Die Erfindung betrifft eine optische Fehlerinspektionsvorrichtung für spiegelnd reflektierende und/oder transparente, im wesentlichen ebene Oberflächen von Gegenständen, insbesondere Bahnmaterial, mit einer auf den zu inspizierenden Bereich der Oberfläche gerichteten, ein Objektiv aufweisenden Kamera, in deren Bildebene sich eine sich wenigstens in einer Richtung erstreckend photoelektrische Diodenanordnung mit integrierter Ausleseelektronik befindet, die an eine Auswerteelektronik angeschlossen und auf der der zu inspizierende Bereich abgebildet ist, und mit einer Beleuchtungsvorrichtung für den zu inspizierenden Bereich, welche eine Lichtquelle, eine dieser folgende Kondensorlinse sowie ein dahinter angeordnetes, die Beleuchtungspupille bildendes Strahlquerschnitts-Begrenzungselement, auf das die Lichtquelle von der Kondensorlinse abgebildet wird, aufweist.The invention relates to an optical error inspectiondirection for specularly reflective and / or transparent,essentially flat surfaces of objects, espspecial web material, with a Be on the inspected BeObjective-facingCamera, in the image plane of which there is at least oneunidirectional photoelectric diode arraywith integrated readout electronics located on an offvalue electronics connected and on which to inspectde area is shown, and with a lighting predirection for the area to be inspected, which is aLight source, one of these following condenser lens as well as aarranged behind it, forming the illumination pupilBeam cross-section limiting element to which the light sourcele is imaged by the condenser lens.
Bei derartigen optischen Inspektionsvorrichtungen werden die Einzeldioden der Diodenanordnung zyklisch und periodisch von der integrierten Ausleseelektronik daraufhin abgefragt, welche Lichtmenge während dieser Periode auf sie aufgetroffen ist. Der in Hellfeld, Dunkelfeld oder einer anderen Kontrastierungsart auf die Diodenanordnung abgebildete zu inspizierende Bereich kann so entsprechend der Abfragung der Einzeldioden der Diodenanordnung systematisch abgetastet werden. In einer nachgeschalteten Auswerteelektronik werden aus diesen Bildsignalen dann Fehlersignale detektiert.With such optical inspection devicesIndividual diodes of the diode arrangement cyclically and periodically fromthe integrated readout electronicswhat amount of light struck them during this periodfen is. The one in brightfield, darkfield or another contype of tracing shown on the diode arrangement to inspiornamental area can thus be corresponding to the detection of the onesystem diodes of the diode array systematically scannedwill. In a downstream evaluation electronicserror signals are then detected from these image signals.
Ein Problem bei derartigen optischen Fehlerinspektionsvorrichtungen besteht darin, daß z.B. durch Vibrationen verursachte Winkelschwankungen der Oberfläche des Gegenstandes relativ zur Diodenkamera zu Fehleranzeigen führen können, ohne daß örtliche Oberflächenfehler vorliegen.A problem with such optical defect inspectiondirections is that e.g. caused by vibrationsgentle angular fluctuations in the surface of the objectrelative to the diode camera can lead to error displays withoutthat there are local surface defects.
Das Ziel der Erfindung besteht somit darin, eine optische Fehlerinspektionsvorrichtung der eingangs genannten Gattung zu schaffen, mit der Fehler, die örtlich die Reflexionsrichtung des auftreffenden Lichts ändern oder das reflektierte Lichtbündel aufstreuen, ohne Störung durch in bestimmten Grenzen erfolgende Winkelkippungen der ganzen Oberfläche von der Auswerteelektronik erfaßt werden können.The aim of the invention is therefore an opticalFault inspection device of the aforementioned type to create with the flaws that are locally the reflection richchange the direction of the incident light or the reflected lightScatter light beams without interference from in certainLimits of the entire surface ofthe evaluation electronics can be detected.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß das von der Beleuchtungspupille ausgehende Lichtbündel auf den zu inspizierenden Bereich gelenkt ist, dort von der Oberfläche zu einem Spiegelreflektor spiegelnd reflektiert und/oder hindurchgelassen wird, an dem das auftreffende Licht im wesentlichen in sich selbst zurückreflektiert wird und welcher allein oder in Zusammenwirkung mit einem anderen optischen Abbildungselement die Beleuchtungspupille auf eine im wesentlichen in der Objektivpupille angeordnete Kontrastierungsblende abbildet. Aufgrund der zweimaligen Reflexion am Objekt werden Winkeländerungen der Oberfläche des Gegenstandes relativ zur Kamera voll kompensiert. Dadurch ist es möglich, in Reflexion auch Fehler mit geringer örtlicher Bündelablenkung oder -aufstreuung zu erfassen. Die Erfindung hat weiter den Vorteil, daß auch gröbere Wellungen der Oberfläche des Gegenstandes die Fehlermessung bzw. -bestimmung nicht störend beeinflussen.To achieve this object, the invention provides thatfrom the illuminating pupil on thearea to be inspected is directed there by the waitersurface to a specular reflectorand / or is let through where the impingingLight is essentially reflected back into itselfand which alone or in cooperation with anotheroptical imaging element, the illumination pupil on acontra arranged essentially in the objective pupilshows the aperture diaphragm. Because of the double reflectionon the object there are changes in the surface of the opposing surfacefully compensated for the camera. That’s itpossible, in reflection also errors with low local leveldetection or scattering. The inventionhas the further advantage that coarser corrugations of the upperarea of the object the error measurement or determinationdo not interfere.
Eine erste Ausführungsform kennzeichnet sind dadurch, daß das von der Beleuchtungspupille ausgehende Lichtbündel durch einen vor dem Kameraobjektiv angeordneten Umlenkspiegel in den Empfangsstrahlengang der Kamera eingespiegelt ist.A first embodiment is characterized in thatthe light beam emanating from the illumination pupila deflection mirror arranged in front of the camera lens inthe reception beam path of the camera is reflected.
Hier überdecken sich also der Beleuchtungs- und der Empfangsstrahlengang in vollem Umfang.So here the lighting and reception overlapbeam path in full.
Dies kann z.B. dadurch praktisch realisiert werden, daß der Umlenkspiegel ein Strahlenteilerspiegel ist und davor als Strahlenquerschnitts-Begrenzungselement eine vorzugsweise im Öffnungsquerschnitt verstellbar ausgebildete Blende angeordnet ist; oder es ist vorgesehen, daß der Umlenkspiegel ein die Ausmaße der Beleuchtungspupille aufweisender kleiner Planspiegel ist, der gleichzeitig als Dunkelfeldblende wirkt. Diese Ausführungsform setzt allerdings eine ohnehin bevorzugte Abbildung der Beleuchtungspupille in die Objektpupille im Maßstab 1 : 1 voraus.This can e.g. be practically realized in that theDeflecting mirror is a beam splitter mirror and before that asBeam cross-section limiting element preferably in Opening cross section adjustable trained apertureis ordered; or it is provided that the deflecting mirrora smaller one having the dimensions of the illumination pupilThe plane mirror is also used as a dark field diaphragmworks. However, this embodiment sets one anywaypreferred imaging of the illumination pupil in the object pupill in 1: 1 scale ahead.
