anillumination device 52 that illuminates the liquidcrystal display panel 51. The liquidcrystal display panel 51 is arranged with aliquid crystal 53 sandwiched between anelement substrate 54 and acounter substrate 55 as a color filter. A lower polarizingplate 56 is disposed on the lower surface of theelement substrate 54, and an upperpolarizing plate 57 is disposed on the upper surface of thecounter substrate 55.

素子基板５４は光透過性のある材料からなる基板５８を備え、基板５８の上側には、絶縁膜５９が形成されている。絶縁膜５９上には、マトリクス状に画素電極６０が形成され、各画素電極６０には、スイッチング機能を有するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）素子６１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子６１のドレイン端子に画素電極６０が接続されている。  Theelement substrate 54 includes asubstrate 58 made of a light-transmitting material, and an insulatingfilm 59 is formed on thesubstrate 58. On the insulatingfilm 59,pixel electrodes 60 are formed in a matrix, and eachpixel electrode 60 is formed with a TFT (Thin Film Transistor)element 61 having a switching function. Thepixel electrode 60 is connected to the drain terminal of theTFT element 61.

各画素電極６０及びＴＦＴ素子６１を囲んで、格子状に、走査線６２及びデータ線６３が形成されている。そして、走査線６２は、ＴＦＴ素子６１のゲート端子と接続され、データ線６３は、ＴＦＴ素子６１のソース端子と接続されている。そして、画素電極６０、ＴＦＴ素子６１、走査線６２、データ線６３等からなる素子層６４の液晶５３側には、配向膜６５が形成されている。  Ascanning line 62 and adata line 63 are formed in a lattice shape so as to surround eachpixel electrode 60 and theTFT element 61. Thescanning line 62 is connected to the gate terminal of theTFT element 61, and thedata line 63 is connected to the source terminal of theTFT element 61. Analignment film 65 is formed on theliquid crystal 53 side of theelement layer 64 including thepixel electrode 60, theTFT element 61, thescanning line 62, thedata line 63, and the like.

対向基板５５は光透過性のある材料からなる基板６７を備えている。基板６７の下側には、遮光性を有する材料からなる下層隔壁６８が格子状に形成され、下層隔壁６８の下側には、有機化合物等からなる上層隔壁６９が形成されている。そして、下層隔壁６８及び上層隔壁６９により隔壁７０が構成されている。  Thecounter substrate 55 includes asubstrate 67 made of a light transmissive material. Alower partition wall 68 made of a light-shielding material is formed in a lattice shape below thesubstrate 67, and an upperlayer partition wall 69 made of an organic compound or the like is formed below the lowerlayer partition wall 68. Apartition wall 70 is constituted by the lowerlayer partition wall 68 and the upperlayer partition wall 69.

隔壁７０によってマトリクス状に区画された凹部には、色要素としての着色層７１として、赤色着色層７１Ｒ，緑色着色層７１Ｇ，青色着色層７１Ｂが形成されている。そして、隔壁７０と着色層７１とを覆うオーバーコート層７２が形成されている。このオーバーコート層７２を覆うようにＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）等の透明導電膜からなる電極膜としての対向電極７３が形成されている。さらに、対向電極７３の液晶５３側には、配向膜７４が形成されている。配向膜７４と配向膜６５とには、溝状の凹凸が配列して形成され、液晶５３が凹凸に沿って配列して形成されている。  In the recesses partitioned in a matrix by thepartition walls 70, a redcolored layer 71R, a greencolored layer 71G, and a bluecolored layer 71B are formed ascolored layers 71 as color elements. Anovercoat layer 72 that covers thepartition wall 70 and thecolored layer 71 is formed. Acounter electrode 73 as an electrode film made of a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide) is formed so as to cover theovercoat layer 72. Further, analignment film 74 is formed on thecounter electrode 73 on theliquid crystal 53 side. Thealignment film 74 and thealignment film 65 are formed with groove-shaped unevenness, and theliquid crystal 53 is formed along the unevenness.

液晶５３は、該液晶５３を挟持する画素電極６０と対向電極７３とに電圧を印加すると液晶５３の傾き角度が変化する性質を持っており、ＴＦＴ素子６１のスイッチング動作により、液晶５３にかける電圧をコントロールして液晶５３の傾き角度を制御し、画素毎に光を透過させたり遮ったりする動作を行う。尚、光が液晶５３により遮られた画素には当然光は入射しないため、黒色となる。このようにＴＦＴのスイッチング動作により、液晶５３をシャッタとして動作させることにより、画素毎に光の透過をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。  Theliquid crystal 53 has a property that the tilt angle of theliquid crystal 53 changes when a voltage is applied to thepixel electrode 60 and thecounter electrode 73 sandwiching theliquid crystal 53, and the voltage applied to theliquid crystal 53 by the switching operation of theTFT element 61. Is controlled to control the tilt angle of theliquid crystal 53 to perform the operation of transmitting or blocking light for each pixel. In addition, since light does not naturally enter the pixel where the light is blocked by theliquid crystal 53, the color is black. Thus, by operating theliquid crystal 53 as a shutter by switching operation of the TFT, the transmission of light is controlled for each pixel, and the image can be displayed by blinking the pixel.

画素電極６０は、ＴＦＴ素子６１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線６３から供給される画素信号が各画素電極６０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極６０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、対向基板５５の対向電極７３と画素電極６０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、液晶５３の光透過量が変化する。  Thepixel electrode 60 is electrically connected to the drain terminal of theTFT element 61, and the pixel signal supplied from thedata line 63 is supplied to eachpixel electrode 60 at a predetermined timing by turning on the TFT for a certain period. Supplied in. The voltage level of the pixel signal of the predetermined level supplied to thepixel electrode 60 in this way is held between thecounter electrode 73 and thepixel electrode 60 of thecounter substrate 55, and theliquid crystal 53 is set according to the voltage level of the pixel signal. The amount of transmitted light changes.

