Math oficrosgop sy'n defnyddioelectronau (200-300 KeV) i ganfod a chreu delweddau yw'rMeicrosgop electron. Oherwydd tonfedd fer yr electronau hyn mae modd eu defnyddio i ddadansoddi gwrthrychau llai o lawer na thra'n defnyddio golau gweledol. Yn fras, mae modd chwyddo delwedd 10,000,000 x o'i gymharu â 2000xmicrosgop optegol confensiynol. Er enghraifft, o dan amgylchiadau priodol mae modd canfodatomau unigol (50 pm)[1].
↑Rolf Erni, Marta D. Rossell, Christian Kisielowski & Ulrich Dahmen Atomic-Resolution (2009);Imaging with a Sub-50-pm Electron Probe Phys. Rev. Lett.102, 096101 (crynodeb am ddim[1])