Bei den bisher beschriebenen Ausführungsformen läuft das Beleuchtungslichtbündel auf dem Hinweg über die gleiche Oberflächenstelle wie beim Rückweg, wo es diese Stelle für die Inspektion durch die Diodenkamera beleuchtet. Es werden daher nicht nur makroskopische Änderungen der Winkellage der Objektoberfläche kompensiert, sondern auch der Einfluß von Längs- oder Querwellen weitgehend ausgeschaltet.In the embodiments described so far, loading runsilluminating light bundles on the way over the same waiterarea as on the way back, where there is this place for theInspection illuminated by the diode camera. It willtherefore not only macroscopic changes in the angular position of theObject surface compensated, but also the influence ofLongitudinal or transverse shafts largely switched off.
Sollen jedoch z.B. Querwellen im Material als Fehler angezeigt werden oder besitzt die Materialbahn keine derartigen Wellen, so kann die Beleuchtungsvorrichtung dadurch vereinfacht werden, daß der Hauptstrahl des von der Beleuchtungspupille ausgehenden Lichtbündels ohne Umlenkung unter möglichst kleinem Winkel zum Hauptstrahl des Empfangsstrahlenganges verläuft und im geringen Abstand von dem auf die Diodenanordnung der Kamera abgebildeten Bereich auf die Oberfläche auftrifft.However, should e.g. Cross waves in the material indicated as an errorshows or has no such webWaves, the lighting device can thereby combinethat the main beam from the lighting pupill outgoing light beam without redirection under possiblesmallest possible angle to the main beam of the receiving beamganges runs and at a short distance from the on the Diothe arrangement of the camera imaged area on the surfaceche strikes.
Der Spiegelreflektor kann auf verschiedene Weise verwirklicht werden.The mirror reflector can be realized in different waysbecome light.
Nach einer ersten Ausführungsform ist der Spiegelreflektor ein sphärischer Hohlspiegel, dessen Krümmungsmittelpunkt etwa in der Beleuchtungspupille liegt.According to a first embodiment, the mirror reflectora spherical concave mirror whose center of curvaturelies approximately in the illumination pupil.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist der Beleuchtungs- und Empfangsstrahlengang vor dem Objekt durch eine Linse oder einen Hohlspiegelstreifen telezentrisch gemacht, indem die Beleuchtungs- und Empfangspupille in der Brennebene dieses optischen Elements angeordnet ist. In diesem Falle muß der Spiegelreflektor ebenfalls telezentrisch wirken und besteht aus einer ebensolchen Linse oder einem Hohlspiegelstreifen, in dessen Brennebene ein Hohlspiegel angeordnet ist, dessen Krümmungsradius gleich der Brennweite dieser Linse bzw. dieses Hohlspiegelstreifens ist.In a further embodiment, the lighting andReceiving beam path in front of the object through a lens or made a concave mirror strip telecentrically by theIllumination and reception pupil in the focal plane of thisoptical element is arranged. In this case theMirror reflector also works and is telecentricfrom such a lens or a concave mirror strip,a concave mirror is arranged in the focal plane, theRadius of curvature equal to the focal length of this lens orthis concave mirror strip is.
Bei Verwendung des Hohlspiegelstreifens ist jeweils ein planer Umlenkspiegelstreifen erforderlich, um den Strahlengang in der ursprünglichen Richtung fortzusetzen.When using the concave mirror strip there is oneplaner deflecting mirror strips required to the raysto continue in the original direction.
Die Erfindung läßt sich sowohl bei streifenförmigen als auch bei rechteckigen zu inspizierenden Bereichen anwenden.The invention can be applied to both strip-shaped andapply to rectangular areas to be inspected.
Wird mit einer Kamera gearbeitet, die eine Diodenzeile aufweist, so sieht die Erfindung zweckmäßigerweise vor, daß die Kondensorlinse eine sphärische Streifenlinse ist, welche den zu inspizierenden streifenförmigen Bereich, der parallel zur Diodenzeile verläuft, ausleuchtet und daß auch der Spiegelreflektor und ggfs. das weitere Abbildungselement parallel zum genannten Bereich streifenförmig sind.Is working with a camera that has a diode rowhas, the invention expediently provides that theCondenser lens is a spherical strip lens, which thestrip-shaped area to be inspected, which is parallel to theDiode row runs, illuminates and that also the mirrorreflector and possibly the further imaging element in parallelare strip-shaped to the named area.
Wird dagegen eine Kamera, die eine Diodenfläche, d.h. z.B. eine rechteckige Diodenanordnung aufweist, verwendet, so ist erfindungsgemäß vorteilhafterweise vorgesehen, daß die Kondensorlinse eine Rundlinse ist, welche den zu inspizierenden kreisförmigen Bereich ausleuchtet und daß auch der Spiegelreflektor und ggfs. auch das weitere Abbildungselement kreisförmig oder rechteckig ausgebildet sind.If, on the other hand, a camera is used that has a diode area, i.e. e.g.has a rectangular diode arrangement, is usedAccording to the invention advantageously provided that the KonDensor lens is a round lens which is the one to be inspectedilluminates circular area and that also the mirrorreflector and possibly also the further imaging element circleare shaped or rectangular.
Obwohl die Erfindung in Reflexion besondere Vorteile bietet, ist ohne weiteres auch eine Fehlermessung in Transmission möglich. Beide Fehlermeßmöglichkeiten können erfindungsgemäß auf einfache Weise dadurch verwirklicht werden, daß der Spiegelreflektor um den Schnittpunkt seiner optischen Achse mit der Oberfläche aus der Reflexionsstellung in die Transmissionsstellung und umgekehrt schwenkbar ist.Although the invention offers particular advantages in reflection,is also an error measurement in transmissionpossible. Both possibilities of measuring errors can be inventively be realized in a simple manner in that the gamegel reflector around the intersection of its optical axis withthe surface from the reflection position into the transmission position and vice versa.
Um z.B. Materialbahnen am laufenden Band untersuchen zu können, sieht die Erfindung vor, daß der bahnförmige Gegenstand parallel zu seiner Oberfläche und bei streifenförmigem, zu inspizierendem Bereich senkrecht zur Streifenrichtung kontinuierlich vorgeschoben wird. Die Vorschubgeschwindigkeit wird dabei so gewählt, daß entsprechend der zyklischen und periodischen Abfragung der Dioden beispielsweise eine flächendeckende Abtastung der Oberfläche der Materialbahn erzielt wird.To e.g. Examine material webs on the conveyor belt toocan, the invention provides that the web-shaped counterstood parallel to its surface and with stripesaccording to the area to be inspected perpendicular to the stripe linetion is continuously advanced. The feed ratedigkeit is chosen so that according to the cycliand periodic interrogation of the diodes, for examplea comprehensive scan of the surface of the materialtrack is achieved.
Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigtThe invention is described below, for example, with the aid ofDrawing described; in this shows
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Fehlerinspektionsvorrichtung,Fig. 1 is a schematic side view of a first embodiment of an error inspection apparatus according to the invention,
Fig. 2 einen schematischen Schnitt nach Linie II-II in denFig. 1, 4, 5, 6 und 7,Fig. 2 shows a schematic section along line II-II inFigs. 1, 4, 5, 6 and 7
Fig. 3 eine schematische Ansicht nach Linie III-III in denFig. 3, 4 und 5,Fig. 3 is a schematic view according to line III-III inFigs. 3, 4 and 5,
Fig. 4 eine schematische Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform mit einem besonderen Strahlquerschnitts-Begrenzungselement,Fig. 4 is a schematic side view of another embodiment with a special cross-section beam limiting member,
Fig. 5 eine schematische Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform mit telezentrischem Sende- und Empfangsstrahlengang,Fig. 5 is a schematic side view of another embodiment with telecentric beam path transmission and reception,
Fig. 6 eine schematische Seitenansicht einer optischen Fehlerinspektionsvorrichtung mit vereinfachter Beleuchtungsvorrichtung die zusätzlich sich senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckenden Querwellen erkennt,Fig. 6 is a schematic side view of an optical rule defect inspection apparatus with a simplified illumination device additionally extend perpendicularly to the drawing plane recognizes the transverse shafts,
Fig. 7 eine schematische Seitenansicht einer Ausführungsform mit zwischen einer ReflexionsstellungR und einer TransmissionsstellungT verschwenkbarem Spiegelreflektor,Fig. 7 is a schematic side view of one embodiment of a reflection with between Stel lungR and a transmission positionT ver swiveling reflector,
Fig. 8 eine schematische Seitenansicht einer optischen Fehlerinspektionsvorrichtung mit einer eine Diodenfläche aufweisenden Diodenkamera zur Erfassung eines rechteckigen zu inspizierenden Bereiches,Fig. 8 is a schematic side view of an optical rule fault inspection device having a diode area comprising a diode camera for capturing a rectangular area to inspizie leaders,
Fig. 8a einen Schnitt nach Linie VIIIa-VIIIa in denFig. 8, 9,Fig. 8a is a sectional view along the line VIIIa-VIIIa inFig. 8, 9,
Fig. 9 eine ähnliche Anordnung wieFig. 8 mit einander vollständig überlagernden Sende- und Empfangsstrahlengängen, die mit einer Feldlinse vor dem Objekt telezentrisch gemacht sind,Fig. 9 an arrangement similar toFig. 8 with Einan the fully overlapping transmission and Emp fang beam paths that are telecentric with a field lens in front of the object,
Fig. 10 eine schematische Ansicht einer optischen Fehlerinspektionsvorrichtung mit einer eine Diodenfläche aufweisenden Diodenkamera und einem in Reflexion arbeitenden Pol-Spiegelreflektor.Fig. 10 is a schematic view of an optical Feh ler inspection device with a diode surface having a diode camera and a reflecting pole-mirror reflector.
In allen Figuren bezeichnen gleiche Bezugszahlen entsprechende Bauelemente.In all figures, the same reference numerals correspondde components.
NachFig. 1 weist eine Kamera22 innerhalb eines lichtdicht verschlossenen Gehäuses eine Diodenzeile25 auf, die sich inFig. 1 senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckt und aus inFig. 2 zu erkennenden Einzeldioden32 besteht und mit ihrer Ausleseelektronik auf einem gemeinsamen elektronischen Baustein25a montiert ist. Diese Ausleseelektronik fragt die Einzeldioden zyklisch und periodisch in schneller Folge ab und erzeugt so ein der Helligkeitsverteilung längs der Diodenzeile25 entsprechendes analoges Videosignal. Aus diesem Videosignal werden in der angeschlossenen Auswerteelektronik33 die Oberflächenfehler detektiert und am Ausgang34 herausgegeben. Gegenüber der Diodenzeile25 ist im Gehäuse der Diodenkamera22 ein Kameraobjektiv19 angeordnet, in dessen Objektivpupille17 eine Dunkelfeldblende18 angeordnet ist. Die Kamera ist unter einem Winkelβ von ca. 45° auf die ebene Oberfläche14 eines Gegenstandes35 gerichtet, dessen zu inspizierender streifenförmiger Bereich13 durch das Kameraobjektiv19 auf die Diodenzeile25 abgebildet wird. Der streifenförmige, zu inspizierende Bereich13 erstreckt sich ebenso wie die Diodenzeile25 senkrecht zur Zeichnungsebene derFig. 1 und ist inFig. 3 in Draufsicht zu erkennen.OfFIG. 1 includes a camera22 within a light-tight housing a diode array25 which extends inFig. 1 perpendicularly to the plane of the drawing and out inFIG. 2, to be recognized individual diodes32 and its readout electronics on a common electronic building stone25a is mounted. This readout electronics queries the individual diodes cyclically and periodically in rapid succession and thus generates an analog video signal corresponding to the brightness distribution along the diode line25 . The surface defects are detected from this video signal in the connected evaluation electronics33 and output at the output34 . Opposite the diode row25 , a camera lens19 is arranged in the housing of the dio camera22 , in whose ob jective pupil17 a dark field diaphragm18 is arranged. The camera is directed at an angleβ of approximately 45 ° onto the flat surface14 of an object35 , the strip-shaped area13 to be inspected is imaged by the camera lens19 on the diode row25 . The strip-like area13 to be inspected, like the diode row25, extends perpendicular to the plane of the drawing inFIG. 1 and can be seen in plan view inFIG. 3.
Unmittelbar vor dem Kameraobjektiv19 ist ein Strahlenteilerspiegel20 angeordnet, welcher ein leicht divergierendes Beleuchtungslichtbündel12 in den Empfangsstrahlengang21 als diesen überlagerndes reflektiertes Beleuchtungslichtbündel12′ einspiegelt. Das Beleuchtungslichtbündel12 entspringt von einer Irisblende23, welche die Beleuchtungspupille11 definiert. In die Beleuchtungspupille wird durch eine senkrecht zur Zeichnungsebene derFig. 1 streifenförmige Linse28 eine Lichtquelle29 abgebildet.Immediately in front of the camera lens19 is a Strahlentei lerspiegel20 , which reflects a slightly divergent illuminating light beam12 in the receiving beam path21 as this overlapping reflected illuminating light del12 '. The illuminating light bundle12 springs from an iris diaphragm23 , which defines the illuminating pill11 . In the illumination pupil, a light source29 is imaged by a lens28 that is perpendicular to the plane of the drawing inFIG. 1.
Aufgrund dieser Beleuchtungsvorrichtung wird auf der Oberfläche14 der zu inspizierende Bereich13 einschließlich eines ihn umgebenden Bereiches36 (Fig. 3) ausgeleuchtet.Because of this lighting device, the area13 to be inspected, including an area36 surrounding it (FIG. 3), is illuminated on the surface14 .
