JP2009147163A - Transport cart - Google Patents

Abstract

Translated fromJapanese

【課題】走行時に車輪等から発生する塵埃が巻き上がることを防止できる搬送台車を提供する。
【解決手段】搬送台車１０は、清浄エアの気流が床面の排気口１４に向けて形成されるクリーンルーム１２内を走行する台車であり、台車本体２６の下部に設けられた車輪２８によって走行する。搬送台車１０は、車輪２８の近傍に設けた吹出口３０Ａから、周囲のエアをクリーンルーム１２の排気口１４に向けて吹き出すとともに、吹出口３０Ａから吹き出すエアの流速をクリーンルーム１２に吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、排気口１４から排気する排気エアの気流の流速以下になるように制御する。
【選択図】 図１The present invention provides a transport carriage capable of preventing dust generated from wheels and the like from rolling up during traveling.
A transport carriage 10 is a carriage that travels in a clean room 12 in which a flow of clean air is formed toward an exhaust port 14 on a floor surface, and travels by wheels 28 provided at a lower portion of the carriage body 26. . The transport carriage 10 blows ambient air from the air outlet 30A provided in the vicinity of the wheels 28 toward the exhaust port 14 of the clean room 12, and the flow rate of clean air that blows the flow velocity of the air blown from the air outlet 30A to the clean room 12. The flow rate is controlled to be greater than the flow velocity of the exhaust air flow and equal to or less than the flow velocity of the exhaust air flow exhausted from the exhaust port 14.
[Selection] Figure 1

Description

Translated fromJapanese

本発明は搬送台車に係り、特にクリーンルーム内での搬送作業に使用される搬送台車に関する。  The present invention relates to a transport cart, and more particularly to a transport cart used for transport work in a clean room.

液晶や半導体等を製造するクリーンルーム設備では、清浄室の天井面に複数台のＦＦＵが設置されており、このＦＦＵによって除塵された清浄エアがクリーンルーム内にダウンフローされる。クリーンルームには、グレーチングと呼ばれる網目状の通風可能な床や、側面下部に形成された開口が排気口として設けられており、これらの排気口からクリーンルーム内のエアが外部に排気される。これにより、クリーンルーム内に清浄エアの気流が形成されるので、クリーンルーム内に浮遊する塵埃を速やかに外部に排出することができ、クリーンルーム内を高い清浄度に維持することができる。  In a clean room facility that manufactures liquid crystals, semiconductors, and the like, a plurality of FFUs are installed on the ceiling surface of the clean room, and clean air dedusted by the FFUs is downflowed into the clean room. In a clean room, a mesh-like floor called a grating that can be ventilated and an opening formed in the lower part of the side are provided as exhaust ports, and air in the clean room is exhausted to the outside from these exhaust ports. Thereby, since the air flow of clean air is formed in the clean room, dust floating in the clean room can be quickly discharged to the outside, and the clean room can be maintained at high cleanliness.

ところで、クリーンルーム設備では、被搬送物（たとえば半導体ウエハを収容する密閉容器等）を搬送する際に、搬送台車が一般に用いられる。搬送台車は、床面上に敷設したレールに沿って走行するように構成される。さらに搬送台車は、走行時に塵埃が上方に巻き上げられないように工夫されており、たとえば、搬送台車そのものを上昇気流が生じにくい形状としたり、車輪から塵埃が巻き上がりにくい車輪カバーを採用したりしている。しかし、現在では、走行速度１８０ｍ／ｍｉｎといった高速搬送が要求されており、搬送台車の形状や車輪カバーを変更するだけでは、塵埃の巻き上げを防止することが困難になっている。  By the way, in a clean room facility, a transport carriage is generally used when transporting an object to be transported (for example, a sealed container for housing a semiconductor wafer). The transport carriage is configured to travel along a rail laid on the floor surface. In addition, the transport cart is devised so that dust does not wind up when traveling. For example, the transport cart itself has a shape that does not generate ascending airflow, or a wheel cover that prevents dust from rolling up from the wheels. ing. However, at present, high-speed conveyance at a traveling speed of 180 m / min is required, and it is difficult to prevent dust from being rolled up only by changing the shape of the conveyance carriage and the wheel cover.

