FR2359511A1 - IR detector elements prodn. - uses IR sensitive plate on support with parallel channels and thickness reducing process with edge rounding step - Google Patents

Abstract

Translated fromFrench

Procédé pour former, dans une plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge, un grand nombre d'éléments de détection de rayonnement infrarouge et comportant chacun un corps pratiquement rectangulaire avec deux contacts peu ohmiques situés sur des bords incurvés du corps de part et d'autre d'une zone sensible de ce corps. Une telle plaquette est fixée sur un corps de support, tandis que par combinaison d'un décapage et un polissage, il est défini dans la plaquette plusieurs éléments d'épaisseur plus faible, et à bords incurvés opposés. Ensuite, un matériau électriquement conducteur est déposé dans le but de former les contacts nécessaires sur la surface de chaque élément. Enfin, les éléments et les contacts sont prélevés du corps qui a servi de support. Application : à la fabrication de détecteurs de rayonnement infrarouge.Method for forming, in a wafer made of material sensitive to infrared radiation, a large number of infrared radiation detection elements and each comprising a practically rectangular body with two low-ohmic contacts located on curved edges of the body on either side of a sensitive area of this body. Such a wafer is fixed to a support body, while by a combination of pickling and polishing, several elements of lesser thickness and with opposite curved edges are defined in the wafer. Then, an electrically conductive material is deposited in order to form the necessary contacts on the surface of each element. Finally, the elements and contacts are taken from the body which served as a support. Application: to the manufacture of infrared radiation detectors.