Movatterモバイル変換


[0]ホーム

URL:


DE19938978A1 - Fibre optic pressure sensor has fibre-Bragg grids with approximately equal gas sensitivity; thermally induced Bragg wavelength displacements of at least 2 grids have predefined relationship - Google Patents

Fibre optic pressure sensor has fibre-Bragg grids with approximately equal gas sensitivity; thermally induced Bragg wavelength displacements of at least 2 grids have predefined relationship

Info

Publication number
DE19938978A1
DE19938978A1DE1999138978DE19938978ADE19938978A1DE 19938978 A1DE19938978 A1DE 19938978A1DE 1999138978DE1999138978DE 1999138978DE 19938978 ADE19938978 ADE 19938978ADE 19938978 A1DE19938978 A1DE 19938978A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
bragg
fiber
bragg grating
fiber bragg
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE1999138978
Other languages
German (de)
Inventor
Klaus Bohnert
Hubert Braendle
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Baker Hughes International Treasury Services Ltd
Original Assignee
ABB Research Ltd Switzerland
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ABB Research Ltd SwitzerlandfiledCriticalABB Research Ltd Switzerland
Priority to DE1999138978priorityCriticalpatent/DE19938978A1/en
Priority to AU53858/00Aprioritypatent/AU5385800A/en
Priority to PCT/CH2000/000370prioritypatent/WO2001014843A1/en
Publication of DE19938978A1publicationCriticalpatent/DE19938978A1/en
Withdrawnlegal-statusCriticalCurrent

Links

Classifications

Landscapes

Abstract

The sensor has an optical fibre (1) with at least two fibre-Bragg grids )10, 11) and a pressure transfer element (2) with a pressure body (3) and a reference body (4), to which the optical fibre is connected. The pressure transfer element converts the pressure of a medium into a longitudinal expansion or compression of at least one section of the optical fibre contg. a fibre-Bragg grid. The fibre-Bragg grids are arranged to have an approximately equal gas sensitivity and thermally induced displacements of the Bragg wavelength of at least two grids have a predefined mutual relationship.

Description

Translated fromGerman
Technisches GebietTechnical field

Die Erfindung bezieht sich auf einen faseroptischen Drucksensor gemäss Ober­begriff des Patentanspruches 1.The invention relates to a fiber optic pressure sensor according to OberConcept of claim 1.

Stand der TechnikState of the art

Zur Messung hoher Drücke, das heisst, Drücken im Bereich von 100 MPa (1000 bar) werden häufig elektrische Sensoren, wie z. B. Piezowiderstände, piezo­elektrische Elemente, kapazitive Sonden, Kristallresonatoren oder optische Drucksensoren, wie z. B. Fabry-Perot-Resonatoren oder elastooptische Sensoren, eingesetzt.To measure high pressures, i.e. pressures in the range of 100 MPa (1000bar) are often electrical sensors, such as. B. Piezo resistors, piezoelectrical elements, capacitive probes, crystal resonators or opticalPressure sensors, such as B. Fabry-Perot resonators or elasto-optical sensors,used.

Ein optischer Drucksensor anderer Art zur Messung hoher isotroper Drücke von Flüssigkeiten ist aus aus M. G. XU et al., "Optical In-Fibre Grating High Pressure Sensor", Electronics Letters 29 (4), 398-399 (1993) bekannt, welcher einen faseroptischer Drucksensor beschreibt. Dieser Drucksensor weist eine optische Faser auf, in welche ein Bragg-Gitter eingeschrieben ist. Das Bragg-Gitter wirkt als Transmissions- oder Reflexionsfilter für eine charakteristische Bragg-Wellenlänge λB. Durch longitudinale Gitterdehnungen werden Gitter­periode und Brechungsindex geändert und die Bragg-Wellenlänge λB verschoben. Die Ausgangssignale sind somit wellenlängencodiert und unabhängig von der empfangenen Lichtleistung. Zur Messung wird die optische Faser in eine Kavität eines Hochdruckgefässes eingebracht und unmittelbar dem hydrostatischen Druck der Flüssigkeit ausgesetzt.An optical pressure sensor of another type for measuring high isotropic pressures of liquids is known from MG XU et al., "Optical In-Fiber Grating High Pressure Sensor", Electronics Letters 29 (4), 398-399 (1993), which uses a fiber optic Pressure sensor describes. This pressure sensor has an optical fiber in which a Bragg grating is inscribed. The Bragg grating acts as a transmission or reflection filter for a characteristic Bragg wavelength λB. Longitudinal grating strains change the grating period and refractive index and shift the Bragg wavelength λB. The output signals are therefore wavelength-coded and independent of the light output received. For the measurement, the optical fiber is placed in a cavity of a high-pressure vessel and immediately exposed to the hydrostatic pressure of the liquid.

WO 99/00653 beschreibt ebenfalls einen faseroptischen Drucksensor mit einem Bragg-Gitter. Der Drucksensor umfasst ein Druckübertragungselement, auch Transducer genannt, welches ein zylindrisches Gehäuse mit einem Hohlraum und einer Einlassöffnung aufweist. Im Hohlraum ist ein Stempel mit einem Stempelkopf in Abhängigkeit des Druckes innerhalb des Hohlraumes verschieb­bar und druckdicht gelagert angeordnet, wobei sein Stempelkopf aus dem Gehäuse herausragt. Die optische Faser ist einerseits am Gehäuse, andererseits am Stempelkopf befestigt, wobei das Bragg-Gitter in einem Freiraum zwischen Gehäuse und Stempelkopf angeordnet ist. Durch diese Anordnung wird ein allseitiger Druck eines Mediums in eine longitudinale Dehnung oder Kom­pression der optischen Faser und somit des Bragg-Gitters umgesetzt.WO 99/00653 also describes a fiber optic pressure sensor with aBragg grille. The pressure sensor includes a pressure transmission element, tooCalled transducer, which is a cylindrical housing with a cavityand has an inlet opening. There is a stamp with a in the cavityMove the stamp head depending on the pressure within the cavityarranged bar and pressure-tight, with its stamp head from theHousing protrudes. The optical fiber is on the one hand on the housing, on the other handattached to the stamp head, the Bragg grating in a space betweenHousing and stamp head is arranged. With this arrangement, aall-round pressure of a medium in a longitudinal expansion or compression of the optical fiber and thus the Bragg grating implemented.

In der unveröffentlichten Patentanmeldung PCT/CH99/00065 wird ein faser­optischer Drucksensor mit einem Bragg-Gitter beschrieben, welcher ebenfalls einen hydrostatischen Druck eines flüssigen oder gasförmigen Mediums in eine longitudinale Faserdehnung oder -kompression umsetzt. Dieser Drucksensor ist insbesondere geeignet für den Einsatz in Erdöl-Bohrlöchern zur Überwachung von Druck und Temperatur. In derartigen Bohrlöchern können die Flüssigkeits­drücke bis zu ca. 100 MPa und die Temperaturen bis zu über 200°C betragen. Der in PCT/CH99/00065 beschriebene Drucksensor umfasst einen Transducer mit einem Druckzylinder, der in Austausch mit dem Medium steht, und mit einem Referenzzylinder, welcher vom Medium abgeschirmt oder entgegengesetzt druckbelastet ist. Die optische Faser ist mittels Trägern einerseits am Referen­zylinder und andererseits am Druckzylinder befestigt, so dass sich eine mediuminduzierte Dehnung oder Kompression des Druckzylinders relativ zum Referenzzylinder auf das Bragg-Gitter überträgt. In bevorzugten Ausführungs­beispielen ist ein zweites Bragg-Gitter zur Temperaturmessung vorhanden. In weiteren bevorzugten Ausführungsbeispielen ist das erste Bragg-Gitter tempera­turkompensiert, indem Referenzzylinder und Druckzylinder unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, wobei ihre Längen und/oder Ausdehnungskoeffizienten so bemessen sind, dass eine relative thermische Ausdehnung der Zylinder zueinander einer thermisch induzierten intrinsischen Änderung der Bragg-Wellenlänge der optischen Faser entgegenwirkt. Unter einer intrinsischen Änderung versteht man diejenige Änderung der Bragg-Wellenlänge, welche ein Faser-Bragg-Gitter einer freien, nicht eingespannten Faser aufweist.In the unpublished patent application PCT / CH99 / 00065 a fiberoptical pressure sensor described with a Bragg grating, which alsoa hydrostatic pressure of a liquid or gaseous medium in aimplemented longitudinal fiber stretching or compression. This pressure sensor isparticularly suitable for use in oil wells for monitoringof pressure and temperature. In such boreholes, the liquidpressures up to approx. 100 MPa and temperatures up to over 200 ° C.The pressure sensor described in PCT / CH99 / 00065 includes a transducer with a pressure cylinder, which is in exchange with the medium, and witha reference cylinder, which is shielded or opposed to the mediumis under pressure. The optical fiber is on the one hand at the reference by means of supportscylinder and on the other hand attached to the impression cylinder, so that there is amedium-induced expansion or compression of the pressure cylinder relative to theTransfers the reference cylinder to the Bragg grid. In preferred executionFor example, there is a second Bragg grid for temperature measurement. InAnother preferred embodiment is the first Bragg grating temperacompensated by different reference cylinders and impression cylindershave thermal expansion coefficients, their lengths and / orExpansion coefficients are dimensioned so that a relative thermalExtension of the cylinders to each other of a thermally induced intrinsicChanges in the Bragg wavelength of the optical fiber counteracts. Underan intrinsic change is understood to be the change in the BraggWavelength which is a fiber Bragg grating of a free, unclampedFiber.

