DE4315165A1 - Vacuum pump - Google Patents

Description

Translated fromGerman

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, die aus einer Pumpeneinheit und einer davon getrennt angeordneten Steuer- und Versorgungseinheit besteht.The invention relates to a vacuum pump consisting of aPump unit and a separately arrangedControl and supply unit exists.

Derartige Vakuumpumpen dienen zur Erzeugung eines Vaku­ums, beispielsweise für die Halbleiterfertigung oder für Aufdampf- und Beschichtungsanlagen. Die Vakuumpumpe besteht häufig aus einer Pumpeneinheit und einer ent­fernt davon angeordneten Steuer- und Versorgungsein­heit. Die Pumpeneinheit, die den Motor und den eigent­lichen Pumpenteil enthält, ist dort angeordnet, wo das Vakuum benötigt wird, während die Steuer- und Versor­gungseinheit an einer anderen Stelle, gelegentlich so­gar in einem anderen Gebäude, untergebracht sein kann, um z. B. Kosten an Reinräumen zu sparen. Die Entfernung zwischen Steuer- und Versorgungseinheit und Pumpenein­heit kann bis zu 100 m betragen. Besonders bei großen, zentral gesteuerten Anlagen gibt es Fälle, in denen eine einzige Steuer- und Versorgungseinheit für mehrere Pumpeneinheiten vorgesehen ist, wobei die Pumpeneinhei­ten wahlweise an die Steuer- und Versorgungseinheiten anschließbar sind.Such vacuum pumps are used to create a vacuumum, for example for semiconductor manufacturing orfor vapor deposition and coating systems. The vacuum pumpoften consists of a pump unit and an entremotely arranged tax and supplyNess. The pump unit, the motor and the actualLichen pump part is located where thatVacuum is needed while the control and utilityunit in another place, occasionally like thiseven in another building,at z. B. Save costs in cleanrooms. The distancebetween control and supply unit and pumpsunit can be up to 100 m. Especially with large,There are cases in centrally controlled plants wherea single control and supply unit for several Pump units is provided, the pump unitoptionally to the control and supply unitscan be connected.

Aus EP 0 464 571 A1 ist eine Vakuumpumpe der im Oberbe­griff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art bekannt. Bei dieser Vakuumpumpe enthält die Pumpeneinheit einen nicht-flüchtigen Speicher, der von der Steuer- und Ver­sorgungseinheit derart gesteuert ist, daß er bei Unter­brechung der Stromversorgung der Pumpeneinheit Daten aufnimmt, die diese Pumpeneinheit betreffen, beispiels­weise Daten über die Betriebszeit. Damit enthält jede Pumpeneinheit die zu ihr gehörenden Betriebsdaten, die nicht verloren gehen können. Ferner sind an den Spei­cher Meßwertaufnehmer, z. B. für Lagertemperatur, Dreh­zahl u. dgl. angeschlossen, deren Meßwerte unter Steue­rung durch die Steuer- und Versorgungseinheit in den Speicher übernommen werden können. Sobald die Stromver­sorgung der Pumpeneinheit unterbrochen ist, wird die zuvor gemessene Betriebs zeit in den Speicher eingege­ben. Aus diesem Speicher kann sowohl die Gesamtbe­triebszeit der Pumpe als auch die Betriebs zeit seit dem letzten Anfahren abgerufen werden. Bei einer Unterbre­chung der Stromversorgung wird die von der Steuer- und Versorgungseinheit gemessene Betriebszeit erst anschließend an die Pumpeneinheit übertragen. Hierbei können, insbesondere bei langen Übertragungswegen, Übertragungsfehler auftreten. Übertragungsfehler sind darüber hinaus selbst bei laufender Stromversorgung möglich.EP 0 464 571 A1 describes a vacuum pump in the upper parthandle of claim 1 specified type known.In this vacuum pump, the pump unit contains onenon-volatile memory from the control and vercare unit is controlled so that it is underbreak of the power supply to the pump unit datarecords that concern this pump unit, for examplewise data about the operating time. So each containsPump unit the operating data belonging to it, thecannot be lost. Furthermore, the Speicher transducer, e.g. B. for storage temperature, rotationnumber u. Like. Connected, the measured values under taxtion by the control and supply unit in theMemory can be taken over. Once the electricity versupply to the pump unit is interrupted, thepreviously measured operating time in the memoryben. From this memory, both the total bepump operating time as well as the operating time sincelast drives can be called up. With a subThe power supply is controlled by the control andService unit measured operating time onlythen transfer to the pump unit. Herecan, especially with long transmission paths,Transmission errors occur. Are transmission errorsmoreover even with the power supply runningpossible.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine aus Pum­peneinheit und Steuer- und Versorgungseinheit bestehen­ de Vakuumpumpe zu schaffen, bei der im Falle der Unter­brechung der Stromversorgung wesentliche Betriebsdaten automatisch in der Pumpeneinheit gespeichert werden und die darüber hinaus bessere Überwachungs- oder Regelungsmöglichkeiten bietet, ohne einen übermäßigen Signalfluß über die Übertragungsleitung zu erfordern.The invention has for its object one from Pumpen unit and control and supply unit exist de vacuum pump to create, in the case of the subbreakage of the power supply essential operating dataare automatically saved in the pump unit andthe moreover better surveillance orOffers control options without excessiveRequire signal flow over the transmission line.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen.This object is achieved with the inventionthe features specified in claim 1.

