【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばハードディ
スク装置などに搭載される薄膜磁気ヘッドに係り、今後
の高記録密度化・高記録周波数化に対応可能な薄膜磁気
ヘッドおよびその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin-film magnetic head mounted on, for example, a hard disk drive, and more particularly to a thin-film magnetic head capable of coping with a higher recording density and a higher recording frequency in the future and a method of manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図９は、従来の薄膜磁気ヘッドを記録媒
体の対向側から示した拡大断面図である。2. Description of the Related Art FIG. 9 is an enlarged sectional view showing a conventional thin-film magnetic head viewed from a side facing a recording medium.
【０００３】この薄膜磁気ヘッドは、書込み用のインダ
クティブヘッドであり、このインダクティブヘッドの図
示下側に読み取り用のＭＲヘッドが形成されていてもよ
い。This thin-film magnetic head is an inductive head for writing, and an MR head for reading may be formed below the inductive head in the figure.
【０００４】図９に示す符号１は、パーマロイ（登録商
標）などの既存の磁性材料で形成された下部コア層であ
る。図９に示すように前記下部コア層１の上には、アル
ミナなどによるギャップ層２が形成され、さらに前記ギ
ャップ層２上にポリイミドまたはレジスト材料により形
成された絶縁層３が形成されている。[0004] Reference numeral 1 shown in FIG. 9 is a lower core layer formed of an existing magnetic material such as Permalloy (registered trademark). As shown in FIG. 9, a gap layer 2 made of alumina or the like is formed on the lower core layer 1, and an insulating layer 3 made of polyimide or a resist material is formed on the gap layer 2.
【０００５】前記絶縁層３の上には、螺旋状となるよう
にパターン形成されたコイル層４が設けられている。前
記コイル層４はＣｕ（銅）などの電気抵抗の小さい非磁
性導電材料で形成されている。そして前記コイル層４は
ポリイミドまたはレジスト材料で形成された絶縁層５に
覆われ、前記絶縁層５の上にパーマロイなどの磁性材料
で形成された上部コア層６がメッキ形成されている。On the insulating layer 3, there is provided a coil layer 4 which is formed in a spiral pattern. The coil layer 4 is formed of a non-magnetic conductive material having low electric resistance such as Cu (copper). The coil layer 4 is covered with an insulating layer 5 made of polyimide or a resist material, and an upper core layer 6 made of a magnetic material such as permalloy is formed on the insulating layer 5 by plating.
【０００６】図９に示すように、前記上部コア層６は、
その先端部６ａが記録媒体の対向面（ＡＢＳ面）で下部
コア層１の上に前記ギャップ層２を介して対向し、記録
媒体に記録磁界を与える磁気ギャップ長Ｇｌ１の磁気ギ
ャップが形成されている。また前記上部コア層６の基端
部６ｂは、下部コア層１に磁気的に接続されている。As shown in FIG. 9, the upper core layer 6 comprises
The tip portion 6a is opposed to the lower core layer 1 via the gap layer 2 on the facing surface (ABS surface) of the recording medium to form a magnetic gap having a magnetic gap length G11 for applying a recording magnetic field to the recording medium. I have. The base end 6b of the upper core layer 6 is magnetically connected to the lower core layer 1.
【０００７】図９に示すインダクティブヘッドでは、コ
イル層４に流れる記録電流によって、前記コイル層４か
ら上部コア層６及び下部コア層１に記録磁界が与えられ
る。そして、磁気ギャップの部分での、下部コア層１と
上部コア層６との間での洩れ磁界により、ハードディス
クなどの記録媒体に磁気信号が記録される。In the inductive head shown in FIG. 9, a recording magnetic field is applied from the coil layer 4 to the upper core layer 6 and the lower core layer 1 by a recording current flowing through the coil layer 4. Then, a magnetic signal is recorded on a recording medium such as a hard disk by a leakage magnetic field between the lower core layer 1 and the upper core layer 6 at the magnetic gap.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、今後の高記
録密度化・高記録周波数化に伴い、特に上部コア層６の
飽和磁束密度Ｂｓと比抵抗ρを向上させる必要性があ
る。By the way, as the recording density and the recording frequency increase in the future, it is necessary to improve the saturation magnetic flux density Bs and the specific resistance ρ of the upper core layer 6 in particular.
【０００９】比抵抗ρは、高周波数帯域における渦電流
損失を低減させるために必要な磁気特性であるが、前記
上部コア層６にＮｉＦｅ合金を使用する場合、通常、前
記比抵抗ρは５０μΩ・ｃｍ程度しかなかった。The specific resistance ρ is a magnetic property necessary for reducing the eddy current loss in a high frequency band. When the upper core layer 6 is made of a NiFe alloy, the specific resistance ρ is usually 50 μΩ · It was only about cm.
【００１０】このため従来の薄膜磁気ヘッドでは、高周
波帯域において、十分に渦電流損失を抑制することがで
きなかった。For this reason, in the conventional thin film magnetic head, eddy current loss cannot be sufficiently suppressed in a high frequency band.
【００１１】また、高飽和磁束密度Ｂｓは、記録密度を
向上させるために必要な磁気特性である。The high saturation magnetic flux density Bs is a magnetic property necessary for improving the recording density.
【００１２】しかしながら、高記録密度化・高記録周波
数化に対応可能なだけの高い飽和磁束密度Ｂｓを有する
磁性材料で上部コア層６を形成すれば、比抵抗ρはさら
に低下し、渦電流損失の抑制には逆行する構成となって
しまう。However, if the upper core layer 6 is formed of a magnetic material having a high saturation magnetic flux density Bs enough to cope with a higher recording density and a higher recording frequency, the specific resistance ρ is further reduced, and the eddy current loss is reduced. This is a configuration that goes against the suppression of the above.
【００１３】逆に、高い比抵抗ρを有する磁性材料で上
部コア層６を形成すれば、飽和磁束密度Ｂｓをある程度
犠牲にしなければならなかった。Conversely, if the upper core layer 6 is formed of a magnetic material having a high specific resistance ρ, the saturation magnetic flux density Bs must be sacrificed to some extent.
【００１４】また従来では例えば飽和磁束密度Ｂｓに注
目し、次のような構造の薄膜磁気ヘッドも発明されてい
た。Conventionally, attention has been paid to, for example, the saturation magnetic flux density Bs, and a thin film magnetic head having the following structure has been invented.
【００１５】すなわち図９に示す上部コア層６を２層構
造にし、ギャップ層２に対向する側の層に、高い飽和磁
束密度Ｂｓを有する高Ｂｓ膜を配置し、他方の層に、従
来から使用されているパーマロイ膜（Ｎｉ−Ｆｅ合金
膜）を配置して、高記録密度化に対応しようとする試み
がなされている。なお下部コア層１は、パーマロイ膜の
単層で形成されている。That is, the upper core layer 6 shown in FIG. 9 has a two-layer structure, a high Bs film having a high saturation magnetic flux density Bs is arranged on the layer facing the gap layer 2, and the other Attempts have been made to arrange a permalloy film (Ni—Fe alloy film) that is being used to cope with higher recording density. The lower core layer 1 is formed of a single layer of a permalloy film.
【００１６】上部コア層６の先端部６ａから下部コア層
１に向けて発生する記録磁界は、上部コア層６の先端部
６ａの中でも、特にギャップ層２に近い部分から発生す
るので、ギャップ層２に対向する側に、高Ｂｓ膜を配置
すれば、ギャップ近傍に磁界を集中的に発生させること
ができ、今後の高記録密度化に対応可能であると考えら
れている。The recording magnetic field generated from the tip 6a of the upper core layer 6 toward the lower core layer 1 is generated from a portion of the tip 6a of the upper core layer 6 which is particularly close to the gap layer 2. It is considered that if a high Bs film is disposed on the side opposite to No. 2, a magnetic field can be intensively generated in the vicinity of the gap, and it is possible to cope with a higher recording density in the future.
【００１７】しかしながら、上部コア層６を２層構造に
し、ギャップ層２に対向する側の層に高Ｂｓ膜を配置さ
せた上記の構成では、前記上部コア層６をパーマロイ膜
の単層で形成した場合に比べれば、記録特性を向上させ
ることができるものの、上記構成であっても、前記高Ｂ
ｓ膜と下部コア層間で発生する記録磁界は、記録媒体か
らの磁界の影響を受けることにより、今後の高記録密度
化に有効な程度に、ギャップ近傍に強い記録磁界を集中
させることができないと考えられ、ＯＷ（オーバーライ
ト）特性やＮＬＴＳ特性などの諸特性を、より効果的に
向上させることができないことが後述する実験により確
認された。However, in the above configuration in which the upper core layer 6 has a two-layer structure and the high Bs film is disposed on the layer facing the gap layer 2, the upper core layer 6 is formed of a single layer of permalloy film. Although the recording characteristics can be improved as compared with the case where
The recording magnetic field generated between the s film and the lower core layer is affected by the magnetic field from the recording medium, so that it is not possible to concentrate a strong recording magnetic field near the gap to an extent effective for increasing the recording density in the future. It was considered that it was possible to improve various characteristics such as OW (overwrite) characteristics and NLTS characteristics more effectively by experiments described later.
【００１８】ここで、ＮＬＴＳとは、図９に示すコア層
１，６間の磁気ギャップで発生する記録磁界が、記録媒
体に直前に記録された磁気記録信号からヘッド側へ向け
て発せられる記録磁界の影響を受け、非線形的な歪みを
生じて起す位相進みのことである。Here, the NLTS refers to a recording in which a recording magnetic field generated in a magnetic gap between the core layers 1 and 6 shown in FIG. 9 is generated from a magnetic recording signal recorded immediately before on a recording medium toward the head. This is a phase advance caused by a non-linear distortion caused by the influence of the magnetic field.
【００１９】またＯＷ（オーバーライト）とは重ね書き
のことであり、ＯＷ特性は、まず低周波で記録をし、さ
らに高周波で重ね書きをし、その状態で低周波での記録
信号の残留出力が、高周波で重ね書きする前の前記低周
波での記録信号の出力からどれほど低下したかで評価す
る。The OW (overwrite) means overwriting, and the OW characteristic is that the recording is first performed at a low frequency, then overwritten at a high frequency, and the residual output of the recording signal at a low frequency in that state. Of the recording signal at the low frequency before overwriting at the high frequency.
【００２０】さらに、上部コア層６を２層構造にし、単
にギャップ層２に対向する側の層に高Ｂｓ膜を配置させ
た上記の構成では、記録周波数が上昇することにより発
生する渦電流損失を有効に低減させることはできない。Further, in the above-described configuration in which the upper core layer 6 has a two-layer structure and the high Bs film is simply disposed on the layer facing the gap layer 2, eddy current loss caused by an increase in the recording frequency is obtained. Cannot be effectively reduced.
【００２１】本発明は上記従来の課題を解決するための
ものであり、特に上部コア層及び下部コア層の構造や、
コア層として使用される磁性材料を改良して、高記録密
度化・高周波数化に対応可能な薄膜磁気ヘッド及びその
製造方法を提供することを目的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and in particular, the structure of the upper core layer and the lower core layer,
It is an object of the present invention to provide a thin-film magnetic head capable of coping with higher recording density and higher frequency by improving a magnetic material used as a core layer, and a method of manufacturing the same.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】本発明は、ギャップ層を
介して対面し、またはギャップ層とこのギャップ層に接
合された他の磁極層を介して対面する下部コア層および
上部コア層と、前記両コア層に記録磁界を与えるコイル
層とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、少なくとも一方
の前記コア層は、軟磁性層と、前記コア層の下面側及び
／または上面側で前記軟磁性層に積層された高比抵抗層
との少なくとも２層で形成されており、前記高比抵抗層
は前記軟磁性層よりも高比抵抗の磁性材料で形成されて
いることを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises a lower core layer and an upper core layer facing each other via a gap layer, or via another pole layer joined to the gap layer, In a thin-film magnetic head having a coil layer for applying a recording magnetic field to both core layers, at least one of the core layers is laminated on the soft magnetic layer and on the lower surface side and / or upper surface side of the core layer. And a high specific resistance layer formed of at least two layers, wherein the high specific resistance layer is formed of a magnetic material having a higher specific resistance than the soft magnetic layer.
【００２３】本発明では上記のように、少なくとも一方
のコア層では、軟磁性層と、前記コア層の下面及び／ま
たは上面側に積層された高比抵抗層とを有している。こ
のため、記録周波数が上昇することによって発生する渦
電流を低減させることができ、今後の高記録周波数化に
対応可能な薄膜磁気ヘッドを製造することが可能にな
る。In the present invention, as described above, at least one of the core layers has a soft magnetic layer and a high resistivity layer laminated on the lower surface and / or upper surface of the core layer. For this reason, the eddy current generated by the increase in the recording frequency can be reduced, and it becomes possible to manufacture a thin film magnetic head capable of coping with a higher recording frequency in the future.
【００２４】なお上記のように高比抵抗層を、コア層の
表面に形成する理由は、表皮効果によって渦電流は特に
前記コア層表面付近に発生しやすいからである。The reason why the high resistivity layer is formed on the surface of the core layer as described above is that an eddy current tends to occur particularly near the surface of the core layer due to a skin effect.
【００２５】また本発明では、前記高比抵抗層は、上部
コア層の上面側に設けられ、前記高比抵抗層の上が保護
膜で覆われていることが好ましい。前記高比抵抗層を保
護膜によって覆う理由は、前記高比抵抗層は通常、脆い
材質で形成されるために割れ易く、このため前記高比抵
抗層の割れ等を防止すべく、前記高比抵抗層の表面に保
護膜を設けている。In the present invention, it is preferable that the high resistivity layer is provided on the upper surface side of the upper core layer, and the high resistivity layer is covered with a protective film. The reason why the high resistivity layer is covered with the protective film is that the high resistivity layer is usually formed of a brittle material, so that the high resistivity layer is liable to be broken. A protective film is provided on the surface of the resistance layer.
【００２６】なお前記保護膜は、ＮｉＦｅ合金、Ｎｉ、
ＮｉＰ合金によって形成されることが好ましい。The protective film is made of a NiFe alloy, Ni,
It is preferably formed of a NiP alloy.
【００２７】また本発明では、前記高比抵抗層は、前記
上部コア層の下面及び／または前記下部コア層の上面に
形成されており、前記上部コア層及び／または前記下部
コア層に形成された前記高比抵抗層は、前記ギャップ層
へ向う磁路形成領域を除いた部分に形成されていること
が好ましい。In the present invention, the high resistivity layer is formed on a lower surface of the upper core layer and / or an upper surface of the lower core layer, and is formed on the upper core layer and / or the lower core layer. Preferably, the high resistivity layer is formed in a portion excluding a magnetic path forming region facing the gap layer.
【００２８】前記磁路形成領域にまで前記高抵抗層が形
成されていると、ギャップ近傍に発生する記録磁界を犠
牲にする。なお前記高比抵抗層が上部コア層の上面ある
いは下部コア層の下面に形成される場合には、上記のよ
うな制限はない。If the high resistance layer is formed up to the magnetic path forming region, the recording magnetic field generated near the gap is sacrificed. When the high resistivity layer is formed on the upper surface of the upper core layer or the lower surface of the lower core layer, there is no limitation as described above.