In der noch unveröffentlichten Patentanmeldung DE 198 60 409.2 ist ein ähnlich aufgebauter faseroptischer Drucksensor mit Bragg-Gittern beschrieben, welcher nun jedoch zur Messung einer Druckdifferenz zweier Medien geeignet ist. Die Deformation des Transducers hängt dabei von den Absolutwerten der Drücke und/oder vom Differenzdruck der Medien ab, wobei wiederum eine Längenände­rung an ein erstes Bragg-Gitter weitergegeben wird und zur Messung der Tem­peratur ein zweites Bragg-Gitter vorhanden ist. Zur Fehlerkompensation ist fer­ner ein drittes Bragg-Gitter vorgesehen, welches so zwischen dem Druck- und dem Referenzzylinder angebracht ist, dass das Drucksignal entgegengesetzt und allfällige, durch Temperaturänderungen verursachte Störsignale gleichgerichtet sind wie beim ersten Bragg-Gitter.In the as yet unpublished patent application DE 198 60 409.2 is a similarconstructed fiber optic pressure sensor with Bragg gratings described, whichbut is now suitable for measuring a pressure difference between two media. TheDeformation of the transducer depends on the absolute values of the pressuresand / or from the differential pressure of the media, again a length changetion is passed on to a first Bragg grating and for measuring the tema second Bragg grating is available. For error compensation is ferner a third Bragg grid is provided, which between the printing andthe reference cylinder is attached that the pressure signal opposite andany interference signals caused by temperature changes rectifiedare like the first Bragg grating. 

Ein weiteres Störsignal wird durch Eindiffusion von Gasen in denjenigen Teil des Transducers, in welchem die Faser-Bragg-Gitter angeordnet sind, verur­sacht. Insbesondere beim Einsatz des Drucksensors in Ölbohrlöchern und Erd­gasquellen ist das Problem der Eindiffusion von Gasen, beispielsweise von Was­serstoff und Kohlenwasserstoffen vorhanden, vor allem, da die Diffusion in Ab­hängigkeit der Temperatur massiv zunimmt. Beispielsweise können hohe Was­serstoff-Partialdrücke von bis zu 20 bar auftreten. In der optischen Faser verur­sachen zudem Wasserstoff oder andere Gase optischen Verluste und auch Bre­chungsindexänderungen und damit Verschiebungen der Bragg-Wellenlänge, welche Druck- wie auch Temperaturmessungen störend beeinflussen. Die oben beschriebenen faseroptischen Drucksensoren berücksichtigen derartige Stör­signale nicht, so dass ihre Messgenauigkeit beeinträchtigt ist.Another interference signal is caused by the diffusion of gases into that partof the transducer in which the fiber Bragg gratings are arrangedgently. Especially when using the pressure sensor in oil wells and earthgas sources is the problem of the diffusion of gases, such as whatHydrogen and hydrocarbons present, especially since the diffusion in Abdependence of the temperature increases massively. For example, high whatPartial pressures of up to 20 bar occur. In the optical fiberalso cause hydrogen or other gases optical losses and Breindex changes and thus shifts in the Bragg wavelength,which disturb pressure and temperature measurements. The abovefiber optic pressure sensors described take such interference into accountsignals, so that their measuring accuracy is impaired.

Darstellung der ErfindungPresentation of the invention

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, einen faseroptischer Drucksensor, insbe­sondere zur Verwendung in Ölbohrlöchern oder Erdgasquellen, zu schaffen, wel­cher gasinduzierte Änderungen der Bragg-Wellenlänge kompensiert.It is therefore an object of the invention, in particular a fiber optic pressure sensorespecially for use in oil wells or natural gas sources, to create welgas-induced changes in the Bragg wavelength are compensated.

Diese Aufgabe löst ein faseroptischer Drucksensor mit den Merkmalen des Patentanspruches 1.This task is solved by a fiber optic pressure sensor with the characteristics ofClaim 1.

Der erfindungsgemässe faseroptische Drucksensor weist mindestens zwei Faser-Bragg-Gitter auf, welche mindestens annähernd derselben gasinduzierten Ver­schiebung ihrer Bragg-Wellenlängen unterliegen und deren thermisch induzierte Verschiebungen der Bragg-Wellenlängen eine vordefinierte Relation zueinander aufweisen. Durch geeignete Kombination der wellenlängencodierten Signale der Bragg-Gitter lässt sich ein störungsfreies Druck- und Temperatursignal eruie­ren.The fiber optic pressure sensor according to the invention has at least two fiberBragg grating, which at least approximately the same gas-induced Vershift their Bragg wavelengths and their thermally inducedShifts in the Bragg wavelengths have a predefined relation to one anotherexhibit. By a suitable combination of the wavelength-coded signals of theBragg grating can be used to generate an interference-free pressure and temperature signalren. 

Der erfindungsgemässe faseroptische Drucksensor besteht vorzugsweise aus einem Druckübertragungselement oder Transducer mit einem Druckkörper und einem Referenzkörper, zwischen welchen eine optische Faser mit eingeschriebe­nen Bragg-Gittern gehalten ist, wobei mindestens eines der Bragg-Gitter durch die druckinduzierte beziehungsweise temperaturinduzierte relative Verschie­bung der Körper zueinander dehnbar beziehungsweise komprimierbar ist. Ein erstes Bragg-Gitter dient der Druckmessung, ein zweites beziehungsweise drittes Bragg-Gitter zur Temperaturmessung und/oder zur Kompensation von Störsignalen. Vorzugsweise ist jedes Faser-Bragg-Gitter einzeln zwischen Trägerpaaren gehalten, wobei je nach Funktion einzelne Gitter vorgespannt sind.The fiber optic pressure sensor according to the invention preferably consists ofa pressure transmission element or transducer with a pressure body anda reference body, between which an optical fiber is inscribedNEN Bragg grids is held, with at least one of the Bragg gratingsthe pressure-induced or temperature-induced relative displacementExercise the body is stretchable or compressible to each other. Onfirst Bragg grating is used for pressure measurement, a second orthird Bragg grating for temperature measurement and / or for compensation ofInterference signals. Preferably, each fiber Bragg grating is individually betweenSupport pairs held, with individual grids biased depending on the functionare.

In einer ersten Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes sind zwei Bragg-Gitter vorhanden, welche dieselbe Temperaturabhängigkeit aufweisen. Vor­zugsweise entspricht diese Temperaturabhängigkeit derjenigen einer freien, nicht eingespannten optischen Faser. Dabei ist vorzugsweise ein erstes Bragg-Gitter zwischen dem Referenz- und dem Druckkörper vorgespannt gelagert gehalten und ein zweites Bragg-Gitter frei gelagert gehalten. Die Längen und/oder Ausdehnungskoeffizienten der Körper sind derart bemessen, dass eine Differenz der thermisch induzierten Längenänderung der Körper einer thermisch induzierten Ausdehnung der optischen Faser im freien Zustand entspricht.In a first embodiment of the subject matter of the invention, two BraggGrids are available which have the same temperature dependency. Beforethis temperature dependency corresponds to that of a free,unclamped optical fiber. A first Bragg-Grid preloaded between the reference and the pressure bodyheld and a second Bragg grid kept freely stored. The lengthsand / or expansion coefficients of the bodies are dimensioned such that aDifference in the thermally induced change in length of the bodythermally induced expansion of the optical fiber in the free statecorresponds.

In einer zweiten Ausführungsform sind zwei Bragg-Gitter vorhanden, welche temperaturkompensiert zwischen Referenz- und Druckkörper beziehungsweise anderen Trägern gelagert sind. Dabei sind die Längen der Körper beziehungs­weise der Träger derart bemessen, dass eine Differenz der thermisch induzierten Längenänderung der Körper beziehungsweise der Träger einer thermisch induzierten intrinsischen Änderung der Bragg-Wellenlänge der optischen Faser entgegenwirkt.In a second embodiment, there are two Bragg gratings, whichtemperature compensated between reference and pressure body respectivelyother carriers are stored. The lengths of the bodies are relatedthe carrier dimensioned such that a difference in the thermally inducedChange in length of the body or the carrier of a thermal induced intrinsic change in Bragg wavelength of the optical fibercounteracts.

In weiteren Ausführungsformen sind drei Bragg-Gitter vorhanden, wobei sie un­terschiedliche Wirkungen auf Druckbelastung und Temperaturänderungen zeigen, jedoch vorzugsweise alle mindestens annähernd derselben gasinduzierten Verschiebung der Bragg-Wellenlänge unterliegen. Diese Ausführungsformen sind insbesondere zur Messung von Differenzdrücken von zwei flüssigen oder gasförmigen Medien geeignet.In other embodiments, there are three Bragg gratings, where they are unDifferent effects on pressure load and temperature changesshow, but preferably all at least approximately the same gas-inducedBragg wavelength shift subject. These embodimentsare especially for measuring differential pressures of two liquid orsuitable for gaseous media.