Nach der Erfindung enthält die Pumpeneinheit einen ei­genen Mikroprozessor bzw. Mikrocontroller, der mit der Steuer- und Versorgungseinheit bidirektional kommuni­ziert. Die Pumpeneinheit hat also eine eigene künstli­che Intelligenz. Der Mikrocontroller steuert die Daten­ein- und -ausgabe des nicht-flüchtigen Speichers, so daß der Speicher nicht unmittelbar von der entfernt angeordneten Steuer- und Versorgungseinheit aus gesteu­ert wird. Der in der Pumpeneinheit enthaltene Mikrocon­troller übernimmt also die Organisation des nicht­flüchtigen Speichers und er kann darüber hinaus auch noch Überwachungsaufgaben in der Pumpeneinheit selb­ständig übernehmen, z. B. die Überwachung von Temperatu­ren und Signalen der Magnetlager sowie die Überwachung auf störende Magnetfelder. Da der Mikrocontroller in unmittelbarer Nähe des Speichers angeordnet ist, ist die Gefahr von Übertragungsfehlern gering. Ferner kann der Mikrocontroller mit dem Speicher in einem Protokoll kommunizieren, das unterschiedlich von dem Kommunika­tionsprotokoll zwischen Mikrocontroller und Steuer- und Versorgungseinheit ist. Die Befehls- und Datenwörter können aus einer geringeren Bit-Zahl bestehen. Bei Wahl eines geeigneten Kommunikationsprotokolls kann man für die Übertragungsleitungen auch eine einzige Leitung verwenden.According to the invention, the pump unit contains an egggene microprocessor or microcontroller that with theControl and supply unit bidirectionally commungraces. The pump unit has its own artificialche intelligence. The microcontroller controls the datainput and output of the non-volatile memory, see abovethat the memory is not immediately removed from thearranged control and supply unit from taxis heard. The microcon contained in the pump unittroller does not take over the organization of thevolatile memory and it can alsostill monitoring tasks in the pump unit itselfconstantly take over, e.g. B. the monitoring of temperatuand signals from the magnetic bearings as well as monitoringdisturbing magnetic fields. Since the microcontroller inis located in the immediate vicinity of the memorythe risk of transmission errors is low. Furthermore,the microcontroller with the memory in a logcommunicate that different from the communication protocol between microcontroller and control andSupply unit is. The command and data wordscan consist of a lower number of bits. If you choosea suitable communication protocol can be used for the transmission lines also have a single lineuse.

Die Aufgaben, die der Mikrocontroller in der Pumpenein­heit erfüllt, sind sehr vielseitig. Nicht alle diese Operationen müssen der Steuer- und Versorgungseinheit mitgeteilt werden. Der Mikrocontroller führt die Ver­waltung der Pumpeneinheit im wesentlichen selbständig durch. Es genügt, wenn in Störungsfällen oder in größe­ren Zeitabschnitten bestimmte ausgewählte Daten an die Steuer- und Versorgungseinheit mitgeteilt werden. Auf diese Weise kann der Datenfluß zwischen der Pumpenein­heit und der Steuer- und Versorgungseinheit wesentlich reduziert werden. Andererseits können wichtige Informa­tionen oder Befehle sehr schnell übermittelt werden.The tasks of the microcontroller in the pumpare very versatile. Not all of theseOperations must be the control and supply unitbe communicated. The microcontroller manages the veradministration of the pump unit essentially independentlyby. It is sufficient if in the event of a malfunction or in sizecertain selected dates to theControl and supply unit are communicated. Onthis way there can be data flow between the pumpsunit and the control and supply unit essentialbe reduced. On the other hand, important informationtions or commands are transmitted very quickly.