照明装置５２は、光源を備え、この光源からの光を液晶表示パネル５１に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等を備えている。光源には、白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用いることが可能であり、本実施形態においては、冷陰極管を採用している。  Theillumination device 52 includes a light source, and includes a light guide plate, a diffusion plate, a reflection plate, and the like that can emit light from the light source toward the liquidcrystal display panel 51. As the light source, a white LED, EL, cold cathode tube, or the like can be used. In this embodiment, a cold cathode tube is employed.

尚、下偏光板５６及び、上偏光板５７は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルム等の光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５１は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子６１に限らずＴＦＤ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｄｉｏｄｅ）素子を有したものでもよく、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。  The lowerpolarizing plate 56 and the upperpolarizing plate 57 may be combined with an optical functional film such as a retardation film used for the purpose of improving the viewing angle dependency. The liquidcrystal display panel 51 is not limited to theTFT element 61 as an active element, and may have a TFD (Thin Film Diode) element, or may be a passive liquid crystal display device in which electrodes constituting pixels intersect with each other. Good.

液晶表示装置５０を製造する工程として、基板５８に画素電極６０やＴＦＴ素子６１等の素子層６４を形成する素子形成工程が行われる。次に、配向膜６５を形成する配向膜形成工程が行われて素子基板５４が完成する。一方、基板６７に着色層７１及びオーバーコート層７２を形成するカラーフィルタ形成工程が行われる。次に、オーバーコート層７２の下面に対向電極７３を形成する電極形成工程が行われる。続いて、対向電極７３の下面に配向膜７４を形成する配向膜形成工程が行われて対向基板５５が完成する。次に、素子基板５４に液晶５３を塗布する液晶配置工程が行われる。続いて、素子基板５４または対向基板５５に接着剤を塗布した後、素子基板５４と対向基板５５とを接着する組立工程が行われる。次に、下偏光板５６と上偏光板５７とを貼り付ける偏光板貼付工程が行われて、液晶表示パネル５１が完成する。  As a process for manufacturing the liquidcrystal display device 50, an element forming process for forming anelement layer 64 such as thepixel electrode 60 and theTFT element 61 on thesubstrate 58 is performed. Next, an alignment film forming step for forming thealignment film 65 is performed to complete theelement substrate 54. On the other hand, a color filter forming process for forming thecolored layer 71 and theovercoat layer 72 on thesubstrate 67 is performed. Next, an electrode forming step for forming thecounter electrode 73 on the lower surface of theovercoat layer 72 is performed. Subsequently, an alignment film forming step for forming analignment film 74 on the lower surface of thecounter electrode 73 is performed to complete thecounter substrate 55. Next, a liquid crystal arrangement step for applying theliquid crystal 53 to theelement substrate 54 is performed. Subsequently, after an adhesive is applied to theelement substrate 54 or thecounter substrate 55, an assembly process for bonding theelement substrate 54 and thecounter substrate 55 is performed. Next, a polarizing plate attaching step for attaching the lowerpolarizing plate 56 and the upperpolarizing plate 57 is performed, and the liquidcrystal display panel 51 is completed.

対向基板５５の着色層７１を形成するカラーフィルタ形成工程において、第１の実施形態における製造工程と同様な工程を用いる。具体的には、隔壁７０に囲まれた基板６７と隔壁７０の側面に親液処理を施して親液面を形成する。次に、隔壁７０の側面において角部としての四隅を除いて親液面を改質して親液性を低下させる。続いて、隔壁７０の液晶５３側の面に撥液処理を施して撥液面を形成する。次に、液滴吐出装置１０を用いて着色層７１の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。  In the color filter forming process for forming thecolored layer 71 of thecounter substrate 55, a process similar to the manufacturing process in the first embodiment is used. Specifically, a lyophilic process is performed on the side surfaces of thesubstrate 67 and thepartition wall 70 surrounded by thepartition wall 70 to form a lyophilic surface. Next, the lyophilic surface is modified by excluding the four corners as corners on the side surface of thepartition wall 70 to reduce the lyophilicity. Subsequently, a liquid repellent treatment is performed on theliquid crystal 53 side surface of thepartition wall 70 to form a liquid repellent surface. Next, thefunctional liquid 26 containing the material of thecolored layer 71 is discharged asdroplets 29 using thedroplet discharge device 10 and applied.

このとき、まず基板６７上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁７０の側面の四隅に液滴２９を吐出する。その結果、隔壁７０に囲まれた着色領域は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して着色層７１を形成する。  At this time, first, thedroplet 29 is discharged onto thesubstrate 67 to apply a predetermined amount of thefunctional liquid 26. Next, the size of thedroplet 29 is reduced, and thedroplet 29 is discharged to the four corners of the side surface of thepartition wall 70. As a result, thefunctional liquid 26 is applied to all the colored areas surrounded by thepartition walls 70. Subsequently, the appliedfunctional liquid 26 is dried and solidified to form thecolored layer 71.

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、隔壁７０に囲まれた着色領域は総て着色されている。従って、着色層７１を光が通過するとき、総ての光は着色される。その結果、液晶表示装置５０は品質の良い画像を提供することができる。As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to this embodiment, the colored regions surrounded by thepartition walls 70 are all colored. Therefore, when light passes through thecolored layer 71, all light is colored. As a result, the liquidcrystal display device 50 can provide a high-quality image.

（第３の実施形態）
次に、上記の膜形成方法を応用して有機ＥＬ装置（ＥＬＥＣＴＲＯ ＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ）を製造する一実施形態について図１２を用いて説明する。まず、電気光学装置の１つである有機ＥＬ装置について説明する。図１２は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。(Third embodiment)
Next, an embodiment of manufacturing an organic EL device (ELECTRO LUMINESENCE) by applying the above film forming method will be described with reference to FIG. First, an organic EL device that is one of electro-optical devices will be described. FIG. 12 is a schematic exploded perspective view showing the structure of the organic EL device.

図１２に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置８０は基板８１を備え、基板８１の上側には、絶縁膜８２が形成されている。絶縁膜８２上には、コンタクト電極８３がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極８３と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子８４が形成されている。そして、ＴＦＴ素子８４のドレイン端子にコンタクト電極８３が接続されている。  As shown in FIG. 12, theorganic EL device 80 as an electro-optical device includes asubstrate 81, and an insulatingfilm 82 is formed on thesubstrate 81. On the insulatingfilm 82,contact electrodes 83 are formed in a matrix, andTFT elements 84 as semiconductors having a switching function are formed at positions adjacent to thecontact electrodes 83. Acontact electrode 83 is connected to the drain terminal of theTFT element 84.

