JP2005322724A

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Publication number: JP2005322724A
Application number: JP2004138366A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Shimokawa; 大輔下川; Yukio Arimitsu; 幸生有満; Tomoko Doi; 知子土井
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2004-05-07
Filing date: 2004-05-07
Publication date: 2005-11-17

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for heating and peeling an adherend whereby from a heating and peeling type adhering sheet, some adherends of a plurality of adherends which are adhered to the sheet can be peeled efficiently and selectively, even though the adherends are extremely thin or small-sized. <P>SOLUTION: The method for heating and peeling an adherend is a method for peeling selectively some adherends of a plurality of adherends which are adhered to a heating and peeling type adhering sheet having a thermally expanding layer containing a foaming agent. The heating and peeling type adhering sheet is so heated partially, and during the heating or after the heating, external forces are so applied directly or indirectly to the adherends as to peel selectively the adherends. As the applied external forces, vibrating forces by ultrasonic waves or pressing forces can be used. Also, the foaming agent comprising thermally expanding micro-spheres is preferred. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

Translated fromJapanese

本発明は、熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートから加熱により被着物の一部を選択的に剥離する方法、及び該方法に用いる被着物加熱剥離装置に関する。 The present invention relates to a method for selectively peeling a part of an adherend by heating from a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet provided with a thermally expandable layer, and an adherend heat-peeling apparatus used in the method.

粘着テープに貼り付けた部品を、加工後に粘着テープから剥離する方法として、例えば、基材を収縮させてダイシングした半導体チップをピックアップする方法がある（特許文献１参照）。しかし、基材を収縮させるこの方法だけでは、ダイシングした半導体チップと粘着テープとの接着力を容易にピックアップさせることができる程度にまで低減させるのことは難しく、また、収縮の際に基材を縦方向と横方向とに均一に収縮させることも難しく、半導体チップが位置ズレを起こし、隣接する半導体チップに接触し、半導体チップを破損させてしまうという問題などがあった。 As a method for peeling a part attached to an adhesive tape from the adhesive tape after processing, for example, there is a method of picking up a diced semiconductor chip by contracting a base material (see Patent Document 1). However, it is difficult to reduce the adhesive force between the diced semiconductor chip and the adhesive tape to such an extent that it can be easily picked up only by this method of shrinking the base material. It is difficult to uniformly contract in the vertical direction and the horizontal direction, and there is a problem that the semiconductor chip is displaced, contacts with an adjacent semiconductor chip, and damages the semiconductor chip.

これに対し、熱膨張性微小球等の発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シート（例えば、商品名「リバアルファ」及び「リバクリーン」；以上、日東電工（株）製）が各種の分野において様々な用途に使用されている。この加熱剥離型粘着シートによれば、被着物を貼着、固定して該被着物に所望の加工を施すことができるとともに、加工後には、加熱により熱膨張性層中の熱膨張性微小球等の発泡剤を膨張させて、加熱剥離型粘着シートによる粘着力を低下又は消失させることにより、加熱剥離型粘着シートに貼着されている被着物を容易に剥離させることができる。 In contrast, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent such as thermally expandable microspheres (for example, trade names “Riva Alpha” and “Ribaclean”; Nitto Denko Corporation) Are used for various purposes in various fields. According to this heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the adherend can be adhered and fixed to perform desired processing on the adherend, and after processing, the heat-expandable microspheres in the heat-expandable layer by heating. The adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can be easily peeled off by expanding a foaming agent such as a resin and reducing or eliminating the adhesive strength of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

このような加熱剥離型粘着シートでは、被着物と加熱剥離型粘着シートとを剥離させる際、通常、被着物が貼着している全面に加熱処理を施して被着物すべてを一度に剥離させるのであるが、最近、加熱剥離する際、加熱剥離型粘着シートに貼着している複数個の被着物のうち一部の被着物のみを剥離し、残りは加熱剥離型粘着シートに貼着した状態を保持したいという要求が増えている。 In such a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, when the adherend and the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet are peeled off, usually, the entire surface to which the adherend is adhered is subjected to heat treatment to peel off all of the adherend at once. However, recently, when heat-peeling, only some of the adherends that are stuck to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet are peeled off, and the rest are stuck to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. There is an increasing demand for keeping

そこで、本発明者らは、熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートから被着物を加熱により剥離する際、複数個の被着物のうち所望する一部の被着物のみを簡単に剥離でき、残りの被着物は加熱剥離型粘着シートに貼着した状態を保持できる被着物の加熱剥離方法を提案した（特許文献２参照）。 Therefore, the present inventors can easily peel only a desired part of the plurality of adherends when the adherend is peeled off by heating from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having the thermally expandable layer. And the remaining adherend proposed the heat peeling method of the adherend which can hold | maintain the state affixed on the heat peeling type adhesive sheet (refer patent document 2).

特開平１１−３８７５号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-3875特開２００２−３２２４３６号公報JP 2002-322436 A

しかしながら、近年、超薄型チップといわれる、厚さが４０μｍ以下の非常に薄く、しなり性の高い半導体チップや、非常に小さい部品が被着物である場合、加熱後の熱剥離型粘着シートの表面（粘着面）の凹凸が、被着物の表面形状に追従してしまい、この粘着面の追従により、粘着面と被着物との接触面積の低下が充分に生じず、剥離に時間がかかり、ひいては剥離させることができない場合があり、生産性が著しく低下するという問題が生じている。そのため、非常に薄型（超薄型）の被着物や非常に小型（超小型）の被着物であっても、加熱剥離型粘着シートから、該加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、効率よく、選択的に剥離することができる方法が求められている。 However, in recent years, when an extremely thin semiconductor chip having a thickness of 40 μm or less, which is referred to as an ultra-thin chip, or a very small component is an adherend, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet after heating is used. The unevenness of the surface (adhesive surface) follows the surface shape of the adherend, and due to the follow of this adhesive surface, the contact area between the adhesive surface and the adherend is not sufficiently reduced, and it takes time to peel off, As a result, there is a case where it cannot be peeled off, resulting in a problem that productivity is remarkably lowered. Therefore, even if the adherend is very thin (ultra-thin) or very small (ultra-small), a plurality of adherends adhered to the heat-peelable adhesive sheet from the heat-peelable adhesive sheet. There is a need for a method that can efficiently and selectively peel off some of the adherends.

従って、本発明の目的は、超薄型又は超小型の被着物であっても、加熱剥離型粘着シートから、該加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、効率よく、選択的に剥離することができる被着物の加熱剥離方法及び被着物加熱剥離装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to apply a part of a plurality of adherends adhered to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet from a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, even if the substrate is ultra-thin or ultra-small. An object of the present invention is to provide an adherend heating and peeling method and an adherend heating and peeling apparatus capable of efficiently and selectively peeling a kimono.

本発明者らは上記目的を達成するため鋭意検討した結果、加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、該加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ超音波による振動力や押圧力などの外力を加える加熱外力付与手段により加熱し且つ外力（超音波による振動力や押圧力）を加えることにより、被着物が非常に薄いものであっても、また、非常に小さなものであっても、効率よく、選択的に剥離することができることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて完成されたものである。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the inventors of the present invention partially heated a part of the plurality of adherends adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. In addition, by applying an external force (vibration force or pressing force by ultrasonic waves) and applying external force (external force such as vibration force or pressing force) by applying external force such as ultrasonic vibration force or pressing force, the adherend is very thin. Also, it was found that even a very small material can be efficiently and selectively peeled off. The present invention has been completed based on these findings.

すなわち、本発明は、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、選択的に剥離する方法であって、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、被着物を選択的に剥離することを特徴とする被着物の加熱剥離方法を提供する。 That is, the present invention is a method for selectively peeling a part of a plurality of adherends adhered to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent. An adherend that selectively heats the adherend by heating the peelable pressure-sensitive adhesive sheet partially and applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating. A method of heat peeling is provided.

前記被着物の加熱剥離方法において、加える外力は、超音波による振動力、または押圧力であってもよい。また、前記発泡剤としては、熱膨張性微小球を好適に用いることができる。 In the heat peeling method of the adherend, the external force applied may be an ultrasonic vibration force or a pressing force. As the foaming agent, thermally expandable microspheres can be suitably used.

本発明では、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱することができるとともに、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能であり、且つ剥離させる被着物の形状に対応して被着物に直接的又は間接的に外力を加えることが可能な加熱外力付与手段により、加熱剥離型粘着シートのうち前記剥離させる被着物の貼着部位を加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、剥離させる被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、前記被着物を選択的に剥離することが好ましい。また、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側のうち、少なくとも一方の側から加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、前記加熱と同一側又は異なる側から被着物に外力を加えることができる。 In the present invention, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can be partially heated, can be heated corresponding to the shape of the adherend to be peeled, and can be covered corresponding to the shape of the adherend to be peeled. A heating external force imparting means capable of directly or indirectly applying an external force to the kimono heats the application site of the adherend to be peeled of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, and peels off during or after the heating. It is preferable to apply an external force directly or indirectly to the adherend to be peeled to selectively peel off the adherend. Further, heating is performed from at least one of the adherend-attaching side and the opposite side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, and during or after the heating, external force is applied to the adherend from the same side or different side as the heating. Can be added.

本発明は、また、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、選択的に剥離する方法であって、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する工程と、前記複数の切断片のうち一部の切断片を、該加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、選択的に剥離する工程とを具備することを特徴とする被着物の加熱剥離方法を提供する。 The present invention is also a method for selectively peeling a part of a plurality of adherends adhered to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent. Cutting the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet into a plurality of cut pieces, and partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet with a part of the plurality of cut pieces. And a step of selectively peeling off the adherend by applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating.

また、本発明は、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートから被着物を剥離する装置であって、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、複数個の被着物のうち一部の被着物を選択的に剥離させるための加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部を有していることを特徴とする被着物加熱剥離装置を提供する。 Further, the present invention is an apparatus for peeling an adherend from a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet provided with a thermally expandable layer containing a foaming agent, wherein the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated, Alternatively, after heating, an external force is applied directly or indirectly to the adherend, and a heating external force imparting portion for selectively peeling a part of the adherends out of the plurality of adherends, or the heating portion and the external force imparting portion. There is provided an adherend heating and peeling apparatus characterized by comprising:

前記加熱外力付与部としては、剥離させる被着物の形状に対応して、加熱することが可能な形状、および外力を加えることが可能な形状を有していることが好ましい。また、加熱外力付与部としては、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側のうち、少なくとも一方の側に設けられていてもよい。さらにまた、加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部としては、水平方向及び／又は垂直方向に移動可能であることが好ましい。 The heating external force imparting section preferably has a shape capable of heating and a shape capable of applying an external force in accordance with the shape of the adherend to be peeled. Moreover, as a heating external force provision part, you may be provided in at least one side among the to-be-adhered material sticking side of a heat-peelable adhesive sheet, and its opposite side. Furthermore, it is preferable that the heating external force application unit, or the heating unit and the external force application unit are movable in the horizontal direction and / or the vertical direction.

本発明の被着物加熱剥離装置としては、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する切断加工部と、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、前記複数の切断片のうち一部の切断片を選択的に剥離させるための加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部とを有していることが好適である。 The adherend heat-peeling device of the present invention includes a cutting processing section for cutting an adherend adhered to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent into a plurality of cut pieces, and heat-peeling. The mold pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated, and during or after the heating, an external force is applied directly or indirectly to the adherend to selectively peel off some of the plurality of cut pieces. It is preferable to have a heating external force application part for heating or a heating part and an external force application part.

本発明の被着物の加熱剥離方法によれば、超薄型又は超小型の被着物であっても、加熱剥離型粘着シートから、該加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、効率よく、選択的に剥離することができる。従って、被着物が、非常に薄いものであっても、また、非常に小さなものであっても、加熱剥離型粘着シートから被着物を加熱により剥離させる際に、複数個の被着物のうち所望する一部の被着物のみを、効率よく剥離させることができ、残りの被着物は加熱剥離型粘着シートに貼着した状態を保持させることができる。 According to the method for heat-peeling an adherend of the present invention, a plurality of adherends adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, even if the substrate is ultra-thin or ultra-small. Some of the adherends can be efficiently and selectively peeled off. Therefore, even if the adherend is very thin or very small, when the adherend is peeled off by heating from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, a desired one of the plurality of adherends is desired. Only a part of the adherends to be peeled can be efficiently peeled off, and the remaining adherends can be kept in a state of being stuck to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

従って、本発明の被着物加熱剥離装置によれば、より微細且つ薄層な被着物において、加工時は被着物を剥離させることなく良好に保持させることができ、加工後は複数個の被着物のうち所望する一部の被着物のみを、効率よく剥離させることができるため、生産性や歩留まり等の低下を効果的に防止することができる。 Therefore, according to the adherend heating and peeling apparatus of the present invention, a finer and thin layer adherend can be held well without being peeled off during processing, and a plurality of adherends after processing. Among them, only a desired part of the adherend can be efficiently peeled off, so that it is possible to effectively prevent a decrease in productivity and yield.

以下に、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本発明の被着物の加熱剥離方法で用いられる加熱剥離型粘着シートの一例を示す概略断面図である。図１において、１は加熱剥離型粘着シート、２は支持基材、３はゴム状有機弾性層、４は熱膨張性粘着層、５はセパレータ（剥離ライナー）である。図１で示される加熱剥離型粘着シート１は、支持基材１の一方の面に、ゴム状有機弾性層２を介して熱膨張性粘着層３が形成され、さらに、熱膨張性粘着層３上にセパレータ４が積層された構成を有している。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings as necessary. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet used in the method for heat-peeling an adherend of the present invention. In FIG. 1, 1 is a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, 2 is a support substrate, 3 is a rubber-like organic elastic layer, 4 is a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer, and 5 is a separator (release liner). In the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 1 shown in FIG. 1, a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer 3 is formed on one surface of a support substrate 1 with a rubbery organic elastic layer 2 interposed therebetween. The separator 4 is laminated on the top.

［加熱剥離型粘着シート］
本発明における加熱剥離型粘着シートは、発泡剤を含有する熱膨張性層を少なくとも備えている。このような加熱剥離型粘着シートとしては、図１で示されるように、熱膨張性層および粘着剤層として、熱膨張性粘着層が用いられた構成を有していてもよく、熱膨張性層と、粘着剤層とが別々の層として用いられた構成を有していてもよい。従って、発泡剤を含有する熱膨張性層は、粘着剤層としての機能を有していてもよい。このように、熱膨張性層が粘着剤層としての機能も有している熱膨張性粘着層である場合、加熱剥離型粘着シートは粘着剤層を有する必要がなく、熱膨張性粘着層の表面を、被着物を貼付する粘着面として利用することができる。一方、熱膨張性層が、粘着剤層としての機能を有していない場合、加熱剥離型粘着シートは粘着剤層を有していることが必要であり、該粘着剤層の表面を、被着物を貼付する粘着面として利用することができる。なお、前記粘着剤層は、熱膨張性層上に形成することができる。[Heat-release adhesive sheet]
The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet according to the present invention includes at least a heat-expandable layer containing a foaming agent. Such a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet may have a configuration in which a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer is used as the heat-expandable layer and the pressure-sensitive adhesive layer, as shown in FIG. You may have the structure by which the layer and the adhesive layer were used as a separate layer. Therefore, the heat-expandable layer containing a foaming agent may have a function as an adhesive layer. Thus, when the heat-expandable layer is a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer that also has a function as a pressure-sensitive adhesive layer, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet does not need to have a pressure-sensitive adhesive layer. The surface can be used as an adhesive surface to which an adherend is attached. On the other hand, when the thermally expandable layer does not have a function as a pressure-sensitive adhesive layer, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet needs to have a pressure-sensitive adhesive layer. It can be used as an adhesive surface for attaching a kimono. The pressure-sensitive adhesive layer can be formed on the thermally expandable layer.

なお、図１で示される加熱剥離型粘着シート１では、ゴム状有機弾性層２やセパレータ４を有しているが、これらのゴム状有機弾性層２やセパレータ４は任意に用いることができる。例えば、熱膨張性粘着層等の熱膨張性層を熱膨張させる際の投錨力の向上やうねり構造の発現などの観点からは、ゴム状有機弾性層は用いられていることが好ましい。また、熱膨張性粘着層の粘着面を保護する観点からは、セパレータが用いられていることが好ましいが、基材の背面に離型処理を施すことにより、熱膨張性粘着層の粘着面を基材の背面により保護してもよい。 In addition, although the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 1 shown in FIG. 1 has the rubber-like organic elastic layer 2 and the separator 4, these rubber-like organic elastic layer 2 and the separator 4 can be used arbitrarily. For example, the rubbery organic elastic layer is preferably used from the viewpoint of improvement in anchoring force when a thermally expandable layer such as a thermally expandable adhesive layer is thermally expanded and expression of a wavy structure. Moreover, from the viewpoint of protecting the adhesive surface of the thermally expandable adhesive layer, it is preferable that a separator is used. However, the adhesive surface of the thermally expandable adhesive layer is reduced by performing a release treatment on the back surface of the substrate. You may protect by the back surface of a base material.