Das unter dem Winkelβ auftreffende Beleuchtungslichtbündel12′ wird an der Oberfläche14 unter dem Reflexionswinkel zu einem Spiegelreflektor15 reflektiert, der als sich senkrecht zur Zeichnungsebene derFig. 1 erstreckender streifenförmiger sphärischer Hohlspiegel mit Krümmungsmittelpunkt in der Beleuchtungspupille11 bzw. der Objektivpupille18 ausgebildet ist. Der streifenförmige Hohl-Spiegelreflektor15 verläuft parallel zum streifenförmigen, zu inspizierenden Bereich13 und ist relativ zum Einfallslichtbündel so gekippt, daß alle auf den Spiegelreflektor15 auftreffenden Strahlen in sich selbst zurück zur Oberfläche14 reflektiert werden. Bei fehlerfreier spiegelnd reflektierender Oberfläche14 wird so die Beleuchtungspupille11 auf die in der Objektivpupille17 liegende Dunkelfeldblende18 abgebildet, so daß normalerweise kein Licht zur Diodenzeile25 gelangt.The at an angleβ12 'is reflected at the surface14 under the angle of reflection to a mirror reflector15 incident illumination light beam of when sen Krecht to the drawing plane ofFig. 1 extending strip-shaped spherical concave mirror with the center of curvature in the illumination pupil11 and the lens pupil18 is trained. The strip-shaped hollow specular reflector15 ver runs parallel to the strip-shaped area to be inspected13 and is tilted relative to the incident light beam so that all the rays incident on the specular reflector15 are reflected in themselves back to the surface14 . If no errors are specularly reflective surface14 so the illumination pupil11 is imaged on the pill in the Objektivpu17 lying dark field stop18 so that no light reaches nor mally on the diode row25th
Treten jedoch im zu inspizierenden Bereich13 Fehler, z.B. Kratzer, auf, so wird ein Teil des auftreffenden Lichtes abgelenkt und geht an der Dunkelfeldblende18 vorbei, so daß an der entsprechenden Einzeldiode32 der Diodenzeile25 ein entsprechendes elektrisches Signal erzeugt wird, das in der Auswerteelektronik33 zu einem Fehlersignal verarbeitet werden kann.However, occur in the region to be inspected13 error, such as scratches, so a part of the incident light is deflected and goes to the dark field stop18 over, so that a corresponding electrical signal is generated at the corresponding individual diode32 of the diode array25, which in the evaluation electronics33 can be processed into an error signal.
Aufgrund der beschriebenen Anordnung stören Kippungen der Oberfläche14 beispielsweise um eine senkrecht auf der Zeichnungsebene derFig. 1 stehende Achse die Fehlermessung nicht. Dagegen wird neben den aufstreuenden Fehlern auch jede Stelle der Oberfläche als Fehler erfaßt, deren Steigung innerhalb des beleuchtenden und abbildenden Bündels variiert. Dazu zählen kleine Vertiefungen mit geneigten Rändern, z.B. Dellen sowie kleine Erhöhungen mit geneigten Rändern, z.B. Pocken.Due to the arrangement described, tilting of the surface14 does not interfere with the error measurement, for example, about an axis perpendicular to the drawing plane ofFIG. 1. On the other hand, in addition to the scattering defects, every point on the surface is recorded as a defect, the gradient of which varies within the illuminating and imaging bundle. This includes small depressions with inclined edges, e.g. dents, and small ridges with inclined edges, e.g. smallpox.
Die Blende23 kann als verstellbare Irisblende ausgebildet sein, wodurch auf einfache Weise eine Empfindlichkeitssteuerung möglich ist.The diaphragm23 can be designed as an adjustable iris diaphragm, whereby a sensitivity control is possible in a simple manner.
Das Ausführungsbeispiel nachFig. 4 unterscheidet sich von dem nach denFig. 1 bis 3 lediglich dadurch, daß statt der Irisblende23 inFig. 1 beim Ausführungsbeispiel nachFig. 4 unmittelbar vor dem Kameraobjektiv19 auf der optischen Achse der Kamera22 ein kleiner Flanspiegel unter einem Winkel zur optischen Achse angeordnet ist, auf den die wieder streifenförmige sphärische Kondensorlinse28 die Lichtquelle29 abbildet. Der Planspiegel23′ übernimmt auf diese Weise die Aufgabe des Strahlquerschnitts-Begrenzungselementes. Um eine gleichmäßige Ausleuchtung des streifenförmigen zu inspizierenden Bereiches13 zu gewährleisten, weist der Planspiegel23′ eine elliptische Form auf, wobei die lange Achse der Ellipsenform senkrecht auf der Zeichnungsebene derFig. 4 steht.The exemplary embodiment according toFIG. 4 differs from that according toFIGS. 1 to 3 only in that instead of the iris diaphragm23 inFIG. 1 in the exemplary embodiment according toFIG. 4, a small flange mirror is located directly in front of the camera lens19 on the optical axis of the camera22 is arranged at an angle to the optical axis, on which the again strip-shaped spherical condenser lens28 images the light source29 . The plane mirror23 'takes over the task of the beam cross-section limiting element. In order to ensure uniform illumination of the area13 to be inspected, the plane mirror23 'has an elliptical shape, the long axis of the elliptical shape being perpendicular to the drawing plane ne ofFIG. 4.
Weiter wirkt der kleine Planspiegel23′ als Dunkelfeldblende für das von der Oberfläche14 zurückreflektierte Licht.Furthermore, the small plane mirror23 'acts as a dark field diaphragm for the light reflected back from the surface14 .
Wesentlich ist, daß der Abbildungsmaßstab der Beleuchtungspupille11 auf den Planspiegel23′ etwas weniger als 1 : 1 beträgt, um ein ungestörtes Dunkelfeld zu erreichen.It is essential that the magnification of the illuminating pill11 on the plane mirror23 'be a little less than 1: 1 be in order to achieve an undisturbed dark field.
Auch bei dieser Ausführungsform werden Fehler in der Oberfläche14 des Gegenstandes35 als helle Stellen sichtbar, was in ein elektrisches Signal umgesetzt wird. Die Empfindlichkeit der Anordnung kann einfach durch Verändern des Beleuchtungs-Abbildungsmaßstabes eingestellt werden. Durch eine verkleinerte Abbildung der Beleuchtungspupille11 auf dem kleinen Planspiegel23′ wird die Empfindlichkeit herabgesetzt, durch eine vergrößerte Abbildung erhöht.Also in this embodiment, defects in the surface14 of the object35 are visible as bright spots, which is converted into an electrical signal. The sensitivity of the arrangement can be adjusted simply by changing the illumination imaging scale. By reducing the image of the illumination pupil11 on the small plane mirror23 ', the sensitivity is reduced, increased by an enlarged image.
Das Ausführungsbeispiel nachFig. 5 entspricht weitgehend dem nachFig. 1, doch ist zwischen der Kamera22 und der Oberfläche14 des Gegenstandes35 eine sich senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckende streifenförmige Linse16 angeordnet, deren Brennpunkt in der Beleuchtungspupille11 bzw. der Objektivpupille17 liegt.The embodiment ofFIG. 5 largely corresponds to that ofFIG. 1, but between the camera22 and the surface14 of the object35 is a strip-shaped lens16 extending perpendicular to the plane of the drawing, the focal point in the illumination pupil11 and the objective pupil17th lies.
