En udgave af6502-mikroprocessoren i den energieffektiveCMOS-teknologi med navnet 65C02 lavet afWDC i 1990'erne. Den oprindelige MOS Technology 6502 blev lavet iNMOS fra 1975 og i hvert fald frem til 1983.
Begrebet mikroprocessor dækker over, at alleCPU-funktioner er sammenbyggede i sammehalvlederchip.
De førstedatamater var opbygget afdiskrete komponenter, og de enkelte elementer af datamaten var opbygget særskilt. Disse elementer omfatter f.eks. CPU, microprogramlager, registre m.v.
I 1971 udvikledes verdens første "single chip CPU", Intels 4004. Det var en 4-bit processor med en klokfrekvens på 740kHz, og 2.300 transistorer.Set med nutidens øjne er det ikke imponerende, men det var starten på en æra uden sidestykke.
I 2011, 40 år efter starten, er man oppe på 64-bit med en klokfrekvens på 3,4GHz og millioner af transistorer.