特許文献１には、台車本体の上面に吸込グリルを設けるとともに、台車本体の下面に排気口を設け、吸込グリルから吸い込んだエアを排気口からグレーチング床に向けて大きな風速で吹き出すようにした搬送台車が記載されている。この搬送台車によれば、搬送台車の上方で乱流が発生することを防止することができる。  In Patent Document 1, a suction grill is provided on the upper surface of the cart body, an exhaust port is provided on the lower surface of the cart body, and air sucked from the suction grill is blown from the exhaust port toward the grating floor at a high wind speed. The dolly is listed. According to this transport cart, it is possible to prevent turbulent flow from occurring above the transport cart.

また、特許文献２には、搬送台車の下面の外周部に排気口が下向きに形成され、グレーチング床に直接排出するようにした搬送台車が記載されている。この搬送台車によれば、排気口から高速でエアを吹き出すことによって、走行時に車輪から巻き上がる塵埃を強制的にグレーチング床に排出することができる。
特開平１０−１８１８８２特開２００７−４５６０６Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228707 describes a transport carriage in which an exhaust port is formed downward on the outer peripheral portion of the lower surface of the transport carriage and is discharged directly to the grating floor. According to this transport carriage, the dust that winds up from the wheels during traveling can be forcibly discharged to the grating floor by blowing air from the exhaust port at a high speed.
JP-A-10-181882 JP2007-45606

しかしながら、特許文献１、２は、グレーチング床に向けて吹き出したエアがグレーチング床を速やかに通過せず、かえって乱流が発生して、塵埃が巻き上がるという問題があった。  However, Patent Documents 1 and 2 have a problem that the air blown toward the grating floor does not quickly pass through the grating floor, and instead turbulence is generated and dust is rolled up.

本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、走行時に車輪等から発生する塵埃が巻き上がることを防止できる搬送台車を提供することを目的とする。  The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a transport carriage that can prevent dust generated from wheels and the like from rolling up during traveling.

請求項１に記載の発明は前記目的を達成するために、清浄エアの気流が排気口に向けて形成されるクリーンルーム内を走行する搬送台車であって、台車本体の下部に設けられた車輪によって走行する搬送台車において、前記車輪の近傍に設けた吹出口から、周囲のエアを前記クリーンルームの排気口に向けて吹き出すとともに、前記吹出口から吹き出すエアの流速を、前記クリーンルームに吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、前記排気口から排気する排気エアの気流の流速以下に小さく制御する塵埃防止用気流発生装置を備えたことを特徴とする。  In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a transport carriage that travels in a clean room in which a flow of clean air is formed toward an exhaust port, and is provided by a wheel provided at a lower portion of the carriage body. In a traveling carriage, a clean air flow that blows ambient air from an air outlet provided in the vicinity of the wheels toward an exhaust port of the clean room and a flow rate of air blown from the air outlet to the clean room. And a dust-preventing airflow generating device that controls the airflow to be lower than the airflow velocity of the exhaust air exhausted from the exhaust port.

本発明によれば、車輪から発生した塵埃は、周囲のエアとともに、吹出口からクリーンルームの排気口に向けて吹き出される。その際、吹出口から吹き出されたエアの流速が前記クリーンルームに吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、前記排気口から排気する排気エアの気流の流速以下に制御されるので、吹出口から吹き出されたエアは、クリーンルームの排気口に強制的に誘導される。したがって、車輪から発生した塵埃は周囲に拡散することなく、クリーンルームの排気口へ誘導され、クリーンルームから排出される。これにより、搬送台車を走行させた際に発生する塵埃が巻き上がることを防止でき、クリーンルーム内を高い清浄度に維持することができる。  According to the present invention, the dust generated from the wheels is blown out together with the surrounding air from the blowout port toward the clean room exhaust port. At that time, since the flow velocity of the air blown out from the blowout port is controlled to be larger than the flow velocity of the clean air flow blown out to the clean room and below the flow velocity of the exhaust air flow exhausted from the exhaust port, The air blown out from the air is forcibly guided to the exhaust port of the clean room. Therefore, the dust generated from the wheels is guided to the exhaust port of the clean room without being diffused to the surroundings and is discharged from the clean room. Thereby, it can prevent that the dust which generate | occur | produces when driving | running | working a conveyance trolley can roll up, and can maintain the inside of a clean room at high cleanliness.

請求項２に記載の発明は請求項１の発明において、前記クリーンルームの排気口は、該クリーンルームの床面に部分的に設けられるとともに、上下に貫通された複数の開口であり、前記吹出口は下方に向けて形成されることを特徴とする。本発明によれば、吹出口から吹き出されたエアは、排気口から確実に排気される。  According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the exhaust port of the clean room is partially provided on the floor surface of the clean room, and is a plurality of openings penetrating vertically. It is characterized by being formed downward. According to the present invention, the air blown out from the outlet is reliably exhausted from the exhaust port.