（熱膨張性層）
熱膨張性層は熱膨張性を付与するための発泡剤を含有している。そのため、加熱剥離型粘着シートの粘着面上に複数個の被着物が貼着された状態で、任意な時に加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱して、該部分的に加熱された熱膨張性層の部分に含有されている発泡剤を発泡及び／又は膨張させることにより、熱膨張性層が部分的に膨張し、この熱膨張性層の部分的な膨張により、該膨張した部分に対応した粘着面が凹凸状に変形して、該粘着面と被着物との接着面積が減少し、これにより、前記凹凸状に変形した粘着面と被着物との間の接着力が減少し、該粘着面に貼着している被着物を加熱剥離型粘着シートから剥離させることができる。(Thermal expansion layer)
The thermally expandable layer contains a foaming agent for imparting thermal expandability. Therefore, in a state where a plurality of adherends are stuck on the adhesive surface of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated at any time, and the partially heated thermal expansion By expanding and / or expanding the foaming agent contained in the expandable layer portion, the thermally expandable layer partially expands, and the partially expanded portion of the thermally expandable layer corresponds to the expanded portion. The adhesive surface deformed into an uneven shape reduces the adhesion area between the adhesive surface and the adherend, thereby reducing the adhesive force between the adhesive surface deformed into the uneven shape and the adherend, The adherend adhered to the pressure-sensitive adhesive surface can be peeled from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

熱膨張性層において用いられている発泡剤としては、特に制限されないが、熱膨張性微小球を好適に用いることができる。発泡剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。熱膨張性微小球としては、特に制限されず、公知の熱膨張性微小球（種々の無機系熱膨張性微小球や、有機系熱膨張性微小球など）から適宜選択することができる。熱膨張性微小球としては、混合操作が容易である観点などより、マイクロカプセル化されている発泡剤を好適に用いることができる。このような熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球などが挙げられる。前記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊する物質で形成される場合が多い。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法などにより製造できる。なお、熱膨張性微小球には、例えば、商品名「マツモトマイクロスフェアー」［松本油脂製薬（株）製］などの市販品もある。 Although it does not restrict | limit especially as a foaming agent used in a thermally expansible layer, A thermally expansible microsphere can be used conveniently. A foaming agent can be used individually or in combination of 2 or more types. The heat-expandable microsphere is not particularly limited, and can be appropriately selected from known heat-expandable microspheres (such as various inorganic heat-expandable microspheres and organic heat-expandable microspheres). As the thermally expandable microspheres, a microencapsulated foaming agent can be suitably used from the viewpoint of easy mixing operation. Examples of such thermally expandable microspheres include microspheres in which substances such as isobutane, propane, and pentane that are easily gasified and expanded by heating are encapsulated in an elastic shell. The shell is often formed of a hot-melt material or a material that is destroyed by thermal expansion. Examples of the substance forming the shell include vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polymethyl methacrylate, polyacrylonitrile, polyvinylidene chloride, and polysulfone. Thermally expandable microspheres can be produced by a conventional method such as a coacervation method or an interfacial polymerization method. Examples of thermally expandable microspheres include commercial products such as “Matsumoto Microsphere” (manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.).

本発明では、発泡剤としては、熱膨張性微小球以外の発泡剤も用いることもできる。このような発泡剤としては、種々の無機系発泡剤や有機系発泡剤などの各種発泡剤を適宜選択して使用することができる。無機系発泡剤の代表的な例としては、例えば、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水酸化ホウ素ナトリウム、各種アジド類などが挙げられる。また、有機系発泡剤の代表的な例としては、例えば、水；トリクロロモノフルオロメタン、ジクロロモノフルオロメタンなどの塩フッ化アルカン系化合物；アゾビスイソブチロニトリル、アゾジカルボンアミド、バリウムアゾジカルボキシレートなどのアゾ系化合物；パラトルエンスルホニルヒドラジド、ジフェニルスルホン−３，３´−ジスルホニルヒドラジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、アリルビス（スルホニルヒドラジド）などのヒドラジン系化合物；ｐ−トルイレンスルホニルセミカルバジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルセミカルバジド）などのセミカルバジド系化合物；５−モルホリル−１，２，３，４−チアトリアゾールなどのトリアゾール系化合物；Ｎ，Ｎ´−ジニトロソペンタメチレンテロラミン、Ｎ，Ｎ´−ジメチル−Ｎ，Ｎ´−ジニトロソテレフタルアミドなどのＮ−ニトロソ系化合物などが挙げられる。 In the present invention, as the foaming agent, foaming agents other than the thermally expandable microspheres can also be used. As such a foaming agent, various foaming agents such as various inorganic foaming agents and organic foaming agents can be appropriately selected and used. Typical examples of the inorganic foaming agent include ammonium carbonate, ammonium hydrogen carbonate, sodium hydrogen carbonate, ammonium nitrite, sodium borohydride, various azides and the like. Representative examples of organic foaming agents include, for example, water; chlorofluorinated alkane compounds such as trichloromonofluoromethane and dichloromonofluoromethane; azobisisobutyronitrile, azodicarbonamide, and barium azodi. Azo compounds such as carboxylate; hydrazine compounds such as p-toluenesulfonyl hydrazide, diphenylsulfone-3,3'-disulfonyl hydrazide, 4,4'-oxybis (benzenesulfonyl hydrazide), allyl bis (sulfonyl hydrazide); p- Semicarbazide compounds such as toluylenesulfonyl semicarbazide and 4,4′-oxybis (benzenesulfonyl semicarbazide); Triazole compounds such as 5-morpholyl-1,2,3,4-thiatriazole; N, N′-dinitrosopene Methylene terrorism Ramin, N, N'-dimethyl -N, N'N-nitroso compounds such as dinitrosoterephthalamide, and the like.

本発明では、加熱処理により、熱膨張性層の接着力を効率よく且つ安定して低下させるため、体積膨張率が５倍以上、なかでも７倍以上、特に１０倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有する発泡剤が好ましい。 In the present invention, in order to efficiently and stably reduce the adhesive force of the heat-expandable layer by heat treatment, it does not rupture until the volume expansion coefficient is 5 times or more, especially 7 times or more, particularly 10 times or more. A foaming agent having high strength is preferred.

発泡剤（熱膨張性微小球など）の配合量は、熱膨張性層の膨張倍率や接着力の低下性などに応じて適宜設定しうるが、一般には熱膨張性層を形成するベースポリマー１００重量部に対して、例えば１〜１５０重量部、好ましくは１０〜１３０重量部、さらに好ましくは２５〜１００重量部である。 The blending amount of the foaming agent (thermally expandable microspheres, etc.) can be appropriately set according to the expansion ratio of the thermally expandable layer, the lowering of the adhesive force, etc., but generally the base polymer 100 that forms the thermally expandable layer. It is 1-150 weight part with respect to a weight part, Preferably it is 10-130 weight part, More preferably, it is 25-100 weight part.

なお、発泡剤として熱膨張性微小球を用いた場合、該熱膨張性微小球の粒径（平均粒子径）としては、熱膨張性層の厚みなどに応じて適宜選択することができる。熱膨張性微小球の平均粒子径としては、例えば、１００μｍ以下（好ましくは８０μｍ以下、さらに好ましくは１〜５０μｍ、特に１〜３０μｍ）の範囲から選択することができる。なお、熱膨張性微小球の粒径の調整は、熱膨張性微小球の生成過程で行われていてもよく、生成後、分級などの手段により行われてもよい。熱膨張性微小球としては、粒径が揃えられていることが好ましい。 When thermally expandable microspheres are used as the foaming agent, the particle size (average particle diameter) of the thermally expandable microspheres can be appropriately selected according to the thickness of the thermally expandable layer. The average particle diameter of the thermally expandable microspheres can be selected from a range of, for example, 100 μm or less (preferably 80 μm or less, more preferably 1 to 50 μm, particularly 1 to 30 μm). Note that the adjustment of the particle size of the thermally expandable microspheres may be performed in the process of generating the thermally expandable microspheres, or may be performed by means such as classification after the generation. It is preferable that the thermally expandable microspheres have the same particle size.

熱膨張性層は、発泡剤を含有する層であればよく、例えば、粘弾性物質中に発泡剤が分散された層（熱膨張性粘弾性層）であってもよい。このような熱膨張性粘弾性層は、粘弾性物質中に、熱膨張性を付与するための発泡剤が配合された発泡剤含有粘弾性組成物により形成することができる。粘弾性物質における粘弾性は、熱処理による発泡剤の発泡及び／又は膨張を阻害しない程度であることが重要である。すなわち、粘弾性物質としては、発泡剤の熱膨張を阻害しない、少なくとも一種の粘弾性物質を用いることができる。このような粘弾性物質としては、例えば、ゴム、樹脂や、粘着剤のうち、加熱時に発泡剤の発泡及び／又は膨張を許容する適宜な粘弾性を有するものを用いることができる。粘弾性物質としては、例えば、ゴム、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、感圧接着剤（粘着剤）、エネルギー線硬化型樹脂、エネルギー線硬化型粘着剤などが挙げられる。粘弾性物質は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。 The heat-expandable layer may be a layer containing a foaming agent, and may be, for example, a layer (thermally-expandable viscoelastic layer) in which the foaming agent is dispersed in a viscoelastic material. Such a thermally expandable viscoelastic layer can be formed by a foaming agent-containing viscoelastic composition in which a foaming agent for imparting thermal expandability is blended in a viscoelastic material. It is important that the viscoelasticity of the viscoelastic material is a level that does not hinder foaming and / or expansion of the foaming agent by heat treatment. That is, as the viscoelastic substance, at least one viscoelastic substance that does not inhibit the thermal expansion of the foaming agent can be used. As such a viscoelastic substance, for example, a rubber, a resin, or a pressure-sensitive adhesive having an appropriate viscoelasticity that allows foaming and / or expansion of the foaming agent during heating can be used. Examples of the viscoelastic substance include rubber, thermosetting resin, thermoplastic resin, pressure-sensitive adhesive (adhesive), energy beam curable resin, energy beam curable adhesive, and the like. A viscoelastic substance can be used individually or in combination of 2 or more types.

より具体的には、粘弾性物質において、ゴムとしては、例えば、天然ゴムや合成ゴム、シリコーンゴムなどの各種ゴムが挙げられる。また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ系樹脂、不飽和エステル系樹脂、熱硬化性アクリル系樹脂、フェノール系樹脂などが挙げられ、熱可塑性樹脂としては、例えば、飽和ポリエステル系樹脂、熱可塑性ポリウレタン系樹脂、アミド系樹脂、イミド系樹脂、熱可塑性アクリル系樹脂、オレフィン系樹脂、酢酸ビニル系樹脂などが挙げられる。 More specifically, in the viscoelastic substance, examples of the rubber include various rubbers such as natural rubber, synthetic rubber, and silicone rubber. Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin, an unsaturated ester resin, a thermosetting acrylic resin, and a phenol resin. Examples of the thermoplastic resin include a saturated polyester resin, a thermal resin, and the like. Examples thereof include a plastic polyurethane resin, an amide resin, an imide resin, a thermoplastic acrylic resin, an olefin resin, and a vinyl acetate resin.

さらにまた、感圧接着剤としては、例えば、ゴム系感圧接着剤、アクリル系感圧接着剤、シリコーン系感圧接着剤、ビニルアルキルエーテル系感圧接着剤、ポリエステル系感圧接着剤、ポリアミド系感圧接着剤、ウレタン系感圧接着剤、フッ素系粘着剤等の各種感圧接着剤や、これらの感圧接着剤（粘着剤）に融点が約２００℃以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ−プ特性改良型粘着剤などの公知の粘着剤（例えば、特開昭５６−６１４６８号公報、特開昭６１−１７４８５７号公報、特開昭６３−１７９８１号公報、特開昭５６−１３０４０号公報等参照）などが挙げられる。 Furthermore, examples of the pressure sensitive adhesive include rubber pressure sensitive adhesive, acrylic pressure sensitive adhesive, silicone pressure sensitive adhesive, vinyl alkyl ether pressure sensitive adhesive, polyester pressure sensitive adhesive, and polyamide. Various pressure sensitive adhesives such as pressure sensitive adhesives, urethane pressure sensitive adhesives, fluorine pressure sensitive adhesives, etc., and these pressure sensitive adhesives (pressure sensitive adhesives) are blended with hot-melt resin with a melting point of about 200 ° C or less And other known pressure-sensitive adhesives such as those having improved creep characteristics (for example, JP-A-56-61468, JP-A-61-174857, JP-A-63-17981, JP-A-56-56). No. 13040) and the like.

感圧接着剤としては、ゴム系感圧接着剤やアクリル系感圧接着剤が好ましく、特にアクリル系感圧接着剤を好適に用いることができる。ゴム系感圧接着剤としては、天然ゴムや各種の合成ゴム［例えば、ポリイソプレンゴム、スチレン・ブタジエンブロック共重合体（ＳＢ）ゴム、スチレン・イソプレンブロック共重合体（ＳＩ）ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）ゴム、スチレン・イソプレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンや、これらの変性体など］をベースポリマーとしたゴム系感圧接着剤が挙げられる。 As the pressure sensitive adhesive, a rubber pressure sensitive adhesive or an acrylic pressure sensitive adhesive is preferable, and in particular, an acrylic pressure sensitive adhesive can be suitably used. Rubber-based pressure-sensitive adhesives include natural rubber and various synthetic rubbers [for example, polyisoprene rubber, styrene / butadiene block copolymer (SB) rubber, styrene / isoprene block copolymer (SI) rubber, styrene / isoprene.・ Styrene block copolymer (SIS) rubber, styrene / butadiene / styrene block copolymer (SBS) rubber, styrene / isoprene / butadiene / styrene block copolymer (SIBS) rubber, styrene / ethylene / butylene / styrene block copolymer Polymer (SEBS) rubber, styrene / ethylene / propylene / styrene block copolymer (SEPS) rubber, styrene / ethylene / propylene block copolymer (SEP) rubber, recycled rubber, butyl rubber, polyisobutylene, and modified products thereof Etc.] Base polymer Include rubber-based pressure-sensitive adhesive.

また、アクリル系感圧接着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系重合体［単独重合体（ホモポリマー）又は共重合体（コポリマー）］をベースポリマーとするアクリル系感圧接着剤が挙げられる。前記アクリル系感圧接着剤における（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどの（メタ）アクリル酸Ｃ_1-20アルキルエステル［好ましくは（メタ）アクリル酸Ｃ_4-18アルキル（直鎖状又は分岐鎖状のアルキル）エステル］などが挙げられる。As the acrylic pressure-sensitive adhesive, an acrylic polymer [homopolymer or homopolymer] using one or more (meth) acrylic acid alkyl esters as a monomer component is used. An acrylic pressure-sensitive adhesive having a copolymer)] as a base polymer. Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester in the acrylic pressure-sensitive adhesive include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, (meth ) Butyl acrylate, isobutyl (meth) acrylate, s-butyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, heptyl (meth) acrylate , Octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, isononyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid Isodecyl, undecyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, ( T) Decyl acrylate, tetradecyl (meth) acrylate, pentadecyl (meth) acrylate, hexadecyl (meth) acrylate, heptadecyl (meth) acrylate, octadecyl (meth) acrylate, nonadecyl (meth) acrylate, (meta And (meth) acrylic acid C_1-20 alkyl ester such as eicosyl acrylate [preferably (meth) acrylic acid C_4-18 alkyl (linear or branched alkyl) ester].

