Nejdůležitějšími vlastnostmi obvodů CMOS je nízkáspotřeba a vysoká odolnost protišumu. Z každého páru tranzistorůMOSFET, z nichž je složeno hradlo, je vždy jeden v nevodivém stavu, proto mají obvody CMOS ve statickém stavu mnohem nižší spotřebu energie než obvodyNMOS neboTTL a produkují mnohem méně odpadního tepla; více energie se spotřebovává pouze při přepínání mezi zapnutým a vypnutým stavemtranzistorů. Velmi jednoduchá struktura logických členů a absence rezistorů umožňuje dosaženívysoké hustoty prvků načipu. Hlavní nevýhodu – nízkou rychlost prvních řad obvodů CMOS – se podařilo odstranit díky miniaturizaci a vylepšené technologii výroby.
Výraz komplementární (complementary nebo někdycomplementary-symetric) vyjadřuje, že logické členy jsou vytvářeny dvojicemi doplňujících se tranzistorůMOSFET typun ap. Zbytek zkratky „metal-oxid-semiconductor“ odkazuje na způsob realizaceřídicí elektrody tvořené u prvních obvodůhliníkem odizolovaném tenkou vrstvouoxidu křemičitého od vodivého kanálu zpolovodiče. Zkratky MOS a CMOS se používaly, i když se dlouhou dobu – až do65nm technologie – používal na řídicí elektrody jiný materiál,polykrystalický křemík. Po roce 2010 od technologie45nm se podle oznámení firemIBM aIntel kovové elektrody shigh-kdielektriky opět používají.
Zjednodušený proces výroby CMOS invertoru na substrátu tvořeném polovodičem typu P. Elektrody G, S a D u reálných obvodů nejsou ve stejné rovině diagram není v měřítku.
Proces výroby CMOS obvodů je znázorněn na obrázku vpravo:
Jednotlivé generace technologie CMOS se označují jedním číslem představujícím šířku hradla tranzistorů na čipu. Minimální velikost hradla je nižší, naopakvlnová délkasvětla použitého při procesu může být díky různým efektům vyšší.
Čím menší velikost, tím nižší je možné používat napětí (čímž se snižuje spotřeba) a tím je možné dosáhnout vyšších frekvencí.
Rok 2002; použito proIntel Pentium IV (55 miliónů tranzistorů, 1,6 GHz, min. 1,5 V)
90 nm
Rok 2003 (min. 1,2 V)
65 nm
Min. 0,9 V; V roce2007 nejčastěji používaná technologie. Používalo se světlo vlnových délek 193 nm a 248 nm. Šířka elektrody je pouhých 1,2 nm, což je jen několik atomů – dochází tedy ktunelovému jevu.