Weitere vorteilhafte Ausführungsformen gehen aus den abhängigen Patent­ansprüchen hervor.Further advantageous embodiments are based on the dependent patentclaims.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Im folgenden wird der Erfindungsgegenstand anhand von bevorzugten Ausfüh­rungsbeispielen, welche in den beiliegenden Zeichnungen dargestellt sind, näher erläutert. Es zeigen:In the following the subject matter of the invention is based on preferred embodimentsExample, which are shown in the accompanying drawingsexplained. Show it:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen erfindungsgemässen faseroptischen Drucksensor in einer ersten Ausführungsform mit zwei teilweise tempe­raturkompensierten Faser-Bragg-Gittern;1shows a longitudinal section through an inventive fiber optic pressure sensor in a first embodiment with two partially tempe raturkompensierten fiber Bragggratings.

Fig. 2 einen Längsschnitt durch eine zweite Ausführungsform mit zwei temperaturkompensierten Faser-Bragg-Gittern;Fig. 2 is a longitudinal section through a second embodiment with two temperature-compensated fiber Bragg gratings;

Fig. 3 einen Längsschnitt durch eine dritte Ausführungsform mit drei Faser-Bragg-Gittern;Fig. 3 shows a longitudinal section through a third embodiment with three fiber Bragg gratings;

Fig. 4 eine Variante der dritten Ausführungsform gemässFig. 3;FIG. 4 shows a variant of the third embodiment according toFIG. 3;

Fig. 5 einen Längsschnitt durch eine vierte Ausführungsform mit drei Faser-Bragg-Gittern und zwei Medien undFig. 5 shows a longitudinal section through a fourth embodiment with three fiber Bragg gratings and two media and

Fig. 6 einen Längsschnitt durch eine fünfte Ausführungsform mit drei Faser-Bragg-Gittern, zwei Medien und einer temperaturkompen­sierten Halterung.Fig. 6 shows a longitudinal section through a fifth embodiment with three fiber Bragg gratings, two media and a temperature-compensated bracket.

Gleiche Materialien sind mit gleichen Schraffuren versehen.The same materials have the same hatching.

Wege zur Ausführung der ErfindungWays of Carrying Out the Invention

Der erfindungsgemässe Drucksensor, wie er beispielsweise inFig. 1 dar­gestellt ist, besteht aus einer optischen Faser1 und einem Druckübertragungs­element oder Transducer2.The pressure sensor according to the invention, as shown for example inFIG. 1, consists of an optical fiber1 and a pressure transmission element or transducer2 .

Der Transducer2 weist ein Transducergehäuse20, beispielsweise aus korrosionsfestem Stahl auf, welches einen Hohlraum21 umschliesst. Das Transducergehäuse20 ist von der optischen Faser1 durchsetzt, wobei druckdichte Faserdurchführungen6 einen im Hohlraum21 verlaufenden Abschnitt der optischen Faser druckdicht gegenüber der Aussenumgebung des Transducers lagern. In diesem Abschnitt weist die optische Faser1 mindestens zwei eingeschriebene Faser-Bragg-Gitter auf, welche unterschiedliche Bragg-Wellenlängen λB aufweisen. Jedes Faser-Bragg-Gitter, beziehungsweise ein zugehöriger Abschnitt der optischen Faser, ist einzeln zwischen zwei, mit dem Transducer1 verbundenen Faserhalterungen5 gehalten. Dabei sind einzelne Faser-Bragg-Gitter mechanisch vorgespannt, wie dies auch in PCT/CH99/00065 und DE 198 60 409.2 beschrieben ist.The transducer2 has a transducer housing20 , for example made of corrosion-resistant steel, which encloses a cavity21 . The transducer housing20 is penetrated by the optical fiber1, with pressure-tight fiber feedthroughs6 extending in a cavity21 portion of the optical fiber pressure-tight relative to the outside environment of the transducer overlap. In this section, the optical fiber1 has at least two inscribed fiber Bragg gratings which have different Bragg wavelengths λB. Each fiber Bragg grating, or an associated section of the optical fiber, is held individually between two fiber holders5 connected to the transducer1 . Individual fiber Bragg gratings are mechanically prestressed, as is also described in PCT / CH99 / 00065 and DE 198 60 409.2.

Der hier dargestellte Transducer1 umfasst ferner einen Druckkörper3 und einen Referenzkörper4, welche im Transducergehäuse20 angeordnet sind. Der Druckkörper3 ist hohl ausgebildet, um ein Medium M unter einem allseitigen Druck aufzunehmen. Hierfür ist der Druckkörper3 mit einer im Gehäuse20 an­geordneten Einlassöffnung22 verbunden. Wie hier dargestellt, ist der Druck­körper3 durch einen Hohlzylinder gebildet, welcher an einem Ende mit dem Gehäuse20 verbunden ist und am anderen Ende durch eine Druckplatte30 ab­geschlossen ist, welche einen Träger zur Fixierung der optischen Faser1 bildet. Der Druckkörper3 ist durch eine Druckänderung des Mediums M längenverän­derbar, so dass sich die Druckplatte30 innerhalb des Hohlraumes21 verschiebt.The transducer1 shown here further comprises a pressure body3 and a reference body4 , which are arranged in the transducer housing20 . The pressure body3 is hollow to receive a medium M under all-round pressure. For this purpose, the pressure body3 is connected to an inlet opening22 arranged in the housing20 . As shown here, the pressure body3 is formed by a hollow cylinder which is connected at one end to the housing20 and at the other end is closed by a pressure plate30 which forms a carrier for fixing the optical fiber1 . The pressure body3 can be changed in length by a change in pressure of the medium M, so that the pressure plate30 moves within the cavity21 .

Der Referenzkörper4 ist in diesem Ausführungsbeispiel ebenfalls ein Hohlzylin­der, welcher vom Druckkörper3 durchsetzt ist, wobei die Druckplatte30 den Referenzkörper4 überragt. Auch der Referenzkörper4 ist an einem Ende mit dem Gehäuse20 verbunden und endet am anderen Ende in einem freien Flansch, welcher einen Referenzträger40 zur Halterung der optischen Faser1 bildet. Der Referenzkörper4 weist einen Zylinderschaft auf, welcher aus zwei Segmenten41,42 mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungkoeffizienten besteht. Im allgemeinen weist ein erstes Segment41 denselben und ein zweites Segment42 einen höheren Ausdehnungskoeffizienten auf als der Druckkörper3. Durch geeignete Wahl der Längen und Materialien der Segmente lässt sich die thermische Längenveränderung des Referenzkörpers4 relativ zum Druckkörper3, das heisst die differentielle thermische Längenveränderung, vollständig kom­pensieren beziehungsweise auf einen gewünschten Wert einstellen, wie dies weiter unten erläutert wird. Geeignete Materialien hierfür sind beispielsweise eine Nickel-Basislegierung für den Druckkörper und für das erste Segment des Referenzkörpers und ein Chrom-Nickel-Stahl für das zweite Segment des Refe­renzkörpers.In this exemplary embodiment, the reference body4 is also a hollow cylinder which is penetrated by the pressure body3 , the pressure plate30 projecting beyond the reference body4 . The reference body4 is also connected at one end to the housing20 and ends at the other end in a free flange which forms a reference carrier40 for holding the optical fiber1 . The reference body4 has a cylindrical shaft, which consists of two segments41 ,42 with different coefficients of thermal expansion. In general, a first segment41 has the same and a second segment42 a higher expansion coefficient than the pressure body3 . By a suitable choice of the lengths and materials of the segments, the thermal length change of the reference body4 relative to the pressure body3 , that is to say the differential thermal length change, can be completely compensated or set to a desired value, as will be explained further below. Suitable materials for this are, for example, a nickel-based alloy for the pressure body and for the first segment of the reference body and a chromium-nickel steel for the second segment of the reference body.

Druckplatte30 und Referenzträger40 bilden ein Trägerpaar, welches ein erstes Faser-Bragg-Gitter10 der optischen Faser1 halten. Eine Druckänderung im Medium M führt somit zu einer Verschiebung der Druckplatte30 und einer Dehnung beziehungsweise Kompression des Faserabschnittes, welcher das erste Bragg-Gitter beinhaltet. Dadurch verschiebt sich dessen Bragg-Wellenlänge λ1. Vorzugsweise ist dieser Faserabschnitt mechanisch vorgespannt, wobei die Faservorspannung so gewählt ist, dass eine hinreichende Vorspannung auch noch bei maximaler Betriebstemperatur und minimalem Druck gewährleistet ist.Pressure plate30 and reference support40 form a pair of supports which hold a first fiber Bragg grating10 of the optical fiber1 . A change in pressure in the medium M thus leads to a displacement of the pressure plate30 and an expansion or compression of the fiber section which contains the first Bragg grating. This shifts its Bragg wavelength λ1 . This fiber section is preferably mechanically pretensioned, the fiber pretension being selected such that a sufficient pretension is still guaranteed even at the maximum operating temperature and minimum pressure.

Ein zweites Faser-Bragg-Gitter11 ist zwischen Referenzträger40 und Trans­ducergehäuse20 gehalten, wobei es im Beispiel gemässFig. 1 nicht vorge­spannt ist. Dieses zweite Bragg-Gitter11 ist nicht drucksensitiv. Eine Tempe­raturänderung verschiebt jedoch die Bragg-Wellenlänge λ2 dieses Bragg-Gitters, so dass es zur Temperaturmessung dient.A second fiber Bragg grating11 is held between the reference carrier40 and the transducer housing20 , it not being biased in the example according toFIG. 1. This second Bragg grating11 is not pressure sensitive. However, a temperature change shifts the Bragg wavelength λ2 of this Bragg grating, so that it serves for temperature measurement.