Ein besonderer Vorteil ergibt sich, wenn die Datenüber­tragung zwischen der Steuer- und Versorgungseinheit und dem Mikrocontroller mit redundanten fehlersicheren Co­des erfolgt, die beim Empfänger eine Fehlererkennung und/oder Fehlerkorrektur der übertragenen Daten ermög­licht. Solche Fehlererkennungs- oder Korrektursysteme sind bekannt. Die Erfindung ermöglicht die Anwendung dieser gesicherten Datenübertragung bei einer Vakuum­pumpe dadurch, daß die Pumpeneinheit einen eigenen Mi­krocontroller enthält, der imstande ist, die hierfür erforderlichen logischen Operationen durchzuführen. Die Fehlererkennung oder Fehlerkorrektur kann z. B. durch Bilden von Prüfsummen der übersandten Signale durchge­führt werden. Hierdurch wird die Datenübertragung zwi­schen der Steuer- und Versorgungseinheit und der Pum­peneinheit sicherer. Diese Datenübertragung ist insbe­sondere bei einer langen Übertragungsleitung, in deren Umgebung elektromagnetische Störfelder auftreten, der Gefahr von Übertragungsfehlern ausgesetzt. Bei vielen Daten, wie z. B. der Betriebszeit, würde eine einzige Fehlübertragung in der Betriebs zeit zu unsinnigen Er­gebnissen führen. Eine zuverlässige Datenübertragung ist also von äußerster Wichtigkeit.A particular advantage arises when the data is overbetween the control and supply unit andthe microcontroller with redundant fail-safe Cothe error detection at the receiverand / or error correction of the transmitted datalight. Such error detection or correction systemsare known. The invention enables the applicationthis secure data transfer in a vacuumpump in that the pump unit has its own Mikrocontroller capable of doing thisnecessary logical operations to perform. TheError detection or error correction can e.g. B. byForming checksums of the transmitted signalsleads. As a result, the data transmission betweenbetween the control and supply unit and the pumppen unit safer. This data transmission is particularly importantespecially with a long transmission line, in whose Electromagnetic interference fields occur, theRisk of transmission errors exposed. With manyData such as B. the operating time, would be a singleIncorrect transmission in the operating time to nonsensical Erlead results. A reliable data transferis extremely important.

Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die einzige Fi­gur der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.The following is with reference to the only Figur the drawing an embodiment of the inventionexplained in more detail.

In der Zeichnung ist ein Blockschaltbild der Vakuumpum­pe dargestellt.In the drawing is a block diagram of the vacuum pumppe shown.

Die Vakuumpumpe weist eine Steuer- und Versorgungsein­heit10 auf, die einen Leistungsteil11 zur Erzeugung der Versorgungsleistung für den Pumpenmotor und die Magnetlager der Pumpe enthält. Ferner ist in der Steu­er- und Versorgungseinheit ein Mikrocontroller12 oder Mikroprozessor enthalten, der von einem Versorgungsteil13 mit der erforderlichen Betriebsspannung von z. B. 15 V versorgt wird.The vacuum pump has a control and supply unit10 , which contains a power section11 for generating the supply power for the pump motor and the magnetic bearings of the pump. Furthermore, the control and supply unit contains a microcontroller12 or microprocessor, which is supplied by a supply part13 with the required operating voltage of, for. B. 15 V is supplied.

Die Pumpeneinheit14 ist entfernt von der Steuer- und Versorgungseinheit10 angeordnet und mit dieser durch Kabel verbunden. Die Pumpeneinheit14 enthält den Pum­penteil15, bei dem es sich beispielsweise um eine Tur­bo-Molekularpumpe handelt, deren Motor in Magnetlagern gelagert ist. Der Pumpenteil15 ist mit dem Leistungs­teil11 über ein mehradriges Leistungskabel16 verbun­den.The pump unit14 is arranged remotely from the control and supply unit10 and connected to it by cables. The pump unit14 contains the pump part15 , which is, for example, a turbo molecular pump, the motor of which is mounted in magnetic bearings. The pump part15 is connected to the power part11 via a multi-core power cable16 .

