DE3836696C1 - Lock for transporting material between clean rooms - Google Patents

Abstract

In an arrangement having at least two clean rooms (1, 1') for the treatment of substrates (4), which clean rooms adjoin one another with their end faces (2, 2') and, for transportation of the substrates (4), are connected to one another via lock openings (3, 3') provided in the end faces (2, 2'), excess pressure prevailing in at least one of the clean rooms (1, 1') in relation to its external region (5), it is proposed for avoiding contamination, for time-saving alteration of the arrangement or for simple repair or maintenance that the two mutually adjoining clean rooms (1, 1') are arranged mechanically separated from one another by a gap-like free interspace (7) between their adjoining end faces (2, 2'), that the mutually corresponding lock openings (3, 3') in the end faces (2, 2') are surrounded by at least one lock frame (6, 6'), by means of which a throttling of the excess-pressure gas flow between lock opening (3, 3') and external region (5) takes place. <IMAGE>

Description

Translated fromGerman

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit mindestens zwei mit ihren Stirnseiten aneinandergrenzenden Reinräumen für die Behandlung von Substraten, die zum Transport der Substrate über in den Stirnseiten vorgesehene Schleusenöffnungen miteinander in Verbindung stehen, wobei in mindestens einem der Reinräume gegenüber dessen Außenbereich Überdruck herrscht.The invention relates to a device with at least twotheir end faces adjoining cleanrooms for theTreatment of substrates used to transport the substrates overlock openings provided in the end faces with each other inConnect, being in at least one of the cleanroomsoverpressure prevails over its outside area.

Solche Vorrichtungen finden Verwendung zum Substrattransfer zwischen Reinräumen und lokalen Reinräumen bei der Halbleiterfertigung. Die als Baueinheiten ausgebildeten Reinräume sind unter Zwischenlage von Dichtungen fest miteinander verschraubt. Der Schleusenbereich wird bei dieser Anordnung nicht definiert durchströmt, so daß es zu unerwünschten Partikelansammlungen im Schleusenbereich kommen kann. Bei der Änderung der Anordnung sind hier aufwendige Montagearbeiten erforderlich, bei denen immer die Gefahr besteht, daß in die Reinräume selbst Verunreinigungen eindringen können, die dann Ursache für hohe Ausschußquoten sind.Such devices are used for substrate transferbetween cleanrooms and local cleanrooms at theSemiconductor manufacturing. The trained as building units Clean rooms are solid with the interposition of sealsscrewed together. The lock area is at thisFlow through arrangement not defined, so that it toounwanted particle accumulations in the lock areacan. When changing the arrangement here are complexAssembly work required, always with the dangeris that impurities enter the clean rooms themselvescan, which are then the cause of high reject rates.

In Vermeidung der geschilderten Nachteile liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß eine Änderung der Anordnung zeitsparend ohne Gefahr des Eindringens von Verunreinigungen in die Reinräume ermöglicht wird und im Betrieb eine unerwünschte Ablagerung von Partikeln im Schleusenbereich verhindert wird.In avoiding the disadvantages described, the present liesInvention, the object of a device of the beginningto improve the type mentioned so that a change in arrangementsaves time without the risk of contamination enteringthe cleanrooms is enabled and undesirable in operationDeposition of particles in the lock area is prevented.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß die beiden aneinander angrenzenden Reinräume durch einen spaltartigen freien Zwischenraum als Schleusenraum zwischen ihren angrenzenden Stirnseiten mechanisch voneinander getrennt angeordnet sind, daß die miteinander korrespondierenden Schleusenöffnungen in den Stirnseiten von mindestens einem Schleusenrahmen umschlossen sind, durch den eine Drosselung der Überdruckgasströmung Schleusenöffnungen-Außenbereich erfolgt.To achieve this object, the invention provides that the twoadjoining clean rooms by a gap-likefree space as a lock space between their adjacent facesmechanically separated from each other that thecorresponding lock openings in theEnd faces enclosed by at least one lock frameare, by throttling the pressure gas flowLock openings outside.