Auf diese Weise tritt aus der Linse16 ein Parallellichtbündel12′′ aus, welches nach der spiegelnden Reflexion an der Oberfläche14 als Reflexionsbündel12′′′ von einer gleichartigen streifenförmigen Linse16′ auf einen runden sphärischen Hohlspiegel15′ fokussiert wird. Dieser Hohlspiegel15′ hat einen Krümmungsradius, der gleich der Brennweite der Linse16′ ist, er bildet zusammen mit dieser einen telezentrischen Spiegelreflektor, der das telezentrische Beleuchtungsbündel über die zweite Reflexion an der Oberfläche14 in sich selbst zurückspiegelt. So entsteht wieder - nach Durchtritt durch den Teilerspiegel20 - ein Bild der Blende11 in der Objektivpupille17.In this way, a parallel Lichtbün del12 '' emerges from the lens16 , which is focused on a round spherical concave mirror15 'after the specular reflection on the surface14 as a reflection beam12 ''' from a similarly strip-shaped lens16 '. This concave mirror15 'has a radius of curvature which is equal to the focal length of the lens16 ', it forms together with this a telecentric mirror reflector which reflects the telecentric beam of light via the second reflection on the surface14 in itself. An image of the diaphragm11 in the objective pupil17 thus arises again - after passing through the divider mirror20 .
Bei dieser Ausführungsform sind also sowohl der Sende- als auch der Abbildungsstrahlengang telezentrisch, da die Objektivpupille in der Brennebene der streifenförmigen Linse16 liegt.In this embodiment, both the transmitting and the imaging beam path are telecentric, since the objective pupil lies in the focal plane of the strip-shaped lens16 .
Die streifenförmige Linse16 und16′ können auch durch sphärische Hohlspiegelstreifen ersetzt werden, welche dann allerdings relativ zum Beleuchtungsbündel12 wie zum reflektierten Beleuchtungsbündel12′ gekippt angeordnet werden. Mit je einem planen Umlenkspiegelstreifen in Lichtrichtung hinter diesen Hohlspiegelstreifen wird die ursprüngliche Strahlrichtung wieder hergestellt, so daß insgesamt der Strahlengang derFig. 5 gilt, in der lediglich jede streifenförmige Linse16,16′ durch je ein Paar Hohlspiegel plus Umlenkspiegel ersetzt ist.The strip-shaped lens16 and16 'can also be replaced by spherical concave mirror strips, which, however, all tilted relative to the illuminating beam12 such as the reflecting th illuminating beam12 '. With a flat deflecting mirror strip in the direction of light behind these concave mirror strips, the original beam direction is restored, so that the beampath of FIG. 5 applies in total, in which only each strip-shaped lens16 ,16 'is replaced by a pair of concave mirrors plus deflecting mirror.
Das Ausführungsbeispiel nachFig. 6 zeigt einen Beleuchtungsstrahlengang, der durch eine neben der Diodenkamera22 liegende Beleuchtungsvorrichtung mit der Lichtquelle29, der Kondensorlinse28 und der die Beleuchtungspupille11 definierenden Blende23 besteht. Die Beleuchtungsvorrichtung erzeugt ein Lichtbündel12 mit einem Hauptstrahl26, der einen kleinen Winkel von ca. 5° mit dem Hauptstrahl des Empfangsstrahlenganges21 einschließt und in einem geringfügigen Abstanda vom zu inspizierenden Bereich13 auf der Oberfläche14 des Gegenstandes35 auftrifft. Der streifenförmige Hohlspiegel15, welcher sich wieder senkrecht zur Zeichnungsebene derFig. 6 erstreckt, ist um eine senkrecht auf der Zeichnungsebene stehende Achse derart im Uhrzeigersinn gekippt, daß das von ihm reflektierte Sendelicht zum zu inspizierenden Bereich13 gelangt und von dort bei einwandfreier spiegelnder Oberfläche14 zur Dunkelfeldblende18 reflektiert wird.The embodiment ofFIG. 6 shows an illumination beam path, which consists of a lighting device lying next to the diode camera22 with the light source29 , the condenser lens28 and the aperture23 defining the illumination pupil11 . The lighting device he witnesses a light beam12 having a main beam26, which includes a small angle of about 5 ° beam path with the main beam of the receiving21 and at a slight Ab wasa from the region to be inspected13 on the surface14 of object35 is incident. The strip-shaped hollow mirror15 , which again extends perpendicularly to the drawing plane ne ofFIG. 6, is tilted clockwise about an axis perpendicular to the drawing plane such that the reflected light reflected by it reaches the area13 to be inspected and from there if the surface14 is perfectly reflective, the dark field aperture18 is reflected.
Da die beiden Auftreffstellen des Beleuchtungslichtbündels12 und des vom Spiegelreflektor15 reflektierten Lichtes inFig. 6 nebeneinander liegen, ist diese Anordnung nicht unempfindlich gegen sich senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckende Querwellen der Oberfläche14, sondern ist im Gegenteil dazu geeignet, derartige Querwellen durch entsprechende Aufhellungen der Diodenzeile25 zur Anzeige zu bringen.Since the two points of incidence of the illuminating light bundle12 and the light reflected by the specular reflector15 lie next to one another inFIG. 6, this arrangement is not insensitive to transverse waves of the surface14 extending perpendicular to the plane of the drawing, but on the contrary is suitable for such transverse waves by corresponding ones Bring the diode row25 to display.
Fig. 7 zeigt prinzipiell die gleiche Anordnung wieFig. 6, wobei jedoch der hohlspiegelförmige Spiegelreflektor15 um eine senkrecht auf der Zeichnungsebene derFig. 7 stehende Achse aus der oberen ReflexionsstellungR in eine untere TransmissionsstellungT verschwenkbar ist. Der Radius der Schwenkbewegung ist die optische Achse31 des Spiegelreflektors15. Die Schwenkbewegung ist durch einen Doppelpfeil inFig. 7 angedeutet.Fig. 7 shows in principle the same arrangement asFig. 6, but the concave mirror-shaped mirror reflector15 is pivotable about an axis perpendicular to the drawing plane ofFig. 7 from the upper reflection positionR to a lower transmission positionT. The radius of the pivoting movement is the optical axis31 of the mirror reflector15th The pivoting movement is indicated by a double arrow inFIG. 7.
In der ReflexionsstellungR können spiegelnd reflektierende Oberflächen14 auf Fehler untersucht werden, während in der TransmissionsstellungT transparente Gegenstände35 auf Fehler untersucht werden können. Wesentlich bei allen Ausführungsformen ist, daß mit dem sphärischen Hohl-Spiegelreflektor15 eine echte optische Abbildung der Beleuchtungspupille11 in die Objektivpupille17 erfolgt, wo sich die Dunkelfeldblende18 oder eine andere Kontrastierungsblende befindet. Es ist somit eine Fehlererfassung im nahen Dunkelfeld nach der Schlierenmethode, im Phasenkontrast oder ähnlicher Kontrastierungen möglich.In the reflection positionR , specularly reflecting surfaces14 can be examined for defects, while in the transmission positionT transparent objects35 can be examined for defects. It is essential in all embodiments that the spherical hollow mirror reflector15 provides a real optical image of the illumination pupil11 in the objective pupil17 , where the dark field aperture18 or another contrasting aperture is located. It is therefore possible to detect errors in the near dark field using the Schlieren method, phase contrast or similar contrasts.