各コンタクト電極８３及びＴＦＴ素子８４を囲むように、走査線８５及びデータ線８６が格子状に形成されている。そして、走査線８５は、ＴＦＴ素子８４のゲート端子と接続され、データ線８６は、ＴＦＴ素子８４のソース端子と接続されている。そして、コンタクト電極８３、ＴＦＴ素子８４、走査線８５、データ線８６等からなる素子層８７が形成されている。素子層８７の上側には絶縁膜８８が形成され、絶縁膜８８の上側には、隔壁８９が格子状に形成されている。  Scanninglines 85 anddata lines 86 are formed in a grid so as to surround eachcontact electrode 83 andTFT element 84. Thescanning line 85 is connected to the gate terminal of theTFT element 84, and thedata line 86 is connected to the source terminal of theTFT element 84. Anelement layer 87 composed of thecontact electrode 83, theTFT element 84, thescanning line 85, thedata line 86, and the like is formed. An insulatingfilm 88 is formed above theelement layer 87, andpartition walls 89 are formed in a lattice shape above the insulatingfilm 88.

隔壁８９により形成される凹状領域の各底部には、第１の電極としての画素電極９０が形成され、画素電極９０は、コンタクト電極８３と電気的に接続されている。隔壁８９に囲まれた領域を発光領域９１と称し、この発光領域９１は方形に形成されている。従って、発光領域９１には４箇所の角部９１ａが配置されている。画素電極９０の上面には、発光素子としての正孔輸送層９２が形成され、正孔輸送層９２の上面には、発光要素としての発光層９３Ｒ，９３Ｇ，９３Ｂ等の発光層９３が形成されている。そして、正孔輸送層９２と発光層９３とにより機能層９４が形成されている。発光層９３Ｒは、赤色を発光する有機発光材料等により構成された発光層であり、発光層９３Ｇは、緑色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。同様に、発光層９３Ｂは、青色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。  Apixel electrode 90 as a first electrode is formed at each bottom of the concave region formed by thepartition wall 89, and thepixel electrode 90 is electrically connected to thecontact electrode 83. A region surrounded by thepartition wall 89 is referred to as alight emitting region 91, and thelight emitting region 91 is formed in a square shape. Therefore, fourcorners 91 a are arranged in thelight emitting region 91. Ahole transport layer 92 as a light emitting element is formed on the upper surface of thepixel electrode 90, and alight emitting layer 93 such as alight emitting layer 93 R, 93 G, 93 B as a light emitting element is formed on the upper surface of thehole transport layer 92. ing. Afunctional layer 94 is formed by thehole transport layer 92 and thelight emitting layer 93. Thelight emitting layer 93R is a light emitting layer made of an organic light emitting material that emits red light, and thelight emitting layer 93G is a light emitting layer made of an organic light emitting material that emits green light. Similarly, thelight emitting layer 93B is a light emitting layer composed of an organic light emitting material that emits blue light.

機能層９４及び隔壁８９の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料等からなる第２の電極としての陰極９５が形成されている。本実施形態においては、陰極９５は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）を採用している。陰極９５の上面には、光透過性を有する材料等からなる封止膜９６が形成され、陰極９５及び機能層９４が空気中の酸素により酸化されることを防止している。  Acathode 95 as a second electrode made of a light-transmitting conductive material or the like is formed over the entire upper surface of thefunctional layer 94 and thepartition wall 89. In the present embodiment, thecathode 95 employs, for example, ITO (Indium Tin Oxide). A sealingfilm 96 made of a light-transmitting material or the like is formed on the upper surface of thecathode 95 to prevent thecathode 95 and thefunctional layer 94 from being oxidized by oxygen in the air.

画素電極９０、機能層９４、陰極９５により発光素子９７が構成されている。画素電極９０と陰極９５との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層９２は、正孔のみを流動する。そして、発光層９３は、正孔輸送層９２から供給される正孔と陰極９５から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子８４は、スイッチング動作を行い、機能層９４にかける電圧をコントロールすることにより、発光層９３が発光する光量を制御する。このように、発光層９３が発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。  Thepixel electrode 90, thefunctional layer 94, and thecathode 95 constitute alight emitting element 97. When a voltage is applied between thepixel electrode 90 and thecathode 95, thehole transport layer 92 flows only holes. Thelight emitting layer 93 has a property of emitting light by energy when the holes supplied from thehole transport layer 92 and the electrons supplied from thecathode 95 are combined. TheTFT element 84 performs a switching operation and controls the amount of light emitted from thelight emitting layer 93 by controlling the voltage applied to thefunctional layer 94. In this manner, by controlling the amount of light emitted from thelight emitting layer 93, the amount of light can be controlled for each pixel, and the image can be displayed by blinking the pixel.

画素電極９０は、ＴＦＴ素子８４のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線８６から供給される画素信号が各画素電極９０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極９０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極９５と画素電極９０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層９３Ｒ，９３Ｇ，９３Ｂが発光する光量が変化する。  Thepixel electrode 90 is electrically connected to the drain terminal of theTFT element 84, and the pixel signal supplied from thedata line 86 is applied to eachpixel electrode 90 at a predetermined timing by turning on the TFT for a certain period. Supplied in. The voltage level of the pixel signal of the predetermined level supplied to thepixel electrode 90 in this way is held between thecathode 95 and thepixel electrode 90, and thelight emitting layers 93R, 93G, and 93B according to the voltage level of the pixel signal. The amount of light emitted changes.