【００２９】また本発明では、前記上部コア層及び／ま
たは下部コア層と、前記ギャップ層との間に形成される
前記他の磁性層は、前記コア層を形成する前記軟磁性層
よりも高い飽和磁束密度Ｂｓを有する高Ｂｓ層であるこ
とが好ましい。In the present invention, the other magnetic layer formed between the upper core layer and / or the lower core layer and the gap layer is higher than the soft magnetic layer forming the core layer. It is preferable that the high Bs layer has a saturation magnetic flux density Bs.
【００３０】この形態により、ギャップ近傍で強い記録
磁界を発生させることができ、記録分解能は向上し、今
後の高記録密度化に対応可能な薄膜磁気ヘッドを製造す
ることができる。According to this embodiment, a strong recording magnetic field can be generated in the vicinity of the gap, the recording resolution can be improved, and a thin film magnetic head capable of coping with a higher recording density in the future can be manufactured.
【００３１】また上記構成の場合、前記下部コア層の上
には、絶縁層が形成され、この絶縁層にはトラック幅方
向に間隔を開け且つ記録媒体との対向面からハイト方向
に延びる溝部が形成されており、この溝部内に少なくと
も前記高Ｂｓ層と前記ギャップ層が形成されていること
が好ましい。In the above structure, an insulating layer is formed on the lower core layer, and the insulating layer has grooves spaced apart in the track width direction and extending in the height direction from the surface facing the recording medium. Preferably, at least the high Bs layer and the gap layer are formed in the groove.
【００３２】上記構成で形成された薄膜磁気ヘッドは、
狭トラック化に対応可能な構造であり、上記構造であれ
ば、トラック幅を１．０μｍ以下、好ましくは０．７μ
ｍ以下で形成することが可能になる。そして前記溝内に
高Ｂｓ層が形成されることで、記録磁界をよりギャップ
近傍に集中させることができ、高記録密度化を図ること
が可能である。The thin film magnetic head formed as described above has
This is a structure that can cope with the narrowing of the track. With the above structure, the track width is set to 1.0 μm or less, preferably
m or less. By forming the high Bs layer in the groove, the recording magnetic field can be more concentrated in the vicinity of the gap, and the recording density can be increased.
【００３３】また本発明では、前記コア層を形成する前
記軟磁性層は、前記高比抵抗層よりも高い飽和磁束密度
Ｂｓを有していることが好ましい。これにより、ギャッ
プ近傍に記録磁界を集中させることができ、今後の高記
録密度化に対応可能な薄膜磁気ヘッドを製造することが
できる。In the present invention, the soft magnetic layer forming the core layer preferably has a higher saturation magnetic flux density Bs than the high resistivity layer. As a result, the recording magnetic field can be concentrated near the gap, and a thin-film magnetic head capable of coping with a higher recording density in the future can be manufactured.
【００３４】また本発明では、上部コア層と下部コア層
の少なくとも一方では、前記軟磁性層と前記高比抵抗層
とが、Ｆｅを含む同じ元素の組み合わせの磁性材料で形
成されており、前記軟磁性層のＦｅ量が、前記高比抵抗
層のＦｅ量よりも多いことが好ましい。Further, in the present invention, at least one of the upper core layer and the lower core layer, the soft magnetic layer and the high resistivity layer are formed of a magnetic material having the same element combination including Fe. It is preferable that the Fe content of the soft magnetic layer is larger than the Fe content of the high resistivity layer.
【００３５】また本発明では、前記軟磁性層と前記高Ｂ
ｓ層とが、Ｆｅを含む同じ元素の組み合わせの磁性材料
で形成されており、前記高Ｂｓ層のＦｅ量が、前記軟磁
性層のＦｅ量よりも多いことが好ましい。In the present invention, the soft magnetic layer and the high B
Preferably, the s layer is formed of a magnetic material having the same combination of elements including Fe, and the amount of Fe in the high Bs layer is larger than the amount of Fe in the soft magnetic layer.
【００３６】このようにＦｅ量を多くすると、飽和磁束
密度Ｂｓを高めることができる。または本発明では、前
記上部コア層及び／または下部コア層を形成する前記軟
磁性層、前記高比抵抗層、及び前記高Ｂｓ層のうち少な
くとも１層は、組成式が、ＣｏxＦｅyで示され、組成比
ｘ，ｙが原子％で、２０≦Ｘ≦４０、６０≦Ｙ≦８０、
あるいは８６≦ｘ≦９２、８≦ｙ≦１４であり、ｘ＋ｙ
＝１００なる関係を満たす軟磁性材料で形成されること
が好ましい。When the amount of Fe is increased as described above, the saturation magnetic flux density Bs can be increased. Alternatively, in the present invention, at least one of the soft magnetic layer, the high resistivity layer, and the high Bs layer forming the upper core layer and / or the lower core layer has a composition formula of Cox Fey . Where the composition ratios x and y are atomic%, 20 ≦ X ≦ 40, 60 ≦ Y ≦ 80,
Alternatively, 86 ≦ x ≦ 92, 8 ≦ y ≦ 14, and x + y
= 100 is preferable.
【００３７】または本発明では、前記上部コア層及び／
または下部コア層を形成する前記軟磁性層、前記高比抵
抗層、及び前記高Ｂｓ層のうち少なくとも１層は、組成
式が、ＣｏxＦｅyＮｉzで示され、組成比ｘ，ｙ，ｚ
が、質量％で、０．１≦ｘ≦１５、３８≦ｙ≦６０、４
０≦ｚ≦６２、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる関係を満たす軟
磁性材料で形成されることが好ましい。Alternatively, in the present invention, the upper core layer and / or
Alternatively, at least one of the soft magnetic layer, the high resistivity layer, and the high Bs layer forming the lower core layer has a composition formula represented by Cox Fey Niz and a composition ratio x, y, z
Are, by mass%, 0.1 ≦ x ≦ 15, 38 ≦ y ≦ 60, 4
It is preferable to be formed of a soft magnetic material satisfying the relationship of 0 ≦ z ≦ 62 and x + y + z = 100.
【００３８】さらには本発明では、前記上部コア層及び
／または下部コア層を形成する前記軟磁性層、前記高比
抵抗層、及び前記高Ｂｓ層のうち少なくとも１層は、組
成式が、ＣｏxＦｅyＮｉzＸw（ただし、元素Ｘは、Ｍ
ｏ、Ｃｒ、Ｐｄ、Ｂ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種
または２種以上の元素）で示され、組成比ｘ，ｙ，ｚ，
ｗが、質量％で、０．１≦ｘ≦１５、３８≦ｙ≦６０、
４０≦ｚ≦６２、０．１≦ｗ≦３、ｘ＋ｙ＋ｚ＋ｗ＝１
００なる関係を満たす軟磁性材料で形成されることが好
ましい。Further, in the present invention, at least one of the soft magnetic layer, the high resistivity layer, and the high Bs layer forming the upper core layer and / or the lower core layer has a composition formula of Cox Fey Niz Xw (where element X is M
o, Cr, Pd, B, and at least one element selected from the group consisting of In, and a composition ratio x, y, z,
w is mass%, 0.1 ≦ x ≦ 15, 38 ≦ y ≦ 60,
40 ≦ z ≦ 62, 0.1 ≦ w ≦ 3, x + y + z + w = 1
It is preferable to be formed of a soft magnetic material satisfying the relationship of 00.
【００３９】なお上記軟磁性材料は、前記軟磁性層と高
Ｂｓ層の少なくとも一方に使用されることが好ましい。The soft magnetic material is preferably used for at least one of the soft magnetic layer and the high Bs layer.
【００４０】または本発明では、前記上部コア層及び／
または下部コア層を形成する前記軟磁性層、前記高比抵
抗層、及び前記高Ｂｓ層のうち少なくとも１層は、組成
式が、ＮｉXＦｅyで示され、組成比ｘ，ｙが原子％で、
１０≦ｘ≦７０、３０≦ｙ≦９０、ｘ＋ｙ＝１００なる
関係を満たす軟磁性材料で形成されることが好ましい。Alternatively, in the present invention, the upper core layer and / or
Alternatively, at least one of the soft magnetic layer, the high resistivity layer, and the high Bs layer forming the lower core layer has a composition formula of Nix Fey and a composition ratio x, y of which is atomic%. so,
It is preferable to be formed of a soft magnetic material that satisfies the relation of 10 ≦ x ≦ 70, 30 ≦ y ≦ 90, and x + y = 100.
【００４１】または本発明では、前記上部コア層及び／
または下部コア層を形成する前記軟磁性層、前記高比抵
抗層、及び前記高Ｂｓ層のうち少なくとも１層は、組成
式が、ＦｅaＭbＯc（ただし元素Ｍは、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔ
ｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗから選ばれた１種
または２種以上の元素）で示され、組成比ａ，ｂ，ｃ
が、原子％で、５０≦ａ≦７０、５≦ｂ≦３０、１０≦
ｃ≦３０、ａ＋ｂ＋ｃ＝１００なる関係を満たす軟磁性
材料で形成されることが好ましい。Alternatively, in the present invention, the upper core layer and / or
Alternatively, at least one of the soft magnetic layer, the high resistivity layer, and the high Bs layer forming the lower core layer has a composition formula of Fea Mb Oc (where the element M is Hf, Zr, T
i, V, Nb, one or more elements selected from Ta, Cr, Mo, W), and composition ratios a, b, c
Is in atomic%, 50 ≦ a ≦ 70, 5 ≦ b ≦ 30, 10 ≦
It is preferable to be formed of a soft magnetic material satisfying the relationship of c ≦ 30 and a + b + c = 100.
【００４２】なお上記軟磁性材料は、高比抵抗層に使用
されることが好ましい。または本発明では、前記高比抵
抗層は、組成元素として少なくともＮｉ，Ｆｅ及びＮを
含有し、しかも平均結晶粒径は８０Å以下であり、さら
にＦｅの組成比が３０質量％以上である軟磁性材料で形
成されていることが好ましい。なおこの場合、前記軟磁
性材料の膜面の中心線平均粗さ（Ｒａ）は１２０Å以下
であることが好ましい。The soft magnetic material is preferably used for a high resistivity layer. Alternatively, in the present invention, the high resistivity layer contains at least Ni, Fe and N as constituent elements, has an average crystal grain size of 80 ° or less, and further has a Fe composition ratio of 30% by mass or more. It is preferable to be formed of a material. In this case, the center line average roughness (Ra) of the film surface of the soft magnetic material is preferably 120 ° or less.
【００４３】または本発明では、前記高比抵抗層は、組
成式がＮｉxＦｅyＮｂzで示され、しかも組成比ｘ，
ｙ，ｚが原子％で、７６≦ｘ≦８４、８≦ｙ≦１５、５
≦ｚ≦１２、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる関係を満たす軟磁
性材料で形成されることが好ましい。Alternatively, in the present invention, the high resistivity layer has a composition formula of Nix Fey Nbz and a composition ratio x,
y and z are atomic%, 76 ≦ x ≦ 84, 8 ≦ y ≦ 15, 5
It is preferable to be formed of a soft magnetic material that satisfies the relationship of ≦ z ≦ 12 and x + y + z = 100.
【００４４】さらには本発明では、前記高比抵抗層は、
ＮｉＦｅＰ、またはＦｅＮｉＰＮで形成されることが好
ましい。Further, in the present invention, the high resistivity layer is
It is preferably formed of NiFeP or FeNiPN.
【００４５】また本発明では，前記上部コア層及び／ま
たは下部コア層を形成する前記軟磁性層、高Ｂｓ層は、
組成式が、ＣｏxＺｒyＮｂzで示され、組成比ｘ，ｙ，
ｚが、原子％で、１．５≦ｙ≦１３、６．５≦ｚ≦１
５、１≦（ｙ／ｚ）≦２．５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる
関係を満たす軟磁性材料で形成されることが好ましい。Further, in the present invention, the soft magnetic layer and the high Bs layer forming the upper core layer and / or the lower core layer include:
Composition formula, indicated by Cox Zry Nbz, the composition ratio x, y,
z is atomic% and 1.5 ≦ y ≦ 13, 6.5 ≦ z ≦ 1
It is preferable to be formed of a soft magnetic material that satisfies the relationship of 5, 1 ≦ (y / z) ≦ 2.5 and x + y + z = 100.
【００４６】または本発明では、前記上部コア層及び／
または下部コア層を形成する前記軟磁性層または前記高
Ｂｓ層は、組成式が、ＣｏxＨｆyＮｂzで示され、組成
比ｘ，ｙ，ｚが、原子％で、１．５≦ｙ≦１３、６．５
≦ｚ≦１５、１≦（ｙ／ｚ）≦２．５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１
００なる関係を満たす軟磁性材料で形成されることが好
ましい。Alternatively, in the present invention, the upper core layer and / or
Or the soft magnetic layer or the high Bs layer to form the lower core layer, the composition formula is shown in Cox Hfy Nbz, the composition ratio x, y, z is in atomic%, 1.5 ≦ y ≤13, 6.5
≦ z ≦ 15, 1 ≦ (y / z) ≦ 2.5, x + y + z = 1
It is preferable to be formed of a soft magnetic material satisfying the relationship of 00.
【００４７】または本発明では、前記上部コア層及び／
または下部コア層を形成する前記軟磁性層または前記高
Ｂｓ層は、以下に示す軟磁性材料で形成されることが好
ましい。Alternatively, in the present invention, the upper core layer and / or
Alternatively, the soft magnetic layer or the high Bs layer forming the lower core layer is preferably formed of a soft magnetic material described below.
【００４８】主成分のＦｅと、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、
Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗから選ばれた１種または２
種以上の元素Ｍと、Ｃとを含有し、膜構成としては、Ｆ
ｅを主成分とする結晶相と、元素Ｍの炭化物の結晶相と
を有し、全体としては平均結晶粒径が４０ｎｍ以下の微
細結晶で構成され、さらに、元素Ｍの炭化物の平均結晶
粒径をｄ、Ｆｅを主成分とする結晶相の平均結晶粒径を
Ｄとした場合に、その比率（ｄ／Ｄ）が、０．０５≦ｄ
／Ｄ≦０．４であり、組成式はＦｅxＭyＣzで示され、
組成比ｘ，ｙ，ｚが原子％で、５０≦ｘ≦９６、２≦ｙ
≦３０、０．５≦ｚ≦２５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる関
係を満たす。The main component Fe, Hf, Zr, Ti, V,
One or two selected from Nb, Ta, Cr, Mo, W
Contains more than one element M and C, and the film composition is F
e as a main component, and a crystal phase of a carbide of the element M. The whole is composed of fine crystals having an average crystal grain size of 40 nm or less. Where d is the average crystal grain size of the crystal phase containing Fe as a main component, and the ratio (d / D) is 0.05 ≦ d
A /D≦0.4, composition formula is represented by Fex My Cz,
The composition ratio x, y, z is atomic%, and 50 ≦ x ≦ 96, 2 ≦ y
≦ 30, 0.5 ≦ z ≦ 25, and x + y + z = 100.
【００４９】または本発明では、前記上部コア層及び／
または下部コア層を形成する前記軟磁性層または前記高
Ｂｓ層は、以下に示す軟磁性材料で形成されることが好
ましい。Alternatively, in the present invention, the upper core layer and / or
Alternatively, the soft magnetic layer or the high Bs layer forming the lower core layer is preferably formed of a soft magnetic material described below.
