DieErfindung bezieht sich auf einen Sicherheitsbehälter, insbesondere zum Transport,Lagerung und Abgabe von metallorganischen Substanzen nach dem Oberbegriffdes Patentanspruchs 1.TheThe invention relates to a security container, in particular for transport,Storage and release of organometallic substances according to the preambleof claim 1
MetallorganischeSubstanzen, die zum Beispiel zum Dotieren von Halbleitern dienen,sind hoch reaktiv, zumeist aggressiv und auch giftig. Darüber hinaussind sie empfindlich gegen Verunreinigung und können daher rasch unbrauchbarwerden. Für denTransport, die Lagerung und den Einsatz ist daher erforderlich,derartige Substanzen in geeigneten Behältern so unterzubringen, dasssie nicht ungewollt nach außentreten und umgekehrt keine Verunreinigung erleiden.OrganometallicSubstances that serve for example for doping semiconductors,are highly reactive, mostly aggressive and also toxic. Furthermorethey are sensitive to contamination and can therefore quickly become unusablebecome. For theTransport, storage and use is therefore necessaryto place such substances in suitable containers so thatDo not unintentionally go outsideand vice versa do not suffer contamination.
DasMaterial derartiger Behälterbesteht üblicherweiseaus einer hochwertigen Stahllegierung, und das Innere des Behälters istoberflächenbearbeitet,so dass ein reaktiver Austausch mit dem aufgenommenen Medium nichteintritt. Beim Einsatz wird eine aufgenommene Substanz entwederdadurch aus dem Behälterabgegeben, dass übereinen Leitungsanschluß einGasdruck erzeugt wird, der die Substanz über einen zweiten Leitungsabschnittaustreibt oder reaktives Gas übereinen Leitungsabschnitt oder ein Tauchrohr in den Behälter eingeleitet wird,wonach dann die gasförmigeVerbindung über denanderen Leitungsabschnitt austritt und zur Anwendung gebracht werdenkann. Fürden beschriebenen Betrieb sind Ventile zu betätigen. Es ist bekannt, Ventilein den Leitungsabschnitten anzuordnen. Die Leitungsabschnitte, dasheißtdie Verbindungsleitung zwischen dem Behälter und den Ventilen stelltein Risiko dar, da sie durch Fehlbehandlungen oder Transporteinflüsse verbogenwerden können.Kommt es dabei zu Rissen, besteht keine Absperrmöglichkeit mehr und der toxischeInhalt gelangt in die Atmosphäre.TheMaterial of such containersusually existsmade of a high quality steel alloy, and the inside of the container ismachined surface,so that a reactive exchange with the recorded medium is notentry. When used, a consumed substance eitherthereby out of the containerdelivered that overa line connectionGas pressure is generated, which is the substance via a second line sectionexpels or reactive gas overintroducing a conduit section or dip tube into the vessel,then the gaseousConnection over theother line section emerges and be appliedcan. Forthe described operation valves are to be operated. It is known valvesto arrange in the line sections. The pipe sections, theis calledput the connecting line between the tank and the valvesa risk because they are distorted by mistreatment or transportcan be.If it comes to cracks, there is no more shut-off and the toxicContent gets into the atmosphere.
Aus
Aus
AusUS 2003/0094205 A1 ist ein Sicherheitsbehälter bekannt geworden mit eineroberen Öffnung imBehälter,die ein Innengewinde aufweist zur Aufnahme eines Anschlusses mitAußengewinde,der dichtend auf den Behälteraufgeschraubt wird. Der mit dem Behälter verschraubte Ansatz enthält eine Plattemit einem Durchgang eines Mediums, das in den Behälter eingeführt bzw.aus diesem entnommen wird. Eine Platte enthält Durchgänge, die mit einem entfernbarenAnschlußteilausrichtbar sind, an dem Leitungen zum Einfüllen bzw. zur Abgabe einesMediums angebracht sind.OutUS 2003/0094205 A1 discloses a security container has become known with aupper opening inContainer,which has an internal thread for receiving a connection withExternal thread,the sealing on the containeris screwed on. The bolted to the container approach contains a platewith a passage of a medium introduced into the container oris taken from this. A plate contains passages that come with a removable oneconnectorare aligned, on the lines for filling or for delivering aMedium are attached.
Weiterevergleichbare Sicherheitsbehälter sindin folgenden Druckschriften beschrieben:
DerErfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sicherheitsbehälter, insbesonderezum Transport, zur Lagerung und zur Abgabe von metallorganischenSubstanzen, zu schaffen, der ohne großen Aufwand an unterschiedlicheAbgabebedingungen angepaßtwerden kann.Of theInvention is based on the object, a security container, in particularfor transport, storage and disposal of organometallic substancesSubstances, to create, with little effort to differentAdjusted delivery conditionscan be.
DieseAufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.TheseThe object is solved by the features of claim 1.