封止膜９６の上側には隔壁９８が格子状に形成されている。隔壁９８に囲まれた領域を着色領域９９と称し、この着色領域９９は方形に形成されている。従って、着色領域９９には４箇所の角部９９ａが配置されている。封止膜９６上面の着色領域９９には、赤色着色膜１００Ｒ、青色着色膜１００Ｂ、緑色着色膜１００Ｇ等の色要素としての着色膜１００が形成されている。赤色着色膜１００Ｒは赤色の発光層９３Ｒと対向する場所に配置され、赤色の発光層９３Ｒが発光する色合いを調整する機能を備えている。同様に、青色着色膜１００Ｂは青色の発光層９３Ｂと対向する場所に配置され、緑色着色膜１００Ｇは緑色の発光層９３Ｇと対向する場所に配置されている。そして、青色着色膜１００Ｂ、緑色着色膜１００Ｇはそれぞれ青色の発光層９３Ｂ、緑色の発光層９３Ｇが発光する色合いを調整する機能を備えている。着色膜１００及び隔壁９８の上側には保護膜１０１が配置され、保護膜１０１により着色膜１００が汚れないように保護されている。さらに、保護膜１０１の上側が平坦に形成されることにより、発光層９３が発光する光が上側へ直進するようになっている。封止膜９６、隔壁９８、着色膜１００によりカラーフィルタ１０２が構成されている。  On the upper side of the sealingfilm 96,partition walls 98 are formed in a lattice shape. A region surrounded by thepartition wall 98 is referred to as acolored region 99, and thecolored region 99 is formed in a square shape. Accordingly, fourcorners 99 a are arranged in thecolored region 99. In thecolored region 99 on the upper surface of the sealingfilm 96, acolored film 100 as a color element such as a redcolored film 100R, a bluecolored film 100B, and a greencolored film 100G is formed. The redcolored film 100R is disposed at a location facing the redlight emitting layer 93R, and has a function of adjusting the hue of light emitted by the redlight emitting layer 93R. Similarly, the bluecolored film 100B is disposed at a location facing the bluelight emitting layer 93B, and the greencolored film 100G is disposed at a location facing the greenlight emitting layer 93G. The bluecolored film 100B and the greencolored film 100G have a function of adjusting the hue of light emitted from the bluelight emitting layer 93B and the greenlight emitting layer 93G, respectively. Aprotective film 101 is disposed above thecolored film 100 and thepartition wall 98, and thecolored film 100 is protected by theprotective film 101 from being contaminated. Further, the upper side of theprotective film 101 is formed flat, so that the light emitted from thelight emitting layer 93 goes straight upward. Acolor filter 102 is configured by the sealingfilm 96, thepartition wall 98, and thecolored film 100.

有機ＥＬ装置８０を製造する工程として、基板８１にコンタクト電極８３やＴＦＴ素子８４等の素子層８７や絶縁膜８８を形成する素子形成工程が行われる。次に、隔壁８９を形成する隔壁形成工程が行われ、続いて、画素電極９０を形成する電極形成工程が行われる。次に、隔壁８９の表面に親液処理と撥液処理を行う表面改質工程が行われる。正孔輸送層９２の材料を含む液状体としての機能液２６を塗布する塗布工程が行われ、続いて、塗布した機能液２６を乾燥して固化する固化工程が行われる。次に、発光層９３の材料を含む機能液２６を塗布する塗布工程が行われ、続いて、塗布した機能液２６を乾燥して固化する固化工程が行われる。  As a process for manufacturing theorganic EL device 80, an element forming process for forming anelement layer 87 such as thecontact electrode 83 and theTFT element 84 and an insulatingfilm 88 on thesubstrate 81 is performed. Next, a partition formation process for forming thepartition 89 is performed, and then an electrode formation process for forming thepixel electrode 90 is performed. Next, a surface modification process is performed on the surface of thepartition wall 89 to perform a lyophilic process and a liquid repellent process. An application step of applying thefunctional liquid 26 as a liquid containing the material of thehole transport layer 92 is performed, and then a solidification step of drying and solidifying the appliedfunctional liquid 26 is performed. Next, an application step of applying thefunctional liquid 26 containing the material of thelight emitting layer 93 is performed, and subsequently, a solidification step of drying and solidifying the appliedfunctional liquid 26 is performed.

次に、陰極９５を形成した後、陰極９５上に封止膜９６を形成する電極形成工程が行われる。続いて、封止膜９６上に隔壁９８を形成する隔壁形成工程が行われる。次に、着色膜１００の材料を含む機能液２６を塗布する塗布工程が行われ、続いて、塗布した機能液２６を乾燥して固化する固化工程が行われる。次に、保護膜１０１を塗布した後、乾燥して固化する保護膜形成工程が行われて、有機ＥＬ装置８０が完成する。  Next, after thecathode 95 is formed, an electrode forming step for forming a sealingfilm 96 on thecathode 95 is performed. Subsequently, a partition formation process for forming apartition 98 on the sealingfilm 96 is performed. Next, an application process for applying thefunctional liquid 26 containing the material of thecolored film 100 is performed, and subsequently, a solidification process for drying and solidifying the appliedfunctional liquid 26 is performed. Next, after theprotective film 101 is applied, a protective film forming step of drying and solidifying is performed, and theorganic EL device 80 is completed.

画素電極９０の表面に正孔輸送層９２及び発光層９３を形成する工程において、第１の実施形態と同様な方法を用いる。具体的には、表面改質工程において隔壁８９に囲まれた画素電極９０と隔壁８９の側面８９ａに親液処理を施して親液面を形成する。次に、隔壁８９の側面８９ａにおいて角部９１ａを除いて親液面を改質して親液性を低下させる。続いて、隔壁８９の陰極９５側の上面８９ｂに撥液処理を施して撥液面を形成する。  In the step of forming thehole transport layer 92 and thelight emitting layer 93 on the surface of thepixel electrode 90, the same method as in the first embodiment is used. Specifically, the lyophilic surface is formed by performing lyophilic treatment on thepixel electrode 90 surrounded by thepartition wall 89 and theside surface 89a of thepartition wall 89 in the surface modification step. Next, the lyophilic surface is modified by removing thecorner portion 91a on theside surface 89a of thepartition wall 89 to lower the lyophilic property. Subsequently, theupper surface 89b of thepartition wall 89 on thecathode 95 side is subjected to a liquid repellent treatment to form a liquid repellent surface.

