UnterPlasmabeschichtung bezeichnet man zusammenfassend alleplasmagestützten Produktionsverfahren, bei denen Werkstücke aller Art mitdünnen Schichten aus unterschiedlichen Materialien überzogen werden. Dazu zählen:^[1]

• plasmagestütztephysikalische Gasphasenabscheidungsverfahren (Plasma-PVD), wie das plasmaunterstützteMagnetronsputtern,
• plasmagestütztechemische Gasphasenabscheidungsverfahren (Plasma-CVD), wiePECVD oderPACVD,
• Plasmawärmebehandlung,
• Plasmapolymerisation und
• Plasma- undIonenstrahlätzen.

Eine weitere Klassifizierung kann sowohl über den Aggregatzustandes der Ausgangsmaterialien als auch über die Art der Plasmagenerierung (z. B. induktiv gekoppelten Plasma,ICP) erfolgen.

Die abgeschiedenen Schichten finden in vielen Gebieten Einsatz, beispielsweiseOptik (Antireflexionsschichten), Produktveredlung (Titannitrid als Goldersatz),Verschleißschutz,Elektronik,Antihaftbeschichtung oder derVerpackungstechnik (Siliziumdioxidschichten als Innenbeschichtung vonPET-Flaschen).

1. ↑Monika Kaßmann:Grundlagen der Verpackung. Beuth Verlag, 2014,ISBN 978-3-410-24192-8, S. 127 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).

• Beschichtungsverfahren
• Verschleißschutzverfahren