【００５０】主成分のＦｅ及び／またはＣｏの元素Ｔ
と、Ｓｉ及び／またはＡｌの元素Ｘと、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆ、Ｖ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗから選ばれた１種または２種以
上の元素Ｍと、Ｃ及び／またはＮの元素Ｚと、Ｃｒ、Ｒ
ｅ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕから選ばれた１種ま
たは２種以上の元素Ｑとを含有し、膜構成としては、Ｆ
ｅ及び／またはＣｏを主成分とする結晶相と、元素Ｍの
炭化物及び／または窒化物の結晶相とを有し、全体とし
ては平均結晶粒径が４０ｎｍ以下の微細結晶で構成さ
れ、さらに、元素Ｍの炭化物及び／または窒化物の平均
結晶粒径をｄ、Ｆｅ及び／またはＣｏを主成分とする結
晶相の平均結晶粒径をＤとした場合に、その比率（ｄ／
Ｄ）が、０．０５≦ｄ／Ｄ≦０．４であり、組成式はＴ
aＸbＭcＺdＱeで示され、組成比ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅが
原子％で、０≦ｂ≦２５、１≦ｃ≦１０、５≦ｄ≦１
５、０≦ｅ≦１０、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝１００なる関
係を満たす。Element T of Fe and / or Co as the main component
, Si and / or Al element X, Ti, Zr, H
one or more elements M selected from f, V, Ta, Mo, W, an element Z of C and / or N, Cr, R
e, Rh, Ni, Pd, Pt, and one or more elements Q selected from Au.
e and / or a crystal phase mainly containing Co, and a crystal phase of a carbide and / or nitride of the element M, and are composed of fine crystals having an average crystal grain size of 40 nm or less as a whole. When the average crystal grain size of the carbide and / or nitride of the element M is d, and the average crystal grain size of the crystal phase mainly composed of Fe and / or Co is D, the ratio (d /
D) is 0.05 ≦ d / D ≦ 0.4, and the composition formula is T
indicated bya X b M c Z d Q e, the composition ratio a, b, c, d, e are in atomic%, 0 ≦ b ≦ 25,1 ≦ c ≦ 10,5 ≦ d ≦ 1
5, 0 ≦ e ≦ 10, a + b + c + d + e = 100.
【００５１】または本発明では、前記上部コア層及び／
または下部コア層を形成する前記軟磁性層または前記高
Ｂｓ層は、以下に示す軟磁性材料で形成されることが好
ましい。Alternatively, in the present invention, the upper core layer and / or
Alternatively, the soft magnetic layer or the high Bs layer forming the lower core layer is preferably formed of a soft magnetic material described below.
【００５２】主成分のＦｅ及び／またはＣｏの元素Ｔ
と、Ｓｉと、Ａｌと、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａから選ば
れた１種または２種以上の元素Ｍと、Ｃ及び／またはＮ
の元素Ｚと、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｒｅ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕから選ばれた１種または
２種以上の元素Ｑとを含有し、膜構成としては、元素Ｔ
を主成分とする体心立方構造の平均結晶粒径が４０ｎｍ
以下となる微結晶相に、少なくともＳｉあるいはＡｌ
と、元素Ｑが固溶し、さらに前記微細結晶相の粒界に析
出された元素Ｍの炭化物及び／または窒化物の結晶相を
有し、組成式はＴaＳｉbＡｌcＭdＺeＱfで示され、組成
比ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆが原子％で、８≦ｂ≦１５、
０≦ｃ≦１０、１≦ｄ≦１０、１≦ｅ≦１０、０≦ｆ≦
１５、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＋ｆ＝１００なる関係を満た
す。The element T of the main component Fe and / or Co
, Si, Al, one or more elements M selected from Zr, Hf, Nb, and Ta, and C and / or N
, Cr, Ti, Mo, W, V, Re, Ru,
It contains one or more elements Q selected from Rh, Ni, Pd, Pt, and Au.
The average crystal grain size of a body-centered cubic structure whose main component is 40 nm
At least Si or Al
When, elemental Q is dissolved, further comprising a crystal phase of said carbide and / or nitride of the grain boundary precipitation elemental M of the microcrystalline phase, composition formulaT a Si b Al c M d Z e Represented by Qf , wherein the composition ratios a, b, c, d, e, and f are atomic%, and 8 ≦ b ≦ 15;
0 ≦ c ≦ 10, 1 ≦ d ≦ 10, 1 ≦ e ≦ 10, 0 ≦ f ≦
15, the relationship of a + b + c + d + e + f = 100 is satisfied.
【００５３】さらには本発明では、前記上部コア層及び
／または下部コア層を形成する前記軟磁性層または高Ｂ
ｓ層は、組成式が、Ｎｉ1-XＦｅXで示され、平均結晶粒
径は、１０５Å以下であり、Ｆｅの組成比Ｘは、６０質
量％から９０質量％の範囲内である軟磁性材料で形成さ
れることが好ましい。なおこの場合、前記軟磁性膜の膜
面の中心線平均粗さ（Ｒａ）は２５Å以下であることが
好ましい。Further, in the present invention, the soft magnetic layer or the high B layer forming the upper core layer and / or the lower core layer
The s layer has a composition formula of Ni1-x FeX , an average crystal grain size of 105 ° or less, and a soft magnetic composition having an Fe composition ratio X in the range of 60% by mass to 90% by mass. It is preferably formed of a material. In this case, the center line average roughness (Ra) of the surface of the soft magnetic film is preferably 25 ° or less.
【００５４】また本発明は、ギャップ層を介して対面
し、またはギャップ層とこのギャップ層に接合された他
の磁極層を介して対面する下部コア層および上部コア層
と、前記両コア層に記録磁界を与えるコイル層とを有す
る薄膜磁気ヘッドの製造方法において、少なくとも一方
の前記コア層を形成する際に、軟磁性層を形成するとと
もに、前記軟磁性層の下面側及び／または上面側に、前
記軟磁性層よりも比抵抗の高い高比抵抗層を積層し、こ
のとき、Ｆｅイオン、Ｎｉイオンを有するメッキ浴中
に、アミノ系有機材料を添加して、組成元素に少なくと
もＦｅ、Ｎｉ及びＮを含有した軟磁性材料を析出させる
ことによって前記高比抵抗層を形成することを特徴とす
るものである。The present invention also relates to a lower core layer and an upper core layer which face each other via a gap layer or which face each other via a gap layer and another magnetic pole layer joined to the gap layer. In the method of manufacturing a thin-film magnetic head having a coil layer for applying a recording magnetic field, when forming at least one of the core layers, a soft magnetic layer is formed and a lower surface side and / or an upper surface side of the soft magnetic layer are formed. Stacking a high resistivity layer having a resistivity higher than that of the soft magnetic layer. At this time, in a plating bath having Fe ions and Ni ions, an amino-based organic material is added, and at least Fe, Ni And depositing a soft magnetic material containing N and N to form the high resistivity layer.
【００５５】本発明では、軟磁性材料の組成元素とし
て、磁性を担うＦｅ及びＮｉ以外に、第三元素として、
非金属元素であるＮ（窒素）を添加することにより、前
記軟磁性材料の比抵抗ρを向上させることができ、この
ような前記軟磁性材料を、高比抵抗層として使用するこ
とにより、今後の高周波数化においても、渦電流損失を
低減させることが可能な薄膜磁気ヘッドを製造すること
ができる。In the present invention, as a composition element of the soft magnetic material, in addition to Fe and Ni which carry magnetism, as a third element,
By adding N (nitrogen) which is a non-metallic element, the specific resistance ρ of the soft magnetic material can be improved. By using such a soft magnetic material as a high specific resistance layer, Even when the frequency is increased, a thin-film magnetic head capable of reducing eddy current loss can be manufactured.
【００５６】また本発明では、前記メッキ浴中のｐＨを
１．８以下に保つことが好ましい。なお本発明では、前
記アミノ系有機材料として、エチレンジアミン（ＥＤ
Ａ）、ジエチレントリアミン（ＤＥＴＡ）、トリエチレ
ンテトラミン（ＴＥＴＡ）、アラニン（Ａｌａ）、ある
いはグルタミン酸（Ｇｌｕ）から１種または２種以上を
選択することが好ましい。In the present invention, the pH in the plating bath is preferably maintained at 1.8 or less. In the present invention, as the amino-based organic material, ethylenediamine (ED
It is preferable to select one or more of A), diethylenetriamine (DETA), triethylenetetramine (TETA), alanine (Ala), and glutamic acid (Glu).
【００５７】また本発明では、少なくとも一方のコア層
の前記軟磁性層をＮｉ−Ｆｅ合金膜で形成し、このとき
前記Ｎｉ−Ｆｅ合金膜を、パルス電流を用いた電気メッ
キ法により形成することが好ましい。In the present invention, the soft magnetic layer of at least one of the core layers is formed of a Ni—Fe alloy film, and the Ni—Fe alloy film is formed by an electroplating method using a pulse current. Is preferred.
【００５８】上記のようにパルス電流を用いた電気メッ
キ法により、Ｎｉ−Ｆｅ合金をメッキ形成すると、前記
Ｎｉ−Ｆｅ合金の飽和磁束密度Ｂｓを向上させることが
できる。そして本発明では、飽和磁束密度Ｂｓの高い前
記Ｎｉ−Ｆｅ合金を、軟磁性層として使用することによ
り、今後の高記録密度化に対応可能な薄膜磁気ヘッドを
製造することができる。When the Ni--Fe alloy is plated by the electroplating method using the pulse current as described above, the saturation magnetic flux density Bs of the Ni--Fe alloy can be improved. In the present invention, by using the Ni—Fe alloy having a high saturation magnetic flux density Bs as the soft magnetic layer, it is possible to manufacture a thin film magnetic head capable of coping with a higher recording density in the future.
【００５９】また本発明では、前記合金膜の結晶粒径を
１０５Å以下にし、しかもＦｅの組成比Ｘを、６０質量
％から９０質量％で形成することが好ましく、さらに前
記合金膜の膜面の中心線平均粗さ（Ｒａ）を２５Å以下
で形成することが好ましい。In the present invention, it is preferable that the crystal grain size of the alloy film is 105 ° or less, and the composition ratio X of Fe is 60 to 90% by mass. Preferably, the center line average roughness (Ra) is formed at 25 ° or less.
【００６０】[0060]
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施形態の薄膜磁
気ヘッドを示すものであり、記録媒体の対向側から示し
た拡大断面図である。FIG. 1 shows a thin-film magnetic head according to an embodiment of the present invention, and is an enlarged cross-sectional view as viewed from a side facing a recording medium.
【００６１】図１に示す薄膜磁気ヘッドは、浮上式ヘッ
ドを形成するスライダのトレーリング側端面に形成され
たものであり、再生用のＭＲヘッドｈ１と、記録用のイ
ンダクティブヘッドｈ２とが積層された複合型薄膜磁気
ヘッドである。なお本発明における薄膜磁気ヘッドは、
インダクティブヘッドのみで構成されていてもよい。The thin-film magnetic head shown in FIG. 1 is formed on the trailing side end surface of a slider forming a floating head, and a reproducing MR head h1 and a recording inductive head h2 are laminated. This is a composite type thin film magnetic head. The thin-film magnetic head according to the present invention includes:
It may be constituted only by the inductive head.
【００６２】図１に示す符号１１は、軟磁性材料製の下
部シールド層である。図１に示すように、前記下部シー
ルド層１１上にはＡｌ2Ｏ3（アルミナ）などの非磁性材
料により形成された下部ギャップ層１２が設けられてい
る。下部ギャップ層１２の上には磁気抵抗効果素子１３
が積層されている。前記磁気抵抗効果素子１３は、ＡＭ
Ｒ構造あるいは巨大磁気抵抗効果を利用したスピンバル
ブ膜に代表されるＧＭＲ構造で構成される。さらに前記
磁気抵抗効果素子１３の上には、アルミナなどによる上
部ギャップ層１４が形成されている。Reference numeral 11 shown in FIG. 1 is a lower shield layer made of a soft magnetic material. As shown in FIG. 1, a lower gap layer 12 made of a non-magnetic material such as Al2 O3 (alumina) is provided on the lower shield layer 11. A magnetoresistive element 13 is formed on the lower gap layer 12.
Are laminated. The magnetoresistive element 13 has an AM
It has an R structure or a GMR structure typified by a spin valve film utilizing the giant magnetoresistance effect. Further, an upper gap layer 14 made of alumina or the like is formed on the magnetoresistive element 13.
【００６３】図１に示すように、前記上部ギャップ層１
４上には下部コア層１５が形成されている。前記下部コ
ア層１５は軟磁性材料によって形成されている。As shown in FIG. 1, the upper gap layer 1
A lower core layer 15 is formed on 4. The lower core layer 15 is formed of a soft magnetic material.
【００６４】また前記下部コア層１５は、図１のように
複合型の薄膜磁気ヘッドにおいては、インダクティブヘ
ッドｈ２のコア層として機能するだけでなく、ＭＲヘッ
ドｈ１の上部シールド層としても機能する。The lower core layer 15 not only functions as the core layer of the inductive head h2 but also functions as the upper shield layer of the MR head h1 in the composite type thin film magnetic head as shown in FIG.
【００６５】図１に示すように、下部コア層１５の上に
は、アルミナやＳｉＯ2などの非磁性材料により形成さ
れたギャップ層１８が形成されている。さらに前記ギャ
ップ層１８上には、ポリイミドまたはレジスト材料製の
絶縁層１９を介して平面的に螺旋状となるようにパター
ン形成されたコイル層２０が設けられている。なお、前
記コイル層２０はＣｕ（銅）などの電気抵抗の小さい非
磁性導電性材料で形成されている。As shown in FIG. 1, a gap layer 18 formed of a non-magnetic material such as alumina or SiO2 is formed on the lower core layer 15. Further, on the gap layer 18, there is provided a coil layer 20 patterned so as to have a spiral shape in a plane via an insulating layer 19 made of polyimide or a resist material. The coil layer 20 is formed of a non-magnetic conductive material having a small electric resistance such as Cu (copper).
【００６６】さらに、前記コイル層２０はポリイミドま
たはレジスト材料で形成された絶縁層２１に囲まれ、前
記絶縁層２１の上に、上部コア層４２が形成されてい
る。Further, the coil layer 20 is surrounded by an insulating layer 21 made of polyimide or a resist material, and an upper core layer 42 is formed on the insulating layer 21.
【００６７】前記上部コア層４２は、磁性材料によって
形成されている。また図１に示すように、上部コア層４
２の先端部４２ａは、ギャップ層１８を介して下部コア
層１５に対向しており、さらに前記上部コア層４２の基
端部４２ｂは、下部コア層１５に磁気的に接続された状
態になっている。The upper core layer 42 is made of a magnetic material. Further, as shown in FIG.
2 is opposed to the lower core layer 15 via the gap layer 18, and the base end 42 b of the upper core layer 42 is magnetically connected to the lower core layer 15. ing.
【００６８】図１に示す実施例では、前記上部コア層４
２は、軟磁性層２２の上面に、高比抵抗層４０が形成さ
れている。前記高比抵抗層４０の比抵抗ρは、軟磁性層
２２の比抵抗ρよりも高くなっている。このように軟磁
性層２２上に高比抵抗層４０を設けることで、記録周波
数が上昇することにより発生する渦電流損失を低減させ
ることができる。そして前記渦電流損失を適切に低減さ
せることができることで、ＯＷ特性、及びＮＬＴＳ特性
を向上させることができ、今後の高記録周波数化に対応
することが可能になる。In the embodiment shown in FIG. 1, the upper core layer 4
2 has a high resistivity layer 40 formed on the upper surface of the soft magnetic layer 22. The resistivity ρ of the high resistivity layer 40 is higher than the resistivity ρ of the soft magnetic layer 22. By providing the high resistivity layer 40 on the soft magnetic layer 22 as described above, it is possible to reduce the eddy current loss caused by the increase in the recording frequency. Since the eddy current loss can be appropriately reduced, the OW characteristics and the NLTS characteristics can be improved, and it is possible to cope with a higher recording frequency in the future.