なお、前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性、架橋性などの改質を目的として、必要に応じて、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、カルボキシエチルアクリレートなどのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸などの酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミドなどの（Ｎ−置換又は無置換）アミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル系モノマー；スチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン系モノマー；ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノアクリレート系モノマー；（メタ）アクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリル系モノマー；エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン又はジエン系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどの（置換又は無置換）アミノ基含有モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチルなどの（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−メチルビニルピロリドン、Ｎ−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルピペリドン、Ｎ−ビニルピリミジン、Ｎ−ビニルピペラジン、Ｎ−ビニルピラジン、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニルオキサゾール、Ｎ−ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカプロラクタムなどの窒素原子含有環を有するモノマー；Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレートなどのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルなどの酸素原子含有複素環を有するモノマー；フッ素系（メタ）アクリレートなどのフッ素原子を含有するアクリル酸エステル系モノマー；シリコーン系（メタ）アクリレートなどのケイ素原子を含有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジ（メタ）アクリレート、ヘキシルジ（メタ）アクリレートなどの多官能モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は１種又は２種以上使用できる。 In addition, the said acrylic polymer respond | corresponds to the other monomer component which can be copolymerized with the said (meth) acrylic-acid alkylester as needed for the purpose of modification | reformation, such as cohesive force, heat resistance, and crosslinkability. It may contain the unit to do. Examples of such monomer components include carboxyl group-containing monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, crotonic acid, and carboxyethyl acrylate; acid anhydrides such as maleic anhydride and itaconic anhydride Physical group-containing monomers; hydroxyl group-containing monomers such as hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, and hydroxybutyl (meth) acrylate; (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, (N-substituted or unsubstituted) amide monomers such as N-butyl (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N-methylolpropane (meth) acrylamide; vinyl ester monomers such as vinyl acetate and vinyl propionate Styling Styrene monomers such as α-methylstyrene; vinyl ether monomers such as vinyl methyl ether and vinyl ethyl ether; cyanoacrylate monomers such as acrylonitrile and methacrylonitrile; epoxy group-containing acrylic monomers such as glycidyl (meth) acrylate Olefin or diene monomer such as ethylene, propylene, isoprene, butadiene and isobutylene; aminoethyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, t-butylaminoethyl (meth) acrylate, etc. (Substituted or unsubstituted) amino group-containing monomers; (meth) acrylic acid alkoxyalkyl monomers such as (meth) acrylic acid methoxyethyl and (meth) acrylic acid ethoxyethyl; N-vinylpyrrolidone, N -Methylvinylpyrrolidone, N-vinylpyridine, N-vinylpiperidone, N-vinylpyrimidine, N-vinylpiperazine, N-vinylpyrazine, N-vinylpyrrole, N-vinylimidazole, N-vinyloxazole, N-vinylmorpholine, N -Monomers having a nitrogen atom-containing ring such as vinyl caprolactam; N-vinylcarboxylic acid amides; Monomers containing sulfonic acid groups such as styrene sulfonic acid, allyl sulfonic acid, (meth) acrylamide propane sulfonic acid, sulfopropyl (meth) acrylate A phosphate group-containing monomer such as 2-hydroxyethylacryloyl phosphate; a maleimide monomer such as N-cyclohexylmaleimide, N-isopropylmaleimide, N-laurylmaleimide, N-phenylmaleimide; N Itacimide monomers such as methylitaconimide, N-ethylitaconimide, N-butylitaconimide, N-octylitaconimide, N-2-ethylhexylitaconimide, N-cyclohexylitaconimide, N-laurylitaconimide; N- ( Succinimide monomers such as (meth) acryloyloxymethylene succinimide, N- (meth) acryloyl-6-oxyhexamethylene succinimide, N- (meth) acryloyl-8-oxyoctamethylene succinimide; polyethylene glycol (meth) acrylate, (meta ) Glycol acrylic ester monomers such as polypropylene glycol acrylate; Monomers having an oxygen atom-containing heterocycle such as tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate; Fluorine Acrylic acid ester monomer containing fluorine atom such as (meth) acrylate; Acrylic acid ester monomer containing silicon atom such as silicone (meth) acrylate; Hexanediol di (meth) acrylate, (Poly) ethylene glycol di (Meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, Dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, epoxy acrylate, polyester acrylate, urethane acrylate, divinylbenzene, butyl di (meth) acrylate, hexyl And polyfunctional monomers such as di (meth) acrylate. These monomer components can be used alone or in combination of two or more.

なお、加熱処理前の適度な接着力と加熱処理後の接着力の低下性のバランスの点から、より好ましい感圧接着剤としては、動的弾性率が常温から１５０℃において５０００〜１００万（Ｐａ）の範囲にあるポリマーをベースとした感圧接着剤である。 In addition, from the point of balance of moderate adhesive force before heat treatment and lowering of adhesive force after heat treatment, a more preferable pressure-sensitive adhesive has a dynamic elastic modulus of 5,000 to 1,000,000 (from room temperature to 150 ° C.). It is a pressure sensitive adhesive based on polymers in the range of Pa).

感圧接着剤は、粘着性成分（ベースポリマー）等のポリマー成分などのほかに、感圧接着剤の種類等に応じて、架橋剤（例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤など）、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂などからなる常温で固体、半固体あるいは液状のもの）、可塑剤、充填剤、老化防止剤、界面活性剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。 In addition to polymer components such as adhesive components (base polymers), pressure-sensitive adhesives are cross-linking agents (for example, isocyanate-based cross-linking agents, epoxy-based cross-linking agents, melamine-based adhesives) depending on the type of pressure-sensitive adhesive. Crosslinking agents, etc.), tackifiers (for example, rosin derivative resins, polyterpene resins, petroleum resins, oil-soluble phenol resins, etc., solid, semi-solid or liquid at room temperature), plasticizers, fillers, anti-aging agents, An appropriate additive such as a surfactant may be contained.

このような粘弾性物質としては、特に感圧接着剤を好適に用いることができる。このように、感圧接着剤を粘弾性物質として用いることにより、熱膨張性層としての熱膨張性粘着層を形成することができる。すなわち、熱膨張性粘着層は、熱膨張性を付与するための発泡剤と、粘着性を付与するための感圧接着剤とにより形成されている。 As such a viscoelastic substance, a pressure-sensitive adhesive can be particularly preferably used. As described above, by using the pressure-sensitive adhesive as a viscoelastic substance, a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer as a heat-expandable layer can be formed. That is, the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer is formed of a foaming agent for imparting thermal expansibility and a pressure-sensitive adhesive for imparting tackiness.

熱膨張性粘着層は、例えば、感圧接着剤と、発泡剤（熱膨張性微小球など）と、必要に応じて溶媒やその他の添加剤などとを混合して、シート状の層に形成する慣用の方法により形成することができる。具体的には、例えば、感圧接着剤、発泡剤（熱膨張性微小球など）、および必要に応じて溶媒やその他の添加剤を含む混合物を、基材や、後述するゴム状有機弾性層上に塗布する方法、適当なセパレータ（剥離紙など）上に前記混合物を塗布して熱膨張性粘着層を形成し、これを基材又はゴム状有機弾性層上に転写（移着）する方法などにより、熱膨張性粘着層を形成することができる。熱膨張性粘着層を塗布する際には、スピンコートや一般の粘着剤塗工機に用いられる装置（例えば、ファンテンダコーターや、キスコーターなど）を用いることができる。なお、熱膨張性粘着層は単層、複層の何れであってもよい。 The heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer is formed into a sheet-like layer by mixing, for example, a pressure-sensitive adhesive, a foaming agent (such as heat-expandable microspheres), and a solvent or other additive as necessary. It can be formed by a conventional method. Specifically, for example, a pressure sensitive adhesive, a foaming agent (such as thermally expandable microspheres), and a mixture containing a solvent and other additives as necessary, a base material, and a rubbery organic elastic layer to be described later A method of coating on top, a method of coating the mixture on a suitable separator (such as release paper) to form a heat-expandable adhesive layer, and transferring (transferring) it onto a base material or rubbery organic elastic layer Thus, the thermally expandable adhesive layer can be formed. When applying the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer, an apparatus (for example, a fan tender coater or a kiss coater) used for spin coating or a general pressure-sensitive adhesive coating machine can be used. The thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer may be either a single layer or multiple layers.

もちろん、熱膨張性層が、熱膨張性粘着層でない場合は、熱膨張性層は、前記熱膨張性粘着層の形成方法に準じた形成方法により形成することができる。 Of course, when the heat-expandable layer is not a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer, the heat-expandable layer can be formed by a forming method according to the method for forming the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer.

熱膨張性層（熱膨張性粘着層など）の厚さは、接着力の低減性などにより適宜に選択することができ、例えば、５〜３００μｍ（好ましくは２０〜１５０μｍ）程度である。但し、発泡剤として熱膨張性微小球が用いられている場合、熱膨張性層の厚さは、含まれている熱膨張性微小球の最大粒径よりも厚いことが重要である。熱膨張性層の厚さが薄すぎると、熱膨張性微小球の凹凸により表面平滑性が損なわれ、加熱前（未発泡状態）の接着性が低下する。また、加熱処理による熱膨張性層の変形度が小さく、接着力が円滑に低下しにくくなる。一方、熱膨張性層の厚さが厚すぎると、加熱処理による膨張乃至発泡後に、熱膨張性層に凝集破壊が生じやすくなり、被着物に糊残りが発生する場合がある。 The thickness of the heat-expandable layer (such as a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer) can be appropriately selected depending on the adhesiveness reduction property, and is, for example, about 5 to 300 μm (preferably 20 to 150 μm). However, when thermally expandable microspheres are used as the foaming agent, it is important that the thickness of the thermally expandable layer is thicker than the maximum particle size of the included thermally expandable microspheres. When the thickness of the heat-expandable layer is too thin, the surface smoothness is impaired by the unevenness of the heat-expandable microspheres, and the adhesiveness before heating (unfoamed state) is lowered. In addition, the degree of deformation of the heat-expandable layer due to the heat treatment is small, and the adhesive force is not easily lowered. On the other hand, if the thickness of the heat-expandable layer is too thick, cohesive failure is likely to occur in the heat-expandable layer after expansion or foaming by heat treatment, and adhesive residue may be generated on the adherend.

（基材）
図１で示される加熱剥離型粘着シートでは、支持基材（単に「基材」と称する場合がある）が用いられている。このような基材は、熱膨張性層等の支持母体として用いることができる。基材としては、例えば、紙などの紙系基材；織布、不織布、フェルト、ネットなどの繊維系基材；金属箔、金属板などの金属系基材；プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材；ゴムシートなどのゴム系基材；発泡シートなどの発泡体や、これらの積層体（特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム（又はシート）同士の積層体など）等の適宜な薄葉体を用いることができる。基材としては、熱膨張性層の加熱処理温度で溶融しない耐熱性に優れるものが、加熱後の取扱性などの点より好ましい。基材としては、プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材を好適に用いることができる。このようなプラスチックのフィルムやシートにおける素材としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα−オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などが挙げられる。これらの素材は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。(Base material)
In the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet shown in FIG. 1, a support base material (sometimes simply referred to as “base material”) is used. Such a base material can be used as a support matrix such as a thermally expandable layer. Examples of the substrate include paper-based substrates such as paper; fiber-based substrates such as woven fabrics, nonwoven fabrics, felts, and nets; metal-based substrates such as metal foils and metal plates; plastics such as plastic films and sheets. Base materials; rubber base materials such as rubber sheets; foams such as foam sheets, and laminates thereof (particularly, laminates of plastic base materials and other base materials, and plastic films (or sheets)) An appropriate thin leaf body such as a laminate of the above can be used. As a base material, what is excellent in the heat resistance which does not melt at the heat processing temperature of a thermally expansible layer is preferable from points, such as the handleability after a heating. As the substrate, a plastic substrate such as a plastic film or sheet can be suitably used. As a material in such a plastic film or sheet, for example, an α-olefin such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), ethylene-propylene copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA) or the like is used as a monomer component. Olefin-based resins: Polyesters such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polybutylene terephthalate (PBT); polyvinyl chloride (PVC); polyphenylene sulfide (PPS); polyamide (nylon), wholly aromatic Examples thereof include amide resins such as polyamide (aramid); polyetheretherketone (PEEK). These materials can be used alone or in combination of two or more.

なお、基材として、プラスチック系基材が用いられている場合は、延伸処理等により伸び率などの変形性を制御していてもよい。また、基材としては、熱膨張性層などに放射線硬化性の物質を使用する際は、放射線の透過を阻害しないものを使用することが好ましい。 In addition, when a plastic-type base material is used as a base material, you may control deformability, such as elongation rate, by extending | stretching process etc. Moreover, as a base material, when using a radiation-curable substance for a thermally expansible layer etc., it is preferable to use what does not inhibit radiation permeation | transmission.

基材の厚さは、強度や柔軟性、使用目的などに応じて適宜に選択でき、例えば、一般的には１０００μｍ以下（例えば、１〜１０００μｍ）、好ましくは１〜５００μｍ、さらに好ましくは３〜３００μｍ、特に５〜２５０μｍ程度であるが、これらに限定されない。なお、基材は単層の形態を有していてもよく、積層された形態を有していてもよい。 The thickness of the substrate can be appropriately selected according to the strength, flexibility, purpose of use, and the like. For example, it is generally 1000 μm or less (for example, 1 to 1000 μm), preferably 1 to 500 μm, more preferably 3 to 3 μm. Although it is 300 micrometers, especially about 5-250 micrometers, it is not limited to these. In addition, the base material may have a single layer form or may have a laminated form.

基材の表面は、隣接する層（熱膨張性層や、ゴム状有機弾性層など）との密着性を高めるため、慣用の表面処理、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理等が施されていてもよく、下塗り剤によるコーティング処理等が施されていてもよい。また、熱膨張性層等との剥離性を付与するために、例えば、シリコーン系樹脂やフッ素系樹脂等の剥離剤などによるコーティング処理が施されていてもよい。 The surface of the base material is used for conventional surface treatments such as corona treatment, chromic acid treatment, ozone exposure, and flame exposure in order to improve adhesion to adjacent layers (such as a thermally expandable layer and rubbery organic elastic layer). Further, oxidation treatment by a chemical or physical method such as exposure to high piezoelectric impact, ionizing radiation treatment, or the like may be performed, or coating treatment with a primer may be performed. Moreover, in order to give peelability with a thermally expansible layer etc., the coating process by release agents, such as a silicone type resin and a fluorine resin, may be given, for example.

なお、基材の少なくとも一方の面（片面または両面）に、熱膨張性層を設けることができる。また、基材を熱膨張性層の内部に埋設した形態などとすることもできる。 A thermally expandable layer can be provided on at least one side (one side or both sides) of the substrate. Moreover, it can also be set as the form etc. which embed | buried the base material inside the thermally expansible layer.

（中間層）
本発明の加熱剥離型粘着シートは、例えば、基材と熱膨張性層との間などに１層又は２層以上の中間層を有していてもよい。このような中間層としては、剥離性の付与を目的とした剥離剤のコーティング層や、密着力の向上を目的とした下塗り剤のコーティング層などが挙げられる。なお、剥離剤のコーティング層や下塗り剤のコーティング層以外の中間層としては、例えば、良好な変形性の付与を目的とした層、被着物（半導体ウエハなど）への接着面積の増大を目的とした層、接着力の向上を目的とした層、被着物（半導体ウエハなど）の表面形状に良好に追従させることを目的とした層、加熱による接着力低減の処理性の向上を目的とした層、加熱後の被着物（半導体ウエハなど）よりの剥離性の向上を目的とした層などが挙げられる。特に、加熱剥離型粘着シートの変形性の付与や加熱後の剥離性の向上などの点より、基材と熱膨張性層との間の中間層として、図１で示されるように、ゴム状有機弾性層を設けることができる。(Middle layer)
The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention may have, for example, one or two or more intermediate layers between the base material and the thermally expandable layer. Examples of such an intermediate layer include a release agent coating layer for the purpose of imparting releasability and a primer coating layer for the purpose of improving adhesion. In addition, as an intermediate layer other than the coating layer of the release agent and the coating layer of the primer, for example, for the purpose of increasing the adhesion area to the adherend (semiconductor wafer, etc.) for the purpose of imparting good deformability Layer intended to improve adhesion, layer intended to follow the surface shape of the adherend (semiconductor wafer, etc.), layer intended to improve processability to reduce adhesion by heating And a layer for the purpose of improving peelability from an adherend (such as a semiconductor wafer) after heating. In particular, as shown in FIG. 1, as an intermediate layer between the base material and the heat-expandable layer, from the viewpoint of imparting the deformability of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet or improving the peelability after heating, a rubber-like An organic elastic layer can be provided.

図１に示される加熱剥離型粘着シート１では、熱膨張性層としての熱膨張性粘着層４は、ゴム状有機弾性層３を介して支持基材（基材）２上に形成されている。このように、ゴム状有機弾性層を設けることにより、加熱剥離型粘着シートを被着物に接着する際に、前記加熱剥離型粘着シートの表面を被着物の表面形状に良好に追従させて、接着面積を大きくすることができ、また、前記加熱剥離型粘着シートを被着物から加熱剥離する際に、熱膨張性層の加熱膨張を高度に（精度よく）コントロールし、熱膨張性層を厚さ方向へ優先的に且つ均一に膨張させることができる。すなわち、ゴム状有機弾性層は、加熱剥離型粘着シートを被着物に接着する際にその表面が被着物の表面形状に追従して大きい接着面積を提供する働きと、加熱剥離型粘着シートより被着物を剥離するために熱膨張性層を加熱して発泡及び／又は膨張させる際に加熱剥離型粘着シートの面方向における発泡及び／又は膨張の拘束を少なくして熱膨張性層が三次元的構造変化することによるウネリ構造形成を助長する働きをすることができる。 In the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 1 shown in FIG. 1, a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer 4 as a heat-expandable layer is formed on a support base material (base material) 2 via a rubbery organic elastic layer 3. . As described above, by providing the rubbery organic elastic layer, when the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is adhered to the adherend, the surface of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is made to follow the surface shape of the adherend well and bonded. The area can be increased, and when the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is heat-peeled from the adherend, the thermal expansion of the heat-expandable layer is highly controlled (accurately), and the thickness of the heat-expandable layer is increased. Preferentially and uniformly expand in the direction. That is, the rubber-like organic elastic layer has a function of providing a large adhesion area by following the surface shape of the adherend when the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is adhered to the adherend, When the heat-expandable layer is heated to foam and / or expand to peel off the kimono, the heat-expandable layer is three-dimensional with less restriction of foaming and / or expansion in the surface direction of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. It can serve to promote the formation of an undele structure by changing the structure.

なお、ゴム状有機弾性層は、前述のように、必要に応じて設けられる層であり、必ずしも設けられていなくてもよい。ゴム状有機弾性層としては、被着物の加工時の固定性及び加熱後の剥離性を高めるためには、設けられていることが好ましい。 The rubbery organic elastic layer is a layer provided as necessary as described above, and is not necessarily provided. The rubbery organic elastic layer is preferably provided in order to improve the fixing property during processing of the adherend and the peelability after heating.