請求項３に記載の発明は請求項１の発明において、前記クリーンルームの排気口は、前記搬送台車の側方に、該走行軌道に沿って設けられ、前記吹出口は、側方に向けて形成されることを特徴とする。本発明によれば、吹出口から吹き出されたエアが、床面に沿って側方に流れるので、排気口から確実に排気することができる。  According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the exhaust port of the clean room is provided on the side of the transport carriage along the traveling track, and the outlet is formed toward the side. It is characterized by being. According to the present invention, since the air blown out from the air outlet flows sideways along the floor surface, the air can be reliably exhausted from the exhaust port.

請求項４に記載の発明は請求項１〜３のいずれか１の発明において、前記吹出口には、除塵用のフィルタが設けられることを特徴とする。本発明によれば、吹出口に除塵用のフィルタを設けたので、車輪から発生した塵埃をフィルタで除塵して吹出口から吹き出すことができる。また、フィルタを吹出口に設けたことによって、吹出口から吹き出されるエアを整流でき、かつ、その流速が小さくなるように制御することができる。  According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the air outlet is provided with a dust removing filter. According to the present invention, since the dust removal filter is provided at the air outlet, the dust generated from the wheels can be removed by the filter and blown out from the air outlet. Further, by providing the filter at the air outlet, the air blown out from the air outlet can be rectified, and the flow velocity can be controlled to be small.

本発明によれば、車輪の周囲のエアを、吹出口からクリーンルームの排気口に向けて吹き出すとともに、その流速を清浄エアの気流の流速以下に制御したので、車輪から発生した塵埃をクリーンルームの排気口から確実に排出することができ、クリーンルームを常に高い清浄度に維持することができる。  According to the present invention, the air around the wheel is blown from the outlet toward the exhaust port of the clean room, and the flow rate is controlled to be equal to or lower than the flow rate of the clean air, so that dust generated from the wheel is exhausted to the clean room. It can be reliably discharged from the mouth, and the clean room can always be maintained at a high level of cleanliness.

以下添付図面に従って本発明に係る搬送台車の好ましい実施形態について説明する。  Hereinafter, preferred embodiments of a transport carriage according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図１は本発明に係る搬送台車の第１の実施形態の一例を模式的に示す側面図であり、図２はその正面図を示している。これらの図に示す搬送台車１０は、クリーンルーム１２に適した台車である。  FIG. 1 is a side view schematically showing an example of a first embodiment of a transport carriage according to the present invention, and FIG. 2 shows a front view thereof. Thetransport cart 10 shown in these drawings is a cart suitable for theclean room 12.

このクリーンルーム１２の天井面には格子状の天井フレーム１６が吊設されており、天井フレーム１６の格子空間には複数のＦＦＵ（ファンフィルタユニット）１８、１８…が配設されている。ＦＦＵ１８は、上下に開口されたケーシング１８Ａと、上方からエアをケーシング１８Ａ内に吸い込んで下方に吹き出すファン１８Ｂと、ケーシング１８Ａ内に吸い込まれたエアを除塵するＨＡＰＡフィルタ１８Ｃとで構成されており、このＦＦＵ１８によって天井裏空間２０のエアが除塵され、清浄エアとしてクリーンルーム１２内にダウンフローされる。  A grid-like ceiling frame 16 is suspended from the ceiling surface of theclean room 12, and a plurality of FFUs (fan filter units) 18, 18. The FFU 18 includes acasing 18A opened up and down, afan 18B that sucks air into thecasing 18A from above and blows it down, and aHAPA filter 18C that removes the air sucked into thecasing 18A. The air in theceiling back space 20 is removed by the FFU 18 and downflowed into theclean room 12 as clean air.