【００６９】また前記高比抵抗層４０の膜厚ｈ３は、１
μｍ以下であることが好ましい。また前記高比抵抗層４
０の最大膜厚は、上部コア層４２の膜厚以下であること
が好ましい。また前記高比抵抗層４０と軟磁性層２２と
の膜厚を足し合わせた総合膜厚は、１．５μｍ以上５．
０μｍ以下であることが好ましい。The thickness h3 of the high resistivity layer 40 is 1
It is preferably not more than μm. The high resistivity layer 4
The maximum thickness of 0 is preferably equal to or less than the thickness of the upper core layer 42. The total film thickness of the high specific resistance layer 40 and the soft magnetic layer 22 is 1.5 μm or more.
It is preferably 0 μm or less.
【００７０】本発明では、上記のように高比抵抗層４０
をたかだか１μｍ設けるだけで、効果的に渦電流損失の
低減を図ることが可能である。また高比抵抗層４０と軟
磁性層２２との総合膜厚を上記の範囲内にし、そのとき
前記高比抵抗層を総合膜厚の半分以下で形成すれば、十
分に渦電流損失の低減を図ることが可能であると同時
に、ギャップ近傍で記録磁界を集中させて、高記録密度
化を図ることが可能である。In the present invention, as described above, the high resistivity layer 40
, The eddy current loss can be effectively reduced only by providing at most 1 μm. If the total thickness of the high specific resistance layer 40 and the soft magnetic layer 22 is within the above range, and the high specific resistance layer is formed at a half or less of the total thickness, the eddy current loss can be sufficiently reduced. At the same time, it is possible to increase the recording density by concentrating the recording magnetic field near the gap.
【００７１】また本発明では前記高比抵抗層４０の比抵
抗ρは、６０μΩ・ｃｍ以上であることが好ましい。な
お前記高比抵抗層４０として使用可能な磁性材料につい
ては、後述することにする。In the present invention, the specific resistance ρ of the high specific resistance layer 40 is preferably 60 μΩ · cm or more. The magnetic material that can be used for the high resistivity layer 40 will be described later.
【００７２】また図１に示すように、前記高比抵抗層４
０上には、保護膜４１が設けられ、前記高比抵抗層４０
の表面は前記保護膜４１によって覆われた状態になって
いる。As shown in FIG. 1, the high resistivity layer 4
, A protective film 41 is provided on the high resistivity layer 40.
Is covered by the protective film 41.
【００７３】このように前記保護膜４１を設ける理由
は、前記高比抵抗層４０はその材質の組成から機械的、
熱的な脆さがあり、このため前記高比抵抗層４０にひび
割れ等が入りやすいためである。前記高比抵抗層４０を
保護膜４１で覆うことで、前記高比抵抗層４０をひび割
れ等から適切に保護することが可能である。なお前記保
護膜４１には、ＮｉＦｅ系合金、Ｎｉ，ＮｉＰ等を使用
することができる。The reason for providing the protective film 41 in this way is that the high resistivity layer 40 is made of a mechanically
This is because there is thermal brittleness, and thus the high specific resistance layer 40 is apt to be cracked. By covering the high resistivity layer 40 with the protective film 41, it is possible to appropriately protect the high resistivity layer 40 from cracks and the like. The protective film 41 can be made of a NiFe alloy, Ni, NiP, or the like.
【００７４】また本発明では、前記軟磁性層２２の飽和
磁束密度Ｂｓは前記高比抵抗層４０の飽和磁束密度Ｂｓ
に比べて高いことが好ましい。In the present invention, the saturation magnetic flux density Bs of the soft magnetic layer 22 is equal to the saturation magnetic flux density Bs of the high resistivity layer 40.
It is preferably higher than.
【００７５】このように、高比抵抗層４０よりも軟磁性
層２２の飽和磁束密度Ｂｓを高くすることで、コイル層
２０から下部コア層１５及び上部コア層４２に誘導され
た記録磁界が、記録媒体との対向面（ＡＢＳ面）におい
て、高い飽和磁束密度Ｂｓを有する上部コア層４２と下
部コア層１５との間で、記録磁界が発生しやすくなる。As described above, by making the saturation magnetic flux density Bs of the soft magnetic layer 22 higher than that of the high resistivity layer 40, the recording magnetic field induced from the coil layer 20 to the lower core layer 15 and the upper core layer 42 is reduced. On the surface facing the recording medium (ABS surface), a recording magnetic field is easily generated between the upper core layer 42 and the lower core layer 15 having a high saturation magnetic flux density Bs.
【００７６】そして前記上部コア層４２及び下部コア層
１５は、ギャップ層１８に対向して形成されているた
め、前記上部コア層４２と下部コア層１５間で発生する
記録磁界は、ギャップ近傍に集中し、記録分解能を向上
させることができ、今後の高記録密度化に対応すること
が可能になる。Since the upper core layer 42 and the lower core layer 15 are formed so as to face the gap layer 18, the recording magnetic field generated between the upper core layer 42 and the lower core layer 15 is close to the gap. It is possible to concentrate and improve the recording resolution, and to cope with a higher recording density in the future.
【００７７】この実施例では下部コア層１５は、単一層
で形成されている。前記下部コア層１５は、前述したよ
うに、主にＭＲヘッドｈ１のシールド機能として作用す
るため、このシールド機能を悪化させることは好ましく
ない。例えば前記下部コア層１５を高い比抵抗ρを有す
る磁性材料で形成すると、前記シールド機能が低下する
ことがある。In this embodiment, the lower core layer 15 is formed as a single layer. As described above, since the lower core layer 15 mainly functions as a shield function of the MR head h1, it is not preferable to deteriorate the shield function. For example, if the lower core layer 15 is formed of a magnetic material having a high specific resistance ρ, the shielding function may be reduced.
【００７８】前記シールド機能は、磁気抵抗効果素子１
３で再生された記録信号のノイズを低減させるために必
要な機能である。そして、前記シールド機能を向上させ
るためには、高い透磁率μと低い磁歪定数λが必要とな
る。The shield function is provided by the magnetoresistive element 1
This function is necessary to reduce the noise of the recording signal reproduced in step 3. In order to improve the shielding function, a high magnetic permeability μ and a low magnetostriction constant λ are required.
【００７９】前記下部コア層１５の必要な軟磁気特性と
しては、比抵抗ρよりむしろ、高い透磁率と低い磁歪定
数であるから、この２つの軟磁気特性を向上させた上
で、比抵抗ρをも高くできれば、それに越したことはな
い。The required soft magnetic characteristics of the lower core layer 15 are not the specific resistance ρ but a high magnetic permeability and a low magnetostriction constant. Therefore, after improving these two soft magnetic characteristics, the specific resistance ρ If you can get higher, there is nothing better than that.
【００８０】次に本発明における下部コア層１５及び／
または上部コア層４２として使用される軟磁性材料につ
いて以下に説明する。Next, the lower core layer 15 and / or
Alternatively, a soft magnetic material used as the upper core layer 42 will be described below.
【００８１】（１）まず、軟磁性層２２と高比抵抗層４
０とが、Ｆｅを含む同じ元素の組み合わせの軟磁性材料
で形成される場合、前記軟磁性層２２のＦｅ量は、前記
高比抵抗層４０のＦｅ量よりも多いことが好ましい。(1) First, the soft magnetic layer 22 and the high resistivity layer 4
When 0 is formed of a soft magnetic material of the same combination of elements including Fe, the amount of Fe in the soft magnetic layer 22 is preferably larger than the amount of Fe in the high resistivity layer 40.
【００８２】これにより軟磁性層２２の飽和磁束密度Ｂ
ｓを、高比抵抗層４０の飽和磁束密度Ｂｓに比べて高め
ることが可能になる。Thus, the saturation magnetic flux density B of the soft magnetic layer 22
s can be increased compared to the saturation magnetic flux density Bs of the high resistivity layer 40.
【００８３】また下部コア層１５も軟磁性層と、前記軟
磁性層の上面及び／または下面に高比抵抗層４０が設け
られる場合、前記軟磁性層のＦｅ量は、前記高比抵抗層
４０のＦｅ量よりも多いことが好ましい。When the lower core layer 15 is also provided with a soft magnetic layer and a high resistivity layer 40 on the upper surface and / or lower surface of the soft magnetic layer, the Fe content of the soft magnetic layer is Is preferably larger than the amount of Fe.
【００８４】（２）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層、高比抵抗層４０のうち少
なくとも１層は、組成式が、ＣｏxＦｅyで示され、しか
も組成比ｘ，ｙが原子％で、２０≦Ｘ≦４０、６０≦Ｙ
≦８０、あるいは８６≦ｘ≦９２、８≦ｙ≦１４であ
り、ｘ＋ｙ＝１００なる関係を満たす軟磁性材料で形成
されることが好ましい。(2) At least one of the soft magnetic layer and the high resistivity layer 40 forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 has a composition formula represented by Cox Fey , and moreover, When the ratio x, y is atomic%, 20 ≦ X ≦ 40, 60 ≦ Y
≦ 80, or 86 ≦ x ≦ 92, 8 ≦ y ≦ 14, and is preferably formed of a soft magnetic material satisfying the relationship of x + y = 100.
【００８５】この軟磁性材料は、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｎｂ合金
よりも高い飽和磁束密度Ｂｓ及び比抵抗ρを有してお
り、従って前記軟磁性材料は、高記録密度化を実現する
ために高い飽和磁束密度Ｂｓを必要とする上部コア層４
２及び／または下部コア層１５を形成する軟磁性層とし
て使用されてもよいし、あるいは、高記録周波数化のた
めに高い比抵抗ρを必要とする高比抵抗層４０として使
用されてもよい。This soft magnetic material has a higher saturation magnetic flux density Bs and a higher specific resistance ρ than the Ni—Fe—Nb alloy. Therefore, the soft magnetic material has a high saturation magnetic flux in order to realize a high recording density. Upper core layer 4 requiring magnetic flux density Bs
It may be used as a soft magnetic layer forming the second and / or lower core layer 15, or may be used as a high resistivity layer 40 requiring a high resistivity ρ for higher recording frequency. .
【００８６】ただし本発明では、前記軟磁性材料は、高
い飽和磁束密度Ｂｓを必要とする前記軟磁性層として使
用される方が、より好ましい。However, in the present invention, the soft magnetic material is more preferably used as the soft magnetic layer requiring a high saturation magnetic flux density Bs.
【００８７】（３）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層、及び高比抵抗層４０のう
ち少なくとも１層は、組成式が、ＣｏxＦｅyＮｉzで示
され、しかも組成比ｘ，ｙ，ｚが、質量％で、０．１≦
ｘ≦１５、３８≦ｙ≦６０、４０≦ｚ≦６２、ｘ＋ｙ＋
ｚ＝１００なる関係を満たす軟磁性材料で形成されるこ
とが好ましい。(3) At least one of the soft magnetic layer forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 and the high resistivity layer 40 has a composition formula of Cox Fey Niz. In addition, the composition ratios x, y, and z are 0.1% by mass%.
x ≦ 15, 38 ≦ y ≦ 60, 40 ≦ z ≦ 62, x + y +
It is preferable to be formed of a soft magnetic material satisfying the relationship of z = 100.
【００８８】この軟磁性材料は、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｎｂ合金
あるいはＣｏ−Ｆｅ合金に比べ、高い飽和磁束密度Ｂｓ
及び比抵抗ρを有しており、従って前記軟磁性材料は、
高記録密度化を実現するために高い飽和磁束密度Ｂｓを
必要とする上部コア層４２及び／または下部コア層１５
を形成する軟磁性層として使用されてもよいし、あるい
は、高記録周波数化のために高い比抵抗ρを必要とする
高比抵抗層４０として使用されてもよい。This soft magnetic material has a higher saturation magnetic flux density Bs than the Ni—Fe—Nb alloy or the Co—Fe alloy.
And the specific resistance ρ, so that the soft magnetic material has
Upper core layer 42 and / or lower core layer 15 requiring high saturation magnetic flux density Bs in order to realize high recording density
May be used as a soft magnetic layer or a high specific resistance layer 40 which requires a high specific resistance ρ for a higher recording frequency.
【００８９】ただし本発明では、前記軟磁性材料は、高
い飽和磁束密度Ｂｓを必要とする上部コア層４２及び／
または下部コア層１５を形成する軟磁性層として使用さ
れる方が、より好ましい。In the present invention, however, the soft magnetic material comprises the upper core layer 42 and / or the upper core layer 42 requiring a high saturation magnetic flux density Bs.
Alternatively, it is more preferable to use the lower core layer 15 as a soft magnetic layer.
【００９０】（４）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層、及び高比抵抗層４０のう
ち少なくとも１層は、組成式が、ＣｏxＦｅyＮｉzＸ
w（ただし、元素Ｘは、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｐｄ、Ｂ、Ｉｎか
ら選ばれた少なくとも１種または２種以上の元素）で示
され、しかも組成比ｘ，ｙ，ｚ，ｗが、質量％で、０．
１≦ｘ≦１５、３８≦ｙ≦６０、４０≦ｚ≦６２、０．
１≦ｗ≦３、ｘ＋ｙ＋ｚ＋ｗ＝１００なる関係を満たす
軟磁性材料で形成されることが好ましい。(4) At least one of the soft magnetic layer forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 and the high resistivity layer 40 has a composition formula of Cox Fey Niz X
w (where the element X is at least one element or two or more elements selected from Mo, Cr, Pd, B, and In), and the composition ratio x, y, z, and w , 0.
1 ≦ x ≦ 15, 38 ≦ y ≦ 60, 40 ≦ z ≦ 62, 0.
It is preferable to be formed of a soft magnetic material satisfying a relationship of 1 ≦ w ≦ 3 and x + y + z + w = 100.
【００９１】この軟磁性材料は、Ｃｏ−Ｎｉ合金に比べ
て高い比抵抗ρを有し、またＣｏ−Ｎｉ−Ｆｅ合金と同
等の飽和磁束密度Ｂｓを有しており、従って前記軟磁性
材料は、高記録密度化を実現するために高い飽和磁束密
度Ｂｓを必要とする上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層として使用されてもよい
し、あるいは、高記録周波数化のために高い比抵抗ρを
必要とする高比抵抗層４０として使用されてもよい。This soft magnetic material has a higher specific resistance ρ than that of a Co—Ni alloy, and has a saturation magnetic flux density Bs equivalent to that of a Co—Ni—Fe alloy. May be used as a soft magnetic layer for forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 which requires a high saturation magnetic flux density Bs to realize a high recording density, or a high recording frequency. May be used as the high specific resistance layer 40 requiring a high specific resistance ρ.
【００９２】ただし本発明では、前記軟磁性材料は、高
い飽和磁束密度Ｂｓを必要とする上部コア層４２及び／
下部コア層１５を形成する軟磁性層として使用される方
が、より好ましい。However, in the present invention, the soft magnetic material comprises the upper core layer 42 and / or the upper core layer 42 requiring a high saturation magnetic flux density Bs.
It is more preferable that the lower core layer 15 is used as a soft magnetic layer.