In dem inFig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die differentielle thermi­sche Längenveränderung, so eingestellt, dass sie der thermischen Längenverän­derung einer freien optischen Faser entspricht. Hierfür muss folgende Gleichung erfüllt sein:
In the exemplary embodiment shown inFIG. 1, the differential thermal length change is set such that it corresponds to the thermal length change of a free optical fiber. The following equation must be fulfilled for this:

α1(L' + l1) - α2L' = αfl1, (1)
α1 (L '+ l1 ) - α2 L' = αf l1 , (1)

wobei α1, α2 und αf die thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Druckkörpers3, des zweiten Segmentes42 des Referenzkörpers4 beziehungsweise der opti­schen Faser1 sind. L' ist dabei die Länge des zweiten Segmentes42 und l1 die Länge des eingespannten Faserabschnittes mit dem ersten Bragg-Gitter10. Das erste Bragg-Gitter10 weist somit die inhärente thermische Sensitivität eines Bragg-Gitters einer nicht lagefixiert gehaltenen Faser auf.where α1 , α2 and αf are the thermal expansion coefficients of the pressure body3 , the second segment42 of the reference body4 and the optical fiber1's . L 'is the length of the second segment42 and l1 is the length of the clamped fiber section with the first Bragg grating10 . The first Bragg grating10 thus has the inherent thermal sensitivity of a Bragg grating of a fiber that is not held in position.

Beide inFig. 1 dargestellten Bragg-Gitter10,11 unterliegen jedoch einer allfäl­ligen Beeinflussung durch Gase, welche in den Hohlraum21 dringen. Da sich beide Bragg-Gitter in demselben Hohlraum befinden, sind sie mindestens annä­hernd denselben Bedingungen ausgesetzt. Somit zeigt das erste Bragg-Gitter10 folgende Verschiebung seiner Bragg-Wellenlänge:
However, both Bragg grids10 ,11 shown inFIG. 1 are subject to any influence by gases which penetrate into the cavity21 . Since both Bragg gratings are located in the same cavity, they are exposed to at least approximately the same conditions. The first Bragg grating10 thus shows the following shift in its Bragg wavelength:

Δλ1 = a Δp + b ΔT + c ΔH2 (2)
Δλ1 = a Δp + b ΔT + c ΔH2 (2)

wobei Δp, ΔT und ΔH2 Änderungen im Druck, in der Temperatur beziehungsweise in der Gaskonzentration, hier Wasserstoff, und a, b und c bekannte Kalibrie­rungskoeffizienten sind. Dabei hängt der Kalibrierungskoeffizient a vor allem von Transducerparametern, wie Länge, Wanddicke des Druckkörpers, Länge des Bragg-Gitters, Young'sches Elastizitätsmodul und der Poisson-Zahl des Druck­körpermaterials, ab und beträgt typischerweise einige pm/bar. Der Koeffizient b ist ungefähr 10 pm/°C für eine Bragg-Wellenlänge von annähernd 1550 nm und der Term c ΔH2 kann bis zu einigen 100 µm betragen.where Δp, ΔT and ΔH2 are changes in pressure, temperature or gas concentration, here hydrogen, and a, b and c are known calibration coefficients. The calibration coefficient a depends primarily on transducer parameters such as length, wall thickness of the pressure body, length of the Bragg grating, Young's modulus of elasticity and the Poisson number of the pressure body material, and is typically a few pm / bar. The coefficient b is approximately 10 pm / ° C. for a Bragg wavelength of approximately 1550 nm and the term c ΔH2 can be up to a few 100 μm.

Das zweite Bragg-Gitter11 zeigt dasselbe Temperatur- und gasinduzierte Ver­halten:
The second Bragg grid11 shows the same temperature and gas-induced behavior:

Δλ2 = b ΔT + c ΔH2 (3).Δλ2 = b ΔT + c ΔH2 (3).

Die Differenz der zwei Bragg-Wellenlängen
The difference between the two Bragg wavelengths

Δλ1 - Δλ2 = a Δp, (4)
Δλ1 - Δλ2 = a Δp, (4)

hängt nur noch vom Druck, nicht jedoch von der Temperatur und der Gasbela­stung ab. Der Druck ist somit gegeben durch
depends only on the pressure, but not on the temperature and gas load. The pressure is therefore given by

Δp = (1/a) (Δλ1 - Δλ2) (5).Δp = (1 / a) (Δλ1 - Δλ2 ) (5).

InFig. 2 ist eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemässen Druck­sensors dargestellt, bei welcher beide Faser-Bragg-Gitter temperaturkompen­siert gehalten sind. Der Sensor weist im wesentlichen denselben Aufbau auf wie das anhandFig. 1 beschriebene Beispiel. In dieser Ausführungsform sind jedoch die Längen der Segmente so gewählt, dass eine thermisch induzierte Län­genveränderung des Druck- und Referenzkörpers relativ zueinander einer ther­ misch induzierten intrinsischen Änderung der Bragg-Wellenlänge λ1 des ersten Bragg-Gitters10 entgegenwirkt. Das heisst:
InFIG. 2, a second embodiment of the inventive pressure sensor is shown, in which both fiber Bragg grating tempera ture held Siert are. The sensor has essentially the same structure as the example described with reference toFIG. 1. In this embodiment, however, the lengths of the segments are selected such that a thermally induced change in length of the pressure and reference body relative to one another counteracts a thermally induced intrinsic change in the Bragg wavelength λ1 of the first Bragg grating10 . This means:

(Δλ1)T = - (Δλ1)ε (6)
(Δλ1 )T = - (Δλ1 )ε (6)

wobei (Δλ1)T die temperaturinduzierte intrinsische Bragg-Wellenänderung darstellt und (Δλ1)ε die Bragg-Wellenlängenverschiebung infolge der differen­tiellen thermischen Ausdehnung des Druck- und Referenzkörpers ist.where (Δλ1 )T represents the temperature-induced intrinsic Bragg wave change and (Δλ1 )ε is the Bragg wavelength shift due to the differential thermal expansion of the pressure and reference body.

Um dies zu erreichen, muss somit folgende Bedingung erfüllt sein:
To achieve this, the following condition must be met:

α2 L' - α1(L'+ l1) + αfl1= A (7)
α2 L '- α1 (L' + l1 ) + αf l1 = A (7)

wobei L" die Länge des ersten Segmentes41 und A eine von den Materialparametern der Faser abhängige Konstante ist.where L "is the length of the first segment41 and A is a constant dependent on the material parameters of the fiber.

Das zweite Bragg-Gitter11 ist auf dieselbe Art und Weise temperaturkom­pensiert. Hierfür ist es zwischen zwei, ein Trägerpaar bildenden Trägern43,44 gehalten, wobei die Träger43,44 auf dem Referenzkörper4, vorzugsweise auf demselben Segment, angebracht sind. Die zwei Träger43,44 weisen unter­schiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten auf, deren Werte vorzugsweise den Werten der zwei Segmente41,42 des Referenzkörpers4 entsprechen. Für eine vollständige Temperaturkompensation gilt hier die Beziehung:
The second Bragg grating11 is temperature compensated in the same way. For this purpose, it is held between two carriers43 ,44 forming a pair of carriers, the carriers43 ,44 being attached to the reference body4 , preferably on the same segment. The two carriers43 ,44 have different thermal expansion coefficients, the values of which preferably correspond to the values of the two segments41 ,42 of the reference body4 . The following applies to complete temperature compensation:

α2d2 - α1(d2+ l2) + αfl2 = A (8)
α2 d2 - α1 (d2 + l2 ) + αf l2 = A (8)

wobei d2 die Länge des Trägers44 und l2 die Länge des eingespannten Faserabschnittes mit dem zweiten Bragg-Gitter11 ist.where d2 is the length of the carrier44 and l2 is the length of the clamped fiber section with the second Bragg grating11 .

Die Verschiebung der Bragg-Wellenlängen setzt sich nunmehr aus folgenden Gliedern zusammen:
The shift in the Bragg wavelengths now consists of the following terms:

Δλ1 = a Δp + c ΔH2 (9)
Δλ1 = a Δp + c ΔH2 (9)

Δλ2 = c ΔH2 (10).Δλ2 = c ΔH2 (10).

Der Druck lässt sich wie im ersten Beispiel berechnen. In diesem Fall erhält man jedoch auch eine Angabe zur Gaskonzentration, welche wie folgt bestimmt ist:
The pressure can be calculated as in the first example. In this case, however, you also get an indication of the gas concentration, which is determined as follows:

ΔH2 = (1/c) Δλ2 (11).ΔH2 = (1 / c) Δλ2 (11).

In hier nicht dargestellten Varianten dieses Ausführungsbeispiels sind die Trä­ger43,44 des zweiten Bragg-Gitters11 an anderen Stellen des Transducers befestigt. In diesem Fall muss Gleichung (8) angepasst werden. Die erhaltenen Resultate sind jedoch dieselben.In variants of this embodiment, not shown here, the carriers43 ,44 of the second Bragg grating11 are fastened at other locations of the transducer. In this case, equation (8) has to be adapted. However, the results obtained are the same.

