Terminit "massihävitusrelv" on kasutatud sellises tähenduses vähemalt aastast 1937, kui seda kasutatipommituslennukite kirjeldamiseks. Tol ajal näisid sellised kõrgel lendavad lennukid kui pidurdamatu hävitusjõud ja oht linnade tsiviilisikutele, kes olid sõjaliste konfliktide korral rindelt eemal.Teise maailmasõja ajal pommitati lennukitelt suurlinnuHamburgi jaTokyot, kus sai surma kümneid tuhandeid inimesi ühe ööga.[1]
Tavapommide hävitusjõudu ei anna võrreldagiaatomipommi hävitusjõuga, näiteks sellisega, milleAmeerika Ühendriikide lennuk Teise maailmasõja lõpusHiroshima kohal alla heitis. Aatomipommi plahvatuses hävis terve linn ning umbes 66 000 inimest sai otsekohe surma. Aasta lõpuks suureneskiirituskahjustuste tõttu surnute arv 140 000-ni. Samalaadne oli massihävitusrelva tekitatud hävitustöö ka Ameerika Ühendriikide korraldatud aatomipommirünnakusNagasakile.Külma sõja ajal ehitasid Ameerika Ühendriigid,Nõukogude Liit ja teised suurriigid tuhandeidtuumapomme, tuumalõhkepeagarakette ja tuumalaenguga suurtükiväe laskemoona. Samal ajal valmistasid suurriigid ka keemia- ja biorelvi.
Keemiarelva laengud sisaldavad erilisi mürgiseid vedelikke ja gaase, mis lämmatavad ohvreid, saastavad nende verd, tekitavad naha- või närvisüsteemikahjustusi.[1]Kloorigaasi kasutatiEsimeses maailmasõjas.
Bioloogilised relvad sisaldavad looduslikke mürke,baktereid võiviirusi. Biorelv erineb keemia- ja tuumarelvast selle poolest, et biorelva pole pärast kasutamist võimalik kohe tuvastada. On olemas vahendeid, mis tuvastavad biorelva mõju, kuid see võtab aega. Biorelva mõju pole ka kohe nähtav, kulub aega, et tekitada kahju või haigust (inkubatsiooniperiood). Selleks ajaks, kui sümptomid hakkavad tekkima, on tõenäoliselt paljud inimesed nakatunud ning alanud on haiguspuhang. Äkilise haiguspuhangu teke on biorelva kasutamise korral üks tähtsamaid tunnuseid.[1] Biorelvi kasutatakse rahvarohketel aladel, et saavutada maksimaalne efektiivsus. Biorelvade kasutamisele võib järgneda surmavate haiguste levik (Siberi katk,kopsukatk,rõuged).
Biorelva pole tänapäeval kasutatud pärast seda, kui Jaapan levitas Teise maailmasõja ajal katkuga nakatatudtäisidHiina aladel. Vaatamata sellele kardetakse, et biorelva võidakse ikka kasutada, sest üldiselt on keemia- ja biorelva suhteliselt lihtne valmistada.[2]