【００９３】（５）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層、及び高比抵抗層４０のう
ち少なくとも１層は、組成式が、ＮｉXＦｅyで示され、
しかも組成比ｘ，ｙが原子％で、１０≦ｘ≦７０、３０
≦ｙ≦９０、ｘ＋ｙ＝１００なる関係を満たす軟磁性材
料で形成されることが好ましい。[0093] (5) a soft magnetic layer to form the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15, and at least one layer of high resistivity layer 40, the composition formula is represented by NiX Fey,
In addition, the composition ratio x, y is atomic% and 10 ≦ x ≦ 70, 30
It is preferable to be formed of a soft magnetic material that satisfies the relationship of ≦ y ≦ 90 and x + y = 100.
【００９４】上記組成範囲内であると、Ｎｉ80Ｆｅ20合
金（Ｂｓ＝約０．９５Ｔ、ρ＝約２０μΩ・ｃｍ）より
高い飽和磁束密度Ｂｓ（＝約１．３Ｔ）及び比抵抗ρ
（＝約５０μΩ・ｃｍ）を有しており、従って前記軟磁
性材料は、高記録密度化を実現するために高い飽和磁束
密度Ｂｓを必要とする上部コア層４２及び／または下部
コア層１５を形成する軟磁性層として使用されてもよい
し、あるいは、高記録周波数化のために高い比抵抗ρを
必要とする高比抵抗層４０として使用されてもよい。Within the above composition range, the saturation magnetic flux density Bs (= about 1.3 T) and the specific resistance ρ are higher than those of the Ni80 Fe20 alloy (Bs = about 0.95 T, ρ = about 20 μΩ · cm).
(= Approximately 50 μΩ · cm). Therefore, the soft magnetic material can be used to form the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 that require a high saturation magnetic flux density Bs to realize a high recording density. It may be used as a soft magnetic layer to be formed, or may be used as a high specific resistance layer 40 which requires a high specific resistance ρ for higher recording frequency.
【００９５】ただし本発明では、前記軟磁性材料は、高
い比抵抗ρを必要とする高比抵抗層４０として使用され
る方が、より好ましい。However, in the present invention, it is more preferable that the soft magnetic material is used as the high resistivity layer 40 requiring a high resistivity ρ.
【００９６】（６）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層、及び高比抵抗層４０のう
ち少なくとも１層は、組成式が、ＦｅaＭbＯc（ただし
元素Ｍは、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、
Ｍｏ、Ｗから選ばれた１種または２種以上の元素）で示
され、しかも組成比ａ，ｂ，ｃが、原子％で、５０≦ａ
≦７０、５≦ｂ≦３０、１０≦ｃ≦３０、ａ＋ｂ＋ｃ＝
１００なる関係を満たす軟磁性材料で形成されることが
好ましい。(6) At least one of the soft magnetic layer forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 and the high resistivity layer 40 has a composition formula of FeaMb Oc (however, element M is Hf, Zr, Ti, V, Nb, Ta, Cr,
One or more elements selected from Mo and W), and the composition ratios a, b, and c are atomic% and 50 ≦ a
≦ 70, 5 ≦ b ≦ 30, 10 ≦ c ≦ 30, a + b + c =
It is preferable to be formed of a soft magnetic material satisfying the relationship of 100.
【００９７】この軟磁性材料は、結晶磁気異方性が極め
て小さいために、保磁力Ｈｃが小さく、良好な軟磁気特
性を有する。またこの軟磁性材料は、特に比抵抗ρが４
００〜２×１０5μΩ・ｃｍと非常に大きいために、高
い比抵抗ρを必要とする高比抵抗層４０として使用され
ることが好ましい。Since this soft magnetic material has a very small crystal magnetic anisotropy, the coercive force Hc is small and the soft magnetic material has good soft magnetic properties. This soft magnetic material has a specific resistance ρ of 4
Since it is as large as 00 to 2 × 105 μΩ · cm, it is preferably used as the high resistivity layer 40 requiring a high resistivity ρ.
【００９８】（７）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層は、組成式が、ＣｏxＺｒy
Ｎｂzで示され、しかも組成比ｘ，ｙ，ｚが、原子％
で、１．５≦ｙ≦１３、６．５≦ｚ≦１５、１≦（ｙ／
ｚ）≦２．５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる関係を満たす軟
磁性材料で形成されることが好ましい。[0098] (7) a soft magnetic layer to form the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 has a composition formula, Cox Zry
Nbz , and the composition ratio x, y, z is atomic%
Where 1.5 ≦ y ≦ 13, 6.5 ≦ z ≦ 15, 1 ≦ (y /
z) It is preferably formed of a soft magnetic material that satisfies the relationship of 2.5, x + y + z = 100.
【００９９】この軟磁性材料は、飽和磁束密度Ｂｓが高
く、また結晶磁気異方性がないために、良好な軟磁気特
性を有している。This soft magnetic material has good soft magnetic properties because of its high saturation magnetic flux density Bs and no crystal magnetic anisotropy.
【０１００】（８）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層は、組成式が、ＣｏxＨｆy
Ｎｂzで示され、しかも組成比ｘ，ｙ，ｚが、原子％
で、１．５≦ｙ≦１３、６．５≦ｚ≦１５、１≦（ｙ／
ｚ）≦２．５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる関係を満たす軟
磁性材料で形成されることが好ましい。[0100] (8) a soft magnetic layer to form the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 has a composition formula, Cox Hfy
Nbz , and the composition ratio x, y, z is atomic%
Where 1.5 ≦ y ≦ 13, 6.5 ≦ z ≦ 15, 1 ≦ (y /
z) It is preferably formed of a soft magnetic material that satisfies the relationship of 2.5, x + y + z = 100.
【０１０１】この軟磁性材料は、飽和磁束密度Ｂｓが高
く、また結晶磁気異方性がないために、良好な軟磁気特
性を有している。This soft magnetic material has a high saturation magnetic flux density Bs, and has good soft magnetic properties because it has no crystal magnetic anisotropy.
【０１０２】（９）上部コア層４２及び／または下部コ
ア層１５を形成する軟磁性層は、以下に示す軟磁性材料
で形成されることが好ましい。(9) The soft magnetic layer forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 is preferably formed of the following soft magnetic material.
【０１０３】主成分のＦｅと、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、
Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗから選ばれた１種または２
種以上の元素Ｍと、Ｃとを含有し、膜構成としては、Ｆ
ｅを主成分とする結晶相と、元素Ｍの炭化物の結晶相と
を有し、全体としては平均結晶粒径が４０ｎｍ以下の微
細結晶で構成され、さらに、元素Ｍの炭化物の平均結晶
粒径をｄ、Ｆｅを主成分とする結晶相の平均結晶粒径を
Ｄとして場合に、その比率（ｄ／Ｄ）が、０．０５≦ｄ
／Ｄ≦０．４であり、組成式はＦｅxＭyＣzで示され、
組成比ｘ，ｙ，ｚが原子％で、５０≦ｘ≦９６、２≦ｙ
≦３０、０．５≦ｚ≦２５、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる関
係を満たす。The main component Fe, Hf, Zr, Ti, V,
One or two selected from Nb, Ta, Cr, Mo, W
Contains more than one element M and C, and the film composition is F
e as a main component, and a crystal phase of a carbide of the element M. The whole is composed of fine crystals having an average crystal grain size of 40 nm or less. Where d is the average crystal grain size of the crystal phase mainly composed of Fe, and the ratio (d / D) is 0.05 ≦ d
A /D≦0.4, composition formula is represented by Fex My Cz,
The composition ratio x, y, z is atomic%, and 50 ≦ x ≦ 96, 2 ≦ y
≦ 30, 0.5 ≦ z ≦ 25, and x + y + z = 100.
【０１０４】元素ＭとＣの炭化物の析出によって、Ｆｅ
基合金の結晶粒径が微細化することにより、結晶磁気異
方性が極めて小さく、前述したＣｏ−Ｈｆ−Ｎｂ合金よ
りも飽和磁束密度Ｂｓが高く、また低保磁力Ｈｃである
ために、良好な軟磁気特性が得られ、高記録密度化に最
適な材料である。また元素ＭとＣの炭化物の析出によ
り、Ｃｏ−Ｈｆ−Ｎｂ合金に比べて、耐熱性に優れてい
る。By the precipitation of carbides of elements M and C, Fe
Since the crystal grain size of the base alloy is reduced, the crystal magnetic anisotropy is extremely small, the saturation magnetic flux density Bs is higher than that of the Co-Hf-Nb alloy, and the coercive force Hc is low. It is a material that has excellent soft magnetic characteristics and is suitable for high recording density. In addition, due to precipitation of carbides of elements M and C, the heat resistance is superior to that of the Co-Hf-Nb alloy.
【０１０５】（１０）上部コア層４２及び／または下部
コア層１５を形成する軟磁性層は、以下に示す軟磁性材
料で形成されることが好ましい。(10) The soft magnetic layer forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 is preferably formed of the following soft magnetic material.
【０１０６】主成分のＦｅ及び／またはＣｏの元素Ｔ
と、Ｓｉ及び／またはＡｌの元素Ｘと、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆ、Ｖ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗから選ばれた１種または２種以
上の元素Ｍと、Ｃ及び／またはＮの元素Ｚと、Ｃｒ、Ｒ
ｅ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕから選ばれた１種ま
たは２種以上の元素Ｑとを含有し、膜構成としては、Ｆ
ｅ及び／またはＣｏを主成分とする結晶相と、元素Ｍの
炭化物及び／または窒化物の結晶相とを有し、全体とし
ては平均結晶粒径が４０ｎｍ以下の微細結晶で構成さ
れ、さらに、元素Ｍの炭化物及び／または窒化物の平均
結晶粒径をｄ、Ｆｅ及び／またはＣｏを主成分とする結
晶相の平均結晶粒径をＤとして場合に、その比率（ｄ／
Ｄ）が、０．０５≦ｄ／Ｄ≦０．４であり、組成式はＴ
aＸbＭcＺdＱeで示され、組成比ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅが
原子％で、０≦ｂ≦２５、１≦ｃ≦１０、５≦ｄ≦１
５、０≦ｅ≦１０、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝１００なる関
係を満たす。Element T of Fe and / or Co as a main component
, Si and / or Al element X, Ti, Zr, H
one or more elements M selected from f, V, Ta, Mo, W, an element Z of C and / or N, Cr, R
e, Rh, Ni, Pd, Pt, and one or more elements Q selected from Au.
e and / or a crystal phase mainly containing Co, and a crystal phase of a carbide and / or nitride of the element M, and are composed of fine crystals having an average crystal grain size of 40 nm or less as a whole. When the average crystal grain size of the carbide and / or nitride of the element M is d, and the average crystal grain size of the crystal phase mainly composed of Fe and / or Co is D, the ratio (d /
D) is 0.05 ≦ d / D ≦ 0.4, and the composition formula is T
indicated bya X b M c Z d Q e, the composition ratio a, b, c, d, e are in atomic%, 0 ≦ b ≦ 25,1 ≦ c ≦ 10,5 ≦ d ≦ 1
5, 0 ≦ e ≦ 10, a + b + c + d + e = 100.
【０１０７】元素Ｘを含有しているために、前述したＦ
ｅ−Ｍ−Ｃ合金よりも比抵抗ρ（約１２０μΩ・ｃｍ）
が大きく、また前記Ｆｅ−Ｍ−Ｃ合金よりも耐食性・耐
酸化性に優れている。Since the element X is contained, the above-mentioned F
Specific resistance ρ (about 120μΩ · cm) than e-MC alloy
And it is more excellent in corrosion resistance and oxidation resistance than the Fe-MC alloy.
【０１０８】（１１）上部コア層４２及び／または下部
コア層１５を形成する軟磁性層は、以下に示す軟磁性材
料で形成されることが好ましい。(11) The soft magnetic layer forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 is preferably formed of the following soft magnetic material.
【０１０９】主成分のＦｅ及び／またはＣｏの元素Ｔ
と、Ｓｉと、Ａｌと、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａから選ば
れた１種または２種以上の元素Ｍと、Ｃ及び／またはＮ
の元素Ｚと、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｒｅ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕから選ばれた１種または
２種以上の元素Ｑとを含有し、膜構成としては、元素Ｔ
を主成分とする体心立方構造の平均結晶粒径が４０ｎｍ
以下となる微結晶相に、少なくともＳｉあるいはＡｌ
と、元素Ｑが固溶し、さらに前記微細結晶相の粒界に析
出された元素Ｍの炭化物及び／または窒化物の結晶相を
有し、組成式はＴaＳｉbＡｌcＭdＺeＱfで示され、組成
比ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆが原子％で、８≦ｂ≦１５、
０≦ｃ≦１０、１≦ｄ≦１０、１≦ｅ≦１０、０≦ｆ≦
１５、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＋ｆ＝１００なる関係を満た
す。Element T of Fe and / or Co as a main component
, Si, Al, one or more elements M selected from Zr, Hf, Nb, and Ta, and C and / or N
, Cr, Ti, Mo, W, V, Re, Ru,
It contains one or more elements Q selected from Rh, Ni, Pd, Pt, and Au.
The average crystal grain size of a body-centered cubic structure whose main component is 40 nm
At least Si or Al
When, elemental Q is dissolved, further comprising a crystal phase of said carbide and / or nitride of the grain boundary precipitation elemental M of the microcrystalline phase, composition formulaT a Si b Al c M d Z e Represented by Qf , wherein the composition ratios a, b, c, d, e, and f are atomic%, and 8 ≦ b ≦ 15;
0 ≦ c ≦ 10, 1 ≦ d ≦ 10, 1 ≦ e ≦ 10, 0 ≦ f ≦
15, the relationship of a + b + c + d + e + f = 100 is satisfied.
【０１１０】ＳｉとＡｌの両方を含有するために、前述
したＴ−Ｘ−Ｍ−Ｘ−Ｑ合金よりも磁歪の絶対値を小さ
くすることができ、内部応力を小さくできるために、温
度等による耐環境性が向上する。Since the alloy contains both Si and Al, the absolute value of the magnetostriction can be made smaller than that of the above-mentioned TXMXXQ alloy, and the internal stress can be made smaller. Environmental resistance is improved.
【０１１１】（１２）上部コア層４２及び／または下部
コア層１５を形成する軟磁性層は、組成式が、Ｎｉ1-X
ＦｅXで示され、平均結晶粒径は、１０５Å以下であ
り、しかもＦｅの組成比Ｘは、６０質量％から９０質量
％の範囲内である軟磁性材料で形成されることが好まし
い。この場合、前記軟磁性膜の膜面の中心線平均粗さ
（Ｒａ）は２５Å以下であることが好ましい。(12) The soft magnetic layer forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 has a composition formula of Ni1 -X
It is preferably formed of a soft magnetic material represented by FeX and having an average crystal grain size of 105 ° or less and a composition ratio X of Fe in the range of 60% by mass to 90% by mass. In this case, the center line average roughness (Ra) of the film surface of the soft magnetic film is preferably 25 ° or less.
【０１１２】この軟磁性材料は、飽和磁束密度Ｂｓが高
く、最大で１．９Ｔ（テスラ）程度になる。しかも保磁
力Ｈｃは低く、１．５Ｏｅ（エルステッド）以下であ
る。This soft magnetic material has a high saturation magnetic flux density Bs, and reaches a maximum of about 1.9 T (tesla). In addition, the coercive force Hc is low and is equal to or less than 1.5 Oe (Oersted).