次に、塗布工程において液滴吐出装置１０を用いて正孔輸送層９２の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。このとき、まず画素電極９０上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する内部塗布工程を行う。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁８９の側面の四隅に液滴２９を吐出する角部塗布工程を行う。その結果、隔壁８９に囲まれた発光領域９１は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、固化工程において、塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して正孔輸送層９２を形成する。  Next, in the coating step, thefunctional liquid 26 containing the material of thehole transport layer 92 is ejected asdroplets 29 using thedroplet ejection device 10 and applied. At this time, first, an internal coating process is performed in which adroplet 29 is discharged onto thepixel electrode 90 to apply a predetermined amount of thefunctional liquid 26. Next, a corner coating process is performed in which the size of thedroplet 29 is reduced and thedroplet 29 is discharged to the four corners of the side surface of thepartition wall 89. As a result, thefunctional liquid 26 is applied to all places in thelight emitting region 91 surrounded by thepartition wall 89. Subsequently, in the solidifying step, the appliedfunctional liquid 26 is dried and solidified to form thehole transport layer 92.

次に、塗布工程において発光層９３の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。このときにも、まず正孔輸送層９２上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する内部塗布工程を行う。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁８９の側面の四隅に液滴２９を吐出する角部塗布工程を行う。その結果、隔壁８９に囲まれた発光領域９１は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、固化工程において塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して発光層９３を形成する。  Next, in the coating process, thefunctional liquid 26 containing the material of thelight emitting layer 93 is discharged asdroplets 29 and applied. Also at this time, first, an internal coating process is performed in which adroplet 29 is discharged onto thehole transport layer 92 to apply a predetermined amount of thefunctional liquid 26. Next, a corner coating process is performed in which the size of thedroplet 29 is reduced and thedroplet 29 is discharged to the four corners of the side surface of thepartition wall 89. As a result, thefunctional liquid 26 is applied to all places in thelight emitting region 91 surrounded by thepartition wall 89. Subsequently, thefunctional liquid 26 applied in the solidification step is dried to solidify to form thelight emitting layer 93.

さらに、封止膜９６上に着色膜１００を形成する工程において、第１の実施形態における製造工程と同様な方法を用いる。具体的には、表面改質工程において隔壁９８に囲まれた封止膜９６の上面と隔壁９８の側面９８ａに親液処理を施して親液面を形成する。次に、隔壁９８の側面９８ａにおいて角部９９ａを除いて親液面を改質して親液性を低下させる。続いて、隔壁９８の保護膜１０１側の上面９８ｂに撥液処理を施して撥液面を形成する。  Further, in the process of forming thecolored film 100 on the sealingfilm 96, the same method as the manufacturing process in the first embodiment is used. Specifically, a lyophilic surface is formed by performing a lyophilic treatment on the upper surface of the sealingfilm 96 surrounded by thepartition wall 98 and theside surface 98a of thepartition wall 98 in the surface modification step. Next, the lyophilic surface is modified by removing thecorner 99a on theside surface 98a of thepartition wall 98 to reduce lyophilicity. Subsequently, theupper surface 98b of thepartition wall 98 on theprotective film 101 side is subjected to a liquid repellent treatment to form a liquid repellent surface.

次に、塗布工程において着色膜１００の材料を含む機能液２６を液滴２９にして吐出して塗布する。このとき、まず封止膜９６上に液滴２９を吐出して所定量の機能液２６を塗布する内部塗布工程を行う。次に、液滴２９の大きさを小さくして隔壁９８の側面９８ａの四隅に液滴２９を吐出する角部塗布工程を行う。その結果、隔壁９８に囲まれた着色領域９９は総ての場所に機能液２６が塗布される。続いて、固化工程において、塗布した機能液２６を乾燥することにより固化して着色膜１００を形成する。  Next, in the coating process, thefunctional liquid 26 containing the material of thecolored film 100 is discharged asdroplets 29 and applied. At this time, first, an internal coating process is performed in which adroplet 29 is discharged onto the sealingfilm 96 to apply a predetermined amount of thefunctional liquid 26. Next, a corner coating process is performed in which the size of thedroplet 29 is reduced and thedroplet 29 is discharged to the four corners of theside surface 98 a of thepartition wall 98. As a result, thefunctional liquid 26 is applied to all thecolored regions 99 surrounded by thepartition walls 98. Subsequently, in the solidification step, the appliedfunctional liquid 26 is dried to solidify to form thecolored film 100.

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、発光素子９７を製造する表面改質工程において角部９１ａの隔壁８９の側面８９ａが親液化される。そして、塗布工程の内部塗布工程では隔壁８９内に機能層９４の材料を含む機能液２６を塗布する。このとき、機能液２６に表面張力が働くので、角部９１ａまで機能液２６が塗布されない場合がある。角部塗布工程では角部９１ａに機能液２６を塗布している。角部９１ａの隔壁８９の側面８９ａは親液化され、直接機能液２６が塗布されるので、確実に、角部９１ａに機能液２６を塗布することができる。そして、固化工程において液状体を固化することにより、発光領域の総ての場所に機能層９４を配置することができる。その結果、電極から発光領域に電流を流すとき、総ての発光領域から発光させることができる。As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to the present embodiment, theside surface 89a of thepartition wall 89 of thecorner portion 91a is made lyophilic in the surface modification step for manufacturing thelight emitting element 97. In the internal coating process of the coating process, thefunctional liquid 26 containing the material of thefunctional layer 94 is applied in thepartition wall 89. At this time, since the surface tension acts on thefunctional liquid 26, thefunctional liquid 26 may not be applied to thecorner 91a. In the corner application step, thefunctional liquid 26 is applied to thecorner 91a. Since theside surface 89a of thepartition wall 89 of thecorner portion 91a is made lyophilic and thefunctional liquid 26 is applied directly, thefunctional liquid 26 can be reliably applied to thecorner portion 91a. Then, by solidifying the liquid in the solidification step, thefunctional layer 94 can be disposed at all locations in the light emitting region. As a result, when current flows from the electrode to the light emitting region, light can be emitted from all the light emitting regions.