ゴム状有機弾性層は、熱膨張性層の基材側の面に、熱膨張性層に重畳させた形態で設けることが好ましい。なお、基材と熱膨張性層との間の中間層以外の層としても設けることができる。ゴム状有機弾性層は、基材の片面又は両面に介在させることができる。 The rubbery organic elastic layer is preferably provided on the base-side surface of the thermally expandable layer in a form superimposed on the thermally expandable layer. In addition, it can provide also as layers other than the intermediate | middle layer between a base material and a thermally expansible layer. The rubbery organic elastic layer can be interposed on one side or both sides of the substrate.

ゴム状有機弾性層は、例えば、ＡＳＴＭＤ−２２４０に基づくＤ型シュアーＤ型硬度が、５０以下、特に４０以下の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂としては、例えば、ニトリル系、ジエン系、アクリル系などの合成ゴム；ポリオレフィン系、ポリエステル系などの熱可塑性エラストマー；エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビニルなどのゴム弾性を有する合成樹脂などが挙げられる。なお、ポリ塩化ビニルなどのように本質的には硬質系ポリマーであっても、可塑剤や柔軟剤等の配合剤との組み合わせによりゴム弾性が発現しうる。このような組成物も、前記ゴム状有機弾性層の構成材料として使用できる。また、前述のような熱膨張性粘着層を構成する感圧接着剤（ゴム系感圧接着剤、アクリル系感圧接着剤など）等の粘着性物質なども、ゴム状有機弾性層の構成材料として用いることができる。 The rubbery organic elastic layer is preferably formed of natural rubber, synthetic rubber or synthetic resin having rubber elasticity, for example, having a D-type Sure D-type hardness based on ASTM D-2240 of 50 or less, particularly 40 or less. Examples of the synthetic rubber or the synthetic resin having rubber elasticity include nitrile-based, diene-based, and acrylic-based synthetic rubbers; polyolefin-based and polyester-based thermoplastic elastomers; ethylene-vinyl acetate copolymer, polyurethane, polybutadiene, and the like. And a synthetic resin having rubber elasticity such as soft polyvinyl chloride. Even if it is essentially a hard polymer such as polyvinyl chloride, rubber elasticity can be manifested in combination with compounding agents such as plasticizers and softeners. Such a composition can also be used as a constituent material of the rubbery organic elastic layer. In addition, adhesive materials such as pressure-sensitive adhesives (rubber-based pressure-sensitive adhesives, acrylic pressure-sensitive adhesives, etc.) constituting the thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer as described above are also constituent materials of the rubber-like organic elastic layer. Can be used as

ゴム状有機弾性層は、例えば、前記天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂などのゴム状有機弾性層形成材を含むコーティング液を基材上に塗布する方式（コーティング法）、前記ゴム状有機弾性層形成材からなるフィルム、又は予め１層以上の熱膨張性粘着層上に前記ゴム状有機弾性層形成材からなる層を形成した積層フィルムを基材と接着する方式（ドライラミネート法）、基材の構成材料を含む樹脂組成物と前記ゴム状有機弾性層形成材を含む樹脂組成物とを共押出しする方式（共押出し法）などの形成方法により形成することができる。 The rubber-like organic elastic layer is, for example, a method in which a coating liquid containing a rubber-like organic elastic layer forming material such as natural rubber, synthetic rubber or synthetic resin having rubber elasticity is applied on a substrate (coating method), the rubber A method of adhering a film made of a layered organic elastic layer forming material or a laminated film in which a layer made of the rubbery organic elastic layer forming material is previously formed on one or more thermally expandable pressure-sensitive adhesive layers (dry laminating method) ), A resin composition containing the constituent material of the substrate and a resin composition containing the rubber-like organic elastic layer forming material can be formed by a forming method such as a method (coextrusion method).

なお、ゴム状有機弾性層は、天然ゴムや合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂を主成分とする粘着性物質で形成されていてもよく、また、かかる成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていてもよい。発泡は、慣用の方法、例えば、機械的な攪拌による方法、反応生成ガスを利用する方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法、スプレーによる方法、シンタクチックフォームを形成する方法、焼結法などにより行うことができる。 The rubbery organic elastic layer may be formed of an adhesive substance mainly composed of natural rubber, synthetic rubber, or synthetic resin having rubber elasticity, and is formed of a foam film or the like mainly composed of such a component. May be. Foaming is a conventional method, for example, a method using mechanical stirring, a method using a reaction product gas, a method using a foaming agent, a method for removing soluble substances, a method using a spray, a method for forming a syntactic foam, It can be performed by a sintering method or the like.

ゴム状有機弾性層等の中間層の厚さは、例えば、５〜３００μｍ、好ましくは２０〜１５０μｍ程度である。なお、中間層が、例えば、ゴム状有機弾性層である場合、ゴム状有機弾性層の厚さが薄すぎると、加熱発泡後の３次元的構造変化を形成することができず、剥離性が悪化する場合がある。ゴム状有機弾性層等の中間層は単層であってもよく、２以上の層で構成してもよい。 The thickness of the intermediate layer such as the rubbery organic elastic layer is, for example, about 5 to 300 μm, preferably about 20 to 150 μm. When the intermediate layer is, for example, a rubber-like organic elastic layer, if the thickness of the rubber-like organic elastic layer is too thin, a three-dimensional structural change after heating and foaming cannot be formed, and the peelability is low. It may get worse. The intermediate layer such as the rubbery organic elastic layer may be a single layer or may be composed of two or more layers.

また、ゴム状有機弾性層等の中間層としては、熱膨張性層などに放射線硬化性の物質を使用する際は、放射線の透過を阻害しないものを使用することが好ましい。 Further, as the intermediate layer such as the rubbery organic elastic layer, when using a radiation curable substance for the thermally expandable layer or the like, it is preferable to use a material that does not inhibit the transmission of radiation.

（セパレータ）
図１では、熱膨張性層としての熱膨張性粘着層の保護材としてセパレータ（剥離ライナー）が用いられているが、セパレータは必ずしも設けられていなくてもよい。なお、熱膨張性粘着層以外の粘着層が設けられている場合、その粘着層の保護材としても、セパレータ（剥離ライナー）が用いられていてもよい。(Separator)
In FIG. 1, a separator (release liner) is used as a protective material for the heat-expandable adhesive layer as the heat-expandable layer, but the separator is not necessarily provided. When an adhesive layer other than the heat-expandable adhesive layer is provided, a separator (release liner) may be used as a protective material for the adhesive layer.

なお、セパレータは、該セパレータにより保護されている粘着層を利用する際に（すなわち、セパレータにより保護されている粘着層に被着物を貼着する際に）剥がされる。 The separator is peeled off when the adhesive layer protected by the separator is used (that is, when an adherend is stuck on the adhesive layer protected by the separator).

このようなセパレータとしては、慣用の剥離紙などを使用できる。具体的には、セパレータとしては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離層を有する基材；ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材；オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。なお、セパレータは、熱膨張性粘着層等の熱膨張性層を支持するための基材として用いることも可能である。 A conventional release paper or the like can be used as such a separator. Specifically, as the separator, for example, a substrate having a release layer such as a plastic film or paper surface-treated with a release agent such as silicone, long-chain alkyl, fluorine, or molybdenum sulfide; polytetrafluoroethylene Low-adhesive substrate made of a fluorine-based polymer such as polychlorotrifluoroethylene, polyvinyl fluoride, polyvinylidene fluoride, tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer, chlorofluoroethylene / vinylidene fluoride copolymer; A low-adhesive substrate made of a nonpolar polymer such as a series resin (for example, polyethylene, polypropylene, etc.) can be used. The separator can also be used as a base material for supporting a thermally expandable layer such as a thermally expandable adhesive layer.

なお、セパレータは公知乃至慣用の方法により形成することができる。また、セパレータの厚さ等も特に制限されない。 The separator can be formed by a known or common method. Further, the thickness of the separator is not particularly limited.

（他の層）
本発明では、加熱剥離型粘着シートとしては、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えていればよく、例えば、図１で示されるように、基材を有する加熱剥離型粘着シート（基材付き加熱剥離型粘着シート）であってもよく、基材を有していない加熱剥離型粘着シート（基材レス加熱剥離型粘着シート）であってもよい。加熱剥離型粘着シートが基材付き加熱剥離型粘着シートである場合、熱膨張性層は、基材の少なくとも一方の面に形成されていればよく、例えば、例えば、（１）基材の片面に熱膨張性層が形成された形態の加熱剥離型粘着シート、（２）基材の両面に熱膨張性層が形成された形態の加熱剥離型粘着シート、（３）基材の一方の面に熱膨張性層が形成され、且つ基材の他方の面に非熱膨張性粘着層（熱膨張性を有していない粘着層）が形成された形態の加熱剥離型粘着シートなどが挙げられる。(Other layers)
In the present invention, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet only needs to have a heat-expandable layer containing a foaming agent. For example, as shown in FIG. Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet) or heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having no base material (base-less heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet). When the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet with a substrate, the thermally expandable layer may be formed on at least one surface of the substrate. For example, (1) one surface of the substrate A heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in which a heat-expandable layer is formed, (2) a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in which a heat-expandable layer is formed on both surfaces of the substrate, and (3) one surface of the substrate And a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a non-thermally-expandable pressure-sensitive adhesive layer (pressure-sensitive adhesive layer not having heat-expandability) formed on the other surface of the substrate. .

なお、熱膨張性層が熱膨張性粘着層でない場合、加熱剥離型粘着シートとしては、熱膨張性層上に、非熱膨張性粘着層が形成されていることが重要である。この際、加熱剥離型粘着シートは、熱膨張性層上の非熱膨張性粘着層の表面を粘着面として利用することができる。また、熱膨張性層が熱膨張性粘着層である場合、この熱膨張性粘着層の表面を粘着面として利用することができるので、熱膨張性層としての熱膨張性粘着層上には、非熱膨張性粘着層が形成されていなくてもよい。 When the thermally expandable layer is not a thermally expandable adhesive layer, it is important that a non-thermally expandable adhesive layer is formed on the thermally expandable layer as the heat-peelable adhesive sheet. At this time, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can utilize the surface of the non-thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer on the heat-expandable layer as the pressure-sensitive adhesive surface. Further, when the thermally expandable layer is a thermally expandable adhesive layer, the surface of the thermally expandable adhesive layer can be used as an adhesive surface, so on the thermally expandable adhesive layer as the thermally expandable layer, The non-thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer may not be formed.

このような非熱膨張性粘着層（例えば、熱膨張性層上に形成される非熱膨張性粘着層や、基材の熱膨張性層に対して反対側の面に形成される非熱膨張性粘着層など）は、前記熱膨張性粘着層において用いられる感圧接着剤として例示された感圧接着剤（例えば、ゴム系感圧接着剤、アクリル系感圧接着剤など）により形成することができる。これらの感圧接着剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。非熱膨張性粘着層を形成するための感圧接着剤には、例えば、可塑剤、充填剤、界面活性剤、老化防止剤、粘着性付与剤などの公知乃至慣用の添加剤が配合されていてもよい。 Such a non-thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer (for example, a non-heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer formed on the heat-expandable layer or a non-heat-expandable layer formed on the surface opposite to the heat-expandable layer of the substrate) The pressure-sensitive adhesive layer or the like) is formed of a pressure-sensitive adhesive exemplified as the pressure-sensitive adhesive used in the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer (for example, a rubber-based pressure-sensitive adhesive or an acrylic pressure-sensitive adhesive). Can do. These pressure sensitive adhesives can be used alone or in combination of two or more. The pressure-sensitive adhesive for forming the non-thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer is blended with known or conventional additives such as plasticizers, fillers, surfactants, anti-aging agents, and tackifiers. May be.

非熱膨張性粘着層の厚さとしては、特に制限されず、使用目的などに応じて適宜選択することができ、例えば、３００μｍ以下（例えば、１〜３００μｍ、好ましくは５〜１００μｍ）であってもよい。なお、非熱膨張性粘着層の形成方法としては、前記熱膨張性粘着層と同様の方法（例えば、基材上に塗布する方法、セパレータ上に塗布して粘着層を形成した後、これを基材上に転写する方法など）を利用することができる。なお、非熱膨張性粘着層は単層、複層の何れであってもよい。 The thickness of the non-thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose of use, and is, for example, 300 μm or less (for example, 1 to 300 μm, preferably 5 to 100 μm). Also good. As a method for forming the non-thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer, the same method as the above-mentioned heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer (for example, a method of coating on a base material, a coating layer on a separator and forming a pressure-sensitive adhesive layer) A method of transferring onto a base material) can be used. The non-thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer may be either a single layer or multiple layers.

本発明の加熱剥離型粘着シートは、両面が接着面となっている両面接着シートの形態を有していてもよいが、片面のみが接着面となっている接着シートの形態を有していることが好ましい。従って、加熱剥離型粘着シートは、基材の片面に、熱膨張性層（特に、熱膨張性粘着層）が形成されている形態の加熱剥離型粘着シートであることが好適である。 The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention may have the form of a double-sided adhesive sheet whose both surfaces are adhesive surfaces, but has the form of an adhesive sheet whose only one surface is an adhesive surface. It is preferable. Therefore, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is preferably a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a form in which a heat-expandable layer (particularly a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer) is formed on one side of the substrate.

また、加熱剥離型粘着シートは、ロール状に巻回された形態で形成されていてもよく、シートが積層された形態で形成されていてもよい。すなわち、加熱剥離型粘着シートは、シート状、テープ状などの形態を有することができる。なお、ロール状に巻回された状態又は形態の加熱剥離型粘着シートとしては、粘着面をセパレータにより保護した状態でロール状に巻回された状態又は形態を有していてもよく、粘着面を基材の他方の面に形成された剥離処理層（背面処理層）により保護した状態でロール状に巻回された状態又は形態を有していてもよい。 Moreover, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet may be formed in a form wound in a roll shape, or may be formed in a form in which sheets are laminated. That is, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can have a form such as a sheet form or a tape form. In addition, as a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in a state or form wound in a roll shape, the pressure-sensitive adhesive surface may have a state or form wound in a roll shape with the pressure-sensitive adhesive surface protected by a separator. It may have the state or form wound by roll shape in the state protected by the peeling process layer (back process layer) formed in the other surface of the base material.

［加熱剥離方法］
本発明の被着物の加熱剥離方法では、前記加熱剥離型粘着シート（すなわち、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シート）に貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて選択的に剥離している。すなわち、本発明の被着物の加熱剥離方法では、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、該加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、選択的に剥離する工程（部分的剥離工程）を少なくとも具備していることが重要である。[Heat peeling method]
In the method for heat-peeling an adherend of the present invention, one of a plurality of adherends adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet (that is, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent). Part of the adherend is selectively peeled by partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating. That is, in the heat peeling method of the adherend of the present invention, the heat peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated, and during or after the heating, an external force is applied directly or indirectly to the adherend, and the heat peeling is performed. It is important to have at least a step (partial peeling step) of selectively peeling a part of the adherends attached to the mold pressure-sensitive adhesive sheet.

このように、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えることにより、被着物が非常に薄い（超薄型）ものや、非常に小さい（超小型）ものであっても、加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の超薄型又は超小型の被着物のうち一部の被着物を効率よく、選択的に剥離させることができる。 In this way, the adherend is very thin (ultra-thin) by partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating. Even if it is a very small (ultra-small) one, some of the ultra-thin or ultra-small adherends adhered to the heat-peelable adhesive sheet can be selected efficiently. Can be peeled off.

加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱する際の加熱処理温度としては、熱膨張性粘着層の剥離開始温度以上の温度であることが重要である。また、前記加熱処理温度としては、通常、熱膨張性粘着層の剥離開始温度よりも２５℃以上高い温度であると、前記剥離開始温度で膨張可能となる発泡剤（熱膨張性微小球など）が破裂してしまい易くなる。そのため、前記発泡剤を破裂させずに効果的に熱膨張させるためには、加熱処理温度としては、発泡剤の種類などにもよるが、通常、熱膨張性粘着層の剥離開始温度よりも２５℃を超えない温度であることが重要となっている。従って、熱膨張性粘着層に貼着されている被着体を部分的に剥離させる際の加熱処理温度としては、熱膨張性粘着層の剥離開始温度を、Ｔ₀とした場合、通常、Ｔ₀以上且つ（Ｔ₀＋２５℃）未満の範囲から選択され、好ましくはＴ₀以上且つ（Ｔ₀＋２０℃）以下の範囲から選択され、さらに好ましくはＴ₀以上且つ（Ｔ₀＋１５℃）以下の範囲から選択される。It is important that the heat treatment temperature when partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is equal to or higher than the temperature at which the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer is peeled off. The heat treatment temperature is usually a foaming agent (such as a thermally expandable microsphere) that can expand at the peeling start temperature when the temperature is 25 ° C. or higher than the peeling start temperature of the thermally expandable adhesive layer. Tends to burst. Therefore, in order to effectively thermally expand the foaming agent without rupturing, although the heat treatment temperature depends on the type of foaming agent and the like, it is usually 25 It is important that the temperature does not exceed ℃. Therefore, the heat treatment temperature for partially peeling the adherend adhered to the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer is usually set to T₀ when the peeling start temperature of the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer is T_0. It is selected from the range of₀ or more and less than (T₀ + 25 ° C.), preferably selected from the range of T₀ or more and (T₀ + 20 ° C.) or less, more preferably T₀ or more and (T₀ + 15 ° C.) or less. Selected from a range.