【０１１３】（１３）高比抵抗層４０は、組成元素とし
て少なくともＮｉ，Ｆｅ及びＮを含有し、しかも平均結
晶粒径は８０Å以下であり、さらにＦｅの組成比が３０
質量％以上である軟磁性材料で形成されていることが好
ましい。また前記軟磁性材料の膜面の中心線平均粗さ
（Ｒａ）は１２０Å以下であることが好ましい。(13) The high resistivity layer 40 contains at least Ni, Fe and N as constituent elements, has an average crystal grain size of 80 ° or less, and further has a Fe composition ratio of 30 °.
It is preferable that it is formed of a soft magnetic material having a mass percent of at least. Further, the center line average roughness (Ra) of the film surface of the soft magnetic material is preferably 120 ° or less.
【０１１４】この軟磁性材料は、非金属元素のＮ（窒
素）を含有し、上記条件によって形成された軟磁性材料
は、Ｎｉ−Ｆｅ合金に比べ高い比抵抗ρを有し、さらに
前記Ｎｉ−Ｆｅ合金と同程度の保磁力Ｈｃ及び飽和磁束
密度Ｂｓを有する。This soft magnetic material contains N (nitrogen), a nonmetallic element. The soft magnetic material formed under the above conditions has a higher specific resistance ρ than the Ni—Fe alloy, It has the same coercive force Hc and saturation magnetic flux density Bs as the Fe alloy.
【０１１５】（１４）高比抵抗層４０は、組成式がＮｉ
xＦｅyＮｂzで示され、しかも組成比ｘ，ｙ，ｚが原子
％で、７６≦ｘ≦８４、８≦ｙ≦１５、５≦ｚ≦１２、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００なる関係を満たす軟磁性材料で形成
されることが好ましい。(14) The high specific resistance layer 40 has a composition formula of Ni
x Fey Nbz , and the composition ratio x, y, z is atomic%, 76 ≦ x ≦ 84, 8 ≦ y ≦ 15, 5 ≦ z ≦ 12,
It is preferable to be formed of a soft magnetic material that satisfies the relationship x + y + z = 100.
【０１１６】（１５）高比抵抗層４０は、ＦｅＮｉＰ合
金またはＦｅＮｉＰＮ合金で形成されることが好まし
い。(15) The high resistivity layer 40 is preferably formed of a FeNiP alloy or a FeNiPN alloy.
【０１１７】上記（１４）（１５）の軟磁性材料は、Ｎ
ｉ−Ｆｅ合金よりも高い比抵抗ρを有する。The soft magnetic material of (14) and (15) is N
It has a higher specific resistance ρ than the i-Fe alloy.
【０１１８】ところで本発明では、上部コア層４２及び
／または下部コア層１５を形成する軟磁性層を、上記し
た（１２）で示すＮｉ−Ｆｅ合金で形成する場合に、そ
の製造方法として、パルス電流を用いた電気メッキ法を
挙げることができる。In the present invention, when the soft magnetic layer for forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 is formed of the Ni—Fe alloy shown in the above (12), the manufacturing method is as follows. An electroplating method using a current can be given.
【０１１９】前記パルス電流を用いて電気メッキしたＮ
ｉ−Ｆｅ合金は、メッキ膜中に含有するＦｅの組成比
（質量％）を大きくしても、それに伴って、飽和磁束密
度Ｂｓを向上させることができ、前記飽和磁束密度Ｂｓ
を最大で１．９Ｔ程度にまで上昇させることが可能であ
る。Electroplated N using the pulse current
The i-Fe alloy can improve the saturation magnetic flux density Bs even if the composition ratio (mass%) of Fe contained in the plating film is increased, and the saturation magnetic flux density Bs
Can be increased up to about 1.9T.
【０１２０】また本発明では、前記パルス電流を用いた
電気メッキ法により、メッキ形成されたＮｉ−Ｆｅ合金
の平均結晶粒径を１０５Å以下にし、しかもＦｅの組成
比を、６０質量％から９０質量％で形成することが好ま
しい。さらに、前記軟磁性膜の膜面の中心線平均粗さ
（Ｒａ）を２５Å以下で形成することが好ましい。In the present invention, the average crystal grain size of the Ni—Fe alloy plated by the electroplating method using the pulse current is reduced to 105 ° or less, and the composition ratio of Fe is from 60% by mass to 90% by mass. %. Further, it is preferable to form the soft magnetic film with a center line average roughness (Ra) of 25 ° or less.
【０１２１】パルス電流を用いた電気メッキ法によれ
ば、上記した条件でＮｉ−Ｆｅ合金をメッキ形成するこ
とは可能であり、このように微細化された結晶を有する
Ｎｉ−Ｆｅ合金であれば、飽和磁束密度Ｂｓを向上させ
るだけでなく、保磁力Ｈｃをも低減させることが可能で
ある。具体的には前記保磁力Ｈｃを１．５Ｏｅ以下に設
定することができる。According to the electroplating method using a pulse current, it is possible to form a Ni—Fe alloy by plating under the above-described conditions, and if the Ni—Fe alloy has such a fine crystal, In addition, not only the saturation magnetic flux density Bs can be improved, but also the coercive force Hc can be reduced. Specifically, the coercive force Hc can be set to 1.5 Oe or less.
【０１２２】また、高比抵抗層４０を、上記した（１
３）に示す軟磁性材料で形成する場合、以下に説明する
製造方法によって形成することが可能である。Further, the high resistivity layer 40 is formed as described in (1) above.
When it is formed of the soft magnetic material shown in 3), it can be formed by a manufacturing method described below.
【０１２３】すなわち本発明では、Ｆｅイオン、Ｎｉイ
オンを有するメッキ浴中に、アミノ系有機材料を添加す
ることにより、組成元素に少なくともＦｅ、Ｎｉ及びＮ
を含有した軟磁性材料を形成できる。That is, in the present invention, by adding an amino-based organic material to a plating bath having Fe ions and Ni ions, at least Fe, Ni and N
Can be formed.
【０１２４】このように組成元素に、非金属元素である
Ｎ（窒素）を含有する軟磁性材料は、比抵抗ρが高く、
具体的には６０μΩ・ｃｍ以上の比抵抗ρが得られる。As described above, the soft magnetic material containing N (nitrogen), which is a nonmetallic element, has a high specific resistance ρ,
Specifically, a specific resistance ρ of 60 μΩ · cm or more is obtained.
【０１２５】また本発明では、特に前記メッキ浴のｐＨ
（水素指数）を適正化して、メッキ形成された軟磁性膜
の膜面の中心線平均粗さ（Ｒａ）を小さくしており、こ
れにより、適性に保磁力Ｈｃを低く抑えることができ
る。具体的には、前記メッキ浴中のｐＨを１．８以下に
保つことが好ましい。In the present invention, in particular, the pH of the plating bath is
(Hydrogen exponent) is optimized to reduce the center line average roughness (Ra) of the film surface of the plated soft magnetic film, whereby the coercive force Hc can be appropriately reduced. Specifically, it is preferable to maintain the pH in the plating bath at 1.8 or less.
【０１２６】また本発明では、メッキ浴中に添加する前
記アミノ系有機材料として、エチレンジアミン（ＥＤ
Ａ）、ジエチレントリアミン（ＤＥＴＡ）、トリエチレ
ンテトラミン（ＴＥＴＡ）、アラニン（Ａｌａ）、ある
いはグルタミン酸（Ｇｌｕ）から１種または２種以上を
選択することができる。In the present invention, ethylenediamine (ED) is used as the amino-based organic material to be added to the plating bath.
One or more of A), diethylenetriamine (DETA), triethylenetetramine (TETA), alanine (Ala), and glutamic acid (Glu) can be selected.
【０１２７】なお図１に示す実施例では、上部コア層４
２を形成する軟磁性層２２及び下部コア層１５がいずれ
も単一層で形成されているが、複数の層が積層された構
成であってもよい。この場合、磁気ギャップから離れる
につれて各層の比抵抗ρを向上させたり、また磁気ギャ
ップに近づくにつれて、各層の飽和磁束密度Ｂｓを向上
させたりすることが好ましい。In the embodiment shown in FIG. 1, the upper core layer 4
Each of the soft magnetic layer 22 and the lower core layer 15 forming No. 2 is formed as a single layer, but a configuration in which a plurality of layers are stacked may be used. In this case, it is preferable to increase the specific resistance ρ of each layer as the distance from the magnetic gap increases, and to increase the saturation magnetic flux density Bs of each layer as the distance from the magnetic gap increases.
【０１２８】図２は、本発明における他の薄膜磁気ヘッ
ドの実施形態を示す部分縦断面図である。FIG. 2 is a partial longitudinal sectional view showing an embodiment of another thin-film magnetic head according to the present invention.
【０１２９】この実施形態では図１と上部コア層４２の
構成において異なり、他の部分におおては全く同じであ
る。In this embodiment, the structure of the upper core layer 42 is different from that of FIG. 1, and the other parts are completely the same.
【０１３０】図２に示すように上部コア層４２を形成す
る軟磁性層２２の下面には、高比抵抗層４０が形成され
ている。前記高比抵抗層４０の比抵抗ρは前記軟磁性層
２２の比抵抗ρよりも高くなっている。As shown in FIG. 2, on the lower surface of the soft magnetic layer 22 forming the upper core layer 42, a high resistivity layer 40 is formed. The resistivity ρ of the high resistivity layer 40 is higher than the resistivity ρ of the soft magnetic layer 22.
【０１３１】このように軟磁性層２２の下面に高比抵抗
層４０を設けることで、記録周波数が上昇することによ
り発生する渦電流損失を低減させることができる。そし
て前記渦電流損失を適切に低減させることができること
で、ＯＷ特性、及びＮＬＴＳ特性を向上させることがで
き、今後の高記録周波数化に対応することが可能にな
る。なお前記高比抵抗層４０の膜厚等に関しては図１で
説明したのと同じである。By providing the high resistivity layer 40 on the lower surface of the soft magnetic layer 22 as described above, it is possible to reduce the eddy current loss caused by the increase in the recording frequency. Since the eddy current loss can be appropriately reduced, the OW characteristics and the NLTS characteristics can be improved, and it is possible to cope with a higher recording frequency in the future. The thickness and the like of the high resistivity layer 40 are the same as those described with reference to FIG.
【０１３２】またこの実施例では、前記軟磁性層２２の
飽和磁束密度Ｂｓが高比抵抗層４０の飽和磁束密度Ｂｓ
よりも高いことが好ましい。これにより記録磁界をギャ
ップ近傍に集中させて記録特性の向上を図ることが可能
である。In this embodiment, the saturation magnetic flux density Bs of the soft magnetic layer 22 is
It is preferably higher than that. As a result, the recording magnetic field can be concentrated near the gap to improve the recording characteristics.
【０１３３】なお図２に示す実施例では、ギャップ層１
８と接する部分（磁路形成領域）にも高比抵抗層４０が
延びて形成されているが、前記ギャップ層１８と接する
部分に前記高比抵抗層４０が形成されていない方が、記
録磁界をギャップ近傍に集中させることができる点で好
ましい。In the embodiment shown in FIG.
The high specific resistance layer 40 is also formed to extend to a portion (magnetic path forming region) in contact with the gap 8, but the recording magnetic field is higher when the high specific resistance layer 40 is not formed in the portion in contact with the gap layer 18. Can be concentrated near the gap.
【０１３４】また上部コア層４２及び／または下部コア
層１５を形成する軟磁性層及び高比抵抗層４０の材質
は、上記した（１）〜（１５）の中から選択されること
が好ましい。The material of the soft magnetic layer and the high resistivity layer 40 forming the upper core layer 42 and / or the lower core layer 15 is preferably selected from the above (1) to (15).
【０１３５】図３は、下部コア層１５にも高比抵抗層４
０を設けた実施形態を示す薄膜磁気ヘッドの部分縦断面
図である。FIG. 3 shows that the lower core layer 15 also has a high resistivity layer 4.
FIG. 4 is a partial longitudinal sectional view of a thin-film magnetic head showing an embodiment provided with 0.
【０１３６】図３に示すように、下部コア層１５を形成
する軟磁性層４３の下面には高比抵抗層４０が形成され
ている。As shown in FIG. 3, on the lower surface of the soft magnetic layer 43 forming the lower core layer 15, a high resistivity layer 40 is formed.
【０１３７】このように軟磁性層４３の下面に高比抵抗
層４０を設けることで、記録周波数が上昇することによ
り発生する渦電流損失を低減させることができる。そし
て前記渦電流損失を適切に低減させることができること
で、ＯＷ特性、及びＮＬＴＳ特性を向上させることがで
き、今後の高記録周波数化に対応することが可能にな
る。なお前記高比抵抗層４０の膜厚等に関しては図１で
説明したのと同じである。By providing the high specific resistance layer 40 on the lower surface of the soft magnetic layer 43 as described above, it is possible to reduce the eddy current loss caused by the increase in the recording frequency. Since the eddy current loss can be appropriately reduced, the OW characteristics and the NLTS characteristics can be improved, and it is possible to cope with a higher recording frequency in the future. The thickness and the like of the high resistivity layer 40 are the same as those described with reference to FIG.
【０１３８】またこの実施例では、前記軟磁性層４３の
飽和磁束密度Ｂｓが高比抵抗層４０の飽和磁束密度Ｂｓ
よりも高いことが好ましい。これにより記録磁界をギャ
ップ近傍に集中させて記録特性の向上を図ることが可能
である。In this embodiment, the saturation magnetic flux density Bs of the soft magnetic layer 43 is smaller than the saturation magnetic flux density Bs of the high resistivity layer 40.
It is preferably higher than that. As a result, the recording magnetic field can be concentrated near the gap to improve the recording characteristics.
【０１３９】また軟磁性層４３の上面に高比抵抗層４０
を設けてもよい。ただし上部コア層４２とギャップ層１
８を介して接する位置（磁路形成領域）に前記高比抵抗
層４０を設けないことが、ギャップ近傍により記録磁界
を集中することができるので好ましい。The high resistivity layer 40 is formed on the upper surface of the soft magnetic layer 43.
May be provided. However, the upper core layer 42 and the gap layer 1
It is preferable not to provide the high specific resistance layer 40 at a position (magnetic path forming region) that is in contact with the intermediary 8 because the recording magnetic field can be concentrated near the gap.
【０１４０】また軟磁性層４３の下面に形成された高比
抵抗層４０は、主にＭＲヘッドｈ１のシールド機能とし
て作用するため、このシールド機能を悪化させてまでも
前記高比抵抗層４０の比抵抗ρを向上させることは好ま
しくない。The high specific resistance layer 40 formed on the lower surface of the soft magnetic layer 43 mainly functions as a shield function of the MR head h1, so that even if this shield function is deteriorated, the high specific resistance layer 40 will not be used. It is not preferable to increase the specific resistance ρ.
【０１４１】前記シールド機能は、磁気抵抗効果素子１
３で再生された記録信号のノイズを低減させるために必
要な機能である。そして、前記シールド機能を向上させ
るためには、高い透磁率μと低い磁歪定数λが必要とな
る。The shield function is provided by the magnetoresistive element 1
This function is necessary to reduce the noise of the recording signal reproduced in step 3. In order to improve the shielding function, a high magnetic permeability μ and a low magnetostriction constant λ are required.
【０１４２】高比抵抗層４０の必要な軟磁気特性として
は、比抵抗ρよりむしろ、高い透磁率と低い磁歪定数で
あり、この２つの軟磁気特性を向上させた上で、比抵抗
ρをも高くすることが好ましい。The soft magnetic characteristics required for the high resistivity layer 40 are not the resistivity ρ but a high magnetic permeability and a low magnetostriction constant. It is also preferable to increase the temperature.