（２）本実施形態によれば、発光素子９７における角部９１ａの隔壁８９の側面８９ａに親液面が形成される。従って、発光領域９１に機能層９４の材料を含む機能液２６を塗布するとき、機能液２６が角部９１ａに流動し易くすることができる。その結果、発光領域９１の総ての場所に機能液２６を塗布することができる。  (2) According to this embodiment, a lyophilic surface is formed on theside surface 89 a of thepartition wall 89 of thecorner portion 91 a in thelight emitting element 97. Therefore, when thefunctional liquid 26 including the material of thefunctional layer 94 is applied to thelight emitting region 91, thefunctional liquid 26 can easily flow to thecorner portion 91a. As a result, thefunctional liquid 26 can be applied to all locations in thelight emitting region 91.

（３）本実施形態によれば、発光素子９７が備える機能層９４は、機能層９４を配置する予定の総ての場所に機能層９４が配置されている。機能層９４が適正に配置されない場所では画素電極９０と陰極９５との間に過電流が流れる為、発光素子９７の寿命が短くなる。発光素子９７が発光するときには、発光素子９７の総ての場所にて適正な電流が通電される。従って、有機ＥＬ装置８０は画素電極９０の寿命を長くすることができる。  (3) According to the present embodiment, thefunctional layer 94 included in thelight emitting element 97 is disposed at all locations where thefunctional layer 94 is to be disposed. Since overcurrent flows between thepixel electrode 90 and thecathode 95 in a place where thefunctional layer 94 is not properly disposed, the life of thelight emitting element 97 is shortened. When thelight emitting element 97 emits light, an appropriate current is applied at all locations of thelight emitting element 97. Therefore, theorganic EL device 80 can extend the lifetime of thepixel electrode 90.

（４）本実施形態によれば、カラーフィルタ１０２は第１の実施形態と同様の方法にて製造されているので、着色領域９９の総ての場所に着色膜１００が形成されている。その結果、有機ＥＬ装置８０は品質のよい画像を表示することができる。  (4) According to the present embodiment, since thecolor filter 102 is manufactured by the same method as that of the first embodiment, thecolored film 100 is formed at all locations in thecolored region 99. As a result, theorganic EL device 80 can display a high-quality image.

（第４の実施形態）
次に、第２の実施形態の液晶表示装置５０もしくは第３の実施形態の有機ＥＬ装置８０を備えた電子機器について説明する。図１３は、パーソナルコンピュータに液晶表示装置もしくは有機ＥＬ装置を搭載した例を示す概略斜視図である。図１３に示すように、電子機器としてのパーソナルコンピュータ１１０の本体は情報を表示する表示部に表示装置１１１を備えている。この表示装置１１１に、第２の実施形態の液晶表示装置５０もしくは第３の実施形態の有機ＥＬ装置８０が配設されている。パーソナルコンピュータ１１０に配置されている表示装置１１１は上記の実施形態により製造され、表示装置１１１が表示する画像は品質の良いカラー画像を表示することが可能になっている。従って、パーソナルコンピュータ１１０は見易い画面を表示する表示装置１１１を、表示部に備えた電子機器となっている。(Fourth embodiment)
Next, an electronic apparatus including the liquidcrystal display device 50 according to the second embodiment or theorganic EL device 80 according to the third embodiment will be described. FIG. 13 is a schematic perspective view showing an example in which a liquid crystal display device or an organic EL device is mounted on a personal computer. As shown in FIG. 13, the main body of apersonal computer 110 as an electronic apparatus includes adisplay device 111 in a display unit that displays information. Thedisplay device 111 is provided with the liquidcrystal display device 50 of the second embodiment or theorganic EL device 80 of the third embodiment. Thedisplay device 111 arranged in thepersonal computer 110 is manufactured according to the above-described embodiment, and the image displayed on thedisplay device 111 can display a color image with good quality. Therefore, thepersonal computer 110 is an electronic device provided with adisplay unit 111 that displays an easy-to-see screen in the display unit.

尚、上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、キャビティ２５を加圧する加圧手段に、圧電素子２８を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板２７を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ２５内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液２６を気化させたり、機能液２６に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板２７を変形させて、加圧しても良い。尚、この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用することができる。In addition, it is not limited to embodiment mentioned above, A various change and improvement can also be added. A modification will be described below.
(Modification 1)
In the first embodiment, thepiezoelectric element 28 is used as the pressurizing means for pressurizing thecavity 25, but other methods may be used. For example, thediaphragm 27 may be deformed and pressurized using a coil and a magnet. In addition, the heater wiring may be disposed in thecavity 25, and the heater wiring may be heated to vaporize thefunctional liquid 26 or expand the gas contained in thefunctional liquid 26 to apply pressure. In addition, thediaphragm 27 may be deformed and pressurized by using electrostatic attraction and repulsion. This content can also be applied to the second embodiment and the third embodiment.

（変形例２）
前記第１の実施形態では、隔壁４を形成した後、隔壁上面４ａに撥液性のある撥液面３５を形成したが、他の方法でも良い。例えば、隔壁４の材料から成る膜を形成した後、膜上を撥液処理する。次に、膜をパターニングして隔壁４を形成しても良い。この方法でも隔壁上面４ａに撥液性のある撥液面３５を形成することができる。(Modification 2)
In the first embodiment, after thepartition wall 4 is formed, the liquidrepellent surface 35 having liquid repellency is formed on the partitionupper surface 4a. However, other methods may be used. For example, after a film made of the material of thepartition walls 4 is formed, a liquid repellent treatment is performed on the film. Next, thepartition 4 may be formed by patterning the film. Also with this method, the liquidrepellent surface 35 having liquid repellency can be formed on the partitionupper surface 4a.

（変形例３）
前記第１の実施形態では、フッ素含有ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する方法を採用したが、他の方法でも良い。例えば、撥液原料を溶剤に溶かした機能液を塗布した後、乾燥して固化することにより撥液膜を形成しても良い。撥液原料を溶剤に溶かした機能液としては、例えば、ダイキン工業社製のオプツールＤＳＸをフッ素系溶剤に希釈した機能液を採用しても良い。尚、この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用することができる。(Modification 3)
In the first embodiment, the plasma processing method using the fluorine-containing gas as the processing gas is adopted, but other methods may be used. For example, the liquid repellent film may be formed by applying a functional liquid in which a liquid repellent raw material is dissolved in a solvent and then drying and solidifying. As the functional liquid in which the liquid repellent raw material is dissolved in a solvent, for example, a functional liquid in which OPTOOL DSX manufactured by Daikin Industries, Ltd. is diluted in a fluorine-based solvent may be employed. This content can also be applied to the second embodiment and the third embodiment.