NachFig. 8 und 8a wird die Lichtquelle29 über eine kreisförmige Linse28′ in die Mittelöffnung einer Blende23 abgebildet, wodurch eine Beleuchtungspupille11 definiert wird, von der aus ein im wesentlichen kreisförmiger Bereich13′ auf der Oberfläche14 eines transparenten Gegenstandes35 gleichmäßig ausgeleuchtet wird.According toFig. 8 and 8a, the light source is 'forms in the center opening of a diaphragm23 abge, whereby an illumination pupil is defined11, from which a substantially circular region13'29 via a circular lens28 on the surface14 of a transparent object35 is illuminated evenly.
Unterhalb des kreisförmigen Bereiches13′ befindet sich ein runder sphärischer Hohlspiegel15′′, dessen Mittelpunkt27 sich zwischen der Beleuchtungspupille11 und der Dunkelfeldblende18 befindet, die unmittelbar vor dem Objektiv19 der daneben angeordneten Diodenkamera22 liegt. Auf diese Weise bildet der sphärische Hohlspiegel15′′ die Beleuchtungspupille11 in die Dunkelfeldblende18 ab, sofern sich in dem transparenten Material35 keine Fehlstellen befinden.Below the circular area13 'there is a round spherical concave mirror15 '', the center27 of which is located between the illumination pupil11 and the dark field aperture18 , which is located directly in front of the lens19 of the diode camera22 arranged next to it. In this way, the spherical concave mirror15 '' forms the illuminating pupil le11 in the dark field aperture18 , provided that there are no defects in the transparent material35 .
NachFig. 8a ist in der Diodenkamera22 anders als bei den vorangehenden Ausführungsbeispielen eine rechteckige Diodenanordnung25′ vorgesehen, die aus einer Vielzahl von Einzeldioden32 besteht, die über die Ausleseelektronik25′a an die Auswerteelektronik33 angeschlossen sind.According toFig. 8a, in the diode camera22 , in contrast to the previous exemplary embodiments, a rectangular diode arrangement25 'is provided, which consists of a multiplicity of individual diodes32 which are connected to the evaluation electronics33 via the readout electronics25 'a .
Bei der beschriebenen Anordnung nach denFig. 8, 8a ist die blendenseitige Apertur der Beleuchtungsvorrichtung so groß, daß der sphärische Hohl-Spiegelreflektor15′′ ganz ausgeleuchtet wird. Der so im Objekt erzeugte beleuchtete Kreis10 ist inFig. 8a zu erkennen. Er überdeckt das Rechteck25′ ganz.In the described arrangement ofFIGS. 8, 8a, the blind-side aperture of the illumination device is so great that the spherical concave mirror reflector15 '' is completely tet ausgeleuch. The illuminated circle10 thus generated in the object can be seen inFIG. 8a. It completely covers the rectangle25 '.
Bei der Ausführungsform nach denFig. 8 und 8a zur Inspektion in zweimaliger Transmission mit Hilfe der Kamera mit flächenhafter Diodenanordnung sind keine Einschränkungen in Bildfeldgröße oder Bildwinkel zu beachten. Es sind jedoch nur Gegenstände mit geringer Aufstreuung von vereinzelten, kleinen Fehlern zu inspizieren. Als typisches Anwendungsbeispiel lassen sich Glasplatten für Masken nennen.In the embodiment according to FIGS. 8 and 8a for inspection in two transmissions with the aid of the camera with an areal diode arrangement, no restrictions in the field size or angle of view have to be observed. However, only objects with little scattering of isolated, small defects should be inspected. Glass plates for masks can be mentioned as a typical application example.
Während bei dem Ausführungsbeispiel nachFig. 8 mit seitlich bzw. winkelmäßig etwas versetzten Beleuchtungs- und Empfangsstrahlengängen gearbeitet wird, zeigtFig. 9 eine mit einer flächenhaften Diodenanordnung25′ arbeitende Ausführungsform zur Fehlersuche in zweifacher Transmission, bei der durch Verwendung eines Strahlenteilerspiegels20 Beleuchtungs- und Empfangsstrahlengang völlig ineinander liegen.While in the embodiment according toFIG. 8 with laterally or angularly offset lighting and receiving beam paths,FIG. 9 shows an embodiment with a planar diode arrangement25 'working for troubleshooting in double transmission, in which by using a beam splitter mirror20 lighting - and receive beam path are completely in one another.
Statt des sphärischen Hohl-Spiegelreflektors15′′ besitzt das Ausführungsbeispiel nachFig. 9 unmittelbar oberhalb der Oberfläche14 eine kreisförmige Feldlinse16′, in deren Brennebene sich die Objektivpupille bzw. die Dunkelfeldblende18 bzw. über den Strahlenteilerspiegel20 die Beleuchtungspupille11 befindet. Unterhalb des Objektes ist ein ebener runder Spiegelreflektor15′′′ angeordnet, der das auftreffende Licht in sich selbst zurückwirft. Durch die Feldlinse16′ wird der beobachtbare Objektbereich und Bildwinkel auf etwa 150 mm eingeschränkt, ist jedoch im Gegensatz zur Anordnung nachFig. 8 beleuchtungs- und beobachtungsseitig telezentrisch.Instead of the spherical hollow mirror reflector15 '' has the embodiment ofFIG. 9 immediately above the surface14 a circular field lens16 ', in the Bren next to the objective pupil or the dark field aperture18 or the beam splitter mirror20, the illuminating pupil le11 is located . Below the object, a flat round mirror reflector15 '''is arranged, which reflects the incident light back into itself. Through the field lens16 ', the observable object area and angle of view is restricted to approximately 150 mm, but is, in contrast to the arrangement according toFIG. 8, telecentric on the illumination and observation side.
Mit diesem telezentrischen System nachFig. 9 können auch strukturierte Objekte wie Masken inspiziert und ihre Geometrie vermessen werden.With this telecentric system according toFIG. 9, structured objects such as masks can also be inspected and their geometry measured.
AuchFig. 10 zeigt eine Anordnung mit einer flächenhaften Diodenanordnung25′, wobei im Gegensatz zu den Ausführungsbeispielen nachFig. 8 und 9 in Reflexion am Gegenstand35 gearbeitet wird. Die Anordnung entspricht derjenigen inFig. 6, dort für eine Kamera mit Diodenzeile.AlsoFig. 10 shows an arrangement with a planar diode array25 ', which in contrast to the examples of execution according toFIG. 8 and operating in reflection on the object35. 9 The arrangement corresponds to that inFIG. 6, there for a camera with a diode row.
Der Krümmungsmittelpunkt27 des oberhalb des Gegenstandes35 angeordneten sphärischen Hohl-Spiegelreflektors15′′ befindet sich unter Berücksichtigung der Reflexion an der Oberfläche14 bei27 zwischen der Beleuchtungspupille11 und der Objektivpupille17. Die Beleuchtungspupille11 wird von dem Hohl-Spiegelreflektor15′′ durch zweimalige Reflexion an der spiegelnden Oberfläche14 in die Objektivpupille17 abgebildet, wo sich die Dunkelfeldblende18 befindet. Damit die Beobachtungsachse senkrecht auf der ebenen Oberfläche14 stehen kann, wird die Diodenkamera22 mit einseitigem Bildfeld benutzt, d.h., daß die Diodenfläche25′ relativ zur optischen Achse des Objektivs19 in der ausFig. 10 ersichtlichen Weise seitlich verschoben ist.The center of curvature27 of the spherical hollow mirror reflector15 'arranged above the object35 ''is, taking into account the reflection on the surface14 at27 between the illumination pupil11 and the objective pupil17th The illumination pupil11 is from the hollow mirror reflector15 '' by two reflections on the reflecting surface14 in the objective pupil17 where the dark field aperture18 is located. So that the observation axis can be perpendicular to the flat surface14 , the diode camera22 is used with a one-sided image field, that is, the diode surface25 'relative to the optical axis of the lens19 is shifted laterally in the manner shown inFIG .