Die Pumpeneinheit14 enthält ferner einen Mikroprozes­sor17, der über Datenleitungen18 mit dem Mikroprozes­sor12 der Steuer- und Versorgungseinheit bidirektional kommuniziert. Die Datenleitungen18 enthalten wegen der großen Leitungslänge Treiber19. Der Mikroprozessor17 oder Mikrocontroller ist mit einem ebenfalls in der Pumpeneinheit14 angeordneten nicht-flüchtigen Speicher20 verbunden, bei dem es sich um ein EEPROM (Electrical Erasable Read-Only Memory) handeln kann. Der Mikrocon­troller17 und der Speicher20 werden von einer in der Pumpeneinheit14 vorgesehenen Betriebsversorgung21 mit Spannung versorgt. Die Betriebsversorgung21 enthält keine eigene Spannungsquelle, sondern sie ist über eine zusätzliche Leitung22 mit dem Versorgungsteil13 ver­bunden. Die vom Versorgungsteil13 gelieferte Spannung von 15 V wird von der Betriebsversorgung21 in eine Betriebsspannung von 5 V umgewandelt. Die Betriebsver­sorgung21 enthält einen Spannungsspeicher, z. B. einen Kondensator großer Kapazität, um in dem Fall, daß die Leitung22 unterbrochen ist, die Betriebsspannung in der Pumpeneinheit14 noch eine Zeitlang aufrechtzuer­halten. Alternativ kann die Betriebsversorgung aus ei­ner lokalen Stromquelle bestehen, z. B. aus einer Batte­rie oder einem Akkumulator.The pump unit14 also contains a microprocessor17 which communicates bidirectionally with the microprocessor12 of the control and supply unit via data lines18 . The data lines18 contain drivers19 because of the long line length. The microprocessor17 or microcontroller is connected to a non-volatile memory20 which is likewise arranged in the pump unit14 and which can be an EEPROM (Electrical Erasable Read-Only Memory). The Mikrocon troller17 and the memory20 are supplied with voltage from an operating supply21 provided in the pump unit14 . The operating supply21 does not contain its own voltage source, but it is connected to the supply part13 via an additional line22 . The voltage of 15 V supplied by the supply part13 is converted by the operating supply21 into an operating voltage of 5 V. The Betriebsver supply21 contains a voltage storage, for. B. a capacitor of large capacity, in the event that the line22 is interrupted, to maintain the operating voltage in the pump unit14 for a while. Alternatively, the operating supply may consist of a local power source, e.g. B. from a battery or an accumulator.

An den Mikrocontroller17 sind Sensoren23,24 ange­schlossen, die verschiedene Betriebsparameter des Pum­penteils messen und an den Mikrocontroller17 liefern. Dieser selektiert die Meßwerte und steuert die Eingabe bestimmter Meßwerte in den Speicher20. Beispielsweise können folgende Größen unter Steuerung durch den Mikro­controller17 gemessen werden:Sensors are included23,24 attached to the microcontroller17, the various operating parameters of Pum penteils measure and supply to the microcontroller17th This selects the measured values and controls the input of certain measured values into the memory20 . For example, the following variables can be measured under the control of the micro controller17 :

• 1. Temperaturen im Pumpenteil1. Temperatures in the pump section
• 2. Betriebszeiten in der Pumpeneinheit142. Operating times in the pump unit14
• 3. Spannungen3. Tensions
• 4. Ströme4. Streams
• 5. Einbaulage des Pumpenrotors5. Installation position of the pump rotor
• 6. störende externe Magnetfelder6. disturbing external magnetic fields
• 7. Informationen über die Magnetlagerung, z. B. die Zahl der Fanglagerberührungen.7. Information about magnetic bearings, e.g. B. theNumber of touching bearings.