クリーンルーム１２の床面には、複数の排気口１４、１４…が形成される。複数の排気口１４、１４…は、後述のレール２４に沿ってレール２４の周辺に配置される。また、排気口１４は、上下に貫通して形成されており、この排気口１４を介して、クリーンルーム１２と床下チャンバ２２が連通される。したがって、クリーンルーム１２内にダウンフローされた清浄エアは、床下空間２２に吸い込まれる。これにより、クリーンルーム１２内の塵埃が清浄エアのダウンフローによって床下チャンバ２２に排出されるので、クリーンルーム１２内が高い清浄度に維持される。なお、排気口１４は、クリーンルーム１２の床面の略全面に形成してもよく、その場合には、レール２４の周辺に集中して配置することが好ましい。  A plurality ofexhaust ports 14, 14... Are formed on the floor surface of theclean room 12. The plurality ofexhaust ports 14, 14... Are arranged around therail 24 along arail 24 described later. Theexhaust port 14 is formed so as to penetrate vertically, and theclean room 12 and theunderfloor chamber 22 are communicated with each other through theexhaust port 14. Therefore, the clean air downflowed into theclean room 12 is sucked into theunderfloor space 22. As a result, the dust in theclean room 12 is discharged to theunderfloor chamber 22 by the downflow of clean air, so that theclean room 12 is maintained at a high cleanliness level. Theexhaust port 14 may be formed on substantially the entire floor surface of theclean room 12, and in that case, theexhaust port 14 is preferably concentrated around therail 24.

床下チャンバ２２は、クリーンルーム１２の側方に形成されたリターンチャンバ（不図示）を介して天井裏空間２０に連通される。したがって、床下チャンバ２２のエアは、天井裏空間２２に戻され、天井裏空間２２から再びＦＦＵ１８によってクリーンルーム１２に吹き出される。これにより、エアが循環され、クリーンルーム１２の内部が常に高い清浄度に維持される。  Theunderfloor chamber 22 communicates with theceiling space 20 via a return chamber (not shown) formed on the side of theclean room 12. Therefore, the air in theunderfloor chamber 22 is returned to the ceiling backspace 22 and blown out from the ceiling backspace 22 to theclean room 12 again by the FFU 18. Thereby, air is circulated and the inside of theclean room 12 is always maintained at a high cleanliness.

クリーンルーム１２の床面の上には、レール２４、２４が敷設されている。レール２４、２４は、搬送台車１０の走行軌道に沿って形成されており、搬送台車１０はこのレール２４、２４上を走行自在となるように構成される。  On the floor surface of theclean room 12,rails 24 and 24 are laid. Therails 24 and 24 are formed along the traveling track of thetransport carriage 10, and thetransport carriage 10 is configured to be able to travel on therails 24 and 24.

搬送台車１０は主として、台車本体２６、車輪２８、２８…、車輪カバー３０で構成される。台車本体２６の上部には、不図示の搬送物移載装置が設けられており、この搬送物移載装置によって搬送物を積載して搬送できるようになっている。搬送物移載装置は特に限定するものではないが、たとえばクレーン、コンベア、フォーク等が用いられる。  Thecarriage 10 is mainly composed of acarriage body 26,wheels 28, 28... An unillustrated transported article transfer device is provided on the upper portion of thecart body 26, and the transported article can be loaded and transported by the transported object transfer device. Although a conveyed product transfer apparatus is not specifically limited, For example, a crane, a conveyor, a fork, etc. are used.

台車本体２６の下部には、四個の車輪２８、２８…が取り付けられている。各車輪２８、２８…は、台車本体２６の側面から側方に突出して配置されており、不図示のモータによって回転駆動される。この車輪２８、２８…がレール２４、２４上で回転することによって、搬送台車１０がレール２４、２４に沿って走行される。  Fourwheels 28, 28... Are attached to the lower part of thecart body 26. Each of thewheels 28, 28... Is disposed so as to protrude laterally from the side surface of thecarriage body 26, and is rotated by a motor (not shown). Thewheels 28, 28... Rotate on therails 24, 24, so that thetransport carriage 10 travels along therails 24, 24.

車輪２８、２８…の上部は、車輪カバー３０、３０…によって覆われている。各車輪カバー３０は、台車本体２６の側面から突出した状態で、台車本体２６の下部に固定される。また、各車輪カバー３０は、車輪２８の下部を除いて略全体を覆うように形成されており、その下部には下方に向けて開口された吹出口３０Ａが形成される。さらに、各車輪カバー３０の上面には、吸込口３０Ｂが形成されており、その吸込口３０Ｂにファン３２が設けられる。ファン３２を駆動することによって、吸込口３０Ｂから車輪カバー３０の内部にエアが吸引され、そのエアが吹出口３０Ａから下方に向けて吹き出される。  The upper portions of thewheels 28, 28... Are covered with wheel covers 30, 30. Each wheel cover 30 is fixed to the lower portion of thecart body 26 in a state of protruding from the side surface of thecart body 26. Each wheel cover 30 is formed so as to cover substantially the whole except for the lower part of thewheel 28, and ablower outlet 30 </ b> A opened downward is formed in the lower part. Furthermore, thesuction port 30B is formed in the upper surface of eachwheel cover 30, and thefan 32 is provided in thesuction port 30B. By driving thefan 32, air is sucked into the wheel cover 30 from thesuction port 30B, and the air is blown out downward from theblower outlet 30A.