Ein unerwünschtes Eindringen von Verunreinigungen wird auch noch bei unterschiedlichen Drücken in den einzelnen Reinräumen verhindert. Ein Reinraum ist bei herrschendem Überdruck sogar öffenbar, ohne daß Schmutz eindringt, wenn im benachbarten angeschlossenen Reinraum ein ausreichend hoher Überdruck aufrechterhalten wird.An unwanted onePenetration of contaminants is also reduceddifferent pressures in the individual cleanroomsprevented. A clean room is even in the presence of overpressure can be opened without dirt entering if in the neighboringa sufficiently high overpressureis maintained.

Durch die mechanische Trennung der aneinander angrenzenden Reinräume ist eine Änderung der Anordnung bequem ohne Lösen von Flanschverschraubungen sehr zeitsparend möglich, wobei durch die Minimierung der Montagearbeiten auch eine wesentliche Herabsetzung der Gefahr des Eindringens von Schmutz in die Reinräume erfolgt.Due to the mechanical separation of the adjacentClean rooms is easy to change the arrangement without looseningFlange screw connections possible in a very time-saving wayMinimizing assembly work is also an essentialReduce the risk of dirt entering theClean rooms are done.

In besonders vorteilhafter Weise kann der Schleusenrahmen die Schleusenöffnung mit Randabstand umschließen, um so einen Schleusenzwischenraum mit größerem Querschnitt gegenüber der Schleusenöffnung zu bilden. Durch diese Querschnittserweiterung erfolgt eine Strömungsberuhigung der Reinatmosphäre verbunden mit einem Ansteigen des statischen Druckes, so daß durch diesen Überdruck ein Eindringen von Luft aus dem Außenbereich sicher verhindert ist.In a particularly advantageous manner, the lock frame canEnclose the lock opening with a margin to create oneLock interstice with a larger cross section than theForm lock opening. Through this cross-sectional expansiona flow calming of the pure atmosphere is connectedwith an increase in static pressure so that by thisOverpressure ensures that air can penetrate from outsideis prevented.

Eine gute Durchspülung zur sicheren Vermeidung des Eindringens oder sogar Ablagerns von unerwünschten Partikeln in Ecken kann dadurch erreicht werden, daß im Randbereich mindestens einer der Schleusenöffnungen mindestens eine Leitfläche vorgesehen ist, durch die eine etwa 90°-Umlenkung der Gasströmung im Randbereich der Schleusenöffnung erfolgt.A good flushing to safely avoid penetrationor even depositing unwanted particles in cornerscan be achieved in that at least one of theLock openings at least one guide surface is provided,due to the approximately 90 ° deflection of the gas flow in the edge areathe lock is opened. 

Solche Leitflächen können konstruktiv besonders einfach in den äußeren Bereich des Schleusenraums abgewinkelt sein, wobei eine 90°-Umlenkung im engsten Querschnitt der üblicherweise quadratisch ausgebildeten Schleusenöffnungen angeordnet sein kann. Ohne solche Leitflächen können in den Ecken Sogwirkungen durch Wirbel auftreten und Schmutz angesaugt werden, insbesondere bei nur geringem Überdruck.Such guiding surfaces can be constructed in a particularly simple manner in theouter area of the lock room be angled, one90 ° deflection in the narrowest cross section of the usualbe square-shaped lock openingscan. Without such baffles, suction can occur in the cornersoccur through eddies and dirt is sucked in,especially with only slight overpressure.

Montagemäßig besonders einfach können der oder die Schleusenrahmen parallele Stirnflächen aufweisen, von denen eine dicht mit der Stirnseite des zugeordneten Rahmens verbunden ist und die andere mit der Stirnseite des angrenzenden Reinraums oder ggf. mit der Stirnfläche des angrenzenden Schleusenrahmens des angrenzenden Reinraums zusammenwirkt.The assembly can be particularly simpleLock frame have parallel faces, one of whichis tightly connected to the face of the associated frameand the other with the front of the adjacent clean roomor possibly with the end face of the adjacent lock frameof the adjacent clean room interacts.

Um bei einer Änderung der Anordnung Beschädigungen weitestgehend zu vermeiden, können die Leitflächen einer Schleusenöffnung die Stirnflächen des sie umschließenden Schleusenrahmens nicht überragen und sie sind innerhalb der lichten Weite des Schleusenrahmens angeordnet.To largely damage when changing the arrangementto avoid the guiding surfaces of a lock openingNot face of the lock frame enclosing themtower and they are within the clear width of theLock frame arranged.