InFig. 3 ist ein drittes Ausführungsbeispiel dargestellt, welches eine unabhän­gige Messung von Druck, Temperatur und Gasbelastung erlaubt. Dieser Druck­sensor weist eine optische Faser1 mit drei Faser-Bragg-Gittern10,11,12 mit vorzugsweise unterschiedlichen Bragg-Wellenlängen auf. Das erste und zweite Bragg-Gitter10,11, das heisst das Druck- und das Temperaturgitter, sind wie im Beispiel gemässFig. 2 jeweils zwischen Trägerpaaren angeordnet und von diesen gehalten. Das dritte Bragg-Gitter12, das Kompensationsgitter, ist ebenfalls von einem Trägerpaar gehalten, wobei ein erster Träger dieses Paares mit dem Druckkörper3 und ein zweiter Träger mit dem Referenzkörper4 verbunden ist. Im hier dargestellten Beispiel ist der erste Träger durch die Druckplatte30 gebildet und der zweite Träger ist ein Flansch oder eine Endplatte45 einer Verlängerung46 des Referenzzylinders, wobei der Referenzzylinder in der Verlängerung46 ein Fenster zur Aufnahme der End­platte30 des Druckkörpers3 aufweist. Die Verlängerung besteht vorzugsweise aus einem Material, dessen Wärmeausdehnungskoeffizienten vernachlässigbar klein ist, beispielsweise aus Invar.InFig. 3, a third embodiment is shown, which allows an independent measurement of pressure, temperature and gas load. This pressure sensor has an optical fiber1 with three fiber Bragg gratings10 ,11 ,12 with preferably different Bragg wavelengths. The first and second Bragg grids10 ,11 , that is to say the pressure and temperature grids, are each arranged between carrier pairs and held by these, as in the example according toFIG. 2. The third Bragg grating12 , the compensation grating, is also held by a pair of supports, a first support of this pair being connected to the pressure body3 and a second support being connected to the reference body4 . In the example shown here, the first carrier is formed by the pressure plate30 and the second carrier is a flange or an end plate45 of an extension46 of the reference cylinder, the reference cylinder in the extension46 having a window for receiving the end plate30 of the pressure body3 . The extension preferably consists of a material whose coefficient of thermal expansion is negligibly small, for example Invar.

Die Längen der Träger beziehungsweise der Segmente der Druckkörper sind in diesem Beispiel wie folgt bemessen:
Das erste Faser-Bragg-Gitter10 ist gemäss Gleichung (7) vollständig tempera­turkompensiert. Das zweite und dritte Faser-Bragg-Gitter11,12 weisen vorzugsweise dieselbe Temperaturabhängigkeit auf. Für eine vernachlässigbare thermische Ausdehnung der Verlängerung46 des Referenzzylinders4 entspricht die Temperaturabhängigkeit des dritten Bragg-Gitters12 gerade dem doppelten Wert einer freien Faser. Für das zweite Bragg-Gitter11 erreicht man dies durch entsprechende Wahl von Länge und Ausdehnungskoeffizienten der Träger. Dies wird erreicht durch
In this example, the lengths of the supports or segments of the pressure elements are dimensioned as follows:
The first fiber Bragg grating10 is completely temperature compensated according to equation (7). The second and third fiber Bragg grids11 ,12 preferably have the same temperature dependency. For a negligible thermal expansion of the extension46 of the reference cylinder4 , the temperature dependence of the third Bragg grating12 corresponds exactly to twice the value of a free fiber. For the second Bragg grating11 , this is achieved by appropriately choosing the length and expansion coefficient of the beams. This is achieved through

(Δλ2)T= (Δλ2)ε (12)
(Δλ2nd)T= (Δλ2nd)ε (12)

wodurch für das zweite Bragg-Gitter gilt
which applies to the second Bragg grating

α2d2 - α1(d2 + l2) + αfl2 = -A (13)α2 d2 - α1 (d2 + l2 ) + αf l2 = -A (13)

Ferner weist das dritte Bragg-Gitter12 durch seine Halterung dieselbe, jedoch entgegengesetzt gerichtete Druckabhängigkeit auf wie das erste Bragg-Gitter10.Furthermore, the third Bragg grating12 has the same, but oppositely directed pressure dependency as the first Bragg grating10 due to its mounting.

Die Bragg-Wellenlängen der drei Bragg-Gitter ändern sich deshalb wie folgt:
The Bragg wavelengths of the three Bragg gratings therefore change as follows:

Δλ1 = a Δp + c ΔH2 (14)
Δλ1 = a Δp + c ΔH2 (14)

Δλ2 = 2b ΔT + c ΔH2 (15)
Δλ2 = 2b ΔT + c ΔH2 (15)

Δλ3 = - a Δp + 2b ΔT + c ΔH2 (16)
Δλ3 = - a Δp + 2b ΔT + c ΔH2 (16)

woraus folgt:
From which follows:

Δp = (1/a) (Δλ2 - Δλ3) (17)
Δp = (1 / a) (Δλ2 - Δλ3 ) (17)

ΔT = (1/b) [Δλ2- (1/2) (Δλ1 + Δλ3)] (18)
ΔT = (1 / b) [Δλ2 - (1/2) (Δλ1 + Δλ3 )] (18)

ΔH2 = (1/c) [(Δλ1 + Δλ3 - Δλ2)] (19).ΔH2 = (1 / c) [(Δλ1 + Δλ3 - Δλ2 )] (19).

Falls die thermische Ausdehnung der Verlängerung46 nicht vernachlässigbar ist, so ist die Temperaturabhängigkeit des dritten Bragg-Gitters12 grösser als der doppelte Wert einer freien Faser. Der Parameter A in Gleichung (13) ist dann durch einen entsprechend grösseren Wert B zu ersetzen.If the thermal expansion of the extension46 is not negligible, the temperature dependence of the third Bragg grating12 is greater than twice the value of a free fiber. The parameter A in equation (13) is then to be replaced by a correspondingly larger value B.

Auch im Falle einer nicht vollständigen Temperaturkompensation für das erste Bragg-Gitter10 lassen sich Druck, Temperatur und Gasbelastung eruieren. Ist nämlich die Änderung der Bragg-Wellenlängen wie folgt:
Even in the case of incomplete temperature compensation for the first Bragg grating10 , pressure, temperature and gas load can be determined. This is because the change in Bragg wavelengths is as follows:

Δλ1 = a Δp + δb ΔT + c ΔH2 (20)
Δλ1 = a Δp + δb ΔT + c ΔH2 (20)

Δλ2 = d ΔT + c ΔH2 (21)
Δλ2 = d ΔT + c ΔH2 (21)

Δλ3 = -a Δp + (2b - δb)ΔT + c ΔH2 (22)
Δλ3 = -a Δp + (2b - δb) ΔT + c ΔH2 (22)

wobei δb der Fehler in der Temperaturkompensation und d ≠ 2b ist, ergibt sich daraus
where δb is the error in temperature compensation and d ≠ 2b is the result

Δp = (1/a) [Δλ1 - Δλ2 - (Δλ1 + Δλ3 - 2Δλ2)(δb - d)/(2(b - d))] (23)
Δp = (1 / a) [Δλ1 - Δλ2 - (Δλ1 + Δλ3 - 2Δλ2 ) (δb - d) / (2 (b - d))] (23)

ΔT = (Δλ1 + Δλ3 - 2Δλ2)/(2(b - d)) (24)
ΔT = (Δλ1 + Δλ3 - 2Δλ2 ) / (2 (b - d)) (24)

ΔH2 = (1/c) [Δλ2 - (Δλ1 + Δλ3 - 2Δλ2)(d/2(b - d))] (25).ΔH2 = (1 / c) [Δλ2 - (Δλ1 + Δλ3 - 2Δλ2 ) (d / 2 (b - d))] (25).

InFig. 4 ist eine einfachere Variante des dritten Ausführungsbeispiels dar­gestellt. In dieser Variante hängt die Änderung der Bragg-Wellenlänge des zweiten Bragg-Gitters11 vorallem von der thermischen Ausdehnung des zweiten Segmentes42 des Referenzkörpers4 ab. Wie im zweiten Ausführungsbeispiel lässt sich auch hier das zweite Bragg-Gitter an anderen Stellen im Transducer lagern.InFig. 4, a simpler variant of the third embodiment is provided. In this variant, the change in the Bragg wavelength of the second Bragg grating11 depends primarily on the thermal expansion of the second segment42 of the reference body4 . As in the second exemplary embodiment, the second Bragg grating can also be stored at other locations in the transducer.

Die in denFig. 5 und 6 dargestellten Ausführungsformen mit drei Faser-Bragg-Gittern und zwei Kammern sind, im Falle, dass nur eine Kammer druck­belastet ist, zur Messung eines Absolutdruckes eines Mediums und, im Falle, dass beide Kammern mit Medien gefüllt sind, zur Messung von Differenzdrücken der Medien geeignet. Der Aufbau des Transducers und die Halterung der Bragg-Gitter gleicht den oben beschriebenen Ausführungsformen für ein Medium. Das Transducergehäuse20 weist nun jedoch eine erste und eine zweite Einlass­öffnung23,23' für ein erstes beziehungsweise zweites Medium M', M" auf. Die optische Faser1 ist vom zweiten Medium M" umgeben, wobei die Faser vor­zugsweise von einer nicht dargestellten Kapillare schützend umgeben ist.The embodiments shown inFIGS. 5 and 6 with three fiber Bragg gratings and two chambers are, in the event that only one chamber is pressurized, for measuring an absolute pressure of a medium and, in the event that both chambers are filled with media are suitable for measuring differential pressures of the media. The structure of the transducer and the mounting of the Bragg grating are similar to the above-described embodiments for a medium. However, the transducer housing20 now has a first and a second inlet opening23 ,23 'for a first and a second medium M', M ". The optical fiber1 is surrounded by the second medium M", the fiber preferably not being one shown capillary is surrounded protectively.