なお、本発明において、加熱剥離型粘着シートの剥離開始温度としては、熱膨張性層が熱膨張性粘着層である場合、例えば、加熱処理により、発泡剤（熱膨張性微小球など）を含有する熱膨張性粘着層による接着力を加熱前の接着力の１０％以下に低下させることができる最低の加熱処理温度とすることができる。従って、前記剥離開始温度は、発泡剤（熱膨張性微小球など）を含有する熱膨張性粘着層による接着力を加熱前の接着力の１０％以下に低下させることができる最低の加熱処理温度を測定することにより、求めることができる。具体的には、加熱剥離型粘着シートの発泡剤（熱膨張性微小球など）が含まれている熱膨張性粘着層の表面に、幅が２０ｍｍで且つ厚みが２３μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム［商品名「ルミラーＳ１０＃２５」（東レ社製）；「ＰＥＴフィルム」と称する場合がある］を、ハンドローラで気泡が混入しないように貼り合わせて、試験片を作製する。この試験片を、ＰＥＴフィルムを貼り合わせてから３０分後に、ＰＥＴフィルムを１８０°の剥離角度で引き剥がして、その際の接着力（測定温度：２３℃、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度：１８０°）を測定し、該接着力を「初期接着力」とする。また、前記方法にて作製した試験片を、各温度（加熱処理温度）に設定された熱循環式乾燥機に１分間入れて、熱循環式乾燥機から取り出した後、２３℃に２時間放置させ、その後、ＰＥＴフィルムを１８０°の剥離角度で引き剥がして、その際の接着力（測定温度：２３℃、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度：１８０°）を測定し、該接着力を「加熱処理後の接着力」とする。そして、加熱処理後の接着力が、初期接着力の１０％以下になる最低の加熱処理温度を求める。この最低の加熱処理温度が、熱膨張性粘着層の剥離開始温度である。 In the present invention, as the peeling start temperature of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, when the heat-expandable layer is a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer, for example, by heat treatment, a foaming agent (such as heat-expandable microspheres) is contained. It is possible to set the lowest heat treatment temperature at which the adhesive force by the thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer can be reduced to 10% or less of the adhesive force before heating. Therefore, the peeling start temperature is the lowest heat treatment temperature at which the adhesive force by the thermally expandable pressure-sensitive adhesive layer containing a foaming agent (such as thermally expandable microspheres) can be reduced to 10% or less of the adhesive force before heating. Can be determined by measuring. Specifically, a polyethylene terephthalate film having a width of 20 mm and a thickness of 23 μm on the surface of the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer containing the foaming agent (heat-expandable microspheres, etc.) of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet [trade name “Lumirror S10 # 25” (manufactured by Toray Industries, Inc.); sometimes referred to as “PET film”] is bonded with a hand roller so that no air bubbles are mixed, to prepare a test piece. 30 minutes after bonding the PET film to the test piece, the PET film was peeled off at a 180 ° peeling angle, and the adhesive strength at that time (measurement temperature: 23 ° C., tensile speed: 300 mm / min, peeling angle) : 180 °), and the adhesive force is defined as “initial adhesive force”. Moreover, after putting the test piece produced by the said method into the heat circulation type dryer set to each temperature (heat processing temperature) for 1 minute, taking out from a heat circulation type dryer, it is left at 23 degreeC for 2 hours. Then, the PET film is peeled off at a 180 ° peeling angle, and the adhesive strength at that time (measurement temperature: 23 ° C., tensile speed: 300 mm / min, peeling angle: 180 °) is measured. “Adhesive strength after heat treatment”. Then, the lowest heat treatment temperature at which the adhesive strength after the heat treatment is 10% or less of the initial adhesive strength is obtained. This lowest heat treatment temperature is the peeling start temperature of the thermally expandable adhesive layer.

なお、熱膨張性層が熱膨張性粘着層でない場合も、前記熱膨張性層が熱膨張性粘着層である場合と同様にして、加熱剥離型粘着シートの剥離開始温度を求めることができる。 In addition, also when a heat-expandable layer is not a heat-expandable adhesive layer, the peeling start temperature of a heat-peelable adhesive sheet can be calculated | required similarly to the case where the said heat-expandable layer is a heat-expandable adhesive layer.

また、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱処理する際には、加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち剥離させる所望の被着物（一部の被着物）が貼着している部位が、部分的に加熱されるように、加熱処理を行うことが重要である。このような加熱剥離型粘着シートの部分的な加熱処理により、部分的に加熱処理された部位が選択的に熱を受けて、熱膨張性層中の発泡剤（熱膨張性微小球など）が膨張し（膨張部）、粘着力が低下又は消失して、この部分的に加熱処理された部位に貼着している被着物を剥離させることができる。一方、前記加熱処理された部位から離れた部位は、前記加熱処理による熱を受けず、発泡剤の膨張に基づく粘着力の低下が生じない（未膨張部）ので、加熱剥離型粘着シートの該部位に貼着している被着物は、加熱剥離型粘着シートに貼着した状態が保持される。 In addition, when a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heat-treated, a desired adherend (a part of the adherends) to be peeled is stuck among a plurality of adherends stuck to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. It is important to perform the heat treatment so that the part being heated is partially heated. Due to the partial heat treatment of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the partially heat-treated portion is selectively heated, and the foaming agent (thermally-expandable microspheres, etc.) in the heat-expandable layer is formed. It expand | swells (expansion part), adhesive force falls or lose | disappears, and the to-be-adhered object stuck to this partially heat-processed site | part can be peeled. On the other hand, the part away from the heat-treated part does not receive heat due to the heat treatment, and the adhesive force is not reduced due to the expansion of the foaming agent (unexpanded part). The adherend adhered to the part is kept in the state adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

従って、本発明の加熱剥離方法によれば、加熱剥離型粘着シートに貼着している複数個の被着物のうち所望の被着物のみを簡易な操作により選択的に剥離させることが可能である。 Therefore, according to the heat peeling method of the present invention, it is possible to selectively peel only a desired adherend among a plurality of adherends stuck to the heat peelable pressure-sensitive adhesive sheet by a simple operation. .

なお、加熱処理時間としては、加熱剥離型粘着シートの種類、発泡剤の種類、被着物の性質、加熱処理温度や加熱方式などに応じて適宜設定することができる。 In addition, as heat processing time, it can set suitably according to the kind of heat peelable adhesive sheet, the kind of foaming agent, the property of a to-be-adhered body, heat processing temperature, a heating system, etc.

加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱する際の加熱手段としては、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱することが可能な加熱手段であれば特に制限されないが、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱することができるとともに、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能な加熱手段を好適に利用することができ、特に、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱することができるとともに、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能であり、且つ剥離させる被着物の形状に対応して被着物に直接的又は間接的に外力を加えることが可能な加熱外力付与手段を好適に利用することができる。 The heating means for partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is not particularly limited as long as it is a heating means capable of partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. Heating means that can be heated in accordance with the shape of the adherend to be peeled can be suitably used, and in particular, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can be partially heated. Heating that can be applied in accordance with the shape of the adherend to be peeled off and can be applied directly or indirectly to the adherend in accordance with the shape of the adherend to be peeled off. The external force applying means can be preferably used.

従って、本発明では、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱することができるとともに、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能な加熱手段と、剥離させる被着物の形状に対応して被着物に直接的又は間接的に外力を加えることが可能な外力付与手段とにより、加熱剥離型粘着シートのうち前記剥離させる被着物の貼着部位を部分的に効率よく加熱し、且つ加熱中又は加熱後に、剥離させる被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、前記被着物を選択的に剥離してもよく、また、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱することができるとともに、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能であり、且つ剥離させる被着物の形状に対応して被着物に直接的又は間接的に外力を加えることが可能な加熱外力付与手段により、加熱剥離型粘着シートのうち前記剥離させる被着物の貼着部位を加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、剥離させる被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、前記被着物を選択的に剥離してもよい。 Therefore, in the present invention, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can be partially heated, and can be heated corresponding to the shape of the adherend to be peeled, and corresponds to the shape of the adherend to be peeled off. And by applying external force that can apply external force directly or indirectly to the adherend, a part of the adherend to be peeled of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated efficiently, and During or after heating, an external force may be applied directly or indirectly to the adherend to be peeled to selectively peel the adherend, or the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet may be partially heated. A heating external force that can be heated corresponding to the shape of the adherend to be peeled and that can apply an external force directly or indirectly to the adherend according to the shape of the adherend to be peeled Granting means More, the adhesion part of the adherend to be peeled is heated in the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, and an external force is applied directly or indirectly to the adherend to be peeled during or after the heating, You may peel selectively.

なお、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱する際には、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側（被着物が貼着されていない側；「被着物非貼着側」と称する場合がある）のうち、少なくとも一方の側から加熱することができる。従って、加熱は、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側、被着物非貼着側（被着物が貼着されていない側）のいずれか一方の側から行ってもよく、両方の側から行ってもよい。なお、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から加熱する場合、被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から同時に加熱してもよく、被着物貼着側と被着物非貼着側とのうちいずれか一方の側から加熱した後に、他方の側から加熱してもよい。 When the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated, the adherend-attached side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and the opposite side (the side where the adherend is not attached; May be heated from at least one side. Therefore, the heating may be performed from either one of the adherend pasting side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and the non-sticking side (the side where the adherend is not pasted). You may go. In addition, when heating from both the adherend pasting side and the adherend non-sticking side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, heat from both the adherent pasting side and the adherend non-sticking side simultaneously. Alternatively, after heating from either one of the adherend pasting side and the adherend non-sticking side, heating may be performed from the other side.

また、加熱剥離型粘着シートに貼着されている貼着物に外力を直接的又は間接的に加える際には、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側（被着物非貼着側）のうち、少なくとも一方の側から外力を加えることができる。従って、外力の付加は、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側、被着物非貼着側のいずれか一方の側から行ってもよく、両方の側から行ってもよい。なお、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から外力の付加を行う場合、被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から同時に外力の付加を行ってもよく、被着物貼着側と被着物非貼着側とのうちいずれか一方の側から外力の付加を行った後に、他方の側から外力の付加を行ってもよい。 In addition, when external force is applied directly or indirectly to the sticking material attached to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the sticking side of the heat-peeling pressure-sensitive adhesive sheet and the opposite side (non-sticking material) The external force can be applied from at least one of the two sides. Therefore, the external force may be applied from either one of the adherend pasting side and the adherend non-sticking side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, or from both sides. In addition, when applying external force from both the adherend-adhered side and the adherend-unattached side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, simultaneously from both the adherend-attached side and the adherend-unattached side An external force may be applied, and after applying an external force from one of the adherend pasting side and an adherend non-sticking side, an external force may be applied from the other side. .

なお、外力を、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側から被着物に加える際には、被着物に直接的に外力を加えることができる。一方、外力を、加熱剥離型粘着シートの被着物非貼着側から被着物に加える際には、被着物に、加熱剥離型粘着シートを介して間接的に外力を加えることができる。もちろん、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側および被着物非貼着側から被着物に加えることにより、被着物に直接的および間接的に外力を加えることができる。 In addition, when applying external force to an adherend from the adherend sticking side of a heat peeling type adhesive sheet, external force can be directly applied to an adherend. On the other hand, when an external force is applied to the adherend from the non-adhered side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the external force can be indirectly applied to the adherend via the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. Of course, an external force can be applied directly and indirectly to the adherend by applying it to the adherend from the adherend attaching side and the adherend non-attaching side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

このような外力としては、超音波による振動力や、押圧力などが挙げられる。押圧力としては、先端が鋭利となったもの（例えば、ニードルなど）で突くことによる押圧力が好適である。なお、ニードルのような鋭利な先端を有するものを用いて押圧力を加える場合は、加熱剥離型粘着シートの被着物非貼着側から突くことにより、押圧力を加えることが好ましい。 Examples of such external force include vibration force by ultrasonic waves and pressing force. As the pressing force, a pressing force by pushing with a sharp tip (for example, a needle) is suitable. In addition, when applying pressing force using what has a sharp tip like a needle, it is preferable to apply pressing force by poking from the adherend non-adhesion side of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

外力の大きさとしては、外力を加える際の加熱剥離型粘着シートによる接着力、被着物の性質や、外力の種類などに応じて適宜設定することができる。 The magnitude of the external force can be appropriately set according to the adhesive strength of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet when applying the external force, the nature of the adherend, the type of external force, and the like.

なお、被着物に加える外力は、加熱中、加熱後のいずれであってもよく、また、両方であってもよい。また、外力の付加は、加熱剥離型粘着シートに加熱した側（被着物貼着側または被着物非貼着側）と、同一側、異なる側のいずれであってもよく、また、両方であってもよい。 The external force applied to the adherend may be either during heating, after heating, or both. In addition, the external force may be applied to either the same side or a different side from the side heated to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet (attachment adherence side or adherend non-adhesion side), or both. May be.

外力としては、加熱剥離型粘着シートの粘着面の凹凸が、被着物の表面形状に追従しないように加えることが重要である。そのため、加熱を行いながら、外力を加えることが好ましい。 As an external force, it is important that the unevenness of the adhesive surface of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet does not follow the surface shape of the adherend. Therefore, it is preferable to apply an external force while heating.

本発明では、加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物は、加熱剥離型粘着シートに複数個の被着物を貼着させることにより作製された複数個の被着物であってもよいが、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工することにより作製された複数個の被着物であることが好ましい。従って、本発明の被着物の加熱剥離方法では、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する工程（切断加工工程）と、前記複数の切断片のうち一部の切断片を、該加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、選択的に剥離する工程（部分的剥離工程）とを具備していることが好ましい。 In the present invention, the plurality of adherends attached to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet may be a plurality of adherends produced by attaching a plurality of adherends to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. However, it is preferable that it is a plurality of adherends produced by cutting the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet into a plurality of cut pieces. Therefore, in the method for heat-peeling an adherend of the present invention, a step of cutting the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet into a plurality of cut pieces (cutting step), and a part of the plurality of cut pieces A step of partially peeling the cut pieces of the film by partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating (partial peeling) It is preferable to comprise (process).

なお、切断加工工程において、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する方法としては、切断加工方法であれば特に制限されず、被着物の種類などに応じて適宜選択することができる。例えば、被着物が、下記に示されるように、シリコンウエハである場合、切断加工として、ダイシング加工が好適に用いられる。 In the cutting process, the method of cutting the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet into a plurality of cut pieces is not particularly limited as long as it is a cutting method, depending on the type of the adherend. It can be selected appropriately. For example, when the adherend is a silicon wafer as shown below, dicing is preferably used as the cutting.

本発明では、部分的剥離工程では、加熱剥離型粘着シートに貼着された複数の被着物（例えば、切断加工された複数の切断片）のうち、一部の被着物（切断片）を部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に外力を加えて、加熱及び外力付加処理を行っているので、この加熱及び外力付加処理と並行して、切断加工を施していない被着物を複数の切断片に切断加工する切断加工処理を行うことができる。すなわち、切断加工工程と並行して、部分的剥離工程を行うことができる。言い換えれば、前記切断加工工程と、前記部分的剥離工程とを、まとめた工程として行うことができる。もちろん、切断片等の被着物を部分的に加熱及び外力付加処理を行った後に、加熱剥離型粘着シートから切断片等の被着物を分離させて回収させる工程（分離回収工程）も、部分的剥離工程とまとめた工程として行うことができる。従って、部分的剥離工程と並行して、切断加工工程や、分離回収工程を行うことができる。具体的には、切断加工工程および部分的剥離工程をまとめた工程としてもよく、または、部分的剥離工程および分離回収工程をまとめた工程としてもよく、切断加工工程、部分的剥離工程および分離回収工程をまとめた工程としてもよい。このように、部分的剥離工程と並行して、切断加工工程や、分離回収工程を行うことにより、これらの工程を極めて効率よく行うことができ、生産性を大きく向上させることができる。 In the present invention, in the partial peeling step, some of the adherends (cut pieces) out of the plurality of adherends (for example, a plurality of cut pieces cut and processed) attached to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet are partially Heating and external force application treatment is performed by applying external force to the adherend during or after the heating, and in parallel with the heating and external force addition treatment, the substrate that has not been subjected to cutting processing is applied. A cutting process for cutting the kimono into a plurality of pieces can be performed. That is, a partial peeling process can be performed in parallel with the cutting process. In other words, the cutting process and the partial peeling process can be performed as a combined process. Of course, the process of separating and recovering the adherend such as the cut piece from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet after partially heating and applying the external force to the adherend such as the cut piece (separating and collecting step) is also a partial process. It can be performed as a process combined with the peeling process. Therefore, in parallel with the partial peeling process, a cutting process and a separation and recovery process can be performed. Specifically, the cutting process and the partial peeling process may be combined, or the partial peeling process and the separation and recovery process may be combined, and the cutting process, partial peeling process, and separation and recovery may be performed. It is good also as a process which put the process together. In this way, by performing the cutting process and the separation and recovery process in parallel with the partial peeling process, these processes can be performed extremely efficiently, and the productivity can be greatly improved.