Während sich der Spiegelreflektor15′′ auf der einen Seite der Diodenkamera22 befindet, ist die Beleuchtungsvorrichtung29,28′,23 auf der entgegengesetzten Seite unmittelbar neben der Diodenkamera22 angeordnet, und zwar in der Weise, daß der zu inspizierende rechteckige Bereich13′ von der im Objekt beleuchteten Kreisscheibe voll abgedeckt ist.While the specular reflector15 '' is on one side of the diode camera22 , the directional lighting device29 ,28 ',23 is arranged on the opposite side immediately next to the diode camera22 , in such a way that the rectangular region13 to be inspected 'Is fully covered by the circular disc illuminated in the object.
Andere Möglichkeiten bestehen darin, daß das Objektiv19 gekippt und die Diodenfläche nach der Scheimpflug-Bedingung angeordnet wird.Other possibilities are that the lens19 tilts and the diode surface is arranged according to the Scheimpflug condition.
Als Lichtquelle29 wird bei den mit einer Diodenfläche25′ arbeitenden Ausführungsformen oft eine Stroboskop-Blitzlampe verwendet, die im Falle einer kontinuierlichen Bewegung des Gegenstandes35 parallel zu seiner Oberfläche eine bildfeldweise Beleuchtung gestattet.As a light source29 is often used in the embodiments with a diode surface25 'working with a stroboscopic flash lamp, which in the case of a continuous movement of the object35 parallel to its surface allows image-wise illumination.
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873717274DE3717274A1 (en) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | Optical defect inspecting device |
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873717274DE3717274A1 (en) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | Optical defect inspecting device |
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3717274A1true DE3717274A1 (en) | 1988-12-01 |
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19873717274CeasedDE3717274A1 (en) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | Optical defect inspecting device |
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3717274A1 (en) |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3926349A1 (en)* | 1989-08-09 | 1991-02-14 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optical defect inspection arrangement for flat transparent material - passes light via mirror forming image of illumination pupil on camera lens of photoreceiver |
| DE3942226A1 (en)* | 1989-12-21 | 1991-07-04 | Bayer Ag | Transparent composite fibre material optical refraction test system - has test body illuminated arrangement, deflection light detectors at fixed points and body movement arrangement |
| DE4015476A1 (en)* | 1990-05-14 | 1991-11-21 | Siemens Ag | ARRANGEMENT FOR THREE-DIMENSIONAL OPTICAL SHAPE DETECTION |
| DE4031633A1 (en)* | 1990-10-05 | 1992-04-16 | Sick Optik Elektronik Erwin | OPTICAL INSPECTION DEVICE |
| DE4434474A1 (en)* | 1994-09-27 | 1996-03-28 | Basler Gmbh | Method and device for the complete optical quality control of objects |
| EP0744616A1 (en)* | 1995-05-24 | 1996-11-27 | BST SERVO-TECHNIK GmbH | Optical sensor, in particular for a web run control installation |
| DE10301896A1 (en)* | 2003-01-17 | 2004-07-29 | Dr.-Ing. Willing Gmbh | Reflector system varying illumination position on painted surfaces to reveal polishing marks and holograms, employs mirror to change beam geometry |
| DE102004029014A1 (en)* | 2004-06-16 | 2006-01-12 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Method and system for inspecting a wafer |
| EP1681556A1 (en)* | 2005-01-18 | 2006-07-19 | Roche Diagnostics GmbH | Imaging fluorescence signals using telecentricity |
| EP1681558A1 (en)* | 2005-01-18 | 2006-07-19 | Roche Diagnostics GmbH | Imaging fluorescence signals using telecentric optics on the excitation and the imaging side |
| EP1681557A1 (en)* | 2005-01-18 | 2006-07-19 | Roche Diagnostics GmbH | Imaging of fluorescence signals using telecentric excitation and imaging optics |
| DE102006054148B4 (en)* | 2006-11-16 | 2009-07-09 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Apparatus for optically detecting perturbations on bodies of transparent material having at least one optical-grade planar interface |
| US7577353B2 (en) | 2005-12-23 | 2009-08-18 | Intelligente Optische Sensoren Und Systeme Gmbh | Device and method for optically inspecting a surface |
| DE202010009052U1 (en) | 2010-06-15 | 2010-09-02 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Apparatus for optically detecting disturbances on an object having an at least partially non-planar surface of optical quality |
| DE102010023806A1 (en) | 2010-06-15 | 2011-12-15 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Device for facilitating optical detection of malfunction in examination region of transparent object, has illumination device deflecting light beam on object side of object-specific resolution optic at locations of examination region |
| US8557566B2 (en) | 1998-05-16 | 2013-10-15 | Applied Biosystems, Llc | Instrument for monitoring polymerase chain reaction of DNA |
| US9671342B2 (en) | 1998-05-16 | 2017-06-06 | Life Technologies Corporation | Instrument for monitoring polymerase chain reaction of DNA |
| US9823195B2 (en) | 1998-05-16 | 2017-11-21 | Life Technologies Corporation | Optical instrument comprising multi-notch beam splitter |
| JP2022074228A (en)* | 2020-11-04 | 2022-05-18 | 株式会社ヒューテック | Defect inspection equipment |
| EP3591568B1 (en) | 2018-07-03 | 2022-12-21 | Hand Held Products, Inc. | Methods, systems, and apparatuses for scanning and decoding direct part marking indicia |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3081665A (en)* | 1959-04-21 | 1963-03-19 | Libbey Owens Ford Glass Co | Method and apparatus for optical inspection of glass sheets |
| DE1573839A1 (en)* | 1966-12-09 | 1970-04-09 | Sick Erwin | Photoelectronic device for scanning material webs |
| GB1207489A (en)* | 1966-12-06 | 1970-10-07 | North Atlantic Res Products Lt | A system for detecting surface flaws in objects |
| DE2151529A1 (en)* | 1971-10-15 | 1973-04-19 | Sick Erwin Fa | Fault detection in stretched plastics sheet - having double refractive index using polarised light |
| DE3610484A1 (en)* | 1985-04-02 | 1986-10-09 | Glaverbel, Brüssel/Bruxelles | METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE LOCATION OF FAULTS PRESENT IN FLAT GLASS |
| US4629319A (en)* | 1984-02-14 | 1986-12-16 | Diffracto Ltd. | Panel surface flaw inspection |
| DE3534018A1 (en)* | 1985-09-24 | 1987-04-02 | Sick Optik Elektronik Erwin | OPTICAL RAILWAY MONITORING DEVICE |