In dem inFig. 5 dargestellten vierten Ausführungsbeipiel ist das zweite Faser-Bragg-Gitter11, das Temperaturgitter, zwischen dem ersten und dem dritten Bragg-Gitter10,12 gehalten, wobei es vorzugsweise ohne mechanische Vor­spannung in einem Trägerpaar gelagert ist und wobei es seine Träger40,43 mit den ersten und dritten Bragg-Gittern10,12 teilt. Die Änderung der Bragg-Wellenlänge λ2 des Temperaturgitters ist wie folgt:
In the fourth exemplary embodiment shown inFIG. 5, the second fiber Bragg grating11 , the temperature grating, is held between the first and the third Bragg grating10 ,12 , wherein it is preferably mounted in a pair of supports without mechanical stress and wherein it shares its beams40 ,43 with the first and third Bragg gratings10 ,12 . The change in the Bragg wavelength λ2 of the temperature grating is as follows:

Δλ2 = a' Δp2 + b ΔT + c ΔH2 (26)
Δλ2 = a 'Δp2 + b ΔT + c ΔH2 (26)

wobei a' die Sensitivität des zweiten Bragg-Gitters12 auf eine Druckänderung Δp2 des zweiten Mediums M" beschreibt. Die Bragg-Wellenlänge λ3 des dritten Gitters12, des Kompensationsgitters, ändert sich wie folgt:
where a 'describes the sensitivity of the second Bragg grating12 to a pressure change Δp2 of the second medium M ". The Bragg wavelength λ3 of the third grating12 , the compensation grating, changes as follows:

Δλ3 = a' Δp2 + b' ΔT + c ΔH2 (27).Δλ3 = a 'Δp2 + b' ΔT + c ΔH2 (27).

Die Temperaturempfindlichkeit b' des Kompensationsgitters ist aufgrund der thermischen Expansion des Referenzkörpers4 grösser als die intrinsische Empfindlichkeit b eines freien Fasergitters. Durch geeignete Wahl des Materials für den Referenzkörper4 lässt sich erreichen, dass b' sich um einen vordefinierten Faktor von b unterscheidet, insbesondere lässt sich erreichen, dass er mindestens annähernd den doppelten Wert von b aufweist. Beispielsweise, indem der Referenzkörper aus Stahl gefertigt ist. Die Temperaturänderung ergibt sich nun aus der Differenz der Gleichungen (26) und (27).The temperature sensitivity b 'of the compensation grid is greater than the intrinsic sensitivity b of a free fiber grid due to the thermal expansion of the reference body4 . Through a suitable choice of the material for the reference body4 it can be achieved that b 'differs from b by a predefined factor, in particular it can be achieved that it has at least approximately twice the value of b. For example, by making the reference body from steel. The temperature change now results from the difference between equations (26) and (27).

Für die Bragg-Wellenlängenverschiebung des ersten Gitters10 gilt:
The following applies to the Bragg wavelength shift of the first grating10 :

Δλ1 = a"(p2- p1) + a' Δp2 + b'ΔT + c ΔH2 (27a).Δλ1 = a "(p2 - p1 ) + a 'Δp2 + b'ΔT + c ΔH2 (27a).

Hier ist angenommen, dass das feingespannte Fesersegment mit dem ersten Gitter die gleiche Länge l1, aufweist wie das Segment des dritten Gitters12. Beide Gitter haben dann den gleichen Temperaturkoeffizienten b'. Der Differenzdruck (p2 - p1) ergibt sich dann aus der Differenz der Gleichungen 27a und 27.Here it is assumed that the finely tensioned fixed segment with the first grating has the same length l1 as the segment of the third grating12 . Both grids then have the same temperature coefficient b '. The differential pressure (p2 - p1 ) then results from the difference between equations 27a and 27.

Die inFig. 6 dargestellte fünfte Ausführungsform unterscheidet sich vom vor­herigen Beispiel im wesentlichen dadurch, dass der Referenzzylinder4 zwei Segmente41,42 mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf­weist, wobei das zweite Bragg-Gitter11, das Temperaturgitter, auf einem Segment, vorzugsweise auf demjenigen mit dem grösseren Ausdehnungskoeffi­zienten, gehalten ist und einen Träger mit dem ersten Bragg-Gitter10 teilt. Dadurch ergibt sich für die Änderungen der Bragg-Wellenlängen:
The fifth embodiment shown inFIG. 6 differs from the previous example essentially in that the reference cylinder4 has two segments41 ,42 with different coefficients of thermal expansion, the second Bragg grid11 , the temperature grid, preferably on one segment the one with the larger coefficient of expansion is held and shares a carrier with the first Bragg grating10 . This results in the changes in the Bragg wavelengths:

Δλ1 = a"(p2- p1) + a' Δp2+ c ΔH2 (28)
Δλ1 = a "(p2 - p1 ) + a 'Δp2 + c ΔH2 (28)

Δλ2 = a' Δp2+ b'ΔT + c ΔH2 (29)
Δλ2 = a 'Δp2 + b'ΔT + c ΔH2 (29)

Δλ3 = a' Δp2 + b ΔT + c ΔH2 (30)Δλ3 = a 'Δp2 + b ΔT + c ΔH2 (30)

In den unveröffentlichten Patentanmeldungen PCT/CH99/00065 und DE 198 60 409.2 sind noch weitere Ausführungsbeispiele beschrieben. Das erfindungsgemässe Prinzip lässt sich auch auf diese Ausführungsbeispiele anwenden, indem jeweils eine feste Relation zwischen dem Temperaturverhalten zweier Faser-Bragg-Gitter durch geeignete Wahl bezüglich des thermischen Verhaltens des Druck- und Referenzkörpers hergestellt wird und die Faser-Bragg-Gitter derart im Transducer angeordnet sind, dass sie mindestens annähernd derselben Beeinflussung durch Gase unterliegen. Dadurch lassen sich verschiedenartig aufgebaute faseroptische Drucksensoren schaffen, welche eine gasunabhängige Messung eines Druckes und auch einer Temperatur erlauben.In unpublished patent applications PCT / CH99 / 00065 andDE 198 60 409.2 describes further exemplary embodiments. TheThe principle according to the invention can also be applied to these exemplary embodimentsapply each by a fixed relation between the temperature behaviortwo fiber Bragg gratings by suitable choice regarding the thermalBehavior of the pressure and reference body is produced and the fiberBragg gratings are arranged in the transducer in such a way that they are at leastare subject to approximately the same influence by gases. Let it throughdifferently constructed fiber optic pressure sensors create whicha gas-independent measurement of a pressure and also a temperatureallow. 

BezugszeichenlisteReference list

11

optische Faser
optical fiber

1010th

erstes Faser-Bragg-Gitter (für Druckmessung)
first fiber Bragg grating (for pressure measurement)

1111

zweites Faser-Bragg-Gitter (für Temperaturmessung)
second fiber Bragg grating (for temperature measurement)

1212th

drittes Faser-Bragg-Gitter (zur Kompensationsmessung)
third fiber Bragg grating (for compensation measurement)

22nd

Transducer
Transducer

2020th

Transducergehäuse
Transducer housing

2121

Hohlraum
cavity

2222

Einlassöffnung
Inlet opening

2323

erste Einlassöffnung
first inlet opening

2323

' zweite Einlassöffnung
'' second inlet opening

33rd

Druckkörper
Pressure hull

3030th

Druckplatte
printing plate

44th

Referenzkörper
Reference body

4040

Referenzträger
Reference carrier

4141

erstes Segment
first segment

4242

zweites Segment
second segment

4343

Träger
carrier

4444

Träger
carrier

4545

Endplatte
End plate

4646

Verlängerungsstück
Extension piece

55

Faserhalterung
Fiber holder

66

Faserdurchführung
M Medium
M' erstes Medium
M" zweites Medium
p1
Fiber feedthrough
M medium
M 'first medium
M "second medium
p1

Druck des ersten Mediums
p2
Print the first medium
p2

Druck des zweiten Mediums
Printing the second medium

Claims (14)