なお、１つの被着物に対しては、前記工程に関して順序があり、切断加工工程、部分的剥離工程、分離回収工程の順で行うことが重要である。 In addition, with respect to one adherend, there is an order with respect to the above-described steps, and it is important to perform in the order of a cutting process, a partial peeling step, and a separation and recovery step.

もちろん、１つの被着物について、切断加工工程による切断加工処理を行い、その後、部分的剥離工程による加熱及び外力付加処理を行い、さらにその後、分離回収工程による分離回収処理を行った後、他の被着物について、切断加工工程による切断加工処理を行い、その後、部分的剥離工程による加熱及び外力付加処理を行い、さらにその後、分離回収工程による分離回収処理を行うことを繰り返すことにより、加熱剥離型粘着シートに対する切断加工処理、加熱及び外力付加処理、分離回収処理を行ってもよい。 Of course, one adherend is subjected to a cutting process by a cutting process, followed by heating and an external force addition process by a partial peeling process, and then a separation and recovery process by a separation and recovery process. The adherend is subjected to a cutting process by a cutting process, followed by heating and an external force application process by a partial peeling process, and then a separation and recovery process by a separation and recovery process. You may perform the cutting process process with respect to an adhesive sheet, a heating and external force addition process, and a separation collection process.

［被着物加熱剥離装置］
本発明の被着物加熱剥離装置は、前記加熱剥離型粘着シート（すなわち、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シート）から被着物を剥離する際に用いられる装置であって、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、複数個の被着物のうち一部の被着物を選択的に剥離させるための加熱外力付与部、または、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、複数個の被着物のうち一部の被着物を選択的に剥離させるための加熱部及び外力付与部を有している。すなわち、被着物加熱剥離装置は、加熱する機能と外力を加える機能とが一体化された加熱外力付与部、または、加熱する機能と外力を加える機能とが別々に具備された加熱部及び外力付与部を有している。[Adhesive Heat Peeling Device]
The adherend heat peeling apparatus of the present invention is an apparatus used when peeling an adherend from the heat peelable pressure sensitive adhesive sheet (that is, a heat peelable pressure sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent). Then, partially heat the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, and apply an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating to select some of the adherends A heating external force imparting part for partially peeling or a heat peeling type pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated, and an external force is directly or indirectly applied to the adherend during or after the heating, A heating unit and an external force applying unit for selectively peeling a part of the adherend among the adherends are provided. That is, the adherend heating and peeling apparatus is a heating external force applying unit in which a heating function and a function of applying external force are integrated, or a heating unit and an external force applying unit that are separately provided with a heating function and a function of applying external force. Has a part.

このような被着物加熱剥離装置としては、例えば、図２で示されるような被着物加熱剥離装置を用いることができる。図２は、本発明の被着物加熱剥離装置の一例を部分的に示す概略図である。図２において、６は被着物加熱剥離装置における加熱剥離処理部、７は加熱外力付与部、７ａは加熱外力付与部７の表面部、８は吸着ノズル、９は固定リング、１０は加熱剥離型粘着シート、１１は熱膨張性粘着層、１１ａは熱膨張性粘着層１１が膨張していない未膨張部、１１ｂは熱膨張性粘着層１１が膨張した膨張部、１２は基材、１３は被着物、１３ａは剥離された被着物である。図２では、被着物加熱剥離装置として、被着物加熱剥離装置における加熱剥離処理部６が示されており、複数個の被着物１３が貼着した加熱剥離型粘着シート１０が、固定リング９により固定された状態となっている。この加熱剥離型粘着シート１０は、基材１２上に、熱膨張性粘着層１１が形成された構成を有している。加熱剥離型粘着シート１０における被着物が貼着されている面とは反対側の面に、加熱剥離型粘着シート１０を部分的に加熱することができるとともに、加熱中又は加熱後に、被着物１３に直接的又は間接的に外力を加えることができる加熱外力付与部７が設けられている。 As such an adherend heat peeling apparatus, for example, an adherend heat peeling apparatus as shown in FIG. 2 can be used. FIG. 2 is a schematic view partially showing an example of the adherend heating and peeling apparatus of the present invention. In FIG. 2, 6 is a heat peeling treatment part in the adherend heat peeling apparatus, 7 is a heating external force applying part, 7a is a surface part of the heating externalforce applying part 7, 8 is a suction nozzle, 9 is a fixing ring, and 10 is a heat peeling type. An adhesive sheet, 11 is a thermally expandable adhesive layer, 11a is an unexpanded portion where the thermally expandableadhesive layer 11 is not expanded, 11b is an expanded portion where the thermally expandableadhesive layer 11 is expanded, 12 is a base material, and 13 is a covered material.Kimono 13a is a peeled adherend. In FIG. 2, the heat peelingtreatment unit 6 in the adherend heat peeling apparatus is shown as the adherend heat peeling apparatus, and the heat peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 to which a plurality ofadherends 13 are attached is fixed by the fixing ring 9. It is in a fixed state. This heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 has a configuration in which a heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer 11 is formed on asubstrate 12. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 can be partially heated on the surface of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 opposite to the surface on which the adherend is adhered, and theadherend 13 is heated or heated. A heating externalforce applying unit 7 that can apply an external force directly or indirectly is provided.

加熱外力付与部７は、加熱剥離型粘着シート１０を加熱させることができる。加熱外力付与部７の表面部７ａが加熱剥離型粘着シート１０（図２では、基材１２の背面）に接触することにより、加熱剥離型粘着シート１０が部分的に加熱され、この部分的に加熱された部分における熱膨張性層（図２では、熱膨張性粘着層）中の発泡剤が膨張乃至発泡し、これにより、熱膨張性層が部分的に膨張して、該膨張した部分に対応した粘着面が凹凸状に変形して、該粘着面と被着物１３との接着面積が減少し、その結果、前記凹凸状に変形した粘着面と被着物１３との間の接着力が減少することになる。 The heating externalforce imparting unit 7 can heat the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10. When the surface portion 7a of the heating externalforce imparting portion 7 contacts the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 (in FIG. 2, the back surface of the base material 12), the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 is partially heated. The foaming agent in the heat-expandable layer (heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer in FIG. 2) in the heated portion expands or foams, whereby the heat-expandable layer partially expands to the expanded portion. The corresponding adhesive surface is deformed into an uneven shape, and the adhesion area between the adhesive surface and theadherend 13 is reduced. As a result, the adhesive force between the adhesive surface deformed into the uneven shape and theadherend 13 is reduced. Will do.

また、前記加熱外力付与部７は、前記加熱中又は加熱後に、外力を加えることができる。従って、加熱外力付与部７の表面部７ａを加熱剥離型粘着シート１０（図２では、基材１２の背面）に接触させて、加熱剥離型粘着シート１０を加熱させながら、加熱剥離型粘着シート１０を介して被着物１３に外力を加えることができる。そのため、加熱剥離型粘着シート１０が部分的に加熱され、この部分的な加熱により、凹凸状に変形した粘着面と被着物１３との間の接着力が減少すると、被着物１３には外力がかかっているので、この外力により被着物１３が粘着面から剥離又は分離されることになり、粘着面と被着物１３との間の接着力がより一層減少しており、粘着面の凹凸が、被着物１３の表面形状に追従することが防止されている。 Moreover, the said heating externalforce provision part 7 can apply external force during the said heating or after a heating. Therefore, the surface part 7a of the heating externalforce imparting part 7 is brought into contact with the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 (the back surface of thesubstrate 12 in FIG. 2), and the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 is heated while being heated. An external force can be applied to theadherend 13 via 10. Therefore, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 is partially heated, and when the adhesive force between the pressure-sensitive adhesive surface deformed into a concavo-convex shape and theadherend 13 is reduced due to this partial heating, theadherend 13 has an external force. Therefore, theadherend 13 is peeled or separated from the adhesive surface by this external force, and the adhesive force between the adhesive surface and theadherend 13 is further reduced. Following the surface shape of theadherend 13 is prevented.

そして、吸着ノズル８によって、被着物１３を吸着させて加熱剥離型粘着シート１０から完全に剥離させて分離させることにより、該粘着面に貼着している被着物１３のうち、一部の被着物である被着物１３ａが加熱剥離型粘着シート１０から剥離されている。 Then, by adsorbing theadherend 13 by the suction nozzle 8 and completely separating it from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 and separating it, a part of theadherend 13 adhered to the adhesive surface is adhered. Theadherend 13a which is a kimono is peeled from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10.

なお、図２では、加熱剥離型粘着シート１０を固定するための固定部として、固定リング９が用いられている、また、加熱外力付与部７は、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能な形状を有しているとともに、剥離させる被着物の形状に対応して外力を加えることが可能な形状を有している。 In FIG. 2, a fixing ring 9 is used as a fixing part for fixing the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10, and the heating externalforce applying part 7 is heated corresponding to the shape of the adherend to be peeled off. It has a shape that can be applied, and has a shape that can apply an external force corresponding to the shape of the adherend to be peeled.

また、被着物加熱剥離装置としては、前述のように、図２で示されるような、加熱する機能と外力を加える機能とが一体化された加熱外力付与部７ではなく、図３で示されるように、加熱する機能と外力を加える機能とが別々に具備された加熱部及び外力付与部を有していてもよい。図３は、本発明の被着物加熱剥離装置の他の例を部分的に示す概略図である。図３において、７１は加熱部、７２は外力付与部であり、他の符号は、前記に同じである。図３で示される被着物加熱剥離装置では、加熱剥離型粘着シート１０における被着物が貼着されている面に、加熱剥離型粘着シート１０を部分的に加熱することができる加熱部７１が設けられており、加熱剥離型粘着シート１０における被着物が貼着されている面とは反対側の面に、加熱部７１による加熱中又は加熱後に、被着物１３に直接的又は間接的に外力を加えることができる外力付与部７２が設けられている。この被着物加熱剥離装置では、加熱部７１と外力付与部７２とは、加熱剥離型粘着シート１０の異なる面側に設けられているが、同一の面側に設けられていてもよい。なお、加熱部７１と外力付与部７２とを加熱剥離型粘着シート１０の異なる面側に設けることにより、加熱剥離型粘着シートに、加熱しながら、外力を加えることが容易となる。 Further, as described above, the adherend heating and peeling device is not shown in FIG. 3 but in the heating externalforce applying unit 7 in which the heating function and the external force applying function are integrated as shown in FIG. Thus, you may have the heating part and the external force provision part in which the function to heat and the function to add external force were comprised separately. FIG. 3 is a schematic view partially showing another example of the adherend heating and peeling apparatus of the present invention. In FIG. 3, 71 is a heating part, 72 is an external force provision part, and another code | symbol is the same as the above. In the adherend heat-peeling apparatus shown in FIG. 3, aheating unit 71 that can partially heat the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 is provided on the surface of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 on which the adherend is adhered. The external force is directly or indirectly applied to theadherend 13 during or after the heating by theheating unit 71 on the surface of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10 opposite to the surface to which the adherend is adhered. An externalforce applying unit 72 that can be applied is provided. In this adherend heat-peeling device, theheating unit 71 and the externalforce applying unit 72 are provided on different surfaces of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10, but may be provided on the same surface. In addition, by providing theheating unit 71 and the externalforce applying unit 72 on different surfaces of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 10, it is easy to apply an external force while heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

なお、加熱部７１は、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能な形状を有しており、一方、外力付与部７２は、剥離させる被着物の形状に対応して外力を加えることが可能な形状を有している。 Theheating unit 71 has a shape that can be heated corresponding to the shape of the adherend to be peeled, while the externalforce applying unit 72 applies an external force corresponding to the shape of the adherend to be peeled. It has a shape that can be added.

また、加熱外力付与部７、または加熱部７１及び外力付与部７２や吸着ノズル８は、矢印で示されているように、水平方向および垂直方向に移動可能となっている。なお、図２で示される加熱外力付与部７は、加熱と外力の付与とを同時に又は別々に行うことができる構成を有していてもよく、または、加熱と外力の付与とを同時に及び別々に行うことができる構成を有していてもよい。 Further, the heating externalforce applying unit 7, or theheating unit 71, the externalforce applying unit 72, and the suction nozzle 8 are movable in the horizontal direction and the vertical direction as indicated by arrows. In addition, the heating externalforce provision part 7 shown by FIG. 2 may have the structure which can perform a heating and external force provision simultaneously or separately, or heating and external force provision simultaneously and separately. You may have the structure which can be performed to.

さらにまた、図２では、基材１２上に熱膨張性粘着層１１が形成された構成の加熱剥離型粘着テープ１０が用いられているが、加熱剥離型粘着シートとしては、発泡剤を含有する熱膨張性層を有する構成の加熱剥離型粘着テープであればよく、例えば、図１で示される加熱剥離型粘着シート１を用いることもできる。 Furthermore, in FIG. 2, although the heat-peelable pressure-sensitive adhesive tape 10 having a configuration in which the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer 11 is formed on thebase material 12 is used, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet contains a foaming agent. Any heat-peelable pressure-sensitive adhesive tape having a thermally expandable layer may be used. For example, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 1 shown in FIG. 1 can be used.

このように、本発明の被着物加熱剥離装置は、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートから被着物を剥離するための装置であり、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、複数個の被着物のうち一部の被着物を選択的に剥離させるための加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部少なくとも有している。 Thus, the adherend heat-peeling device of the present invention is a device for peeling an adherend from a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent, and the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially Heating external force is applied to selectively exfoliate part of a plurality of adherends by applying external force directly or indirectly to the adherend during or after heating. Or at least a heating part and an external force applying part.

前記加熱外力付与部または加熱部は、加熱剥離型粘着シートを十分に加熱させることができる加熱方式が利用されていることが重要である。具体的には、加熱外力付与部または加熱部における加熱方式としては、例えば、電熱ヒーターによる加熱方式、誘電加熱方式、磁気加熱方式、赤外線（近赤外線、中赤外線、遠赤外線等）などの電磁波による加熱方式などの公知の加熱方式を用いることができる。なお、加熱外力付与部または加熱部による加熱剥離型粘着シートの加熱は、直接及び間接のいずれの方法による加熱であってもよい。 It is important that the heating external force applying unit or the heating unit use a heating method that can sufficiently heat the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. Specifically, as a heating method in the heating external force applying unit or the heating unit, for example, a heating method using an electric heater, a dielectric heating method, a magnetic heating method, or an electromagnetic wave such as infrared (near infrared, middle infrared, far infrared, etc.) A known heating method such as a heating method can be used. The heating of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet by the heating external force applying unit or the heating unit may be performed by any of direct and indirect methods.

また、加熱外力付与部または加熱部の表面部の材料としては、加熱方式に応じて適宜選択することができる。なお、加熱外力付与部の場合は、外力付与方式に応じても適宜選択することが重要である。例えば、加熱方式として電熱ヒーターによる加熱方式を利用する場合には、加熱外力付与部または加熱部の表面部は、熱伝導率の高い材料により構成されていることが好ましく、例えば、金属材料と断熱材（例えば、アスベストなど）とが組み合わせられて構成されていてもよい。また、加熱外力付与部または加熱部と被着物との密着性を上げる目的で、ゴムなどの弾性体が組み合わせられていてもよい。具体的には、加熱外力付与部または加熱部の表面部を、ゴムなどの弾性体（熱伝導性弾性体）と金属材料と断熱材との組み合わせで構成すると、加熱剥離型粘着シートの熱膨張性層をより早く膨張させて被着物をより早く分離させることができる。 Moreover, it can select suitably as a material of the surface part of a heating external force provision part or a heating part according to a heating system. In addition, in the case of a heating external force application part, it is important to select suitably also according to an external force application system. For example, when a heating method using an electric heater is used as the heating method, the heating external force imparting portion or the surface portion of the heating portion is preferably made of a material having high thermal conductivity, for example, a metal material and a heat insulating material. You may be comprised combining material (for example, asbestos etc.). In addition, an elastic body such as rubber may be combined for the purpose of increasing the adhesion between the heating external force imparting section or the heating section and the adherend. Specifically, when the heating external force applying part or the surface part of the heating part is composed of a combination of an elastic body (thermally conductive elastic body) such as rubber, a metal material, and a heat insulating material, the thermal expansion of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet The adherent can be separated earlier by expanding the adhesive layer earlier.

加熱外力付与部または加熱部の形状や大きさは、剥離させる被着物の形状や大きさに応じて適宜設計することができる。剥離させる被着物の形状に対応した加熱外力付与部または加熱部を用いて、被着物が貼着されている部位を加熱させると、加熱剥離型粘着シートは加熱前の状態（未膨張部）から、加熱された部分の加熱剥離型粘着シートが膨張し（膨張部）、これにより、複数個の被着物のうち一部の被着物のみが接着力を失い、剥離させる被着物を選択的に剥離させて、例えば、吸着ノズルなどにより、ピックアップすることができる。 The shape and size of the heating external force imparting portion or the heating portion can be appropriately designed according to the shape and size of the adherend to be peeled. When the part to which the adherend is attached is heated using a heating external force imparting part or a heating part corresponding to the shape of the adherend to be peeled, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is removed from the state before heating (unexpanded part). The heated peelable adhesive sheet in the heated part expands (expanded part), so that only a part of the adherends lose the adhesive force among the plurality of adherends, and selectively peel off the adherend to be peeled off. For example, it can be picked up by a suction nozzle or the like.