Beider Erfindung weist der Deckel mindestens drei achsparallele Sackgewindebohrungenauf. Der Ventilblock hat eine obere und eine untere ebene Fläche undist mit Durchgangsbohrungen versehen, die mit den Sackgewindebohrungenausgerichtet werden können.Ferner ist eine Verbindungsplatte vorgesehen, mit der die Leitungsabschnitteverschweißtsind. Die Verbindungsplatte weist mit Durchgangsbohrungen ausrichtbareLöcherauf. Die Verbindungsplatte kann mit Hilfe von Spannschrauben, diesich durch die Löcherund die Durchgangsbohrungen des Ventilblocks hindurch erstrecken,fest mit dem Deckel verspannt werden. Dabei wird zugleich der Ventilblockam Deckel verspannt. Die zueinander ausrichtbaren Durchflußöffnungenvon Verbindungsplatte, Ventilblock und Deckel werden jeweils mitHilfe geeigneter Dichtringe so abgedichtet, dass eine ausreichendeAbdichtung nach außengeschaffen ist. Hierfürwerden nach einer Ausgestaltung der Erfindung Dichtkanten aufweisendeDichtringe vorgesehen, die aus sehr hartem Material geformt sind.Sie graben sich in die zugeordneten Flächen ein, wenn die Teile mittelsder Spannschrauben fest gegeneinander verspannt werden.atAccording to the invention, the lid has at least three axially parallel blind threaded boreson. The valve block has an upper and a lower flat surface andis provided with through holes, with the blind tapped holescan be aligned.Further, a connection plate is provided, with which the line sectionsweldedare. The connecting plate has alignable with through holesholeson. The connection plate can with the help of clamping screws, thethrough the holesand extending through the through holes of the valve block,firmly clamped to the lid. At the same time the valve block becomesclamped on the lid. The mutually alignable flow openingsof connecting plate, valve block and cover are each withUsing suitable sealing rings so sealed that sufficientSealing to the outsideis created. ThereforBe after one embodiment of the invention sealing edges havingProvided sealing rings, which are formed of very hard material.They dig into the assigned areas, if the parts by means ofthe clamping screws are firmly clamped against each other.
Beidem erfindungsgemäßen Sicherheitsbehälter wirdder Vorteil erhalten, dass die Leitungsabschnitte mit der Verbindungsplattedicht und fest verbunden sind. Bei unterschiedlichen Einsatz- bezw. Anschlußbedingungenbraucht lediglich eine unterschiedliche Ausbildung der Leitungsabschnittevorgesehen zu werden. Es ist daher eine Vielzahl von Verbindungs-plattenmit entsprechend unterschiedlich ausgebildeten Leitungsabschnittenausführbar, sodass eine gute Anpassung an die jeweiligen Einsatzbedingungen erzieltwerden kann. Droht ein Bruch oder eine Beschädigung eines Leitungsab schnittsdergestalt, dass die Dichtigkeit nicht mehr gewährleistet ist, braucht lediglichdie Verbindungsplatte mit den Leitungsabschnitten ausgetauscht zu werden.atthe security container according to the invention isobtained the advantage that the line sections with the connection plateare tight and firmly connected. For different Einsatzbezw. connection conditionsonly needs a different design of the line sectionsto be provided. It is therefore a variety of connection plateswith correspondingly different trained line sectionsexecutable, sothat achieves a good adaptation to the respective conditions of usecan be. Threatens to break or damage a Leitungsab sectionIn such a way that the tightness is no longer guaranteed, all you need isthe connection plate to be replaced with the line sections.
Nacheiner Ausgestaltung der Erfindung weist der Deckel an der Oberseiteeinen Sockel auf, in dem die Gewindebohrungen und die Deckelöffnungengeformt sind. Der Sockel hat eine obere ebene Fläche, die mit der unteren ebenenFlächedes Ventilblocks zusammenwirkt, wobei vorzugsweise der Umriss vonSockel und Ventilblock identisch ist. Auch Verbindungsplatte undobere Flächedes Ventilblocks weisen einen gleichen Umriss auf, so dass keinefreiliegenden Kanten entstehen, wenn die Teile miteinander verbundensind.Toan embodiment of the invention, the lid on the topa pedestal in which the threaded holes and the lid openingsare shaped. The base has an upper flat surface, which is level with the lower oneareathe valve block cooperates, preferably the outline ofBase and valve block is identical. Also connection plate andupper surfaceof the valve block have a same outline, so that noexposed edges arise when the parts are joined togetherare.
DerSockel, der einen deutlich geringeren Umfang als der Behälter hat,ist zum Beispiel in der Mitte des Deckels ausgebildet, so dass ausreichend Platzbleibt, und um die Handhabe fürdie Ventilglieder problemlos zu betätigen.Of theSocket, which has a much smaller circumference than the container,is designed, for example, in the middle of the lid, leaving enough spaceremains, and the handle foreasy to operate the valve members.
EinAusführungsbeispielder Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher erläutert.OneembodimentThe invention will be explained in more detail with reference to drawings.
Inden
DerDeckel
Bei
Oberhalbdes Ventilblocks
DieVerbindungsplatte
DieMontage der in
Wirdbei geöffnetenVentilen im Ventilblock
Beigeschlossenen Ventilen und Betätigung einesSpülventils über dieHandhabe
In
Inden
Ausden
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