Translated fromGerman
1. Faseroptischer Drucksensor mit einer optischen Faser (1), welche min­destens zwei Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) aufweist, und einem Drucküber­tragungselement (2), mit einem Druckkörper (3) und einem Referenzkörper (4), mit welchen die optische Faser (1) verbunden ist, wobei das Drucküber­tragungselement (2) einen Druck eines Mediums (M, M') in eine longitudi­nale Dehnung oder Kompression von mindestens einem, eines der Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) enthaltenden Abschnitts der optischen Faser (1) umsetzt,dadurch gekennzeichnet, dass die Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) so angeordnet sind, dass sie eine mindestens annähernd gleiche Gas-Sensitivität aufweisen und dass ther­misch induzierte Verschiebungen der Bragg-Wellenlänge von mindestens zwei der Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) eine vordefinierte Relation zueinan­der aufweisen.1. Fiber optic pressure sensor with an optical fiber (1 ), which has at least two fiber Bragg gratings (10 ,11 ,12 ), and a pressure transmission element (2 ), with a pressure body (3 ) and a reference body (4 ) , with which the optical fiber (1 ) is connected, wherein the pressure transmission element (2 ) a pressure of a medium (M, M ') in a longitudinal expansion or compression of at least one, one of the fiber Bragg grating (10 ,11 ,12 ) containing section of the optical fiber (1 ),characterized in that the fiber Bragg gratings (10 ,11 ,12 ) are arranged such that they have at least approximately the same gas sensitivity and that thermally induced Shifts in the Bragg wavelength of at least two of the fiber Bragg gratings (10 ,11 ,12 ) have a predefined relation to one another.2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Druck­übertragungselement (2) einen Hohlraum (21) aufweist, in welchem die Fa­ser-Bragg-Gitter (10,11,12) angeordnet sind.2. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the pressure transmission element (2 ) has a cavity (21 ) in which the Fa-Bragg grating (10 ,11 ,12 ) are arranged.3. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck­körper (3) und der Referenzkörper (4) unterschiedliche lineare Wärme­ausdehnungskoeffizienten aufweisen und dass ihre Längen so bemessen sind, dass eine durch eine thermisch induzierte Längenänderung relativ zu­einander verursachte Veränderung der Bragg-Wellenlänge mindestens eines Bragg-Gitters (10,11,12) in einem vordefinierten Verhältnis zur ther­misch induzierten intrinsischen Änderung der Bragg-Wellenlänge dieses Faser-Bragg-Gitters (10,11,12) steht.3. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the pressure body (3 ) and the reference body (4 ) have different linear coefficients of thermal expansion and that their lengths are dimensioned such that a change in Bragg caused by a thermally induced change in length relative to each other -Wavelength of at least one Bragg grating (10 ,11 ,12 ) in a predefined ratio to the thermally induced intrinsic change in the Bragg wavelength of this fiber Bragg grating (10 ,11 ,12 ).4. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck- und der Referenzkörper (3,4,) Träger (30,40,43,44) aufwei­sen und dass jeweils ein einziges Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) zwischen zwei Trägern (30,40,41,42,43,44) eines Trägerpaares angeordnet ist, wobei die Träger (30,40,43,44) eines ein Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) umschlie­ssenden Trägerpaars gleiche oder unterschiedliche Wärmeausdehnungs­koeffizienten aufweisen.4. Pressure sensor according to one of claims 1 or 3, characterized in that the pressure and the reference body (3 ,4 ,) support (30 ,40 ,43 ,44 ) sen and that in each case a single fiber Bragg grating (10 ,11 ,12 ) is arranged between two carriers (30 ,40 ,41 ,42 ,43 ,44 ) of a pair of carriers, the carriers (30 ,40 ,43 ,44 ) of a fiber Bragg grating (10 ,11 ,12 ) enclosing carrier pairs have the same or different coefficients of thermal expansion.5. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Bragg-Wellenlängen von mindestens zwei der Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) die­selbe Temperaturabhängigkeit aufweisen.5. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the Bragg wavelengths of at least two of the fiber Bragg gratings (10 ,11 ,12 ) have the same temperature dependence.6. Drucksensor nach den Ansprüchen 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Längen des Druck- und Referenzkörpers (3,4) derart bemessen sind, dass eine thermisch induzierte Längenänderung einer thermischen Aus­dehnung der optischen Faser (1) im freien Zustand entspricht.6. Pressure sensor according to claims 3 and 5, characterized in that the lengths of the pressure and reference body (3 ,4 ) are dimensioned such that a thermally induced change in length corresponds to a thermal expansion of the optical fiber (1 ) in the free state.7. Drucksensor nach einem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass min­destens zwei der Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) temperaturkompensiert ge­haltert sind.7. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that at least two of the fiber Bragg gratings (10 ,11 ,12 ) are temperature-compensated GE.8. Drucksensor nach den Ansprüchen 4 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Faser-Bragg-Gitter (10) von einem ersten Trägerpaar (30,40,41,42) und ein zweites Faser-Bragg-Gitter (11) von einem zweiten Trägerpaar (43,44) gehalten ist, wobei die Längen der Träger (30,40,41,42,43,44) derart bemessen sind, dass eine thermische Aus­dehnung zwischen den Trägern (30,40,43,44) einer thermisch induzierten intrinsischen Änderung der Bragg-Wellenlänge der optischen Faser (1) ent­gegenwirkt.8. Pressure sensor according to claims 4 and 7, characterized in that a first fiber Bragg grating (10 ) from a first pair of supports (30 ,40 ,41 ,42 ) and a second fiber Bragg grating (11 ) from one second pair of supports (43 ,44 ) is held, the lengths of the supports (30 ,40 ,41 ,42 ,43 ,44 ) being dimensioned such that a thermal expansion between the supports (30 ,40 ,43 ,44 ) one counteracts thermally induced intrinsic change in the Bragg wavelength of the optical fiber (1 ).9. Drucksensor nach den Ansprüchen 4 und 8, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Trägerpaar (43,44) auf dem Referenzylinder (4) angeordnet ist.9. Pressure sensor according to claims 4 and 8, characterized in that the second pair of carriers (43 ,44 ) is arranged on the reference cylinder (4 ).10. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
  • a) dass drei Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) vorhanden sind, welche eine mindestens annähernd gleiche Gas-Sensitivität aufweisen, wobei
  • b) ein erstes Faser-Bragg-Gitter (10) drucksensitiv und temperaturkompen­siert gehalten ist,
  • c) ein zweites Faser-Bragg-Gitter (11) eine thermisch induzierte Änderung der Bragg-Wellenlänge aufweist und druckunsensitiv gehalten ist und
  • d) ein drittes Faser-Bragg-Gitter (12) drucksensitiv ist, eine entgegengesetzt gerichtete druckinduzierte Änderung der Bragg-Wellenlänge aufweist als das erste Faser-Bragg-Gitter (10) und dieselbe thermisch induzierte Ände­rung der Bragg-Wellenlänge aufweist wie das zweite Faser-Bragg-Gitter (11).
10. Pressure sensor according to claim 1, characterized in
  • a) that three fiber Bragg gratings (10 ,11 ,12 ) are present which have at least approximately the same gas sensitivity, wherein
  • b) a first fiber Bragg grating (10 ) is kept pressure-sensitive and temperature-compensated,
  • c) a second fiber Bragg grating (11 ) has a thermally induced change in the Bragg wavelength and is kept pressure-insensitive and
  • d) a third fiber Bragg grating (12 ) is pressure sensitive, has an oppositely directed pressure-induced change in the Bragg wavelength than the first fiber Bragg grating (10 ) and has the same thermally induced change in the Bragg wavelength as the second Fiber Bragg Grid (11 ).
11. Drucksensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die ther­misch induzierte Änderung der Bragg-Wellenlänge des zweiten und dritten Faser-Bragg-Gitters (11,12) den zweifachen Wert einer thermisch induzier­ten intrinsischen Änderung der Bragg-Wellenlänge entspricht.11. Pressure sensor according to claim 10, characterized in that the thermally induced change in the Bragg wavelength of the second and third fiber Bragg grating (11 ,12 ) corresponds to twice the value of a thermally induced intrinsic change in the Bragg wavelength.12. Drucksensor nach den Ansprüchen 4 und 11, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Faser-Bragg-Gitter (12) von einem dritten Trägerpaar gehalten ist, wobei ein erster Träger des dritten Trägerpaares mit einem zweiten Träger (30) eines ersten Trägerpaares des ersten Faser-Bragg-Gitters (10) identisch ist und am Druckzylinder (3) angeordnet ist und ein zweiter Träger (45) des dritten Trägerpaares am Referenzzylinder (4) angeordnet ist.12. Pressure sensor according to claims 4 and 11, characterized in that the third fiber Bragg grating (12 ) is held by a third pair of carriers, a first carrier of the third pair of carriers with a second carrier (30 ) of a first pair of carriers of the first Fiber Bragg grating (10 ) is identical and is arranged on the pressure cylinder (3 ) and a second carrier (45 ) of the third pair of carriers is arranged on the reference cylinder (4 ).13. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine ther­misch induzierte Verschiebung der Bragg-Wellenlänge eines ersten Faser-Bragg-Gitters (10) einem Vielfachen der thermisch induzierten Verschie­bung der Bragg-Wellenlänge eines zweiten Faser-Bragg-Gitters (11) ent­spricht.13. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that a thermally induced displacement of the Bragg wavelength of a first fiber Bragg grating (10 ) is a multiple of the thermally induced displacement of the Bragg wavelength of a second fiber Bragg grating (11th ) corresponds.14. Drucksensor nach den Ansprüchen 3 und 13, dadurch gekennzeichnet,
  • a) dass drei Faser-Bragg-Gitter (10,11,12) vorhanden sind, welche eine mindestens annähernd gleiche Gas-Sensitivität aufweisen, wobei
  • b) ein erstes Faser-Bragg-Gitter (10) seine Bragg-Wellenlänge drucksensitiv in Abhängigkeit eines ersten und eines zweiten Drucks ändert und tempe­raturkompensiert gehalten ist,
  • c) ein zweites Faser-Bragg-Gitter (11) seine Bragg-Wellenlänge druck­sensitiv in Abhängigkeit des zweiten Drucks ändert und eine thermisch in­duzierte Änderung der Bragg-Wellenlänge aufweist und
  • d) ein drittes Faser-Bragg-Gitter (12) seine Bragg-Wellenlänge druck­sensitiv in derselben Abhängigkeit des zweiten Drucks wie das zweite Faser-Bragg-Gitter (11) ändert und eine thermisch induzierte Änderung der Bragg-Wellenlänge aufweist, welche sich um einen vordefinierten Faktor von der thermisch induzierten Änderung der Bragg-Wellenlänge des zweiten Faser-Bragg-Gitters (11) unterscheidet.
14. Pressure sensor according to claims 3 and 13, characterized in
  • a) that three fiber Bragg gratings (10 ,11 ,12 ) are present which have at least approximately the same gas sensitivity, wherein
  • b) a first fiber Bragg grating (10 ) changes its Bragg wavelength in a pressure-sensitive manner as a function of a first and a second pressure and is kept temperature-compensated,
  • c) a second fiber Bragg grating (11 ) changes its Bragg wavelength in a pressure-sensitive manner as a function of the second pressure and has a thermally induced change in the Bragg wavelength and
  • d) a third fiber Bragg grating (12 ) changes its Bragg wavelength pressure-sensitive in the same dependence on the second pressure as the second fiber Bragg grating (11 ) and has a thermally induced change in the Bragg wavelength, which is around distinguishes a predefined factor from the thermally induced change in the Bragg wavelength of the second fiber Bragg grating (11 ).
DE19991389781999-08-191999-08-19Fibre optic pressure sensor has fibre-Bragg grids with approximately equal gas sensitivity; thermally induced Bragg wavelength displacements of at least 2 grids have predefined relationshipWithdrawnDE19938978A1 (en)