Zweckmäßigerweise sind die Schleusenrahmen und die Leitflächen der aneinander angrenzenden Reinräume symmetrisch gleich ausgebildet, so daß bei einer Änderung der Anordnung nicht auf die besondere Ausbildung der Schleusenrahmen und/oder Leitflächen geachtet werden muß.The lock frames and the guide surfaces are expedientof the adjacent clean rooms are symmetrically the sametrained so that when changing the arrangement not onthe special training of the lock frame and / orGuiding surfaces must be observed. 

Dadurch, daß die Schleusenrahmen zweier aneinander angrenzender Reinräume mindestens an zwei gegenüberliegenden Seiten aneinander anliegen, kann einmal die Austrittsmenge der durch die Schleusenrahmen austretenden Reinatmosphäre begrenzt und der Austrittsstrom ausgerichtet werden. Ohne die zweiseitige Abdichtung an gegenüberliegenden Seiten können sich in den Ecken der Schleusenrahmen Wirbel bilden, durch die eine Partikeleintragung erfolgen kann. Es kann mindestens einer der aneinander anliegenden Schleusenrahmen auf mindestens einer Seite mit einer Dichtlippe vorzugsweise in Form mindestens einer Leiste, eines Wulstes od. dgl. versehen sein.The fact that the lock frame two adjacent to each otherCleanrooms at least on two opposite sidesabut each other, can be the amount of leakage throughthe pure atmosphere exiting the lock frame is limited and theOutlet flow can be aligned. Without the two-sidedSealing on opposite sides can occur in the cornersthe lock frame form vortices through which oneParticle entry can take place. At least one of theadjoining lock frame on at least oneSide with a sealing lip, preferably in the form of at least oneBar, a bead or the like.

In Weiterentwicklung kann die Dichtlippe Durchströmkanäle freilassen und es können hierzu Aussparungen oder Durchbrüche in der Dichtlippe selbst oder in der Gegenfläche des angrenzenden, mit der Dichtlippe zusammenwirkenden Schleusenrahmens und/oder der angrenzenden Stirnseite des angrenzenden Reinraums vorgesehen sein. Hierdurch wird durch eine definierte Durchströmung der Schleusenöffnungen ein Eindringen oder gar eine Ablagerung von Partikeln verhindert. Strömungstote Ecken können so vollkommen vermieden werden und es kann trotzdem die Menge der austretenden Reinluft klein gehalten werden. Dem kommt außerdem entgegen, daß bei vielen Fertigungsprozessen die Reinluft in den Reinräumen ständig ausgetauscht werden muß, so daß es überhaupt kein Nachteil ist, daß zwischen den einzelnen Reinräumen ein Teil der Reinatmosphäre nach außen abströmt.As a further development, the sealing lip can have flow channelsleave blank and there can be recesses or openings inthe sealing lip itself or in the counter surface of the adjacent one,with the sealing lip interacting lock frame and / orthe adjacent face of the adjacent clean roombe provided. This is defined by aFlow through the lock openings an intrusion or evena deposition of particles is prevented. Current dead cornerscan be avoided completely and it can stillThe amount of exiting clean air can be kept small. That comesalso opposes that in many manufacturing processesClean air in the clean rooms must be exchanged constantly, sothat it is not a disadvantage at all that between the individualPart of the clean atmosphere flows out to clean rooms.

Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.Advantageous embodiments of the invention are the subclaimsrefer to.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen in der nachstehenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigtEmbodiments of the invention are based on theDrawings in the description belowexplained. It shows

Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf die Anordnung zweier Reinräume,Fig. 1 is a schematic plan view of the arrangement of two clean rooms,

Fig. 2 eine Teildraufsicht auf einen Eckbereich zweier aneinander angrenzender Reinräume in Richtung des Pfeils II inFig. 3,Fig. 2 is a partial plan view of a corner area of two adjacent clean rooms in the direction of arrow II inFig. 3,

Fig. 3 einen Teilschnitt durch den Schleusenöffnungsbereich zweier aneinander angrenzender Reinräume mit angedeutetem Strömungsverlauf der Reinatmosphäre,Fig. 3 is a partial section through the lock opening area of two adjacent clean rooms with indicated flow path of the clean atmosphere,

Fig. 4 eine derFig. 3 entsprechende Darstellung bei anderen Innendruckverhältnissen in den beiden aneinander angrenzenden Reinräumen undFig. 4 is a representation corresponding toFig. 3 with different internal pressure ratios in the two adjacent clean rooms and

Fig. 5 eine Teilseitenansicht eines Reinraums im Bereich der Linie V-V inFig. 3.Fig. 5 is a partial side view of a clean room in the line VV inFig. 3.

