詳細情報

ID

01155699

典拠種別Type of Authority

普通件名Topical Terms

名称/タイトルName / Title

スパッタリング

名称/タイトルのカナ読みKatakana Transcription of Name / Title

スパッタリング

名称/タイトルのローマ字読みRoman Transliteration of Name / Title

Supattaringu

同義語Variant Term(s)

スパッタ;スパッタリング技術 (スパッタリングギジュツ);スパッタリング法 (スパッタリングホウ);スパッタ技術 (スパッタギジュツ);Sputtering (Physics)

上位語Broader Term(s)

衝突 (原子物理学)

関連語Related Term(s)

表面 (工学);薄膜

分類記号Classification Number(s)

428.4 (NDC9);549.8 (NDC9);MC141 (NDLC);ND371 (NDLC)

関連リンクRelated Links

sh85127061 (LCSH)

出典Sources

スパッタ実務「Q&A集」 / 藤本登 企画編集
エレクトロニクス用語事典 改訂4版

作成日Date Created

2009-04-03

最終更新日Last Updated

2011-07-14T09:23:44

外部サイトへのリンクExternal Link

Wikipediaで検索を行うSearch the Japanese Wikipedia
※Wikipediaの機能により、違うキーワードが表示される場合もあります。Notice: Sometimes Wikipedia will return incorrect matches.

他形式のデータOther formats

RDF/XML形式RDF/XML format,RDF/Turtle形式RDF/Turtle format,JSON-LD形式JSON-LD format