なお、加熱外力付与部または加熱部による加熱時間は、前述のように、加熱剥離型粘着シートの種類、発泡剤の種類、被着物の性質や加熱方式などに応じて適宜設定することができ、一概には規定できないが、あまり長時間加熱すると、加熱された加熱剥離型粘着シートや、被着物の熱伝導等により、剥離させたくない部分までもが剥離する場合が生じるので注意が必要である。 In addition, the heating time by the heating external force imparting part or the heating part can be appropriately set according to the kind of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the kind of foaming agent, the nature of the adherend, the heating method, etc. Although it cannot be specified in general, it is necessary to be careful when heated for a long time, because it may peel off parts that you do not want to peel off due to the heated heat-peelable adhesive sheet or the heat conduction of the adherend. .

一方、加熱外力付与部または外力付与部としては、加熱剥離型粘着シートに貼着されている被着物に、外力を加えることができる外力付与方式が利用されていることが重要である。具体的には、加熱外力付与部または外力付与部における外力付与方式としては、例えば、超音波による振動力を付与する外力付与方式や、押圧力を付与する外力付与方式（例えば、図４で示されるようなニードルのような鋭利な先端を有するものを用いた押圧力による外力付与方式など）などの公知の外力付与方式を用いることができる。なお、加熱外力付与部または外力付与部による被着物への外力の付与は、直接及び間接のいずれの方法による外力の付与であってもよい。 On the other hand, it is important that an external force applying method capable of applying an external force to the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is used as the heating external force applying unit or the external force applying unit. Specifically, as the external force applying method in the heating external force applying unit or the external force applying unit, for example, an external force applying method for applying an ultrasonic vibration force or an external force applying method for applying a pressing force (for example, shown in FIG. 4). A known external force applying method such as an external force applying method using a pressing force using a needle having a sharp tip such as a needle can be used. Note that the application of the external force to the adherend by the heating external force applying unit or the external force applying unit may be an external force applied by either a direct or indirect method.

図４は、加熱外力付与部または外力付与部の形状の一例を示す概略図である。図４において、１４は加熱外力付与部または外力付与部、１４ａはニードルである。 FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of the shape of the heating external force applying unit or the external force applying unit. In FIG. 4, 14 is a heating external force application part or external force application part, and 14a is a needle.

外力の大きさとしては、前述のように、外力を加える際の加熱剥離型粘着シートによる接着力、被着物の性質や、外力の種類などに応じて適宜設定することができ、一概には規定できないが、あまり外力が大きすぎると、被着物の種類によっては、被着物を破損させてしまう場合があるため、注意が必要である。 As described above, the magnitude of the external force can be appropriately set according to the adhesive strength of the heat-peelable adhesive sheet when applying the external force, the nature of the adherend, the type of external force, etc. However, if the external force is too large, the adherend may be damaged depending on the type of the adherend, so care must be taken.

このような加熱外力付与部または外力付与部の形状や表面部の材料としては、外力付与方式に応じて適宜選択することができる。外力付与方式が、例えば、超音波による振動力を付与する外力付与方式の場合、加熱外力付与部または外力付与部の先端部は、超音波による振動力を付与することができる材料により、被着物に直接的又は間接的に超音波による振動力を付与することが可能な形状を有することができる。従って、加熱外力付与部または外力付与部の先端部は、ゴムなどの弾性体を材料としていてもよい。そのため、加熱外力付与部または外力付与部としては、前述のように、ゴムなどの弾性体（熱伝導性弾性体）と金属材料と断熱材との組み合わせで構成されていてもよい。このように、ゴムなどの弾性体が先端部を形成する材料として用いられていると、加熱外力付与部は、加熱部としての機能も効果的に発揮することができる。 The shape of the heating external force application part or the external force application part and the material of the surface part can be appropriately selected according to the external force application method. When the external force applying method is, for example, an external force applying method that applies ultrasonic vibration force, the heating external force applying portion or the tip of the external force applying portion is made of a material that can apply ultrasonic vibration force. It is possible to have a shape capable of directly or indirectly applying an ultrasonic vibration force. Therefore, the heating external force application part or the tip of the external force application part may be made of an elastic body such as rubber. Therefore, as described above, the heating external force applying part or the external force applying part may be configured by a combination of an elastic body (thermally conductive elastic body) such as rubber, a metal material, and a heat insulating material. As described above, when an elastic body such as rubber is used as a material for forming the tip portion, the heating external force applying portion can also effectively exhibit the function as the heating portion.

また、外力付与方式が、例えば、ニードルのような鋭利な先端を有するものを用いた押圧力による外力付与方式である場合、加熱外力付与部または外力付与部は、図４で示されるように、ニードルのような鋭利な先端を有するものを先端部とすることができる。このような鋭利な先端部としては、その本数、形状や大きさなどは、被着物の形状などに応じて適宜設定することができる。前記鋭利な先端部は、固定式であってもよく、外力を付与する際に内部から出てくる可動式であってもよい。前記鋭利な先端部としては、加熱外力付与部では、加熱後に、外力を付与する際に、収納されている内部から出てくる可動式であることが好ましく、一方、外力付与部では、固定式であることが好ましい。 In addition, when the external force application method is an external force application method using a pressing force using, for example, a needle having a sharp tip, the heating external force application unit or the external force application unit, as shown in FIG. A tip having a sharp tip such as a needle can be used as the tip. The number, shape, size, and the like of such a sharp tip can be appropriately set according to the shape of the adherend. The sharp tip may be a fixed type or a movable type that comes out from the inside when an external force is applied. As the sharp tip part, the heating external force applying part is preferably a movable type that comes out from the inside when applying an external force after heating, while the external force applying part is a fixed type. It is preferable that

なお、外力を加える際の時間としては、加熱とともに外力を加えるのか、加熱後に外力を加えるのかや、外力付与方式、加熱剥離型粘着シートの種類、被着物の性質などに応じて適宜設定することができ、一概には規定することができないが、剥離させたくない部分までもが剥離しないように、また、被着物を破損させないように行える範囲で選択することが重要である。 The time for applying external force should be set appropriately according to whether external force is applied with heating, whether external force is applied after heating, the external force application method, the type of heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the nature of the adherend, etc. However, it is important to select within a range where it is possible not to peel even a portion that is not desired to be peeled, and to prevent damage to the adherend.

本発明では、加熱外力付与部は、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側（被着物非貼着側）のうち、少なくとも一方の側に配置することができる。また、加熱部及び外力付与部も、それぞれ、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側（被着物非貼着側）のうち、少なくとも一方の側に配置することができる。従って、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側、被着物非貼着側のいずれか一方の側から加熱してもよく、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から加熱してもよい。なお、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から加熱する場合、被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から、加熱剥離型粘着シートの所望の部位を、同時に加熱してもよく、または別々に加熱してもよい。 In this invention, a heating external force provision part can be arrange | positioned to at least one side among the adherend sticking side of a heat-peelable adhesive sheet and its opposite side (adherent non-sticking side). Moreover, a heating part and an external force provision part can also each be arrange | positioned at the at least one side among the adherend sticking side of the heat-peelable adhesive sheet, and the opposite side (adherent non-sticking side). Therefore, it may be heated from either the adherend-adhered side or the non-adhered side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet. You may heat from both sides. In addition, when heating from both the adherend pasting side and the adherend non-sticking side of the heat-peelable adhesive sheet, from both the adherend pasting side and the non-adhering side, the heat stripping type Desired parts of the adhesive sheet may be heated simultaneously or separately.

また、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側、被着物非貼着側のいずれか一方の側から外力を付与してもよく、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から外力を付与してもよい。なお、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から外力を付与する場合、被着物貼着側および被着物非貼着側の両方の側から、被着物又は加熱剥離型粘着シートの所望の部位に、同時に外力を付与してもよく、または別々に外力を付与してもよい。 Further, an external force may be applied from either the adherend-adhering side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet or the non-adhesive-side of the adherend. An external force may be applied from both sides on the sticking side. When external force is applied from both the adherend-adhered side and the adherend-unattached side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, from both the adherend-attached side and the adherend-unattached side, An external force may be simultaneously applied to a desired portion of the kimono or the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, or an external force may be separately applied.

このような加熱外力付与部、加熱部や及び外力付与部としては、水平方向及び／又は垂直方向に移動可能であることが好ましい。加熱外力付与部、加熱部や及び外力付与部が、３次元的に可動させることが可能であると、加熱剥離型粘着シートの所望の部位や被着物を選択的に効率よく加熱したり、外力を付与したりすることができる。 Such a heating external force application unit, a heating unit, and an external force application unit are preferably movable in the horizontal direction and / or the vertical direction. When the heating external force imparting part, the heating part, and the external force imparting part can be moved three-dimensionally, the desired part of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and the adherend can be selectively and efficiently heated, or the external force Can be added.

また、前記被着物加熱剥離装置では、加熱剥離型粘着シートを固定する固定部が設けられている。この固定部は、任意に設けることができる。固定部は、被着物の加工時や剥離時などで、被着物と加熱剥離型粘着シートとの間に位置ずれ等を生じさせず、十分に固定させることができる固定方式が利用されていることが重要である。具体的には、固定部における固定方式としては、被着物の種類などに応じて適宜選択することができ、例えば、リングフレーム（固定リング）による固定方式、台座による固定方式、真空吸着による固定式など公知の固定方式を用いることができる。なお、固定部も、加熱外力付与部、加熱部や及び外力付与部と同様に水平方向及び／又は垂直方向に移動可能であってもよい。 Moreover, in the said adherend heat peeling apparatus, the fixing | fixed part which fixes a heat peeling type adhesive sheet is provided. This fixing portion can be arbitrarily provided. The fixing part uses a fixing method that can be sufficiently fixed without causing a positional shift or the like between the adherend and the heat-peelable adhesive sheet during processing or peeling of the adherend. is important. Specifically, the fixing method in the fixing part can be appropriately selected according to the type of the adherend, for example, a fixing method using a ring frame (fixing ring), a fixing method using a pedestal, or a fixing method using vacuum suction. A known fixing method can be used. The fixed part may also be movable in the horizontal direction and / or the vertical direction in the same manner as the heating external force applying part, the heating part, and the external force applying part.

さらにまた、前記被着物加熱剥離装置では、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱処理し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を付与して、所望の被着物を剥離させることができるように、粘着力を低減させた後、該加熱剥離型粘着シートに貼着されていた被着物を、加熱剥離型粘着シートから分離させて回収するために、被着物分離回収部として、吸着ノズルが設けられている。このような吸着ノズル等の被着物分離回収部は、任意に設けることができる。被着物分離回収部は、被着物を加熱剥離型粘着シートから分離させて回収させることができるものであれば特に制限されないが、吸引により分離させて回収させる方式の吸引部が好適であり、特に、吸着ノズルを好適に用いることができる。吸着ノズルとしては、特に制限されず、公知の吸着ノズルから適宜選択して用いることができる。もちろん、吸着ノズルは、吸引により、ノズル先端に被着物を吸着させることにより、被着物を加熱剥離型粘着シートから分離させて回収させることができる。被着物分離回収部も、加熱外力付与部、加熱部や及び外力付与部と同様に、水平方向及び／又は垂直方向に（特に、三次元的に）移動可能であることが好ましい。 Furthermore, in the adherend heat-peeling apparatus, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heat-treated, and an external force is directly or indirectly applied to the adherend during or after the heating to obtain a desired adherend. After reducing the adhesive strength so that the kimono can be peeled off, the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is separated from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and collected. An adsorption nozzle is provided as a separation and recovery unit. Such an adherend separation and recovery unit such as an adsorption nozzle can be arbitrarily provided. The adherend separation and recovery unit is not particularly limited as long as the adherend can be separated and recovered from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, but is preferably a suction unit that is separated and recovered by suction. A suction nozzle can be preferably used. The suction nozzle is not particularly limited, and can be appropriately selected from known suction nozzles. Of course, the suction nozzle can separate and recover the adherend from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet by sucking the adherend to the tip of the nozzle by suction. The adherend separation / recovery unit is also preferably movable in the horizontal direction and / or the vertical direction (particularly three-dimensionally) similarly to the heating external force application unit, the heating unit, and the external force application unit.

本発明の被着物加熱剥離装置には、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する切断加工部が設けられていてもよい。すなわち、被着物加熱剥離装置は、発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する切断加工部と、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、前記複数の切断片のうち一部の切断片を選択的に剥離させるための加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部とを有していてもよい。このような切断加工部は、任意に設けることができる。切断加工部は、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工することができるものであれば特に制限されず、被着物の種類や切断片のサイズなどに応じて適宜選択することができる。切断加工部としては、被着物が、下記に示されるように、シリコンウエハである場合、ダイシング加工を行うダイシング加工部が好適に用いられる。 The adherend heat-peeling apparatus of the present invention may be provided with a cutting portion for cutting the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet into a plurality of cut pieces. That is, the adherend heat-peeling device includes a cutting processing unit for cutting an adherend adhered to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent into a plurality of cut pieces, and a heat-peelable pressure-sensitive adhesive. For partially heating the sheet, and applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating to selectively separate some of the plurality of cut pieces You may have a heating external force provision part, or a heating part and an external force provision part. Such a cutting process part can be provided arbitrarily. The cutting part is not particularly limited as long as it can cut the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet into a plurality of cut pieces, depending on the type of the adherend, the size of the cut piece, etc. It can be selected appropriately. As the cutting processing portion, as shown below, when the adherend is a silicon wafer, a dicing processing portion that performs dicing processing is preferably used.

本発明の被着物加熱剥離装置では、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物に、切断加工部による切断加工処理を行った後、この切断加工処理が施された複数の切断片のうち一部の所望する切断片について、加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部による剥離処理（加熱及び外力付加処理）を行い、必要に応じて、さらに、被着物分離回収部による分離回収処理を行った後、他の被着物について同様の操作を行うことを繰り返すことにより、加熱剥離型粘着シートに対する切断加工処理と、加熱及び外力付加処理と、必要に応じて分離回収処理とを行ってもよい。 In the adherend heat-peeling device of the present invention, the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is subjected to a cutting process by the cutting unit, and then one of a plurality of cut pieces subjected to the cutting process. For the cut piece desired by the part, a separation process (heating and external force addition process) is performed by the heating external force applying part, or the heating part and the external force applying part, and further, if necessary, a separation and recovery process by the adherend separation and recovery part. After performing the same operation on other adherends, it may be possible to perform a cutting process on the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, a heating and external force addition process, and a separation and recovery process as necessary. Good.

特に、本発明では、加熱剥離型粘着シートから切断片を剥離させる際には、前記加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部を利用して、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ被着物に外力を付与しているので、切断加工部による切断加工を部分的に行うことにより、部分的な切断加工処理と、部分的な剥離処理（加熱処理及び外力付与処理による剥離処理）とを並行して行うことができる。具体的には、まず、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物のうち、所望の被着物を切断加工部により複数の切断片に切断加工し、その後、次の所望の被着物を切断加工部により複数の切断片に切断加工することになるが、この切断加工と並行して、先に切断加工された複数の切断片のうち一部の切断片を選択的に剥離させるために、加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部により、部分的に加熱させ且つ外力を付与させることができる。そのため、極めて効率よく、切断加工部による切断加工処理と、加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部による切断された切断片の剥離処理とを行うことができ、生産性を大きく向上させることができる。もちろん、剥離処理後には、被着物分離回収部により、切断片の分離回収処理を行うことになるが、この被着物分離回収部（切断片分離回収部）による切断片の分離回収処理も、部分的に行うことにより、剥離処理と並行して行うことができる。そのため、例えば、切断加工処理と、剥離処理と、分離回収処理とを並行して行うことが可能である。 In particular, in the present invention, when the cut piece is peeled from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated using the heating external force imparting part or the heating part and the external force imparting part. In addition, since an external force is applied to the adherend, a partial cutting process and a partial peeling process (a peeling process by a heating process and an external force applying process) are performed by partially performing the cutting process by the cutting part. ) In parallel. Specifically, first, among the adherends adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, the desired adherend is cut into a plurality of cut pieces by a cutting portion, and then the next desired adherend is cut. In parallel with this cutting process, heating is performed in order to selectively peel some of the previously cut pieces. The external force application unit, or the heating unit and the external force application unit can be partially heated and external force can be applied. Therefore, it is possible to perform the cutting processing by the cutting processing portion and the heating external force applying portion, or the peeling processing of the cut pieces cut by the heating portion and the external force applying portion, and the productivity is greatly improved. Can do. Of course, after the stripping process, the adherend separation / recovery unit performs the separation / recovery process of the cut piece. The separation / recovery process of the cut piece by this adherend separation / recovery part (cut piece separation / recovery part) It can be performed in parallel with the peeling process. Therefore, for example, the cutting process, the peeling process, and the separation and recovery process can be performed in parallel.