ところで、ファン３２は、吹出口３０Ａから吹き出すエアの流速が、クリーンルーム１２に吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、排気口１４から排気する排気エアの気流の流速以下になるように、回転数が制御される。なお、清浄エアの気流の流速及び排気エアの気流の流速は、クリーンルーム１２の設定（すなわち、ＦＦＵ１８の吹出口の面積や排気口１４の面積、ＦＦＵ１８のファン１８Ｂの回転数等）によって予め決まっている。  By the way, thefan 32 has a flow velocity of air blown from theair outlet 30 </ b> A larger than a flow velocity of the clean air flow blown to theclean room 12 and not more than a flow velocity of the exhaust air flow exhausted from theexhaust port 14. The rotation speed is controlled. Note that the flow rate of the clean air flow and the flow rate of the exhaust air flow are determined in advance by the settings of the clean room 12 (that is, the area of the outlet of theFFU 18, the area of theexhaust port 14, the rotational speed of thefan 18 B of theFFU 18, etc.). Yes.

次に上記の如く構成された搬送台車１０の作用について説明する。  Next, the operation of thetransport carriage 10 configured as described above will be described.

搬送台車１０を走行させた際、特に搬送台車１０を１８０ｍ／ｍｉｎ以上の高速で走行させた際には、車輪２８、２８…から塵埃が発生する。従来の搬送台車では、この塵埃が巻きあがって製品等に付着するという問題があった。  When thetransport cart 10 is run, particularly when thetransport cart 10 is run at a high speed of 180 m / min or more, dust is generated from thewheels 28, 28. The conventional transport cart has a problem that the dust is rolled up and adheres to a product or the like.

そこで、本実施の形態の搬送台車１０では、ファン３２を駆動することによって、吸込口３０Ｂからエアを吸引し、車輪２８の周囲の塵埃とともに吹出口３０Ａから下方に向けて吹き出している。さらに、本実施の形態では、その吹出口３０Ａから吹き出すエアの流速が、クリーンルーム１２に吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、排気口１４から排気する排気エアの気流の流速以下になるように制御している。これにより、吹出口３０Ａから吹き出されたエアは、排気口１４に強制的に誘導され、床下空間２２に吸い込まれる。よって、吹出口３０Ａから吹き出されるエアに含まれる塵埃は、周囲に拡散することなく、排気口１４に誘導されて床下空間２２に排出される。したがって、本実施の形態によれば、塵埃が巻き上がることを防止でき、クリーンルーム１０を常に高い清浄度に維持することができる。  Therefore, in thetransport carriage 10 of the present embodiment, by driving thefan 32, air is sucked from thesuction port 30B and blown downward from theblower outlet 30A together with dust around thewheels 28. Furthermore, in the present embodiment, the flow rate of air blown from theair outlet 30 </ b> A is larger than the flow rate of the clean air flow blown to theclean room 12 and is equal to or lower than the flow rate of the exhaust air flow exhausted from theexhaust port 14. So that it is controlled. Thereby, the air blown out from theair outlet 30 </ b> A is forcibly guided to theexhaust port 14 and is sucked into theunderfloor space 22. Therefore, the dust contained in the air blown out from theair outlet 30A is guided to theexhaust port 14 and discharged to theunderfloor space 22 without diffusing to the surroundings. Therefore, according to the present embodiment, dust can be prevented from rolling up, and theclean room 10 can always be maintained at a high cleanliness level.

このように本実施の形態によれば、車輪２８の周囲のエアを、吹出口３０Ａからクリーンルーム１２の床面に向けて吹き出すとともに、その流速をクリーンルーム１２に吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、排気口１４から排気する排気エアの気流の流速以下になるように制御したので、車輪２８から発生した塵埃をクリーンルーム１２の排気口１４から確実に排出することができ、クリーンルーム１０を常に高い清浄度に維持することができる。  As described above, according to the present embodiment, the air around thewheel 28 is blown out from theair outlet 30 </ b> A toward the floor surface of theclean room 12, and the flow velocity is larger than the flow velocity of the clean air blown out to theclean room 12. In addition, since the exhaust air flow exhausted from theexhaust port 14 is controlled to be equal to or lower than the flow velocity of the exhaust air, dust generated from thewheels 28 can be reliably discharged from theexhaust port 14 of theclean room 12, and theclean room 10 can always be used. High cleanliness can be maintained.