Für alle entsprechenden Teile werden bei der nachfolgenden Beispielsbeschreibung die gleichen Bezugszeichen verwendet.For all corresponding parts, the following areExample description uses the same reference numerals. 

Beim inFig. 1 schematisch dargestellten Ausführungsbeispiel sind zwei Reinräume1, 1′ mit ihren Stirnseiten2, 2′ nebeneinanderliegend angeordnet, wobei einander zugeordnete Schleusenöffnungen3, 3′ in den Stirnseiten2, 2′ zur Übergabe von Substraten4 miteinander fluchten.In the embodiment shown schematically inFig. 1, two clean rooms1, 1 ' are arranged side by side with their end faces2, 2' , with mutually assigned lock openings3, 3 ' in the end faces2, 2' for transferring substrates4 aligned.

In den Reinräumen1, 1′ ist zur Behandlung der Substrate4 eine besondere Reinatmosphäre und es muß, um Ausschuß bei der Bearbeitung der Substrate4 zu vermeiden, unbedingt verhindert werden, daß aus dem Außenbereich5 Luft geringerer Reinheit in die Reinräume1, 1′ eindringen kann. Dazu herrscht, wie im Ausführungsbeispiel derFig. 3 angedeutet, in den Reinräumen1, 1′ gegenüber dem Außenbereich5 Überdruck, so daß, wie durch die Pfeile inFig. 3 angedeutet, aus den Reinräumen1, 1′ Reinluft zum Außenbereich5 abströmen kann.In the clean rooms1, 1 ' is a special clean atmosphere for the treatment of the substrates4 and, in order to avoid rejects when processing the substrates4 , it is essential to prevent air of lower purity5 from the outside from entering the clean rooms1, 1' can penetrate. There is, as indicated in the embodiment ofFIG. 3, in the clean rooms1, 1 ' compared to the outside5 overpressure, so that, as indicated by the arrows inFig. 3, from the clean rooms1, 1' clean air to the outside5 can.

Um dieses Abströmen zu lenken und zu begrenzen, sind an den Stirnseiten2, 2′ der Reinräume1, 1′ um die Schleusenöffnungen3, 3′ herum Schleusenrahmen6, 6′ angeordnet.In order to direct and limit this outflow, lock frames6, 6 ' are arranged on the end faces2, 2' of the clean rooms1, 1 ' around the lock openings3, 3' .

Die Schleusenrahmen6, 6′ umschließen die Schleusenöffnung3, 3′ mindestens auf zwei gegenüberliegenden Seiten mit Abstand, so daß ein im Querschnitt gegenüber den Schleusenöffnungen3, 3′ größerer Schleusenraum7 zwischen den Stirnseiten2, 2′ und den Schleusenrahmen6, 6′ gebildet wird, der ausreichend Platz für Leitflächen12 bietet, wobei diese Leitflächen12 nicht über die Kontur der Schleusenrahmen6, 6′ hinausragen um einen leichten Austausch der Reinräume1, 1′ zur Wartung oder Reparatur zu ermöglichen.The lock frame6, 6 ' enclose the lock opening3, 3' at least on two opposite sides with a distance, so that a cross-section compared to the lock openings3, 3 ' larger lock space7 between the end faces2, 2' and the lock frame6, 6 ' is formed, which offers sufficient space for guide surfaces12 , these guide surfaces12 not protruding beyond the contour of the lock frame6, 6 'to enable easy replacement of the clean rooms1, 1' for maintenance or repair.