他にも、撥液性を有する感光性樹脂を用いて隔壁４を形成しても良い。隔壁４は、透明でもよいが好ましくは遮光性を有する黒色がよく黒色感光性樹脂材料としては、例えば撥液性を発現させるヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂と、ネガ型の透明アクリル系感光性樹脂と、カーボンブラック等の黒色の無機顔料または黒色の有機顔料とを含む材料を採用しても良い。隔壁４の形成と撥液面３５の形成とが同一工程にて行える為、隔壁４の形成と撥液面３５の形成を生産性良く行うことができる。  In addition, thepartition walls 4 may be formed using a photosensitive resin having liquid repellency. Thepartition wall 4 may be transparent, but preferably black having a light-shielding property, and examples of the black photosensitive resin material include a fluororesin such as hexafluoropolypropylene that exhibits liquid repellency, and a negative transparent acrylic photosensitive resin. And a material including a black inorganic pigment such as carbon black or a black organic pigment may be employed. Since thepartition wall 4 and the liquidrepellent surface 35 can be formed in the same process, thepartition wall 4 and the liquidrepellent surface 35 can be formed with high productivity.

他にも、撥液膜を形成するフッ化アルキルシラン、ヘキサメチルジシラン、フッ化アルキルシラン、ヘキサメチルジシランを、気相成長法により形成しても良い。撥液膜の形成方法としては気相成長法に限らず、自己組織膜形成法を用いることができる。自己組織膜形成法は有機分子膜等からなる自己組織化膜を形成する方法であり、撥液性の材料を含む有機分子膜を形成することができる。  In addition, fluorinated alkylsilane, hexamethyldisilane, fluorinated alkylsilane, and hexamethyldisilane that form a liquid repellent film may be formed by vapor phase growth. The method for forming the liquid repellent film is not limited to the vapor phase growth method, and a self-organized film forming method can be used. The self-assembled film forming method is a method of forming a self-assembled film made of an organic molecular film or the like, and an organic molecular film containing a liquid repellent material can be formed.

（変形例４）
前記第１の実施形態では、ステップＳ３の内部塗布工程の後、ステップＳ４の角部塗布工程を行った。ステップＳ４の後にステップＳ３を行っても良い。ステップＳ４において角部側面４ｃに機能液２６が塗布されるので、着色角部７ａにも機能液２６を塗布することができる。尚、この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用することができる。(Modification 4)
In the first embodiment, the corner application process of step S4 is performed after the internal application process of step S3. Step S3 may be performed after step S4. Since thefunctional liquid 26 is applied to thecorner side surface 4c in step S4, thefunctional liquid 26 can also be applied to thecolored corner 7a. This content can also be applied to the second embodiment and the third embodiment.

（変形例５）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は同じ色の着色素子３が直線状に配列するストライプ状のフィルタであるが、着色素子３の配列はデルタ配置、モザイク配置等の配列にも採用することができる。(Modification 5)
In the first embodiment, thecolor filter 1 is a striped filter in whichcolored elements 3 of the same color are arranged in a straight line. However, the arrangement of thecolored elements 3 is also used for an arrangement such as a delta arrangement or a mosaic arrangement. be able to.

（変形例６）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は３色の着色素子３が配置されているが、３色に限らず、２色もしくは４色以上の色の場合にも適用することができる。(Modification 6)
In the first embodiment, thecolor filter 1 is provided with the threecolored elements 3, but thecolor filter 1 is not limited to three colors but can be applied to the case of two colors or four or more colors.

（変形例７）
前記第１の実施形態において、中部側面４ｄは角部側面４ｃより撥液性のある面に改質したが、中部側面４ｄは角部側面４ｃと同じ親液面としても良い。この場合においても、角部側面４ｃにおける機能液２６の流動不良が発生しないときには、中部側面４ｄの親液性を低下させなくても良い。(Modification 7)
In the first embodiment, themiddle side surface 4d is modified to be more liquid repellent than thecorner side surface 4c, but themiddle side surface 4d may be the same lyophilic surface as thecorner side surface 4c. Even in this case, when the flow failure of thefunctional liquid 26 on thecorner side surface 4c does not occur, the lyophilicity of themiddle side surface 4d may not be lowered.

（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図、（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式断面図。(A) is a schematic plan view which shows a color filter, (b) is a schematic cross section which shows a color filter.（ａ）は、着色領域を示す要部模式平面図、（ｂ）は、着色領域を示す要部模式断面図。(A) is a principal part schematic top view which shows a coloring area | region, (b) is a principal part schematic cross section which shows a coloring area | region.液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows the structure of a droplet discharge apparatus.（ａ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式平面図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。(A) is a schematic plan view showing the arrangement of the droplet discharge head, and (b) is a schematic cross-sectional view of a main part for explaining the structure of the droplet discharge head.カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the manufacturing process which forms a color filter.カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a color filter.カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a color filter.カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a color filter.カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a color filter.カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of a color filter.第２の実施形態にかかわる液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。FIG. 6 is a schematic exploded perspective view showing a structure of a liquid crystal display device according to a second embodiment.第３の実施形態にかかわる有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。The schematic exploded perspective view which shows the structure of the organic electroluminescent apparatus concerning 3rd Embodiment.第４の実施形態にかかわり、パーソナルコンピュータに液晶表示装置もしくは有機ＥＬ装置を搭載した例を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows the example which mounts a liquid crystal display device or an organic electroluminescent apparatus in a personal computer in connection with 4th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１，１０２…カラーフィルタ、２，６７，８１…基板、４，７０，８９，９８…隔壁、４ｂ…隔壁側面、４ｃ…角部としての角部側面、５，１００…色要素としての着色膜、７，９９…着色領域、２６…液状体としての機能液、２９…液滴、３４…親液膜、３４ａ…親液面、５５…カラーフィルタとしての対向基板、７１…色要素としての着色層、９０…第１の電極としての画素電極、９１ａ…角部、９３…発光要素としての発光層、９５…第２の電極としての陰極、１１０…電子機器としてのパーソナルコンピュータ。  DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,102 ... Color filter, 2,67, 81 ... Substrate, 4, 70, 89, 98 ... Partition, 4b ... Partition side, 4c ... Corner side as corner, 5,100 ... Colored film as color element , 7, 99 ... colored region, 26 ... functional liquid as liquid, 29 ... droplet, 34 ... lyophilic film, 34a ... lyophilic surface, 55 ... counter substrate as color filter, 71 ... coloring as color element Layer: 90 ... Pixel electrode as first electrode, 91a ... Corner, 93 ... Light emitting layer as light emitting element, 95 ... Cathode as second electrode, 110 ... Personal computer as electronic equipment.