Priority Applications (3)

Application NumberPriority DateFiling DateTitle
DE1999138978DE19938978A1 (en)1999-08-191999-08-19Fibre optic pressure sensor has fibre-Bragg grids with approximately equal gas sensitivity; thermally induced Bragg wavelength displacements of at least 2 grids have predefined relationship
AU53858/00AAU5385800A (en)1999-08-192000-07-05Fiber optic pressure sensor
PCT/CH2000/000370WO2001014843A1 (en)1999-08-192000-07-05Fiber optic pressure sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application NumberPriority DateFiling DateTitle
DE1999138978DE19938978A1 (en)1999-08-191999-08-19Fibre optic pressure sensor has fibre-Bragg grids with approximately equal gas sensitivity; thermally induced Bragg wavelength displacements of at least 2 grids have predefined relationship

Publications (1)

Publication NumberPublication Date
DE19938978A1true DE19938978A1 (en)2001-02-22

Family

ID=7918671

Family Applications (1)

Application NumberTitlePriority DateFiling Date
DE1999138978WithdrawnDE19938978A1 (en)1999-08-191999-08-19Fibre optic pressure sensor has fibre-Bragg grids with approximately equal gas sensitivity; thermally induced Bragg wavelength displacements of at least 2 grids have predefined relationship

Country Status (3)

CountryLink
AU (1)AU5385800A (en)
DE (1)DE19938978A1 (en)
WO (1)WO2001014843A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication numberPriority datePublication dateAssigneeTitle
DE10140482A1 (en)*2001-08-172003-03-13Siemens Ag Method and device for disturbance variable compensation of an optical sensor

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication numberPriority datePublication dateAssigneeTitle
BRPI0403786A (en)2004-09-092006-05-02Petroleo Brasileiro Sa fiber optic differential pressure transducer
CN111609962B (en)*2020-06-032021-03-23华北电力大学 A fiber grating pressure sensor with temperature self-compensation capability

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication numberPriority datePublication dateAssigneeTitle
DE19648403C1 (en)*1996-11-221998-04-02Thomas Dr Ing NagelDirect pressure and-or tensional forces detector
US5767411A (en)*1996-12-311998-06-16Cidra CorporationApparatus for enhancing strain in intrinsic fiber optic sensors and packaging same for harsh environments
DE19754910A1 (en)*1997-12-101999-07-01Geoforschungszentrum Potsdam Wavelength detection on fiber Bragg grating sensors
DE19808222A1 (en)*1998-02-271999-09-02Abb Research Ltd Fiber Bragg grating pressure sensor with integrable fiber Bragg grating temperature sensor

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication numberPriority datePublication dateAssigneeTitle
NO305004B1 (en)*1997-06-301999-03-15Optoplan As Pressure Sensor
US6016702A (en)*1997-09-082000-01-25Cidra CorporationHigh sensitivity fiber optic pressure sensor for use in harsh environments

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication numberPriority datePublication dateAssigneeTitle
DE19648403C1 (en)*1996-11-221998-04-02Thomas Dr Ing NagelDirect pressure and-or tensional forces detector
US5767411A (en)*1996-12-311998-06-16Cidra CorporationApparatus for enhancing strain in intrinsic fiber optic sensors and packaging same for harsh environments
DE19754910A1 (en)*1997-12-101999-07-01Geoforschungszentrum Potsdam Wavelength detection on fiber Bragg grating sensors
DE19808222A1 (en)*1998-02-271999-09-02Abb Research Ltd Fiber Bragg grating pressure sensor with integrable fiber Bragg grating temperature sensor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
XU,M.G., et.al.: Optical In-Fibre Grating High Pressure Sensor. In: Electronics Letters, 18th Feb. 1993, Vol.29, No.4, S.398,399*

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication numberPriority datePublication dateAssigneeTitle
DE10140482A1 (en)*2001-08-172003-03-13Siemens Ag Method and device for disturbance variable compensation of an optical sensor
US7064315B2 (en)2001-08-172006-06-20Siemens AktiengesellschaftMethod and device for compensating for interfering variables in an optical sensor
DE10140482B4 (en)*2001-08-172008-11-13Siemens Ag Method and device for disturbance compensation of an optical sensor

Also Published As

Publication numberPublication date
AU5385800A (en)2001-03-19
WO2001014843A1 (en)2001-03-01

Similar Documents

PublicationPublication DateTitle
EP1058822B1 (en)Pressure sensor with fibre-integrated bragg grating, comprising an integrated temperature sensor with fibre-integrated bragg grating
DE69521971T2 (en) Optical microsystem of the rosette tension gauge type with dielectric conductors for measuring the longitudinal tension in a planar structure
WO2000039553A1 (en)Fibre bragg-grating sensor
DE2237535A1 (en) EXTENSION METER PRESSURE TRANSDUCER
EP0190270B1 (en)Transducer for the electrical measurement of forces, torques, accelerations, pressures and mechanical stresses
DE69830254T2 (en) SENSOR BANDS FOR MEASURING VOLTAGE AND / OR TEMPERATURE AND THEIR MANUFACTURE
DE102005030753B4 (en) Optical strain gauge
DE3432989C2 (en)
DE69819193T2 (en) ELASTIC STRIP AND ITS APPLICATIONS
EP0342192B1 (en)Optical force-measuring sensor
DE19648403C1 (en)Direct pressure and-or tensional forces detector
DE60214852T2 (en) DIFFERENTIAL MEASURING SYSTEM BASED ON THE USE OF PAIRS OF BRAGG GRIDS
EP3822577A1 (en)Micromechanical strain measuring system
DE19922102A1 (en)Fibre Bragg grating sensor device for detecting physical dimensions incorporates a light waveguide with fibre Bragg grating fastened under pre-tension between two locking elements
WO2001077623A1 (en)Fibre laser sensor
DE69627970T2 (en) Pressure sensor with rectangular layers and vertical transducer
DE3621795A1 (en) DIFFERENTIAL PRESSURE
EP1179727A1 (en)Fiber-optic bragg sensor for measurement of pressure and density
DE19938978A1 (en)Fibre optic pressure sensor has fibre-Bragg grids with approximately equal gas sensitivity; thermally induced Bragg wavelength displacements of at least 2 grids have predefined relationship
DE4444831A1 (en)Pressure sensor for i.c. engine combustion pressure
DE2211609A1 (en) PRESSURE TRANSDUCER
DE102007015476A1 (en)Pressure transfer medium comprising mixture of liquid and solid, e.g. oil and ceramic particles, useful in pressure sensors for providing reliable results at varying temperatures
DE2639859A1 (en) HOUSING FOR A PRESSURE MEASURING DEVICE FILLED WITH LIQUID
DE2837945C2 (en) Strain transducer
EP0383974A1 (en)Plate shaped sensor element as well as pressure, force or acceleration sensor provided with it

Legal Events

DateCodeTitleDescription
OM8Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8128New person/name/address of the agent

Representative=s name:ZIMMERMANN & PARTNER, 80331 MUENCHEN

8128New person/name/address of the agent

Representative=s name:HASELTINE LAKE PARTNERS GBR, 81669 MUENCHEN

8127New person/name/address of the applicant

Owner name:VETCO GRAY CONTROLS LTD., NAILSEA, BRISTOL, GB

8141Disposal/no request for examination

[8]ページ先頭

©2009-2025 Movatter.jp