次に第２の実施形態の搬送台車について説明する。図３は、第２の実施形態の搬送台車４０を示す正面図である。第２の実施形態の搬送台車４０は、レール２４の側方に設けたダクト４４の吸気口４７を排気口とするクリーンルーム４２において搬送に適した台車である。  Next, a transport cart according to a second embodiment will be described. FIG. 3 is a front view showing thetransport carriage 40 of the second embodiment. Thetransport cart 40 according to the second embodiment is a cart suitable for transport in aclean room 42 that uses the air inlet 47 of theduct 44 provided on the side of therail 24 as an exhaust port.

図３に示すように、クリーンルーム４２の内部には、レール２４、２４の外側にダクト４４、４４が設けられる。各ダクト４４は、レール２４に沿って配設されており、天井裏空間２０に連通されている。また、ダクト４４は、レール２４に対向する側面に吸気口（排気口に相当）４６が形成されており、この吸気口４６を介してクリーンルーム４２内のエアをダクト４４内に吸い込んで天井裏空間２０に送気するように構成される。なお、クリーンルーム４２の床面は、開口のない平坦面になっており、ＦＦＵ１８からダウンフローされたエアは、床面において吸気口４６に向けて流れる気流を形成し、吸気口４６からダクト４４に吸引される。  As shown in FIG. 3,ducts 44 and 44 are provided outside therails 24 and 24 inside theclean room 42. Eachduct 44 is disposed along therail 24 and communicates with the ceiling backspace 20. Further, theduct 44 has an air inlet (corresponding to an air outlet) 46 formed on a side surface facing therail 24, and the air in theclean room 42 is sucked into theduct 44 through theair inlet 46 and the space behind the ceiling. 20 is configured to supply air. Note that the floor surface of theclean room 42 is a flat surface without an opening, and the air downflowed from theFFU 18 forms an airflow that flows toward theair inlet 46 on the floor, and flows from theair inlet 46 to theduct 44. Sucked.

搬送台車４０は、図２に示した第１の実施形態の搬送台車１０と比較した際、第１の実施形態では車輪カバー３０の上面に吸込口３０Ｂ、下面に吹出口３０Ａが形成されていたのに対し、第２の実施形態では車輪カバー５０の外側側面の下部を吹出口５０Ａとし、車輪カバー５０の内側側面の下部を吸込口５０Ｂとしている。そして、吸込口５０Ｂにファン５２が設けられ、このファン５２を駆動することによって、吸込口５０Ｂから車輪カバー５０の内部にエアが吸い込まれ、車輪２８の周囲の塵埃とともに吹出口５０Ａから側方に向けて吹き出される。  When compared with thetransport cart 10 of the first embodiment shown in FIG. 2, thetransport cart 40 has asuction port 30 </ b> B on the upper surface of thewheel cover 30 and anoutlet 30 </ b> A on the lower surface in the first embodiment. On the other hand, in 2nd Embodiment, the lower part of the outer side surface of thewheel cover 50 is made into theblower outlet 50A, and the lower part of the inner side surface of thewheel cover 50 is made into thesuction inlet 50B. Afan 52 is provided in thesuction port 50B. By driving thefan 52, air is sucked into the wheel cover 50 from thesuction port 50B, and the dust around thewheel 28 is sideways from theair outlet 50A. Is blown out.

ファン５２は、吹出口５０Ａから吹き出すエアの風速が、クリーンルーム１２に吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、吸引口（排気口）４６から排気する排気エアの気流の流速以下になるように制御される。なお、清浄エアの気流の流速及び排気エアの気流の流速は、クリーンルーム１２の設定（すなわち、ＦＦＵ１８の吹出口の面積や吸引口（排気口）４６の面積、ＦＦＵ１８のファン１８Ｂの回転数等）によって予め決まっている。  Thefan 52 is configured such that the air speed of the air blown from theoutlet 50 </ b> A is larger than the flow velocity of the clean air flow blown to theclean room 12 and is equal to or lower than the flow velocity of the exhaust air discharged from the suction port (exhaust port) 46. Controlled. The flow rate of the clean air flow and the flow rate of the exhaust air flow are set in the clean room 12 (that is, the area of the blower outlet of theFFU 18, the area of the suction port (exhaust port) 46, the rotation speed of thefan 18B of the FFU 18). Is determined in advance.