Claims (11)

Translated fromJapanese

基板上を少なくとも１つの角部を有する着色領域に区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、
前記隔壁に囲まれた前記着色領域に色要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、
塗布された前記液状体を固化して色要素を形成する固化工程とを有し、
前記塗布工程は角部塗布工程を含み、
前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。A partition wall forming step for forming a partition wall for partitioning the substrate into colored regions having at least one corner;
A surface modification step of performing a lyophilic treatment on the side surface of the partition wall at the corner;
An application step of applying a liquid material containing a material of a color element to the colored region surrounded by the partition;
Solidifying the applied liquid material to form a color element; and
The application process includes a corner application process,
In the corner application step, the liquid material is applied to the side surface of the partition wall at the corner. 請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記塗布工程では前記液状体を液滴にして吐出して塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。It is a manufacturing method of the color filter of Claim 1, Comprising:
In the coating step, the liquid material is ejected in the form of liquid droplets and applied. 請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記角部塗布工程において吐出する前記液滴は、前記角部塗布工程以外の前記塗布工程において吐出する前記液滴より小さいことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。It is a manufacturing method of the color filter of Claim 2, Comprising:
The method for producing a color filter, wherein the droplets ejected in the corner application step are smaller than the droplets ejected in the application step other than the corner application step. 基板と、少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁と、
前記隔壁に囲まれた着色領域に形成された色要素と、を備え、
前記角部の前記隔壁の側面において前記色要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。A partition wall that partitions the substrate into a colored region having at least one corner,
A color element formed in a colored region surrounded by the partition, and
A color filter, wherein a lyophilic surface having a lyophilic property with respect to a liquid that dissolves or disperses the material of the color element is formed on a side surface of the partition at the corner. 請求項４に記載のカラーフィルタであって、
前記角部の前記隔壁上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。The color filter according to claim 4,
A color filter, wherein a liquid repellent surface having liquid repellency with respect to the liquid material is formed on the upper surface of the partition wall at the corner. 請求項５に記載のカラーフィルタであって、
前記隔壁において前記色要素を囲む上面には、前記液状体に対して撥液性を有する撥液面が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。The color filter according to claim 5,
A color filter, wherein a liquid repellent surface having liquid repellency with respect to the liquid material is formed on an upper surface surrounding the color element in the partition wall. 請求項６に記載のカラーフィルタであって、
前記隔壁の側面において前記角部と離れた場所は、前記角部より前記液状体に対して撥液性が高く、前記隔壁の上面より撥液性が低いことを特徴とするカラーフィルタ。The color filter according to claim 6,
A color filter characterized in that a portion of the side wall of the partition that is away from the corner has higher liquid repellency to the liquid than the corner and lower than the upper surface of the partition. 一対の電極の間に発光要素を有する光学素子の形成方法であって、
前記電極を基板上に形成する電極形成工程と、
少なくとも１つの角部を有する着色領域に前記基板を区画する隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記角部の前記隔壁の側面に親液処理をする表面改質工程と、
前記隔壁に囲まれた発光領域に発光要素の材料を含む液状体を塗布する塗布工程と、
塗布された前記液状体を固化して発光要素を形成する固化工程とを有し、
前記塗布工程は角部塗布工程を含み、
前記角部塗布工程では前記角部の前記隔壁の前記側面に前記液状体を塗布することを特徴とする光学素子の形成方法。A method of forming an optical element having a light emitting element between a pair of electrodes,
Forming an electrode on the substrate; and
A partition formation step of forming a partition for partitioning the substrate in a colored region having at least one corner;
A surface modification step of performing a lyophilic treatment on the side surface of the partition wall at the corner;
An application step of applying a liquid containing a material of a light emitting element to a light emitting region surrounded by the partition;
Solidifying the applied liquid material to form a light emitting element,
The application process includes a corner application process,
In the corner application step, the liquid material is applied to the side surface of the partition wall at the corner. 第１の電極が形成された基板と、少なくとも１つの角部を有する発光領域に前記基板を区画する隔壁と、
前記隔壁に囲まれた前記発光領域に形成された発光要素と、
前記第１の電極と共に前記発光要素を挟むように配置された第２の電極と、を備え、
前記角部の前記隔壁の側面において前記発光要素の材料を溶解または分散する液状体に対して親液性を有する親液面が形成されていることを特徴とする光学素子。A substrate on which a first electrode is formed; and a partition that partitions the substrate into a light emitting region having at least one corner;
A light emitting element formed in the light emitting region surrounded by the partition;
A second electrode disposed so as to sandwich the light emitting element together with the first electrode,
An optical element, wherein a lyophilic surface having a lyophilic property with respect to a liquid that dissolves or disperses the material of the light emitting element is formed on a side surface of the partition wall at the corner. 請求項４〜７のいずれか一項に記載のカラーフィルタまたは請求項９に記載の光学素子を備えたことを特徴とする電気光学装置。  An electro-optical device comprising the color filter according to claim 4 or the optical element according to claim 9. 請求項１０に記載の電気光学装置を表示部に備えたことを特徴とする電子機器。  An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 10 in a display unit.

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