【０１４３】図４は本発明における他の薄膜磁気ヘッド
の実施形態を示す部分正面図である。図５は、図４に示
す薄膜磁気ヘッドを５−５線から切断し矢印方向から見
た場合の部分断面図である。FIG. 4 is a partial front view showing an embodiment of another thin-film magnetic head according to the present invention. FIG. 5 is a partial cross-sectional view of the thin-film magnetic head shown in FIG. 4 taken along line 5-5 and viewed from the direction of the arrow.
【０１４４】図４および図５に示す薄膜磁気ヘッドは書
き込み用のいわゆるインダクティブヘッドであり、この
インダクティブヘッドは、例えば磁気抵抗効果を利用し
た読み出しヘッド（ＭＲヘッドｈ１；図１参照）の上に
積層される。The thin-film magnetic head shown in FIGS. 4 and 5 is a so-called inductive head for writing, and this inductive head is laminated on, for example, a read head (MR head h1; see FIG. 1) utilizing the magnetoresistance effect. Is done.
【０１４５】図４と図５に示す符号３０は、軟磁性材料
で形成された下部コア層を形成する軟磁性層である。Reference numeral 30 shown in FIGS. 4 and 5 denotes a soft magnetic layer forming a lower core layer formed of a soft magnetic material.
【０１４６】本発明では図４及び図５に示すように、前
記軟磁性層３０上に絶縁材料で形成された絶縁層３１が
形成されている。前記絶縁材料は、ＡｌＯ、Ａｌ2Ｏ3、
ＳｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5、ＴｉＯ、ＡｌＮ、ＡｌＳｉＮ、Ｔ
ｉＮ、ＳｉＮ、Ｓｉ3Ｎ4、ＮｉＯ、ＷＯ、ＷＯ3、Ｂ
Ｎ、ＣｒＮのうち少なくとも１種からなり、前記絶縁層
３１は、単層であるいは多層化されて形成されている。In the present invention, as shown in FIGS. 4 and 5, an insulating layer 31 made of an insulating material is formed on the soft magnetic layer 30. The insulating material is AlO, Al2 O3 ,
SiO2 , Ta2 O5 , TiO, AlN, AlSiN, T
iN, SiN, Si3 N4 , NiO, WO, WO3 , B
The insulating layer 31 is made of at least one of N and CrN, and is formed as a single layer or a multilayer.
【０１４７】本発明では、前記絶縁層３１には、記録媒
体との対向面（ＡＢＳ面）からハイト方向（図示Ｙ方
向）にかけて、所定の長さ寸法で形成された溝部３１ａ
が形成されている。In the present invention, the insulating layer 31 has a groove 31a formed with a predetermined length from the surface (ABS surface) facing the recording medium to the height direction (Y direction in the drawing).
Are formed.
【０１４８】前記溝部３１ａは、例えば反応性イオンエ
ッチング（ＲＩＥ法）により形成されるものであり、前
記絶縁層３１に形成された溝部３１ａは、少なくともト
ラック幅Ｔｗを規制する内幅寸法を有して形成されてい
る。なお前記トラック幅Ｔｗは、１．０μｍ以下で形成
されることが好ましく、より好ましくは、０．７μｍ以
下である。The groove 31a is formed by, for example, reactive ion etching (RIE). The groove 31a formed in the insulating layer 31 has an inner width dimension that at least regulates the track width Tw. It is formed. The track width Tw is preferably formed to be 1.0 μm or less, more preferably 0.7 μm or less.
【０１４９】図４及び図５に示すように、前記絶縁層３
１に形成された溝部３１ａの内部には、最下層として、
軟磁性層３０と磁気的に接続する下部磁極部３２が形成
されている。As shown in FIG. 4 and FIG.
In the inside of the groove 31a formed in No. 1 as a lowermost layer,
A lower magnetic pole portion 32 magnetically connected to the soft magnetic layer 30 is formed.
【０１５０】また図４及び図５に示すように、溝部３１
ａ内であって、前記下部磁極部３２の上には、ギャップ
層３３が積層されている。このギャップ層３３は、Ｎｉ
Ｐ、ＮｉＰｄ、ＮｉＰｔ、ＮｉＲｈ、ＮｉＷ、ＮｉＭ
ｏ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｃｒのうち１種ま
たは２種以上が選択された非金属材料により形成され
る。Also, as shown in FIGS.
A gap layer 33 is laminated on the lower magnetic pole portion 32 in the area a. This gap layer 33 is made of Ni
P, NiPd, NiPt, NiRh, NiW, NiM
One, two or more of o, Au, Pt, Rh, Pd, Ru, and Cr are formed of a nonmetallic material selected.
【０１５１】さらに図４及び図５に示すように、前記溝
部３１ａ内であって、ギャップ層３３の上には、上部磁
極部３４が積層されている。As shown in FIGS. 4 and 5, an upper magnetic pole portion 34 is stacked in the groove 31a and on the gap layer 33.
【０１５２】また図４に示すように、前記上部磁極部３
４の両側に、前記上部磁極部３４の表面３４ａから、前
記絶縁層３１の表面３１ｂにかけて、間隔が徐々に広が
って傾斜する傾斜面３１ｃが、前記絶縁層３１に形成さ
れている。Also, as shown in FIG.
On both sides of the upper surface 4, an inclined surface 31 c is formed on the insulating layer 31, with an interval gradually increasing from the surface 34 a of the upper magnetic pole portion 34 to the surface 31 b of the insulating layer 31.
【０１５３】さらに本発明では、図４及び図５に示すよ
うに、前記上部磁極部３４上から傾斜面３１ｃ上にかけ
て上部コア層を形成する軟磁性層３６が形成されてい
る。Further, in the present invention, as shown in FIGS. 4 and 5, a soft magnetic layer 36 forming an upper core layer is formed from above the upper magnetic pole portion 34 to the inclined surface 31c.
【０１５４】また図５に示すように、絶縁層３１の溝部
３１ａ内に形成されたギャップ層３３上に、記録媒体と
の対向面からハイト方向（図示Ｙ方向）に一定の間隔
（Ｇｄ）が空けられ、この間隔の後方のギャップ層３３
上からハイト側に位置する絶縁層３１上にかけてＧｄ決
め絶縁層３７が形成されている。なお前記Ｇｄ決め絶縁
層３７は、例えばポリイミドやレジスト材料などの有機
樹脂材料で形成されている。As shown in FIG. 5, on the gap layer 33 formed in the groove 31a of the insulating layer 31, a constant distance (Gd) from the surface facing the recording medium in the height direction (Y direction in the drawing). The gap layer 33 that is separated and is
A Gd determining insulating layer 37 is formed from above to the insulating layer 31 located on the height side. The Gd determining insulating layer 37 is made of, for example, an organic resin material such as polyimide or a resist material.
【０１５５】また図５に示すように、絶縁層３１に形成
された溝部３１ａよりもハイト側に延びる前記絶縁層３
１の上には、コイル層３８が螺旋状にパターン形成され
ている。図５に示す実施例では、前記コイル層３８が絶
縁層３１の上に直接形成されているが、前記コイル層３
８と絶縁層３１との間に、前述したＧｄ決め絶縁層３７
が形成されていてもよい。As shown in FIG. 5, the insulating layer 3 extending to the height side from the groove 31a formed in the insulating layer 31 is formed.
A coil layer 38 is spirally patterned on 1. In the embodiment shown in FIG. 5, the coil layer 38 is formed directly on the insulating layer 31.
8 and the insulating layer 31, the above-described Gd determining insulating layer 37.
May be formed.
【０１５６】さらに前記コイル層３８の上には、前記コ
イル層３８を覆うようにしてコイル絶縁層３９が形成さ
れており、なお、このコイル絶縁層３９はレジスト材料
やポリイミドなどの有機樹脂材料で形成されている。A coil insulating layer 39 is formed on the coil layer 38 so as to cover the coil layer 38. The coil insulating layer 39 is made of a resist material or an organic resin material such as polyimide. Is formed.
【０１５７】また図５に示すように、上述した軟磁性層
３６は、記録媒体との対向面からハイト方向に延びて形
成され、軟磁性層３６の基端部３６ａは、第２の下部コ
ア層３０上に磁気的に接続されて形成されている。As shown in FIG. 5, the above-described soft magnetic layer 36 is formed to extend in the height direction from the surface facing the recording medium, and the base end 36a of the soft magnetic layer 36 is It is formed on the layer 30 so as to be magnetically connected.
【０１５８】また図５に示すようにこの実施例では、前
記軟磁性層３６の下面には、高比抵抗層４０が形成され
ている。前記高比抵抗層４０の比抵抗ρは、軟磁性層３
６の比抵抗ρよりも高くなっている。また前記高比抵抗
層４０は、軟磁性層３６が下部コア層を形成する軟磁性
層３０上にギャップ層３３を介して対向する位置（磁路
形成領域）には形成されておらず、前記高比抵抗層４０
は、記録媒体との対向面に露出形成されない。このため
前記高比抵抗層４０の形成が、ギャップ近傍での記録磁
界の集中の妨げとならず、高記録密度化に対応可能な薄
膜磁気ヘッドを製造することができる。In this embodiment, a high resistivity layer 40 is formed on the lower surface of the soft magnetic layer 36 as shown in FIG. The resistivity ρ of the high resistivity layer 40 is
6 is higher than the specific resistance ρ. The high specific resistance layer 40 is not formed at a position (magnetic path forming region) where the soft magnetic layer 36 is opposed to the soft magnetic layer 30 forming the lower core layer via the gap layer 33. High resistivity layer 40
Are not exposed on the surface facing the recording medium. Therefore, the formation of the high resistivity layer 40 does not hinder the concentration of the recording magnetic field near the gap, and a thin film magnetic head capable of coping with a high recording density can be manufactured.
【０１５９】前述したように、各軟磁性層３０，３６に
は、ギャップ近傍において、磁極部３２，３４が磁気的
に接続して形成されているが、前記磁極部３２，３４
は、各軟磁性層３０，３６の飽和磁束密度Ｂｓよりも高
い飽和磁束密度Ｂｓを有して形成された、いわば高Ｂｓ
層となっている。As described above, the magnetic pole portions 32 and 34 are formed in the soft magnetic layers 30 and 36 in the vicinity of the gaps by being magnetically connected.
Are formed with a saturation magnetic flux density Bs higher than the saturation magnetic flux density Bs of each soft magnetic layer 30, 36, so to speak, a high Bs
Layers.
【０１６０】このように高Ｂｓ層をギャップ近傍に設け
ることで、前記高Ｂｓ層の部分で、ギャップ近傍で記録
磁界を集中させることができ、より適切に高記録密度化
を図ることが可能である。By providing the high Bs layer in the vicinity of the gap as described above, the recording magnetic field can be concentrated near the gap in the portion of the high Bs layer, and the recording density can be more appropriately increased. is there.
【０１６１】また図５に示す実施例では、絶縁層３１に
形成された溝部３１ａ内に前記磁極部３２，３４が形成
され、前記溝部３１ａのトラック幅方向（図示Ｘ方向）
における幅寸法は非常に狭く形成されるために、今後の
狭トラック化において、高記録密度化に対応可能な薄膜
磁気ヘッドの製造が可能である。In the embodiment shown in FIG. 5, the magnetic pole portions 32 and 34 are formed in the groove 31a formed in the insulating layer 31, and the groove 31a has a track width direction (X direction in the drawing).
Since the width dimension is very narrow, it is possible to manufacture a thin-film magnetic head capable of coping with a high recording density in a future track narrowing.
【０１６２】なお前記上部磁極部３４及び下部磁極部３
２（高Ｂｓ層）は、上記した（１）〜（１２）のいずれ
かの軟磁性材料により形成されることが好ましい。The upper magnetic pole part 34 and the lower magnetic pole part 3
2 (high Bs layer) is preferably formed of the soft magnetic material according to any one of the above (1) to (12).
【０１６３】なお図４及び図５に示す実施例では、下部
磁極部３２及び上部磁極部３４が、絶縁層３１に形成さ
れた溝部３１ａ内にのみ形成されているが、さらに、前
記下部磁極部３２及び上部磁極部３４が、前記溝部３１
ａから延出して、前記下部磁極部３２が、コイル層３８
が形成されている絶縁層３１の下側にまで延びて形成さ
れていてもよいし、また上部磁極部３４が、絶縁層３９
上にまで延びて形成されていてもよい。In the embodiment shown in FIGS. 4 and 5, the lower magnetic pole portion 32 and the upper magnetic pole portion 34 are formed only in the groove 31a formed in the insulating layer 31. 32 and the upper magnetic pole portion 34
a, the lower magnetic pole portion 32 is
May be formed to extend to a lower side of the insulating layer 31 on which the insulating layer 39 is formed.
It may be formed to extend upward.
【０１６４】また下部コア層３０は、溝部３１ａ内には
形成されていないが、この溝部３１ａ内に、前記下部コ
ア層３０が突出して形成されていてもかまわない。The lower core layer 30 is not formed in the groove 31a, but the lower core layer 30 may be formed to protrude in the groove 31a.
【０１６５】以上詳述した本発明における薄膜磁気ヘッ
ドでは、上部コア層と下部コア層のうち、少なくとも一
方のコア層は、軟磁性層と前記軟磁性層の上面及び／ま
たは下面に前記軟磁性層よりも高い比抵抗ρを有する高
比抵抗層が形成されている。In the thin-film magnetic head of the present invention described in detail above, at least one of the upper core layer and the lower core layer has a soft magnetic layer and the soft magnetic layer on the upper surface and / or the lower surface of the soft magnetic layer. A high resistivity layer having a resistivity ρ higher than that of the layer is formed.
【０１６６】記録周波数が上昇することにより発生する
渦電流を低減させることができ、今後の高記録周波数化
に対応可能な薄膜磁気ヘッドを製造することが可能にな
る。An eddy current generated by an increase in recording frequency can be reduced, and a thin-film magnetic head capable of coping with a higher recording frequency in the future can be manufactured.
【０１６７】また本発明では、前記軟磁性層は高比抵抗
層よりも高い飽和磁束密度Ｂｓを有していることが好ま
しく、これにより、各コア層のギャップ近傍付近で強い
記録磁界を発生させて、記録分解能を向上させることが
でき、今後の高記録密度化に対応可能な薄膜磁気ヘッド
を製造することが可能になる。Further, in the present invention, the soft magnetic layer preferably has a higher saturation magnetic flux density Bs than the high resistivity layer, thereby generating a strong recording magnetic field in the vicinity of the gap between each core layer. As a result, the recording resolution can be improved, and a thin-film magnetic head capable of coping with a higher recording density in the future can be manufactured.
【０１６８】また図１では、上部コア層４２の軟磁性層
２２の上、図２では上部コア層４２の軟磁性層２２の
下、図３では上部コア層４２の軟磁性層２２の上と下部
コア層１５の軟磁性層４３の下、図５では上部コア層の
軟磁性層３６の下にそれぞれ高比抵抗層４０が設けられ
ているが、前記高比抵抗層４０は、例えば上部コア層の
軟磁性層の上下及び下部コア層の軟磁性層の上下の四個
所に設けられても良く、任意に前記高比抵抗層４０の形
成位置を決定することが可能である。Also, in FIG. 1, the upper portion of the soft magnetic layer 22 of the upper core layer 42, in FIG. 2, the lower portion of the soft magnetic layer 22 of the upper core layer 42, and in FIG. Although the high resistivity layer 40 is provided below the soft magnetic layer 43 of the core layer 15 and below the soft magnetic layer 36 of the upper core layer in FIG. 5, the high resistivity layer 40 is, for example, an upper core layer. May be provided at four places above and below the soft magnetic layer and above and below the soft magnetic layer of the lower core layer, and the formation position of the high resistivity layer 40 can be determined arbitrarily.