なお、図３の右側の車輪カバー５０は、ファン５２からエアを直接吸い込むように構成した例であり、図３の左側の車輪カバー５０は、ファン５２にダクト５４を接続し、このダクト５４を台車本体２６の上面の開口２６Ｂに接続することによって、開口２６Ｂからエアを吸引した例である。いずれの形態を用いてもよく、左右両方で同じ形態を採用してもよい。  3 is an example in which air is directly sucked from thefan 52, and theleft wheel cover 50 in FIG. 3 is connected to aduct 54 to thefan 52. In this example, air is sucked from theopening 26B by connecting to theopening 26B on the upper surface of thecart body 26. Any form may be used and the same form may be employ | adopted by both right and left.

上記の如く構成された搬送台車４０の場合にも、吹出口５０から吹き出されるエアの流速をクリーンルームに吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、吸引口（排気口）４６から排気する排気エアの気流の流速以下にしたので、吹出口５０Ａから吹き出されたエアに含まれる塵埃は、周囲に拡散することなく、強制的に吸気口４６に誘導される。よって、塵埃が巻き上がることを防止でき、クリーンルーム４２を常に高い清浄度に維持することができる。  Also in the case of thetransport carriage 40 configured as described above, the flow velocity of air blown from theblowout port 50 is larger than the flow velocity of clean air blown into the clean room, and the air is exhausted from the suction port (exhaust port) 46. Since the flow velocity is lower than the flow rate of the exhaust air, the dust contained in the air blown from theair outlet 50A is forcibly guided to theair inlet 46 without diffusing to the surroundings. Therefore, dust can be prevented from rolling up, and theclean room 42 can always be maintained at a high cleanliness level.

次に第３の実施形態の搬送台車について図４に従って説明する。図４に示す第３の実施形態の搬送台車６０は、図３に示した第２の実施形態の搬送台車４０と比較して、車輪カバー５０の吹出口５０Ａの位置にファン６２及びフィルタ６４が設けられている点で異なっている。  Next, a transport cart according to a third embodiment will be described with reference to FIG. Compared with thetransport carriage 40 of the second embodiment shown in FIG. 3, the transport carriage 60 of the third embodiment shown in FIG. 4 has afan 62 and afilter 64 at the position of theoutlet 50A of thewheel cover 50. It differs in that it is provided.

第３の実施形態によれば、吹出口５０Ａの位置にフィルタ６４が設けられているので、車輪２８から発生した塵埃をフィルタ６４で除塵することができる。この搬送台車６０は、床面に排気口１４（図１参照）が形成されたクリーンルーム１２にも、ダクト４４の吸気口４６を排気口とするクリーンルーム４２にも使用することができる。  According to the third embodiment, since thefilter 64 is provided at the position of theair outlet 50 </ b> A, dust generated from thewheels 28 can be removed by thefilter 64. The transport carriage 60 can be used in theclean room 12 in which the exhaust port 14 (see FIG. 1) is formed on the floor surface and in theclean room 42 in which theintake port 46 of theduct 44 is the exhaust port.

なお、上述した実施形態において、ファン３２、５２の回転数は、クリーンルーム１２、４２の状態に応じて適宜変更するようにしてもよい。すなわち、クリーンルーム１２、４２の清浄エアの気流の流速、排気エアの気流の流速に応じて、ファン３２、５２の回転数を変更してもよい。その場合、クリーンルーム１２、４２の制御装置から、清浄エアや排気エアの気流の流速のデータを非接触で適宜受信できるようにすることが好ましい。  In the above-described embodiment, the rotational speeds of thefans 32 and 52 may be appropriately changed according to the state of theclean rooms 12 and 42. That is, the rotational speeds of thefans 32 and 52 may be changed according to the flow rate of the clean air flow in theclean rooms 12 and 42 and the flow rate of the exhaust air flow. In this case, it is preferable that the flow rate data of clean air and exhaust air can be appropriately received in a non-contact manner from the control devices of theclean rooms 12 and 42.