Die Stirnflächen8, 8′ der Schleusenrahmen6, 6′ sind mit den Stirnseiten2, 2′ der Reinräume1, 1′ verklebt, während die gegenüberliegenden Stirnflächen9, 9′ parallel zueinander verlaufend, oben und unten Ausströmzonen10, 10′ bilden, während im seitlichen Bereich, wie inFig. 2 ersichtlich, die Schleusenrahmen6, 6′ durch eine oder mehrere Dichtlippen11 abgedichtet im wesentlichen dicht aneinander anliegen und mit den Seitenkanten der Schleusenöffnungen3, 3′ abschließen.The end faces8, 8 'of the lock frame6, 6' are glued to the end faces2, 2 'of the clean rooms1, 1' , while the opposite end faces9, 9 ' parallel to each other, form outflow zones10, 10' , while in the side area, as can be seen inFig. 2, the lock frame6, 6 ' sealed by one or more sealing lips11 lie substantially close to each other and complete with the side edges of the lock openings3, 3' .

Zur Umlenkung der Strömung aus den Reinräumen1, 1′ sind in den Schleusenöffnungen3, 3′ symmetrisch Leitflächen12 angeordnet, durch die eine 90°-Umlenkung der Luftströmung in die Ausströmzonen10, 10′ erfolgt. Die Leitflächen erstrecken sich über die gesamte Breite der quadratischen Schleusenöffnungen3, 3′ und sind im Ausführungsbeispiel überhöht dick dargestellt.To deflect the flow from the clean rooms1, 1 ' are arranged in the lock openings3, 3' symmetrically guide surfaces12 through which a 90 ° deflection of the air flow into the outflow zones10, 10 ' takes place. The guide surfaces extend over the entire width of the square lock openings3, 3 ' and are shown in the exemplary embodiment exaggerated thick.

Nachdem in den beiden Reinräumen1, 1′ beim inFig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel etwa der gleiche Überdruck gegenüber dem Außenbereich5 herrscht, erfolgt, wie durch die Strömungspfeile angedeutet, eine symmetrische Gasströmung in Richtung zum Außenbereich5. Beim inFig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Überdruck im Reinraum1 größer als im Reinraum1′, so daß sich eine Strömung entsprechend den eingezeichneten Strömungspfeilen vom Reinraum1 zum Reinraum1′ ergibt. Weitere Gasströme strömen über die Ausströmzonen10, 10′ nach außen, so daß auch hier vom Außenbereich5 keinerlei Luft in die Reinräume1, 1′ eindringen kann. Die Reinräume1, 1′ selbst sind mechanisch praktisch nicht miteinander verbunden, so daß die einzelnen Reinräume1, 1′ leicht ausgetauscht und auch andere Anordnungen getroffen werden können, in denen eine größere Anzahl von Reinräumen1 zur Bearbeitung von Substraten4 in mehreren oder vielen Arbeitsstufen durch die Reinräume1, 1′ hindurch weitertransportiert werden können, ohne daß sie durch die Außenatmosphäre irgendwie verunreinigt werden können.After in the two clean rooms1, 1 ' in the embodiment shown inFIG. 3 there is approximately the same overpressure with respect to the outer region5 , as indicated by the flow arrows, a symmetrical gas flow takes place in the direction of the outer region5 . In the embodiment shown inFig. 4, the overpressure in the clean room1 is greater than in the clean room1 ' , so that there is a flow corresponding to the flow arrows drawn from the clean room1 to the clean room1' . Further gas flows flow out through the outflow zones10, 10 ' , so that here, too, no air can penetrate into the clean rooms1, 1' from the outer region5 . The clean rooms1, 1 ' themselves are practically not mechanically connected to each other, so that the individual clean rooms1, 1' can be easily replaced and other arrangements can be made in which a larger number of clean rooms1 for processing substrates4 in several or many Working stages through the clean rooms1, 1 ' can be transported through without being contaminated by the outside atmosphere.