In den Speicher20 können unter Steuerung durch den Mikrocontroller17 außer den oben angegebenen Meßdaten die folgenden Daten eingespeichert werden:The following data can be stored in the memory20 under the control of the microcontroller17 in addition to the measurement data specified above:

• 1. Informationen über den Typ des Pumpenteils151. Information about the type of the pump part15
• 2. exemplarspezifische Informationen der Pumpen­einheit14 (Magnetlagerdaten/Regelparameter, Belastungsdauer und -häufigkeit der Notlager)2. Copy-specific information of the pump unit14 (magnetic bearing data / control parameters, load duration and frequency of the emergency bearings)
• 3. Informationen der Fertigung (Seriennummer usw.)3. Manufacturing information (serial number, etc.)
• 4. Information aus dem Prüffeld (Kennwerte, Kenn­daten)4. Information from the test field (characteristic values, characteristicData)
• 5. Serviceinformationen (Reparaturdaten usw.)5. Service information (repair data, etc.)
• 6. vom Benutzer eingestellte Prozeßdaten.6. Process data set by the user.

Diese Daten, die individuelle Eigenschaften und Vergan­genheit der Pumpeneinheit14 betreffen, bleiben im Speicher20 auch erhalten, wenn die Steuer- und Versor­gungseinheit abgetrennt bzw. ausgetauscht wird. Diese Daten werden an eine nachfolgend angeschlossene neue Steuer- und Versorgungseinheit übermittelt.These data, which relate to the individual properties and past of the pump unit14 , are retained in the memory20 even when the control and supply unit is disconnected or replaced. This data is transmitted to a new control and supply unit connected subsequently.

Der Mikrocontroller17 übernimmt die Speicherung und Auswertung der in der Pumpeneinheit14 gemessenen Da­ten, wobei durch Verknüpfung auch neue Informationen erhalten werden können. Die Auswertung der Informatio­nen umfaßt folgende Tätigkeiten:The microcontroller17 takes over the storage and evaluation of the data measured in the pump unit14 , whereby new information can also be obtained by linking. The evaluation of the information includes the following activities:

• 1. Erzeugung von Alarm oder Warnungen1. Generation of alarms or warnings
• 2. Angabe von Wartungsintervallen und Wartungsmaß­nahmen in Abhängigkeit von vorausgegangenen Betriebszuständen2. Indication of maintenance intervals and maintenance measuretook depending on previous onesOperating states
• 3. Verknüpfen von Meßwerten und Ermitteln von Trendanalysen3. Linking measured values and determiningTrend analysis
• 4. Erstellen von Prozeßstatistiken4. Creation of process statistics
• 5. Bestimmen von Drücken.5. Determine pressures.

Der Mikrocontroller17 führt zwar eine laufende Überwa­chung der verschiedenen Betriebszustände oder Parameter durch, meldet an den Mikrocontroller12 jedoch nur sol­che Betriebszustände oder Parameter, die aus dem Zuläs­sigkeitsbereich abweichen oder solche Parameter, die ausdrücklich abgerufen werden. Der Mikrocontroller17 ist von geringerer Leistungsfähigkeit als der Mikrocontroller12, der die gesamte Vakuumpumpe steuert. Er ist daher kostengünstiger und kleiner.The microcontroller17 performs an ongoing monitoring of the various operating states or parameters, but reports to the microcontroller12 only such operating states or parameters that deviate from the permissible range or such parameters that are expressly called up. The microcontroller17 is of lower performance than the microcontroller12 , which controls the entire vacuum pump. It is therefore cheaper and smaller.

Die Regelung der Magnetlager des Pumpenteils15 ist eine sehr komplexe Aufgabe, die eine hohe Rechenkapazi­tät erfordert. Daher erfolgt diese Regelung durch den Mikrocontroller12, während die Überwachung der Magnet­lager, z. B. die Überwachung der Temperaturen der Ab­lenkspulen, vom Mikrocontroller17 durchgeführt wird, der die Überwachungsdaten an dem Mikrocontroller12 melden und in den Speicher20 einspeichern kann.The control of the magnetic bearing of the pump part15 is a very complex task that requires a high computing capacity. Therefore, this regulation is carried out by the microcontroller12 while monitoring the magnetic bearing, for. B. the monitoring of the temperatures of the steering coils, is carried out by the microcontroller17 , which can report the monitoring data to the microcontroller12 and store it in the memory20 .