【０１６９】[0169]
【実施例】本発明では下記の構成で形成された実施例及
び比較例の薄膜磁気ヘッドを製造し、各薄膜磁気ヘッド
の、ＯＷ（オーバーライト）特性、ＰＷ５０特性、及び
ＮＬＴＳ特性について測定した。EXAMPLE In the present invention, thin film magnetic heads of Examples and Comparative Examples formed with the following structures were manufactured, and OW (overwrite) characteristics, PW50 characteristics, and NLTS characteristics of each thin film magnetic head were measured.
【０１７０】実施例としての薄膜磁気ヘッドの構造は、
下部コア層を形成する軟磁性層の上面及び下部コア層を
形成する軟磁性層の下面に高比抵抗層が形成されてい
る。前記軟磁性層、及び高比抵抗層は、全てＮｉ−Ｆｅ
合金で形成されているが、各軟磁性層のＦｅ量は、高比
抵抗層のＦｅ量に比べて大きくなっており、これによ
り、軟磁性層の方が、高比抵抗層に比べ、飽和磁束密度
Ｂｓが高くされている。The structure of the thin-film magnetic head as an embodiment is as follows.
A high resistivity layer is formed on the upper surface of the soft magnetic layer forming the lower core layer and on the lower surface of the soft magnetic layer forming the lower core layer. The soft magnetic layer and the high resistivity layer are all made of Ni-Fe
Although formed of an alloy, the amount of Fe in each soft magnetic layer is larger than the amount of Fe in the high resistivity layer, so that the soft magnetic layer is more saturated than the high resistivity layer. The magnetic flux density Bs is increased.
【０１７１】なおギャップ層に対向する側に形成された
各軟磁性層の飽和磁束密度Ｂｓは、１．６Ｔ程度であ
り、高比抵抗層の飽和磁束密度Ｂｓは１．０Ｔ程度であ
った。The saturation magnetic flux density Bs of each soft magnetic layer formed on the side facing the gap layer was about 1.6T, and the saturation magnetic flux density Bs of the high resistivity layer was about 1.0T.
【０１７２】また、比較例としての薄膜磁気ヘッドの構
造は、上部コア層が２層の軟磁性層が積層されて構成さ
れ、下部コア層は単層で形成されている。この場合にお
いても、全ての軟磁性層は、Ｎｉ−Ｆｅ合金で形成され
ているが、上部コア層のギャップ層に対向する側に形成
されたＮｉ−Ｆｅ合金のＦｅ量は、もう一方のＮｉ−Ｆ
ｅ合金のＦｅ量に比べて大きくなっており、これによ
り、ギャップ層に対向する側に形成されたＮｉ−Ｆｅ合
金の方が、他方のＮｉ−Ｆｅ合金に比べ、飽和磁束密度
Ｂｓが高くされている。In the structure of the thin film magnetic head as a comparative example, the upper core layer is formed by laminating two soft magnetic layers, and the lower core layer is formed by a single layer. Also in this case, all the soft magnetic layers are formed of a Ni-Fe alloy, but the amount of Fe of the Ni-Fe alloy formed on the side of the upper core layer facing the gap layer is smaller than that of the other Ni-Fe alloy. -F
The Ni-Fe alloy formed on the side facing the gap layer has a higher saturation magnetic flux density Bs than the other Ni-Fe alloy. ing.
【０１７３】なおギャップ層に対向する側に形成された
Ｎｉ−Ｆｅ合金の飽和磁束密度Ｂｓは、１．６Ｔ程度で
あり、他方のＮｉ−Ｆｅ合金の飽和磁束密度Ｂｓは１．
０Ｔ程度であった。また単層で形成された下部コア層の
飽和磁束密度Ｂｓは、１．４Ｔから１．６Ｔ程度であっ
た。The saturation magnetic flux density Bs of the Ni—Fe alloy formed on the side facing the gap layer is about 1.6 T, and the saturation magnetic flux density Bs of the other Ni—Fe alloy is 1.0 T.
It was about 0T. The saturation magnetic flux density Bs of the lower core layer formed of a single layer was about 1.4T to 1.6T.
【０１７４】図６は、記録電流とＯＷ（オーバーライ
ト）特性との関係についてのグラフである。FIG. 6 is a graph showing the relationship between recording current and OW (overwrite) characteristics.
【０１７５】なおＯＷ特性の測定では、低周波で記録媒
体に書込みを行い、次に高周波で重ね書きを行なう。そ
の状態で、最初に低周波で書いた記録信号の残存出力値
が、重ね書きを行なう前の最初に低周波で書いた記録信
号の出力値に比べて、どれくらい下がったかをｄＢで測
定した。ＯＷ特性は、絶対値で大きいほど好ましい。In the measurement of the OW characteristic, writing is performed on the recording medium at a low frequency, and then overwriting is performed at a high frequency. In this state, it was measured in dB how much the remaining output value of the recording signal initially written at a low frequency was lower than the output value of the recording signal initially written at a low frequency before overwriting. The larger the OW characteristic is, the better the absolute value is.
【０１７６】図６に示すように、実施例の場合も比較例
の場合も共に、記録電流が上がれば、ＯＷ特性の絶対値
は大きくなり、ＯＷ特性が向上することがわかる。As shown in FIG. 6, in both the example and the comparative example, when the recording current increases, the absolute value of the OW characteristic increases and the OW characteristic improves.
【０１７７】しかし図６に示すように、実施例の薄膜磁
気ヘッドにおけるＯＷ特性の絶対値の方が、比較例の薄
膜磁気ヘッドにおけるＯＷ特性の絶対値に比べて、５、
６ｄＢ程度大きくなっており、実施例の薄膜磁気ヘッド
の方が、比較例の薄膜磁気ヘッドに比べてＯＷ特性を向
上させることができるとわかる。However, as shown in FIG. 6, the absolute value of the OW characteristic of the thin-film magnetic head of the example was 5 times smaller than that of the comparative example.
It is about 6 dB larger, which indicates that the thin-film magnetic head of the example can improve the OW characteristics as compared with the thin-film magnetic head of the comparative example.
【０１７８】図７は、記録電流とＰＷ５０特性との関係
を示すグラフである。ＰＷ５０特性とは、孤立再生波形
の半値幅を測定したものであり、この半値幅が小さけれ
ば小さいほど、記録分解能が向上していることを意味す
る。FIG. 7 is a graph showing the relationship between the recording current and the PW50 characteristic. The PW50 characteristic is obtained by measuring the half width of the isolated reproduction waveform, and means that the smaller the half width, the higher the recording resolution.
【０１７９】図７に示すように、実施例の薄膜磁気ヘッ
ドの方が、比較例の薄膜磁気ヘッドの場合に比べ、半値
幅を小さくでき、ＰＷ５０特性を向上させることができ
るとわかる。As shown in FIG. 7, it can be seen that the thin film magnetic head of the embodiment can reduce the half width and improve the PW50 characteristic as compared with the thin film magnetic head of the comparative example.
【０１８０】図８は、記録電流とＮＬＴＳ特性との関係
を示すグラフである。ＮＬＴＳ特性は、ＩＢＭ（株）が
開発した５次高調波法を用いて測定した。前記ＮＬＴＳ
特性は、絶対値で大きいほど好ましい。FIG. 8 is a graph showing the relationship between the recording current and the NLTS characteristics. The NLTS characteristics were measured using the fifth harmonic method developed by IBM Corporation. The NLTS
The larger the absolute value of the characteristic, the better.
【０１８１】図８に示すように、実施例の薄膜磁気ヘッ
ドの方が、比較例の薄膜磁気ヘッドに比べてＮＬＴＳ特
性を向上させることができるとわかる。As shown in FIG. 8, it can be seen that the thin film magnetic head of the example can improve the NLTS characteristics as compared with the thin film magnetic head of the comparative example.
【０１８２】以上のように、図６ないし図８を参照して
わかるように、実施例の薄膜磁気ヘッド、すなわち、上
部コア層を形成する軟磁性層の上面及び下部コア層を形
成する軟磁性層の下面に高比抵抗層を形成した薄膜磁気
ヘッドの方が、比較例の薄膜磁気ヘッド、すなわち、下
部コア層を単層で形成し、上部コア層側を２層にし、磁
気ギャップと対向する側の層の飽和磁束密度を、前記磁
気ギャップから離れる側の層の飽和磁束密度よりも高く
した薄膜磁気ヘッドに比べ、ＯＷ特性、ＰＷ５０特性及
びＮＬＴＳ特性を向上させることができるとわかる。As can be seen from FIGS. 6 to 8, as described above, the thin film magnetic head of the embodiment, that is, the upper surface of the soft magnetic layer forming the upper core layer and the soft magnetic layer forming the lower core layer. The thin film magnetic head in which the high resistivity layer is formed on the lower surface of the layer is the thin film magnetic head of the comparative example, that is, the lower core layer is formed as a single layer, the upper core layer side is formed as two layers, and is opposed to the magnetic gap. It can be seen that the OW characteristic, the PW50 characteristic and the NLTS characteristic can be improved as compared with a thin film magnetic head in which the saturation magnetic flux density of the layer on the side of the magnetic layer is higher than the saturation magnetic flux density of the layer on the side away from the magnetic gap.
【０１８３】[0183]
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、上部コア
層及び下部コア層の少なくとも一方のコア層には、軟磁
性層と、前記軟磁性層の上面及び／または下面に、前記
軟磁性層よりも高い比抵抗ρを有する高比抵抗層を形成
している。According to the present invention described above, at least one of the upper core layer and the lower core layer has a soft magnetic layer, and the upper and / or lower surface of the soft magnetic layer has the soft magnetic layer. A high resistivity layer having a resistivity ρ higher than that of the magnetic layer is formed.
【０１８４】これにより、記録周波数が上昇することに
より発生する渦電流による損失を低減させることがで
き、今後の高記録周波数化に対応可能な薄膜磁気ヘッド
を製造することができる。As a result, it is possible to reduce the loss due to the eddy current generated by the increase in the recording frequency, and it is possible to manufacture a thin-film magnetic head capable of coping with a higher recording frequency in the future.
【０１８５】また、前記軟磁性層の飽和磁束密度Ｂｓ
を、高比抵抗層の飽和磁束密度Ｂｓよりも高くすること
で、記録媒体との対向面から発生する記録磁界をギャッ
プ近傍に集中させ、記録分解能を向上させることが可能
になる。このため本発明によれば、今後の高記録密度化
に対応することが可能な薄膜磁気ヘッドを製造すること
ができる。The saturation magnetic flux density Bs of the soft magnetic layer
Is higher than the saturation magnetic flux density Bs of the high resistivity layer, the recording magnetic field generated from the surface facing the recording medium can be concentrated near the gap, and the recording resolution can be improved. Therefore, according to the present invention, it is possible to manufacture a thin-film magnetic head capable of coping with a higher recording density in the future.
【０１８６】また本発明では、前記高比抵抗層を、Ｆｅ
イオン、Ｎｉイオンを有するメッキ浴中に、アミノ系有
機材料を添加して、組成元素に少なくともＦｅ、Ｎｉ及
びＮを含有した軟磁性材料により形成することによっ
て、前記高比抵抗層の比抵抗ρを向上させることが可能
になる。In the present invention, the high resistivity layer is formed of Fe
By adding an amino-based organic material to a plating bath containing ions and Ni ions and forming the soft magnetic material containing at least Fe, Ni and N as constituent elements, the resistivity ρ of the high resistivity layer is increased. Can be improved.
【０１８７】さらに本発明では、前記上部コア層あるい
は下部コア層の軟磁性層を、Ｎｉ−Ｆｅ合金で形成する
場合に、パルス電流を用いた電気メッキ法を使用するこ
とにより、前記軟磁性層の飽和磁束密度Ｂｓを向上させ
ることが可能である。Further, in the present invention, when the soft magnetic layer of the upper core layer or the lower core layer is formed of a Ni—Fe alloy, the soft magnetic layer is formed by using an electroplating method using a pulse current. Can be improved.
【図１】本発明の実施形態の構造を示す薄膜磁気ヘッド
の拡大断面図、FIG. 1 is an enlarged sectional view of a thin-film magnetic head showing a structure according to an embodiment of the present invention;
【図２】本発明の他の実施形態の構造を示す薄膜磁気ヘ
ッドの拡大断面図、FIG. 2 is an enlarged sectional view of a thin-film magnetic head showing a structure according to another embodiment of the present invention;
【図３】本発明の他の実施形態の構造を示す薄膜磁気ヘ
ッドの拡大断面図、FIG. 3 is an enlarged sectional view of a thin-film magnetic head showing a structure according to another embodiment of the present invention;
【図４】本発明の他の実施形態の構造を示す薄膜磁気ヘ
ッドの部分正面図、FIG. 4 is a partial front view of a thin-film magnetic head showing a structure according to another embodiment of the present invention;
【図５】図４に示す５−５線から切断した薄膜磁気ヘッ
ドを矢印方向から見た部分断面図、5 is a partial sectional view of the thin-film magnetic head taken along line 5-5 shown in FIG.
【図６】実施例の薄膜磁気ヘッドと比較例の薄膜磁気ヘ
ッドを使用し、記録電流とＯＷ特性との関係を示すグラ
フ、FIG. 6 is a graph showing the relationship between recording current and OW characteristics using the thin film magnetic head of the example and the thin film magnetic head of the comparative example;
【図７】実施例の薄膜磁気ヘッドと比較例の薄膜磁気ヘ
ッドを使用し、記録電流とＰＷ５０特性との関係を示す
グラフ、FIG. 7 is a graph showing the relationship between recording current and PW50 characteristics using the thin film magnetic head of the example and the thin film magnetic head of the comparative example.
【図８】実施例の薄膜磁気ヘッドと比較例の薄膜磁気ヘ
ッドを使用し、記録電流とＮＬＴＳ特性との関係を示す
グラフ、FIG. 8 is a graph showing the relationship between recording current and NLTS characteristics using the thin film magnetic head of the example and the thin film magnetic head of the comparative example;
【図９】従来の薄膜磁気ヘッドの構造を示す部分断面
図、FIG. 9 is a partial sectional view showing the structure of a conventional thin-film magnetic head.
１１ 下部シールド層 １２ 下部ギャップ層 １３ 磁気抵抗効果素子 １４ 上部ギャップ層 １５ 下部コア層 １８、３３ ギャップ層 １９、２１、３１ 絶縁層 ２０、３８ コイル層 ２２、３０、３６ 軟磁性層 ３２ 下部磁極部（高Ｂｓ層） ３４ 上部磁極部（高Ｂｓ層） ４０ 高比抵抗層 ４１ 保護膜 ４２ 上部コア層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Lower shield layer 12 Lower gap layer 13 Magnetoresistive element 14 Upper gap layer 15 Lower core layer 18, 33 Gap layer 19, 21, 31 Insulating layer 20, 38 Coil layer 22, 30, 36 Soft magnetic layer 32 Lower magnetic pole part (High Bs layer) 34 Upper magnetic pole part (High Bs layer) 40 High resistivity layer 41 Protective film 42 Upper core layer
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