InFig. 5 ist noch eine Stirnseitenansicht eines Reinraums1 dargestellt, bei der besonders gut die Anordnung der Leitflächen12 erkennbar ist.InFig. 5 is an end view of a clean room1 is also shown, in which particularly the arrangement of the fins can be seen12th

Die von den statischen Druckdifferenzen zwischen den Reinräumen1, 1′ und dem Außenbereich5 beschleunigte aus dem Reinraum1 ausströmende Reinstluft strömt zum Teil direkt durch die Schleusenöffnungen3, 3′ in den Reinraum1′ über. Der andere Teil der Strömung aus dem Reinraum1 wird durch die Leitflächen12 umgelenkt und strömt in den Schleusenraum7. Durch die Querschnittsverengung in den Ausströmzonen10, 10′ durch die Schleusenrahmen6, 6′ wird die Strömung aufgestaut, wodurch ein Teil des dynamischen Druckanteils im Schleusenraum7 in statischen Druck umgewandelt wird, so daß dieser höher ist als der Umgebungsdruck im Außenbereich5. Die Reinstluft aus dem Schleusenraum7 strömt aufgrund dieser Druckdifferenz nun zum Teil in den Reinraum1′. Der verbleibende Anteil strömt durch die Ausströmzonen10, 10′ in den Außenbereich5 ab (Fig. 4). Somit ist sichergestellt, daß auch bei diesen Betriebsverhältnissen keine Luft aus dem Außenbereich5 in die Reinräume1, 1′ eindringen kann.The accelerated from the clean room1 accelerated from the static pressure differences between the clean rooms1, 1 ' and the outer area5 flowing pure air partly flows directly through the lock openings3, 3' into the clean room1 ' . The other part of the flow from the clean room1 is deflected by the guide surfaces12 and flows into the lock room7 . Due to the narrowing of the cross-section in the outflow zones10, 10 ' through the lock frame6, 6' , the flow is dammed up, whereby part of the dynamic pressure component in the lock chamber7 is converted into static pressure, so that it is higher than the ambient pressure in the outer region5 . The ultrapure air from the lock room7 now flows partly into the clean room1 ' due to this pressure difference. The remaining portion flows through the outflow zones10, 10 ' into the outer region5 (Fig. 4). This ensures that even in these operating conditions, no air can penetrate from the outer area5 into the clean rooms1, 1 ' .

Claims (10)