また、上述した実施形態では、吹出口３０Ａ、５０Ａから常に一定方向にエアを吹き出すようにしたが、クリーンルーム１２、４２の排気口の位置に応じて自動的に吹出方向を調節するように構成してもよい。たとえば、吹出口３０Ａ、５０Ａに可動式のルーバを設けて風向を調節できるように構成するとともに、クリーンルーム１２、４２の制御装置等から排気口の位置情報を随時入力するように構成し、その位置情報に応じて風向を自動的に調節してもよい。  In the above-described embodiment, air is always blown out from theoutlets 30A and 50A in a certain direction. However, the air outlet direction of theclean rooms 12 and 42 is automatically adjusted according to the position of the outlet. May be. For example, a movable louver is provided at theair outlets 30A, 50A so that the air direction can be adjusted, and the position information of the exhaust port is input as needed from the control device of theclean rooms 12, 42, etc. The wind direction may be automatically adjusted according to the information.

さらに上述した実施形態では、搬送台車１０、４０、６０におけるエアの吹出風量のみを制御するようにしたが、これに限定するものではなく、クリーンルーム１２、４２側（すなわち、ＦＦＵ１８）の風量を制御するようにしても良い。  Further, in the above-described embodiment, only the air blowing air volume in thetransport carriages 10, 40, 60 is controlled, but the present invention is not limited to this, and the air volume on theclean room 12, 42 side (that is, the FFU 18) is controlled. You may make it do.

本発明に係る搬送台車の第１の実施形態を示す側面図The side view which shows 1st Embodiment of the conveyance trolley | bogie which concerns on this invention.図１の搬送台車の正面図Front view of the transport cart in FIG.搬送台車の第２の実施形態を示す正面図Front view showing a second embodiment of the transport carriage搬送台車の第３の実施形態を示す正面図Front view showing a third embodiment of the transport carriage

符号の説明Explanation of symbols

１０…搬送台車、１２…クリーンルーム、１４…排気口、１６…天井フレーム、１８…ＦＦＵ、２０…天井裏空間、２２…床下空間、２４…レール、２６…台車本体、２８…車輪、３０…車輪カバー、３２…ファン、４０…搬送台車、４２…クリーンルーム、４４…ダクト、４６…吸気口、５０…車輪カバー、６０…搬送台車  DESCRIPTION OFSYMBOLS 10 ... Conveyance cart, 12 ... Clean room, 14 ... Exhaust vent, 16 ... Ceiling frame, 18 ... FFU, 20 ... Back space, 22 ... Under floor space, 24 ... Rail, 26 ... Dolly body, 28 ... Wheel, 30 ... Wheel Cover, 32 ... Fan, 40 ... Conveyor Cart, 42 ... Clean Room, 44 ... Duct, 46 ... Inlet, 50 ... Wheel Cover, 60 ... Conveyor Cart

Claims (4)

Translated fromJapanese

清浄エアの気流が排気口に向けて形成されるクリーンルーム内を走行する搬送台車であって、台車本体の下部に設けられた車輪によって走行する搬送台車において、
前記車輪の近傍に設けた吹出口から、周囲のエアを前記クリーンルームの排気口に向けて吹き出すとともに、前記吹出口から吹き出すエアの流速を、前記クリーンルームに吹き出す清浄エアの気流の流速よりも大きく、且つ、前記排気口から排気する排気エアの気流の流速以下に制御する塵埃防止用気流発生装置を備えたことを特徴とする搬送台車。In a transport cart that travels in a clean room where an airflow of clean air is formed toward the exhaust port, and travels by wheels provided at the bottom of the cart body,
From the air outlet provided in the vicinity of the wheel, the surrounding air is blown out toward the exhaust port of the clean room, and the flow velocity of the air blown out from the air outlet is larger than the flow velocity of the clean air blown out to the clean room, In addition, the transport carriage includes a dust-preventing airflow generation device that controls the flow rate of the exhaust air exhausted from the exhaust port to be equal to or lower than the flow velocity. 前記クリーンルームの排気口は、該クリーンルームの床面に部分的に設けられるとともに上下に貫通された複数の開口であり、
前記吹出口は下方に向けて形成されることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。The exhaust port of the clean room is a plurality of openings that are partially provided on the floor surface of the clean room and penetrated up and down,
The transport cart according to claim 1, wherein the air outlet is formed downward. 前記クリーンルームの排気口は、前記搬送台車の側方に、該走行軌道に沿って設けられ、前記吹出口は、側方に向けて形成されることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。  2. The transport carriage according to claim 1, wherein an exhaust port of the clean room is provided on a side of the transport carriage along the traveling track, and the outlet is formed toward the side. . 前記吹出口または前記排気口には、除塵用のフィルタが設けられることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載の搬送台車。  The conveyance cart according to any one of claims 1 to 3, wherein a filter for dust removal is provided at the air outlet or the exhaust port.

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