| DE3534019A1 (en)* | 1985-09-24 | 1987-04-02 | Sick Optik Elektronik Erwin | OPTICAL RAILWAY MONITORING DEVICE |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3081665A (en)* | 1959-04-21 | 1963-03-19 | Libbey Owens Ford Glass Co | Method and apparatus for optical inspection of glass sheets |
| GB1207489A (en)* | 1966-12-06 | 1970-10-07 | North Atlantic Res Products Lt | A system for detecting surface flaws in objects |
| DE1573839A1 (en)* | 1966-12-09 | 1970-04-09 | Sick Erwin | Photoelectronic device for scanning material webs |
| DE2151529A1 (en)* | 1971-10-15 | 1973-04-19 | Sick Erwin Fa | Fault detection in stretched plastics sheet - having double refractive index using polarised light |
| US4629319A (en)* | 1984-02-14 | 1986-12-16 | Diffracto Ltd. | Panel surface flaw inspection |
| DE3610484A1 (en)* | 1985-04-02 | 1986-10-09 | Glaverbel, Brüssel/Bruxelles | METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE LOCATION OF FAULTS PRESENT IN FLAT GLASS |
| DE3534018A1 (en)* | 1985-09-24 | 1987-04-02 | Sick Optik Elektronik Erwin | OPTICAL RAILWAY MONITORING DEVICE |
| DE3534019A1 (en)* | 1985-09-24 | 1987-04-02 | Sick Optik Elektronik Erwin | OPTICAL RAILWAY MONITORING DEVICE |
| Title |
|---|
| JP-Patents Abstracts of Japan, P-96,Jan.8,. 1982, Vol.6, No.2, Ref. 56-126749 (A)* |
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3926349A1 (en)* | 1989-08-09 | 1991-02-14 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optical defect inspection arrangement for flat transparent material - passes light via mirror forming image of illumination pupil on camera lens of photoreceiver |
| DE3942226A1 (en)* | 1989-12-21 | 1991-07-04 | Bayer Ag | Transparent composite fibre material optical refraction test system - has test body illuminated arrangement, deflection light detectors at fixed points and body movement arrangement |
| DE4015476A1 (en)* | 1990-05-14 | 1991-11-21 | Siemens Ag | ARRANGEMENT FOR THREE-DIMENSIONAL OPTICAL SHAPE DETECTION |
| DE4031633A1 (en)* | 1990-10-05 | 1992-04-16 | Sick Optik Elektronik Erwin | OPTICAL INSPECTION DEVICE |
| DE4434474A1 (en)* | 1994-09-27 | 1996-03-28 | Basler Gmbh | Method and device for the complete optical quality control of objects |
| US5729520A (en)* | 1994-09-27 | 1998-03-17 | Basler Gmbh | Inspection of an optical disc with a light beam which is reflected by the disc and exposed to two photosensitive receivers |
| DE4434474C2 (en)* | 1994-09-27 | 2000-06-15 | Basler Ag | Method and device for the complete optical quality control of objects |
| EP0744616A1 (en)* | 1995-05-24 | 1996-11-27 | BST SERVO-TECHNIK GmbH | Optical sensor, in particular for a web run control installation |
| US9671342B2 (en) | 1998-05-16 | 2017-06-06 | Life Technologies Corporation | Instrument for monitoring polymerase chain reaction of DNA |
| US9823195B2 (en) | 1998-05-16 | 2017-11-21 | Life Technologies Corporation | Optical instrument comprising multi-notch beam splitter |
| US8557566B2 (en) | 1998-05-16 | 2013-10-15 | Applied Biosystems, Llc | Instrument for monitoring polymerase chain reaction of DNA |
| US9273353B2 (en) | 1998-05-16 | 2016-03-01 | Life Technologies Corporation | Instrument for monitoring polymerase chain reaction of DNA |
| US8921098B2 (en) | 1998-05-16 | 2014-12-30 | Applied Biosystems, Llc | Instrument for monitoring DNA replication |
| DE10301896A1 (en)* | 2003-01-17 | 2004-07-29 | Dr.-Ing. Willing Gmbh | Reflector system varying illumination position on painted surfaces to reveal polishing marks and holograms, employs mirror to change beam geometry |
| DE102004029014A1 (en)* | 2004-06-16 | 2006-01-12 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Method and system for inspecting a wafer |
| DE102004029014B4 (en)* | 2004-06-16 | 2006-06-22 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Method and system for inspecting a wafer |
| EP1681555A1 (en)* | 2005-01-18 | 2006-07-19 | Roche Diagnostics GmbH | Imaging fluorescence signals using telecentric optics |
| US7687260B2 (en) | 2005-01-18 | 2010-03-30 | Roche Diagnostics Operations, Inc. | Imaging fluorescence signals using telecentric optics |
| US7369227B2 (en) | 2005-01-18 | 2008-05-06 | Roche Diagnostics Operations, Inc. | Imaging fluorescence signals using telecentricity |
| EP1681557A1 (en)* | 2005-01-18 | 2006-07-19 | Roche Diagnostics GmbH | Imaging of fluorescence signals using telecentric excitation and imaging optics |
| EP1681558A1 (en)* | 2005-01-18 | 2006-07-19 | Roche Diagnostics GmbH | Imaging fluorescence signals using telecentric optics on the excitation and the imaging side |
| EP1681556A1 (en)* | 2005-01-18 | 2006-07-19 | Roche Diagnostics GmbH | Imaging fluorescence signals using telecentricity |
| US7577353B2 (en) | 2005-12-23 | 2009-08-18 | Intelligente Optische Sensoren Und Systeme Gmbh | Device and method for optically inspecting a surface |
| DE102006054148B4 (en)* | 2006-11-16 | 2009-07-09 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Apparatus for optically detecting perturbations on bodies of transparent material having at least one optical-grade planar interface |
| DE202010009052U1 (en) | 2010-06-15 | 2010-09-02 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Apparatus for optically detecting disturbances on an object having an at least partially non-planar surface of optical quality |
| DE102010023806A1 (en) | 2010-06-15 | 2011-12-15 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Device for facilitating optical detection of malfunction in examination region of transparent object, has illumination device deflecting light beam on object side of object-specific resolution optic at locations of examination region |
| DE102010023806B4 (en)* | 2010-06-15 | 2012-03-15 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Apparatus for optically detecting disturbances on an object having an at least partially non-planar surface of optical quality |
| EP3591568B1 (en) | 2018-07-03 | 2022-12-21 | Hand Held Products, Inc. | Methods, systems, and apparatuses for scanning and decoding direct part marking indicia |
| JP2022074228A (en)* | 2020-11-04 | 2022-05-18 | 株式会社ヒューテック | Defect inspection equipment |
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3717274A1 (en) | Optical defect inspecting device | |
| DE3534019C2 (en) | ||
| DE3320939C2 (en) | Device for checking the surface of a convexly curved body for defects | |
| DE3822303C2 (en) | ||
| DE2354141C2 (en) | Optical measuring method for examining surfaces and device for carrying out the method | |
| DE102010029216A1 (en) | Inspection and inspection systems for glass panels | |
| DD239475A5 (en) | METHOD AND DEVICE FOR TESTING TRANSPARENT MATERIALS FOR A BROKENING ERROR | |
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