Die Steuer- und Versorgungseinheit10 kann von der Pum­peneinheit14 abgetrennt werden. Die entsprechenden Leitungen der Pumpeneinheit14 können dann an ein Dia­gnosegerät angeschlossen werden, das einen Mikrocon­troller enthält, der mit dem Mikrocontroller17 der Pumpeneinheit kommuniziert. Die Diagnoseeinheit kann Daten aus dem Speicher20 abrufen, die Funktionsfähig­keit der Sensoren23,24 prüfen und Befehle an den Mi­krocontroller17 geben.The control and supply unit10 can be separated from the pump pen unit14 . The corresponding lines of the pump unit14 can then be connected to a diagnostic device that contains a Mikrocon troller that communicates with the microcontroller17 of the pump unit. The diagnostic unit can retrieve data from the memory20 , check the functionality of the sensors23 ,24 and give commands to the microcontroller17 .

Claims (7)

Translated fromGerman

1. Vakuumpumpe mit einer Pumpeneinheit (14), die über eine trennbare Verbindung an eine Steuer- und Ver­sorgungseinheit (10) angeschlossen ist, wobei die Pumpeneinheit (14) einen nicht-flüchtigen Speicher (20) enthält, der bei Unterbrechung der Stromver­sorgung Betriebsdaten der Pumpeneinheit (14) auf­nimmt und festhält,dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpeneinheit (14) einen Mikrocontroller (17) bzw. einen Mikroprozessor enthält, der bidi­rektional mit der Steuer- und Versorgungseinheit (10) kommuniziert und der die Ein- und Ausgabe von Daten des Speichers (20) steuert.1. Vacuum pump with a pump unit (14 ) which is connected via a separable connection to a control and supply unit (10 ), wherein the pump unit (14 ) contains a non-volatile memory (20 ) which supplies when the power supply is interrupted Operating data of the pump unit (14 ) and records,characterized in that the pump unit (14 ) contains a microcontroller (17 ) or a microprocessor, which communicates bidirectionally with the control and supply unit (10 ) and which the input and Output of data from the memory (20 ) controls.2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­net, daß die Datenübertragung zwischen der Steuer- und Versorgungseinheit (10) und dem Mikrocontrol­ler (17) mit zusätzlichen Prüfbits erfolgt, die beim Empfänger eine Fehlererkennung und/oder Feh­lerkorrektur der übertragenen Daten bewirken.2. Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the data transmission between the control and supply unit (10 ) and the microcontroller ler (17 ) is carried out with additional test bits which cause error detection and / or error correction of the transmitted data at the receiver.3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­kennzeichnet, daß der Mikrocontroller (17) dieje­nigen Daten selektiert, die an die Steuer- und Versorgungseinheit (10) übermittelt werden.3. Vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that the microcontroller (17 ) selects those data which are transmitted to the control and supply unit (10 ).4. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­durch gekennzeichnet, daß der Mikrocontroller (17) an eine in der Pumpeneinheit (14) vorgesehene Betriebsversorgung (21) angeschlossen ist, die von der Steuer- und Versorgungseinheit (10) mit Span­nung beliefert wird.4. Vacuum pump according to one of claims 1 to 3, characterized in that the microcontroller (17 ) to an in the pump unit (14 ) provided operating supply (21 ) is connected by the control and supply unit (10 ) with voltage is supplied.5. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da­durch gekennzeichnet, daß die Pumpeneinheit (14) eine Pumpe mit Magnetlagern enthält und daß der Mikrocontroller (17) den Pumpenantrieb und/oder die Magnetlager selbständig überwacht.5. Vacuum pump according to one of claims 1 to 4, characterized in that the pump unit (14 ) contains a pump with magnetic bearings and that the microcontroller (17 ) independently monitors the pump drive and / or the magnetic bearings.6. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß anstelle der Steuer- und Versorgungseinheit (10) eine Diagnoseeinheit an die Pumpeneinheit (14) anschließbar ist.6. Vacuum pump according to one of claims 1 to 5, characterized in that instead of the control and supply unit (10 ), a diagnostic unit can be connected to the pump unit (14 ).7. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­durch gekennzeichnet, daß der Mikrocontroller und der nicht-flüchtige Speicher in einem einzigen integrierten Schaltkreis enthalten sind.7. Vacuum pump according to one of claims 1 to 6, therecharacterized in that the microcontroller andthe non-volatile memory in oneintegrated circuit are included.