Translated fromGerman

1. Vorrichtung mit mindestens zwei mit ihren Stirnseiten (2, 2′) aneinandergrenzenden Reinräumen (1, 1′) für die Behandlung von Substraten (4), die zum Transport der Substrate (4) über in den Stirnseiten (2, 2′) vorgesehene Schleusenöffnungen (3, 3′) miteinander in Verbindung stehen, wobei in mindestens einem der Reinräume (1, 1′) gegenüber dessen Außenbereich (5) Überdruck herrscht,dadurch gekennzeichnet, daß die beiden aneinander angrenzenden Reinräume (1, 1′) durch einen spaltartigen freien Zwischenraum als Schleusenraum (7) zwischen ihren angrenzenden Stirnseiten (2, 2′) mechanisch voneinander getrennt angeordnet sind, daß die miteinander korrespondierenden Schleusenöffnungen (3, 3′) in den Stirnseiten (2, 2′) von mindestens einem Schleusenrahmen (6, 6′) umschlossen sind, durch den eine Drosselung der Überdruckgasströmung Schleusenöffnungen (3, 3′) - Außenbereich (5) erfolgt.1. Device with at least two with their end faces (2, 2 ' ) adjoining clean rooms (1, 1' ) for the treatment of substrates (4 ) which are used to transport the substrates (4 ) in the end faces (2, 2 ' ) The proposed lock openings (3, 3 ' ) are connected to one another, with overpressure prevailing in at least one of the clean rooms (1, 1' ) with respect to its outer area (5 ),characterized in that the two adjacent clean rooms (1, 1 ' ) pass through a gap-like free space as a lock space (7 ) between their adjacent end faces (2, 2 ' ) are mechanically separated from each other, that the corresponding lock openings (3, 3' ) in the end faces (2, 2 ' ) of at least one lock frame (6, 6 ' ) are enclosed, through which throttling the pressurized gas flow lock openings (3, 3' ) - outside area (5 ).2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schleusenrahmen (6, 6′) die Schleusenöffnung (3, 3′) mindestens auf zwei gegenüberliegenden Seiten mit Randabstand umschließt und so einen Schleusenraum (7) mit größerem Querschnitt als die Schleusenöffnungen (3, 3′) bildet.2. Device according to claim 1, characterized in that the lock frame (6, 6 ' ) encloses the lock opening (3, 3' ) at least on two opposite sides with edge spacing and thus a lock chamber (7 ) with a larger cross section than the lock openings (3 , 3 ′ ) forms.3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Randbereich mindestens einer der Schleusenöffnungen (3, 3′) mindestens eine Leitfläche (12) vorgesehen ist, durch die eine etwa 90°-Umlenkung der Gasströmung im Randbereich der Schleusenöffnung (3, 3′) erfolgt.3. Apparatus according to claim 2, characterized in that in the edge region at least one of the lock openings (3, 3 ' ) at least one guide surface (12 ) is provided, through which an approximately 90 ° deflection of the gas flow in the edge region of the lock opening (3, 3rd ' ) Takes place.4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der bzw. die Schleusenrahmen (6, 6′) parallele Stirnflächen (8, 8′, 9, 9′) aufweisen, von denen eine dicht mit der Stirnseite (2, 2′) des zugeordneten Reinraums (1, 1′) verbunden ist und die andere (9, 9′) mit der Stirnseite (2, 2′) des angrenzenden Reinraums (1, 1′) oder ggf. mit der Stirnfläche (9, 9′) des angrenzenden Schleusenrahmens (6, 6′) des angrenzenden Reinraums (1, 1′) zusammenwirkt.4. The device according to claim 3, characterized in that the or the lock frame (6, 6 ' ) have parallel end faces (8, 8', 9, 9 ' ), one of which is tight with the end face (2, 2' ) of the associated clean room (1, 1 ' ) and the other (9, 9' ) with the end face (2, 2 ' ) of the adjacent clean room (1, 1' ) or possibly with the end face (9, 9 ' ) of the adjacent lock frame (6, 6 ' ) of the adjacent clean room (1, 1' ) cooperates.5. Vorrichtung nach Anspruch 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitflächen (12) einer Schleusenöffnung (3, 3′) die Stirnflächen (9, 9′) des sie umschließenden Schleusenrahmens (6, 6′) nicht überragen und innerhalb der lichten Weite des Schleusenrahmens (6, 6′) angeordnet sind.5. Apparatus according to claim 3 and 4, characterized in that the guide surfaces (12 ) of a lock opening (3, 3 ' ) the end faces (9, 9' ) of the surrounding lock frame (6, 6 ' ) do not protrude and within the clear Width of the lock frame (6, 6 ' ) are arranged.6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleusenrahmen (6, 6′) und die Leitflächen (12) der aneinander angrenzenden Reinräume (1, 1′) symmetrisch gleich ausgebildet sind.6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the lock frame (6, 6 ' ) and the guide surfaces (12 ) of the adjacent clean rooms (1, 1' ) are formed symmetrically the same.7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleusenrahmen (6, 6′) zweier aneinander angrenzender Reinräume (1, 1′) mindestens an zwei gegenüberliegenden Seiten aneinander anliegen.7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the lock frame (6, 6 ' ) of two adjacent clean rooms (1, 1' ) abut against each other at least on two opposite sides.8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der aneinander anliegenden Schleusenrahmen (6, 6′) auf mindestens einer Seite mit einer Dichtlippe (11) vorzugsweise in Form mindestens einer Leiste oder eines Wulstes versehen ist.8. The device according to claim 7, characterized in that at least one of the abutting lock frame (6, 6 ' ) is provided on at least one side with a sealing lip (11 ) preferably in the form of at least one bar or a bead.9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtlippe (11) Durchströmkanäle freiläßt und dazu Aussparungen oder Durchbrüche in der Dichtlippe (11) selbst oder in der Gegenfläche des angrenzenden mit der Dichtlippe zusammenwirkenden Außenrahmens (6, 6′) oder der angrenzenden Stirnseite (2, 2′) vorgesehen sind.9. The device according to claim 8, characterized in that the sealing lip (11 ) leaves flow channels and recesses or openings in the sealing lip (11 ) itself or in the counter surface of the adjacent cooperating with the sealing lip outer frame (6, 6 ' ) or the adjacent End face (2, 2 ' ) are provided.10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungskanal oder die Strömungskanäle insbesondere in nahen Bereichen der Schleusenöffnungen (3, 3′) vorgesehen sind.10. The device according to claim 9, characterized in that the flow channel or the flow channels are provided in particular in the vicinity of the lock openings (3, 3 ' ).