なお、このように、切断加工処理、剥離処理や分離回収処理を、並行して行う場合、切断加工を行うための切断加工部、加熱及び外力の付与を行うための加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部、分離回収を行うための切断片分離回収部（図２の被着物分離回収部に相当）は、水平方向及び／又は垂直方向（特に、三次元的）に移動可能であることが重要である。 As described above, when the cutting process, the peeling process, and the separation and recovery process are performed in parallel, the cutting process part for performing the cutting process, the heating external force applying part for applying the heating and the external force, or the heating The part, the external force imparting part, and the cut piece separation / recovery part for performing separation / recovery (corresponding to the adherend separation / recovery part in FIG. 2) are movable in the horizontal direction and / or the vertical direction (particularly, three-dimensionally). This is very important.

このように、本発明の被着物加熱剥離装置では、１つの装置で、切断加工処理と、剥離処理（加熱及び外力付加処理）と、必要に応じて分離回収処理とを行うことが可能である。この際、被着物加熱剥離装置において、切断加工部と、加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部と、必要に応じて被着物分離回収部（切断片分離回収部）とが、別々の場所や移動可能に設置されていてもよく、同一の場所に設置されていてもよい。なお、切断加工部と、加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部と、被着物分離回収部（切断片分離回収部）とが、別々の場所や移動可能に設置されている場合、切断加工処理と、剥離処理と、分離回収処理とを並行して行うことができ、一方、同一の場所に設置されている場合、切断加工処理と、剥離処理と、分離回収処理とをこの順序で繰り返し行うことができる。 As described above, in the adherend heating and peeling apparatus of the present invention, it is possible to perform the cutting process, the peeling process (heating and external force addition process), and the separation and recovery process as necessary in one apparatus. . At this time, in the adherend heating and peeling apparatus, the cutting part, the heating external force imparting part, or the heating part and the external force imparting part, and the adherend separating and collecting part (cut piece separating and collecting part) as necessary are separated. It may be installed movably or in the same place. In addition, when the cutting processing unit, the heating external force applying unit, or the heating unit and the external force applying unit, and the adherend separation / collection unit (cut piece separation / collection unit) are installed in different places or movable, cutting is performed. Processing, separation, and separation / recovery can be performed in parallel. On the other hand, when installed in the same place, cutting processing, separation, and separation / recovery are performed in this order. Can be repeated.

［被着物］
被着物としては、種々の加工等を施すために、加熱剥離型粘着シートに貼着させるものであれば特に制限されない。被着物としては、例えば、半導体ウエハ（シリコンウエハなど）や半導体チップなどの電子系部品類や、電子系部品類が用いられた電子部品や回路基板（例えば、シリコンウエハを基板とする電子部品など）などが挙げられる。[Adherence]
The adherend is not particularly limited as long as it can be attached to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in order to perform various processes. Examples of the adherend include electronic parts such as semiconductor wafers (silicon wafers) and semiconductor chips, electronic parts using electronic parts, and circuit boards (for example, electronic parts using a silicon wafer as a substrate). ) And the like.

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples, but the present invention is not limited to these examples.

（実施例１）
加熱剥離型粘着シート（商品名「リバアルファーＮｏ．３１９５」日東電工株式会社製）の熱膨張性粘着層上に、直径６インチのシリコンウエハー（厚み：４０μｍ）を気泡なく貼り付け、該ウエハーを３ｍｍ角にダイシングした。(Example 1)
A silicon wafer (thickness: 40 μm) having a diameter of 6 inches is pasted onto the thermally expandable adhesive layer of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet (trade name “Riva Alpha No. 3195” manufactured by Nitto Denko Corporation) without any bubbles. Dicing into 3 mm square.

また、加熱外力付与部として、電熱ヒーターの先端に、３ｍｍ角で厚み２ｍｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）板と、熱伝導性のゴムシート（３ｍｍ角、厚み１ｍｍ）とを設けた加熱外力付与部を準備し、且つこの加熱外力付与部自体が超音波振動を行うように設定した。そして、前記加熱外力付与部におけるゴムシート部（最先端部）の温度が１２０℃になるように電熱ヒーターで加熱した。 In addition, as the heating external force applying portion, a heating external force applying portion provided with a stainless steel (SUS304) plate of 3 mm square and 2 mm thickness and a heat conductive rubber sheet (3 mm square, 1 mm thickness) is prepared at the tip of the electric heater. In addition, the heating external force application unit itself was set to perform ultrasonic vibration. And it heated with the electric heater so that the temperature of the rubber sheet part (most advanced part) in the said heating external force provision part might be set to 120 degreeC.

次に、ダイシングにより形成された複数個のウエハー切断片のうち、剥離する所望のウエハー切断片を、ゴムシート部が１２０℃に熱せられた加熱外力付与部によりシート背面側から押圧して、熱膨張性粘着層を熱膨張させ、且つ同時に、超音波による振動を加えた。その後、吸着ノズルによって、ウエハー切断片を吸着して剥離させたところ、ウエハー切断片１片を剥離するのに要した時間（剥離に要する時間；平均）は、表１に示されるように、１．５秒であった。 Next, among the plurality of wafer cutting pieces formed by dicing, a desired wafer cutting piece to be peeled is pressed from the back side of the sheet by a heating external force applying part whose rubber sheet part is heated to 120 ° C. The expandable adhesive layer was thermally expanded, and at the same time, ultrasonic vibration was applied. Thereafter, when the wafer cut piece was sucked and peeled off by the suction nozzle, the time required for peeling one piece of the wafer cut piece (the time required for peeling; average) was 1 as shown in Table 1. .5 seconds.

（実施例２）
実施例１と同様にして、加熱剥離型粘着シート（商品名「リバアルファーＮｏ．３１９５」日東電工株式会社製）の熱膨張性粘着層上に、直径６インチのシリコンウエハー（厚み：４０μｍ）を気泡なく貼り付け、該ウエハーを３ｍｍ角にダイシングした。(Example 2)
In the same manner as in Example 1, a 6-inch diameter silicon wafer (thickness: 40 μm) was placed on the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet (trade name “Riva Alpha No. 3195” manufactured by Nitto Denko Corporation). The wafer was pasted without bubbles, and the wafer was diced into 3 mm squares.

また、加熱外力付与部として、電熱ヒーターの先端に、３ｍｍ角で厚み２ｍｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）板と、熱伝導性のゴムシート（３ｍｍ角、厚み１ｍｍ）とを設け、且つ、前記ゴムシート部に、最先端部の直径が０．１ｍｍφ、長さが１ｍｍのニードルを１本取り付けた加熱外力付与部を準備した。そして、前記加熱外力付与部におけるゴムシート部の温度が１２０℃になるように電熱ヒーターで加熱した。 Further, as a heating external force imparting portion, a 3 mm square, 2 mm thick stainless steel (SUS304) plate and a heat conductive rubber sheet (3 mm square, 1 mm thickness) are provided at the tip of the electric heater, and the rubber sheet portion In addition, a heating external force imparting portion was prepared in which one needle having a diameter of 0.1 mmφ and a length of 1 mm was attached to the foremost portion. And it heated with the electric heater so that the temperature of the rubber sheet part in the said heating external force provision part might be set to 120 degreeC.

次に、ダイシングにより形成された複数個のウエハー切断片のうち、剥離する所望のウエハー切断片を、ゴムシート部が１２０℃に熱せられた加熱外力付与部によりシート背面側から押圧して、熱膨張性粘着層を熱膨張させ、且つ同時に、ニードルによって上方向に、外力を加えた。その後、吸着ノズルによって、ウエハー切断片を吸着して剥離させたところ、ウエハー切断片１片を剥離するのに要した時間（剥離に要する時間；平均）は、表１に示されるように、１．２秒であった。 Next, among the plurality of wafer cutting pieces formed by dicing, a desired wafer cutting piece to be peeled is pressed from the back side of the sheet by a heating external force applying part whose rubber sheet part is heated to 120 ° C. The expandable adhesive layer was thermally expanded, and at the same time, an external force was applied upward by the needle. Thereafter, when the wafer cut piece was sucked and peeled off by the suction nozzle, the time required for peeling one piece of the wafer cut piece (the time required for peeling; average) was 1 as shown in Table 1. 2 seconds.

（比較例１）
実施例１と同様にして、加熱剥離型粘着シート（商品名「リバアルファーＮｏ．３１９５」日東電工株式会社製）の熱膨張性粘着層上に、直径６インチのシリコンウエハー（厚み：４０μｍ）を気泡なく貼り付け、該ウエハーを３ｍｍ角にダイシングした。(Comparative Example 1)
In the same manner as in Example 1, a 6-inch diameter silicon wafer (thickness: 40 μm) was placed on the heat-expandable pressure-sensitive adhesive layer of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet (trade name “Riva Alpha No. 3195” manufactured by Nitto Denko Corporation). The wafer was pasted without bubbles, and the wafer was diced into 3 mm squares.

また、加熱部として、電熱ヒーターの先端に、３ｍｍ角で厚み２ｍｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）板と、熱伝導性のゴムシート（３ｍｍ角、厚み１ｍｍ）とを設けた加熱部を準備した。そして、前記加熱部におけるゴムシート部の温度が１２０℃になるように電熱ヒーターで加熱した。 Moreover, the heating part which provided the stainless steel (SUS304) board of 3 mm square and thickness 2mm and a heat conductive rubber sheet (3 mm square, thickness 1mm) was prepared as a heating part at the front-end | tip of an electric heater. And it heated with the electric heater so that the temperature of the rubber sheet part in the said heating part might be set to 120 degreeC.

次に、ダイシングにより形成された複数個のウエハー切断片のうち、剥離する所望のウエハー切断片を、ゴムシート部が１２０℃に熱せられた加熱部によりシート背面側から押圧して、熱膨張性粘着層を熱膨張させた。その後、吸着ノズルによって、ウエハー切断片を吸着して剥離させたところ、ウエハー切断片１片を剥離するのに要した時間（剥離に要する時間；平均）は、表１に示されるように、３．５秒であった。 Next, among the plurality of wafer cutting pieces formed by dicing, a desired wafer cutting piece to be peeled is pressed from the back side of the sheet by a heating part whose rubber sheet part is heated to 120 ° C. The adhesive layer was thermally expanded. Thereafter, when the wafer cut piece was sucked and peeled off by the suction nozzle, the time required for peeling one piece of the wafer cut piece (the time required for peeling; average) was 3 as shown in Table 1. .5 seconds.

本発明の被着物の加熱剥離方法で用いられる加熱剥離型粘着シートの一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the heat peeling type adhesive sheet used with the heat peeling method of the adherend of this invention.本発明の被着物加熱剥離装置の一例を部分的に示す概略図である。It is the schematic which shows partially an example of the adherend heat peeling apparatus of this invention.本発明の被着物加熱剥離装置の他の例を部分的に示す概略図である。It is the schematic which shows partially the other example of the adherend heat peeling apparatus of this invention.加熱外力付与部または外力付与部の形状の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the shape of a heating external force provision part or an external force provision part.

符号の説明Explanation of symbols

１加熱剥離型粘着シート
２支持基材
３ゴム状有機弾性層
４熱膨張性粘着層
５セパレータ（剥離ライナー）
６被着物加熱剥離装置における加熱剥離処理部
７加熱外力付与部
７ａ加熱外力付与部７の表面部
７１加熱部
７２外力付与部
８吸着ノズル
９固定リング
１０加熱剥離型粘着シート
１１熱膨張性粘着層
１１ａ熱膨張性粘着層１１が膨張していない未膨張部
１１ｂ熱膨張性粘着層１１が膨張した膨張部
１２基材
１３被着物
１３ａ剥離された被着物
１４加熱外力付与部または外力付与部
１４ａニードルDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heat release type adhesive sheet 2 Support base material 3 Rubber-like organic elastic layer 4 Thermal expansion adhesive layer 5 Separator (release liner)
DESCRIPTION OFSYMBOLS 6 Heat-peeling process part in adherend heat-peelingapparatus 7 Heating external force provision part 7a Surface part of heating externalforce provision part 7Heating part 72 External force provision part 8 Adsorption nozzle 9Fixing ring 10 Heat-peelingadhesive sheet 11 Thermally expansibleadhesive layer 11a Non-expanded portion where the thermally expandableadhesive layer 11 is not expanded 11b Expanded portion where the thermally expandableadhesive layer 11 expands 12Base material 13 Adheredmaterial13a Exfoliated adherend 14 Heating external force applying portion or external force applying portion 14a Needle

Claims

Translated fromJapanese

発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、選択的に剥離する方法であって、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、被着物を選択的に剥離することを特徴とする被着物の加熱剥離方法。A method for selectively peeling a part of a plurality of adherends adhered to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet A method for heating and peeling an adherend, wherein the adherend is selectively peeled by applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating.

加える外力が、超音波による振動力、または押圧力である請求項１記載の被着物の加熱剥離方法。2. The method for heating and peeling an adherend according to claim 1, wherein the external force to be applied is an ultrasonic vibration force or a pressing force.

発泡剤が、熱膨張性微小球である請求項１又は２記載の被着物の加熱剥離方法。The method for heating and peeling an adherend according to claim 1 or 2, wherein the foaming agent is a thermally expandable microsphere.

加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱することができるとともに、剥離させる被着物の形状に対応して加熱することが可能であり、且つ剥離させる被着物の形状に対応して被着物に直接的又は間接的に外力を加えることが可能な加熱外力付与手段により、加熱剥離型粘着シートのうち前記剥離させる被着物の貼着部位を加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、剥離させる被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、前記被着物を選択的に剥離する請求項１〜３の何れかの項に記載の被着物の加熱剥離方法。The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can be partially heated, and can be heated according to the shape of the adherend to be peeled, and directly on the adherend according to the shape of the adherend to be peeled off. Or, by applying a heating external force imparting means capable of indirectly applying an external force, the adhered part of the adherend to be peeled of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is heated, and the adherend to be peeled is peeled off during or after the heating. The method for thermally peeling an adherend according to any one of claims 1 to 3, wherein an external force is applied directly or indirectly to selectively peel the adherend.

加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側のうち、少なくとも一方の側から加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、前記加熱と同一側又は異なる側から被着物に外力を加える請求項１〜４の何れかの項に記載の被着物の加熱剥離方法。A heating is applied from at least one of the adherend pasting side and the opposite side of the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, and during or after the heating, an external force is applied to the adherend from the same side as the heating or a different side. Item 5. A method for heating and peeling an adherend according to any one of Items 1 to 4.

発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートに貼着した複数個の被着物のうち一部の被着物を、選択的に剥離する方法であって、加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する工程と、前記複数の切断片のうち一部の切断片を、該加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、選択的に剥離する工程とを具備することを特徴とする被着物の加熱剥離方法。A method for selectively peeling a part of a plurality of adherends adhered to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet Cutting the adherend adhered to a plurality of cut pieces, and partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in a part of the plurality of cut pieces, and during the heating or And a step of selectively peeling off the adherend by applying an external force directly or indirectly to the adherend after heating.

発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートから被着物を剥離する装置であって、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、複数個の被着物のうち一部の被着物を選択的に剥離させるための加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部を有していることを特徴とする被着物加熱剥離装置。An apparatus for peeling an adherend from a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent, wherein the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is partially heated, and the adherend is heated during or after the heating. It has a heating external force imparting part or a heating part and an external force imparting part for applying an external force directly or indirectly to selectively peel off some of the adherends. An adherend heating and peeling apparatus characterized by the above.

加熱外力付与部が、剥離させる被着物の形状に対応して、加熱することが可能な形状、および外力を加えることが可能な形状を有している請求項７記載の被着物加熱剥離装置。8. The adherend heating and peeling apparatus according to claim 7, wherein the heating external force applying unit has a shape capable of being heated and a shape capable of applying an external force in accordance with the shape of the adherend to be peeled.

加熱外力付与部が、加熱剥離型粘着シートの被着物貼着側及びその反対側のうち、少なくとも一方の側に設けられている請求項７又は８記載の被着物加熱剥離装置。The adherend heating and peeling apparatus according to claim 7 or 8, wherein the heating external force imparting portion is provided on at least one of the adherend attaching side and the opposite side of the heat peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部が、水平方向及び／又は垂直方向に移動可能である請求項７〜９の何れかの項に被着物加熱剥離装置。The adherend heating and peeling apparatus according to any one of claims 7 to 9, wherein the heating external force applying unit, or the heating unit and the external force applying unit are movable in a horizontal direction and / or a vertical direction.

発泡剤を含有する熱膨張性層を備えた加熱剥離型粘着シートに貼着した被着物を複数の切断片に切断加工する切断加工部と、加熱剥離型粘着シートを部分的に加熱し、且つ該加熱中又は加熱後に、被着物に直接的又は間接的に外力を加えて、前記複数の切断片のうち一部の切断片を選択的に剥離させるための加熱外力付与部、または加熱部及び外力付与部とを有している請求項７〜１０の何れかの項に記載の被着物加熱剥離装置。A cutting part for cutting the adherend adhered to the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a thermally expandable layer containing a foaming agent into a plurality of cut pieces, and partially heating the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet; and A heating external force applying unit for applying an external force directly or indirectly to the adherend during or after the heating to selectively separate some of the plurality of cut pieces, or a heating unit and The adherend heating and peeling apparatus according to any one of claims 7 to 10, further comprising an external force applying unit.